JP2002352477A - 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び記録再生方法 - Google Patents

光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び記録再生方法

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JP2002352477A
JP2002352477A JP2001155651A JP2001155651A JP2002352477A JP 2002352477 A JP2002352477 A JP 2002352477A JP 2001155651 A JP2001155651 A JP 2001155651A JP 2001155651 A JP2001155651 A JP 2001155651A JP 2002352477 A JP2002352477 A JP 2002352477A
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recording medium
optical recording
light
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Somei Endo
惣銘 遠藤
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Sony Corp
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  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 超解像プリフォーマットを用いる光記録媒体
とその製造用原盤において、良好な記録再生特性を得る
と共に、装置の複雑化を回避する。 【解決手段】 第1のグルーブと第2のグルーブとを交
互に配列し、光記録媒体の光入射面から第1のグルーブ
に至る媒質の屈折率をnx とし、第1のグルーブの深さ
をxとしたときに、x×nx /λで表される第1のグル
ーブの位相深さをXとし、光入射面から第2のグルーブ
に至る媒質の屈折率をny とし、第2のグルーブの深さ
をyとしたときに、y×ny /λで表される第2のグル
ーブの位相深さをYとしたときに、第1及び第2のグル
ーブを、下記式を満たすように形成すると共に、グルー
ブに挟まれた平坦面より成るランド部を、データ情報が
記録されて成る情報面として構成する。X≧0.395
0−0.831Y+2.932Y2 ・・・(1) Y≧2.010−9.661X+11.77X2 ・・
・(2) Y≦0.8480−2.450X+1.880X2 ・・
・(3)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録トラックに沿
ってグルーブが形成され、所定の波長の光が照射されて
記録及び/又は再生がなされる光記録媒体と光記録媒体
製造用原盤及び光記録媒体を用いた記録再生方法に係わ
る。
【0002】
【従来の技術】光記録媒体として、円盤状に形成されて
成り、光学的に記録及び/又は再生が行われる光ディス
クが各種実用化されている。このような光ディスクに
は、データに対応したエンボスピットがディスク基板に
予め形成されて成る再生専用光ディスクや、磁気光学効
果を利用してデータの記録を行う光磁気ディスクや、記
録膜の相変化を利用してデータの記録を行う相変化型光
ディスクなどがある。
【0003】これら光ディスクのうち、光磁気ディスク
や相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光ディ
スクでは、通常、記録トラックに沿ったグルーブがディ
スク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主にト
ラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラ
ックに沿って形成される、いわゆる案内溝であり、グル
ーブとグルーブの開口端間をランドと称す。
【0004】そしてグルーブが形成されて成る光ディス
クでは、通常、グルーブで反射回折された光から得られ
るプッシュプル信号に基づくトラッキングエラー信号に
よって、トラッキングサーボがなされる。ここで、プッ
シュプル信号は、グルーブで反射回折された光を、トラ
ック中心に対して対称に配置された2つの光検出器によ
り検出し、それら2つの光検出器からの出力の差をとる
ことにより得られる。
【0005】ところで、従来、これらの光ディスクで
は、再生装置に搭載される光ピックアップの再生分解能
を向上させることで、高記録密度化を達成してきた。そ
して、光ピックアップの再生分解能の向上は、主に、デ
ータの再生に使用するレーザ光の波λを短くしたり、光
ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数N
Aを大きくしたりすることにより、光学的に実現させて
きた。
【0006】従来、CD(Compact Disc)の追記型のい
わゆるCD−Rや光磁気(MO;Magneto Optical)ディ
スクの追記型のいわゆるWORM(Write Once Read Ma
ny)、DVD(Digital Versatile Disc)の追記型のD
VD−R、又はDVDの書換え可能型のいわゆるDVD
+RW或いはDVD−RW(いずれも光ディスクの登録
商標)の各フォーマットでは、グルーブに記録するグル
ーブ記録フォーマットが提案されている。ISO系の光
磁気ディスクの各フォーマットでは、ランドに記録する
ランド記録フォーマットが提案されている。
【0007】一方DVD−RAM(Random Access Memo
ry)等においては、光ディスクの高密度化を実現する一
つの方法として、グルーブとランドとの両方に記録する
ことにより、トラック密度を従来の2倍にして高密度化
をはかる、いわゆるランドグルーブ記録方式が提案され
ている。
【0008】また近年、次世代光ディスクとして開発が
進められているDVR(Digital Video Recordable)
や、MDが小径化されたいわゆるμ(マイクロ)−Disc
等の高密度光ディスクでは、ランドグルーブ記録方式が
採られ、図4にその一例を模式的に示すように、グルー
ブ17が、隣接するグルーブ17に同期してウォブルし
ているフォーマットが提案されている。16はランドを
示す。このウォブル信号は、クロックを発生させて同期
信号等に使われる。データ情報は、ランド16上と、グ
ルーブ17上に記録されることから、従来の2倍の記録
密度を達成することができる。
【0009】しかしながら、DVD−RAM等において
ランドグルーブ記録を行う場合、ランド上の記録とグル
ーブ上の記録において、記録再生時にフォーカス点をそ
れぞれ調節しないと最適な記録再生特性が得られないこ
とから、光学系の複雑化を招くという欠点があった。
【0010】また、"ISOM 2000 Simulation Of Heat Ge
neration And Conduction On Land/Groove Disc"におい
て、ランド上の記録とグルーブ上の記録とにおいて、記
録ビーム形状が異なる報告があることからも明らかなよ
うに、ランド記録再生特性とグルーブ記録再生特性とを
均一化することは困難であり、同一の光記録媒体におい
て、記録再生特性の異なる領域が存在するという問題が
ある。
【0011】更にまた、DVR等の高密度光ディスクに
おいて、読み取り面に近い方、即ちDVRの場合はラン
ド上の記録再生特性は良好であるが、読み取り面から遠
い方、即ちDVRの場合グルーブでの記録再生特性を良
好の保持することは困難な結果を得ている。
【0012】DVD−ROMディスク等においては、こ
のようなランドグルーブ記録方式のフォーマットで信号
を直接記録することは現状では可能であるが、ランド上
の記録とグルーブ上の記録とで記録再生特性を良好で且
つ均一にすることが望まれている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】これに対し本出願人
は、特開平11−296910号公報において、2種類
の深さをもつグルーブを並置配列して、これらグルーブ
の各深さを適切に選定することによって、カットオフ周
波数を越えて高密度でグルーブを配置しても、充分なク
ロストラック信号(CTS)振幅比及びプッシュプル信
号振幅比が得られ、確実なシーク、トラッキングサーボ
を実現することのできる超解像プリフォーマットを提案
した。
【0014】以下その概略を説明する。この光記録媒体
の構成は、例えば図5にその一例を模式的に示すよう
に、比較的深い第1のグルーブ7と、比較的浅い第2の
グルーブ8とが並置配列される。
【0015】そしてこの場合、光記録媒体の光入射面か
ら第1のグルーブ7に至る媒質の屈折率をnx とし、こ
の第1のグルーブ7の深さをxとしたときに、x×nx
/λで表される第1のグルーブ7の位相深さをXとし、
光入射面から第2のグルーブ8に至る媒質の屈折率をn
y とし、この第2のグルーブ8の深さをyとしたとき
に、y×ny /λで表される第2のグルーブ8の位相深
