JP2000090496A

JP2000090496A - 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び光記録再生装置

Info

Publication number: JP2000090496A
Application number: JP10256947A
Authority: JP
Inventors: Somei Endo; 惣銘遠藤
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-09-10
Filing date: 1998-09-10
Publication date: 2000-03-31

Abstract

(57)【要約】【課題】ランドグルーブ記録の光記録媒体において、
トラックピッチを非常に狭くしても、トラッキングサー
ボ及びトラックシークを安定に行えるようにする。【解決手段】記録トラックに沿ってグルーブを形成す
る際に、深さの異なる第１のグルーブと第２のグルーブ
とを隣り合うように形成するとともに、これらのグルー
ブを、下記の２つの式を満たすように形成する。なお、
Ｘは第１のグルーブの位相深さ、Ｙは第２のグルーブの
位相深さ、Ｋ，Ｍは任意の整数である。 Y≧0.5M+1.9210-15.1875(X+0.5K)+38.7772(X+0.5K)²-3
2.0372(X+0.5K)³ Y≦0.5M-7891.9344+136273.8897(X+0.5K)-977584.9679
(X+0.5K)²+3729402.0181(X+0.5K)³-7980032.8847(X+0.5
K)⁴+9081208.5197(X+0.5K)⁵-4294055.2253(X+0.5K)⁶

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ランドグルーブ記
録がなされる光記録媒体に関する。また、本発明は、ラ
ンドグルーブ記録がなされる光記録媒体を製造する際に
使用される光記録媒体製造用原盤に関する。また、本発
明は、ランドグルーブ記録がなされる光記録媒体に対し
て記録及び／又は再生を行う光記録再生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光記録媒体として、円盤状に形成されて
なり光学的に記録及び／又は再生が行われる光ディスク
が実用化されている。光ディスクには、データに対応し
たエンボスピットがディスク基板に予め形成されてなる
再生専用光ディスクや、磁気光学効果を利用してデータ
の記録再生を行う光磁気ディスクや、記録膜の相変化を
利用してデータの記録再生を行う相変化型光ディスクな
どがある。

【０００３】これらの光ディスクのうち、光磁気ディス
クや相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光デ
ィスクでは、通常、記録トラックに沿ったグルーブがデ
ィスク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主に
トラッキングサーボやトラックシークを行えるようにす
るために、記録トラックに沿って形成される、いわゆる
案内溝のことである。

【０００４】なお、トラッキングサーボとは、光スポッ
トを記録トラックに追従させることである。また、トラ
ックシークとは、光スポットを所望する記録トラックへ
移動させることである。トラックシークを行うために
は、光スポットの移動時に当該光スポットが横切ったト
ラックの数を検出する必要があり、このようなトラック
数検出のことは、一般にトラバースカウントと呼ばれ
る。

【０００５】ところで、従来の光ディスクでは、主に、
光記録再生装置に搭載される光ピックアップの再生分解
能を向上することで、高記録密度化を達成してきた。そ
して、光ピックアップの再生分解能の向上は、主に、デ
ータの再生に使用するレーザ光の波長λを短くしたり、
光ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数
ＮＡを大きくしたりすることにより実現されてきた。

【０００６】ここで、光ディスクの具体的な例として、
ＣＤ、ＭＤ、ＭＤＤａｔａ２、ＤＶＤ＋ＲＷ、ＤＶＤ−
ＲＯＭを例に挙げ、それらについて、データの再生に使
用するレーザ光の波長λ、対物レンズの開口数ＮＡ、ト
ラックピッチの値を表１に示す。

【０００７】

【表１】

【０００８】表１に示すように、従来の光ディスクで
は、レーザ光の波長λを短くしたり、対物レンズの開口
数ＮＡを大きくしたりすることにより、狭トラック化が
実現され、これにより、高記録密度化が達成されてい
る。

【０００９】しかしながら、従来の光ディスクでは、狭
トラック化を進めたとしても、そのトラックピッチの空
間周波数は、光記録再生装置の光ピックアップのカット
オフ周波数の１／２〜２／３程度までとされている。こ
こで、カットオフ周波数とは、再生信号振幅がほぼ０と
なる周波数のことであり、データの再生に使用するレー
ザ光の波長をλとし、光ディスク上にレーザ光を集光す
る対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、２ＮＡ／λで
表される。

【００１０】このようにトラックピッチの空間周波数が
カットオフ周波数の１／２〜２／３程度とされるのは、
光スポットを記録トラックに追従させるトラッキングサ
ーボや、光スポットを所望する記録トラックに移動させ
るトラックシークなどを安定に行えるようにするため
に、トラッキングサーボやトラックシークに必要な信号
を十分なレベルにて得られるようにする必要があるから
である。

【００１１】例えば、ＭＤＤａｔａ２等の光ディスクで
は、トラッキングサーボにプッシュプル信号が用いられ
ているが、プッシュプル信号を用いてトラッキングサー
ボを行うにあたって、トラッキングサーボを安定に行う
には、プッシュプル信号振幅比が０．１５程度以上であ
る必要がある。また、トラックシーク時には、トラバー
スカウントのためにクロストラック信号が使用される
が、クロストラック信号を用いてトラックシークを行う
にあたって、トラックシークを安定に行うには、クロス
トラック信号振幅が０．０６程度以上である必要があ
る。そして、従来の光ディスクでは、プッシュプル信号
振幅比を０．１５以上とし、且つ、クロストラック信号
振幅比を０．０６以上とするには、トラックピッチの空
間周波数をカットオフ周波数の１／２〜２／３程度とす
る必要があった。

【００１２】なお、プッシュプル信号は、光ディスクか
らの反射光を、図６に示すように、トラック中心に対し
て対称に配置された２つの光検出器Ａ，Ｂにより検出
し、それら２つの光検出器Ａ，Ｂからの出力の差（Ａ−
Ｂ）をとることにより得られる。また、クロストラック
信号は、それら２つの光検出器Ａ，Ｂからの出力の和
（Ａ＋Ｂ）をとることにより得られる。

【００１３】すなわち、記録及び／又は再生時に光ディ
スクからの反射光を、トラック中心に対して対称に配置
された２つの光検出器により検出したときに、一方の光
検出器で検出される光量をＡ、他方の光検出器で検出さ
れる光量をＢとしたとき、Ａ−Ｂで表される差信号がプ
ッシュプル信号であり、Ａ＋Ｂで表される和信号がクロ
ストラック信号である。また、プッシュプル信号の振幅
をＣ、クロストラック信号の振幅をＤ、グルーブが形成
されていない鏡面部位におけるクロストラック信号の値
をＭmaxとすると、プッシュプル信号振幅比はＣ／Ｍmax
で表され、クロストラック信号振幅比はＤ／Ｍmaxで表
される。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、光ディスク
等の光記録媒体に対する高記録密度化の要求はとどまる
ところを知らず、更なる高記録密度化が望まれている。
そして、光記録媒体の高記録密度化を実現する手法の一
つとして、グルーブの部分と、グルーブとグルーブの間
のランド部分との両方に情報信号の記録を行う手法が考
案されている。なお、このようにグルーブとランドの両
方に情報信号を記録することは、一般に、ランドグルー
ブ記録と称される。ランドグルーブ記録では、グルーブ
の部分だけに情報信号の記録を行うグルーブ記録や、ラ
ンドの部分だけに情報信号の記録を行うランド記録に比
べて、理想的には記録密度を２倍程度にまで高めること
が可能である。

【００１５】ところで、ランドグルーブ記録では、グル
ーブ部分における記録再生特性と、ランド部分における
記録再生特性とを同一にするために、グルーブ幅とラン
ド幅とが同一であることが望まれる。しかし、グルーブ
幅とランド幅とが同一になると、光スポットがグルーブ
上にあるときに得られるクロストラック信号と、光スポ
ットがランド上にあるときに得られるクロストラック信
号との差がなくなり、トラックシーク時にランドとグル
ーブとを判別することができなくなる。すなわち、従
来、ランドグルーブ記録を採用した光記録媒体では、ト
ラックシーク時にランドとグルーブとを判別することが
できないという問題があった。

【００１６】更に、ランドグルーブ記録の光記録媒体で
は、トラックピッチを狭くすると、プッシュプル信号も
大幅に小さくなってしまうという問題もあった。例え
ば、従来のランドグルーブ記録の光記録媒体において、
トラックピッチが１．００μｍの場合には、プッシュプ
ル信号振幅比が０．４８となり、これならば、プッシュ
プル信号を用いてトラッキングサーボを安定に行うこと
ができる。しかしながら、例えば、トラックピッチを
０．７５μｍにすると、プッシュプル信号振幅比は０．
０９程度にまで小さくなってしまう。これでは、プッシ
ュプル信号を用いてトラッキングサーボを安定に行うこ
とは困難である。したがって、従来、ランドグルーブ記
録の光記録媒体では、トラックピッチを狭くして高記録
密度化を進めることは難しかった。

【００１７】本発明は、以上のような従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、高記録密度化に好適なランド
グルーブ記録を採用しつつ、トラッキングサーボやトラ
ックシークを安定に行うことが可能な光記録媒体を提供
することを目的とする。また、本発明は、そのような光
記録媒体を製造することが可能な光記録媒体製造用原盤
を提供することも目的とする。また、本発明は、記録媒
体として、そのような光記録媒体を用いる光記録再生装
置を提供することも目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る第１の光記
録媒体は、記録トラックに沿ってグルーブが形成され、
所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再生がな
される光記録媒体であって、グルーブの部分と、グルー
ブとグルーブの間のランド部分との両方に情報信号の記
録がなされる。そして、この光記録媒体は、グルーブと
して、深さの異なる第１のグルーブと第２のグルーブと
が隣り合うように形成されてなり、第１のグルーブ及び
第２のグルーブが、下記式（１）及び式（２）、或い
は、下記式（３）及び式（４）を満たすように形成され
ていることを特徴とする。ここで、光入射面からグルー
ブに至る媒質の屈折率をｎ、第１のグルーブの深さを
ｘ、第２のグルーブの深さをｙとすると、第１のグルー
ブの位相深さＸはｘ×ｎ／λで表され、第２のグルーブ
の位相深さＹはｙ×ｎ／λで表される。なお、下記式
（１）乃至（４）において、Ｋ，Ｌ，Ｍ，Ｎは任意の整
数である。

