JP2002216395A - 光記録媒体、光記録媒体用原盤、光記録媒体原盤の製造装置、光記録再生装置 - Google Patents
光記録媒体、光記録媒体用原盤、光記録媒体原盤の製造装置、光記録再生装置Info
- Publication number
- JP2002216395A JP2002216395A JP2001009841A JP2001009841A JP2002216395A JP 2002216395 A JP2002216395 A JP 2002216395A JP 2001009841 A JP2001009841 A JP 2001009841A JP 2001009841 A JP2001009841 A JP 2001009841A JP 2002216395 A JP2002216395 A JP 2002216395A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- optical recording
- recording medium
- wobbling
- amplitude
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/2407—Tracks or pits; Shape, structure or physical properties thereof
- G11B7/24073—Tracks
- G11B7/24082—Meandering
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
- G11B11/10576—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers with provision for moving the transducers for maintaining alignment or spacing relative to the carrier
- G11B11/10578—Servo format, e.g. prepits, guide tracks, pilot signals
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/007—Arrangement of the information on the record carrier, e.g. form of tracks, actual track shape, e.g. wobbled, or cross-section, e.g. v-shaped; Sequential information structures, e.g. sectoring or header formats within a track
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/007—Arrangement of the information on the record carrier, e.g. form of tracks, actual track shape, e.g. wobbled, or cross-section, e.g. v-shaped; Sequential information structures, e.g. sectoring or header formats within a track
- G11B7/00718—Groove and land recording, i.e. user data recorded both in the grooves and on the lands
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
Abstract
(57)【要約】
【課題】 狭トラックピッチ化して記録密度の向上を達
成しても、ビートを発生することなく安定してウォーブ
ル信号を再生することを実現する。 【解決手段】 ウォーブリンググルーブ７１と、その隣
り合うウォーブリンググルーブ７１どうしの間のランド
７２とに、光磁気記録によるデータを書き込むことが可
能であるように設定されている。ウォーブリンググルー
ブ７１は、その溝の両側面を異なった振幅量でウォーブ
ルするように設けられている。またさらには、その溝の
異なった振幅量でウォーブルする両側面を、トラック方
向で同位相にウォーブルさせるようにしている。このよ
うな両側面の異なった振幅量は、さらに望ましくは、
３．３〜４０％に設定する。
成しても、ビートを発生することなく安定してウォーブ
ル信号を再生することを実現する。 【解決手段】 ウォーブリンググルーブ７１と、その隣
り合うウォーブリンググルーブ７１どうしの間のランド
７２とに、光磁気記録によるデータを書き込むことが可
能であるように設定されている。ウォーブリンググルー
ブ７１は、その溝の両側面を異なった振幅量でウォーブ
ルするように設けられている。またさらには、その溝の
異なった振幅量でウォーブルする両側面を、トラック方
向で同位相にウォーブルさせるようにしている。このよ
うな両側面の異なった振幅量は、さらに望ましくは、
３．３〜４０％に設定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光記録媒体、光記
録媒体用原盤、光記録媒体原盤の製造装置、光記録再生
装置に関する。
録媒体用原盤、光記録媒体原盤の製造装置、光記録再生
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光記録媒体は、各種の信号化された情報
を光学的に再生可能に記録するものである。例えばコン
パクトディスクやレーザディスク等のように、データに
対応したエンボスピットがディスク基板にあらかじめ形
成されている再生専用の光ディスクや、ミニディスク
（Mini Disc ；ＭＤ）等のように磁気光学効果を利用し
てデータの記録や再生を行うように設定された光磁気デ
ィスクや、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）等のよう
に記録層の相変化を利用して情報（データ）の記録・再
生を行うように設定された相変化型光ディスクなど、種
々の記録方式のものがある。
を光学的に再生可能に記録するものである。例えばコン
パクトディスクやレーザディスク等のように、データに
対応したエンボスピットがディスク基板にあらかじめ形
成されている再生専用の光ディスクや、ミニディスク
（Mini Disc ；ＭＤ）等のように磁気光学効果を利用し
てデータの記録や再生を行うように設定された光磁気デ
ィスクや、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）等のよう
に記録層の相変化を利用して情報（データ）の記録・再
生を行うように設定された相変化型光ディスクなど、種
々の記録方式のものがある。
【０００３】光磁気ディスクや相変化型光ディスクのよ
うに、記録される情報を書き換え可能に設定された光記
録媒体では、ピットのような離散的な形状ではなく連続
した溝状のグルーブが、記録トラックに沿って形成され
ている。このグルーブは、主としてトラッキングサーボ
制御のために設けられた、言わば案内溝である。このグ
ルーブ同士の間の部分は、グルーブの底よりも表面寄り
に隆起していることからランドと呼ばれている。
うに、記録される情報を書き換え可能に設定された光記
録媒体では、ピットのような離散的な形状ではなく連続
した溝状のグルーブが、記録トラックに沿って形成され
ている。このグルーブは、主としてトラッキングサーボ
制御のために設けられた、言わば案内溝である。このグ
ルーブ同士の間の部分は、グルーブの底よりも表面寄り
に隆起していることからランドと呼ばれている。
【０００４】グルーブが形成された光記録媒体では一般
に、プッシュプル信号を用いてトラッキングサーボ制御
が行われる。そのプッシュプル信号は、光記録媒体に向
けて光ビームを照射し、その光記録媒体で反射された光
をトラック中心に対して対称に配置された２つの光検出
器によって検出し、それら２つの光検出器からの出力の
差に基づいて得ることができる。
に、プッシュプル信号を用いてトラッキングサーボ制御
が行われる。そのプッシュプル信号は、光記録媒体に向
けて光ビームを照射し、その光記録媒体で反射された光
をトラック中心に対して対称に配置された２つの光検出
器によって検出し、それら２つの光検出器からの出力の
差に基づいて得ることができる。
【０００５】ところで、本願出願人による特許第２９６
００１８号には、ＭＤのデータ記録部であるウォーブリ
ングワイドグルーブを、２２．０５［ｋＨｚ］と５［Ｍ
Ｈｚ］とを重畳させた信号によって形成する方法が提案
されている。その形成方法では、２２．０５［ｋＨｚ］
のＦＭ変調信号は、アドレスのウォーブル情報を記録す
るためのもので、５［ＭＨｚ］の信号は、その振幅量に
よってグルーブの幅を広げるためのものである。このよ
うな形成方法によって、ウォーブリングワイドグルーブ
は、溝の両側面がウォーブリング（規則的に蛇行）した
形状に形成されている。このウォーブリングワイドグル
ーブを光記録媒体に形成することにより、データ記録部
がワイドグルーブ（幅広）となり、ＡＤＩＰのウォーブ
ル信号の安定的な再生やＭＯ信号の安定的な記録再生を
実現することができる。
００１８号には、ＭＤのデータ記録部であるウォーブリ
ングワイドグルーブを、２２．０５［ｋＨｚ］と５［Ｍ
Ｈｚ］とを重畳させた信号によって形成する方法が提案
されている。その形成方法では、２２．０５［ｋＨｚ］
のＦＭ変調信号は、アドレスのウォーブル情報を記録す
るためのもので、５［ＭＨｚ］の信号は、その振幅量に
よってグルーブの幅を広げるためのものである。このよ
うな形成方法によって、ウォーブリングワイドグルーブ
は、溝の両側面がウォーブリング（規則的に蛇行）した
形状に形成されている。このウォーブリングワイドグル
ーブを光記録媒体に形成することにより、データ記録部
がワイドグルーブ（幅広）となり、ＡＤＩＰのウォーブ
ル信号の安定的な再生やＭＯ信号の安定的な記録再生を
実現することができる。
【０００６】また、特許第２８５４１８７には、グルー
ブの両側面のうちの片側のみをウォーブリングさせ、他
方の側はウォーブリングさせないでストレートに（円弧
状に）するという技術が提案されている。この技術によ
れば、グルーブのウォーブリングにアドレス情報を担持
させる（盛り込む）ことが可能である。
ブの両側面のうちの片側のみをウォーブリングさせ、他
方の側はウォーブリングさせないでストレートに（円弧
状に）するという技術が提案されている。この技術によ
れば、グルーブのウォーブリングにアドレス情報を担持
させる（盛り込む）ことが可能である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ウォーブリ