さをYとしたときに、各グルーブ7及び8は、下記式
(1)、式(2)及び式(3)を満たすように形成され
る。
【0016】 X≧0.3950−0.831Y+2.932Y2 ・・・(1) Y≧2.010−9.661X+11.77X2 ・・・(2) Y≦0.8480−2.450X+1.880X2 ・・・(3)
【0017】この例では、第1及び第2のグルーブ7及
び8は同期してウォブルした形状として構成される。
【0018】そして、第1のグルーブ7同士間ピッチ又
は第2のグルーブ8同士間ピッチ(トラック周期)は例
えば1.00μm、第1のグルーブ7と第2のグルーブ
を含めたグルーブ間ピッチ(トラックピッチ)は例えば
0.50μmとする。
【0019】この構成による光記録媒体、即ち上述した
(1)〜(3)式に基づく位相深さの第1及び第2のグ
ルーブ構成とすることによって、光学系の開口数NAや
光記録媒体に対する信号読み出し光(再生光)の波長λ
によって決まるカットオフ周波数以上の解像度を得るこ
とができ、したがって、カットオフ周波数以上のトラッ
クピッチの選定ができ、ランドグルーブ記録によらずし
て、ランドグルーブ記録と同等以上の高密度記録を行う
ことができる。
【0020】この光記録媒体に対する再生光の読み出し
は、通常におけると同様に、その戻り光を、例えばそれ
ぞれ4分割フォトダイオードによる1対の光検出素子に
分岐して検出し、クロストラック信号を、これら1対の
光検出素子の和信号として取り出していわゆるシークな
いしはトラバースカウントを行い、プッシュプル信号に
よってトラックエラー信号を取り出してトラッキングサ
ーボを行うが、上述した構成による光記録媒体によると
きは、上述したように、カットオフ周波数以上のトラッ
クピッチにおいて、必要十分なクロストラック振幅比、
プッシュプル信号比を得ることができ、確実に安定し
て、上述したシーク、トラッキングサーボを行うことが
できた。
【0021】尚、クロストラック振幅比及びプッシュプ
ル振幅比とは、それぞれクロストラック信号振幅及びプ
ッシュプル信号振幅の最大値をC及びDとし、上述した
2つの光検出素子の和信号の最大値即ちディスク鏡面で
の和信号の値をMmax としたときの、C/Mmax 及びD
/Mmax を指称するものである。
【0022】また本出願人は、特開2000−4025
9号公報において、同様に異なる深さのグルーブを設け
るプリフォーマットを提案し、下記式(7)及び式
(8)を満たすように、各グルーブの位相深さX及びY
を選定することによって、同様に、カットオフ周波数を
越えて高密度でグルーブを配置しても、所定の値以上の
クロストラック信号振幅比及びプッシュプル信号振幅比
が得られ、且つ安定したトラッキングサーボを実現した
超解像プリフォーマットを提案した。以下に式(7)及
び(8)を示す。
【0023】 Y≧0.5M+92.2886−1180.9171X +6024.8214X2 −15319.685X3 +19417.035X4 −9814.8325X5 ・・・(7) Y≦0.5M−5.12373+63.5710X−283.8349X2 +561.8047X3 −419.6662X4 ・・・(8) (Mは任意の整数)
【0024】本発明は、ランドグルーブ記録によらずし
て、これと同等の記録密度を可能にした上述の超解像プ
リフォーマットを用いる光記録媒体とその製造用原盤に
おいて、更に良好な記録再生特性を得ることを目的とす
ると共に、このような異なる深さを有するグルーブが形
成された光記録媒体を用いる場合においても、記録再生
装置の光学系の複雑化を回避し、確実に良好な再生特性
を得ることのできる記録再生方法を提案するものであ
る。
【0025】
【課題を解決するための手段】本発明は、記録トラック
に沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射
されて記録及び/又は再生がなされる光記録媒体であっ
て、このグルーブは、第1のグルーブと第2のグルーブ
とを交互に並置配列した構成とし、光記録媒体の光入射
面から第1のグルーブに至る媒質の屈折率をnx とし、
この第1のグルーブの深さをxとしたときに、x×nx
/λで表される第1のグルーブの位相深さをXとし、光
入射面から第2のグルーブに至る媒質の屈折率をny
し、この第2のグルーブの深さをyとしたときに、y×
y /λで表される第2のグルーブの位相深さをYとし
たときに、これら第1及び第2のグルーブの各位相深さ
X及びYを、 X≧0.3950−0.831Y+2.932Y2 ・・・(1) Y≧2.010−9.661X+11.77X2 ・・・(2) Y≦0.8480−2.450X+1.880X2 ・・・(3) で示される各式(1)〜(3)を満たすように形成する
と共に、第1及び第2のグルーブを、共通の一平面を構
成する平坦面に開口するように並置配列して、平坦面よ
り成るランド部のみに、データ情報を記録して情報面と
し、この情報面上に、光透過性の保護層を形成して、保
護層側から記録光及び/又は再生光を照射して情報の記
録及び/又は再生がなされる構成とする。
【0026】更に本発明は、上述の光記録媒体におい
て、第1及び第2のグルーブの少なくとも一方が蛇行す
るウォブリンググルーブであり、且つこれら第1及び第
2のグルーブのウォブルが同期している構成とする。
【0027】また本発明は、記録トラックに沿って第1
及び第2のグルーブが形成され、所定の波長λの光が照
射されて記録及び/又は再生がなされる光記録媒体を製
造する際に使用される光記録媒体製造用原盤であって、
第1のグルーブと第2のグルーブに対応した、第1のグ
ルーブパターンと第2のグルーブパターンとが交互に並
置配列して構成した凹凸パターンを有し、光記録媒体の
光入射面から第1のグルーブに至る媒質の屈折率をnx
とし、第1のグルーブパターンの深さをx’としたとき
に、x’×nx /λで表される第1のグルーブパターン
の位相深さをX’とし、光記録媒体の光入射面から第2
のグルーブに至る媒質の屈折率をny とし、第2のグル
ーブパターンの深さをy’としたときに、y’×ny
λで表される第2のグルーブパターンの位相深さをY’
としたときに、第1及び第2のグルーブパターンの位相
深さX’及びY’を、 X’≧0.3950−0.831Y’+2.932Y’2 ・・・(4) Y’≧2.010−9.661X’+11.77X’2 ・・・(5) Y’≦0.8480−2.450X’+1.880X’2 ・・・(6) の各式(4)〜(6)を満たすように形成すると共に、
第1及び第2のグルーブパターンを、共通の一平面を構
成する平坦面に開口するように並置配列して、平坦面よ
り成るランド部のみにデータ情報を記録して情報パター
ン面として構成する。
【0028】更に本発明は、上述の光記録媒体製造用原
盤において、第1及び第2のグルーブパターンの少なく
とも一方が蛇行するウォブリンググルーブのパターンと
し、且つこれら第1及び第2のグルーブパターンのウォ
ブルが同期している構成とする。
【0029】更にまた本発明は、上述の第1及び第2の
グルーブを交互に並置配列して、各グルーブの位相深さ
を上記式(1)〜(3)を満たして構成し、第1及び第
2のグルーブを、共通の一平面を構成する平坦面に開口
するように並置配列して、この平坦面より成るランド部
のみに、データ情報を記録して情報面として、更にこの
情報面上に、光透過性の保護層を形成して構成された光
記録媒体に対し、保護層側から記録及び/又は再生光を
照射して記録及び/又は再生を行う。
【0030】更に本発明は、上述の光記録媒体として、
第1及び第2のグルーブの少なくとも一方が蛇行するウ
ォブリンググルーブであり、且つこれら第1及び第2の
グルーブのウォブルが同期している構成の光記録媒体を
用いる。
【0031】更にまた本発明は、記録トラックに沿って
グルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記
録及び/又は再生がなされる光記録媒体であって、グル
ーブを、第1のグルーブと第2のグルーブとを交互に並
置配列して構成し、光記録媒体の光入射面から第1のグ
ルーブに至る媒質の屈折率をnx とし、この第1のグル
ーブの深さをxとしたときに、x×nx /λで表される
第1のグルーブの位相深さをXとし、光入射面から第2
のグルーブに至る媒質の屈折率をny とし、第2のグル
ーブの深さをyとしたときに、y×ny /λで表される
上記第2のグルーブの位相深さをYとしたときに、これ
ら第1及び第2のグルーブの位相深さX及びYを、 Y≧0.5M+92.2886−1180.9171X +6024.8214X2 −15319.685X3 +19417.035X4 −9814.8325X5 ・・・(7) Y≦0.5M−5.12373+63.5710X−283.8349X2 +561.8047X3 −419.6662X4 ・・・(8) (Mは任意の整数) の各式(7)及び(8)を満たすように形成すると共
に、第1及び第2のグルーブを、共通の一平面を構成す
る平坦面に開口するように並置配列して、平坦面より成
るランド部のみを、データ情報が記録されて成る情報面
として、この情報面上に、光透過性の保護層を形成して
構成し、この保護層側から記録光及び/又は再生光を照
