JP3714331B2 - 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法 - Google Patents

光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法 Download PDF

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    • G11B7/0903Multi-beam tracking systems

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにそのような光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤に関する。また、この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体に対する記録および/または再生処理を行う記録再生装置および記録再生方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の記録可能なディスク状記録媒体として、MD(Mini Disc),CD(Compact Disc)−R(Recordable),CD−RW(ReWritable),DVD(Digital Versatile Disc またはDigital Video Disc)+RW(ReWritable),DVD−R(Recordable),DVD−RW(ReWritable)等が提案されている。これらのディスク状記録媒体のフォーマットでは、グルーブに記録するグルーブ記録フォーマットが採用されている。
【0003】
ISO(International Organization for Standardization)の光磁気(MO;Magneto Optica1)ディスクの各フォーマットではランド(グルーブとグルーブの間)に記録するランド記録フォーマットが提案されている。DVD−RAM(Digital Video Disc−Random Access Memory)等において、光ディスクの高密度化を実現する一つの方法として、グルーブとグルーブ間(ランド)の両方に記録することにより、トラック密度を従来の2倍にして高密度化を図る方式(ランド・グルーブ記録)が提案されている。ここで、グルーブとは、主にトラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラックに沿って形成された、いわゆる案内溝のことである。光ピックアップからからみて近い部分をグルーブと呼び、遠い部分をランドと呼ぶ。なお、グルーブとグルーブの間の部分は、ランドと称される。
【0004】
そして、図6に示すように、グルーブが形成されてなる光記録媒体では、通常、プッシュプル信号を用いることでトラッキングサーボがなされる。プッシュプル信号は、差信号のことで、光記録媒体に対して光ビームを照射し、光ビームが光記録媒体によって反射された光を、トラック中心に対して対称に配置した二つの光検出器A,Bによって検出し、これらの二つの光検出器A,Bからの出力の差(A−B)をとることによって得られる。
【0005】
また、光ビームが光記録媒体によって反射された光の反射光量は、これら二つの光検出器の和(A+B)として検出される。ここで、光ビームが光記録媒体によって光の反射光量を検出した信号、すなわち、二つの光検出器A,Bからの出力の和信号は、光ビームのスポットが移動した時にそのスポットが何本のトラックを跨いだかを検出するために使用される信号であり、一般的にクロストラック信号(CTS:Cross Track Signal)と称される。
【0006】
MDやCD−Rは、プッシュプル信号、CTS信号量が充分に得られるように、グルーブ幅/トラックピッチが1/3程度、または2/3程度に選定されている。すなわち、MDの場合では、グルーブ幅/トラックピッチ=1.1μm/1.6μm=69%とされ、CD−Rの場合では、グルーブ幅/トラックピッチ=0.5μm/1.6μm=31%とされている。
【0007】
さらに、線方向の記録密度を向上させる技術として、DWDD(Domain Wall Displacement Detection)が提案されている。これは、光磁気ディスクで使用される磁区拡大再生技術の一つである。例えば、下記の特許文献1には、DWDD方式についての技術が開示されている。
【0008】
【特許文献1】
特開平6−290496号公報
【0009】
図7は、上記の特許文献1に開示されている光磁気ディスクの一部断面を拡大して示す。参照符号71が基板を示し、参照符号72が誘電体層を示し、参照符号73が記録層を示し、参照符号74が誘電体層を示す。また、参照符号75がグルーブであり、参照符号76がランドである。
【0010】
記録層73は、第1の磁性層、第2の磁性層および第3の磁性層が順次積層されたものである。第1の磁性層が周囲温度近傍の温度において第3の磁性層に比して相対的に磁壁抗磁力が小さく磁壁移動度が大きな垂直磁化膜からなり、第2の磁性層は、第1の磁性層および第3の磁性層よりもキューリ温度が低い磁性層からなり、第3の磁性層が垂直磁化膜とされている。そして、データ信号の記録は、媒体を移動させながら、第3の磁性層がキューリ温度以上になるようなパワーレーザ光を照射しながら外部磁界を変調してなされる。
【0011】
また、下記の特許文献2、特許文献3では、ランド・グルーブ記録と同等な記録密度であり、二つのグルーブの深さを適切に変化させ、異なる深さの二つのグルーブを隣接するように配置し、カットオフ周波数を超えても充分なCTS信号振幅およびプッシュプル信号振幅を得られるプリフォーマットが提案されている。このプリフォーマットは、カットオフ周波数を超えたトラックピッチにおいて、安定したトラッキングサーボを実現している。このプリフォーマットでは、深いグルーブと浅いグルーブを隣接配置し、深いグルーブの間隔(または浅いグルーブの間隔)をトラックピリオド(1.0μm)とし、深いグルーブと浅いグルーブとの間隔をトラックピッチ(0.5μm)としている。深いグルーブに挟まれた浅いグルーブの両側の二つのランド(トラックA、トラックB)が記録領域である。したがって、このプリフォーマットでのトラック密度は、従来の2倍の高密度、すなわち、ランド・グルーブ記録の記録密度と同等である。
【0012】
【特許文献2】
特開平11−296910号公報
【0013】
【特許文献3】
特開2000−40259号公報
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち、ランド・グルーブ記録のトラック密度は、従来の2倍程度であり、上述したプリフォーマットにおいても記録領域は、浅いグルーブの両側の二つのランド(トラックA、トラックB)であり、ランド・グルーブ記録の記録密度と同等である。したがって、トラック密度を従来の2倍以上の高密度化とすることは困難であった。