ンググルーブが形成された光記録媒体では、記録密度を
より高いものとすると共に、ウォーブル信号を安定して
再生できるようにすることが望まれる。
ンググルーブが形成された光記録媒体では、記録密度を
より高いものとすると共に、ウォーブル信号を安定して
再生できるようにすることが望まれる。
【０００８】しかしながら、上記の特許第２８５４１８
７に提案されたようなグルーブの片側のみをウォーブリ
ングさせた光記録媒体では、他方のウォーブリングしな
い側面がアドレス情報を担持させるためには用いられて
いないので、両側面をウォーブリングさせた場合のウォ
ーブリング信号量と比べて半分程度になり、ウォーブル
信号の安定した再生が困難である場合があるという問題
点があった。
７に提案されたようなグルーブの片側のみをウォーブリ
ングさせた光記録媒体では、他方のウォーブリングしな
い側面がアドレス情報を担持させるためには用いられて
いないので、両側面をウォーブリングさせた場合のウォ
ーブリング信号量と比べて半分程度になり、ウォーブル
信号の安定した再生が困難である場合があるという問題
点があった。
【０００９】また、ウォーブリング信号量を増大させて
ウォーブル信号の安定的な再生を達成することが望まれ
る。ところが、グルーブの両側面をウォーブリングする
ように形成し、かつ記録密度のさらなる向上を達成する
ためにはトラックピッチを狭くすることが必要である
が、そのように狭トラックピッチ化すると、ウォーブリ
ングの位相がずれている場合などに特に顕著に、隣り合
うウォーブリングどうしの間でウォーブル信号にビート
が発生し、これに起因して、ウォーブル信号の安定した
再生が困難なものとなるという問題点があった。
ウォーブル信号の安定的な再生を達成することが望まれ
る。ところが、グルーブの両側面をウォーブリングする
ように形成し、かつ記録密度のさらなる向上を達成する
ためにはトラックピッチを狭くすることが必要である
が、そのように狭トラックピッチ化すると、ウォーブリ
ングの位相がずれている場合などに特に顕著に、隣り合
うウォーブリングどうしの間でウォーブル信号にビート
が発生し、これに起因して、ウォーブル信号の安定した
再生が困難なものとなるという問題点があった。
【００１０】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、狭トラックピッチ化して記録密度の
向上を達成しても、ビートを発生することなく安定して
ウォーブル信号を再生することが可能である光記録媒体
を提供することにある。また、その光記録媒体に記録再
生を行うための光記録再生方法およびそれに用いられる
光記録装置、その光記録媒体を複製する際に用いられる
光記録媒体製造用原盤を提供することにある。
ので、その目的は、狭トラックピッチ化して記録密度の
向上を達成しても、ビートを発生することなく安定して
ウォーブル信号を再生することが可能である光記録媒体
を提供することにある。また、その光記録媒体に記録再
生を行うための光記録再生方法およびそれに用いられる
光記録装置、その光記録媒体を複製する際に用いられる
光記録媒体製造用原盤を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明による光記録媒体
または光記録媒体用原盤は、円盤状の基板の表面にグル
ーブが連続した溝状のトラックを成すように形成されて
おり、そのグルーブのトラックに沿って情報を読み取り
可能に設定された光記録媒体であって、前述のグルーブ
が、その溝の両側面を異なった振幅量でウォーブルする
ように設けられたウォーブリンググルーブとなってい
る。
または光記録媒体用原盤は、円盤状の基板の表面にグル
ーブが連続した溝状のトラックを成すように形成されて
おり、そのグルーブのトラックに沿って情報を読み取り
可能に設定された光記録媒体であって、前述のグルーブ
が、その溝の両側面を異なった振幅量でウォーブルする
ように設けられたウォーブリンググルーブとなってい
る。
【００１２】本発明による他の光記録媒体または光記録
媒体用原盤は、円盤状の基板の表面にグルーブが連続し
た溝状のトラックを成すように形成されており、そのグ
ルーブのトラックに沿って情報を読み取り可能に設定さ
れた光記録媒体であって、前述のグルーブが、その溝の
両側面を異なった振幅量で同位相にウォーブルするよう
に設けられたウォーブリンググルーブとなっている。
媒体用原盤は、円盤状の基板の表面にグルーブが連続し
た溝状のトラックを成すように形成されており、そのグ
ルーブのトラックに沿って情報を読み取り可能に設定さ
れた光記録媒体であって、前述のグルーブが、その溝の
両側面を異なった振幅量で同位相にウォーブルするよう
に設けられたウォーブリンググルーブとなっている。
【００１３】本発明による光記録媒体用原盤の製造装置
は、円盤状の原盤の表面に連続したトラックを成すグル
ーブをパターニングする光記録媒体用原盤の製造装置で
あって、低周波信号と高周波信号とを重畳してなる制御
信号に基づいて、露光用の光ビームまたはレーザビーム
を光記録媒体用原盤の表面に対して相対的に進行させな
がらその進行方向に対して交差する方向に所定の周期で
振らせて、グルーブの両側面が異なった振幅量で同位相
にウォーブルするウォーブリンググルーブとなるように
パターニングを行うものである。
は、円盤状の原盤の表面に連続したトラックを成すグル
ーブをパターニングする光記録媒体用原盤の製造装置で
あって、低周波信号と高周波信号とを重畳してなる制御
信号に基づいて、露光用の光ビームまたはレーザビーム
を光記録媒体用原盤の表面に対して相対的に進行させな
がらその進行方向に対して交差する方向に所定の周期で
振らせて、グルーブの両側面が異なった振幅量で同位相
にウォーブルするウォーブリンググルーブとなるように
パターニングを行うものである。
【００１４】本発明による光記録再生装置は、溝の両側
面のウォーブル振幅量が異なるように設定されたウォー
ブリンググルーブを有しており、そのウォーブリンググ
ルーブとランドとの両方に情報が記録可能であるように
設定されている光記録媒体に対して、情報の記録および
／または再生を行う光記録再生装置であって、ウォーブ
リンググルーブに光スポットを追従させる手段と、ウォ
ーブリンググルーブに前記光スポットを追従させながら
ウォーブル信号を検出する手段とを備えたものである。
面のウォーブル振幅量が異なるように設定されたウォー
ブリンググルーブを有しており、そのウォーブリンググ
ルーブとランドとの両方に情報が記録可能であるように
設定されている光記録媒体に対して、情報の記録および
／または再生を行う光記録再生装置であって、ウォーブ
リンググルーブに光スポットを追従させる手段と、ウォ
ーブリンググルーブに前記光スポットを追従させながら
ウォーブル信号を検出する手段とを備えたものである。
【００１５】本発明による光記録媒体、光記録媒体用原
盤、光記録媒体原盤の製造装置、光記録再生装置では、
グルーブが、その溝の両側面を異なった振幅量でウォー
ブルするように設けられたウォーブリンググルーブとな
っている。またさらには、その溝の異なった振幅量でウ
ォーブルする両側面を、トラック方向で同位相にウォー
ブルさせるようにしている。このような両側面の異なっ
た振幅量は、さらに望ましくは、３．３〜４０％に設定
する。
盤、光記録媒体原盤の製造装置、光記録再生装置では、
グルーブが、その溝の両側面を異なった振幅量でウォー
ブルするように設けられたウォーブリンググルーブとな
っている。またさらには、その溝の異なった振幅量でウ
ォーブルする両側面を、トラック方向で同位相にウォー
ブルさせるようにしている。このような両側面の異なっ
た振幅量は、さらに望ましくは、３．３〜４０％に設定
する。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】［光磁気ディスク］図１は、本発明の一実
施の形態に係る光磁気ディスクの概要構成を表したもの
である。この光磁気ディスクは、いわゆるＭＤ３フォー
マットの規格に準拠して、磁気光学効果によりデータの
記録再生が行われるように設定された、円盤状の光記録
媒体である。
施の形態に係る光磁気ディスクの概要構成を表したもの
である。この光磁気ディスクは、いわゆるＭＤ３フォー
マットの規格に準拠して、磁気光学効果によりデータの
記録再生が行われるように設定された、円盤状の光記録
媒体である。
【００１８】ガラスまたはポリメチルメタクリレート
（ＰＭＭＡ）あるいはポリカーボネート（ＰＣ）などか
らなるディスク基板２の上に、光磁気記録が行われる記
録部３と、その記録部３の表面ほぼ全面を覆って保護す
る保護層４とが、この順で積層形成されている。記録部
３は、図示は省略したが、例えば、ＳｉＮ（窒化シリコ
ン）からなる第１の誘電体膜、ＴｅＦｅＣｏ合金からな
る垂直磁気記録膜、ＳｉＮからなる第２の誘電体膜、Ａ
ｌ合金からなる反射膜などが、順次に積層されて形成さ
れたものである。保護層４は、記録部３の上に、例えば
紫外線硬化樹脂をスピンコートして形成されたものであ
る。なお、記録部３や保護層４の形成材料は、上記の例
のみには限定されないことは言うまでもない。記録部３
の材質としては、光磁気記録を効果的に行うことが可能
なものであればどのようなものでもよく、また保護層４
は記録部３を効果的に保護することが可能などのような
ものでもよい。
（ＰＭＭＡ）あるいはポリカーボネート（ＰＣ）などか
らなるディスク基板２の上に、光磁気記録が行われる記
録部３と、その記録部３の表面ほぼ全面を覆って保護す
る保護層４とが、この順で積層形成されている。記録部
３は、図示は省略したが、例えば、ＳｉＮ（窒化シリコ
ン）からなる第１の誘電体膜、ＴｅＦｅＣｏ合金からな
る垂直磁気記録膜、ＳｉＮからなる第２の誘電体膜、Ａ
ｌ合金からなる反射膜などが、順次に積層されて形成さ
れたものである。保護層４は、記録部３の上に、例えば
紫外線硬化樹脂をスピンコートして形成されたものであ
る。なお、記録部３や保護層４の形成材料は、上記の例
のみには限定されないことは言うまでもない。記録部３
の材質としては、光磁気記録を効果的に行うことが可能
なものであればどのようなものでもよく、また保護層４
は記録部３を効果的に保護することが可能などのような
ものでもよい。
【００１９】図２は、この光磁気ディスクの表面に形成
された記録領域を拡大して示したものである。ウォーブ
リンググルーブ７１と、その隣り合うウォーブリンググ
ルーブ７１どうしの間のランド７２とに、光磁気記録に
よるデータを書き込むことが可能であるように設定され
ている。
された記録領域を拡大して示したものである。ウォーブ
リンググルーブ７１と、その隣り合うウォーブリンググ
ルーブ７１どうしの間のランド７２とに、光磁気記録に
よるデータを書き込むことが可能であるように設定され
ている。
【００２０】ウォーブリンググルーブ７１は、一方の側
面（図２で右側の側壁面）の振幅量が±１５ ［ｎ
ｍ］、他方（図２で左側の側壁面）の側面の振幅量が例