射して情報の記録及び/又は再生がなされる構成とす
る。
【0032】更に本発明は、上述の光記録媒体におい
て、第1及び第2のグルーブの少なくとも一方が蛇行す
るウォブリンググルーブであり、且つこれら第1及び第
2のグルーブのウォブルが同期している構成とする。
【0033】また更に本発明は、記録トラックに沿って
第1のグルーブと第2のグルーブが形成され、所定の波
長λの光が照射されて記録及び/又は再生がなされる光
記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原
盤であって、第1のグルーブと第2のグルーブに対応し
た、第1のグルーブパターンと第2のグルーブパターン
とが交互に並置配列して構成した凹凸パターンを有し、
光記録媒体の光入射面から第1のグルーブに至る媒質の
屈折率をnx とし、第1のグルーブパターンの深さを
x’としたときに、x’×nx /λで表される第1のグ
ルーブパターンの位相深さをX’とし、光記録媒体の光
入射面から第2のグルーブに至る媒質の屈折率をny
し、この第2のグルーブパターンの深さをy’としたと
きに、y’×ny /λで表される第2のグルーブパター
ンの位相深さをY’としたときに、これら第1及び第2
のグルーブパターンの位相深さX’及びY’を、 Y’≧0.5M+92.2886−1180.9171X’ +6024.8214X’2 −15319.685X’3 +19417.035X’4 −9814.8325X’5 ・・・(9) Y’≦0.5M−5.12373+63.5710X’ −283.8349X’2 +561.8047X’3 −419.6662X’4 ・・・・・・(10) (Mは任意の整数) の各式(9)及び(10)を満たすように形成すると共
に、第1及び第2のグルーブパターンを、共通の一平面
を構成する平坦面に開口するように並置配列して、平坦
面より成るランド部のみをデータ情報が記録されて成る
情報パターン面として構成する。
【0034】更に本発明は、上述の光記録媒体製造用原
盤において、第1及び第2のグルーブパターンの少なく
とも一方が蛇行するウォブリンググルーブのパターンと
し、且つこれら第1及び第2のグルーブパターンのウォ
ブルが同期している構成とする。
【0035】また本発明は、上述の第1及び第2のグル
ーブを交互に並置配列して、各グルーブの位相深さを上
記式(7)及び(8)を満たして構成し、第1及び第2
のグルーブを、共通の一平面を構成する平坦面に開口す
るように並置配列して、平坦面より成るランド部のみ
に、データ情報を記録して情報面として、更にこの情報
面上に、光透過性の保護層を形成する構成とした光記録
媒体に対し、その保護層側からから記録及び/又は再生
光を照射して記録及び/又は再生を行う。
【0036】更に本発明は、上述の記録再生方法におい
て、光記録媒体の第1及び第2のグルーブの少なくとも
一方が蛇行するウォブリンググルーブであり、且つこれ
ら第1及び第2のグルーブのウォブルが同期している構
成とする。
【0037】このような本発明によれば、同一平面上に
あるランド部のみを情報面とすることから、記録再生特
性は均一となり、ピックアップのフォーカスバイアスを
このランド上のみに設定すればよいことから、光学系の
複雑化を回避することができる。
【0038】更に、データ情報をランド部のみに記録し
て、この上の保護層上から記録及び/又は再生用の光を
照射して記録及び/又は再生を行うことから、記録及び
/又は再生用の光を集光する対物レンズを、基板の裏面
側から照射する場合と比較して、より記録層に近接して
配置するニアーフィールド構成とすることとなり、この
対物レンズの開口数NAを大きくしても、こま収差の増
大化を回避することができると共に、NAを大きく且つ
再生光の波長λを小としても、スキューマージンの低下
を回避することができて、高記録密度化したがって大容
量化をはかることができる。
【0039】また特に高密度記録媒体に本発明を適用す
る場合、上述したように読み取り面、即ち光入射面に近
い方が再生特性は良好であることから、ランド部のみに
記録情報を記録する本発明によれば、ランドグルーブ記
録方式を採る場合と同様の記録密度を得ると共に、良好
な再生特性を保持することができて、高密度光記録媒体
に最適な光記録媒体及びその製造用原盤、記録再生方法
を提供することができる。
【0040】更に、第1及び第2のグルーブが同期して
ウォブリングするパターンとすることにより、これらの
間のランド部どうしもまた同期してウォブルしているこ
とから、ウォブル信号の良好な再生特性を得ることがで
きるなど、高密度光記録媒体に最適なプリフォーマット
を提供することができる。
【0041】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態の各例を
図面を参照しながら説明する。この例では、複数のグル
ーブを有する高密度光ディスク状の光記録媒体、この光
記録媒体製造用原盤及び光記録媒体を用いた記録再生方
法に本発明を適用した場合を示すが、本発明はこれらの
例に限定されるものではなく、種々の形態を採り得るこ
とはいうまでもない。
【0042】本発明による実施形態の各例を、次の順序
で説明を行う。 〔1〕光記録媒体 〔2〕光記録媒体製造用原盤 〔3〕記録再生方法
【0043】〔1〕光記録媒体 本実施例における光記録媒体は、記録トラックに沿って
グルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記
録及び/又は再生がなされる。そして各グルーブは、第
1のグルーブと第2のグルーブとを交互に並置配列して
構成する。
【0044】図1においては、各実施例に共通の光記録
媒体の構造の一例の一部を拡大した断面図を模式的に示
す。この例においては、ポリカーボネート等より成る基
板1上に、Al合金等より成る反射層2、SiO2 等よ
り成る第1の誘電体層3、例えばGeSbTe合金から
成る相変化材料層より成る記録層4、SiO2 等より成
る第2の誘電体層5、紫外線硬化樹脂等より成る保護層
6が順次積層形成されて構成される。
【0045】基板1上には、異なる深さの第1及び第2
のグルーブ7及び8が交互に並置配列される。そして、
この光記録媒体の光入射面から第1のグルーブ7に至る
媒質の屈折率をnx とし、この第1のグルーブ7の深さ
をxとしたときに、x×nx/λで表される第1のグル
ーブ7の位相深さをXとし、光入射面から第2のグルー
ブ8に至る媒質の屈折率をny とし、この第2のグルー
ブ8の深さをyとしたときに、y×ny /λで表される
第2のグルーブ8の位相深さをYとしたときに、第1及
び第2のグルーブ7及び8を、下記式(1)〜(3)を
満たすように形成する。
【0046】 X≧0.3950−0.831Y+2.932Y2 ・・・(1) Y≧2.010−9.661X+11.77X2 ・・・(2) Y≦0.8480−2.450X+1.880X2 ・・・(3)
【0047】または、各グルーブ7及び8の位相深さX
及びYを、下記の式(7)及び(8)を満たすように形
成する。
【0048】 Y≧0.5M+92.2886−1180.9171X +6024.8214X2 −15319.685X3 +19417.035X4 −9814.8325X5 ・・・(7) Y≦0.5M−5.12373+63.5710X−283.8349X2 +561.8047X3 −419.6662X4 ・・・(8) (Mは任意の整数)
【0049】そして特に本実施例においては、各グルー
ブ7及び8の開口端を、共通の一平面を構成する平坦面
に開口するように形成し、各グルーブ7及び8に挟まれ
た平坦面より成るランド部9を、データ情報が記録され
て成る情報面として構成する。
【0050】54は対物レンズを示し、記録及び/又は
再生用のレーザ光Lは、この対物レンズ54によってラ
ンド部9上に集光されて記録及び/又は再生を行う。
【0051】光記録媒体の記録層としては、その他凹凸
パターンによりデータ情報が記録されて金属反射膜が形
成された記録層や、光磁気膜等、種々の形態を採り得る
ことはいうまでもない。
【0052】また、グルーブのパターンとしては、同心
円状のパターンでも螺旋状のパターンでもよく、また例
えばセクター毎にグルーブの切れ目を設けるなど、必要
に応じて断続するパターンとする場合など、様々な構成
を採ることができる。
【0053】〔2〕光記録媒体製造用原盤 次に、本発明による光記録媒体製造用原盤の構成及びそ
の製造工程について、原盤の一例を模式的に示す図2
と、実施例で使用した光学的記録装置を模式的に示す図
3を参照して説明する。
【0054】この場合、第1及び第2のグルーブを異な
る深さで、且つその深さを所望の値に限定して凹凸パタ
ーンを基板の表面に転写する原盤、いわゆるスタンパを
形成するに際し、図2に示すように、ガラス等より成る
基板11上にフォトレジスト12を塗布した後、所定の
強度に変調されたレーザビームLB21、LB22を照射し
て露光する。
【0055】13a及び13bはそれぞれ強度変調され
たレーザ光LB21及びLB22の強度を模式的に示す。強
度の異なるレーザ光により露光を行った後、現像により
パターニングを行って、フォトレジスト12に第1のグ
ルーブに対応する第1のグルーブパターン14aと、第