【0015】
また、ランド・グルーブ記録は、グルーブ幅とランド幅が同程度である。グルーブ幅とランド幅が同程度であると、図6に示すように、プッシュプル信号は、最大で充分な信号量となるが、CTS信号の信号量が不十分となる。通常のディスク再生装置では、シーク動作のために、トラック本数を数える信号の信号量として6%から7%程度が必要とされ、トラッキングサーボのための検出信号として、14%程度の信号量が必要とされる。ここで、信号量は、グルーブ、ピットが形成されていない面(所謂ダミー面)で得られる信号を100%として定義されている。
【0016】
このように、CTS信号の信号量が不十分であると、目的のアドレスに高速に移動するシーク動作時に、横切ったトラックの本数をCTS信号から正確に検出することができず、CTS信号でシークすることが困難な問題があった。勿論、信号量が少ないCTS信号によってトラッキングサーボをかけることは不可能であった。
【0017】
また、これら必要な信号量のプッシュプル信号、CTS信号を得るためには、トラックピッチの空間周波数を再生装置の光ピックアップのカットオフ周波数の1/2〜2/3程度とする必要があった。ここで、カットオフ周波数とは、再生信号振幅がほぼ0となる周波数のことであり、データの再生に使用するレーザ光の波長をλとし、対物レンズの開口数をNAとしたときに、2NA/λで表されるものである。
【0018】
したがって、この発明の目的は、トラック密度の高密度化を実現し、且つグルーブ幅とランド幅が同程度であっても、プッシュプル信号およびCTS信号の信号量が充分に得られるようにした光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項1の発明は、
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、
グルーブとして、第1および第2のグルーブと、第1および第2のグルーブに比して浅い第3のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
第1および第2のグルーブと、第1のグルーブと第3のグルーブの間と第2のグルーブと第3のグルーブの間との二つのランドに対して信号を記録するようにしたことを特徴とする光記録媒体である。
【0020】
請求項6の発明は、
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤であって、
グルーブとして、第1および第2のグルーブと、第1および第2のグルーブに比して浅い第3のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
第1および第2のグルーブと、第1のグルーブと第3のグルーブの間と第2のグルーブと第3のグルーブの間との二つのランドに対して信号を記録するようにしたことを特徴とする光記録媒体製造用原盤である。
【0021】
請求項7の発明は、
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体の記録再生装置であって、
グルーブとして、第1および第2のグルーブと、第1および第2のグルーブに比して浅い第3のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
第1および第2のグルーブと、第1のグルーブと第3のグルーブの間と第2のグルーブと第3のグルーブの間との二つのランドに対して信号の記録または再生を行うことを特徴とする記録再生装置である。
【0022】
請求項10の発明は、
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体の記録再生方法であって、
グルーブとして、第1および第2のグルーブと、第1および第2のグルーブに比して浅い第3のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
第1および第2のグルーブと、第1のグルーブと第3のグルーブの間と第2のグルーブと第3のグルーブの間との二つのランドに対して信号の記録または再生を行うことを特徴とする記録再生方法である。
【0023】
この発明では、記録領域を第1および第2のグルーブと、第1および第2のランドの合計4トラックにすることにより、トラック密度を従来の4倍程度と格段に高密度化することが可能である。また、第1および第2のグルーブを深いグルーブとし、第3のグルーブを浅いグルーブとすることで、これらグルーブの深さを適切に設定することにより、プッシュプル信号量およびCTS信号量が充分得られ、安定したトラッキングサーボおよびシークが可能であり、さらに記録再生特性が良好である光記録媒体に最適なプリフォーマットを提供できる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。この発明を適用した光磁気ディスクについて、要部を拡大した断面図を図1に示す。図1Aは、光磁気ディスクの構成を示し、図1Bは、具体的な記録トラックの構成の一例を示す。図2は、光磁気ディスクの記録領域に関する図である。図2Aは、記録領域の一部を拡大した図であり、図2Bは、光検出器によるCTS信号の出力波形を示し、図2Cは、光検出器によるプッシュプル信号の出力波形を示す。
【0025】
図1Aにおける参照符号1が光磁気ディスクを示す。光磁気ディスク1は、円盤状に形成されてなり、磁気光学効果を利用してデータの記録再生が行われる。そして、この光磁気ディスク1は、ポリメチルメタクリレート(PMMA)やポリカーボネート(PC)等からなるディスク基板2の上に、光磁気記録がなされる記録層3と、当該記録層3を保護する保護層4とが形成されてなる。ここで、記録層3は、例えば、窒化珪素(Si34)等からなる第1の誘電体膜3aと、磁性膜3bと、窒化珪素(Si34)等からなる第2の誘電体膜3cと、Al−Ti合金等からなる反射膜3dとが積層されたものである。また、保護層4は、例えば、記録層3の上に紫外線硬化樹脂がスピンコートされ、紫外線を照射することで形成されている。磁性膜3bは、データ記録を行うために、第1の磁性層(TbFeCo)、第2の磁性層(GdFe)および第3の磁性層(GdFeCo)が順次積層されたものである。なお、この発明において、記録層3や保護層4の構成は任意であり、本例に限定されるものではない。
【0026】
この光磁気ディスク1は、記録領域の一部を拡大した図2Aに示すように、記録トラックに沿って渦巻き状にグルーブが形成され、光ピックアップ5により所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる。グルーブとして、第1のグルーブGv1、第2のグルーブGv2、および第3のグルーブGv3とが隣接配置するように形成されている。
【0027】
