WO2002058057A1 - Support d'enregistrement optique, matrice de support d'enregistrement optique, appareil de fabrication de support d'enregistrement optique et appareil de reproduction/enregistrement optique - Google Patents

Support d'enregistrement optique, matrice de support d'enregistrement optique, appareil de fabrication de support d'enregistrement optique et appareil de reproduction/enregistrement optique Download PDF

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WO2002058057A1
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optical recording
group
recording medium
amplitude
groove
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Sohmei Endoh
Katsuhiko Ohtomo
Ikuhiro Hideta
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Sony Corporation
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    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming

Definitions

  • Optical recording medium master for optical recording medium
  • manufacturing device for optical recording medium master manufacturing device for optical recording medium master
  • the present invention relates to an optical recording medium, an optical recording medium master, an optical recording medium master manufacturing apparatus, and an optical recording / reproducing apparatus.
  • the optical recording medium is for recording various signalized information in an optically reproducible manner.
  • compact discs, laser discs, etc. have an embossing head corresponding to data, which is pre-formed on a disc substrate, and are read-only optical discs, and mini discs (Mini Discs: MD), etc.
  • Information (data) using the phase change of the recording layer such as a magneto-optical disk set to record or reproduce data using the effect, or a DVD (Digital Versatile Disk).
  • phase change optical disk set to perform recording and reproduction of data.
  • a continuous groove-shaped group is formed on a recording track instead of a discrete shape such as a pit. It is formed along.
  • This group is a guide groove provided mainly for tracking support control. The area between the groups is called a land because it rises closer to the surface than the bottom of the group.
  • tracking support control is performed using a push-pull signal.
  • the push-pull signal irradiates the optical recording medium with a light beam, and detects the light reflected from the optical recording medium by two photodetectors symmetrically arranged with respect to the track center. It can be obtained based on the difference between the outputs from the photodetectors.
  • the applicant's patent No. 2,960,018 discloses MD data recording.
  • a method has been proposed in which a wobbling wide group, which is a part, is formed by a signal obtained by superposing 22.5 kHz and 5 MHz.
  • the 22.5 kHz FM modulation signal is for recording address wobble information
  • the 5 MHz signal is for expanding the group width depending on the amplitude. It is.
  • the coupling wide dull valve is formed in a shape in which both side surfaces of the groove are warped (regularly meandering).
  • the data recording section becomes a wide group (wide), which enables stable reproduction of the ADIP wobble signal and stable recording and reproduction of the M ⁇ signal. Can be realized.
  • Patent No. 2 854 187 proposes a technology in which only one of the two side surfaces of the group is made to orbulate, and the other side is made straight (in an arc shape) without warping. Have been. According to this technology, it is possible to carry (include) the address information in the group's orbit.
  • the wobble signal has a beep between adjacent warp rings, which makes it difficult to stably reproduce the wobble signal. There was a problem.
  • the present invention has been made in view of such a problem, and has as its object the purpose of narrow track pitch. It is an object of the present invention to provide an optical recording medium capable of stably reproducing a table signal without generating a beat even if the recording density is increased by achieving a higher recording density. Also, an optical recording / reproducing apparatus used for recording / reproducing on / from the optical recording medium, an optical recording medium master used for duplicating the optical recording medium, and an apparatus for manufacturing the optical recording medium master are provided. It is in. Disclosure of the invention
  • An optical recording medium or an optical recording medium master has an optical recording medium in which groups are formed on a surface of a substrate so as to form groove-shaped tracks, and information is set to be readable along the tracks of the groups.
  • the above-mentioned group is a wobbling group provided so as to wobble both side surfaces of the groove with different amplitudes.
  • a groove is formed on a surface of a substrate so as to form a groove-like track, and information is set to be readable along the track of the group.
  • the above-mentioned group is a coupling group provided so that both sides of the groove are wobbled in the same phase with different amplitudes.
  • An apparatus for manufacturing an optical recording medium master is an apparatus for manufacturing an optical recording medium master for patterning a groove forming a track on the surface of the master, and superimposing a low-frequency signal and a high-frequency signal.
  • the light beam or laser beam for exposure is made to advance at a predetermined period in a direction intersecting the traveling direction while traveling relatively to the surface of the optical recording medium master.
  • the latent images are formed so that both sides of the group are wobbled with different amplitudes and wobbled in phase.
  • An optical recording / reproducing apparatus has a wobbling group in which wobble amplitudes on both sides of a groove are set to be different, and information can be recorded in both the wobbling group and the land.
  • An optical recording / reproducing apparatus for recording and / or reproducing information on / from a set optical recording medium comprising: means for following a light spot to a warping group; And a means for detecting a wobble signal while following the signal.
  • Another optical recording / reproducing apparatus has a wobbling group in which wobble amplitudes on both sides of a groove are set to be different, and information can be recorded on either the wobbling group or the land.
  • An optical recording / reproducing apparatus that records and / or reproduces information on / from an optical recording medium that is set to have a certain shape. And a means for detecting a wobble signal while following the signal.
  • the group is provided with a wobbling ring so as to wobble both side surfaces of the groove with different amplitudes.
  • both sides of the groove which are movable with different amplitudes, are moved in the same direction in the track direction.
  • Such different amplitudes on both sides are more preferably set to 3.3 to 40%.
  • FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a magneto-optical disk according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged view of a recording area formed on the surface of the magneto-optical disk shown in FIG.
  • FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of a laser cutting device for manufacturing a master for a magneto-optical disk according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram schematically showing an outline of an exposure method for forming wobbles having different amplitudes in the same phase on both side surfaces of the warping group.
  • FIG. 5 is a diagram schematically showing a schematic configuration of a warping group obtained by the exposure method shown in FIG.
  • Fig. 6 shows the jitter measured as a representative value of the recording and reproduction characteristics of the evaluation magneto-optical disk. JP02 / 00331
  • FIG. 5 is a diagram showing measurement results. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • FIG. 1 shows a schematic configuration of a magneto-optical disk according to an embodiment of the present invention.
  • This magneto-optical disc is a disc-shaped optical recording medium set to record and reproduce data by a magneto-optical effect according to the so-called MD3 format standard.
  • the recording unit 3 includes, for example, a first dielectric film made of SiN (silicon nitride), a perpendicular magnetic recording film made of a TeFeCo alloy, and a first magnetic film made of SiN.
  • the second dielectric film, the reflective film made of an A1 alloy, and the like are sequentially laminated.
  • the protective layer 4 is formed on the recording section 3 by, for example, spin-coating an ultraviolet curable resin.
  • the material for forming the recording section 3 and the protective layer 4 is not limited to the above example.
  • the recording section 3 may be made of any material that can effectively perform magneto-optical recording, and the protective layer 4 can protect the recording section 3 effectively. It may be something like
  • FIG. 2 is an enlarged view of a recording area formed on the surface of the magneto-optical disk. It is set so that data by magneto-optical recording can be written in the wobbling group 71 and the land 72 between the adjacent wobbling groups 71.
  • the amplitude of one side is 15 nm
  • the amplitude of the other side is, for example, 0. 5 nm, ⁇ 1.5 nm, ⁇ 3.0 nm, ⁇ 6.0 nm, and in-phase with a substantially constant period in the longitudinal direction of the groove of the warping ring 71 It is formed to wobble.
  • the track pitch is set to, for example, 1.2 zm
  • the width of the substantial writable area of each of the warping group 71 and the land 72 is set to about 0.60 m.
  • the distance between the wobble centers of adjacent tracks is called a track pitch.
  • the tracking servo is used.
  • the setting is such that a push-pull signal of a sufficient level for control is obtained.