えば±０．５［ｎｍ］、±１．５［ｎｍ］、±３．０
［ｎｍ］、±６．０［ｎｍ］のいずれかに設定されてお
り、ウォーブリンググルーブ７１の溝の長手方向に実質
的に一定周期で同位相にウォーブル（蛇行）するように
形成されている。また、トラックピッチは、例えば１．
２［μｍ］、ウォーブリンググルーブ７１およびランド
７２の実質的な書き込み可能領域の幅は、どちらも０．
６０［μｍ］程度と設定されている。ここで、隣り合う
トラックどうしのウォーブル中心間の距離を、トラック
ピッチと呼ぶものであることは言うまでもない。
面（図２で右側の側壁面）の振幅量が±１５ ［ｎ
ｍ］、他方（図２で左側の側壁面）の側面の振幅量が例
えば±０．５［ｎｍ］、±１．５［ｎｍ］、±３．０
［ｎｍ］、±６．０［ｎｍ］のいずれかに設定されてお
り、ウォーブリンググルーブ７１の溝の長手方向に実質
的に一定周期で同位相にウォーブル（蛇行）するように
形成されている。また、トラックピッチは、例えば１．
２［μｍ］、ウォーブリンググルーブ７１およびランド
７２の実質的な書き込み可能領域の幅は、どちらも０．
６０［μｍ］程度と設定されている。ここで、隣り合う
トラックどうしのウォーブル中心間の距離を、トラック
ピッチと呼ぶものであることは言うまでもない。
【００２１】この光磁気ディスクでは、ウォーブリング
グルーブ７１の平均幅とランド７２の平均幅とがほぼ等
しくなるように設定されているランドアンドグルーブフ
ォーマット（Land and Groove Format）であるため、ト
ラッキングサーボ制御を行うために十分なレベルのプッ
シュプル信号が得られるように設定されている。ここ
で、プッシュプル信号は、光磁気ディスクに光ビームを
照射して反射された光を、トラック中心に対して対称に
配置された２つの光検出器（図示省略）Ａ，Ｂによって
検出し、それら２つの光検出器Ａ，Ｂからの出力ＳA ，
ＳB の差（ＳA −ＳB ）に基づいて得ることができる。
また、このときの反射光量は、それら２つの光検出器
Ａ，Ｂからの出力ＳA ，ＳB の和（ＳA ＋ＳB ）に基づ
いて検出することができる。検出された反射光量の情報
（ＳA ＋ＳB によって得られる和信号）は、光ビームの
スポットがウォーブリンググルーブ７１をその幅方向に
横切る移動する際などに、どれだけのトラックを跨いだ
かを検出するために用いられるもので、一般にクロスト
ラック信号と呼ばれる。
グルーブ７１の平均幅とランド７２の平均幅とがほぼ等
しくなるように設定されているランドアンドグルーブフ
ォーマット（Land and Groove Format）であるため、ト
ラッキングサーボ制御を行うために十分なレベルのプッ
シュプル信号が得られるように設定されている。ここ
で、プッシュプル信号は、光磁気ディスクに光ビームを
照射して反射された光を、トラック中心に対して対称に
配置された２つの光検出器（図示省略）Ａ，Ｂによって
検出し、それら２つの光検出器Ａ，Ｂからの出力ＳA ，
ＳB の差（ＳA −ＳB ）に基づいて得ることができる。
また、このときの反射光量は、それら２つの光検出器
Ａ，Ｂからの出力ＳA ，ＳB の和（ＳA ＋ＳB ）に基づ
いて検出することができる。検出された反射光量の情報
（ＳA ＋ＳB によって得られる和信号）は、光ビームの
スポットがウォーブリンググルーブ７１をその幅方向に
横切る移動する際などに、どれだけのトラックを跨いだ
かを検出するために用いられるもので、一般にクロスト
ラック信号と呼ばれる。
【００２２】このように、ウォーブリンググルーブ７１
の両側面を異なった振幅量で同位相にウォーブルするよ
うに設けて、そのウォーブリンググルーブ７１にアドレ
ス情報を担持させた（付加した、または盛り込んだ）こ
とにより、ウォーブリンググルーブ７１の片側の側面の
みをウォーブルさせた場合と比較して、ウォーブリング
信号量を３．３％〜４０％増大させることができる。し
かも、両側面のウォーブルを同位相とし、またその片方
の振幅量を±１５［ｎｍ］、他方の振幅量を最大±６．
０［ｎｍ］と異なる振幅に設定しているので、ウォーブ
リンググルーブ７１の両側面をウォーブルさせるように
形成しても、十分な信号量を得ることができ、また情報
の記録や再生の際にウォーブリング信号に生じるビート
を軽減または解消することができ、安定した記録や再生
を行うことが可能となる。
の両側面を異なった振幅量で同位相にウォーブルするよ
うに設けて、そのウォーブリンググルーブ７１にアドレ
ス情報を担持させた（付加した、または盛り込んだ）こ
とにより、ウォーブリンググルーブ７１の片側の側面の
みをウォーブルさせた場合と比較して、ウォーブリング
信号量を３．３％〜４０％増大させることができる。し
かも、両側面のウォーブルを同位相とし、またその片方
の振幅量を±１５［ｎｍ］、他方の振幅量を最大±６．
０［ｎｍ］と異なる振幅に設定しているので、ウォーブ
リンググルーブ７１の両側面をウォーブルさせるように
形成しても、十分な信号量を得ることができ、また情報
の記録や再生の際にウォーブリング信号に生じるビート
を軽減または解消することができ、安定した記録や再生
を行うことが可能となる。
【００２３】また、ウォーブリンググルーブ７１の両側
面の振幅量の異なるどちらのウォーブルからも、トラッ
キングサーボ制御を行うために十分なプッシュプル信号
を得ることができるので、安定的に確実なトラッキング
を行うことが可能となる。
面の振幅量の異なるどちらのウォーブルからも、トラッ
キングサーボ制御を行うために十分なプッシュプル信号
を得ることができるので、安定的に確実なトラッキング
を行うことが可能となる。
【００２４】［レーザカッティング装置およびそれによ
る原盤製作］上記の光磁気ディスクを例えば射出成形装
置などによって製造する際には、その原盤（光記録媒体
製造用原盤）が用いられるが、その原盤の製作は、図３
に示したようなレーザカッティング装置によって行われ
る。
る原盤製作］上記の光磁気ディスクを例えば射出成形装
置などによって製造する際には、その原盤（光記録媒体
製造用原盤）が用いられるが、その原盤の製作は、図３
に示したようなレーザカッティング装置によって行われ
る。
【００２５】このレーザカッティング装置は、ガラス基
板１１の上に塗布されたフォトレジスト１２を露光し
て、ウォーブリンググルーブ７１などの平面的パターン
の潜像を形成するものである。
板１１の上に塗布されたフォトレジスト１２を露光し
て、ウォーブリンググルーブ７１などの平面的パターン
の潜像を形成するものである。
【００２６】原盤製作プロセスでは、まず、フォトレジ
スト１２を塗布されたガラス基板１１が回転駆動装置
（図示省略）のターンテーブル１７の上に載置される。
フォトレジスト１２を露光する工程では、フォトレジス
ト１２が塗布されたガラス基板１１がターンテーブル１
７によって図中矢印Ｍで示したように回転駆動されると
共に、移動光学テーブル１８が平行移動しながらフォト
レジスト１２にレーザビーム３０を照射することによ
り、ガラス基板１１上のフォトレジスト１２のほぼ全面
に亘って所望のパターンが露光される。
スト１２を塗布されたガラス基板１１が回転駆動装置
（図示省略）のターンテーブル１７の上に載置される。
フォトレジスト１２を露光する工程では、フォトレジス
ト１２が塗布されたガラス基板１１がターンテーブル１
７によって図中矢印Ｍで示したように回転駆動されると
共に、移動光学テーブル１８が平行移動しながらフォト
レジスト１２にレーザビーム３０を照射することによ
り、ガラス基板１１上のフォトレジスト１２のほぼ全面
に亘って所望のパターンが露光される。
【００２７】なお、具体的には、この露光の際のレーザ
ビーム３０に対するターンテーブル１７による原盤の相
対的な回転速度（線速度）は、例えば０．９１［ｍ／
ｓ］に設定するとも共に、その１回転ごとに例えば１．
２０［μｍ］ずつなどトラックピッチ分の距離を移動光
学テーブル１８が平行移動するように設定すればよい。
ただし、回転速度やトラックピッチの絶対値はこれらの
みには限定されないことは言うまでもない。
ビーム３０に対するターンテーブル１７による原盤の相
対的な回転速度（線速度）は、例えば０．９１［ｍ／
ｓ］に設定するとも共に、その１回転ごとに例えば１．
２０［μｍ］ずつなどトラックピッチ分の距離を移動光
学テーブル１８が平行移動するように設定すればよい。
ただし、回転速度やトラックピッチの絶対値はこれらの
みには限定されないことは言うまでもない。
【００２８】さらに詳細には、レーザ光源系として、レ
ーザ光を出射するレーザ光源１３、そのレーザ光源１３
から出射されたレーザ光の強度を調整するためのＥＯＭ
（Electro Optical Modulator ；電気光学変調器）１
４、そのＥＯＭ１４から出射されたレーザ光を透過光と
反射光とに分割するＢＳ（Beam Splitter ；ビームスプ
リッタ）１６、ＥＯＭ１４から出射されるレーザ光の光
軸上に配置された検光子１５、その検光子１５を通って
きたレーザ光を受光するＰＤ（Photo Detector；光検出
器）１９、ＥＯＭ１４に対して信号電界を印加して、そ
のＥＯＭ１４から出射されるレーザ光の強度をフィード
バック制御するＡＰＣ（Auto Power Controller ；オー
トパワーコントローラ）２０を備えている。
ーザ光を出射するレーザ光源１３、そのレーザ光源１３
から出射されたレーザ光の強度を調整するためのＥＯＭ
（Electro Optical Modulator ；電気光学変調器）１
４、そのＥＯＭ１４から出射されたレーザ光を透過光と
反射光とに分割するＢＳ（Beam Splitter ；ビームスプ
リッタ）１６、ＥＯＭ１４から出射されるレーザ光の光
軸上に配置された検光子１５、その検光子１５を通って
きたレーザ光を受光するＰＤ（Photo Detector；光検出
器）１９、ＥＯＭ１４に対して信号電界を印加して、そ
のＥＯＭ１４から出射されるレーザ光の強度をフィード
バック制御するＡＰＣ（Auto Power Controller ；オー
トパワーコントローラ）２０を備えている。
【００２９】レーザ光源１３としては、例えば、波長λ
が３５１［ｎｍ］のＫｒ（クリプトン）レーザなど、短
波長のレーザ光を出射可能であるものが望ましい。ただ
しこれのみには限定されないことは言うまでもない。
が３５１［ｎｍ］のＫｒ（クリプトン）レーザなど、短
波長のレーザ光を出射可能であるものが望ましい。ただ
しこれのみには限定されないことは言うまでもない。
【００３０】レーザ光源１３から出射されたレーザ光
は、ＡＰＣ２０の制御されて駆動されるＥＯＭ１４によ
って所定の光強度に調整されて検光子１５に入射する。
ここで、検光子１５はＳ偏光の検光子１５であるから、
この検光子１５を透過してきたレーザ光はＳ偏光とな
る。
は、ＡＰＣ２０の制御されて駆動されるＥＯＭ１４によ
って所定の光強度に調整されて検光子１５に入射する。
ここで、検光子１５はＳ偏光の検光子１５であるから、
この検光子１５を透過してきたレーザ光はＳ偏光とな