2のグルーブに対応する第2のグルーブパターン14b
を形成する。
【0056】そして、これら第1及び第2のグルーブパ
ターンの深さをそれぞれx’及びy’としたときに、光
入射面から第1のグルーブ及び第2のグルーブに到る媒
質の屈折率をそれぞれnx 及びny とし、これら第1及
び第2のグルーブパターンの位相深さをX’(=x’×
x /λ)及びY’(=y’×ny /λ)としたとき
に、下記式(4)〜(6)を満たすように形成する。
【0057】 X’≧0.3950−0.831Y’+2.932Y’2 ・・・(4) Y’≧2.010−9.661X’+11.77X’2 ・・・(5) Y’≦0.8480−2.450X’+1.880X’2 ・・・(6)
【0058】又は、下記式(9)及び(10)を満たす
ように形成する。 Y’≧0.5M+92.2886−1180.9171X’ +6024.8214X’2 −15319.685X’3 +19417.035X’4 −9814.8325X’5 ・・・(9) Y’≦0.5M−5.12373+63.5710X’ −283.8349X’2 +561.8047X’3 −419.6662X’4 ・・・・・・(10) (Mは任意の整数)
【0059】そしてこの原盤においても、第1及び第2
のグルーブパターンの開口端を、共通の一平面を構成す
る平坦面に開口するように形成して、これら第1及び第
2のグルーブパターンに挟まれた平坦面より成るランド
部をデータ情報を記録して構成する情報パターン面とす
る。
【0060】次に、第1及び第2のグルーブパターンを
ウォブリングするパターンとし、且つ各グルーブを同期
したパターンとして露光する光学記録装置の一例の構成
を図3に示す。図3において、15は半導体レーザ等の
光源を示す。光源は特に限定されるものではなく、適宜
選択可能であるが、この例では、Krレーザ(波長λ=
351nm)により記録用レーザ光を発振するレーザ光
源を用いた。
【0061】光源15から出射されたレーザ光LB
0 は、ビームスプリッターにより分割されて、情報デー
タの記録用と、第1及び第2のグルーブパターン形成用
とに分割され、各レーザビームが基板上のフォトレジス
トに対し、半径方向に配置するよう同一光軸上に合成さ
れて、露光がなされる構成とする。
【0062】このとき、第1及び第2のグルーブパター
ンを形成するための露光ビームが、適切に半径方向に並
置配列され、且つその露光強度が適切に選定されること
によって、深いグルーブと浅いグルーブとが半径方向に
等間隔に並置配列されるように露光を行うことができ
る。以下これを詳細に説明する。
【0063】レーザ光LB0 はビームスプリッターBS
1及びBS2により分割され、それぞれ記録ピット用の
変調が行われる変調光学系20と、第1及び第2のグル
ーブ用の変調が行われる変調光学系30に導かれる。各
光学系20及び30においては、各レンズ21、24、
31、34を音響光学変調器22及び32をブラッグ条
件を満たすように配置する。
【0064】変調光学系20及び30においては、集光
レンズ21、31を用いて露光ビームを音響光学変調器
22、32に集光するように配置する。音響光学変調器
22、32には、入力端子から信号が駆動用ドライバ2
3、33を介して供給される。
【0065】第1の露光ビームLB1 は、2−7信号で
記録情報に基づいたピットの信号を強度変調され、第2
の露光ビームLB2 は、一定のレベルのDC信号により
グルーブの信号を連続変調される。EFM信号によっ
て、レーザ光が強度変調すなわちON/OFFされる。
各々強度変調されて発散したレーザ光は、レンズ24、
34によって平行ビームにされる。
【0066】そして、第1の変調光学系20から出射さ
れた第1の露光ビームLB1 は、ミラーM1によって9
0°進行方向を曲げられて反射された後、λ/2波長板
HWP1を介して、移動光学テーブル40上に水平に且
つ光軸に沿って導かれる。同様に、第2の変調光学系3
0から出射された第2の露光ビームLB2 は、ミラーM
2によって反射され、移動光学テーブル40上に水平に
且つ光軸に沿って導かれる。
【0067】第1の露光ビームLB1 は、移動光学テー
ブル40上で、偏光ビームスプリッターPBS1に入射
され、λ/2波長板HWP2を介して、偏光ビームスプ
リッターPBS2に入射されて、拡大レンズL3によっ
て所定のビーム径とされた上でミラーM5によって反射
されて対物レンズ54へと導かれ、この対物レンズ54
によって、フォトレジスト12上に集光される。
【0068】一方、第2の露光ビームLB2 は、移動光
学テーブル40上で、音響光学偏向器48とこれを挟ん
で配置されたウェッジプリズム47及び49によって構
成される偏向光学系ODによって光学偏向が施された上
で、ビームスプリッターBS4によって2つの露光ビー
ムLB21及びLB22に分割される。
【0069】ここで、偏向光学系ODは、ウォブリング
グルーブのウォブリングに対応するように、第2の露光
ビームLB2 に対して光学偏向を施すためのものであ
る。即ち、第2の変調光学系30から出射され偏向光学
系ODに入射した第2の露光ビームは、ウェッジプリズ
ム47を介して音響光学偏向器(AOD:Acousto Opti
cal Deflector )48に入射し、この音響光学偏向器4
8によって、所望する露光パターンに対応するように光
学偏向が施される。
【0070】ここで、音響光学偏向器48に使用される
音響光学素子としては、例えば、酸化テルル(Te
2 )から成る音響光学素子が好適である。そして、音
響光学偏向器48によって光学偏向が施された第2の露
光ビームLB2 は、ウェッジプリズム49を介して偏向
光学系ODから出射される。
【0071】尚、ウェッジプリズム47は、音響光学偏
向器48の音響光学素子の格子面に対してブラッグ条件
を満たすように第2の露光ビームLB2 を入射させるよ
うに配置され、且つ、ウェッジプリズム49は、音響光
学偏向器48から出射された第2の露光ビームLB2
ビーム水平高さが変わらないように配置する。
【0072】ここで、音響光学偏向器48には、当該音
響光学偏向器48を駆動するための駆動用ドライバ50
が取り付けられており、当該駆動用ドライバ50には、
電圧制御発振器(VCO:Voltage Controlled Oscilla
tor )51からの高周波信号が、正弦波で変調され供給
される。即ち、フォトレジスト12の露光にあたり、所
望する露光パターンに応じた信号が、電圧制御発振器5
1から駆動用ドライバ50に入力され、当該信号に応じ
て駆動用ドライバ50によって音響光学偏向器48が駆
動され、これにより、第2の露光ビームLB2 に対して
光学偏向が施される。
【0073】具体的には、例えば、周波数194.1k
Hzにてグルーブをウォブリングさせることにより、グ
ルーブにアドレス情報を付加するような場合には、例え
ば中心周波数が224MHzの高周波信号を周波数19
4.1kHzの制御信号にて正弦波信号を、電圧制御発
振器51から駆動用ドライバ50に供給する。
【0074】そして、この信号に応じて、駆動用ドライ
バ50によって音響光学偏向器48を駆動し、当該音響
光学偏向器48の音響光学素子のブラッグ角を変化さ
せ、これにより、周波数194.1kHzのウォブリン
グに対応するように、第2の露光ビームLB2 に対して
光学偏向を施す。このようにして、フォトレジスト12
上に集光される露光ビームのスポット位置が、周波数1
94.1kHz、振幅±6nmにて、基板11の半径方
向に振動するように光学偏向を行った。
【0075】そして、このような光学偏向系ODによっ
て、ウォブリンググルーブのウォブリングに対応するよ
うに光学偏向が施された第2の露光ビームLB2 は、ビ
ームスプリッターBS4によって、第1のグルーブ露光
用の、第2−1の露光ビームLB21と、第2のグルーブ
露光用の、第2−2の露光ビームLB22に分割される。
【0076】第2−1の露光ビームLB21は、ビームス
プリッターBS4によって、90°進行方向を曲げられ
た上で偏光ビームスプリッターPBS1によって反射さ
れて再び進行方向を90°曲げられて、λ/2波長板H
WP2を介して偏光ビームスプリッターPBS2に入射
される。
【0077】第2−2の露光ビームLB22は、ビームス
プリッターBS4を透過した後、ミラーM4によって進
行方向を90°曲げられて、偏光ビームスプリッターP
BS2によって進行方向を再び90°曲げられて、第2
−1の露光ビームLB21と進行方向が同一となるように
合成される。
【0078】このようにして、各グルーブ露光用の、第
2−1及び第2−2の露光ビームLB21及びLB22が、
情報データ記録用の第1の露光ビームLB1 と同様に、
拡大レンズL3によって所定のビーム径とされた上でミ
ラーM5によって反射されて対物レンズ54へと導か
れ、当該対物レンズ54によって、フォトレジスト12
上に集光される。これにより、フォトレジスト12が所
定のパターンに露光され、フォトレジスト12内に所定
のパターンの潜像が形成されることとなる。
【0079】このとき、フォトレジスト12が塗布され
ているガラス等より成る基板11は、上述したように、
フォトレジスト12の全面にわたって所望のパターンで
の露光がなされるように、図3中矢印aで示すように、