第1のグルーブGv1および第2のグルーブGv2は、深いグルーブであり、第3のグルーブGv3は、浅いグルーブである。以下、適宜第1のグルーブGv1および第2のグルーブGv2を深いグルーブと称し、第3のグルーブGv3を浅いグルーブと称する。そして、第1のグルーブGv1および第2のグルーブGv2の二つのグルーブと、第1のグルーブGv1と第3のグルーブGv3との間の第1のランドLd1、第2のグルーブGv2と第3のグルーブGv3との間の第2のランドLd2の二つのランドに信号を記録するようになされる。すなわち、この光磁気ディスク1では、第1のグルーブGv1、第2のグルーブGv2、および第1のランドLd1、第2のランドLd2の4本の記録トラックが渦巻き状に形成されている。なお、第1のグルーブGv1と第2のグルーブGv2の間をハーフグルーブhGvと称する。ハーフグルーブhGvは、例えば深いグルーブよりも深さを浅くすることで構成されている。
【0028】
4本の記録トラックは、ほぼ同じ幅で形成されている。図1Bに示す例では、第1のグルーブGv1および第2のグルーブGv2が140nmとされており、第1のランドLd1および第2のランドLd2が150nmとされている。すなわち、二つのランド(第1のランドLd1、第2のランドLd2)の幅と、深いグルーブ(第1のグルーブGv1、第2のグルーブGv2)のトップ幅(上幅)とがほぼ同じ幅で形成されている。このように、記録トラックの幅をほぼ同じにすることで、記録再生特性を良好にすることができる。
【0029】
また、図1Bに示す例では、4本の記録トラックの周期は、それぞれ例えば1200nmとされており、第3のグルーブGv3のボトム幅、すなわち第2のランドLd2と第1のランドLd1との間が例えば220nmとされ、二つの深いグルーブのボトムである第1のランドLd1と第2のランドLd2との間が例えば680nmとされている。また、第1のグルーブGv1のトップと第2のグルーブGv2のトップの間のハーフグルーブhGvの幅が例えば200nmとされている。
【0030】
深いグルーブと浅いグルーブの両方または一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブとされる。図1の例では、図2Aに示すように、深いグルーブである第1のグルーブGv1および第2のグルーブGv2がウォブルグルーブとされている。ウォブルの振幅は、例えば±15nmとされている。
【0031】
4本の記録トラックをこのように形成することで、光磁気ディスク1は、従来の4倍近いトラック密度とすることができる。
【0032】
図2Aに示すように、この発明が適用された光磁気ディスク1は、3個のビームによって再生される。センタービームが隣り合う2本の深いグルーブのいずれか一方の中心に位置し、二つのサイドビームが隣り合う2本の深いグルーブの両側に位置する浅いグルーブの中心とそれぞれ一致するようになされる。センタービームの反射光が4分割フォトディテクタ6によって検出され、サイドビームの反射光が2分割フォトディテクタ7aおよび7bによって検出される。
【0033】
図2Bに示すCTS信号は、4分割フォトディテクタ6の和信号(A+B+C+D)で求められる。このように求められたCTS信号は、トラック周期に等しい周期であり、充分な振幅を有し、隣り合う2本の深いグルーブ間(ハーフグルーブhGv)の中心位置で最大となり、浅いグルーブの中心位置で最小となる。
【0034】
和信号によってトラッキングサーボをかける場合では、サイドビーム7aおよび7bのそれぞれの和信号の差(E+F)−(G+H)からトラッキングエラーを求めるようになされる。図2Cに示すプッシュプル信号は、4分割フォトディテクタ6のトラック延長方向に対して両側に位置するそれぞれ二つの領域の検出信号の和(A+D)および(B+C)を求め、これらの和信号の差(A+D)−(B+C)によって求められる。このように求められたプッシュプル信号は、トラック周期に等しい周期であり、隣り合う2本の深いグルーブ間(ハーフグルーブhGv)の中心位置および浅いグルーブの中心位置で0となる。
【0035】
上述したように、データが記録されているのは、第1のグルーブGv1と第2のグルーブGv2、および第1のランドLd1と第2のランドLd2である。第1のグルーブGv1にシークする時は、例えば、プッシュプル信号が−75%で、CTS信号が右上がりで、中央値(平均値)より大である位置を探すようになされる。第2のグルーブGv2にシークする時は、例えば、プッシュプル信号が+75%、CTS信号が右下がりで、中央値(平均値)より大である位置を探すようになされる。
【0036】
また、第1のランドLd1にシークする時は、例えば、プッシュプル信号が+75%であり、CTS信号が右下がりで、中央値(平均値)より小である位置を探すようになされる。第2のランドLd2にシークする時は、例えば、プッシュプル信号が−75%であり、CTS信号が右上がりで、中央値(平均値)より小である位置を探すようになされる。
【0037】
上述した光磁気ディスク1を製造する際には、光磁気ディスク1の原盤となる光記録媒体製造用原盤を作製する必要があり、そのためにレーザカッティング装置が使用される。以下、光記録媒体製造用原盤の作製に使用されるレーザカッティング装置の一例について、図3を参照して詳細に説明する。
【0038】
ここで説明するレーザカッティング装置の一例は、光源から出射されたレーザ光をビームスプリッタとミラーによって、第1の露光ビーム(ウォブルした深いグルーブ形成用)と第2の露光ビーム(浅いウォブルしないグルーブ形成用)に分割し、第1の露光ビームをウォブルグルーブを形成するために偏光し、さらに偏光した第1の露光ビームをビームスプリッタとミラーによって、二つの露光ビーム(第1−▲1▼の露光ビームと第1−▲2▼の露光ビーム)に分割し、これら分割した三つの露光ビームを適切な間隔で半径方向に配置し、それぞれの露光パワーを適切に選定することによって、二つの深いグルーブと一つの浅いグルーブとが半径方向に交互に等間隔で配置された凹凸パターンを形成する。
【0039】
図3に示したレーザカッティング装置10は、ガラス基板11の上に塗布されたフォトレジスト12を露光して、当該フォトレジスト12に潜像を形成するためのものである。このレーザカッティング装置10でフォトレジスト12に潜像を形成する際、フォトレジスト12が塗布されたガラス基板11は、移動光学テーブル上に設けられた回転駆動装置に取り付けられる。そして、フォトレジスト12を露光する際、ガラス基板11は、フォトレジスト12の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学テーブルによって平行移動される。
【0040】
このレーザカッティング装置10は、レーザ光を出射する光源13と、光源13から出射されたレーザ光の光強度を調整するための電気光学変調器(EOM:E1ectro Optical Modulator)14と、電気光学変調器14から出射されたレーザ光の光軸上に配された検光子15と、検光子15を透過してきたレーザ光を反射光と透過光とに分割する第1のビームスプリッタBS1および第2のビームスプリッタBS2と、第2のビームスプリッタBS2を透過してきたレーザ光を検出するフォトディテクタ(PD:Photo Detector)16と、電気光学変調器14に対して信号電界を印加して電気光学変調器14から出射されるレーザ光強度を調整する光出力制御部(APC:Auto Power Controller)17とを備えている。