る。
【００３１】レーザ光源１３から出射され、ＥＯＭ１４
を経て、ＢＳ１６および検光子１５を透過して直進して
来たレーザ光はＰＤ１９に受光され、そのＰＤ１９によ
って光強度が検出される。その光強度の情報を担持して
なる信号が、ＰＤ１９からＡＰＣ２０に送出される。そ
の信号を受けて、ＡＰＣ２０は、ＰＤ１９で受光される
レーザ光の強度が一定になるように制御信号をＥＯＭ１
４に入力してその信号電界を調整する。このようにして
レーザ光源系の自動光量制御を行って、ＥＯＭ１４から
出射されるレーザ光の強度が一定になるようにすること
ができる。
を経て、ＢＳ１６および検光子１５を透過して直進して
来たレーザ光はＰＤ１９に受光され、そのＰＤ１９によ
って光強度が検出される。その光強度の情報を担持して
なる信号が、ＰＤ１９からＡＰＣ２０に送出される。そ
の信号を受けて、ＡＰＣ２０は、ＰＤ１９で受光される
レーザ光の強度が一定になるように制御信号をＥＯＭ１
４に入力してその信号電界を調整する。このようにして
レーザ光源系の自動光量制御を行って、ＥＯＭ１４から
出射されるレーザ光の強度が一定になるようにすること
ができる。
【００３２】一方、ＢＳ１６で反射されたレーザ光が、
平行ビームのまま、さらに反射ミラー２１で反射されて
向きを変えて、移動光学テーブル１８内のＡＯＤ（Acou
sticOptical Deflector；音響光学偏向器）４８へと導
かれる。
平行ビームのまま、さらに反射ミラー２１で反射されて
向きを変えて、移動光学テーブル１８内のＡＯＤ（Acou
sticOptical Deflector；音響光学偏向器）４８へと導
かれる。
【００３３】移動光学テーブル１８は、ＡＯＤ４８、駆
動回路５０、反射ミラー２２、ビーム拡大レンズ５５お
よび対物レンズ５４を備えている。ＡＯＤ４８は、１つ
の音響光学素子４６とその光軸方向前後に配置されたウ
ェッジプリズム４７，４９とを備えており、それらは音
響光学素子４６の格子面とウェッジプリズム４７，４９
とがブラッグの回折条件を満たすと共に光軸の水平高さ
を変化させることのないように配置されている。音響光
学素子４６としては、酸化テルル（ＴｅＯ2 ）を好適に
用いることができる。このＡＯＤ４８は、駆動回路５０
から与えられるＤＣ信号に基づいて制御されて、レーザ
光の強度変調を行うように設定されている。
動回路５０、反射ミラー２２、ビーム拡大レンズ５５お
よび対物レンズ５４を備えている。ＡＯＤ４８は、１つ
の音響光学素子４６とその光軸方向前後に配置されたウ
ェッジプリズム４７，４９とを備えており、それらは音
響光学素子４６の格子面とウェッジプリズム４７，４９
とがブラッグの回折条件を満たすと共に光軸の水平高さ
を変化させることのないように配置されている。音響光
学素子４６としては、酸化テルル（ＴｅＯ2 ）を好適に
用いることができる。このＡＯＤ４８は、駆動回路５０
から与えられるＤＣ信号に基づいて制御されて、レーザ
光の強度変調を行うように設定されている。
【００３４】駆動回路５０は、電圧周波数制御器５１に
よって高周波信号が与えられる。また、その電圧周波数
制御器５１には外部から制御信号が与えられる。制御信
号は、例えば、周波数８４．６７２［ｋＨｚ］の正弦波
状の信号に５［ＭＨｚ］の正弦波状の信号を重畳させた
波形となる。８４．６７２［ｋＨｚ］の正弦波によって
ウォーブリンググルーブ７１の平面的パターンを蛇行さ
せ、５［ＭＨｚ］の正弦波の振幅量によってウォーブリ
ンググルーブ７１の平面的パターンの溝幅を広げる。
よって高周波信号が与えられる。また、その電圧周波数
制御器５１には外部から制御信号が与えられる。制御信
号は、例えば、周波数８４．６７２［ｋＨｚ］の正弦波
状の信号に５［ＭＨｚ］の正弦波状の信号を重畳させた
波形となる。８４．６７２［ｋＨｚ］の正弦波によって
ウォーブリンググルーブ７１の平面的パターンを蛇行さ
せ、５［ＭＨｚ］の正弦波の振幅量によってウォーブリ
ンググルーブ７１の平面的パターンの溝幅を広げる。
【００３５】その制御信号によってＡＯＤ４８が制御さ
れて、そのＡＯＤ４８内の音響光学素子４６におけるブ
ラッグの回折角度が変化し、レーザビーム３０にアドレ
ス情報を担持するウォブリングを発生させる。このと
き、レーザビーム３０は、スポットが一定となるように
制御されつつ、原盤上に集光される。
れて、そのＡＯＤ４８内の音響光学素子４６におけるブ
ラッグの回折角度が変化し、レーザビーム３０にアドレ
ス情報を担持するウォブリングを発生させる。このと
き、レーザビーム３０は、スポットが一定となるように
制御されつつ、原盤上に集光される。
【００３６】さらに詳細には、次式に示したように、原
盤上に照射するレーザビーム３０の半径よりも小さい振
幅となるように偏光周波数の空間周波数を調節して多重
露光することにより、ウォーブリンググルーブ７１の幅
を広げることができる。すなわち、原盤上を相対的に移
動するレーザビーム３０の線速度をｖ、偏光周波数を
ｆ、原盤上に照射するレーザビーム３０の直径をＤとす
ると、ｖ／ｆ≦Ｄとなるように設定する。例えば、ｖ＝
０．９１［ｍ／ｓ］、Ｄ＝０．３５［μｍ］に設定した
場合、ｆを２．６［ＭＨｚ］以上（ｆ≧２．６［ＭＨ
ｚ］）にすることで、ウォーブリンググルーブ７１の幅
を広げることができる。
盤上に照射するレーザビーム３０の半径よりも小さい振
幅となるように偏光周波数の空間周波数を調節して多重
露光することにより、ウォーブリンググルーブ７１の幅
を広げることができる。すなわち、原盤上を相対的に移
動するレーザビーム３０の線速度をｖ、偏光周波数を
ｆ、原盤上に照射するレーザビーム３０の直径をＤとす
ると、ｖ／ｆ≦Ｄとなるように設定する。例えば、ｖ＝
０．９１［ｍ／ｓ］、Ｄ＝０．３５［μｍ］に設定した
場合、ｆを２．６［ＭＨｚ］以上（ｆ≧２．６［ＭＨ
ｚ］）にすることで、ウォーブリンググルーブ７１の幅
を広げることができる。
【００３７】図４は、上記のようにしてウォーブリング
グルーブ７１の両側面に振幅量の異なるウォーブルが同
位相で形成されるようにするための露光方法の概要を模
式的に示したものである。また、図５は、それによって
得られるウォーブリンググルーブ７１の概要構成を模式
的に示したものである。
グルーブ７１の両側面に振幅量の異なるウォーブルが同
位相で形成されるようにするための露光方法の概要を模
式的に示したものである。また、図５は、それによって
得られるウォーブリンググルーブ７１の概要構成を模式
的に示したものである。
【００３８】外部基準電圧が与えられ、外部から入力さ
れる電圧に比例した出力が得られるＤ／Ａコンバータを
用意し、それに例えば５［ＭＨｚ］の２倍のクロックパ
ルスを入力すると共に、１００％出力と５０％出力とに
それぞれ相当するレベルデータを繰り返し入力する。外
部基準電圧は、低周波ウォーブル信号に基準電圧Ｖsの
５０％に相当するオフセットが与えられたものとする。
一例として、外部基準電圧Ｖｏは、Ｖｏ＝Ｖs ×０．５
（直流）＋低周波ウォーブル信号（１０％ｐｐ）のよう
にする。必要に応じて出力信号にＤＣオフセットを与え
て直流成分を除去する。
れる電圧に比例した出力が得られるＤ／Ａコンバータを
用意し、それに例えば５［ＭＨｚ］の２倍のクロックパ
ルスを入力すると共に、１００％出力と５０％出力とに
それぞれ相当するレベルデータを繰り返し入力する。外
部基準電圧は、低周波ウォーブル信号に基準電圧Ｖsの
５０％に相当するオフセットが与えられたものとする。
一例として、外部基準電圧Ｖｏは、Ｖｏ＝Ｖs ×０．５
（直流）＋低周波ウォーブル信号（１０％ｐｐ）のよう
にする。必要に応じて出力信号にＤＣオフセットを与え
て直流成分を除去する。
【００３９】このようにすることにより、高周波信号波
形の正側（これが図４で右側の側面を規定するものとな
る）のエンベロープは１０％ｐｐとなる一方、負側（こ
れが図４で左側の側面を規定するものとなる）のエンベ
ロープは５％ｐｐとなり、高周波信号波形の正側と負側
とのエンベロープ波形の振幅の比が２：１となるような
制御信号を得ることができる。なお、このエンベロープ
波形の振幅の比は上記のような２：１のみには限定され
ないことは言うまでもない。
形の正側（これが図４で右側の側面を規定するものとな
る）のエンベロープは１０％ｐｐとなる一方、負側（こ
れが図４で左側の側面を規定するものとなる）のエンベ
ロープは５％ｐｐとなり、高周波信号波形の正側と負側
とのエンベロープ波形の振幅の比が２：１となるような
制御信号を得ることができる。なお、このエンベロープ
波形の振幅の比は上記のような２：１のみには限定され
ないことは言うまでもない。
【００４０】なお、Ｄ／Ａコンバータに与える２つのレ
ベルデータの比率を種々変更することによって、エンベ
ロープ波形の変調度を変化させることができる。また、
一方のレベルデータを負電圧に相当するものとすること
により、負側の位相を正側の位相と反転させて、ウォー
ブリンググルーブ７１の両側面のウォーブルを互いに逆
位相にすることなども可能である。また、外部基準電圧
として与えられる直流オフセット電圧を変更することに
よって高周波信号の振幅を変更することなども可能であ
る。
ベルデータの比率を種々変更することによって、エンベ
ロープ波形の変調度を変化させることができる。また、
一方のレベルデータを負電圧に相当するものとすること
により、負側の位相を正側の位相と反転させて、ウォー
ブリンググルーブ７１の両側面のウォーブルを互いに逆
位相にすることなども可能である。また、外部基準電圧
として与えられる直流オフセット電圧を変更することに
よって高周波信号の振幅を変更することなども可能であ
る。
【００４１】上記のようにして形成された制御信号は、
フォトレジスト１２の露光時には、電圧周波数制御器５
１から露光パターンに応じた信号として駆動回路５０に
入力される。それに基づいて、駆動回路５０がＡＯＤ４
８を駆動して、フォトレジスト１２を露光するためのレ
ーザビーム３０に光学偏光が施され、上記のような両側
面が異なった振幅量で同位相にウォーブルするウォーブ
リンググルーブ７１の平面的パターンを原盤のフォトレ
ジスト１２に露光することができる。
フォトレジスト１２の露光時には、電圧周波数制御器５
１から露光パターンに応じた信号として駆動回路５０に
入力される。それに基づいて、駆動回路５０がＡＯＤ４
８を駆動して、フォトレジスト１２を露光するためのレ
ーザビーム３０に光学偏光が施され、上記のような両側
面が異なった振幅量で同位相にウォーブルするウォーブ
リンググルーブ７１の平面的パターンを原盤のフォトレ
ジスト１２に露光することができる。
【００４２】具体的には、例えば、ウォーブリンググル
ーブ７１を周波数８４．６７２［ｋＨｚ］でウォーブル
させてアドレス情報を担持させるようにする場合には、
例えば中心周波数が２２４［ＭＨｚ］の高周波信号を用
いて８４．６７２［ｋＨｚ］にＦＭ変調した低周波信号
と５ ［ＭＨｚ］にした高周波信号とを重畳させて得た
制御信号を、電圧周波数制御器５１から駆動回路５０に