回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学
テーブル40によって露光位置が平行移動される。この
結果、第1の露光ビームLB1 、第2−1の露光ビーム
LB21及び第2−2の露光ビームLB22の照射軌跡に応
じた潜像が、フォトレジスト12の全面にわたって形成
されることとなる。図3中一点鎖線cはディスク状の基
板11の回転中心軸を示す。
【0080】ここで、偏光ビームスプリッターPBS1
及びPBS2は、S偏光を反射し、P偏光を透過するよ
うになされている。つまり、第1の変調光学系20から
出射された第1の露光ビームは、λ/2波長板HWP1
を透過することにより偏光方向が90°回転させられて
いるのでP偏光となっており、偏光ビームスプリッター
PBS1を透過する。更に、λ/2波長板HWP2によ
って、偏光方向が回転させられて一部の光(P偏光)が
透過している。
【0081】偏光光学系ODによってウォブリングする
ように光学偏光が施された第2の露光ビームLB2 は、
上述したように、第2−1のウォブリング露光ビーム
と、第2−2のウォブリング露光ビームとは、ビームス
プリッターBS4により分割され、偏光ビームスプリッ
ターPBS1及びPBS2によって光軸方向となるよう
に再合成される。
【0082】即ち、第2−1の露光ビームLB21はS偏
光であり、偏光ビームスプリッターPBS1で反射さ
れ、λ/2波長板HWP2により偏光方向が回転させら
れて一部の光(P偏光)が透過する。第2−2の露光ビ
ームLB22もS偏光であり、偏光ビームスプリッターP
BS2で反射され、第2−1の露光ビームLB21と共に
光軸方向に再合成される。
【0083】光軸方向に再合成された第2−1及び第2
−2の露光ビームLB21及びLB22は、偏光ビームスプ
リッターPBS2の角度を変えることによりフォトレジ
スト12上に半径方向に等間隔に配置することができ
る。
【0084】一方、各ビームLB21及びLB22の強度調
整は、λ/2波長板HWP2の回転調整によって第2−
1の露光ビームLB21の偏光ビームスプリッターPBS
2の透過率を調整することによって行うことができる。
このように、2つのウォブリング露光ビームを適切に半
径方向に所定間隔で配置し、且つ適切に露光パワーを選
定することによって、図2において説明したように、深
いグルーブと浅いグルーブとが半径方向、図2において
は紙面に垂直な方向に等間隔に配置され、且つウォブリ
ングを同期させて形成することができる。
【0085】本実施例においては、対物レンズ54の開
口数NAを0.9とした。変調光学系20及び30の音
響光学変調器22、32の音響光学偏光素子は、TeO
2 を用いた。また、集光レンズ21及び31の焦点距離
は80mm、コリメートレンズ24、34の焦点距離を
100mm、拡大レンズL3の焦点距離を50mmとし
た。
【0086】またフォトレジスト12に対する露光条件
は、深いグルーブ即ち第1のグルーブに対して例えばレ
ーザパワー0.4mj/m、浅いグルーブ即ち第2のグ
ルーブに対して例えばレーザパワー0.25mj/mと
して露光を行った。両グルーブ共にスパイラル状に形成
し、第1及び第2のグルーブを合わせていわゆるダブル
スパイラル状としてパターニング形成した。このときの
トラックピッチは0.35μmとした。
【0087】第1及び第2のグルーブパターンに対応す
る第1及び第2の開口14a及び14bの深さを適切に
選定する方法としては、例えば深い開口14aの深さは
フォトレジスト12の厚さで調節し、浅い開口14bの
深さは、記録レーザパワーを変化させて調節することが
できる。
【0088】そして、このように各グルーブパターンに
対応する開口、また記録情報に対応するピットを形成す
る場合はそのピットが形成された基板11を、フォトレ
ジスト12が上部になるように現像機のターンテーブル
に載置して、この基板11を水平面に対して回転させ
る。
【0089】この後、フォトレジスト12上に現像液を
滴下して、このフォトレジスト12の現像処理を行っ
て、記録部分のフォトレジストが溶解して、凹凸パター
ンが形成される。これにより、ガラス等より成る基板1
1の上に、異なる深さのグルーブパターンに対応する開
口と、記録情報に対応する例えば凹凸パターンが形成さ
れたフォトレジスト12が形成される。
【0090】そして、このフォトレジスト12の凹凸パ
ターン上を含んで全面的に、無電界メッキ法により例え
ばNi被膜より成る導電層を形成する。導電層を被着し
た原盤を電鋳装置に設置して、電気メッキ法により導電
層上に300±5μm程度の厚さの例えばNiメッキ層
を形成する。続いてこのNiメッキ層を基板からカッタ
ー等で剥離し、そのNiメッキ層の凹凸形成面に対し、
アセトン等による洗浄を行って、フォトレジスト12を
除去して、光記録媒体製造用原盤が形成される。
【0091】次に、上述の光記録媒体製造用原盤を用い
て光記録媒体を製造する。先ず、上述の原盤を用いて、
例えば屈折率1.59のポリカーボネートより成る透明
樹脂を射出成形によってディスク状の基板を作製する。
凹凸形成面に形成された記録情報及びグルーブの凹凸パ
ターンが、図1において説明した例と同様に、基板1に
転写される。この例においては、成形した基板1の厚さ
は1.1mmとした。
【0092】尚、基板1への転写方法としては、いわゆ
る2P法を用いてもよい。即ち、光記録媒体製造用原盤
の凹凸パターンが形成された面上にフォトポリマーを平
滑に塗布してフォトポリマー層を形成し、このフォトポ
リマー層に気泡や塵埃が混入しないようにして、例えば
厚さ1.2mmのポリメチルメタクリレート(屈折率
1.49)より成るベースプレートを密着させる。
【0093】その後、紫外線を照射してフォトポリマー
を硬化させた後、光記録媒体製造用原盤を剥離すること
によって、原盤の凹凸パターンが転写された基板を得る
ことができる。
【0094】そしてこの上に、Al合金等より成る反射
層2、SiO2 等より成る第1の誘電体層3、GeSb
Te合金等より成る相変化材料層より成る記録層4、S
iO 2 等より成る第2の誘電体層5を順次スパッタリン
グ等により成膜する。
【0095】この後、第2の誘電体層5上に、紫外線硬
化樹脂等をスピンコート法等により塗布し、この紫外線
硬化樹脂に対して紫外線を照射して硬化させて、厚さ例
えば0.1mmの保護層6を形成する。以上の工程によ
り、例えばDVR構成の高記録密度の光記録媒体を製造
する。
【0096】〔3〕記録再生方法 上述の光記録媒体製造用原盤から凹凸パターンを転写し
て、光記録媒体の各例を、下記の〔3〕−1及び2にお
いて説明するように、即ち上述の各式(1)〜(3)、
又は(7)及び(8)を満たすように製造し、その記録
層4に対し、保護層6側から記録及び/又は再生光を照
射して、その記録再生特性を評価した。評価作業は、光
ピックアップとして、波長λが660nm、開口数NA
が0.85の光学系を備えたDVR用の評価機を用いて
行った。
【0097】〔3〕−1 先ず、前述の本出願人に係る特開平11−296910
号公報において提案した各グルーブの位相深さの条件を
満たすように、光記録媒体を製造した。これにより、カ
ットオフ周波数を超えても充分なクロストラック信号振
幅及びプッシュプル信号振幅を得ることができた。
【0098】即ち、第1のグルーブの位相深さをX、第
2のグルーブの位相深さYとしたときに、これらX及び
Yを、下記の(1)〜(3)の各式を満たすように選定
した。
【0099】 X≧0.3950−0.831Y+2.932Y2 ・・・(1) Y≧2.010−9.661X+11.77X2 ・・・(2) Y≦0.8480−2.450X+1.880X2 ・・・(3)
【0100】上記各式(1)〜(3)を満たすように位
相深さを選定する場合は、プッシュプル信号が充分得ら
れた。従って、プッシュプル信号を用いてトラッキング
を行う場合に好適である。
【0101】このことは、換言すれば、第1及び第2の
グルーブの位相深さが上記(1)〜(3)式を満たすよ
うに形成されていれば、プッシュプル信号振幅比及びク
ロストラック信号振幅比が充分大となり、安定したトラ
ッキングサーボ及びトラッキングシークが可能であると
いえる。実験の結果、上述の光記録媒体において、プッ
シュプル信号振幅比0.15以上で、且つクロストラッ
ク信号振幅比が0.06以上となった。
【0102】ここで、上述したように、レーザ光の波長
λは660nm、対物レンズの開口数NAは0.85で
あるので、光ピックアップのカットオフ周波数2NA/
λは、2576mm-1である。
【0103】一方、本実施例における光記録媒体のトラ
ックピッチ、即ち第1及び第2のグルーブのピッチは
0.35μmであるので、その空間周波数は2857m
-1である。
【0104】このように、本発明に係る光記録媒体で
は、トラックピッチの空間周波数のほうが光ピックアッ
プのカットオフ周波数2NA/λよりも大きくなってい
る。
【0105】従来は、このようにトラックピッチの空間
周波数の方が光ピックアップのカットオフ周波数2NA
/λよりも大きいと、充分なレベルのプッシュプル信号
やクロストラック信号を得ることができず、安定なトラ
ッキングサーボやシークができなくなってしまってい
た。