【0041】
光源13から出射されたレーザ光は、先ず、APC17から印加される信号電界によって駆動される電気光学変調器14によって所定の光強度とされた上で検光子15に入射される。ここで、検光子15は、S偏光だけを透過する検光子であり、この検光子15を透過してきたレーザ光は、S偏光となる。
【0042】
なお、光源13には、任意のものが使用可能であるが、短波長のレーザ光を出射するものが好ましい。具体的には、例えば、波長λが351nmのレーザ光を出射するKrレーザや、波長λが442nmのレーザ光を出射するHe−Cdレーザなどが、光源13として好適である。
【0043】
ビームスプリッタBS1およびBS2を透過したレーザ光は、フォトディテクタ16によって、その光強度が検出され、当該光強度に応じた信号がフォトディテクタ16からAPC17に送られる。そして、APC17は、フォトディテクタ16によって検出される光強度が所定のレベルにて一定となるように、電気光学変調器14に対して印加する信号電界を調整する。これにより、電気光学変調器14から出射するレーザ光の光強度が一定となるように、フィードバック制御がなされ、ノイズの少ない安定したレーザ光が得られる。
【0044】
光源13より出射されたレーザ光は、ビームスプリッタBS1で反射され、ビームスプリッタBS1の反射光は、変調光学系(図3ではOM1と示す)18に入射される。ビームリレー光学系とその間のAOM19をブラッグ条件をみたすように配置する。リレー光学系は、光源13から出射されたレーザ光を集光レンズL11を用いてAOM19に集光するように配置する。このAOM19に供給される超音波に基づいてレーザ光が強度変調される。AOM19に対しては、ドライバ20から駆動信号が供給される。
【0045】
この駆動信号は、グルーブを形成する場合には直流信号である。若し、ピットを形成する場合には、変調された信号が直流信号である。直流信号に応じて、レーザ光は、連続変調され、深いグルーブ形成用の露光ビームB1が形成される。
【0046】
AOM19によって強度変調されて発散したレーザ光は、レンズL12によって平行ビームとされる。そして、変調光学系18(OM1)から出射された露光ビームB1は、ミラーM1によって反射され、移動光学テーブル29上に水平且つ平行に導かれる。
【0047】
さらに、光源13より出射されたレーザ光は、ビームスプリッタBS2で反射され、ビームスプリッタBS2の反射光は、変調光学系(図3ではOM2と示す)21に入射される。ビームリレー光学系(レンズL21およびL22)とその間のAOM22をブラッグ条件をみたすように配置する。AOM22に供給される超音波に基づいてレーザ光が強度変調される。AOM22に対しては、ドライバ23から直流信号が供給される。直流信号のレベルに応じて、レーザ光は、連続変調され、浅いグルーブ形成用の露光ビームB2が形成される。AOM22によって強度変調されて発散したレーザ光は、レンズL22によって平行ビームとされ、ミラーM2で反射され、HWP(1/2波長板)を介して偏光ビームスプリッタPBSに入射される。
【0048】
ミラーM1で反射され、移動光学テーブル29上に水平に導かれたレーザ光(露光ビームB1)は、偏向光学系ODによって光学偏向が施された上でビームスプリッタBS3に入射され、第1の深いグルーブ形成用の露光ビームB1−▲1▼と第2の深いグルーブ形成用の露光ビームB1−▲2▼に分割される。露光ビームB1−▲1▼は、ミラーM3によって反射され、露光ビームB1−▲2▼は、ミラーM4によって反射されて進行方向が90°曲げられる。そして、分割されたこれら二つの露光ビーム(露光ビームB1−▲1▼、露光ビームB1−▲2▼)は、ビームスプリッタBS4によって再合成された上で、偏光ビームスプリッタPBSに入射される。
【0049】
偏向光学系ODは、深いグルーブのウォブルに対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施すためのものである。すなわち、偏向光学系ODに入射したレーザ光は、ウェッジプリズム25aを介して音響光学偏向器(AOD:Acousto Optical Deflector)24に入射され、この音響光学偏向器24によって、所望する露光パターンに対応するように光学偏向が施される。ここで、音響光学偏向器24に使用される音響光学素子としては、例えば、酸化テルル(TeO2)からなる音響光学素子が好適である。音響光学偏向器24によって光学偏向が施されたレーザ光は、ウェッジプリズム25bを介して偏向光学系ODから出射される。
【0050】
なお、ウェッジプリズム25a、25bは、音響光学偏向器24の音響光学素子の格子面に対してブラッグ条件を満たすようにレーザ光が入射するようにすると共に、音響光学偏向器24によってレーザ光に対して光学偏向を施し、ビーム水平高さを変えるためのものである。
【0051】
ここで、音響光学偏向器24には、音響光学偏向器24を駆動するための駆動用ドライバ26が接続されている。駆動用ドライバ26には、直流電圧と、電圧制御発振器(VCO:Voltage Controlled Oscillator)27からの高周波信号がアドレス情報を含む制御信号によりFM変調された信号とが供給される。そして、その信号に応じて駆動用ドライバ26によって音響光学偏向器24が駆動され、これにより、レーザ光に対して光学偏向が施される。
【0052】
具体的には、例えば、周波数84.672kHzをキャリアとしたFM変調信号にてグルーブをウォブルさせることにより、グルーブにアドレス情報が付加される。この場合では、音響光学偏向器24の位相格子を作り出すために例えば中心周波数が224MHzの高周波信号を周波数を84.672kHzをFM変調した信号に重畳した信号を、電圧制御発振器27から駆動用ドライバ26に供給する。
【0053】
そして、この信号に応じて、駆動用ドライバ26によって音響光学偏向器24を駆動し、音響光学偏向器24の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、その結果、フォトレジスト12上に集光されるレーザ光の光スポットの位置は、周波数84.672kHz、振幅±15nmにて、ガラス基板11の半径方向に振動される。
【0054】
そして、このような偏向光学系ODによって、ウォブルグルーブのウォブルに対応するように光学偏向が施されたレーザ光がビームスプリッタBS3で露光ビームB1−▲1▼、露光ビームB1−▲2▼の二つに分割され、ミラーM3、ミラーM4、ビームスプリッタBS4によって再合成された上で、偏光ビームスプリッタPBSに入射される。
【0055】