【００１９】Ｙ≧0.5Ｍ＋1.9210−15.1875(Ｘ＋0.5Ｋ)＋38.7772(Ｘ＋0.5Ｋ)² −32.0372(Ｘ＋0.5Ｋ)³ ・・・（１）Ｙ≦0.5Ｍ−7891.9344＋136273.8897(Ｘ＋0.5Ｋ) −977584.9679(Ｘ＋0.5Ｋ)²＋3729402.0181(Ｘ＋0.5Ｋ)³ −7980032.8847(Ｘ＋0.5Ｋ)⁴＋9081208.5197(Ｘ＋0.5Ｋ)⁵ −4294055.2253(Ｘ＋0.5Ｋ)⁶ ・・・（２）Ｙ≧0.5Ｎ−13.7275−100.6913(Ｘ＋0.5Ｌ)＋283.6042(Ｘ＋0.5Ｌ)² −360.1805(Ｘ＋0.5Ｌ)³＋174.2959(Ｘ＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（３）Ｙ≦0.5Ｎ−1.4918＋16.3767(Ｘ＋0.5Ｌ)−57.3863(Ｘ＋0.5Ｌ)² ＋88.1002(Ｘ＋0.5Ｌ)³−49.8972(Ｘ＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（４）以上のような本発明に係る第１の光記録媒体では、深さ
の異なる第１のグルーブ及び第２のグルーブが、上記式
（１）及び式（２）、或いは、上記式（３）及び式
（４）を満たすように形成されているので、ランドグル
ーブ記録を採用しつつトラックピッチを狭くしても、ト
ラッキングサーボやトラックシークに必要な信号を十分
なレベルで得ることができる。

【００２０】なお、上記第１の光記録媒体において、第
１のグルーブと第２のグルーブのうちの少なくとも一方
は、少なくとも一部が蛇行するように形成されたウォブ
リンググルーブであることが好ましい。このようにグル
ーブを蛇行させてウォブリンググルーブとすることによ
り、グルーブ自体にアドレス情報等を付加することがで
きる。

【００２１】また、上記第１の光記録媒体は、記録及び
／又は再生に使用される対物レンズの開口数をＮＡ、光
の波長をλとしたときに、２×ＮＡ／λで表されるカッ
トオフ周波数よりも、トラックピッチの空間周波数が大
きいことが好ましい。カットオフ周波数よりもトラック
ピッチの空間周波数を大きくすることで、光記録媒体の
更なる高記録密度化を進めることができる。

【００２２】また、本発明に係る第２の光記録媒体は、
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、光が照射さ
れて記録及び／又は再生がなされる光記録媒体であっ
て、グルーブの部分と、グルーブとグルーブの間のラン
ド部分との両方に情報信号の記録がなされる。そして、
この光記録媒体は、グルーブとして、深さの異なる第１
のグルーブと第２のグルーブとが隣り合うように形成さ
れてなる。ここで、この光記録媒体によって上記光が反
射されてなる反射光を、トラック中心に対して対称に配
置された２つの光検出器により検出したときに、一方の
光検出器で検出される光量をＡ、他方の光検出器で検出
される光量をＢ、Ａ−Ｂで表される差信号の振幅をＣ、
Ａ＋Ｂで表される和信号の振幅をＤ、グルーブが形成さ
れていない鏡面部位における上記和信号の値をＭmaxと
する。このとき、この光記録媒体は、Ｃ／Ｍmaxで表さ
れる差信号振幅比が０．０６以上となり、Ｄ／Ｍmaxで
表される和信号振幅比が０．１５以上となることを特徴
とする。

【００２３】以上のような本発明に係る第２の光記録媒
体では、ランドグルーブ記録を採用していても、隣り合
うグルーブの深さを異なるものとすることにより、トラ
ックピッチを狭くしても、トラッキングサーボやトラッ
クシークに必要な信号を十分なレベルにて得ることが可
能となっている。具体的には、この光記録媒体では、和
信号振幅比が０．１５以上となるようにしているので、
和信号を用いてトラッキングサーボを安定に行うことが
できる。また、差信号振幅比が０．０６以上となるよう
にしているので、差信号を用いてトラックシークを安定
に行うことができる。

【００２４】なお、上記第２の光記録媒体において、第
１のグルーブと第２のグルーブのうちの少なくとも一方
は、少なくとも一部が蛇行するように形成されたウォブ
リンググルーブであることが好ましい。このようにグル
ーブを蛇行させてウォブリンググルーブとすることによ
り、グルーブ自体にアドレス情報等を付加することがで
きる。

【００２５】また、上記第２の光記録媒体は、記録及び
／又は再生に使用される対物レンズの開口数をＮＡ、光
の波長をλとしたときに、２×ＮＡ／λで表されるカッ
トオフ周波数よりも、トラックピッチの空間周波数が大
きいことが好ましい。カットオフ周波数よりもトラック
ピッチの空間周波数を大きくすることで、光記録媒体の
更なる高記録密度化を進めることができる。

【００２６】また、本発明に係る光記録媒体製造用原盤
は、記録トラックに沿ってグルーブが形成され所定の波
長λの光が照射されて記録及び／又は再生がなされる光
記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原
盤である。ここで、対象となる光記録媒体は、グルーブ
の部分と、グルーブとグルーブの間のランド部分との両
方に情報信号の記録がなされる記録媒体である。

【００２７】そして、本発明に係る光記録媒体製造用原
盤は、上記グルーブに対応した凹凸パターンとして、第
１のグルーブパターンと第２のグルーブパターンとが隣
り合うように形成されてなる。ここで、上記光記録媒体
の光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎ、第１
のグルーブパターンの深さをｘ'、第２のグルーブパタ
ーンの深さをｙ'としたときに、ｘ'×ｎ／λで表される
第１のグルーブパターンの位相深さをＸ'、ｙ'×ｎ／λ
で表される第２のグルーブパターンの位相深さをＹ'と
する。そして、本発明に係る光記録媒体製造用原盤は、
第１のグルーブパターン及び第２のグルーブパターン
が、下記式（５）及び式（６）、或いは、下記式（７）
及び式（８）を満たすように形成されていることを特徴
とする。なお、下記式（５）乃至（８）において、Ｋ，
Ｌ，Ｍ，Ｎは任意の整数である。

【００２８】Ｙ'≧0.5Ｍ＋1.9210−15.1875(Ｘ'＋0.5Ｋ)＋38.7772(Ｘ'＋0.5Ｋ)² −32.0372(Ｘ'＋0.5Ｋ)³ ・・・（５）Ｙ'≦0.5Ｍ−7891.9344＋136273.8897(Ｘ'＋0.5Ｋ) −977584.9679(Ｘ'＋0.5Ｋ)²＋3729402.0181(Ｘ'＋0.5Ｋ)³ −7980032.8847(Ｘ'＋0.5Ｋ)⁴＋9081208.5197(Ｘ'＋0.5Ｋ)⁵ −4294055.2253(Ｘ'＋0.5Ｋ)⁶ ・・・（６）Ｙ'≧0.5Ｎ−13.7275−100.6913(Ｘ'＋0.5Ｌ)＋283.6042(Ｘ'＋0.5Ｌ)² −360.1805(Ｘ'＋0.5Ｌ)³＋174.2959(Ｘ'＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（７）Ｙ'≦0.5Ｎ−1.4918＋16.3767(Ｘ'＋0.5Ｌ)−57.3863(Ｘ'＋0.5Ｌ)² ＋88.1002(Ｘ'＋0.5Ｌ)³−49.8972(Ｘ'＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（８）以上のような本発明に係る光記録媒体製造用原盤では、
第１のグルーブパターン及び第２のグルーブパターン
が、上記式（５）及び式（６）、或いは、上記式（７）
及び式（８）を満たすように形成されているので、この
光記録媒体製造用原盤を用いることにより、上記式
（１）及び式（２）、或いは、上記式（３）及び式
（４）を満たす第１のグルーブ及び第２のグルーブが形
成されてなる光記録媒体を製造することができる。した
がって、この光記録媒体製造用原盤によれば、ランドグ
ルーブ記録を採用しつつトラックピッチを狭くしても、
トラッキングサーボやトラックシークに必要な信号を十
分なレベルで得ることができる光記録媒体を製造するこ
とができる。

【００２９】なお、上記光記録媒体製造用原盤におい
て、第１のグルーブパターンと第２のグルーブパターン
のうちの少なくとも一方は、少なくとも一部が蛇行する
ように形成されるウォブリンググルーブに対応した凹凸
パターンであることが好ましい。このような光記録媒体
製造用原盤によれば、ウォブリンググルーブを有する光
記録媒体を作製することができる。そして、グルーブを
蛇行させてウォブリンググルーブとすることにより、グ
ルーブ自体にアドレス情報等を付加することができるの
で、第１のグルーブパターンと第２のグルーブパターン
のうちの少なくとも一方をウォブリンググルーブに対応
した凹凸パターンとした上記光記録媒体製造用原盤によ
れば、グルーブ自体にアドレス情報等を付加した光記録
媒体を作製することができる。

【００３０】また、本発明に係る光記録再生装置は、記
録トラックに沿ってグルーブが形成された光記録媒体に
対して、光を照射して記録及び／又は再生を行う光記録
再生装置である。そして、記録及び／又は再生の対象と
なる光記録媒体として、グルーブの部分と、グルーブと
グルーブの間のランド部分との両方に情報信号の記録が
なされるとともに、上記グルーブとして、深さの異なる
第１のグルーブと第２のグルーブとが隣り合うように形
成されてなる光記録媒体を用いる。そして、本発明に係
る光記録再生装置は、上記光記録媒体のトラック中心に
対して対称に配置された２つの光検出器を備える。ここ
で、上記光記録媒体によって上記光が反射されてなる反
射光を上記２つの光検出器により検出したときに、一方
の光検出器で検出される光量をＡ、他方の光検出器で検
出される光量をＢとする。そして、本発明に係る光記録
再生装置では、記録及び／又は再生時に、光スポットを
記録トラックに追従させるトラッキングサーボを、Ａ＋
Ｂで表される和信号を用いて行い、光スポットを所望す
る記録トラックに移動させるトラックシークを、Ａ−Ｂ
で表される差信号を用いて行う。

【００３１】以上のような本発明に係る光記録再生装置
では、記録及び／又は再生の対象となる光記録媒体とし
て、隣り合うグルーブの深さが異なる光記録媒体を用い
るようにしている。このような光記録媒体では、ランド
グルーブ記録を採用しつつトラックピッチを狭めても、
トラックシークやトラッキングサーボを行うのに必要な
信号を十分なレベルにて得られるようにすることができ
る。すなわち、本発明に係る光記録再生装置では、隣り
合うグルーブの深さが異なる光記録媒体を用いることに
より、ランドグルーブ記録を採用しつつトラックピッチ
を狭めても、上記差信号を用いることでトラックシーク
を安定に行うことができ、且つ、上記和信号を用いるこ
とでトラッキングサーボを安定に行うことができる。