  • the push-pull signal is obtained by detecting light reflected by irradiating a light beam to the magneto-optical disk by two photodetectors (not shown) A and B arranged symmetrically with respect to the track center. Then, it can be obtained based on the difference between the outputs SA and SB from the two photodetectors A and B (SA-SB).
  • the amount of reflected light at this time can be detected based on the sum (S A + S B) of the outputs S A and S B from the two photodetectors A and B.
  • Information on the detected amount of reflected light indicates the number of tracks when the light beam spot moves across the warp ring dull 71 across its width. This signal is used to detect whether a signal has crossed a signal, and is generally called a cross-track signal.
  • both sides of the warping group 71 are provided so as to be capable of being in-phase with different amplitudes, and the address information is carried in the warping group 71 (added or added). Incorporation into the wobbling loop 71 increases the amount of the signal transmitted by 3.3% to 40% as compared with the case where only one side surface of the wobbling loop 71 is warped.
  • the wobbles on both sides have the same phase, the amplitude of one is set to ⁇ 15 nm, and the amplitude of the other is set to an amplitude different from the maximum soil of 6.0 nm. 7 Even if both sides of 1 are made to warp, a sufficient signal amount can be obtained, and the beat generated in the wobbling signal when recording or reproducing information can be reduced or eliminated. It is possible to perform stable recording and reproduction.
  • the master (a master for manufacturing an optical recording medium) is used.
  • the master is manufactured by laser cutting as shown in FIG. Done by the device.
  • This laser cutting apparatus exposes a photoresist 12 applied on a glass substrate 11 to form a latent image having a planar pattern such as a warping group 71.
  • a glass substrate 11 coated with a photoresist 12 is placed on a turntable 17 of a rotary drive (not shown).
  • the glass substrate 11 coated with the photoresist 12 is driven to rotate by the turntable 17 as shown by the arrow M in the figure, and the movable optical table 18 is parallel.
  • the relative rotation speed (linear velocity) of the master using the turntable 17 with respect to the laser beam 30 at the time of this exposure is set to, for example, 0.91 mZs, and for each rotation, for example, A distance equivalent to the track pitch, such as 1. 20 zm, may be set so that the moving optical table 18 moves in parallel.
  • a distance equivalent to the track pitch such as 1. 20 zm
  • the absolute values of the rotation speed and the track pitch are not limited to these.
  • a laser light source 13 for emitting laser light
  • an E ⁇ M Electro Optical Modulator; electro-optic modulator for adjusting the intensity of the laser light emitted from the laser light source 13.
  • the BS Beam Splitter
  • the detector 15 placed in the detector, the PD (Photo Detector) 19 that receives the laser beam that has passed through the analyzer 15, and a signal electric field applied to the E 14M 14 EO
  • An APC Auto Power Controller
  • the laser light source 13 is desirably a material capable of emitting short-wavelength laser light, such as a Kr (cribton) laser having a wavelength ⁇ of 3551 nm.
  • a Kr (cribton) laser having a wavelength ⁇ of 3551 nm.
  • the present invention is not limited to this.
  • the laser light emitted from the laser light source 13 is adjusted to a predetermined light intensity by the EOM 14 controlled and driven by the APC 20 and then enters the analyzer 15.
  • the analyzer 15 is the S-polarized analyzer 15
  • the laser light transmitted through the analyzer 15 becomes S-polarized light.
  • the laser light emitted from the laser light source 13 and passing through the BS 16 and the analyzer 15 via the EOM 14 and traveling straight is received by the PD 19, and the light intensity is detected by the PD 19 .
  • a signal carrying the light intensity information is transmitted from PD 19 to APC 20.
  • the APC 20 Upon receiving the signal, the APC 20 inputs a control signal to the EOM 14 so that the intensity of the laser beam received by the PD 19 becomes constant, and adjusts the signal electric field. In this manner, the automatic light intensity control of the laser light source system can be performed so that the intensity of the laser light emitted from the EQM 14 becomes constant.
  • the laser beam reflected by the BS 16 remains a parallel beam, and is further reflected by the reflection mirror 21 to change its direction.
  • the moving optical table 18 includes an AOD 48, a drive circuit 50, a reflection mirror 22, a beam magnifying lens 55, and an objective lens 54.
  • the AOD 48 includes one acoustic optical element 46 and edge prisms 47, 49 arranged before and after the acoustic optical element 46, and these are the grating surface of the acoustic optical element 46 and the edge prisms 47, 49 and 49. Are arranged so as to satisfy the Bragg diffraction condition and not to change the horizontal height of the optical axis.
  • the acousto-optic device 46 can be preferably used tellurium oxide (Te_ ⁇ 2).
  • the AOD 48 is controlled based on the DC signal supplied from the drive circuit 50, and is set to perform intensity modulation of the laser light.
  • the driving circuit 50 is supplied with a high-frequency signal by the voltage frequency controller 51.
  • a control signal is externally supplied to the voltage frequency controller 51.
  • the control signal has, for example, a waveform in which a 5 MHz sine wave signal is superimposed on a 84.672 kHz frequency sine wave signal.
  • the plane pattern of the warping group 71 is meandered by a sine wave of 2 kHz, and the groove width of the plane pattern of the warping group 71 is modulated by the amplitude of the sine wave of 5 MHz. spread.
  • the AOD 48 is controlled by the control signal, the Bragg diffraction angle in the acousto-optic element 46 in the AOD 48 changes, and the laser beam 30 generates a warp ring that carries the address information. At this time, the laser beam 30 is focused on the master while controlling the spot to be constant.
  • FIG. 4 schematically shows an outline of an exposure method for forming wobbles having different amplitudes in the same phase on both side surfaces of the wobbling group 71 as described above.
  • FIG. 5 schematically shows a schematic configuration of the warping group 71 obtained thereby.
  • the ratio of the amplitude of the envelope waveform between the positive side and the negative side of the high-frequency signal waveform is 2: 1. .
  • the ratio of the amplitude of the envelope waveform is not limited to 2: 1 as described above.
  • the modulation degree of the envelope waveform can be changed by variously changing the ratio of the two level data given to the D / A converter.
  • one level data correspond to a negative voltage
  • the negative phase is inverted with respect to the positive phase
  • the wobbles on both sides of the coupling group 71 are made to have opposite phases. It is also possible to do. It is also possible to change the amplitude of the high-frequency signal by changing the DC offset voltage provided as an external reference voltage.
  • the control signal formed as described above is input from the voltage frequency controller 51 to the drive circuit 50 as a signal corresponding to the exposure pattern when the photoresist 12 is exposed.
  • the drive circuit 50 drives the AOD 48 to apply optical polarization to the laser beam 30 for exposing the photoresist 12, and the two sides as described above have different amplitudes.
  • the planar pattern of the wobbling group 71 1 wobbled in phase can be exposed on the photoresist 12 of the master.
  • the center frequency is 2 2 4
  • a control signal obtained by superimposing a low-frequency signal FM-modulated to 84.672 kHz using a high-frequency signal of 5 MHz and a high-frequency signal of 5 MHz is applied to a voltage-frequency controller 5 1
  • the drive circuit 50 Based on the input signal, the drive circuit 50 changes the black angle of the acousto-optic element 46 of the AOD 48 so that the laser beam 30 is acousto-optically polarized, and It is possible to expose patterns that are wobbled in phase with different amplitudes.
  • the laser beam 30 acousto-optically polarized by the AOD 48 in this manner is adjusted to a predetermined beam spot diameter by the beam magnifying lens 55,
  • the light is reflected by 22 and guided to the objective lens 54, and the objective lens 54 transfers the groove of the warping ring 71 onto the photoresist 12 on the master as schematically shown in FIG. Irradiation while shaking in a direction crossing the direction.
  • a latent image is formed on the photoresist 12 on the master disc, which includes a pattern in which the amount of amplitude is different on both sides of one warping group 71 and which is wobbled in the same phase.