ここで、偏光ビームスプリッタPBSは、S偏光を反射し、P偏光を透過するようになされている。そして、変調光学系ODによってウォブルするように光学偏光が施された露光ビームB1−▲1▼、露光ビームB1−▲2▼は、S偏光であり、HWPを介して偏光ビームスプリッタPBSに入射される露光ビームB2は、P偏光である。したがって、露光ビームB1−▲1▼、露光ビームB1−▲2▼は、当該偏光ビームスプリッタPBSによって反射され、露光ビームB2は、当該偏光ビームスプリッタPBSを透過する。これにより、露光ビームB1−▲1▼、露光ビームB1−▲2▼と露光ビームB2とは、進行方向が同一方向となるように再合成される。
【0056】
進行方向が同一方向となるように再合成されて偏光ビームスプリッタPBSから出射された露光ビームB1−▲1▼、露光ビームB1−▲2▼、露光ビームB2は、拡大レンズL3によって所定のビーム径とされた上でミラーM5によって反射されて対物レンズ28へと導かれ、対物レンズ28によってフォトレジスト12上に集光される。なお、進行方向が同一方向となるように再合成されて偏光ビームスプリッタPBSから出射される露光ビームB1−▲1▼、露光ビームB1−▲2▼、露光ビームB2は、偏光ビームスプリッタPBS、ビームスプリッタBS4の角度を変えることにより、フォトレジスト12上の半径方向の適切な間隔に照射することができる。そして、レーザ光の強度が異なるように調整可能とすることにより、三つのレーザ光による適切な間隔に配置された記録領域の形成が可能となる。
【0057】
フォトレジスト12がこれら三つのレーザ光によって露光され、フォトレジスト12に潜像が形成される。このとき、フォトレジスト12が塗布されているガラス基板11は、フォトレジスト12の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学テーブルによってレーザ光が径方向に移動される。この結果、レーザ光の照射軌跡に応じた潜像がフォトレジスト12の全面にわたって形成されることになる。
【0058】
なお、レーザ光をフォトレジスト12の上に集光するための対物レンズ28は、より微細なグルーブパターンを形成できるようにするために、開口数NAが大きい方が好ましく、具体的には、開口数NAが0.9程度の対物レンズが好適である。
【0059】
一例として、変調光学系18および21の集光レンズL11およびL21の焦点距離を80mm、コリメートレンズL12およびL22の焦点距離を120mm、拡大レンズL3の焦点距離を50mmとそれぞれ設定される。この場合、二つの深いグルーブに関して、レーザパワーが0.35mj/mと選定され、浅いグルーブに関して、レーザパワーが0.15mj/mと選定される。深いグルーブの場合では、フォトレジスト12を貫通するように露光するので、深いグルーブの深さ変化がフォトレジスト12の厚さ変化で得られる。一方、浅いグルーブの場合では、フォトレジスト12を貫通しないので、浅いグルーブの深さ変化は、レーザパワーの変化で得られる。この点を考慮して、二つのグルーブの深さが適切なものに設定される。
【0060】
次に、図1に示した光磁気ディスク1の製造方法について、具体的な一例を挙げて詳細に説明する。光磁気ディスク1の製造では、原盤工程において、先ず、光記録媒体製造用原盤の基となるガラス原盤の製造を行う。ガラス原盤の製造は、先ず、表面を研磨した円盤状のガラス基板11を洗浄し乾燥させ、その後、このガラス基板11上に感光材料であるフォトレジスト12を塗布する。次に、上述したレーザカッティング装置10によって、フォトレジスト12を露光し、3種類のグルーブに対応した潜像をフォトレジスト12に形成する。
【0061】
フォトレジスト12に潜像を形成した後、フォトレジスト12が塗布されている面が上面となるように、ガラス基板11を現像機のターンテーブル上に載置する。そして、当該ターンテーブルを回転させることによりガラス基板11を回転させながら、フォトレジスト12上に現像液を滴下して現像処理を施して、ガラス基板11上に二つの深いグルーブと浅いグルーブにそれぞれ対応した凹凸パターンを形成する。
【0062】
次に、凹凸パターン上に無電界メッキ法によりニッケル等からなる導電化膜を形成し、その後、導電化膜が形成されたガラス基板11を電鋳装置に取り付け、電気メッキ法により導電化膜上に300±5〔μm〕程度の厚さになるようにニッケルメッキ層を形成する。その後、このメッキ層を剥離し、剥離したメッキをアセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写された面に残存しているフォトレジスト12を除去する。
【0063】
以上の工程により、ガラス基板11上に形成されていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる光記録媒体製造用原盤、すなわち、深いグルーブおよび浅いグルーブにそれぞれ対応した凹凸パターンが形成された光記録媒体製造用原盤(いわゆるスタンパ)が完成する。
【0064】
次に、転写工程として、フォトポリマー法(photo polymerization法、いわゆる2P法)を用いて、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板を作製する。具体的には、先ず、光記録媒体製造用原盤の凹凸パターンが形成された面上にフォトポリマーを平滑に塗布してフォトポリマー層を形成し、次に、当該フォトポリマー層に泡やゴミが入らないようにしながら、フォトポリマー層上にベースプレートを密着させる。ここで、ベースプレートには、例えば、1.2mm厚のポリメチルメタクリレート(屈折率1.49)からなるベースプレートを使用する。
【0065】
その後、紫外線を照射してフォトポリマーを硬化させ、その後、光記録媒体製造用原盤を剥離することにより、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板2を作製する。
【0066】
なお、ここでは、光記録媒体製造用原盤に形成された凹凸パターンがより正確にディスク基板2に転写されるように、2P法を用いてディスク基板2を作製する例を挙げたが、ディスク基板2を量産するような場合には、ポリメチルメタクリレートやポリカーボネート等の透明樹脂を用いて射出成形によってディスク基板2を作製するようにしても良いことは言うまでもない。
【0067】
次に、成膜工程として、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板2上に記録層3および保護層4を形成する。具体的には例えば、先ず、ディスク基板2の凹凸パターンが形成された面上に、スパッタリング装置等を用いて、窒化シリコン(Si34)等からなる第1の誘電体膜3a、テルビウム鉄コバルト(TbFeCo)等からなる光磁気記録層である磁性層3b、窒化シリコン(Si34)等からなる第2の誘電体膜3c、アルミニウム合金(例えばAl−Ti)等からなる光反射膜3dの順に成膜する。
【0068】