【００３２】なお、上記光記録再生装置において、記録
及び／又は再生の対象となる光記録媒体は、第１のグル
ーブと第２のグルーブのうちの少なくとも一方が、少な
くとも一部が蛇行するように形成されたウォブリンググ
ルーブとされている光記録媒体であることが好ましい。
このようにグルーブを蛇行させてウォブリンググルーブ
とすることにより、グルーブ自体にアドレス情報等を付
加することができる。

【００３３】また、上記光記録再生装置は、記録及び／
又は再生時に光を光記録媒体上に集光する対物レンズを
備える。そして、上記対物レンズの開口数をＮＡ、上記
光の波長をλとしたときに、２×ＮＡ／λで表されるカ
ットオフ周波数よりも、記録及び／又は再生の対象とな
る光記録媒体のトラックピッチの空間周波数が大きいこ
とが好ましい。カットオフ周波数よりもトラックピッチ
の空間周波数を大きくすることで、光記録媒体の更なる
高記録密度化を進めることができる。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、本発明を光磁気ディスクに適用した場合を例に挙げ
て、図面を参照しながら詳細に説明する。

【００３５】なお、以下の説明では、グルーブの蛇行の
ことをウォブリングと称し、ウォブリングするように形
成されたグルーブのことをウォブリンググルーブと称す
る。また、ウォブリンググルーブに対して、蛇行するこ
となく形成されたグルーブのことをストレートグルーブ
と称する。

【００３６】また、以下の説明では、光磁気ディスクに
よって反射された反射光を、トラック中心に対して対称
に配置された２つの光検出器により検出したときに、一
方の光検出器で検出される光量をＡ、他方の光検出器で
検出される光量をＢとしたとき、Ａ−Ｂで表される差信
号のことをプッシュプル信号と称し、Ａ＋Ｂで表される
和信号のことをクロストラック信号と称する。

【００３７】また、Ａ−Ｂで表されるプッシュプル信号
の振幅をＣ、Ａ＋Ｂで表されるクロストラック信号の振
幅をＤ、グルーブが形成されていない鏡面部位における
和信号（Ａ＋Ｂ）の値をＭmaxとしたとき、Ｃ／Ｍmaxで
表される値をプッシュプル信号振幅比と称し、Ｄ／Ｍma
xで表される値をクロストラック信号振幅比と称する。

【００３８】＜光磁気ディスク＞本発明を適用した光磁
気ディスクについて、要部を拡大した断面図を図１に示
す。

【００３９】この光磁気ディスク１は、円盤状に形成さ
れてなり、磁気光学効果を利用してデータの記録再生が
行われる。そして、この光磁気ディスク１は、ポリメチ
ルメタクリレート（ＰＭＭＡ）やポリカーボネート（Ｐ
Ｃ）等からなるディスク基板２上に、光磁気記録がなさ
れる記録層３と、当該記録層３を保護する保護層４とが
形成されてなる。ここで、記録層３は、例えば、ＳｉＮ
等からなる誘電体膜と、ＴｅＦｅＣｏ合金等からなる垂
直磁気記録膜と、ＳｉＮ等からなる誘電体膜と、Ａｌ等
からなる光反射膜とが積層されてなる。また、保護層４
は、例えば、記録層３の上に紫外線硬化樹脂がスピンコ
ートされてなる。なお、本発明において、記録層３や保
護層４の構成は任意であり、本例に限定されるものでは
ない。

【００４０】この光磁気ディスク１は、記録領域の一部
を拡大した図２に示すように、深さが異なり、幅がほぼ
等しい２つのグルーブとして、ウォブリンググルーブ６
とストレートグルーブ７とが２重螺旋を描くように（す
なわちダブルスパイラル状に）、ディスク基板２に形成
されている。なお、図２では、この光磁気ディスク１か
ら得られるクロストラック信号及びプッシュプル信号
と、グルーブ６，７との対応関係も示している。

【００４１】なお、図１及び図２に示した光磁気ディス
ク１では、ウォブリンググルーブ６を深い方のグルー
ブ、ストレートグルーブ７を浅い方のグルーブとしてい
るが、逆に、ウォブリンググルーブ６を浅い方のグルー
ブ、ストレートグルーブ７を深い方のグルーブとしても
良い。ウォブリンググルーブ６を浅い方のグルーブ、ス
トレートグルーブ７を深い方のグルーブとした場合に
は、図１及び図２に示した例と比べて、クロストラック
信号及びプッシュプル信号の位相が反転することとな
る。

【００４２】この光磁気ディスク１において、ウォブリ
ンググルーブ６は、例えば±１０ｎｍの振幅にて一定の
周期で蛇行するように形成されている。すなわち、この
光磁気ディスク１では、一方のグルーブ（すなわちウォ
ブリンググルーブ６）をウォブリングさせることによ
り、グルーブにアドレス情報を付加している。

【００４３】そして、この光磁気ディスク１は、ランド
グルーブ記録がなされる記録媒体であり、ウォブリング
グルーブ６及びストレートグルーブ７の部分と、ウォブ
リンググルーブ６とストレートグルーブ７の間のランド
の部分とに、光磁気記録によるデータの記録が行われ
る。すなわち、図２に示すように、この光磁気ディスク
１では、ストレートグルーブ７の部分が、情報信号が記
録される第１の記録トラックTrackＡとなる。また、ス
トレートグルーブ７とウォブリンググルーブ６の間のラ
ンドの部分であって、ディスク内周側がストレートグル
ーブ７となっている部分が、情報信号が記録される第２
の記録トラックTrackＢとなる。また、ウォブリンググ
ルーブ６の部分が、情報信号が記録される第３の記録ト
ラックTrackＣとなる。また、ウォブリンググルーブ６
とストレートグルーブ７の間のランドの部分であって、
ディスク内周側がウォブリンググルーブ６となっている
部分が、情報信号が記録される第４の記録トラックTrac
kＤとなる。

【００４４】なお、ここでは、ダブルスパイラル状に形
成されてなる２つのグルーブがウォブリンググルーブ６
とストレートグルーブ７とからなる例を挙げるが、本発
明に係る光記録媒体において、これらの２つのグルーブ
は、深さが異なるものであれば良く、両方ともストレー
トグルーブであっても良いし、また、両方ともウォブリ
ンググルーブであっても良い。ただし、グルーブをウォ
ブリングさせた場合には、グルーブ自体にアドレス情報
等を付加することができるという利点がある。しかも、
本例のように、一方のグルーブをウォブリンググルーブ
として、他方のグルーブをストレートグルーブとした場
合には、両方のグルーブをウォブリンググルーブにする
場合に比べて、狭トラック化を図りやすいので、高記録
密度化に適している。

【００４５】そして、この光磁気ディスク１において、
トラックピッチTPitchは０．５０μｍとされている。こ
こで、トラックピッチTPitchは、ウォブリンググルーブ
６とストレートグルーブ７の中心位置の間隔に相当す
る。すなわち、この光磁気ディスク１において、ウォブ
リンググルーブ６とストレートグルーブ７の中心位置の
間隔は、０．５０μｍとされている。

【００４６】なお、以下の説明では、隣接するストレー
トグルーブ７の中心位置の間隔のことをトラックピリオ
ドTPeriodと称する。トラックピリオドTPeriodは、トラ
ックピッチTPitchの２倍に相当するものであり、この光
磁気ディスク１においてトラックピリオドTPeriodは、
１．００μｍとされている。

【００４７】そして、本発明を適用してなる光磁気ディ
スク１では、ウォブリンググルーブ６とストレートグル
ーブ７とが、それらの深さが異なるように形成されてい
る。具体的には、ウォブリンググルーブ６及びストレー
トグルーブ７のうち、深い方のグルーブの位相深さをＸ
とし、浅い方のグルーブの位相深さをＹとしたとき、ウ
ォブリンググルーブ６及びストレートグルーブ７は、下
記式（１−１）及び式（１−２）、或いは下記式（１−
３）及び式（１−４）を満たすように形成されている。
なお、下記式（１−１）乃至（１−４）において、Ｋ，
Ｌ，Ｍ，Ｎは、任意の整数である。

【００４８】Ｙ≧0.5Ｍ＋1.9210−15.1875(Ｘ＋0.5Ｋ)＋38.7772(Ｘ＋0.5Ｋ)² −32.0372(Ｘ＋0.5Ｋ)³ ・・・（１−１）Ｙ≦0.5Ｍ−7891.9344＋136273.8897(Ｘ＋0.5Ｋ) −977584.9679(Ｘ＋0.5Ｋ)²＋3729402.0181(Ｘ＋0.5Ｋ)³ −7980032.8847(Ｘ＋0.5Ｋ)⁴＋9081208.5197(Ｘ＋0.5Ｋ)⁵ −4294055.2253(Ｘ＋0.5Ｋ)⁶ ・・・（１−２）Ｙ≧0.5Ｎ−13.7275−100.6913(Ｘ＋0.5Ｌ)＋283.6042(Ｘ＋0.5Ｌ)² −360.1805(Ｘ＋0.5Ｌ)³＋174.2959(Ｘ＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（１−３）Ｙ≦0.5Ｎ−1.4918＋16.3767(Ｘ＋0.5Ｌ)−57.3863(Ｘ＋0.5Ｌ)² ＋88.1002(Ｘ＋0.5Ｌ)³−49.8972(Ｘ＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（１−４）なお、光磁気ディスク１に対する記録再生時に使用され
るレーザ光の波長をλとし、光磁気ディスク１の光入射
面からグルーブに至る媒質（すなわちディスク基板２）
の屈折率をｎとすると、深い方のグルーブの位相深さＸ
は、当該グルーブの深さをｘとしたとき、ｘ×ｎ／λで
表される。また、浅い方のグルーブの位相深さＹは、当
該グルーブの深さをｙとしたとき、ｙ×ｎ／λで表され
る。

【００４９】以上のような光磁気ディスク１では、後述
する実験結果からも分かるように、ウォブリンググルー
ブ６及びストレートグルーブ７が上記式（１−１）及び
式（１−２）、或いは上記式（１−３）及び式（１−
４）を満たすように形成されているので、トラッキング
サーボやトラックシークに必要な信号を十分なレベルで
得ることができる。

【００５０】そして、この光磁気ディスク１では、図２
に示したように、プッシュプル信号のレベル、プッシュ
プル信号の極性、クロストラック信号のレベル、クロス
トラック信号の極性のうち、少なくともいずれかは、各
記録トラック毎に異なるものとなる。したがって、この
光磁気ディスク１では、トラックシーク時にプッシュプ
ル信号及びクロストラック信号のレベル及び極性を検出
することにより、第１の記録トラックTrackＡと、第２
の記録トラックTrackＢと、第３の記録トラックTrackＣ
と、第４の記録トラックTrackＤとを判別することがで
きる。