入力する。この入力された信号に基づいて、駆動回路５
０がＡＯＤ４８の音響光学素子４６のブラック角を変化
させることにより、レーザビーム３０に音響光学的に偏
光を施して、両側面が異なった振幅量で同位相にウォー
ブルした形状のパターンを露光することができるように
する。
ーブ７１を周波数８４．６７２［ｋＨｚ］でウォーブル
させてアドレス情報を担持させるようにする場合には、
例えば中心周波数が２２４［ＭＨｚ］の高周波信号を用
いて８４．６７２［ｋＨｚ］にＦＭ変調した低周波信号
と５ ［ＭＨｚ］にした高周波信号とを重畳させて得た
制御信号を、電圧周波数制御器５１から駆動回路５０に
入力する。この入力された信号に基づいて、駆動回路５
０がＡＯＤ４８の音響光学素子４６のブラック角を変化
させることにより、レーザビーム３０に音響光学的に偏
光を施して、両側面が異なった振幅量で同位相にウォー
ブルした形状のパターンを露光することができるように
する。
【００４３】このようにしてＡＯＤ４８で音響光学的に
偏光を施されたレーザビーム３０は、ビーム拡大レンズ
５５によって所定のビームスポット径に調節され、反射
ミラー２２で反射されて対物レンズ５４へと導かれ、そ
の対物レンズ５４によって原盤上のフォトレジスト１２
上に、図４に模式的に示したように、ウォーブリンググ
ルーブの溝方向に対して交差する方向に振らせながら照
射する。これにより、原盤上のフォトレジスト１２に、
１つのウォーブリンググルーブ７１の両側で振幅量が異
なっておりかつ同位相にウォーブルしたパターンを含ん
だ潜像が形成される。このように１つのビームスポット
を、低周波信号と高周波信号とを重畳してなる制御信号
に基づいて、周期的に異なった振幅で振らせることで、
両側面で異なった振幅量のウォーブリンググルーブの平
面的パターンを露光するようにしたので、１つのウォー
ブリンググルーブ７１の両側のウォーブルを別々のビー
ムスポットを用いて露光する場合のような両側のウォー
ブルに位相のずれ（あるいは同期ずれ）が生じることな
く、両側のウォーブルを確実に同位相に露光することが
できる。
偏光を施されたレーザビーム３０は、ビーム拡大レンズ
５５によって所定のビームスポット径に調節され、反射
ミラー２２で反射されて対物レンズ５４へと導かれ、そ
の対物レンズ５４によって原盤上のフォトレジスト１２
上に、図４に模式的に示したように、ウォーブリンググ
ルーブの溝方向に対して交差する方向に振らせながら照
射する。これにより、原盤上のフォトレジスト１２に、
１つのウォーブリンググルーブ７１の両側で振幅量が異
なっておりかつ同位相にウォーブルしたパターンを含ん
だ潜像が形成される。このように１つのビームスポット
を、低周波信号と高周波信号とを重畳してなる制御信号
に基づいて、周期的に異なった振幅で振らせることで、
両側面で異なった振幅量のウォーブリンググルーブの平
面的パターンを露光するようにしたので、１つのウォー
ブリンググルーブ７１の両側のウォーブルを別々のビー
ムスポットを用いて露光する場合のような両側のウォー
ブルに位相のずれ（あるいは同期ずれ）が生じることな
く、両側のウォーブルを確実に同位相に露光することが
できる。
【００４４】なお、対物レンズ５４は、より微細なルー
プパターンを高精度に形成することができるようにする
ために、ＮＡ（開口数）が大きい方が望ましい。具体的
には、ＮＡが０．９あるいはそれ以上の対物レンズ５４
が好適である。
プパターンを高精度に形成することができるようにする
ために、ＮＡ（開口数）が大きい方が望ましい。具体的
には、ＮＡが０．９あるいはそれ以上の対物レンズ５４
が好適である。
【００４５】このようにして、原盤上のフォトレジスト
１２が露光されて潜像が形成されると、それに続いて、
原盤に現像処理を施して、露光した部分のレジスト１２
を溶解させて現像を行う。さらに詳細には、図示しない
現像機のターンテーブル上に未現像の原盤を載置し、タ
ーンテーブルごと回転させつつ原盤の表面に現像液を滴
下して、レジスト１２を現像することができる。
１２が露光されて潜像が形成されると、それに続いて、
原盤に現像処理を施して、露光した部分のレジスト１２
を溶解させて現像を行う。さらに詳細には、図示しない
現像機のターンテーブル上に未現像の原盤を載置し、タ
ーンテーブルごと回転させつつ原盤の表面に現像液を滴
下して、レジスト１２を現像することができる。
【００４６】続いて、図示しない無電界めっき装置を用
いるなどして、原盤のレジスト１２からなる凹凸パター
ン上にニッケル（Ｎｉ）薄膜による導電体膜を形成す
る。この導電体膜が形成された原盤を図示しないめっき
装置に装着するなどして、電気めっき法により、導電体
膜上に例えば３００±５［μｍ］程度のニッケルめっき
層を形成する。
いるなどして、原盤のレジスト１２からなる凹凸パター
ン上にニッケル（Ｎｉ）薄膜による導電体膜を形成す
る。この導電体膜が形成された原盤を図示しないめっき
装置に装着するなどして、電気めっき法により、導電体
膜上に例えば３００±５［μｍ］程度のニッケルめっき
層を形成する。
【００４７】続いて、このニッケルめっき層を原盤から
カッタあるいは剥離用スキージ等で剥離し、さらにその
ニッケルめっき層が形成されていた面上に残留している
レジスト１２をアセトン等の溶剤で洗浄して、射出成形
用金型などに組み込まれるスタンパ（図示省略）を得る
ことができる。
カッタあるいは剥離用スキージ等で剥離し、さらにその
ニッケルめっき層が形成されていた面上に残留している
レジスト１２をアセトン等の溶剤で洗浄して、射出成形
用金型などに組み込まれるスタンパ（図示省略）を得る
ことができる。
【００４８】そのスタンパを用いて、フォトポリマー法
（いわゆる２Ｐ法）により、原盤の表面に形成されたウ
ォーブリンググルーブ７１等の微小な凹凸を、ベースプ
レート１の表面上に転写する。具体的には、例えば、ま
ず原盤の凹凸パターンが形成された表面上にフォトポリ
マーを平坦に塗布して、フォトポリマー層７を形成す
る。次に、そのフォトポリマー層７の上に、気泡や塵埃
などが混入しないようにしながら、例えば屈折率が１．
５２以下で１．２［ｍｍ］厚のガラス製のベースプレー
ト１を密着させる。そして、紫外線を照射してフォトポ
リマー層７を硬化させ、そのフォトポリマー層７をベー
スプレート１と共に原盤から剥離することにより、原盤
の表面の微小な凹凸がフォトポリマー層７に転写された
ディスク基板２を形成することができる。
（いわゆる２Ｐ法）により、原盤の表面に形成されたウ
ォーブリンググルーブ７１等の微小な凹凸を、ベースプ
レート１の表面上に転写する。具体的には、例えば、ま
ず原盤の凹凸パターンが形成された表面上にフォトポリ
マーを平坦に塗布して、フォトポリマー層７を形成す
る。次に、そのフォトポリマー層７の上に、気泡や塵埃
などが混入しないようにしながら、例えば屈折率が１．
５２以下で１．２［ｍｍ］厚のガラス製のベースプレー
ト１を密着させる。そして、紫外線を照射してフォトポ
リマー層７を硬化させ、そのフォトポリマー層７をベー
スプレート１と共に原盤から剥離することにより、原盤
の表面の微小な凹凸がフォトポリマー層７に転写された
ディスク基板２を形成することができる。
【００４９】そして、図示しないスパッタリング装置等
を用いて、記録部３として、図１の断面図に示したよう
なディスク基板２の記録面上に、窒化シリコン（Ｓｉ3
Ｎ4）からなる第１の誘電体膜、ＴｂＦｅＣｏまたはＤ
ｙＦｅＣｏあるいはＧｄＦｅ等からなる磁壁移動検出膜
（ＤＷＤＤ；Domain Wall Displacement Detection fil
m ）、窒化シリコンからなる第２の誘電体膜、アルミニ
ウム合金（Ａｌ−Ｔｉ）からなる反射膜を、この順に成
膜した後、その反射膜の上に、基板の表面（上面）ほぼ
全面を覆うように２Ｐレジンを例えばスピンコート法な
どによって平滑に塗布し、それをＵＶランプの光照射に
よって硬化させるなどして保護層４を形成する。このよ
うにして、本実施の形態に係る光磁気ディスクを完成す
ることができる。
を用いて、記録部３として、図１の断面図に示したよう
なディスク基板２の記録面上に、窒化シリコン（Ｓｉ3
Ｎ4）からなる第１の誘電体膜、ＴｂＦｅＣｏまたはＤ
ｙＦｅＣｏあるいはＧｄＦｅ等からなる磁壁移動検出膜
（ＤＷＤＤ；Domain Wall Displacement Detection fil
m ）、窒化シリコンからなる第２の誘電体膜、アルミニ
ウム合金（Ａｌ−Ｔｉ）からなる反射膜を、この順に成
膜した後、その反射膜の上に、基板の表面（上面）ほぼ
全面を覆うように２Ｐレジンを例えばスピンコート法な
どによって平滑に塗布し、それをＵＶランプの光照射に
よって硬化させるなどして保護層４を形成する。このよ
うにして、本実施の形態に係る光磁気ディスクを完成す
ることができる。
【００５０】なお、ここでは原盤に形成されたウォーブ
リンググルーブ７１などの凹凸パターンをより精確にデ
ィスク基板２に転写できる方法として、フォトポリマー
法を用いる場合について説明したが、ディスク基板２を
さらに大量に高能率で量産する場合などには、ポリメチ
ルメタクリレートやポリカーボネートなどのような透明
樹脂を射出成形することによっても、表面にウォーブリ
ンググルーブ７１などの凹凸パターンが形成されたディ
スク基板２を製造することが可能であることは言うまで
もない。
リンググルーブ７１などの凹凸パターンをより精確にデ
ィスク基板２に転写できる方法として、フォトポリマー
法を用いる場合について説明したが、ディスク基板２を
さらに大量に高能率で量産する場合などには、ポリメチ
ルメタクリレートやポリカーボネートなどのような透明
樹脂を射出成形することによっても、表面にウォーブリ
ンググルーブ７１などの凹凸パターンが形成されたディ
スク基板２を製造することが可能であることは言うまで
もない。
【００５１】また、この光磁気ディスクにおけるベース
プレート１や記録部３や保護層４などの各種部位の形成
材料は、上記のみには限定されず、その他にも各種の材
料を用いることが可能である。
プレート１や記録部３や保護層４などの各種部位の形成
材料は、上記のみには限定されず、その他にも各種の材
料を用いることが可能である。
【００５２】［実施例］上述のような原盤を用いた製造
方法により、ウォーブリング振幅量などを種々に変えた
複数の評価用光磁気ディスクを製造して、その各々の記
録・再生機能を評価した。
方法により、ウォーブリング振幅量などを種々に変えた
複数の評価用光磁気ディスクを製造して、その各々の記
録・再生機能を評価した。
【００５３】そのような評価用光磁気ディスクの評価実
験を行うにあたり、まず、それらの原盤を作製した。そ
の原盤の製造工程では、露光用のレーザビームのパワー
を種々に変化させて、そのパワーごとでグルーブ幅がど
のように変化するのかについてを確認した。より具体的
には、露光用のレーザビームのパワーを、０．９、１．
１、１．４５に設定し、そのそれぞれの場合ごとで、形
成された原盤のウォーブリンググルーブ７１の溝幅を、