  • one beam spot is periodically swung with different amplitudes based on a control signal obtained by superimposing a low-frequency signal and a high-frequency signal, so that wobbling with different amplitudes on both sides. Since the planar pattern of the group 7 1 is exposed, the wobble on both sides is the same as when exposing the tables on both sides of one coupling group 71 1 using separate beam spots. The wobbles on both sides can be reliably exposed to the same phase without any phase shift (or synchronization shift).
  • the objective lens 54 preferably has a large NA (numerical aperture) so that a finer loop pattern can be formed with high precision. Specifically, an objective lens 54 having NA of 0.9 or more is preferable.
  • the master is subsequently subjected to a development process to dissolve the exposed portion of the photoresist 12 and develop the photoresist.
  • a development process to dissolve the exposed portion of the photoresist 12 and develop the photoresist.
  • an undeveloped master is placed on a turntable of a developing machine (not shown), and the developing solution is dripped onto the surface of the master while rotating the turntable to develop the photoresist 12. Can be.
  • a conductor film made of a nickel (Ni) thin film is formed on the concave / convex pattern of the photoresist 12 of the master using, for example, a non-electric field plating apparatus (not shown).
  • a nickel plating layer of, for example, about 300 ⁇ 5 m is formed on the conductor film by an electric plating method.
  • the nickel plating layer is peeled off from the master using a cutter or a peeling squeegee, and the photoresist 12 remaining on the surface on which the nickel plating layer has been formed is washed with a solvent such as acetone.
  • a stamper (not shown) to be incorporated in an injection molding die or the like.
  • minute irregularities such as a wobbling groove 71 formed on the surface of the master are transferred onto the surface of the base plate 1 by a photopolymer method (so-called 2P method).
  • a photopolymer is applied flatly on the surface of the master on which the concavo-convex pattern is formed to form a photopolymer layer 7.
  • a glass base plate 1 having a refractive index of 1.52 or less and a thickness of 1.2 mm, for example, is adhered onto the photopolymer layer 7 while preventing bubbles and dust from being mixed therein.
  • the photopolymer layer 7 is cured by irradiating ultraviolet rays, and the photopolymer layer 7 is peeled off from the master together with the base plate 1, whereby minute irregularities on the surface of the master are transferred to the photopolymer layer 7. Can be formed.
  • a recording unit 3 is formed on the recording surface of the disk substrate 2 as shown in the cross-sectional view of FIG. 1 on a recording surface of a silicon nitride (Si 3 N 4 ).
  • Domain wall displacement detection film DWDD: Domain Wall Displacement Detection film
  • TbFeCo alloy TbFeCo alloy
  • DyFeCo alloy DyFeCo alloy
  • GdFe alloy etc.
  • a 2P resin is applied smoothly by, for example, a spin coating method or the like, and is cured by irradiation with a UV lamp to form a protective layer 4.
  • a 2P resin is applied smoothly by, for example, a spin coating method or the like, and is cured by irradiation with a UV lamp to form a protective layer 4.
  • the photopolymer method is used as a method for more accurately transferring the uneven pattern such as the warping group 71 formed on the master to the disk substrate 2 has been described.
  • injection molding of a transparent resin such as polymethyl methacrylate-polycarbonate can also be used to form a disk with a surface with a concavo-convex pattern such as a warping group 71. It goes without saying that the substrate 2 can be manufactured.
  • the material for forming various parts such as the base plate 1, the recording part 3, and the protective layer 4 of the magneto-optical disk is not limited to the above, and various other materials may be used. It can be used.
  • a plurality of evaluation magneto-optical disks having various amounts of warping amplitude and the like were manufactured by the manufacturing method using the master as described above, and the recording / reproducing function of each was evaluated.
  • the power of the exposure laser beam 30 was changed in various ways, and it was confirmed how the group width changed for each power. More specifically, the power of the exposure laser beam 30 is set to 0.9, 1.1, 1.45, and in each case, the groove of the warp ring group 71 of the formed master is set. The width was measured using an electron microscope. As a result, the groove width was 562 nm, 622 nm, and 682 nm, respectively, corresponding to the above power.
  • the amplitude on one side was ⁇ 15 nm for all disks, and the amplitude on the other side was ⁇ 0.5 nm, ⁇ 1.5 nm, ⁇ 3.0 nm, ⁇ 6.0 nm And, it was made different for each disk.
  • a disk substrate 2 is formed by the photopolymer method as described above, and a recording portion 3 and a protective layer 4 are formed on the surface of the disk substrate 2.
  • a magnetic disk was manufactured.
  • the wobbling group 71 is an evaluation magneto-optical disk having an amplitude of one side of 15 nm on one side and an amplitude of ⁇ 6.0 nm on the other side.
  • the jitter was measured as a representative value (parameter) of, the results shown in Fig. 6 were obtained. That is, if the group width is 562 nm, The jitter in the land 72 was 10.5%, and that in the wobbling group 71 was 9.5%. Also, when the dull width was 62 2 nm, the jitter in the land 72 was 9.5%, and that in the warping group 71 was 8.5%.
  • the jitter in the land 72 was 10.0%, and that in the warping group 71 was 8.5%.
  • the recording and reproducing characteristics were sufficiently stable. If the amplitude on the other side is less than ⁇ 6.0 nm, it is expected that more stable recording / reproducing characteristics will be obtained theoretically, but actually the jitter is measured as a representative value. It was confirmed that the obtained recording / reproducing characteristics became more stable. According to this experimental result, while the amplitude of one side of the warping group 71 is a constant ⁇ 15 nm, the amplitude of the other side is minimum 0.5 nm to maximum 6.0 O.
  • the technique of the present invention can be widely applied to an optical recording medium that can be formed so that the wobble amplitude is different on both side surfaces of the groove, its master, a method of manufacturing the same, and an optical recording apparatus.
  • a rewritable optical recording medium that is set so that data can be rewritten many times
  • a write-once optical recording medium that is set so that additional recording is possible but erasing is not possible
  • the present invention is applicable to a read-only optical recording medium in which data is written in a non-rewritable manner.
  • the data recording method is a read-only method, a magneto-optical method that records and reproduces data using a magneto-optical effect, or a data recording and reproducing method using a phase change of a recording layer. Any recording method, such as the phase change method that performs the recording, can be applied.
  • an optical recording medium in which the data recording area is set only to the land an optical recording medium set only to the group, or an optical recording medium set to be recordable to both the land and the group.
  • the present invention is applied It is possible.
  • the present invention can also be applied to a case where an emboss pit and a warping group are provided in one disk.
  • the group has different amplitudes on both sides of the groove. It is a warp ring groove provided to wobble. Furthermore, since both sides of the groove that wobble with different amplitudes are wobbled in the same direction in the track direction, beats are generated even if the track density is improved by narrowing the track pitch. This makes it possible to stably reproduce the wobble signal without causing an effect.