【００５１】＜レーザカッティング装置＞以上のような
光磁気ディスク１を製造する際には、当該光磁気ディス
ク１の原盤となる光記録媒体製造用原盤の作製にレーザ
カッティング装置が使用される。以下、光記録媒体製造
用原盤の作製に使用されるレーザカッティング装置の一
例について、図３を参照して詳細に説明する。

【００５２】図３に示したレーザカッティング装置１０
は、ガラス基板１１の上に塗布されたフォトレジスト１
２を露光して潜像を形成するためのものである。このレ
ーザカッティング装置１０でフォトレジスト１２に潜像
を形成する際、フォトレジスト１２が塗布されたガラス
基板１１は、移動光学テーブル上に設けられた回転駆動
装置に取り付けられる。そして、フォトレジスト１２を
露光する際、ガラス基板１１は、フォトレジスト１２の
全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるよう
に、図中矢印Ａ１に示すように回転駆動装置によって回
転駆動されるとともに、移動光学テーブルによって平行
移動される。

【００５３】このレーザカッティング装置１０は、２つ
の露光ビームによってフォトレジスト１２を露光するこ
とが可能となっており、ウォブリンググルーブ６に対応
した潜像と、ストレートグルーブ７に対応した潜像と
を、それぞれの露光ビームにより形成する。すなわち、
このレーザカッティング装置１０では、第１の露光ビー
ムによってウォブリンググルーブ６に対応した潜像を形
成し、第２の露光ビームによってストレートグルーブ７
に対応した潜像を形成する。

【００５４】このレーザカッティング装置１０は、レー
ザ光を出射する光源１３と、光源１３から出射されたレ
ーザ光の光強度を調整するための電気光学変調器（ＥＯ
Ｍ：Electro Optical Modulator）１４と、電気光学変
調器１４から出射されたレーザ光の光軸上に配された検
光子１５と、検光子１５を透過してきたレーザ光を反射
光と透過光とに分割する第１のビームスプリッタ１７
と、第１のビームスプリッタ１７を透過してきたレーザ
光を反射光と透過光とに分割する第２のビームスプリッ
タ１８と、第２のビームスプリッタ１８を透過してきた
レーザ光を検出するフォトディテクタ（ＰＤ：Photo De
tector）１９と、電気光学変調器１４に対して信号電界
を印加して当該電気光学変調器１４から出射されるレー
ザ光強度を調整するオートパワーコントローラ（ＡＰ
Ｃ：Auto Power Controller）２０とを備えている。

【００５５】上記レーザカッティング装置１０におい
て、光源１３から出射されたレーザ光は、先ず、オート
パワーコントローラ２０から印加される信号電界によっ
て駆動される電気光学変調器１４によって所定の光強度
とされた上で検光子１５に入射する。ここで、検光子１
５はＳ偏光だけを透過する検光子であり、この検光子１
５を透過してきたレーザ光はＳ偏光となる。

【００５６】なお、光源１３には、任意のものが使用可
能であるが、比較的に短波長のレーザ光を出射するもの
が好ましい。具体的には、例えば、波長λが３５１ｎｍ
のレーザ光を出射するＫｒレーザや、波長λが４４２ｎ
ｍのレーザ光を出射するＨｅ−Ｃｄレーザなどが、光源
１３として好適である。

【００５７】そして、検光子１５を透過してきたＳ偏光
のレーザ光は、先ず、第１のビームスプリッタ１７によ
って反射光と透過光とに分けられ、更に、第１のビーム
スプリッタ１７を透過したレーザ光は、第２のビームス
プリッタ１８によって反射光と透過光とに分けられる。
なお、このレーザカッティング装置１０では、第１のビ
ームスプリッタ１７によって反射されたレーザ光が第１
の露光ビームとなり、第２のビームスプリッタ１８によ
って反射されたレーザ光が第２の露光ビームとなる。

【００５８】第２のビームスプリッタ１８を透過したレ
ーザ光は、フォトディテクタ１９によって、その光強度
が検出され、当該光強度に応じた信号がフォトディテク
タ１９からオートパワーコントローラ２０に送られる。
そして、フォトディテクタ１９から送られてきた信号に
応じて、オートパワーコントローラ２０は、フォトディ
テクタ１９によって検出される光強度が所定のレベルに
て一定となるように、電気光学変調器１４に対して印加
する信号電界を調整する。これにより、電気光学変調器
１４から出射するレーザ光の光強度が一定となるよう
に、自動光量制御（ＡＰＣ：Auto Power Control）が施
され、ノイズの少ない安定したレーザ光が得られる。

【００５９】また、上記レーザカッティング装置１０
は、第１のビームスプリッタ１７によって反射されたレ
ーザ光を光強度変調するための第１の変調光学系２２
と、第２のビームスプリッタ１８によって反射されたレ
ーザ光を光強度変調するための第２の変調光学系２３
と、第１及び第２の変調光学系２２，２３によって光強
度変調が施された各レーザ光を再合成してフォトレジス
ト１２上に集光するための光学系２４とを備えている。

【００６０】そして、第１のビームスプリッタ１７によ
って反射されてなる第１の露光ビームは、第１の変調光
学系２２に導かれ、第１の変調光学系２２によって光強
度変調が施される。同様に、第２のビームスプリッタ１
８によって反射されてなる第２の露光ビームは、第２の
変調光学系２３に導かれ、第２の変調光学系２３によっ
て光強度変調が施される。

【００６１】すなわち、第１の変調光学系２２に入射し
た第１の露光ビームは、集光レンズ２９によって集光さ
れた上で音響光学変調器３０に入射し、この音響光学変
調器３０によって、所望する露光パターンに対応するよ
うに光強度変調される。ここで、音響光学変調器３０に
使用される音響光学素子としては、例えば、酸化テルル
（ＴｅＯ₂）からなる音響光学素子が好適である。そし
て、音響光学変調器３０によって光強度変調された第１
の露光ビームは、コリメートレンズ３１によって平行光
とされた上で、第１の変調光学系２２から出射される。

【００６２】ここで、音響光学変調器３０には、当該音
響光学変調器３０を駆動するための駆動用ドライバ３２
が取り付けられている。そして、フォトレジストの露光
時には、所望する露光パターンに応じた信号Ｓ１が駆動
用ドライバ３２に入力され、当該信号Ｓ１に応じて駆動
用ドライバ３２によって音響光学変調器３０が駆動さ
れ、第２の露光ビームに対して光強度変調が施される。

【００６３】具体的には、例えば、一定の深さのウォブ
リンググルーブ６に対応したグルーブパターンの潜像を
フォトレジスト１２に形成するような場合には、一定レ
ベルのＤＣ信号が駆動用ドライバ３２に入力され、当該
ＤＣ信号に応じて駆動用ドライバ３２によって音響光学
変調器３０が駆動される。これにより、所望するグルー
ブパターンに対応するように、第１の露光ビームに対し
て光強度変調が施される。

【００６４】また、第２の変調光学系２３に入射した第
２の露光ビームは、集光レンズ３３によって集光された
上で音響光学変調器３４に入射し、この音響光学変調器
３４によって、所望する露光パターンに対応するように
光強度変調される。ここで、音響光学変調器３４に使用
される音響光学素子としては、例えば、酸化テルル（Ｔ
ｅＯ₂）からなる音響光学素子が好適である。そして、
音響光学変調器３４によって光強度変調された第２の露
光ビームは、コリメートレンズ３５によって平行光とさ
れるとともに、λ／２波長板３６を透過することにより
偏光方向が９０°回転させられた上で、第２の変調光学
系２３から出射される。

【００６５】ここで、音響光学変調器３４には、当該音
響光学変調器３４を駆動するための駆動用ドライバ３７
が取り付けられている。そして、フォトレジスト１２の
露光時には、所望する露光パターンに応じた信号Ｓ２が
駆動用ドライバ３７に入力され、当該信号Ｓ２に応じて
駆動用ドライバ３７によって音響光学変調器３４が駆動
され、第２の露光ビームに対して光強度変調が施され
る。

【００６６】具体的には、例えば、一定の深さのストレ
ートグルーブ７に対応したグルーブパターンの潜像をフ
ォトレジスト１２に形成するような場合には、一定レベ
ルのＤＣ信号が駆動用ドライバ３７に入力され、当該Ｄ
Ｃ信号に応じて駆動用ドライバ３７によって音響光学変
調器３４が駆動される。これにより、所望するグルーブ
パターンに対応するように、第２の露光ビームに対して
光強度変調が施される。

【００６７】以上のようにして、第１の露光ビームは第
１の変調光学系２２によって光強度変調が施され、第２
の露光ビームは第２の変調光学系２３によって光強度変
調が施される。このとき、第１の変調光学系２２から出
射された第１の露光ビームはＳ偏光のままであるが、第
２の変調光学系２３から出射された第２の露光ビーム
は、λ／２波長板３６を透過することにより偏光方向が
９０°回転させられているので、Ｐ偏光となっている。

【００６８】そして、第１の変調光学系２２から出射さ
れた第１の露光ビームは、ミラー４１によって反射さ
れ、移動光学テーブル上に水平且つ平行に導かれ、偏向
光学系４６に入射する。そして、第１の露光ビームは、
偏向光学系４６によって光学偏向が施された上で、ミラ
ー４４によって反射されて進行方向が９０°曲げられた
上で偏光ビームスプリッタ４５に入射する。一方、第２
の変調光学系３２から出射された第２の露光ビームは、
ミラー４２によって反射され、移動光学テーブル上に水
平且つ平行に導かれ、そのまま偏光ビームスプリッタ４
５に入射する。

【００６９】ここで、偏向光学系４６は、ウォブリング
グルーブのウォブリングに対応するように、第１の露光
ビームに対して光学偏向を施すためのものである。すな
わち、第１の変調光学系２２から出射され偏向光学系４
６に入射した第１の露光ビームは、ウェッジプリズム４
７を介して音響光学偏向器（ＡＯＤ：Acousto Optical
Deflector）４８に入射し、この音響光学偏向器４８に
よって、所望する露光パターンに対応するように光学偏
向が施される。ここで、音響光学偏向器４８に使用され
る音響光学素子としては、例えば、酸化テルル（ＴｅＯ
₂）からなる音響光学素子が好適である。そして、音響
光学偏向器４８によって光学偏向が施された第１の露光
ビームは、ウエッジプリズム４９を介して偏向光学系４
６から出射される。