その結果、第1の誘電体膜3a、磁性層3b、第2の誘電体膜3cおよび光反射膜3dからなる記録層3が形成される。その後、記録層3上に基板の全体をほぼ覆うように、紫外線硬化樹脂がスピンコート法等により平滑に塗布され、紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させることにより、保護層4が形成される。以上の工程により、光磁気ディスク1が完成する。
【0069】
つぎに、上述のような製造方法(2P法)、または射出成形によって評価用光磁気ディスクを複数作製し、それらの評価を行った結果について説明する。評価作業は、(波長λ=650nm、NA=0.52)の光ピックアップを備えるMD評価機を用いてなされる。
【0070】
評価作業では、ランドLd1、ランドLd2の二つのランド幅と、グルーブGv1、グルーブGv2の二つの深いグルーブ上幅とが同程度であっても、グルーブとして深いグルーブと浅いグルーブとを設けると共に、深いグルーブと浅いグルーブの深さを適切に選ぶことによって、プッシュプル信号またはCTS信号でトラッキングサーボをかけることが可能かを評価する。この実施の形態のような光磁気ディスクにおいて、4本の記録トラックの記録再生特性、ウォブルグルーブのウォブル再生特性を評価する。
【0071】
グルーブ上幅とランド幅が同じである場合において、深いグルーブの深さと、浅いグルーブの深さとに対して、トラッキングサーボをかけることができる信号量(例えば14%近傍以上)のプッシュプル信号またはCTS信号が得られるかどうかを評価した。表1から表6までの評価値は、図1に示した構造の評価ディスクに関するものである。
【0072】
また、表中、λ/xnは、グルーブの深さを表しており、λがレーザ光の波長例えば650nmであり、nが光入射面からグルーブに至るディスク基板の屈折率例えば1.58を示し、xが係数を示す。xの値が変化される。xの値によって、グルーブの深さ(nm)が規定される。例えばx=8の場合では、650nm/(8×1.58)=650nm/12.64≒51nmとなる。なお、ここでは、深いグルーブの係数xと浅いグルーブの係数yを、ともにグルーブの深さ係数xとしている。
【0073】
下記の表1は、二つの深いグルーブの係数xの値をx=2.9、すなわちグルーブ深さを142nm(小数点以下、四捨五入)とし、浅いグルーブの係数xの値をx=16としたときの、二つの深いグルーブの間(ハーフグルーブhGv)の深さを変化させた場合のプッシュプル信号とCTS信号の振幅変化を示している。評価ディスクとしては、浅いグルーブ、ハーフグルーブhGvの各深さに対応して1枚ずつの評価ディスクを製造する。または、1枚のディスク上で浅いグルーブ、ハーフグルーブhGvの深さが順に変化する評価ディスクを製造する。
【0074】
【表1】
【0075】
下記の表2は、二つの深いグルーブの係数xの値をx=2.7、すなわちグルーブ深さを152nm(小数点以下、四捨五入)とし、浅いグルーブの係数xの値をx=16、x=8、x=6としたときの、ハーフグルーブhGvの深さを変化させた場合のそれぞれのプッシュプル信号とCTS信号の振幅変化を示している。
【0076】
【表2】
【0077】
下記の表3は、二つの深いグルーブの係数xの値をx=2.5、すなわちグルーブ深さを165nm(小数点以下、四捨五入)とし、浅いグルーブの係数xの値をx=16、x=6、x=3.5としたときの、ハーフグルーブhGvの深さを変化させた場合のプッシュプル信号とCTS信号の振幅変化を示している。
【0078】
【表3】
【0079】
下記の表4は、二つの深いグルーブの係数の値xをx=2.3、すなわちグルーブ深さを179nm(小数点以下、四捨五入)とし、浅いグルーブの係数xの値をx=16、x=8、x=6、x=4、x=3.2、x=3としたときの、ハーフグルーブhGvの深さを変化させた場合のプッシュプル信号とCTS信号の振幅変化を示している。
【0080】
【表4】
【0081】
下記の表5は、二つの深いグルーブの係数の値xをx=2.1、すなわちグルーブ深さを196nm(小数点以下、四捨五入)とし、浅いグルーブの係数xの値をx=16、x=8、x=4、x=3.7としたときの、ハーフグルーブhGvの深さを変化させた場合のプッシュプル信号とCTS信号の振幅変化を示している。
【0082】
【表5】
【0083】
下記の表6は、二つの深いグルーブの係数の値xをx=2、すなわちグルーブ深さを206nm(小数点以下、四捨五入)とし、浅いグルーブの係数xの値をx=6、x=5としたときの、ハーフグルーブhGvの深さを変化させた場合のプッシュプル信号とCTS信号の振幅変化を示している。
【0084】
【表6】
【0085】
これらの表1から表6において、太線で囲んで示す範囲は、その範囲に対応する深いグルーブと浅いグルーブの深さにおいて、プッシュプル信号またはCTS信号の信号量(絶対値)が約14%以上であり、安定したトラッキングサーボが可能であった。
【0086】
図4は、プッシュプル信号の信号量が14%程度以上(太線の範囲)となる浅いグルーブと深いグルーブの位相深さの関係を示した図である。図4における縦軸は、浅いグルーブの位相深さYを示し、横軸は、深いグルーブの位相深さXを示す。例えば、点aの座標(Xa,Ya)におけるXaは、表2に示す深いグルーブの係数xの逆数、すなわち、「1/2.7」により、0.370…と求められ、Yaは、表2に示す浅いグルーブ(上限値)の係数xの逆数、すなわち、「1/6」により、0.166…と求められる。また例えば、点gの座標(Xg,Yg)におけるXgは、表2に示す深いグルーブの係数xの逆数、すなわち、「1/2.7」により、0.370…と求められ、Ygは、表2に示す浅いグルーブ(下限値)の係数xの逆数、すなわち、「1/16」により、0.0625と求められる。
【0087】
したがって、図4中の点a〜点eは、プッシュプル信号量が14%程度以上となるグルーブ深さの上限値であり、点f〜点kは、プッシュプル信号量が14%程度以上となるグルーブ深さの下限値である。すなわち、点a〜点kに囲まれた領域内であれば、プッシュプル信号の信号量が14%程度以上であり、安定したトラッキングサーボが可能であることがわかった。
【0088】
ここで、点a〜点eを結ぶ近似曲線L1は、下記の式(3)で表され、点f〜点kを結ぶ近似曲線L2は、下記の式(4)で表された。
【0089】
Y= -55081.936X5 +117717.139X4 -100176.653X3 +42397.950X2 -8916.164X +744.865 ・・・(3)
Y= 33350.000X5 -67572.804X4 +54585.538X3 -21975.309X2 +4409.171X -352.671 ・・・(4)
【0090】
したがって、点a〜点kで囲まれた領域は、下記の式(5)および式(6)を満たす領域として、近似的に表すことができる。
【0091】
Y ≦ -55081.936X5 +117717.139X4 -100176.653X3 +42397.950X2 -8916.164X +744.865 ・・・(5)