【0106】しかしながら、本発明を適用した光記録媒
体では、上述の測定結果からも分かるように、各グルー
ブの位相深さX及びYを上記(1)〜(3)式を満たす
ように形成することによって、充分なレベルのプッシュ
プル信号やクロストラック信号を確保しつつ、トラック
ピッチの空間周波数を光ピックアップのカットオフ周波
数2NA/λよりも大きくすることが可能となり、即
ち、トラックピッチを狭くして記録密度を大幅に向上し
た光記録媒体の再生が可能となる。
【0107】また本実施例においては、図1において説
明したように、ランド9のみに、従って記録層4の光入
射側に近い領域のみに、相変化による記録を行って、ジ
ッター9%程度の再生を行うことができ、良好な再生特
性を実現することができた。
【0108】したがって本発明によれば、ランドグルー
ブ記録を行うことなく、即ちランド記録とグルーブ記録
の再生特性を均一化するための複雑な光ピックアップを
具備することなく、ランドグルーブ記録と同程度或いは
それ以上の記録密度向上をはかることが可能となる。
【0109】更に本実施例においては、図5において説
明した例と同様に、第1及び第2のグルーブを半径方向
に等間隔に配置し、ウォブリングが同期したフォーマッ
トとして、ウォブル振幅を±6nmとして形成した。こ
の場合、第1のグルーブ、第2のグルーブ及びランド部
の全てのウォブリング信号の再生が可能であった。
【0110】〔3〕−2 次に、前述の本出願人に係る特開特開2000−402
59号公報において提案した各グルーブの位相深さの条
件を満たすように、光記録媒体を製造した。この場合に
おいても、カットオフ周波数を超えても充分なクロスト
ラック信号振幅比及びプッシュプル信号振幅比を得るこ
とができた。
【0111】即ち、第1のグルーブの位相深さをX、第
2のグルーブの位相深さYとしたときに、これらX及び
Yを、下記の(7)及び(8)の各式を満たすように選
定した。
【0112】 Y≧0.5M+92.2886−1180.9171X +6024.8214X2 −15319.685X3 +19417.035X4 −9814.8325X5 ・・・(7) Y≦0.5M−5.12373+63.5710X−283.8349X2 +561.8047X3 −419.6662X4 ・・・(8) (Mは任意の整数)
【0113】上記各式(7)及び(8)を満たすように
位相深さを選定する場合は、クロストラック信号が充分
得られた。従って、3スポット法のようにクロストラッ
ク信号を用いてトラッキングを行う場合に好適である。
【0114】即ちこの場合においても、上記(7)及び
(8)式を満たすように第1及び第2のグルーブの位相
深さを選定することによって、プッシュプル信号振幅比
を0.06以上、且つクロストラック信号振幅比を0.
15以上とすることができ、安定なトラッキングサーボ
及びシークが可能となる。
【0115】従って、この場合においても、従来は実現
が不可能であった、トラックピッチの空間周波数を光ピ
ックアップのカットオフ周波数2NA/λに比し大とす
ることが可能となり、十分なレベルのプッシュプル信号
振幅比及びクロストラック信号振幅比を確保しつつ、従
来に比しトラックピッチを狭小化するこができて、記録
密度の大幅な向上をはかることができる。
【0116】そしてこの場合、図1において説明したラ
ンド9のみに、データ情報を相変化材料より成る記録層
4に記録して、ジッター9%程度の再生を行うことがで
き、良好な記録再生特性を実現することができた。つま
りランドグルーブ記録を採る場合のようにフォーカス点
をそれぞれ調整させるなどランド記録とグルーブ記録の
均一化をはかることによる光学系の複雑化を招くことな
く、ランドグルーブ記録と同程度或いはそれ以上の記録
密度の大幅な向上をはかることができる。
【0117】即ち本発明によれば、超解像プリフォーマ
ットを用いることから、ランド部上のみにデータ情報の
記録を行っても、従来の記録密度の2倍の記録密度の向
上が可能であり、しかも、ランドグルーブ記録方式のよ
うな、ランド記録とグルーブ記録の記録再生特性の均一
化をはかる必要がなく、フォーカス点を調整するための
光学系の複雑化を回避することができる。
【0118】また、各グルーブ及びランドの全てのウォ
ブル信号、即ちクロック信号を良好に再生することがで
きた。
【0119】また更に、本発明においては、データ情報
をランド部のみに記録して、この上の保護層上から記録
及び/又は再生用の光を照射して記録及び/又は再生を
行うものであるが、この場合対物レンズを、基板の裏面
側から照射する場合と比較して、より記録層に近接して
配置したニアーフィールド構成とすることから、開口数
NA大きくしてもこま収差の増大を回避することがで
き、更に、NAを大きく、再生光の波長λを低減化して
も、スキューマージンの低下を回避することができて、
更に高記録密度化従って大容量化をはかることができ
る。
【0120】以上、本発明の各実施例を説明したが、上
述した実施例は本発明の技術的思想に基づいて様々に変
形変更が可能であることはいうまでもない。
【0121】例えば、上述の各例においてはプッシュプ
ル信号を用いてトラッキングサーボを行い、クロストラ
ック信号を用いてシークを行ったが、クロストラック信
号を用いてトラッキングサーボを行い、プッシュプル信
号を用いてシークを行ってもよい。
【0122】更にまた、上述の各例においては、光記録
媒体に情報面即ち記録層が一層形成された場合である
が、例えば2層形成された場合においても、ランド部の
みに記録を行い、この記録層上に形成された保護層上か
ら記録及び/又は再生用光を照射して記録及び/又は再
生を行うことによって、上述の各例と同様の効果を得る
ことができることはいうまでもない。
【0123】また本発明は、記録トラックに沿ってグル
ーブが形成されて成る光記録媒体、並びにその製造に使
用される光記録媒体製造用原盤並びに光記録媒体を用い
た記録再生方式に広く適用可能であり、本発明の対象と
なる光記録媒体は、例えば、再生専用の光記録媒体、繰
り返しデータの書き換えが可能な光記録媒体、或いはデ
ータの追記は可能だが消去はできないような光記録媒体
のいずれでもよい。
【0124】また、データの記録方法も特に限定される
ものではなく、本発明の対象となる光記録媒体は、例え
ば予めエンボスピット等によりデータが書き込まれてい
る再生専用の光記録媒体、磁気光学効果を利用してデー
タの記録を行う光磁気記録媒体、或いは記録層の相変化
を利用してデータの記録を行う相変化型光記録媒体のい
ずれでもよい。
【0125】また、本発明は、記録領域の少なくとも一
部にグルーブが形成されている光記録媒体、並びにその
製造に使用される光記録媒体製造用原盤、また光記録媒
体を用いた記録再生方式に対して広く適用可能である。
すなわち、例えば記録領域全域にグルーブが形成されて
いてもよいし、或いは、グルーブが形成されることなく
エンボスピットによってデータが記録されているような
領域が記録領域内に存在していてもよく、また第1及び
第2のグルーブのうち一方のみが蛇行する等、その他種
々の記録構成態様を採り得ることはいうまでもない。
【0126】
【発明の効果】上述したように本発明によれば、記録再
生用光の波長λや光ピックアップの開口数NAを変更す
ることなく、ランドグルーブ記録方式と同等或いはそれ
以上の高密度記録を可能とすると共に、ランド部のみに
データ情報を記録することから、フォーカス点を調節可
能とするなどの光学装置の複雑化を回避することができ
て、高密度記録が可能で且つ再生特性の良好な光記録媒
体及びその記録再生方式を提供することができる。
【0127】すなわち本発明においては、従来は実現が
不可能であった、トラックピッチの空間周波数を光ピッ
クアップのカットオフ周波数2NA/λに比し大とする
ことが可能となり、十分なレベルのプッシュプル信号振
幅比及びクロストラック信号振幅比を確保しつつ、従来
に比しトラックピッチを狭小化することができて、記録
密度の大幅な向上をはかることができると共に、特にラ
ンド部のみにデータ情報を記録することによって、ラン
ドグルーブ記録方式を採る場合のように記録再生特性の
むらが生じることを回避することができて、ジッター9
%程度の再生を行うことができて、高記録密度化と共に
良好な再生特性を得ることができる。
【0128】また、本発明においては、データ情報をラ
ンド部のみに記録して、この上の保護層上から記録及び
/又は再生用の光を照射して記録及び/又は再生を行う
ことから、この場合対物レンズを、基板の裏面側から照
射する場合と比較して、より記録層に近接して配置する
ニアーフィールド構成としたことから、開口数NA大き
くしてもこま収差の増大を回避することができ、更に、
NAを大きく且つ再生光の波長λを低減化しても、スキ
ューマージンの低下を回避することができて、更に高記
録密度化従って大容量化をはかることができる。
【0129】従って、DVRやμ−Disc等の高密度記録
媒体に適して好適な、しかも信号の再生特性に優れた高
密度記録に適した光記録媒体とその記録再生方式を提供
することができる。
【0130】また更に、第1及び第2グルーブとランド
部とを同期してウォブリングする構成とする場合に、全
てのグルーブのウォブル信号、ランド部のウォブル信