【００７０】ここで、音響光学偏向器４８には、当該音
響光学偏向器４８を駆動するための駆動用ドライバ５０
が取り付けられており、当該駆動用ドライバ５０には、
電圧制御発振器（ＶＣＯ：Voltage Controlled Oscilla
tor）５１からの高周波信号が、アドレス情報を含む制
御信号Ｓ３によりＦＭ変調され供給される。そして、フ
ォトレジスト１２の露光時には、所望する露光パターン
に応じた信号が、電圧制御発振器５１から駆動用ドライ
バ５０に入力され、当該信号に応じて駆動用ドライバ５
０によって音響光学偏向器４８が駆動され、これによ
り、第１の露光ビームに対して光学偏向が施される。

【００７１】具体的には、例えば、周波数８４．６７２
ｋＨｚにてグルーブをウォブリングさせることにより、
グルーブにアドレス情報を付加するような場合には、例
えば中心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周波数８
４．６７２ｋＨｚの制御信号にてＦＭ変調した信号を、
電圧制御発振器５１から駆動用ドライバ５０に供給す
る。そして、この信号に応じて、駆動用ドライバ５０に
よって音響光学偏向器４８を駆動し、当該音響光学偏向
器４８の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、これに
より、周波数８４．６７２ｋＨｚのウォブリングに対応
するように、第１の露光ビームに対して光学偏向を施
す。

【００７２】そして、このような偏向光学系４６によっ
て、ウォブリンググルーブ６のウォブリングに対応する
ように光学偏向が施された第１の露光ビームは、上述し
たように、ミラー４４によって反射されて進行方向が９
０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタ４５に入射す
る。

【００７３】ここで、偏光ビームスプリッタ４５は、Ｓ
偏光を反射し、Ｐ偏光を透過するようになされている。
そして、第１の変調光学系２２から出射され偏向光学系
４６によって光学偏向が施された第１の露光ビームは、
Ｓ偏光であり、また、第２の変調光学系２３から出射さ
れた第２の露光ビームは、Ｐ偏光である。したがって、
第１の露光ビームは当該偏光ビームスプリッタ４５によ
って反射され、第２の露光ビームは当該偏光ビームスプ
リッタ４５を透過する。これにより、第１の変調光学系
２２から出射され偏向光学系４６によって光学偏向が施
された第１の露光ビームと、第２の変調光学系２３から
出射された第２の露光ビームとは、進行方向が同一方向
となるように再合成される。

【００７４】そして、進行方向が同一方向となるように
再合成されて偏光ビームスプリッタ４５から出射した第
１及び第２の露光ビームは、拡大レンズ５２によって所
定のビーム径とされた上でミラー５３によって反射され
て対物レンズ５４へと導かれ、当該対物レンズ５４によ
ってフォトレジスト１２上に集光される。これにより、
フォトレジスト１２が露光され、フォトレジスト１２に
潜像が形成されることとなる。このとき、フォトレジス
ト１２が塗布されているガラス基板１１は、上述したよ
うに、フォトレジスト１２の全面にわたって所望のパタ
ーンでの露光がなされるように、図中矢印Ａ１に示すよ
うに回転駆動装置によって回転駆動されるとともに、移
動光学テーブルによって平行移動される。この結果、第
１及び第２の露光ビームの照射軌跡に応じた潜像が、フ
ォトレジスト１２の全面にわたって形成されることとな
る。

【００７５】なお、露光ビームをフォトレジスト１２の
上に集光するための対物レンズ５４は、より微細なグル
ーブパターンを形成できるようにするために、開口数Ｎ
Ａが大きい方が好ましく、具体的には、開口数ＮＡが
０．９程度の対物レンズが好適である。

【００７６】また、このように第１及び第２の露光ビー
ムをフォトレジスト１２に照射する際は、必要に応じ
て、拡大レンズ５２によって第１及び第２の露光ビーム
のビーム径を変化させ、対物レンズ５４に対する有効開
口数を調整する。これにより、フォトレジスト１２の表
面に集光される第１及び第２の露光ビームのスポット径
を変化させることができる。

【００７７】ところで、偏光ビームスプリッタ４５に入
射した第１の露光ビームは、当該偏光ビームスプリッタ
４５の反射面にて、第２の露光ビームと合成される。こ
こで、偏光ビームスプリッタ４５は、当該偏光ビームス
プリッタの反射面が、当該反射面で合成されて出射され
る光の進行方向に対して適度な反射角をなすように配さ
れる。

【００７８】具体的には、偏光ビームスプリッタ５４の
反射面の反射角は、第１の露光ビームに対応するスポッ
トと、第２の露光ビームに対応するスポットとの、ガラ
ス基板１１の半径方向における間隔が、トラックピッチ
TPitchに対応するように設定しておく。これにより、第
１の露光ビームによりウォブリンググルーブ６に対応す
る部分を露光し、同時に、第２の露光ビームによりスト
レートグルーブ７に対応する部分を露光することが可能
となる。

【００７９】以上のようなレーザカッティング装置１０
では、ウォブリンググルーブ６に対応した潜像を形成す
るための第１の露光ビームに対応した光学系と、ストレ
ートグルーブ７に対応した潜像を形成するための第２の
露光ビームに対応した光学系とを備えているので、この
レーザカッティング装置１０だけで、ウォブリンググル
ーブ６に対応した潜像と、ストレートグルーブ７に対応
した潜像とをまとめて形成することができる。しかも、
このレーザカッティング装置１０では、第１の露光ビー
ムと第２の露光ビームとを合成するための偏光ビームス
プリッタ４５の向きを調整することにより、第１の露光
ビームの照射位置と第２の露光ビームの照射位置とを容
易に調整することができる。

【００８０】＜光磁気ディスクの製造方法＞つぎに、図
１及び図２に示した光磁気ディスク１の製造方法につい
て、具体的な一例を挙げて詳細に説明する。

【００８１】光磁気ディスク１を作製する際は、先ず、
原盤工程として、ウォブリンググルーブ６及びストレー
トグルーブ７に対応した凹凸パターンを有する光記録媒
体製造用原盤を作製する。

【００８２】この原盤工程においては、先ず、表面を研
磨した円盤状のガラス基板１１を洗浄し乾燥させ、その
後、このガラス基板１１上に感光材料であるフォトレジ
スト１２を塗布する。次に、このフォトレジスト１２を
上記レーザカッティング装置１０によって露光し、ウォ
ブリンググルーブ６及びストレートグルーブ７に対応し
た潜像をフォトレジスト１２に形成する。

【００８３】なお、後述する評価用光磁気ディスクを作
製する際、レーザカッティング装置１０の光源１３に
は、波長λが３５１ｎｍのレーザ光を出射するＫｒレー
ザを使用し、第１及び第２の露光ビームをフォトレジス
ト１２上に集光するための対物レンズ５４には、開口数
ＮＡが０．９のものを使用した。また、拡大レンズ５２
には焦点距離が８０ｍｍのものを使用した。

【００８４】そして、フォトレジスト１２をレーザカッ
ティング装置１０によって露光する際は、第１及び第２
の露光ビームによってフォトレジスト１２を露光するこ
とにより、ウォブリンググルーブ６及びストレートグル
ーブ７に対応した潜像をフォトレジスト１２に形成す
る。

【００８５】ここで、第１の露光ビームによってフォト
レジスト１２を露光することにより、ウォブリンググル
ーブ６に対応した潜像をフォトレジスト１２に形成する
際は、第１の露光ビームに対して、第１の変調光学系２
２により光強度変調を施すとともに、偏向光学系４６に
より光学偏向を施す。

【００８６】具体的には、先ず、一定レベルのＤＣ信号
を駆動用ドライバ３２に入力し、当該ＤＣ信号に基づい
て駆動用ドライバ３２によって音響光学変調器３０を駆
動し、これにより、ウォブリンググルーブ６のパターン
に対応するように、第１の露光ビームに対して光強度変
調を施す。ここで、ウォブリンググルーブ６は一定の深
さの連続した溝であるので、ウォブリンググルーブ６に
対応した潜像を形成している間は、第１の露光ビームの
光強度が一定となるように光強度変調を施す。

【００８７】次いで、第１の変調光学系２２によって光
強度変調が施された第１の露光ビームに対して、偏向光
学系４６により光学偏向を施す。具体的には、電圧制御
発振器５１から高周波信号を制御信号にてＦＭ変調して
駆動用ドライバ５０に供給し、この信号に基づいて駆動
用ドライバ５０によって音響光学偏向器４８を駆動し
て、当該音響光学偏向器４８の音響光学素子のブラッグ
角を変化させ、これにより、第１の露光ビームに対して
光学偏向を施す。

【００８８】なお、後述する評価用光磁気ディスクを作
製する際は、中心周波数２２４ＭＨｚの高周波信号を周
波数８４．６７２ｋＨｚの制御信号にてＦＭ変調して、
電圧制御発振器５１から駆動用ドライバ５０に供給し
た。そして、この信号に基づいて、駆動用ドライバ５０
によって音響光学偏向器４８を駆動し、当該音響光学偏
向器４８の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、これ
により、フォトレジスト１２上に集光される第１の露光
ビームの光スポットの位置が、周波数８４．６７２ｋＨ
ｚ，振幅±１０ｎｍにて、ガラス基板１１の半径方向に
振動するように光学偏向を行った。

【００８９】そして、このように光強度変調及び光学偏
向を施した第１の露光ビームを、対物レンズ５４によっ
てフォトレジスト１２上に集光することにより、フォト
レジスト１２を露光し、ウォブリンググルーブ６に対応
した潜像をフォトレジスト１２に形成する。

【００９０】また、第１の露光ビームによりフォトレジ
スト１２を露光するのと同時に、第２の露光ビームによ
ってフォトレジスト１２を露光することにより、ストレ
ートグルーブ７に対応した潜像をフォトレジスト１２に
形成する。

【００９１】第２の露光ビームによってフォトレジスト
１２を露光することにより、ストレートグルーブ７に対
応した潜像をフォトレジスト１２に形成する際は、第２
の露光ビームに対して、第２の変調光学系２３により光
強度変調を施す。

【００９２】具体的には、一定レベルのＤＣ信号を駆動
用ドライバ３７に入力し、当該ＤＣ信号に基づいて駆動
用ドライバ３７によって音響光学変調器３４を駆動し、
これにより、ストレートグルーブ７のパターンに対応す
るように、第２の露光ビームに対して光強度変調を施
す。ここで、ストレートグルーブ７は一定の深さの連続
した溝であるので、ストレートグルーブ７に対応した潜
像を形成している間は、第２の露光ビームの光強度が一
定となるように光強度変調を施す。

【００９３】そして、このように光強度変調を施した第
２の露光ビームを、対物レンズ５４によってフォトレジ
スト１２上に集光することにより、フォトレジスト１２
を露光し、ストレートグルーブ７に対応した潜像をフォ
トレジスト１２に形成する。