電子顕微鏡を用いて測定した。その結果、溝幅は、上記
のパワーに対応してそれぞれ５６２［ｎｍ］，６２２
［ｎｍ］，６８２［ｎｍ］となった。また、一方の側面
の振幅量をいずれのディスクも±１５ ［ｎｍ］とし、
他方の側面の振幅量は、±０．５［ｎｍ］、±１．５
［ｎｍ］、±３．０ ［ｎｍ］、±６．０［ｎｍ］と、
各ディスクごとで異なるようにした。
験を行うにあたり、まず、それらの原盤を作製した。そ
の原盤の製造工程では、露光用のレーザビームのパワー
を種々に変化させて、そのパワーごとでグルーブ幅がど
のように変化するのかについてを確認した。より具体的
には、露光用のレーザビームのパワーを、０．９、１．
１、１．４５に設定し、そのそれぞれの場合ごとで、形
成された原盤のウォーブリンググルーブ７１の溝幅を、
電子顕微鏡を用いて測定した。その結果、溝幅は、上記
のパワーに対応してそれぞれ５６２［ｎｍ］，６２２
［ｎｍ］，６８２［ｎｍ］となった。また、一方の側面
の振幅量をいずれのディスクも±１５ ［ｎｍ］とし、
他方の側面の振幅量は、±０．５［ｎｍ］、±１．５
［ｎｍ］、±３．０ ［ｎｍ］、±６．０［ｎｍ］と、
各ディスクごとで異なるようにした。
【００５４】このようにして製作された原盤を用いて、
上述したようなフォトポリマー法によりディスク基板２
を形成し、さらにその表面に記録部３や保護層４などを
形成して、それぞれの評価用光磁気ディスクを製造し
た。
上述したようなフォトポリマー法によりディスク基板２
を形成し、さらにその表面に記録部３や保護層４などを
形成して、それぞれの評価用光磁気ディスクを製造し
た。
【００５５】以上のようにして製造した各評価用光磁気
ディスクについて、ウォーブルアドレス信号の再生特
性、光磁気記録層の記録再生特性を、それぞれ測定し
た。この測定には、レーザ光の波長λ＝６５０［ｎ
ｍ］、対物レンズのＮＡ＝０．５２の光ピックアップを
用いて、ウォーブリンググルーブ７１およびランド７２
の両方に１−７変調で記録再生を行った。
ディスクについて、ウォーブルアドレス信号の再生特
性、光磁気記録層の記録再生特性を、それぞれ測定し
た。この測定には、レーザ光の波長λ＝６５０［ｎ
ｍ］、対物レンズのＮＡ＝０．５２の光ピックアップを
用いて、ウォーブリンググルーブ７１およびランド７２
の両方に１−７変調で記録再生を行った。
【００５６】その結果、全種類の評価用光磁気ディスク
で、ウォーブルアドレス信号の安定した再生が可能であ
ることが確認された。
で、ウォーブルアドレス信号の安定した再生が可能であ
ることが確認された。
【００５７】また、ウォーブリンググルーブ７１の一方
の側面の振幅量が±１５［ｎｍ］、他方の側面の振幅量
が±６．０［ｎｍ］の評価用光磁気ディスクで、光磁気
記録層における記録再生特性の代表値（パラメータ）と
してジッターを計測したところ、図６に示したような結
果となった。すなわち、グルーブ幅が５６２［ｎｍ］の
場合には、ランド７２におけるジッターは１０．５％、
ウォーブリンググルーブ７１におけるそれは９．５％と
なった。また、グルーブ幅が６２２［ｎｍ］の場合に
は、ランド７２におけるジッターは９．５％、ウォーブ
リンググルーブ７１におけるそれは８．５％となった。
また、グルーブ幅が６８２［ｎｍ］の場合には、ランド
７２におけるジッターは１０．０％、ウォーブリンググ
ルーブ７１におけるそれは８．５％となった。いずれの
場合も、記録再生特性は十分に安定したものとなった。
また、他方の側面の振幅量が±６．０［ｎｍ］未満の場
合には、理論的にもさらに安定した記録再生特性が得ら
れることが想定されるが、実際に、ジッターを代表値と
して測定された記録再生特性は、さらに安定したものと
なることが確認された。
の側面の振幅量が±１５［ｎｍ］、他方の側面の振幅量
が±６．０［ｎｍ］の評価用光磁気ディスクで、光磁気
記録層における記録再生特性の代表値（パラメータ）と
してジッターを計測したところ、図６に示したような結
果となった。すなわち、グルーブ幅が５６２［ｎｍ］の
場合には、ランド７２におけるジッターは１０．５％、
ウォーブリンググルーブ７１におけるそれは９．５％と
なった。また、グルーブ幅が６２２［ｎｍ］の場合に
は、ランド７２におけるジッターは９．５％、ウォーブ
リンググルーブ７１におけるそれは８．５％となった。
また、グルーブ幅が６８２［ｎｍ］の場合には、ランド
７２におけるジッターは１０．０％、ウォーブリンググ
ルーブ７１におけるそれは８．５％となった。いずれの
場合も、記録再生特性は十分に安定したものとなった。
また、他方の側面の振幅量が±６．０［ｎｍ］未満の場
合には、理論的にもさらに安定した記録再生特性が得ら
れることが想定されるが、実際に、ジッターを代表値と
して測定された記録再生特性は、さらに安定したものと
なることが確認された。
【００５８】この実験結果により、ウォーブリンググル
ーブ７１の一方の側面の振幅量が一定の±１５［ｎｍ］
であるのに対して、他方の側面の振幅量が最小０．５
［ｎｍ］から最大６．０［ｎｍ］までの、いずれの場合
にも、安定した記録再生特性が得られたことから、ウォ
ーブリンググルーブ７１の両側面の振幅量のうち大きい
方の振幅量に対する小さい方の振幅量の比率を３．３％
から４０％の範囲内に設定することによって安定的な記
録再生特性を得ることが可能であることが、確認され
た。
ーブ７１の一方の側面の振幅量が一定の±１５［ｎｍ］
であるのに対して、他方の側面の振幅量が最小０．５
［ｎｍ］から最大６．０［ｎｍ］までの、いずれの場合
にも、安定した記録再生特性が得られたことから、ウォ
ーブリンググルーブ７１の両側面の振幅量のうち大きい
方の振幅量に対する小さい方の振幅量の比率を３．３％
から４０％の範囲内に設定することによって安定的な記
録再生特性を得ることが可能であることが、確認され
た。
【００５９】なお、本発明の技術は、ウォーブル振幅量
が溝の両側面で異なるように形成することが可能な光記
録媒体およびその原盤ならびにその製造方法ならびに光
記録装置に広く適用可能である。
が溝の両側面で異なるように形成することが可能な光記
録媒体およびその原盤ならびにその製造方法ならびに光
記録装置に広く適用可能である。
【００６０】また、データの書き換えを何度も繰り返し
行うことが可能に設定された書換型光記録媒体や、追記
は可能であるが消去は不可であるように設定された追記
型光記録媒体、あるいは、あらかじめデータが書き換え
不可に書き込まれている再生専用型光記録媒体などに適
用可能である。
行うことが可能に設定された書換型光記録媒体や、追記
は可能であるが消去は不可であるように設定された追記
型光記録媒体、あるいは、あらかじめデータが書き換え
不可に書き込まれている再生専用型光記録媒体などに適
用可能である。
【００６１】また、データの記録方式としても、再生専
用のものや、磁気光学的効果を利用してデータの記録再
生を行う磁気光学方式のもの、あるいは記録層の相変化
を利用してデータの記録再生を行う相変化方式のものな
ど、いずれの記録方式のものでも適用可能である。
用のものや、磁気光学的効果を利用してデータの記録再
生を行う磁気光学方式のもの、あるいは記録層の相変化
を利用してデータの記録再生を行う相変化方式のものな
ど、いずれの記録方式のものでも適用可能である。
【００６２】また、データが記録される領域がランドの
みに設定されている光記録媒体やグルーブのみに設定さ
れている光記録媒体、あるいはランドおよびグルーブの
両方に記録可能に設定されている光記録媒体など、いず
れの場合にも、本発明は適用可能である。あるいは、エ
ンボスピットとウォーブリンググルーブとが１つのディ
スク内に併設されているものなどにも適用可能である。
みに設定されている光記録媒体やグルーブのみに設定さ
れている光記録媒体、あるいはランドおよびグルーブの
両方に記録可能に設定されている光記録媒体など、いず
れの場合にも、本発明は適用可能である。あるいは、エ
ンボスピットとウォーブリンググルーブとが１つのディ
スク内に併設されているものなどにも適用可能である。
【００６３】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１ないし６
のいずれかに記載の光記録媒体または請求項７ないし１
２のいずれかに記載の光記録媒体用原盤または請求項１
３ないし１５のいずれかに記載の光記録媒体用原盤の製
造装置または請求項１６に記載の光記録再生装置によれ
ば、グルーブが、その溝の両側面を異なった振幅量でウ
ォーブルするように設けられたウォーブリンググルーブ
となっている。またさらには、その溝の異なった振幅量
でウォーブルする両側面を、トラック方向で同位相にウ
ォーブルさせるようにしたので、狭トラックピッチ化し
て記録密度の向上を達成しても、ビートを発生すること
なく安定してウォーブル信号を再生することが可能とな
るという効果を奏する。
のいずれかに記載の光記録媒体または請求項７ないし１
２のいずれかに記載の光記録媒体用原盤または請求項１
３ないし１５のいずれかに記載の光記録媒体用原盤の製
造装置または請求項１６に記載の光記録再生装置によれ
ば、グルーブが、その溝の両側面を異なった振幅量でウ
ォーブルするように設けられたウォーブリンググルーブ
となっている。またさらには、その溝の異なった振幅量
でウォーブルする両側面を、トラック方向で同位相にウ
ォーブルさせるようにしたので、狭トラックピッチ化し
て記録密度の向上を達成しても、ビートを発生すること
なく安定してウォーブル信号を再生することが可能とな
るという効果を奏する。
【図１】本発明の一実施の形態に係る光磁気ディスクの
概要構成を示した図である。
概要構成を示した図である。
【図２】図２に示した光磁気ディスクの表面に形成され
た記録領域を拡大して表した図である。
た記録領域を拡大して表した図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る光磁気ディスク用
の原盤を製作するためのレーザカッティング装置の概要
構成を示した図である。
の原盤を製作するためのレーザカッティング装置の概要
構成を示した図である。
【図４】ウォーブリンググルーブの両側面に振幅量の異
なるウォーブルを同位相で形成するための露光方法の概
要を模式的に示した図である。
なるウォーブルを同位相で形成するための露光方法の概
要を模式的に示した図である。
【図５】図４に示した露光方法によって得られるウォー
ブリンググルーブの概要構成を模式的に示した図であ
る。
ブリンググルーブの概要構成を模式的に示した図であ
る。
【図６】評価用光磁気ディスクの記録再生特性の代表値
としてジッターを計測した結果を表した図である。
としてジッターを計測した結果を表した図である。
１…ベースプレート、２…ディスク基板、３…記録部、
４…保護層、７…フォトポリマー層、７１…ウォーブリ
ンググルーブ、７２…ランド
４…保護層、７…フォトポリマー層、７１…ウォーブリ