Description

光記録媒体、 光記録媒体用原盤、 光記録媒体原盤の製造装置、 光記録再生装置 技術分野
本発明は、 光記録媒体、 光記録媒体用原盤、 光記録媒体原盤の製造装置、 光記 録再生装置に関する。 背景技術
光記録媒体は、 各種の信号化された情報を光学的に再生可能に記録するもので ある。 例えばコンパクトディスクやレーザディスク等のように、 データに対応し たエンボスピッ卜がディスク基板にあらかじめ形成されている再生専用の光ディ スクや、 ミニディスク （Mini Di sc； M D ) 等のように磁気光学効果を利用して データの記録や再生を行うように設定された光磁気ディスクや、 D V D (Di gi tal Versat i l e Di sc) 等のように記録層の相変化を利用して情報 （デー タ） の記録，再生を行うように設定された相変化型光ディスクなど、 種々の記録 方式のものがある。
光磁気ディスクや相変化型光ディスクのように、 記録される情報を書き換え可 能に設定された光記録媒体では、 ピットのような離散的な形状ではなく連続した 溝状のグループが、 記録トラックに沿って形成されている。 このグループは、 主 としてトラッキングサ一ポ制御のために設けられた、 言わば案内溝である。 この グループ同士の間の部分は、 グループの底よりも表面寄りに隆起していることか らランドと呼ばれている。
グループが形成された光記録媒体では一般に、 プッシュプル信号を用いてトラ ッキングサ一ポ制御が行われる。 そのプッシュプル信号は、 光記録媒体に向けて 光ビームを照射し、 その光記録媒体で反射された光をトラック中心に対して対称 に配置された 2つの光検出器によって検出し、 それら 2つの光検出器からの出力 の差に基づいて得ることができる。
ところで、 本願出願人による特許第 2 9 6 0 0 1 8号には、 M Dのデータ記録 部であるウォーブリングワイドグループを、 2 2 . 0 5 k H zと 5 MH zとを重 畳させた信号によって形成する方法が提案されている。 その形成方法では、 2 2 . 0 5 k H zの F M変調信号は、 アドレスのウォーブル情報を記録するためのもの で、 5 M H zの信号は、 その振幅量によってグループの幅を広げるためのもので ある。 このような形成方法によって、 ゥォ一プリングワイドダル一ブは、 溝の両 側面がウォープリング （規則的に蛇行） した形状に形成されている。 このウォー プリングワイドグルーブを光記録媒体に形成することにより、 データ記録部がヮ イドグループ （幅広） となり、 A D I Pのゥォ一ブル信号の安定的な再生や M〇 信号の安定的な記録再生を実現することができる。
また、 特許第 2 8 5 4 1 8 7号には、 グループの両側面のうちの片側のみをゥ オーブリングさせ、 他方の側はウォープリングさせないでストレートに （円弧状 に） するという技術が提案されている。 この技術によれば、 グループのゥオーブ リングにアドレス情報を担持させる （盛り込む） ことが可能である。
ところで、 ウォープリンググループが形成された光記録媒体では、 記録密度を より高いものとすると共に、 ウォーブル信号を安定して再生できるようにするこ とが望まれる。
しかしながら、 上記の特許第 2 8 5 4 1 8 7号に提案されたようなグループの 片側のみをゥォ一プリングさせた光記録媒体では、 他方のウォープリングしない 側面がアドレス情報を担持させるためには用いられていないので、 両側面をゥォ —プリングさせた場合のウォープリング信号量と比べて半分程度になり、 ウォー ブル信号の安定した再生が困難である場合があるという問題点があつた。
また、 ウォープリング信号量を増大させてウォーブル信号の安定的な再生を達 成することが望まれる。 ところが、 グループの両側面をゥオーブリングするよう に形成し、 かつ記録密度のさらなる向上を達成するためにはトラックピッチを狭 くすることが必要であるが、 そのように狭トラックピッチ化すると、 ウォープリ ングの位相がずれている場合などに特に顕著に、 隣り合うウォープリングどうし の間でウォーブル信号にピートが発生し、 これに起因して、 ウォーブル信号の安 定した再生が困難なものとなるという問題点があつた。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、 その目的は、 狭トラックピッ チ化して記録密度の向上を達成しても、 ビートを発生することなく安定してゥォ ―ブル信号を再生することが可能である光記録媒体を提供することにある。 また、 その光記録媒体に記録再生を行うために用いられる光記録再生装置、 ならびにそ の光記録媒体を複製する際に用いられる光記録媒体用原盤および光記録媒体原盤 の製造装置を提供することにある。 発明の開示
本発明による光記録媒体または光記録媒体用原盤は、 基板の表面にグループが 溝状のトラックを成すように形成されており、 そのグループのトラックに沿って 情報を読み取り可能に設定された光記録媒体または光記録媒体用原盤であって、 前述のグループが、 その溝の両側面を異なつた振幅量でウォーブルするように設 けられたウォーブリンググループとなっている。
本発明による他の光記録媒体または光記録媒体用原盤は、 基板の表面にグルー ブが溝状のトラックを成すように形成されており、 そのグループのトラックに沿 つて情報を読み取り可能に設定された光記録媒体または光記録媒体用原盤であつ て、 前述のグループが、 その溝の両側面を異なった振幅量で同位相にウォーブル するように設けられたゥォ一プリンググループとなっている。
本発明による光記録媒体原盤の製造装置は、 原盤の表面に卜ラックを成すダル ーブをパターニングする光記録媒体原盤の製造装置であって、 低周波信号と高周 波信号とを重畳してなる制御信号に基づいて、 露光用の光ビームまたはレーザビ —ムを光記録媒体用原盤の表面に対して相対的に進行させながらその進行方向に 対して交差する方向に所定の周期で振らせて、 グループの両側面が異なつた振幅 量で同位相にウォーブルするウォープリンググループとなるように潜像を形成す るものである。
本発明による光記録再生装置は、 溝の両側面のウォーブル振幅量が異なるよう に設定されたウォープリンググループを有し、 そのウォーブリンググループとラ ンドとの両方に情報が記録可能であるように設定されている光記録媒体に対して， 情報の記録および/または再生を行う光記録再生装置であつて、 ウォープリング グループに光スポットを追従させる手段と、 ウォープリンググループに光スポッ トを追従させながらウォーブル信号を検出する手段とを備えたものである。 本発明による他の光記録再生装置は、 溝の両側面のウォーブル振幅量が異なる ように設定されたウォープリンググループを有し、 そのウォープリンググループ またはランドのうちいずれか一方に情報が記録可能であるように設定されている 光記録媒体に対して、 情報の記録および Zまたは再生を行う光記録再生装置であ つて、 ウォープリンググループに光スポットを追従させる手段と、 ウォーブリン ググループに光スポットを追従させながらウォーブル信号を検出する手段とを備 えたものである。
本発明による光記録媒体、 光記録媒体用原盤、 光記録媒体原盤の製造装置、 光 記録再生装置では、 グループが、 その溝の両側面を異なった振幅量でウォーブル するように設けられたウォープリンググループとなっている。 またさらには、 そ の溝の異なつた振幅量でゥォ一ブルする両側面を、 トラック方向で同位相にゥォ —ブルさせるようにしている。 このような両側面の異なった振幅量は、 さらに望 ましくは、 3 . 3〜4 0 %に設定する。
本発明の他の目的、 特徴および効果は、 以下の説明によってさらに明らかにな るであろう。 図面の簡単な説明
第 1図は、 本発明の一実施の形態に係る光磁気ディスクの概要構成を示した図 である。
第 2図は、 第 1図に示した光磁気ディスクの表面に形成された記録領域を拡大 して表した図である。