【００９４】なお、このようにフォトレジスト１２を露
光して、ウォブリンググルーブ６及びストレートグルー
ブ７に対応した潜像を形成する際は、フォトレジスト１
２が塗布されているガラス基板１１を、所定の回転速度
にて回転駆動させるとともに、所定の速度にて平行移動
させる。

【００９５】具体的には、後述する評価用光磁気ディス
クを作製する際、ガラス基板１１の回転速度は、第１及
び第２の露光ビームによる光スポットとフォトレジスト
１２との相対的な移動速度が線速１．０ｍ／ｓｅｃとな
るようにした。そして、当該ガラス基板１１を１回転毎
に１．００μｍ（すなわちトラックピリオドＴＰｅｒｉ
ｏｄの分）だけ、移動光学テーブルによってガラス基板
１１の半径方向に平行移動させた。

【００９６】以上のように第１及び第２の露光ビームに
よってフォトレジスト１２を露光することにより、ウォ
ブリンググルーブ６に対応した潜像と、ストレートグル
ーブ７に対応した潜像とが、ダブルスパイラル状にフォ
トレジスト１２に形成される。

【００９７】なお、このように第１及び第２の露光ビー
ムによってフォトレジスト１２を露光する際は、駆動用
ドライバ３２，３７に入力するＤＣ信号のレベルを調整
して、第２の露光ビームのパワーと第３の露光ビームの
パワーとが異なるようにしておく。これにより、ウォブ
リンググルーブ６に対応した潜像の深さと、ストレート
グルーブ７に対応した潜像の深さとが異なるものとな
る。

【００９８】また、上記レーザカッティング装置１０で
は、第１の露光ビームによる光スポットと、第２の露光
ビームによる光スポットとのガラス基板１１の半径方向
における間隔が、トラックピッチＴＰｉｔｃｈに対応す
るように、偏光ビームスプリッタ４５の反射面の反射角
を設定しておく。

【００９９】このように偏光ビームスプリッタ４５の反
射面の反射角を設定しておくことにより、第１の露光ブ
ームによってウォブリンググルーブ６に対応した潜像が
形成されるとともに、当該ウォブリンググルーブ６に隣
接したストレートグルーブ７に対応した潜像が第２の露
光ビームによって形成されることとなる。このことは、
換言すれば、ウォブリンググルーブ６とストレートグル
ーブ７との相対的な位置決めは、偏光ビームスプリッタ
４５の向きを調整することにより実現できるということ
でもある。

【０１００】そして、以上のようにしてフォトレジスト
１２に潜像を形成した後、フォトレジスト１２が塗布さ
れている面が上面となるように、ガラス基板１１を現像
機のターンテーブル上に載置する。そして、当該ターン
テーブルを回転させることによりガラス基板１１を回転
させながら、フォトレジスト１２上に現像液を滴下して
現像処理を施して、ガラス基板１１上にウォブリンググ
ルーブ６及びストレートグルーブ７に対応した凹凸パタ
ーンを形成する。

【０１０１】次に、上記凹凸パターン上に無電界メッキ
法によりＮｉ等からなる導電化膜を形成し、その後、導
電化膜が形成されたガラス基板１１を電鋳装置に取り付
け、電気メッキ法により導電化膜上にＮｉ等からなるメ
ッキ層を、３００±５μｍ程度の厚さとなるように形成
する。その後、このメッキ層を剥離し、剥離したメッキ
をアセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写され
た面に残存しているフォトレジスト１２を除去する。

【０１０２】以上の工程により、ガラス基板１１上に形
成されていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる
光記録媒体製造用原盤、すなわち、ウォブリンググルー
ブ６及びストレートグルーブ７に対応した凹凸パターン
が形成された光記録媒体製造用原盤が完成する。

【０１０３】なお、この光記録媒体製造用原盤は、本発
明が適用されてなる光記録媒体製造用原盤である。すな
わち、この光記録媒体製造用原盤は、記録トラックに沿
ってウォブリンググルーブ６及びストレートグルーブ７
が形成されてなる光磁気ディスク１を製造する際に使用
される光記録媒体製造用原盤であって、ウォブリンググ
ルーブ６に対応した凹凸パターンである第１のグルーブ
パターンと、ストレートグルーブ７に対応した凹凸パタ
ーンである第２のグルーブパターンとがダブルスパイラ
ル状に形成されてなる。そして、第１のグルーブパター
ンと第２のグルーブパターンとは、それらの深さが互い
に異なるように形成されている。

【０１０４】次に、転写工程として、フォトポリマー法
（いわゆる２Ｐ法）を用いて、上記光記録媒体製造用原
盤の表面形状が転写されてなるディスク基板を作製す
る。

【０１０５】具体的には、先ず、光記録媒体製造用原盤
の凹凸パターンが形成された面上にフォトポリマーを平
滑に塗布してフォトポリマー層を形成し、次に、当該フ
ォトポリマー層に泡やゴミが入らないようにしながら、
フォトポリマー層上にベースプレートを密着させる。こ
こで、ベースプレートには、例えば、１．２ｍｍ厚のポ
リメチルメタクリレート（屈折率１．４９）からなるベ
ースプレートを使用する。

【０１０６】その後、紫外線を照射してフォトポリマー
を硬化させ、その後、光記録媒体製造用原盤を剥離する
ことにより、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写さ
れてなるディスク基板２を作製する。

【０１０７】なお、ここでは、光記録媒体製造用原盤に
形成された凹凸パターンがより正確にディスク基板２に
転写されるように、２Ｐ法を用いてディスク基板２を作
製する例を挙げたが、ディスク基板２を量産するような
場合には、ポリメチルメタクリレートやポリカーボネー
ト等の透明樹脂を用いて射出成形によってディスク基板
２を作製するようにしても良いことは言うまでもない。

【０１０８】次に、成膜工程として、光記録媒体製造用
原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板２上に記
録層３及び保護層４を形成する。具体的には、例えば、
先ず、ディスク基板２の凹凸パターンが形成された面上
に、ＳｉＮ等からなる第１の誘電体膜と、ＴｅＦｅＣｏ
合金等からなる垂直磁気記録膜と、ＳｉＮ等からなる第
２の誘電体膜とをスパッタリングによって順次成膜し、
更に、第２の誘電体膜上にＡｌ等からなる光反射膜を蒸
着によって成膜することにより、第１の誘電体膜、垂直
磁気記録膜、第２の誘電体膜及び光反射膜からなる記録
層３を形成する。その後、上記記録層３上に紫外線硬化
樹脂をスピンコート法により塗布し、当該紫外線硬化樹
脂に対して紫外線を照射し硬化させることにより、保護
層４を形成する。

【０１０９】以上の工程により、光磁気ディスク１が完
成する。

【０１１０】＜光磁気ディスクの評価＞つぎに、上述の
ような製造方法にて、ウォブリンググルーブ６の深さと
ストレートグルーブ７の深さとが異なる複数の評価用光
磁気ディスクを作製し、それらの評価を行った結果につ
いて説明する。

【０１１１】ここで、ウォブリンググルーブ６及びスト
レートグルーブ７の深さの制御は、光記録媒体製造用原
盤を作製する際に、第１の露光ビーム及び第２の露光ビ
ームのパワーを変化させたり、或いは、ガラス基板上に
形成するフォトレジストの膜厚を変化させたりすること
により行った。

【０１１２】すなわち、評価用光磁気ディスクの評価を
行うにあたっては、ウォブリンググルーブ６に対応した
潜像を形成するための第１の露光ビームのパワーや、ス
トレートグルーブ７に対応した潜像を形成するための第
２の露光ビームのパワーを変化させたり、或いは、ガラ
ス基板上に形成するフォトレジストの膜厚を変化させた
りして、凹凸パターンの深さの異なる複数の光記録媒体
製造用原盤を作製し、その後、それらの光記録媒体製造
用原盤を用いて、上述したような２Ｐ法により評価用光
磁気ディスクを作製した。なお、これらの評価用光磁気
ディスクのディスク基板の材料には、屈折率１．４９の
ポリメチルメタクリレートを使用した。

【０１１３】なお、各評価用光磁気ディスクにおいて、
グルーブの断面形状のうち、深さ以外のパラメータにつ
いては、ほぼ一定となるようにした。具体的には、各評
価用光磁気ディスクにおいて、図４に示すように、隣り
合うように形成された深さの異なるグルーブＧ１，Ｇ２
のうち、浅い方のグルーブＧ１の上幅ｔ１は約３００ｎ
ｍ、底幅ｔ２は約２００ｎｍとなり、深い方のグルーブ
Ｇ２の上幅ｔ３は約２８０ｎｍ、底幅ｔ４は約２２０ｎ
ｍとなり、グルーブＧ１とグルーブＧ２の間のランドの
部分の幅ｔ５は、約２１０ｎｍとなるようにした。

【０１１４】そして、このように作製した、グルーブ深
さの異なる複数の評価用光磁気ディスクについて、トラ
ッキングサーボ特性やトラックシーク特性を評価すると
ともに、それらの評価用光磁気ディスクから得られるプ
ッシュプル信号振幅比及びクロストラック信号振幅比を
測定した。なお、トラッキングサーボ特性及びトラック
シーク特性の評価、並びにプッシュプル信号振幅比及び
クロストラック信号振幅比の測定には、レーザ光の波長
λが６５０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．５２の
光ピックアップを用いた。

【０１１５】以上の測定の結果を、各評価用光磁気ディ
スクに形成されたグルーブの深さとともに表２乃至表４
に示す。なお、評価用光磁気ディスクでは、ウォブリン
グの振幅が非常に小さいため、プッシュプル信号振幅比
及びクロストラック信号振幅比は、ウォブリングの有無
には殆ど影響を受けない。そこで、ここでは、評価用光
磁気ディスクに形成されたグルーブを、ウォブリンググ
ルーブ６とストレートグルーブ７とで区別するのではな
く、深い方のグルーブと浅い方のグルーブとで区別し
た。また、表２乃至表４において、クロストラック信号
振幅比がマイナスなのは、クロストラック信号の位相が
反転したことを示している。

【０１１６】

【表２】

【０１１７】

【表３】

【０１１８】

【表４】

【０１１９】なお、表２乃至表４では、評価用光磁気デ
ィスクに形成されたグルーブの深さを示したが、グルー
ブの深さの測定は、実際には、評価用光磁気ディスク自
体を測定するのではなく、光記録媒体製造用原盤に形成
された凹凸パターンを原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Atomic
Force Microscope）で測定することにより行った。す
なわち、ここでは、光記録媒体製造用原盤に形成された
凹凸パターンがディスク基板に精度良く転写されるもの
と仮定し、光記録媒体製造用原盤に形成された凹凸パタ
ーンの形状を測定した結果を、評価用光磁気ディスクの
グルーブの断面形状を示す値として用いた。