号、即ちクロック信号を良好に再生することができ、デ
ータ情報とクロック信号共に良好な再生特性を実現する
ことができる。
【0131】更に、上述の異なる深さを有するグルーブ
に挟まれたランドに記録が行われる記録層が2層以上形
成される場合においては、高記録密度化をはかり、且つ
信号の再生特性に優れた光記録媒体及び記録再生方式を
得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】光記録媒体の一例の構成を示す説明図である。
【図2】光記録媒体製造用原盤の一例を示す説明図であ
る。
【図3】光記録媒体の一製造工程の説明図である。
【図4】光記録媒体の一例のフォーマットを示す図であ
る。
【図5】光記録媒体の一例のフォーマットを示す図であ
る。
【符号の説明】
1 基板、2 反射層、3 第1の誘電体層、4 記録
層、5 第2の誘電体層、6 保護層、7 第1のグル
ーブ、8 第2のグルーブ、9 ランド、11基板、1
2 フォトレジスト、14a 第1のグルーブパター
ン、14b 第2のグルーブパターン、15 光源、1
6 ランド、17 グルーブ 20 変調光学系、21
光学レンズ、22 音響光学変調器、23 駆動用ド
ライバ、24 光学レンズ、30 変調光学系、31
光学レンズ、32 音響光学変調器、33 駆動用ドラ
イバ、34 光学レンズ、40 移動光学テーブル、4
7ウェッジプリズム、48 音響光学偏向器、49 ウ
ェッジプリズム、50駆動用ドライバ、51 電圧制御
発振器、54 対物レンズ
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 7/007 G11B 7/007 7/26 501 7/26 501

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
    れ、所定の波長λの光が照射されて記録及び/又は再生
    がなされる光記録媒体であって、上記グルーブは、第1
    のグルーブと第2のグルーブとが交互に並置配列されて
    成り、 上記光記録媒体の光入射面から上記第1のグルーブに至
    る媒質の屈折率をnxとし、上記第1のグルーブの深さ
    をxとしたときに、x×nx /λで表される上記第1の
    グルーブの位相深さをXとし、 上記光入射面から上記第2のグルーブに至る媒質の屈折
    率をny とし、上記第2のグルーブの深さをyとしたと
    きに、y×ny /λで表される上記第2のグルーブの位
    相深さをYとしたときに、 上記第1及び第2のグルーブは、下記式(1)、式
    (2)及び式(3)を満たすように形成されると共に、 上記第1及び第2のグルーブが、共通の一平面を構成す
    る平坦面に開口するように並置配列され、 上記平坦面より成るランド部のみが、データ情報が記録
    されて成る情報面とされ、 上記情報面上に、光透過性の保護層が形成され、上記保
    護層側から記録光及び/又は再生光の照射がなされて情
    報の記録及び/又は再生がなされたことを特徴とする光
    記録媒体。 X≧0.3950−0.831Y+2.932Y2 ・・・(1) Y≧2.010−9.661X+11.77X2 ・・・(2) Y≦0.8480−2.450X+1.880X2 ・・・(3)
  2. 【請求項2】 上記第1及び第2のグルーブの少なくと
    も一方が蛇行するウォブリンググルーブであり、且つ上
    記第1及び第2のグルーブのウォブルが同期しているこ
    とを特徴とする上記請求項1に記載の光記録媒体。
  3. 【請求項3】 上記情報面に対する記録及び/又は再生
    に使用される対物レンズの開口数をNA、光の波長をλ
    としたとき、2×NA/λで表されるカットオフ周波数
    よりも、上記第1及び第2のグルーブによるグルーブピ
    ッチとして構成されるトラックピッチの空間周波数が大
    とされたことを特徴とする上記請求項1に記載の光記録
    媒体。
  4. 【請求項4】 上記情報面に対する記録及び/又は再生
    に使用される対物レンズの開口数をNAとしたとき、上
    記NAが0.85以上であることを特徴とする上記請求
    項1に記載の光記録媒体。
  5. 【請求項5】 上記第1及び第2のグルーブに挟まれた
    上記平坦面より成る上記情報面が、少なくとも2層以上
    形成されて成ることを特徴とする上記請求項1に記載の
    光記録媒体。
  6. 【請求項6】 上記少なくとも2層以上の情報面に対
    し、同一方向から記録光及び/又は再生光が照射され
    て、記録及び/又は再生がなされることを特徴とする上
    記請求項5に記載の光記録媒体。
  7. 【請求項7】 上記少なくとも2層以上の情報面に対
    し、該情報面上に形成された光透過性の保護層上から、
    それぞれ記録光及び/又は再生光が照射されて、記録及
    び/又は再生がなされることを特徴とする上記請求項5
    に記載の光記録媒体。
  8. 【請求項8】 記録トラックに沿って第1及び第2のグ
    ルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録
    及び/又は再生がなされる光記録媒体を製造する際に使
    用される光記録媒体製造用原盤であって、 上記第1のグルーブと第2のグルーブとに対応した、第
    1のグルーブパターンと第2のグルーブパターンとが交
    互に並置配列されて成る凹凸パターンを有し、 上記光記録媒体の光入射面から上記第1のグルーブに至
    る媒質の屈折率をnxとし、上記第1のグルーブパター
    ンの深さをx’としたときに、x’×nx /λで表され
    る上記第1のグルーブパターンの位相深さをX’とし、 上記光記録媒体の光入射面から上記第2のグルーブに至
    る媒質の屈折率をnyとし、上記第2のグルーブパター
    ンの深さをy’としたときに、y’×ny /λで表され
    る上記第2のグルーブパターンの位相深さをY’とした
    ときに、 上記第1及び第2のグルーブパターンは、下記式
    (4)、式(5)及び式(6)を満たすように形成され
    ると共に、 上記第1及び第2のグルーブパターンが、共通の一平面
    を構成する平坦面に開口するように並置配列され、 上記平坦面より成るランド部のみが、データ情報が記録
    されて成る情報パターン面とされたことを特徴とする光
    記録媒体製造用原盤。 X’≧0.3950−0.831Y’+2.932Y’2 ・・・(4) Y’≧2.010−9.661X’+11.77X’2 ・・・(5) Y’≦0.8480−2.450X’+1.880X’2 ・・・(6)
  9. 【請求項9】 上記第1及び第2のグルーブパターンの
    少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブリン
    ググルーブパターンであり、且つ上記第1及び第2のグ
    ルーブパターンのウォブルが同期していることを特徴と
    する上記請求項9に記載の光記録媒体製造用原盤。
  10. 【請求項10】 記録トラックに沿ってグルーブが形成
    され、所定の波長λの光が照射されて記録及び/又は再
    生がなされる光記録媒体の記録再生方法であって、 上記グルーブは、第1のグルーブと第2のグルーブとが
    交互に並置配列されて成り、 上記光記録媒体の光入射面から上記第1のグルーブに至
    る媒質の屈折率をnxとし、上記第1のグルーブの深さ
    をxとしたときに、x×nx /λで表される上記第1の
    グルーブの位相深さをXとし、 上記光入射面から上記第2のグルーブに至る媒質の屈折
    率をny とし、上記第2のグルーブの深さをyとしたと
    きに、y×ny /λで表される上記第2のグルーブの位
    相深さをYとしたときに、 上記第1及び第2のグルーブは、下記式(1)、式
    (2)及び式(3)を満たすように形成されると共に、 上記第1及び第2のグルーブが、共通の一平面を構成す
    る平坦面に開口するように並置配列され、 上記平坦面より成るランド部のみが、データ情報が記録
    されて成る情報面とされ、 上記情報面上に、光透過性の保護層が形成された光記録
    媒体に対し、 上記保護層側から記録及び/又は再生光を照射して記録
    及び/又は再生を行うことを特徴とする記録再生方法。 X≧0.3950−0.831Y+2.932Y2 ・・・(1) Y≧2.010−9.661X+11.77X2 ・・・(2) Y≦0.8480−2.450X+1.880X2 ・・・(3)
  11. 【請求項11】 上記第1及び第2のグルーブの少なく
    とも一方が蛇行するウォブリンググルーブであり、且つ
    上記第1及び第2のグルーブのウォブルが同期している
    ことを特徴とする上記請求項10に記載の記録再生方
    法。
  12. 【請求項12】 上記第1及び第2のグルーブに挟まれ
    た上記平坦面より成る上記情報面が、少なくとも2層以
    上形成されて成ることを特徴とする上記請求項10に記
    載の記録再生方法。
  13. 【請求項13】 上記少なくとも2層以上の情報面に対