第 3図は、 本発明の一実施の形態に係る光磁気ディスク用の原盤を製作するた めのレーザカッテイング装置の概要構成を示した図である。
第 4図は、 ウォープリンググループの両側面に振幅量の異なるウォーブルを同 位相で形成するための露光方法の概要を模式的に示した図である。
第 5図は、 第 4図に示した露光方法によって得られるウォープリンググループ の概要構成を模式的に示した図である。
第 6図は、 評価用光磁気ディスクの記録再生特性の代表値としてジッターを計 JP02/00331
5 測した結果を表した図である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
[光磁気ディスク]
第 1図は、 本発明の一実施の形態に係る光磁気ディスクの概要構成を表したも のである。 この光磁気ディスクは、 いわゆる MD 3フォーマットの規格に準拠し て、 磁気光学効果によりデータの記録再生が行われるように設定された、 円盤状 の光記録媒体である。
ガラスまたはポリメチルメタクリレート （PMMA) あるいはポリカーポネ一 ト （PC) などからなるディスク基板 2の上に、 光磁気記録が行われる記録部 3 と、 その記録部 3の表面ほぼ全面を覆って保護する保護層 4とが、 この順で積層 形成されている。 記録部 3は、 図示は省略したが、 例えば、 S i N (窒化ケィ 素） からなる第 1の誘電体膜、 T e F e C o合金からなる垂直磁気記録膜、 S i Nからなる第 2の誘電体膜、 A 1合金からなる反射膜などが、 順次に積層されて 形成されたものである。 保護層 4は、 記録部 3の上に、 例えば紫外線硬化樹脂を スピンコートして形成されたものである。 なお、 記録部 3や保護層 4の形成材料 は、 上記の例のみには限定されないことは言うまでもない。 記録部 3の材質とし ては、 光磁気記録を効果的に行うことが可能なものであればどのようなものでも よく、 また保護層 4は記録部 3を効果的に保護することが可能などのようなもの でもよい。
第 2図は、 この光磁気ディスクの表面に形成された記録領域を拡大して示した ものである。 ウォーブリンググループ 7 1と、 その隣り合うウォーブリンググル ーブ 7 1どうしの間のランド 7 2とに、 光磁気記録によるデ一タを書き込むこと が可能であるように設定されている。
ウォープリンググループ 7 1は、 一方の側面 （第 2図で右側の側壁面） の振幅 量が土 1 5 nm、 他方の側面 （第 2図で左側の側壁面） の振幅量が例えば土 0. 5 nm、 ± 1. 5 nm、 ±3. 0 nm、 ±6. 0 n mのいずれかに設定されてお り、 ウォープリンググループ 7 1の溝の長手方向に実質的に一定周期で同位相に ウォーブル （蛇行） するように形成されている。 また、 トラックピッチは、 例え ば 1 . 2 z m、 ウォープリンググループ 7 1およびランド 7 2の実質的な書き込 み可能領域の幅は、 どちらも 0 . 6 0 m程度と設定されている。 ここで、 隣り 合うトラックどうしのウォーブル中心間の距離を、 トラックピッチと呼ぶもので あることは言うまでもない。
この光磁気ディスクでは、 ウォープリンググループ 7 1の平均幅とランド 7 2 の平均幅とがほぼ等しくなるように設定されているランドアンドグループフォー マット （Land and Groove Format) であるため、 トラッキングサーポ制御を行う ために十分なレベルのプッシュプル信号が得られるように設定されている。 ここ で、 プッシュプル信号は、 光磁気ディスクに光ビームを照射して反射された光を、 トラック中心に対して対称に配置された 2つの光検出器 （図示省略） A , Bによ つて検出し、 それら 2つの光検出器 A , Bからの出力 S A , S B の差 （S A - S B ) に基づいて得ることができる。 また、 このときの反射光量は、 それら 2つの光検出器 A , Bからの出力 S A , S B の和 （S A + S B ) に基づいて 検出することができる。 検出された反射光量の情報 （S A + S B によって得ら れる和信号） は、 光ビームのスポットがウォープリングダル一ブ 7 1をその幅方 向に横切って移動する際などに、 どれだけのトラックを跨いだかを検出するため に用いられるもので、 一般にクロストラック信号と呼ばれる。
このように、 ウォープリンググループ 7 1の両側面を異なった振幅量で同位相 にゥォ一ブルするように設けて、 そのウォープリンググループ 7 1にアドレス情 報を担持させた （付加した、 または盛り込んだ） ことにより、 ウォーブリングダ ループ 7 1の片側の側面のみをウォープルさせた場合と比較して、 ゥォ一ブリン グ信号量を 3 . 3 %〜4 0 %増大させることができる。 しかも、 両側面のウォー ブルを同位相とし、 またその片方の振幅量を ± 1 5 n m、 他方の振幅量を最大土 6 . 0 n mと異なる振幅に設定しているので、 ウォーブリンググル一ブ 7 1の両 側面をウォープルさせるように形成しても、 十分な信号量を得ることができ、 ま た情報の記録や再生の際にウォーブリング信号に生じるビートを軽減または解消 することができ、 安定した記録や再生を行うことが可能となる。
また、 ウォープリンググループ 7 1の両側面の振幅量の異なるどちらのウォー ブルからも、 トラツキンダサーポ制御を行うために十分なプッシュプル信号を得 ることができるので、 安定的に確実なトラッキングを行うことが可能となる。
[レーザカツティング装置およびそれによる原盤製作]
上記の光磁気ディスクを例えば射出成形装置などによって製造する際には、 そ の原盤 （光記録媒体製造用原盤） が用いられるが、 その原盤の製作は、 第 3図に 示したようなレーザカッティング装置によって行われる。
このレ一ザカッティング装置は、 ガラス基板 1 1の上に塗布されたフォトレジ スト 12を露光して、 ウォープリンググループ 7 1などの平面的パターンの潜像 を形成するものである。
原盤製作プロセスでは、 まず、 フォトレジスト 12が塗布されたガラス基板 1 1が回転駆動装置 （図示省略） のターンテーブル 1 7の上に載置される。 フォト レジスト 1 2を露光する工程では、 フォトレジスト 12が塗布されたガラス基板 1 1がターンテーブル 1 7によって図中矢印 Mで示したように回転駆動されると 共に、 移動光学テーブル 1 8が平行移動しながらフォトレジスト 12にレーザピ —ム 30を照射することにより、 ガラス基板 1 1上のフォトレジスト 1 2のほぼ 全面に亘つて所望のパターンが露光される。
なお、 具体的には、 この露光の際のレーザビーム 30に対するターンテーブル 1 7による原盤の相対的な回転速度 （線速度） は、 例えば 0. 91mZsに設定 するとも共に、 その 1回転ごとに例えば 1. 20 zmずつなどトラックピッチ分 の距離を移動光学テーブル 1 8が平行移動するように設定すればよい。 ただし、 回転速度やトラックピッチの絶対値はこれらのみには限定されないことは言うま でもない。
さらに詳細には、 レーザ光源系として、 レーザ光を出射するレーザ光源 1 3、 そのレーザ光源 1 3から出射されたレーザ光の強度を調整するための E〇M (Electro Optical Modulator ；電気光学変調器） 14、 その E OM 14から出 射されたレーザ光を透過光と反射光とに分割する B S (Beam Splitter ； ビーム スプリツ夕） 1 6、 EOM 14から出射されるレ一ザ光の光軸上に配置された検 光子 1 5、 その検光子 1 5を通ってきたレーザ光を受光する P D (Photo Detector；光検出器） 1 9、 E〇M 14に対して信号電界を印加して、 その EO M 14から出射されるレーザ光の強度をフィ一ドバック制御する A P C (Auto Power Controller ；オートパワーコントローラ） 20を備えている。