【０１２０】そして、各評価用光磁気ディスクについ
て、トラッキングサーボ特性やトラックシーク特性と、
プッシュプル信号振幅比やクロストラック信号振幅比と
の関係を調べた。その結果、クロストラック信号振幅比
が０．１５以上のときには、クロストラック信号を用い
てトラッキングサーボを安定に行うことができた。ま
た、クロストラック信号振幅比が０．１５以上であり、
プッシュプル信号振幅比が０．０６以上のときには、プ
ッシュプル信号及びクロストラック信号のレベル及び極
性を検出することにより、第１乃至第４の記録トラック
TrackＡ，TrackＢ，TrackＣ，TrackＤを判別して、トラ
ックシークを安定に行うことができた。このことから、
クロストラック信号振幅比が０．１５以上、プッシュプ
ル信号振幅比が０．０６以上となる光磁気ディスクで
は、トラッキングサーボ及びトラックシークを安定に行
えることが分かった。

【０１２１】そこで、クロストラック信号振幅比が０．
１５以上、且つプッシュプル信号振幅比が０．０６以上
となるときの、ウォブリンググルーブ６及びストレート
グルーブ７の深さを調べた。その結果、図５中の点ａ
１，ａ２，ａ３，ａ４，ａ５，ａ６，ａ７，ａ８，ａ
９，ａ１０，ａ１１，ａ１２，ａ１３，ａ１４で囲まれ
た領域内、或いは、図５中の点ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ
４，ｂ５，ｂ６，ｂ７，ｂ８で囲まれた領域内であれ
ば、クロストラック信号振幅比が０．１５以上、且つプ
ッシュプル信号振幅比が０．０６以上となることが分か
った。

【０１２２】なお、図５において、縦軸は、ウォブリン
ググルーブ６及びストレートグルーブ７のうちの浅い方
のグルーブについて、当該グルーブの位相深さＹを示し
ている。また、横軸は、ウォブリンググルーブ６及びス
トレートグルーブ７のうちの深い方のグルーブについ
て、当該グルーブの位相深さＸを示している。

【０１２３】ここで、点ａ１，ａ２，ａ３，ａ４を結ぶ
近似直線Ｌ１は下記式（２−１）で表され、点ａ４，ａ
５，ａ６，ａ７，ａ８，ａ９，ａ１０，ａ１１，ａ１
２，ａ１３，ａ１４，ａ１を結ぶ近似直線Ｌ２は下記式
（２−２）で表された。

【０１２４】Ｙ＝＋1.9210−15.1875Ｘ＋38.7772Ｘ²−32.0372Ｘ³ ・・・（２−１）Ｙ＝−7891.9344＋136273.8897Ｘ−977584.9679Ｘ² ＋3729402.0181Ｘ³−7980032.8847Ｘ⁴＋9081208.5197Ｘ⁵ −4294055.2253Ｘ⁶ ・・・（２−２）したがって、点ａ１〜ａ１４で囲まれた領域は、下記式
（２−３）及び式（２−４）を満たす領域として、近似
的に表すことができる。

【０１２５】Ｙ≧＋1.9210−15.1875Ｘ＋38.7772Ｘ²−32.0372Ｘ³ ・・・（２−３）Ｙ≦−7891.9344＋136273.8897Ｘ−977584.9679Ｘ² ＋3729402.0181Ｘ³−7980032.8847Ｘ⁴＋9081208.5197Ｘ⁵ −4294055.2253Ｘ⁶ ・・・（２−４）すなわち、ウォブリンググルーブ６及びストレートグル
ーブ７のうち、深い方のグルーブの位相深さをＸとし、
浅い方のグルーブの位相深さをＹとしたときに、それら
のグルーブが上記式（２−３）及び式（２−４）を満た
すように形成されていれば、クロストラック信号振幅比
が０．１５以上、且つプッシュプル信号振幅比が０．０
６以上となり、安定なトラッキングサーボ及びトラック
シークが可能となる。

【０１２６】ところで、光の回折原理より、コヒーレン
ト長以内においては、波長の整数倍毎に同様な回折効果
が得られる。したがって、グルーブに入射し反射される
光の往復の光路が、波長の整数倍を単位として増減して
も、同様な回折効果を示す。すなわち、グルーブの位相
深さＸ，Ｙを、半波長の整数倍を単位として増減させて
も、同様な回折効果が得られる。したがって、上記式
（２−３）及び式（２−４）は、任意の整数Ｋ，Ｍを用
いて、下記式（２−５）及び式（２−６）のように一般
化できる。

【０１２７】Ｙ≧0.5Ｍ＋1.9210−15.1875(Ｘ＋0.5Ｋ)＋38.7772(Ｘ＋0.5Ｋ)² −32.0372(Ｘ＋0.5Ｋ)³ ・・・（２−５）Ｙ≦0.5Ｍ−7891.9344＋136273.8897(Ｘ＋0.5Ｋ) −977584.9679(Ｘ＋0.5Ｋ)²＋3729402.0181(Ｘ＋0.5Ｋ)³ −7980032.8847(Ｘ＋0.5Ｋ)⁴＋9081208.5197(Ｘ＋0.5Ｋ)⁵ −4294055.2253(Ｘ＋0.5Ｋ)⁶ ・・・（２−６）すなわち、ウォブリンググルーブ６及びストレートグル
ーブ７のうち、深い方のグルーブの位相深さをＸとし、
浅い方のグルーブの位相深さをＹとしたときに、それら
のグルーブが上記式（２−５）及び式（２−６）を満た
すように形成されていれば、クロストラック信号振幅比
が０．１５以上、且つプッシュプル信号振幅比が０．０
６以上となり、安定なトラッキングサーボ及びトラック
シークが可能となる。

【０１２８】一方、点ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４，ｂ５を
結ぶ近似直線Ｌ３は下記式（３−１）で表され、点ｂ
５，ｂ６，ｂ７，ｂ８，ｂ１を結ぶ近似直線Ｌ４は下記
式（３−２）で表された。

【０１２９】Ｙ＝−13.7275−100.6913Ｘ＋283.6042Ｘ²−360.1805Ｘ³ ＋174.2959Ｘ⁴ ・・・（３−１）Ｙ＝−1.4918＋16.3767Ｘ−57.3863Ｘ²＋88.1002Ｘ³ −49.8972Ｘ⁴ ・・・（３−２）したがって、点ｂ１〜ｂ８で囲まれた領域は、下記式
（３−３）及び式（３−４）を満たす領域として、近似
的に表すことができる。

【０１３０】Ｙ≧−13.7275−100.6913Ｘ＋283.6042Ｘ²−360.1805Ｘ³ ＋174.2959Ｘ⁴ ・・・（３−３）Ｙ≦−1.4918＋16.3767Ｘ−57.3863Ｘ²＋88.1002Ｘ³ −49.8972Ｘ⁴ ・・・（３−４）すなわち、ウォブリンググルーブ６及びストレートグル
ーブ７のうち、深い方のグルーブの位相深さをＸとし、
浅い方のグルーブの位相深さをＹとしたときに、それら
のグルーブが上記式（３−３）及び式（３−４）を満た
すように形成されていれば、クロストラック信号振幅比
が０．１５以上、且つプッシュプル信号振幅比が０．０
６以上となり、安定なトラッキングサーボ及びトラック
シークが可能となる。

【０１３１】そして、上記式（３−３）及び式（３−
４）も、任意の整数Ｌ，Ｎを用いて、下記式（３−５）
及び式（３−６）のように一般化できる。

【０１３２】Ｙ≧0.5Ｎ−13.7275−100.6913(Ｘ＋0.5Ｌ)＋283.6042(Ｘ＋0.5Ｌ)² −360.1805(Ｘ＋0.5Ｌ)³＋174.2959(Ｘ＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（３−５）Ｙ≦0.5Ｎ−1.4918＋16.3767(Ｘ＋0.5Ｌ)−57.3863(Ｘ＋0.5Ｌ)² ＋88.1002(Ｘ＋0.5Ｌ)³−49.8972(Ｘ＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（３−６）すなわち、ウォブリンググルーブ６及びストレートグル
ーブ７のうち、深い方のグルーブの位相深さをＸとし、
浅い方のグルーブの位相深さをＹとしたときに、それら
のグルーブが上記式（３−５）及び式（３−６）を満た
すように形成されていれば、クロストラック信号振幅比
が０．１５以上、且つプッシュプル信号振幅比が０．０
６以上となり、安定なトラッキングサーボ及びトラック
シークが可能となる。

【０１３３】ところで、本例において用いた光ピックア
ップにおいて、レーザ光の波長λは６５０ｎｍ、対物レ
ンズの開口数ＮＡは０．５２である。したがって、光ピ
ックアップのカットオフ周波数２ＮＡ／λは、１６００
mm^-1である。一方、評価用光磁気ディスクのトラックピ
ッチTPitchは０．５０μｍであるので、その空間周波数
は２０００mm^-1である。このように、評価用光磁気ディ
スクでは、トラックピッチTPitchの空間周波数のほうが
光ピックアップのカットオフ周波数２ＮＡ／λよりも大
きくなっている。

【０１３４】従来は、このようにトラックピッチTPitch
の空間周波数のほうが光ピックアップのカットオフ周波
数２ＮＡ／λよりも大きいと、十分なレベルのプッシュ
プル信号やクロストラック信号を得ることができず、安
定なトラッキングサーボやトラックシークができなくな
ってしまっていた。

【０１３５】しかしながら、本発明を適用した光磁気デ
ィスク１では、上述の実験結果からも分かるように、ウ
ォブリンググルーブ６及びストレートグルーブ７を上記
式（２−５）及び式（２−６）、或いは上記式（３−
５）及び式（３−６）を満たすように形成することによ
り、十分なレベルのプッシュプル信号やクロストラック
信号を確保しつつ、トラックピッチTPitchの空間周波数
を光ピックアップのカットオフ周波数２ＮＡ／λよりも
大きくすることが可能となっている。すなわち、本発明
を適用することにより、十分なレベルのプッシュプル信
号やクロストラック信号を確保しつつ、トラックピッチ
TPitchを狭くして、記録密度を大幅に向上することが可
能となる。

【０１３６】なお、本発明は、記録トラックに沿ってグ
ルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにその製造に
使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能
であり、本発明の対象となる光記録媒体は、例えば、再
生専用の光記録媒体、繰り返しデータの書き換えが可能
な光記録媒体、或いはデータの追記は可能だか消去はで
きないような光記録媒体のいずれでもよい。

