KR100909603B1 - 광학 기록 재생 매체, 광학 기록 재생 매체 제조용 마더스탬퍼 및 광학 기록 재생 장치 - Google Patents

광학 기록 재생 매체, 광학 기록 재생 매체 제조용 마더스탬퍼 및 광학 기록 재생 장치 Download PDF

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Abstract

기록 트랙에 따라 그루브(2)가 형성되며, 소정 파장 λ의 광 L이 조사(照射)되어 기록 및/또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체에 있어서, 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 그루브(2)에 이르는 매질의 굴절률을 n으로 했을 때, 이 그루브(2)의 위상 깊이 x를, λ/16.14 n≤x≤λ/4.99n으로 하는 동시에, 그루브(2)의 폭 w와 트랙 피치 p의 비 w/p를, 0.391≤(w/p)≤0.594로 하여 구성한다.
광학 기록 재생 매체, 마더 스탬퍼, 광학 기록 재생 장치

Description

광학 기록 재생 매체, 광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼 및 광학 기록 재생 장치{OPTICAL RECORDING AND REPRODUCING MEDIUM, MOTHER STAMPER FOR MANUFACTURING OPTICAL RECORDING AND REPRODUCING MEDIUM AND OPTICAL RECORDING AND REPRODUCING APPARATUS}
본 발명은, 기록 트랙에 따라 그루브(groove)가 형성되며, 소정 파장의 광이 조사(照射)되어 기록 및 또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체와, 광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼(mother stamper) 및 광학 기록 재생 장치에 관한 것이다.
광학 기록 재생 매체로서, 원반형으로 형성되어 이루어지고, 광학적으로 기록 및/또는 재생이 행해지는 광디스크가 각종 실용화되어 있다. 이러한 광디스크에는, 데이터에 대응한 엠보스 피트가 디스크 기판에 미리 형성되어 이루어지는 재생 전용 광디스크나, 자기(磁氣) 광학 효과를 이용하여 데이터의 기록을 행하는 광자기 디스크나, 기록막의 상(相)변화를 이용하여 데이터의 기록을 행하는 상변화형 광디스크 등이 있다.
이들 광디스크 중, 광자기 디스크나 상변화형 광디스크와 같이 기입이 가능한 광디스크에서는, 통상 기록 트랙에 따른 그루브가 디스크 기판에 형성된다. 여 기서, 그루브란, 주로 트래킹 서보를 행할 수 있도록 하기 위해, 기록 트랙에 따라 형성되는 이른바 안내홈이며, 그루브와 그루브와의 개구단 간을 랜드라고 한다.
그리고, 그루브가 형성되어 이루어지는 광디스크에서는, 통상, 그루브에 의해 반사 회절된 광으로부터 얻을 수 있는 푸시풀 신호에 따른 트래킹 에러 신호에 의해, 트래킹 서보가 행해진다. 여기서, 푸시풀 신호는, 그루브에 의해 반사 회절된 광을, 예를 들면 트랙 중심에 대하여 대칭으로 배치된 2개의 광검출기에 의해 검출하고, 그들 2개의 광검출기로부터의 출력의 차이를 취함으로써 얻을 수 있다.
그런데, 종래, 이들 광디스크에서는, 재생 장치에 탑재되는 광픽업의 재생 분해능을 향상시킴으로써, 고기록 밀도화를 달성해 왔다. 그리고, 광픽업의 재생 분해능의 향상에는, 주로, 데이터의 재생에 사용하는 레이저광의 파장 λ을 짧게 하거나, 광디스크 상에 레이저광을 집광하는 대물 렌즈의 개구수 NA를 크게 하거나 함으로써, 광학적으로 실현시켜 왔다.
종래, CD(Compact Disc)의 추기형의 이른바 CD-R이나 광자기 디스크의 재기입 가능형의 MD(Mini Disc), DVD(Digita1 Versatile Disc)의 추기형의 DVD-R, 또는 DVD의 재기입 가능형의 DVD-RW (모두 광디스크의 등록 상표)의 각 포맷에서는, 그루브에 기록하는 그루브 기록 포맷이 제안되어 있다. IS0계의 광자기 디스크의 각 포맷에서는, 랜드에 기록하는 랜드 기록 포맷이 제안되어 있다.
한편, DVD-RAM(Random Access Memory) 등에 있어서는, 광디스크의 고밀도화를 실현하는 하나의 방법으로서 그루브와 랜드와의 양쪽에 기록함으로써, 트랙 밀도를 종래의 2배로 하여 고밀도화를 도모하는, 이른바 랜드 그루브 기록 방식이 제 안되어 있다.