レ一ザ光源 1 3としては、 例えば、 波長 λ が 3 5 1 nmの K r (クリブト ン） レーザなど、 短波長のレーザ光を出射可能であるものが望ましい。 ただしこ れのみには限定されないことは言うまでもない。
レーザ光源 1 3から出射されたレーザ光は、 AP C 20に制御されて駆動され る EOM14によって所定の光強度に調整されて検光子 1 5に入射する。 ここで、 検光子 1 5は S偏光の検光子 1 5であるから、 この検光子 1 5を透過してきたレ —ザ光は S偏光となる。
レーザ光源 1 3から出射され、 EOM14を経て、 BS 1 6および検光子 1 5 を透過して直進して来たレーザ光は PD 1 9に受光され、 その PD 1 9によって 光強度が検出される。 その光強度の情報を担持してなる信号が、 PD 1 9から A P C 20に送出される。 その信号を受けて、 AP C 20は、 PD 19で受光され るレーザ光の強度が一定になるように制御信号を E OM 14に入力してその信号 電界を調整する。 このようにしてレーザ光源系の自動光量制御を行って、 EQM 14から出射されるレーザ光の強度が一定になるようにすることができる。
一方、 B S 1 6で反射されたレーザ光が、 平行ビームのまま、 さらに反射ミラ — 2 1で反射されて向きを変えて、 移動光学テーブル 1 8内の AOD (Acoustic Optical Deflector；音響光学偏向器） 48へと導かれる。
移動光学テーブル 1 8は、 AOD48、 駆動回路 50、 反射ミラー 22、 ビー ム拡大レンズ 55および対物レンズ 54を備えている。 AOD48は、 1つの音 響光学素子 46とその光軸方向前後に配置されたゥエッジプリズム 47, 49と を備えており、 それらは音響光学素子 46の格子面とゥ cッジプリズム 47， 4 9とがブラッグの回折条件を満たすと共に光軸の水平高さを変化させることのな いように配置されている。 音響光学素子 46としては、 酸化テルル （Te〇2 ) を好適に用いることができる。 この AOD48は、 駆動回路 50から与えられる D C信号に基づいて制御されて、 レ一ザ光の強度変調を行うように設定されてい る。
駆動回路 50は、 電圧周波数制御器 5 1によって高周波信号が与えられる。 ま た、 その電圧周波数制御器 5 1には外部から制御信号が与えられる。 制御信号は、 例えば、 周波数 84. 672 kHzの正弦波状の信号に 5 MHzの正弦波状の信 号を重畳させた波形となる。 84. 67 2 kH zの正弦波によってウォーブリン ググループ 7 1の平面的パターンを蛇行させ、 5 MH zの正弦波の振幅量によつ てウォープリンググループ 7 1の平面的パターンの溝幅を広げる。
その制御信号によって AOD 48が制御されて、 その AOD 48内の音響光学 素子 46におけるブラッグの回折角度が変化し、 レーザピ一ム 30にァドレス情 報を担持するウォープリングを発生させる。 このとき、 レーザビーム 30は、 ス ポットが一定となるように制御されつつ、 原盤上に集光される。
さらに詳細には、 次式に示したように、 原盤上に照射するレーザビーム 30の 半径よりも小さい振幅となるように偏光周波数の空間周波数を調節して多重露光 することにより、 ウォーブリンググル一ブ 7 1の幅を広げることができる。 すな わち、 原盤上を相対的に移動するレーザビーム 30の線速度を V、 偏光周波数を f 、 原盤上に照射するレーザビーム 30の直径を Dとすると、 v/f ≤Dとなる ように設定する。 例えば、 v = 0. 9 1m/ s、 D= 0. 35 imに設定した場 合、 f を 2. 6MHz以上 （f ≥2. 6MHz) にすることで、 ウォーブリング グループ 7 1の幅を広げることができる。
第 4図は、 上記のようにしてウォーブリンググループ 71の両側面に振幅量の 異なるウォーブルが同位相で形成されるようにするための露光方法の概要を模式 的に示したものである。 また、 第 5図は、 それによつて得られるウォープリング グループ 7 1の概要構成を模式的に示したものである。
外部基準電圧が与えられ、 外部から入力される電圧に比例した出力が得られる D/Aコンバータを用意し、 それに例えば 5 MHzの 2倍のクロックパルスを入 力すると共に、 1 00 %出力と 50 %出力とにそれぞれ相当するレベルデータを 繰り返し入力する。 外部基準電圧は、 低周波ウォーブル信号に基準電圧 Vs の 5 0 %に相当するオフセットが与えられたものとする。 一例として、 外部基準電圧 Voは、 Vo=Vs X 0. 5 (直流） +低周波ウォープル信号 （10 %p p) の ようにする。 必要に応じて出力信号に DCオフセットを与えて直流成分を除去す る。 このようにすることにより、 高周波信号波形の正側 （これが第 4図で右側の側 面を規定するものとなる） のエンベロープは 1 0 % p pとなる一方、 負側 （これ が第 4図で左側の側面を規定するものとなる） のエンベロープは 5 % p pとなり、 高周波信号波形の正側と負側とのエンベロープ波形の振幅の比が 2 ： 1となるよ うな制御信号を得ることができる。 なお、 このエンベロープ波形の振幅の比は上 記のような 2 ： 1のみには限定されないことは言うまでもない。
なお、 D / Aコンバータに与える 2つのレベルデータの比率を種々変更するこ とによって、 エンベロープ波形の変調度を変化させることができる。 また、 一方 のレベルデ一タを負電圧に相当するものとすることにより、 負側の位相を正側の 位相と反転させて、 ゥォ一プリンググループ 7 1の両側面のウォーブルを互いに 逆位相にすることなども可能である。 また、 外部基準電圧として与えられる直流 オフセット電圧を変更することによって高周波信号の振幅を変更することなども 可能である。
上記のようにして形成された制御信号は、 フォトレジスト 1 2の露光時には、 電圧周波数制御器 5 1から露光パターンに応じた信号として駆動回路 5 0に入力 される。 それに基づいて、 駆動回路 5 0が A O D 4 8を駆動して、 フォトレジス ト 1 2を露光するためのレーザビ一ム 3 0に光学偏光が施され、 上記のような両 側面が異なった振幅量で同位相にウォーブルするウォーブリンググループ 7 1の 平面的パターンを原盤のフォトレジスト 1 2に露光することができる。
具体的には、 例えば、 ウォープリンググループ 7 1を周波数 8 4 . 6 7 2 k H zでゥォ一ブルさせてァドレス情報を担持させるようにする場合には、 例えば中 心周波数が 2 2 4 M H zの高周波信号を用いて 8 4 . 6 7 2 k H zに F M変調し た低周波信号と 5 M H zにした高周波信号とを重畳させて得た制御信号を、 電圧 周波数制御器 5 1から駆動回路 5 0に入力する。 この入力された信号に基づいて、 駆動回路 5 0が A O D 4 8の音響光学素子 4 6のブラック角を変化させることに より、 レーザビーム 3 0に音響光学的に偏光を施して、 両側面が異なった振幅量 で同位相にウォーブルした形状のパ夕一ンを露光することができるようにする。 このようにして A O D 4 8で音響光学的に偏光を施されたレ一ザビーム 3 0は、 ビーム拡大レンズ 5 5によって所定のビームスポット径に調節され、 反射ミラー 2 2で反射されて対物レンズ 5 4へと導かれ、 その対物レンズ 5 4によって原盤 上のフォトレジスト 1 2上に、 第 4図に模式的に示したように、 ウォープリング グループ 7 1の溝方向に対して交差する方向に振らせながら照射する。 これによ り、 原盤上のフォトレジスト 1 2に、 1つのウォープリンググループ 7 1の両側 で振幅量が異なつておりかつ同位相にウォーブルしたパターンを含んだ潜像が形 成される。 このように 1つのビームスポットを、 低周波信号と高周波信号とを重 畳してなる制御信号に基づいて、 周期的に異なった振幅で振らせることで、 両側 面で異なった振幅量のウォーブリンググル一ブ 7 1の平面的パターンを露光する ようにしたので、 1つのゥォ一プリンググループ 7 1の両側のゥォ一ブルを別々 のビームスポットを用いて露光する場合のような両側のウォーブルに位相のずれ (あるいは同期ずれ） が生じることなく、 両側のウォーブルを確実に同位相に露 光することができる。