Y ≧ 33350.000X5 -67572.804X4 +54585.538X3 -21975.309X2 +4409.171X -352.671 ・・・(6)
【0092】
すなわち、浅いグルーブの位相深さと深いグルーブの位相深さとを、上式(5)および式(6)を満たすように形成すれば、プッシュプル信号の信号量が14%程度以上となり、安定したトラッキングサーボが可能となる。
【0093】
さらに、記録再生特性が良好であるかを評価するため、プッシュプル信号の信号量が14%程度以上となる適切な深さにおける二つの深いグルーブと、第1のランドLd1および第2のランドLd2の4本の記録トラックすべての記録領域において、光磁気の記録再生を行った。そのときのジッタ値は、10%程度であり、良好な記録再生特性を得られることがわかった。
【0094】
さらに、ウォブル振幅±15nmの深い(ウォブル)グルーブ、ウォブルしていない浅い(DC)グルーブのすべての部分において、ウォブル信号の再生が可能であった。
【0095】
また、レーザ光の波長λが650nmであり、対物レンズの開口数NAが0.52であることから、光ピックアップのカットオフ周波数2NA/λは、1600(本数/mm)である。一方、評価用光ディスクは、第1のグルーブGv1と第2のグルーブGv2との間隔をトラックピッチとすると、トラックピッチは340nmとなるため、その空間周波数は、およそ2941(本数/mm)となる。したがって、光ピックアップのカットオフ周波数よりも高い空間周波数となるトラックピッチの光ディスクにおいても、十分なレベルのプッシュプル信号、CTS信号を得られ、安定したトラッキングサーボ、シークが可能であることがわかる。
【0096】
図5は、上述した光磁気ディスクを使用する記録再生装置の構成例を示す。図5において、参照符号51が上述したように、二つの深いウォブルグルーブと浅いグルーブとが交互に形成された光磁気ディスクである。入力端子52には、記録するデータが供給される。データ変調器53は、入力データに対してディジタル変調を施す。例えばRLL(1,7)によって入力データが変調される。RLL(1,7)では、最短マーク長が2Tで最長マーク長が8Tである。
【0097】
データ変調器53の出力データが記録ヘッド駆動部54に供給される。記録ヘッド駆動部54は、記録/再生部55に含まれる記録ヘッドに変調データを供給する。記録/再生部55には、光ピックアップが含まれている。記録時では、記録用のレーザ光を光ピックアップが光磁気ディスク51に対して照射し、データを記録する。
【0098】
また、光ピックアップは、光磁気ディスク51からの反射光からトラッキングエラー信号、フォーカスエラー信号およびアドレス情報を含むウォブル信号を生成する。トラッキングエラー信号は、プッシュプル信号またはCTS信号から形成される。記録/再生部55からのトラッキングエラー信号およびフォーカスエラー信号は、サーボ部56に対して出力される。サーボ部56は、記録/再生部55内の光ピックアップのトラッキングおよびフォーカスを制御する制御信号、光磁気ディスク31の回転を制御する制御信号、並びに光ピックアップのディスク径方向の移動を制御する制御信号を生成する。
【0099】
ウォブル信号は、ウォブル信号検出部57に出力される。ウォブル信号検出部57は、ウォブル信号からアドレス情報を復調し、アドレス情報をアドレスデコーダ58に対して出力する。さらに、ウォブル信号検出部57は、ウォブル信号から正弦波のキャリア信号を抽出し、サーボ部56に対して抽出したキャリア信号を供給する。
【0100】
アドレスデコーダ58は、ウォブル信号検出部57から供給されるアドレス情報信号からアドレスを算出し、そのアドレスをシステムコントローラ59に対して出力する。システムコントローラ59は、アドレスデコーダ58から供給されるアドレス情報にしたがって、所定の制御信号をサーボ部56に出力すると共に、入力装置60から所定の操作に対応する信号が供給されると、その操作に応じた制御信号をサーボ部56に出力し、記録/再生部55を制御するようになされている。
【0101】
光磁気ディスク51の光ピックアップによって読み出され、記録/再生部55における処理によって得られた再生データがデータ復調器61に供給される。データ復調器61では、記録時に施されたディジタル変調例えばRLL(1,7)の復調処理がなされる。データ復調器61の出力端子62に対して再生データが取り出される。
【0102】
以上説明した一実施形態による光磁気ディスク1では、トラック密度を従来の4倍程度と格段に高密度化することができ、安定したトラッキングサーボおよびシークが行え、二つの深いグルーブおよび二つのランドによる合計4本の記録トラックの記録再生特性が良好であり、ウォブル再生特性も良好である。また、レーザカッティング装置10は、上述した光磁気ディスク1の作成に用いることができ、図5を参照して説明した記録再生装置では、上述した光磁気ディスク1の記録または再生が可能である。
【0103】
この発明は、上述したこの発明の一実施形態に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにその製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能であり、この発明の対象となる光記録媒体は、例えば、再生専用の光記録媒体、繰り返しデータの書き換えが可能な光記録媒体、或いはデータの追記は可能だか消去はできないような光記録媒体のいずれでもよい。
【0104】
また、データの記録方法も特に限定されるものではなく、この発明の対象となる光記録媒体は、例えば、予めデータが書き込まれている再生専用の光記録媒体、磁気光学効果を利用してデータの記録再生を行う光磁気記録媒体、或いは記録層の相変化を利用してデータの記録再生を行う相変化型光記録媒体などのいずれでもよい。
【0105】
また、この発明は、記録領域の少なくとも一部にグルーブが形成されている光記録媒体、並びにその製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能である。すなわち、例えば、記録領域全体にグルーブが形成されていてもよいし、或いは、グルーブが形成されることなくエンボスピットによってデータが記録されているような領域が記録領域内に存在していてもよい。
【0106】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、この発明によれば、記録領域を第1および第2のグルーブと第1および第2のランドの合計4トラックにすることにより、トラック密度の高密度化を実現することができる。また、第1および第2のグルーブを深いグルーブとし、第3のグルーブを浅いグルーブとすることで、これらグルーブの深さを適切に設定することにより、プッシュプル信号およびCTS信号の信号量が充分得られ、安定したトラッキングサーボおよびシークが可能であり、記録再生特性が良好な光記録媒体、およびそのような光記録媒体を製造することができる光記録媒体製造用原盤、ならびにそのような光記録媒体に対して記録再生を行う記録再生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明を適用した光磁気ディスクの一例について、その要部を拡大して示す断面図である。