    し、同一方向から記録光及び/又は再生光が照射され
    て、記録及び/又は再生がなされることを特徴とする上
    記請求項12に記載の光記録媒体の記録再生方法。
  14. 【請求項14】 上記情報面に対し、該情報面上に形成
    された光透過性の保護層上から、それぞれ記録光及び/
    又は再生光が照射されて、記録及び/又は再生がなされ
    ることを特徴とする上記請求項12に記載の光記録媒体
    の記録再生方法。
  15. 【請求項15】 記録トラックに沿ってグルーブが形成
    され、所定の波長λの光が照射されて記録及び/又は再
    生がなされる光記録媒体であって、 上記グルーブは、第1のグルーブと第2のグルーブとが
    交互に並置配列されて成り、 上記光記録媒体の光入射面から上記第1のグルーブに至
    る媒質の屈折率をnxとし、上記第1のグルーブの深さ
    をxとしたときに、x×nx /λで表される上記第1の
    グルーブの位相深さをXとし、 上記光入射面から上記第2のグルーブに至る媒質の屈折
    率をny とし、上記第2のグルーブの深さをyとしたと
    きに、y×ny /λで表される上記第2のグルーブの位
    相深さをYとしたときに、 上記第1及び第2のグルーブは、下記式(7)及び式
    (8)を満たすように形成されると共に、 上記第1及び第2のグルーブが、共通の一平面を構成す
    る平坦面に開口するように並置配列され、 上記平坦面より成るランド部のみが、データ情報が記録
    されて成る情報面とされ、 上記情報面上に、光透過性の保護層が形成され、上記保
    護層側から記録光及び/又は再生光の照射がなされて情
    報の記録及び/又は再生がなされたことを特徴とする光
    記録媒体。 Y≧0.5M+92.2886−1180.9171X +6024.8214X2 −15319.685X3 +19417.035X4 −9814.8325X5 ・・・(7) Y≦0.5M−5.12373+63.5710X−283.8349X2 +561.8047X3 −419.6662X4 ・・・(8) (Mは任意の整数)
  16. 【請求項16】 上記第1及び第2のグルーブの少なく
    とも一方が蛇行するように形成されたウォブリンググル
    ーブであり、且つ上記第1及び第2のグルーブのウォブ
    ルが同期していることを特徴とする上記請求項15に記
    載の光記録媒体。
  17. 【請求項17】 上記情報面に対する記録及び/又は再
    生に使用される対物レンズの開口数をNA、光の波長を
    λとしたとき、2×NA/λで表されるカットオフ周波
    数よりも、上記第1及び第2のグルーブによるグルーブ
    ピッチとして構成されるトラックピッチの空間周波数が
    大とされたことを特徴とする上記請求項15に記載の光
    記録媒体。
  18. 【請求項18】 上記情報面に対する記録及び/又は再
    生に使用される対物レンズの開口数をNAとしたとき、
    上記NAが0.85以上であることを特徴とする上記請
    求項15に記載の光記録媒体。
  19. 【請求項19】 上記第1及び第2のグルーブに挟まれ
    た上記平坦面より成る上記情報面が、少なくとも2層以
    上形成されて成ることを特徴とする上記請求項15に記
    載の光記録媒体。
  20. 【請求項20】 上記少なくとも2層以上の情報面に対
    し、同一方向から記録光及び/又は再生光が照射され
    て、記録及び/又は再生がなされることを特徴とする上
    記請求項19に記載の光記録媒体。
  21. 【請求項21】 上記少なくとも2層以上の情報面に対
    し、該情報面上に形成された光透過性の保護層上から、
    それぞれ記録光及び/又は再生光が照射されて、記録及
    び/又は再生がなされることを特徴とする上記請求項1
    9に記載の光記録媒体。
  22. 【請求項22】 記録トラックに沿って第1及び第2の
    グルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記
    録及び/又は再生がなされる光記録媒体を製造する際に
    使用される光記録媒体製造用原盤であって、 上記第1のグルーブと第2のグルーブとに対応した、第
    1のグルーブパターンと第2のグルーブパターンとが交
    互に並置配列されて成る凹凸パターンを有し、 上記光記録媒体の光入射面から上記第1のグルーブに至
    る媒質の屈折率をnxとし、上記第1のグルーブパター
    ンの深さをx’としたときに、x’×nx /λで表され
    る上記第1のグルーブパターンの位相深さをX’とし、 上記光記録媒体の光入射面から上記第2のグルーブに至
    る媒質の屈折率をnyとし、上記第2のグルーブパター
    ンの深さをy’としたときに、y’×ny /λで表され
    る上記第2のグルーブパターンの位相深さをY’とした
    ときに、 上記第1及び第2のグルーブパターンは、下記式式
    (9)及び式(10)を満たすように形成されると共
    に、 上記第1及び第2のグルーブパターンが、共通の一平面
    を構成する平坦面に開口するように並置配列され、 上記平坦面より成るランド部のみが、データ情報が記録
    されて成る情報パターン面とされたことを特徴とする光
    記録媒体製造用原盤。 Y’≧0.5M+92.2886−1180.9171X’ +6024.8214X’2 −15319.685X’3 +19417.035X’4 −9814.8325X’5 ・・・(9) Y’≦0.5M−5.12373+63.5710X’ −283.8349X’2 +561.8047X’3 −419.6662X’4 ・・・・・・(10) (Mは任意の整数)
  23. 【請求項23】 上記第1及び第2のグルーブパターン
    の少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブリ
    ンググルーブパターンであり、且つ上記第1及び第2の
    グルーブパターンのウォブルが同期していることを特徴
    とする上記請求項22に記載の光記録媒体製造用原盤。
  24. 【請求項24】 記録トラックに沿ってグルーブが形成
    され、所定の波長λの光が照射されて記録及び/又は再
    生がなされる光記録媒体の記録再生方法であって、 上記グルーブは、第1のグルーブと第2のグルーブとが
    交互に並置配列されて成り、 上記光記録媒体の光入射面から上記第1のグルーブに至
    る媒質の屈折率をnxとし、上記第1のグルーブの深さ
    をxとしたときに、x×nx /λで表される上記第1の
    グルーブの位相深さをXとし、 上記光入射面から上記第2のグルーブに至る媒質の屈折
    率をny とし、上記第2のグルーブの深さをyとしたと
    きに、y×ny /λで表される上記第2のグルーブの位
    相深さをYとしたときに、 上記第1及び第2のグルーブは、下記式(7)及び式
    (8)を満たすように形成されると共に、 上記第1及び第2のグルーブが、共通の一平面を構成す
    る平坦面に開口するように並置配列され、 上記平坦面より成るランド部のみが、データ情報が記録
    されて成る情報面とされ、 上記情報面上に、光透過性の保護層が形成された光記録
    媒体に対し、 上記保護層上から記録及び/又は再生光を照射して記録
    及び/又は再生を行うことを特徴とする光記録媒体の記
    録再生方法。 Y≧0.5M+92.2886−1180.9171X +6024.8214X2 −15319.685X3 +19417.035X4 −9814.8325X5 ・・・(7) Y≦0.5M−5.12373+63.5710X−283.8349X2 +561.8047X3 −419.6662X4 ・・・(8) (Mは任意の整数)
  25. 【請求項25】 上記第1及び第2のグルーブの少なく
    とも一方が蛇行するウォブリンググルーブであり、且つ
    上記第1及び第2のグルーブのウォブルが同期している
    ことを特徴とする上記請求項24に記載の光記録媒体の
    記録再生方法。
  26. 【請求項26】 上記第1及び第2のグルーブに挟まれ
    た上記平坦面より成る上記情報面が、少なくとも2層以
    上形成されて成ることを特徴とする上記請求項24に記
    載の光記録媒体の記録再生方法。
  27. 【請求項27】 上記少なくとも2層以上の情報面に対
    し、同一方向から記録光及び/又は再生光が照射され
    て、記録及び/又は再生がなされることを特徴とする上
    記請求項26に記載の光記録媒体の記録再生方法。
  28. 【請求項28】 上記少なくとも2層以上の情報面に対
    し、該情報面上に形成された光透過性の保護層上から、
    それぞれ記録光及び/又は再生光が照射されて、記録及
    び/又は再生がなされることを特徴とする上記請求項2
    6に記載の光記録媒体の記録再生方法。
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