ンググルーブ、７２…ランド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 秀田 育弘 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 5D029 KB03 WA02 WB11 5D090 AA01 BB01 CC01 CC14 DD03 GG03 GG09 5D118 BA01 BB06 BB09 BC08 CA14 CC04 CC12 CD03 CG02 5D121 AA02 AA09 BB26
Claims (17)
- 【請求項１】 基板の表面にグルーブが溝状のトラック
を成すように形成されており、前記グルーブのトラック
に沿って情報を読み取り可能に設定された光記録媒体で
あって、 前記グルーブが、その溝の両側面を異なった振幅量でウ
ォーブルするように設けられたウォーブリンググルーブ
であることを特徴とする光記録媒体。 - 【請求項２】 前記ウォーブリンググルーブが、前記溝
の両側面のうちの振幅の大きい方の側面の振幅量に対す
る振幅の小さい方の振幅量の比率を３．３％ないし４０
％の範囲内のいずれかの値に設定してなるものであるこ
とを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。 - 【請求項３】 前記ウォーブリンググルーブの溝に情報
を記録可能であると共に、隣り合うウォーブリンググル
ーブの間のランドにも情報を記録可能であるように設定
されていることを特徴とする請求項１記載の光記録媒
体。 - 【請求項４】 基板の表面にグルーブが溝状のトラック
を成すように形成されており、前記グルーブのトラック
に沿って情報を読み取り可能に設定された光記録媒体で
あって、 前記グルーブが、その溝の両側面を異なった振幅量で同
位相にウォーブルするように設けられたウォーブリング
グルーブであることを特徴とする光記録媒体。 - 【請求項５】 前記ウォーブリンググルーブが、前記溝
の両側面のうちの振幅の大きい方の側面の振幅量に対す
る振幅の小さい方の振幅量の比率を３．３％ないし４０
％の範囲内のいずれかの値に設定してなるものであるこ
とを特徴とする請求項４記載の光記録媒体。 - 【請求項６】 前記ウォーブリンググルーブの溝に情報
を記録可能であると共に、隣り合うウォーブリンググル
ーブの間のランドにも情報を記録可能であるように設定
されていることを特徴とする請求項４記載の光記録媒
体。 - 【請求項７】 基板の表面にグルーブが溝状のトラック
を成すように形成されており、前記グルーブのトラック
に沿って情報を読み取り可能に設定された光記録媒体を
製造するために用いられる光記録媒体用原盤であって、 前記グルーブが、その溝の両側面を異なった振幅量でウ
ォーブルするように設けられたウォーブリンググルーブ
であることを特徴とする光記録媒体用原盤。 - 【請求項８】 前記ウォーブリンググルーブが、前記溝
の両側面のうちの振幅の大きい方の側面の振幅量に対す
る振幅の小さい方の振幅量の比率を３．３％ないし４０
％の範囲内のいずれかの値に設定してなるものであるこ
とを特徴とする請求項７記載の光記録媒体用原盤。 - 【請求項９】 前記ウォーブリンググルーブの溝に情報
を記録可能であると共に隣り合うウォーブリンググルー
ブどうしの間のランドにも情報を記録可能である光記録
媒体を製造するように設定されていることを特徴とする
請求項７記載の光記録媒体用原盤。 - 【請求項１０】 基板の表面にグルーブが溝状のトラッ
クを成すように形成されており、前記グルーブのトラッ
クに沿って情報を読み取り可能に設定された光記録媒体
用原盤であって、 前記グルーブが、その溝の両側面を異なった振幅量で同
位相にウォーブルするように設けられたウォーブリング
グルーブであることを特徴とする光記録媒体用原盤。 - 【請求項１１】 前記ウォーブリンググルーブが、前記
溝の両側面のうちの振幅の大きい方の側面の振幅量に対
する振幅の小さい方の振幅量の比率を３．３％ないし４
０％の範囲内のいずれかの値に設定してなるものである
ことを特徴とする請求項１０記載の光記録媒体用原盤。 - 【請求項１２】 前記ウォーブリンググルーブの溝に情
報を記録可能であると共に隣り合うウォーブリンググル
ーブ同士の間のランドにも情報を記録可能である光記録
媒体を製造するように設定されていることを特徴とする
請求項１０記載の光記録媒体用原盤。 - 【請求項１３】 原盤の表面にトラックを成すグルーブ
をパターニングする光記録媒体用原盤の製造装置であっ
て、 低周波信号と高周波信号とを重畳してなる制御信号に基
づいて、露光用の光ビームまたはレーザビームを光記録
媒体用原盤の表面に対して相対的に進行させながらその
進行方向に対して交差する方向に所定の周期で振らせ
て、前記グルーブの両側面が異なった振幅量で同位相に
ウォーブルするウォーブリンググルーブとなるように前
記潜像を形成することを特徴とする光記録媒体用原盤の
製造装置。 - 【請求項１４】 前記両側面のウォーブルを同位相に保
ちつつ、そのウォーブルの振幅量を前記両側面で独立し
て制御することを特徴とする請求項１３記載の光記録媒
体用原盤の製造装置。 - 【請求項１５】 前記ウォーブリンググルーブが、前記
溝の両側面のうちの振幅の大きい方の側面の振幅量に対
する振幅の小さい方の振幅量の比率を３．３％ないし４
０％の範囲内のいずれかの値に設定されていることを特
徴とする請求項１３記載の光記録媒体用原盤の製造装
置。 - 【請求項１６】 溝の両側面のウォーブル振幅量が異な
るように設定されたウォーブリンググルーブを有し、そ
のウォーブリンググルーブとランドとの両方に情報が記
録可能であるように設定されている光記録媒体に対し
て、前記情報の記録および／または再生を行う光記録再
生装置であって、 前記ウォーブリンググルーブに光スポットを追従させる
手段と、 前記ウォーブリンググルーブに前記光スポットを追従さ
せながらウォーブル信号を検出する手段と、 を備えたことを特徴とする光記録再生装置。 - 【請求項１７】 溝の両側面のウォーブル振幅量が異な
るように設定されたウォーブリンググルーブを有し、そ
のウォーブリンググルーブまたはランドのうちいずれか
一方に情報が記録可能であるように設定されている光記
録媒体に対して、前記情報の記録および／または再生を
行う光記録再生装置であって、 前記ウォーブリンググルーブに光スポットを追従させる
手段と、 前記ウォーブリンググルーブに前記光スポットを追従さ
せながらウォーブル信号を検出する手段と、 を備えたことを特徴とする光記録再生装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001009841A JP2002216395A (ja) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | 光記録媒体、光記録媒体用原盤、光記録媒体原盤の製造装置、光記録再生装置 |
| EP02710313A EP1357547A4 (en) | 2001-01-18 | 2002-01-18 | "OPTICAL RECORDING MEDIUM, MATRIX OF AN OPTICAL RECORDING MEDIUM, DEVICE FOR PRODUCING AN OPTICAL RECORDING MEDIUM AND OPTICAL RECORDING / REPLAYING DEVICE" |
| PCT/JP2002/000331 WO2002058057A1 (fr) | 2001-01-18 | 2002-01-18 | Support d'enregistrement optique, matrice de support d'enregistrement optique, appareil de fabrication de support d'enregistrement optique et appareil de reproduction/enregistrement optique |
| US10/250,684 US6975578B2 (en) | 2001-01-18 | 2002-01-18 | Optical recording medium with grooves, optical recording medium master with grooves, apparatus for manufacturing optical recording medium master with grooves, and optical recording/reproducing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001009841A JP2002216395A (ja) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | 光記録媒体、光記録媒体用原盤、光記録媒体原盤の製造装置、光記録再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002216395A true JP2002216395A (ja) | 2002-08-02 |
Family
ID=18877259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001009841A Pending JP2002216395A (ja) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | 光記録媒体、光記録媒体用原盤、光記録媒体原盤の製造装置、光記録再生装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6975578B2 (ja) |
| EP (1) | EP1357547A4 (ja) |
| JP (1) | JP2002216395A (ja) |
| WO (1) | WO2002058057A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003079335A1 (en) * | 2002-03-15 | 2003-09-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Information recording medium, and information recording/reproducing device and method |
| WO2004036565A1 (ja) * | 2002-10-15 | 2004-04-29 | Sony Corporation | 光記録媒体原盤露光装置及び光記録媒体原盤の露光方法 |
| TWI289836B (en) * | 2003-01-23 | 2007-11-11 | Toshiba Corp | Information recording medium, information recording/reproducing method, and information recording/reproducing device |