なお、 対物レンズ 5 4は、 より微細なループパターンを高精度に形成すること ができるようにするために、 N A (開口数） が大きい方が望ましい。 具体的には、 N Aが 0 . 9あるいはそれ以上の対物レンズ 5 4が好適である。
このようにして、 原盤上のフォトレジスト 1 2が露光されて潜像が形成される と、 それに続いて、 原盤に現像処理を施して、 露光した部分のフォトレジス卜 1 2を溶解させて現像を行う。 さらに詳細には、 図示しない現像機のターンテープ ル上に未現像の原盤を載置し、 ターンテーブルごと回転させつつ原盤の表面に現 像液を滴下して、 フォトレジスト 1 2を現像することができる。
続いて、 図示しない無電界めつき装置を用いるなどして、 原盤のフォトレジス ト 1 2からなる凹凸パターン上にニッケル （N i ) 薄膜による導電体膜を形成す る。 この導電体膜が形成された原盤を図示しないめつき装置に装着するなどして、 電気めつき法により、 導電体膜上に例えば 3 0 0 ± 5 m程度のニッケルめっき 層を形成する。
続いて、 このニッケルめっき層を原盤からカッターあるいは剥離用スキージ等 で剥離し、 さらにそのニッケルめっき層が形成されていた面上に残留しているフ ォトレジスト 1 2をアセトン等の溶剤で洗浄して、 射出成形用金型などに組み込 まれるスタンパ （図示省略） を得ることができる。 そのスタンパを用いて、 フォトポリマー法 （いわゆる 2 P法） により、 原盤の 表面に形成されたウォーブリンググル一ブ 7 1等の微小な凹凸を、 ベースプレー ト 1の表面上に転写する。 具体的には、 例えば、 まず原盤の凹凸パターンが形成 された表面上にフォトポリマーを平坦に塗布して、 フォトポリマ一層 7を形成す る。 次に、 そのフォトポリマー層 7の上に、 気泡や塵埃などが混入しないように しながら、 例えば屈折率が 1. 52以下で 1. 2mm厚のガラス製のベ一スプレ ート 1を密着させる。 そして、 紫外線を照射してフォトポリマー層 7を硬化させ、 そのフォトポリマ一層 7をベースプレート 1と共に原盤から剥離することにより、 原盤の表面の微小な凹凸がフォトポリマー層 7に転写されたディスク基板 2を形 成することができる。
そして、 図示しないスパッタリング装置等を用いて、 記録部 3として、 第 1図 の断面図に示したようなディスク基板 2の記録面上に、 窒化ケィ素 （S i 3 N 4 ) からなる第 1の誘電体膜、 T b F e C o合金または D y F e C o合金あるい は G d F e 合金等からなる磁壁移動検出膜 （D WD D ; Domain Wall Displacement Detection film ) 、 窒化シリコンからなる第 2の誘電体膜、 アル ミニゥム合金 （A l— T i ) からなる反射膜を、 この順に成膜した後、 その反射 膜の上に、 基板の表面 （上面） のほぼ全面を覆うように 2 Pレジンを例えばスピ ンコ一ト法などによって平滑に塗布し、 それを UVランプの光照射によって硬化 させるなどして保護層 4を形成する。 このようにして、 本実施の形態に係る光磁 気ディスクを完成することができる。
なお、 ここでは原盤に形成されたウォープリンググループ 7 1などの凹凸パタ ーンをより精確にディスク基板 2に転写できる方法として、 フォトポリマー法を 用いる場合について説明したが、 ディスク基板 2をさらに大量に高能率で量産す る場合などには、 ポリメチルメタクリレートゃポリカーボネートなどのような透 明樹脂を射出成形することによつても、 表面にウォープリンググループ 7 1など の凹凸パターンが形成されたディスク基板 2を製造することが可能であることは 言うまでもない。
また、 この光磁気ディスクにおけるベースプレート 1や記録部 3や保護層 4な どの各種部位の形成材料は、 上記のみには限定されず、 その他にも各種の材料を 用いることが可能である。
[実施例]
上述のような原盤を用いた製造方法により、 ウォープリング振幅量などを種々 に変えた複数の評価用光磁気ディスクを製造して、 その各々の記録 ·再生機能を 評価した。
そのような評価用光磁気ディスクの評価実験を行うにあたり、 まず、 それらの 原盤を作製した。 その原盤の製造工程では、 露光用のレーザビーム 30のパワー を種々に変化させて、 そのパワーごとでグループ幅がどのように変化するのかに ついてを確認した。 より具体的には、 露光用のレーザビーム 30のパワーを、 0. 9、 1. 1、 1. 45に設定し、 そのそれぞれの場合ごとで、 形成された原盤の ウォープリンググループ 7 1の溝幅を、 電子顕微鏡を用いて測定した。 その結果、 溝幅は、 上記のパワーに対応してそれぞれ 562 nm， 622 nm, 682 nm となった。 また、 一方の側面の振幅量をいずれのディスクも ± 15 nmとし、 他 方の側面の振幅量は、 ±0. 5 nm、 ± 1. 5 nm、 ±3. 0 nm、 ±6. O n mと、 各ディスクごとで異なるようにした。
このようにして製作された原盤を用いて、 上述したようなフォトポリマー法に よりディスク基板 2を形成し、 さらにその表面に記録部 3や保護層 4などを形成 して、 それぞれの評価用光磁気ディスクを製造した。
以上のようにして製造した各評価用光磁気ディスクについて、 ウォーブルアド レス信号の再生特性、 光磁気記録層の記録再生特性を、 それぞれ測定した。 この 測定には、 レーザ光の波長 λ = 6 50 ηιη、 対物レンズ 54の ΝΑ= 0. 52 の光ピックアップを用いて、 ウォーブリンググループ 7 1およびランド 72の両 方に 1一 7変調で記録再生を行った。
その結果、 全種類の評価用光磁気ディスクで、 ウォーブルアドレス信号の安定 した再生が可能であることが確認された。
また、 ウォーブリンググループ 7 1の一方の側面の振幅量が土 1 5 nm、 他方 の側面の振幅量が ±6. 0 nmの評価用光磁気ディスクで、 光磁気記録層におけ る記録再生特性の代表値 （パラメータ） としてジッターを計測したところ、 第 6 図に示したような結果となった。 すなわち、 グループ幅が 562 nmの場合には、 ランド 7 2におけるジッターは 1 0 . 5 %、 ウォーブリンググループ 7 1におけ るそれは 9 . 5 %となった。 また、 ダル一ブ幅が 6 2 2 n mの場合には、 ランド 7 2におけるジッターは 9 . 5 %、 ウォープリンググループ 7 1におけるそれは 8 . 5 %となった。 また、 グループ幅が 6 8 2 n mの場合には、 ランド 7 2にお けるジッターは 1 0 . 0 %、 ウォープリンググループ 7 1におけるそれは 8 . 5 %となった。 いずれの場合も、 記録再生特性は十分に安定したものとなった。 また、 他方の側面の振幅量が ± 6 . O n m未満の場合には、 理論的にもさらに安 定した記録再生特性が得られることが想定されるが、 実際に、 ジッターを代表値 として測定された記録再生特性は、 さらに安定したものとなることが確認された。 この実験結果により、 ウォープリンググループ 7 1の一方の側面の振幅量が一 定の ± 1 5 n mであるのに対して、 他方の側面の振幅量が最小 0 . 5 n mから最 大 6 . O n mまでの、 いずれの場合にも、 安定した記録再生特性が得られたこと から、 ウォーブリンググループ 7 1の両側面の振幅量のうち大きい方の振幅量に 対する小さい方の振幅量の比率を 3 . 3 %から 4 0 %の範囲内に設定することに よって安定的な記録再生特性を得ることが可能であることが、 確認された。