【図2】この発明を適用した光磁気ディスクの記録領域の一部とCTS信号の波形とプッシュプル信号の波形を示す略線図である。
【図3】この発明に係る記録媒体および記録媒体製造用原盤を作成する際に使用されるレーザカッティング装置の一例について、その光学系の概要を示す略線図である。
【図4】プッシュプル信号量が14%程度以上となるときの、深いグルーブの深さと浅いグルーブの深さとの関係を示す略線図である。
【図5】この発明を適用した光磁気ディスクに対して記録再生を行う記録再生装置の一例のブロック図である。
【図6】従来の光磁気ディスクの記録領域の一部とCTS信号の波形とプッシュプル信号の波形を示す略線図である。
【図7】DWDD超解像度光磁気ディスクの説明に用いる一部断面図である。
【符号の説明】
1・・・光磁気ディスク、2・・・ディスク基板、3・・・記録層、4・・・保護層、10・・・レーザカッティング装置、11・・・ガラス基板、12・・・フォトレジスト、13・・・光源、14・・・電気光学変調器、18,21・・・変調光学系、24・・・音響光学偏光器(AOD)、27・・・電圧制御発振器、28・・・対物レンズ、L3・・・拡大レンズ、Gv1・・・第1のグルーブ、Gv2・・・第2のグルーブ、Gv3・・・第3のグルーブ、Ld1・・・第1のランド、Ld2・・・第2のランド、Ld3・・・第3のランド、hGv・・・ハーフグルーブ

Claims (12)

  1. 記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、
    上記グルーブとして、第1および第2のグルーブと、上記第1および第2のグルーブに比して浅い第3のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
    上記第1および第2のグルーブと、上記第1のグルーブと上記第3のグルーブの間と上記第2のグルーブと上記第3のグルーブの間との二つのランドに対して信号を記録するようにしたことを特徴とする光記録媒体。
  2. 請求項1において、
    上記第1および第2のグルーブと上記第3のグルーブの少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブであることを特徴とする光記録媒体。
  3. 請求項1において、
    記録およびまたは再生に用いられる対物レンズの開口数をNA、光の波長をλとした場合に、2×NA/λで表されるカットオフ周波数よりも、トラックピッチの空間周波数が高いことを特徴とする光記録媒体。
  4. 請求項1において、
    上記二つのランドのそれぞれの幅と上記第1および第2のグルーブのトップの幅とがほぼ同じであることを特徴とする光記録媒体。
  5. 請求項1において、
    光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をnとし、第1および第2のグルーブの深さをxとし、x×n/λを第1および第2のグルーブの位相深さXとし、第3のグルーブの深さ係数をyとし、y×n/λを第3のグルーブの位相深さYとしたときに、上記第1および第2のグルーブの深さxと上記第3のグルーブの深さ係数yとが以下の式(1)および(2)を満たすことを特徴とする光記録媒体。
    Y ≦ -55081.936X5 +117717.139X4 -100176.653X3 +42397.950X2 -8916.164X +744.865 ・・・(1)
    Y ≧ 33350.000X5 -67572.804X4 +54585.538X3 -21975.309X2 +4409.171X -352.671 ・・・(2)
  6. 記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤であって、
    上記グルーブとして、第1および第2のグルーブと、上記第1および第2のグルーブに比して浅い第3のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
    上記第1および第2のグルーブと、上記第1のグルーブと上記第3のグルーブの間と上記第2のグルーブと上記第3のグルーブの間との二つのランドに対して信号を記録するようにしたことを特徴とする光記録媒体製造用原盤。
  7. 記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体の記録再生装置であって、
    上記グルーブとして、第1および第2のグルーブと、上記第1および第2のグルーブに比して浅い第3のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
    上記第1および第2のグルーブと、上記第1のグルーブと上記第3のグルーブの間と上記第2のグルーブと上記第3のグルーブの間との二つのランドに対して信号の記録または再生を行うことを特徴とする記録再生装置。
  8. 請求項7において、
    上記第1および第2のグルーブと上記第3のグルーブの少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブであり、
    上記ウォブルグルーブからウォブル信号を再生することを特徴とする記録再生装置。
  9. 請求項7において、
    プッシュプル信号でトラッキングサーボを行うことを特徴とする記録再生装置。
  10. 記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体の記録再生方法であって、
    上記グルーブとして、第1および第2のグルーブと、上記第1および第2のグルーブに比して浅い第3のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
    上記第1および第2のグルーブと、上記第1のグルーブと上記第3のグルーブの間と上記第2のグルーブと上記第3のグルーブの間との二つのランドに対して信号の記録または再生を行うことを特徴とする記録再生方法。
  11. 請求項10において、
    上記第1のグルーブおよび上記第2のグルーブの少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブであり、
    上記ウォブルグルーブからウォブル信号を再生することを特徴とする記録再生方法。
  12. 請求項10において、
    プッシュプル信号でトラッキングサーボを行うことを特徴とする記録再生方法。
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