| DE602004014217D1 (de) * | 2003-06-10 | 2008-07-17 | Thomson Licensing | Verfahren für die Wiedergewinnung von Land Vorvertiefung |
| US7586822B2 (en) * | 2003-07-18 | 2009-09-08 | Mediatek Inc. | Optical drive controller providing calibrated laser diode driver |
| JP2007141344A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Fujifilm Corp | 光情報記録媒体、光情報記録媒体用の基板、スタンパ、光情報記録媒体の製造方法及びスタンパの製造方法 |
| JP6205736B2 (ja) * | 2013-02-06 | 2017-10-04 | デクセリアルズ株式会社 | ナノ構造体 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4416002A (en) * | 1978-04-10 | 1983-11-15 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for high-density recording and reproduction |
| JP2822859B2 (ja) * | 1993-03-31 | 1998-11-11 | 日本ビクター株式会社 | 光ディスク記録媒体及びその再生情報信号の補正方法 |
| JP2788022B2 (ja) * | 1995-02-14 | 1998-08-20 | 株式会社日立製作所 | 光記録媒体 |
| JPH09259440A (ja) * | 1996-03-25 | 1997-10-03 | Sony Corp | 記録媒体、アドレス記録方法および装置、並びに、記録再生方法および装置 |
| AU3460497A (en) * | 1996-09-26 | 1998-04-17 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Recording medium and its reproducer |
| US6538968B1 (en) * | 1996-10-08 | 2003-03-25 | Sanyo Electric Co, Ltd. | Information recording/reproducing apparatus |
| US5757756A (en) * | 1996-10-15 | 1998-05-26 | Eastman Kodak Company | Reducing mark length variations in recording data in wobbled groove storage media |
| US6069870A (en) * | 1996-10-22 | 2000-05-30 | Hitachi, Ltd. | Information recording medium which indicates information according to the wobbling of a track and information recording and reproducing apparatus |
| DE69937852D1 (de) * | 1998-02-26 | 2008-02-14 | Victor Company Of Japan | Optischer plattenförmiger Aufzeichnungsträger mit gewobbelten Rillen zur Aufzeichnung auf Rillen und Stegen, Vorrichtung zur Herstellung eines derartigen Aufzeichnungsträgers, und Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabegerät für einen solchen Aufzeichnungsträger |
| JP2000306242A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-11-02 | Victor Co Of Japan Ltd | 光ディスク |
| JP2001229576A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-24 | Sony Corp | 光記録媒体及び光記録媒体製造用原盤 |
| JP2001229546A (ja) | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Sony Corp | 光記録媒体及び光記録媒体製造用原盤 |
| JP2002008246A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-11 | Sony Corp | ディスク状記録媒体、ディスク記録及び／又は再生装置及び方法、並びにチルト検出方法 |
-
2001
- 2001-01-18 JP JP2001009841A patent/JP2002216395A/ja active Pending
-
2002
- 2002-01-18 EP EP02710313A patent/EP1357547A4/en not_active Withdrawn
- 2002-01-18 US US10/250,684 patent/US6975578B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-01-18 WO PCT/JP2002/000331 patent/WO2002058057A1/ja not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6975578B2 (en) | 2005-12-13 |
| WO2002058057A1 (fr) | 2002-07-25 |
| US20040114487A1 (en) | 2004-06-17 |
| EP1357547A1 (en) | 2003-10-29 |
| EP1357547A4 (en) | 2007-02-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000231745A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及びその製造方法 | |
| JP3577870B2 (ja) | 記録媒体原盤の製造方法及び記録媒体 | |
| JP2002216395A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体用原盤、光記録媒体原盤の製造装置、光記録再生装置 | |
| JP3714331B2 (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法 | |
| JP4024047B2 (ja) | 光記録媒体及び光記録媒体製造用原盤 | |
| JP2002222548A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、光記録媒体製造用原盤の製造装置、光記録媒体製造用原盤の製造方法 | |
| JP2003272238A (ja) | 光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用原盤及び光学記録再生装置 | |
| JP2004342216A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法 | |
| JPH11296910A (ja) | 光記録媒体及び光記録媒体製造用原盤 | |
| JP4320916B2 (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び光記録再生装置 | |
| JP2002197725A (ja) | 記録媒体および記録媒体原盤ならびに記録媒体の製造方法 | |
| JP2000090496A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び光記録再生装置 | |
| JP2005032317A (ja) | 光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用スタンパ及び光学記録方法 | |
| JP4320915B2 (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び光記録再生装置 | |
| JP4396230B2 (ja) | 光学記録方法、光記録媒体製造用原盤および光記録媒体 | |
| JP2004055015A (ja) | 光学記録方法及び光学記録再生媒体 | |
| JP2004039011A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法 | |
| JP2004086943A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法 | |
| JP2000040259A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び光記録再生装置 | |
| JP2000132869A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び光記録再生装置 | |
| JP2004086942A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法 | |
| JP2000048407A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び光記録再生装置 | |
| JP2003346384A (ja) | 光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用原盤、光学記録再生媒体の製造方法及び光学記録再生装置 | |
| JPH11296909A (ja) | 記録媒体及び記録媒体製造用原盤 | |
| JP2000276778A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び光記録再生装置 |