なお、 本発明の技術は、 ウォーブル振幅量が溝の両側面で異なるように形成す ることが可能な光記録媒体おょぴその原盤ならびにその製造方法ならびに光記録 装置に広く適用可能である。
また、 データの書き換えを何度も繰り返し行うことが可能に設定された書換型 光記録媒体や、 追記は可能であるが消去は不可であるように設定された追記型光 記録媒体、 あるいは、 あらかじめデータが書き換え不可に書き込まれている再生 専用型光記録媒体などに適用可能である。
また、 データの記録方式としても、 再生専用のものや、 磁気光学的効果を利用 してデータの記録再生を行う磁気光学方式のもの、 あるいは記録層の相変化を利 用してデータの記録再生を行う相変化方式のものなど、 いずれの記録方式のもの でも適用可能である。
また、 データが記録される領域がランドのみに設定されている光記録媒体やグ ループのみに設定されている光記録媒体、 あるいはランドおよびグループの両方 に記録可能に設定されている光記録媒体など、 いずれの場合にも、 本発明は適用 可能である。 あるいは、 エンボスピットとウォープリンググループとが 1つのデ イスク内に併設されているものなどにも適用可能である。
以上説明したように、 本発明の光記録媒体または光記録媒体用原盤または光記 録媒体原盤の製造装置または光記録再生装置によれば、 グループが、 その溝の両 側面を異なつた振幅量でウォーブルするように設けられたウォープリンググルー ブとなっている。 またさらには、 その溝の異なった振幅量でウォーブルする両側 面を、 トラック方向で同位相にウォーブルさせるようにしたので、 狭トラックピ ツチ化して記録密度の向上を達成しても、 ビートを発生することなく安定してゥ オーブル信号を再生することが可能となるという効果を奏する。
以上の説明に基づき、 本発明の種々の態様や変形例を実施可能であることは明 らかである。 したがって、 以下のクレームの均等の範囲において、 上記の詳細な 説明における態様以外の態様で本発明を実施することが可能である。

Claims

請求の範囲
1 . 基板の表面にグループが溝状のトラックを成すように形成されており、 前記 グループのトラックに沿って情報を読み取り可能に設定された光記録媒体であつ て、
前記グルーブが、 その溝の両側面を異なった振幅量でウォーブルするように設 けられたウォーブリンググループである
ことを特徴とする光記録媒体。
2 . 前記ウォープリンググループが、 前記溝の両側面のうちの振幅の大きい方の 側面の振幅量に対する振幅の小さい方の振幅量の比率を 3 . 3 %ないし 4 0 %の 範囲内のいずれかの値に設定してなるものである
ことを特徴とする請求の範囲第 1項記載の光記録媒体。
3 . 前記ウォープリンググループの溝に情報を記録可能であると共に、 隣り合う ウォープリンググループの間のランドにも情報を記録可能であるように設定され ている
ことを特徴とする請求の範囲第 1項記載の光記録媒体。
4 . 基板の表面にグループが溝状の卜ラックを成すように形成されており、 前記 グルーブのトラックに沿つて情報を読み取り可能に設定された光記録媒体であつ て、
前記グループが、 その溝の両側面を異なった振幅量で同位相にウォーブルする ように設けられたウォープリンググループである
ことを特徴とする光記録媒体。
5 . 前記ウォープリンググループが、 前記溝の両側面のうちの振幅の大きい方の 側面の振幅量に対する振幅の小さい方の振幅量の比率を 3 . 3 %ないし 4 0 %の 範囲内のいずれかの値に設定してなるものである
ことを特徴とする請求の範囲第 4項記載の光記録媒体。
6 . 前記ウォープリンググループの溝に情報を記録可能であると共に、 隣り合う ウォープリンググループの間のランドにも情報を記録可能であるように設定され ている ことを特徴とする請求の範囲第 4項記載の光記録媒体。
7 . 基板の表面にグループが溝状のトラックを成すように形成されており、 前記 グループのトラックに沿って情報を読み取り可能に設定された光記録媒体を製造 するために用いられる光記録媒体用原盤であって、
前記グループが、 その溝の両側面を異なった振幅量でウォーブルするように設 けられたウォープリンググループである
ことを特徴とする光記録媒体用原盤。
8 . 前記ウォープリンググループが、 前記溝の両側面のうちの振幅の大きい方の 側面の振幅量に対する振幅の小さい方の振幅量の比率を 3 . 3 %ないし 4 0 %の 範囲内のいずれかの値に設定してなるものである
ことを特徴とする請求の範囲第 7項記載の光記録媒体用原盤。
9 . 前記ウォープリンググループの溝に情報を記録可能であると共に隣り合うゥ オーブリンググループどうしの間のランドにも情報を記録可能である光記録媒体 を製造するように設定されている
ことを特徴とする請求の範囲第 7項記載の光記録媒体用原盤。
1 0 . 基板の表面にグループが溝状のトラックを成すように形成されており、 前 記グループのトラックに沿って情報を読み取り可能に設定された光記録媒体用原 盤であって、
前記グループが、 その溝の両側面を異なった振幅量で同位相にゥォ一ブルする ように設けられたウォープリンググループである
ことを特徴とする光記録媒体用原盤。
1 1 . 前記ウォープリンググループが、 前記溝の両側面のうちの振幅の大きい方 の側面の振幅量に対する振幅の小さい方の振幅量の比率を 3 . 3 %ないし 4 0 % の範囲内のいずれかの値に設定してなるものである
ことを特徴とする請求の範囲第 1 0項記載の光記録媒体用原盤。
1 2 . 前記ウォープリンググループの溝に情報を記録可能であると共に隣り合う ウォープリンググループ同士の間のランドにも情報を記録可能である光記録媒体 を製造するように設定されている
ことを特徴とする請求の範囲第 1 0項記載の光記録媒体用原盤。
1 3 . 原盤の表面にトラックを成すグループをパターニングする光記録媒体原盤 の製造装置であって、
低周波信号と高周波信号とを重畳してなる制御信号に基づいて、 露光用の光ビ —ムまたはレーザビームを光記録媒体用原盤の表面に対して相対的に進行させな がらその進行方向に対して交差する方向に所定の周期で振らせて、 前記グループ の両側面が異なつた振幅量で同位相にウォーブルするウォープリンググルーブと なるように潜像を形成する
ことを特徴とする光記録媒体原盤の製造装置。
1 4 . 前記両側面のゥォ一ブルを同位相に保ちつつ、 そのウォーブルの振幅量を 前記両側面で独立して制御する
ことを特徴とする請求の範囲第 1 3項記載の光記録媒体原盤の製造装置。
1 5 . 前記ウォープリンググループが、 前記溝の両側面のうちの振幅の大きい方 の側面の振幅量に対する振幅の小さい方の振幅量の比率を 3 . 3 %ないし 4 0 % の範囲内のいずれかの値に設定されている
ことを特徴とする請求の範囲第 1 3項記載の光記録媒体原盤の製造装置。
1 6 . 溝の両側面のウォーブル振幅量が異なるように設定されたウォープリング グループを有し、 そのウォープリンググループとランドとの両方に情報が記録可 能であるように設定されている光記録媒体に対して、 前記情報の記録およぴ Zま たは再生を行う光記録再生装置であつて、
前記ウォープリンググループに光スポットを追従させる手段と、
前記ウォーブリンググループに前記光スポットを追従させながらウォーブル信 号を検出する手段と
を備えたことを特徴とする光記録再生装置。
1 7 . 溝の両側面のウォーブル振幅量が異なるように設定されたウォープリング グループを有し、 そのゥォ一ブリンググループまたはランドのうちいずれか一方 に情報が記録可能であるように設定されている光記録媒体に対して、 前記倩報の 記録および Zまたは再生を行う光記録再生装置であって、
前記ウォープリンググループに光スポットを追従させる手段と、
前記ウォープリンググループに前記光スポットを追従させながらウォーブル信 号を検出する手段と
を備えたことを特徴とする光記録再生装置。
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