【０１３７】また、データの記録方法も特に限定される
ものではなく、本発明の対象となる光記録媒体は、例え
ば、予めエンボスピット等によりデータが予め書き込ま
れている再生専用の光記録媒体、磁気光学効果を利用し
てデータの記録再生を行う光磁気記録媒体、或いは記録
層の相変化を利用してデータの記録再生を行う相変化型
光記録媒体のいずれでもよい。

【０１３８】また、本発明は、記録領域の少なくとも一
部にグルーブが形成されている光記録媒体、並びにその
製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適
用可能である。すなわち、例えば、記録領域全体にグル
ーブが形成されていてもよいし、或いは、グルーブが形
成されることなくエンボスピットによってデータが記録
されているような領域が記録領域内に存在していてもよ
い。

【０１３９】また、本発明に係る光記録再生装置は、記
録媒体として本発明が適用された光記録媒体を用い、ト
ラッキングサーボをクロストラック信号を用いて行い、
トラックシークをプッシュプル信号を用いて行うことを
特徴とするが、その他の構成等については、既存の光記
録再生装置と同様な構成で良い。

【０１４０】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、ランドグルーブ記録の光記録媒体において、トラ
ックピッチを非常に狭くしても、安定にトラッキングサ
ーボやトラックシークを行えるようにすることができ
る。したがって、本発明によれば、ランドグルーブ記録
を採用しつつ、狭トラック化を更に進めて、光記録媒体
の更なる高記録密度化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した光磁気ディスクの一例につい
て、その要部を拡大して示す断面図である。

【図２】本発明を適用した光磁気ディスクの一例につい
て、その記録領域の一部を拡大して示す図である。

【図３】本発明に係る光記録媒体及び光記録媒体製造用
原盤を作製する際に使用されるレーザカッティング装置
の一例について、その光学系の概要を示す図である。

【図４】評価用光磁気ディスクに形成されたグルーブの
断面形状を示す図である。

【図５】クロストラック信号振幅比が０．１５以上、プ
ッシュプル信号振幅比が０．０６以上となるときの、ウ
ォブリンググルーブ及びストレートグルーブの深さを調
べた結果を示す図である。

【図６】プッシュプル信号及びクロストラック信号の検
出方法を説明するための図である。

【符号の説明】

１光磁気ディスク、２ディスク基板、３記録
層、４保護層、６ウォブリンググルーブ、７
ストレートグルーブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れ、所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再生
がなされる光記録媒体であって、グルーブの部分と、グルーブとグルーブの間のランド部
分との両方に情報信号の記録がなされるとともに、グルーブとして、深さの異なる第１のグルーブと第２の
グルーブとが隣り合うように形成されてなり、光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎ、第１の
グルーブの深さをｘ、第２のグルーブの深さをｙとした
ときに、ｘ×ｎ／λで表される第１のグルーブの位相深
さをＸ、ｙ×ｎ／λで表される第２のグルーブの位相深
さをＹとし、Ｋ，Ｌ，Ｍ，Ｎを任意の整数としたとき、第１のグルーブ及び第２のグルーブが、下記式（１）及
び式（２）、或いは、下記式（３）及び式（４）を満た
すように形成されていることを特徴とする光記録媒体。Ｙ≧0.5Ｍ＋1.9210−15.1875(Ｘ＋0.5Ｋ)＋38.7772(Ｘ＋0.5Ｋ)² −32.0372(Ｘ＋0.5Ｋ)³ ・・・（１）Ｙ≦0.5Ｍ−7891.9344＋136273.8897(Ｘ＋0.5Ｋ) −977584.9679(Ｘ＋0.5Ｋ)²＋3729402.0181(Ｘ＋0.5Ｋ)³ −7980032.8847(Ｘ＋0.5Ｋ)⁴＋9081208.5197(Ｘ＋0.5Ｋ)⁵ −4294055.2253(Ｘ＋0.5Ｋ)⁶ ・・・（２）Ｙ≧0.5Ｎ−13.7275−100.6913(Ｘ＋0.5Ｌ)＋283.6042(Ｘ＋0.5Ｌ)² −360.1805(Ｘ＋0.5Ｌ)³＋174.2959(Ｘ＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（３）Ｙ≦0.5Ｎ−1.4918＋16.3767(Ｘ＋0.5Ｌ)−57.3863(Ｘ＋0.5Ｌ)² ＋88.1002(Ｘ＋0.5Ｌ)³−49.8972(Ｘ＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（４）
【請求項２】上記第１のグルーブと上記第２のグルー
ブのうちの少なくとも一方は、少なくとも一部が蛇行す
るように形成されたウォブリンググルーブであることを
特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【請求項３】記録及び／又は再生に使用される対物レ
ンズの開口数をＮＡ、記録及び／又は再生時に照射され
る光の波長をλとしたときに、２×ＮＡ／λで表される
カットオフ周波数よりも、トラックピッチの空間周波数
が大きいことを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【請求項４】記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れ、光が照射されて記録及び／又は再生がなされる光記
録媒体であって、グルーブの部分と、グルーブとグルーブの間のランド部
分との両方に情報信号の記録がなされるとともに、グルーブとして、深さの異なる第１のグルーブと第２の
グルーブとが隣り合うように形成されてなり、この光記録媒体によって上記光が反射されてなる反射光
を、トラック中心に対して対称に配置された２つの光検
出器により検出したときに、一方の光検出器で検出される光量をＡ、他方の光検出器
で検出される光量をＢ、Ａ−Ｂで表される差信号の振幅
をＣ、Ａ＋Ｂで表される和信号の振幅をＤ、グルーブが
形成されていない鏡面部位における上記和信号の値をＭ
maxとすると、Ｃ／Ｍmaxで表される差信号振幅比が０．０６以上とな
り、Ｄ／Ｍmaxで表される和信号振幅比が０．１５以上とな
ることを特徴とする光記録媒体。
【請求項５】上記第１のグルーブと上記第２のグルー
ブのうちの少なくとも一方は、少なくとも一部が蛇行す
るように形成されたウォブリンググルーブであることを
特徴とする請求項４記載の光記録媒体。
【請求項６】記録及び／又は再生に使用される対物レ
ンズの開口数をＮＡ、記録及び／又は再生時に照射され
る光の波長をλとしたときに、２×ＮＡ／λで表される
カットオフ周波数よりも、トラックピッチの空間周波数
が大きいことを特徴とする請求項４記載の光記録媒体。
【請求項７】記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れ所定の波長λの光が照射されて記録及び／又は再生が
なされる光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒
体製造用原盤であって、上記グルーブに対応した凹凸パターンとして、第１のグ
ルーブパターンと第２のグルーブパターンとが隣り合う
ように形成されてなり、上記光記録媒体の光入射面からグルーブに至る媒質の屈
折率をｎ、第１のグルーブパターンの深さをｘ'、第２
のグルーブパターンの深さをｙ'としたときに、ｘ'×ｎ
／λで表される第１のグルーブパターンの位相深さを
Ｘ'、ｙ'×ｎ／λで表される第２のグルーブパターンの
位相深さをＹ'とし、Ｋ，Ｌ，Ｍ，Ｎを任意の整数とし
たとき、第１のグルーブパターン及び第２のグルーブパターン
は、下記式（５）及び式（６）、或いは、下記式（７）
及び式（８）を満たすように形成されてなり、上記光記録媒体は、グルーブの部分と、グルーブとグル
ーブの間のランド部分との両方に情報信号の記録がなさ
れる記録媒体であることを特徴とする光記録媒体製造用
原盤。Ｙ'≧0.5Ｍ＋1.9210−15.1875(Ｘ'＋0.5Ｋ)＋38.7772(Ｘ'＋0.5Ｋ)² −32.0372(Ｘ'＋0.5Ｋ)³ ・・・（５）Ｙ'≦0.5Ｍ−7891.9344＋136273.8897(Ｘ'＋0.5Ｋ) −977584.9679(Ｘ'＋0.5Ｋ)²＋3729402.0181(Ｘ'＋0.5Ｋ)³ −7980032.8847(Ｘ'＋0.5Ｋ)⁴＋9081208.5197(Ｘ'＋0.5Ｋ)⁵ −4294055.2253(Ｘ'＋0.5Ｋ)⁶ ・・・（６）Ｙ'≧0.5Ｎ−13.7275−100.6913(Ｘ'＋0.5Ｌ)＋283.6042(Ｘ'＋0.5Ｌ)² −360.1805(Ｘ'＋0.5Ｌ)³＋174.2959(Ｘ'＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（７）Ｙ'≦0.5Ｎ−1.4918＋16.3767(Ｘ'＋0.5Ｌ)−57.3863(Ｘ'＋0.5Ｌ)² ＋88.1002(Ｘ'＋0.5Ｌ)³−49.8972(Ｘ'＋0.5Ｌ)⁴ ・・・（８）
【請求項８】上記第１のグルーブパターンと上記第２
のグルーブパターンのうちの少なくとも一方は、少なく
とも一部が蛇行するように形成されるウォブリンググル
ーブに対応した凹凸パターンであることを特徴とする請
求項７記載の光記録媒体製造用原盤。
【請求項９】記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れた光記録媒体に対して、光を照射して記録及び／又は
再生を行う光記録再生装置であって、記録及び／又は再生の対象となる光記録媒体として、グ
ルーブの部分と、グルーブとグルーブの間のランド部分
との両方に情報信号の記録がなされるとともに、上記グ
ルーブとして、深さの異なる第１のグルーブと第２のグ
ルーブとが隣り合うように形成されてなる光記録媒体を
用いるとともに、上記光記録媒体のトラック中心に対して対称に配置され
た２つの光検出器を備え、記録及び／又は再生時に、上記光記録媒体によって上記
光が反射されてなる反射光を上記２つの光検出器により
検出したときに、一方の光検出器で検出される光量を
Ａ、他方の光検出器で検出される光量をＢとすると、光スポットを記録トラックに追従させるトラッキングサ
ーボを、Ａ＋Ｂで表される和信号を用いて行い、光スポットを所望する記録トラックに移動させるトラッ
クシークを、Ａ−Ｂで表される差信号を用いて行うこと
を特徴とする光記録再生装置。
【請求項１０】記録及び／又は再生の対象となる光記
録媒体として、上記第１のグルーブと上記第２のグルー
ブのうちの少なくとも一方が、少なくとも一部が蛇行す
るように形成されたウォブリンググルーブとされている
光記録媒体を用いることを特徴とする請求項９記載の光
記録再生装置。
【請求項１１】上記光を光記録媒体上に集光する対物
レンズを備え、上記対物レンズの開口数をＮＡ、上記光の波長をλとし
たときに、２×ＮＡ／λで表されるカットオフ周波数よ
りも、記録及び／又は再生の対象となる光記録媒体のト
ラックピッチの空間周波数が大きいことを特徴とする請
求項９記載の光記録再生装置。