또 근년, 차세대 광디스크로서 개발이 진행되고 있는 DVR(Digital Video Recordable)이나, MD가 소형 소경화되어 이른바 μ(마이크로)-Disc 등의 고밀도 광디스크에서는, 랜드 그루브 기록 방식이 채용되어, 도 5에 그 일례를 모식적으로 나타낸 바와 같이, 그루브(2)가, 인접하는 그루브(2)에 동기(同期)하여 워블 즉 사행(蛇行)되고 있는 포맷이 제안되어 있다. 9는 랜드를 나타낸다. 이 워블 신호는, 클록을 발생시켜 동기 신호 등에 사용된다. 데이터 정보는, 랜드(9) 상과 그루브(2) 상에 기록되므로, 종래의 2배의 기록 밀도를 달성할 수 있다.
그러나, DVD-RAM 등에 있어서 랜드 그루브 기록 방식을 행하는 경우, 랜드 상의 기록과 그루브 상의 기록에 있어서, 기록 재생시에 포커스점을 각각 조절하지 않으면 최적의 기록 재생 특성을 얻을 수 없으므로, 광학계의 복잡화를 초래한다고 하는 문제점이 있었다.
또, "ISOM 2000 Simulation Of Heat Generation And Conduction On Land/Groove Disc"에 있어서, 랜드 상의 기록과 그루브 상의 기록에 있어서, 기록 빔 형상이 상이한 보고가 있는 것으로부터도 명백한 바와 같이, 랜드 기록 재생 특성과 그루브 기록 재생 특성을 균일화하는 것은 곤란하고, 동일한 광학 기록 재생 매체에 있어서, 기록 재생 특성이 상이한 영역이 존재한다고 하는 문제가 있다.
또한, DVR 등의 고밀도 광디스크에 있어서, 판독면에 가까운 쪽, 즉 DVR의 경우는, 광조사 측에 가까운 랜드 상의 기록 재생 특성은 양호하지만, 판독면에서 먼 쪽, 즉 DVR의 경우 광조사 측으로부터 먼 그루브에서의 기록 재생 특성을 양호 하게 유지하는 것은 곤란한 결과를 얻고 있다.
DVD-ROM(Read 0nly Memory) 디스크 등에 있어서, 이러한 랜드 그루브 기록 방식의 포맷으로 신호를 직접 기록하는 것은 현재 상태로서는 가능하지만, 랜드 상의 기록과 그루브 상의 기록에 의해 기록 재생 특성을 양호하고, 또한 균일하게 하는 것이 요구되고 있다.
그러나, 전술한 바와 같이, DVR 등의 고밀도 광디스크에 있어서, 그루브부는 판독면에 먼 쪽이며, 이 그루브부에서의 기록 재생 특성을 양호하게 하는 것은 곤란하다.
이에 대하여, 광학 기록 재생 매체의 제조 공정에 있어서, 기판에 형성하는 요철(凹凸) 패턴을 반전하여 제조하는 방법을 고려할 수 있다. 즉, 통상의 광학 기록 재생 매체의 제조 과정에 있어서는, 포토리소그라피 등에 의해 유리 원반 상의 감광층에 미세한 요철(凹凸) 패턴을 형성한 후, 도금 등에 의해 예를 들면 Ni로 이루어지는 마스터 스탬퍼를 형성한다.
그리고 이 마스터 스탬퍼를 금형 등에 탑재하여 수지를 사출하는 사출 성형법, 또는 기판 상에, 예를 들면 자외선 경화 수지를 도포하고, 이 수지층에 이 스탬퍼를 가압하여, 목적으로 하는 요철 패턴을 형성하는 이른바 2P(Photo-Polymerization) 법에 따라, 표면에 소정의 미세한 요철 패턴이 형성된 광학 기록 재생 매체의 기판을 형성할 수 있다.
따라서, 전술한 바와 같이, 그루브부가 판독면에서 먼 쪽에 형성되어 기록 재생 특성이 양호하게 유지될 수 없는 경우는, 전술한 마스터 스탬퍼의 복제 스탬 퍼, 즉 이른바 마더 스탬퍼를, 전기 도금법 등에 의해 전사 형성함으로써, 요철 패턴을 역으로 하여, 기판 상의 그루브 패턴을 판독측에 가까운 쪽에 형성하는 구성으로 하여, 기록 재생 특성의 향상을 도모할 수 있다.
그러나, 그루브 기록 또는 랜드 기록 포맷을 채용하는 경우는, 랜드 그루브 기록 포맷을 채용하는 경우와 동일한 고기록 밀도를 달성하려고 하면, 랜드 그루브 기록 포맷을 채용하는 경우의 2배의 트랙 밀도로 하는 것, 즉 트랙 피치를 반으로 할 필요가 있어, 푸시풀 신호 등의 트래킹 서보 신호의 진폭량이 작아져, 안정적으로 트래킹 하는 것이나, 워블 신호의 재생이 어려워진다.
예를 들면, 랜드 그루브 기록 포맷은, 트랙 피치가 0.60μm, 즉 랜드폭이 0.30μm, 그루브폭이 0.30μm로 되어 있어, 푸시풀 신호 진폭은 90% 정도이다.
그러나, 그루브 기록 포맷으로 동일한 기록 밀도를 달성하는 경우는, 트랙 피치를 0.32μm로 하면, 푸시풀 신호 진폭은 18% 정도이다.
종래의 광디스크에 있어서, 트랙 피치는, 재생 장치의 광픽업의 컷오프 주파수에 대응하는 트랙 피치의 2배~2/3 정도로 하면, 안정된 트래킹 서보나 안정된 워블 신호의 재생을 실현하여, 트래킹 서보 신호 진폭을 충분한 레벨로서 얻을 수 있게 된다.
여기서, 컷오프 주파수란, 재생 신호 진폭이 대략 0이 되는 주파수의 것이며, 데이터의 재생에 사용하는 레이저광의 파장을 λ로 하고, 광디스크 상에 레이저광을 집광하는 대물 렌즈의 개구수를 NA로 했을 때, 2NA/λ로 표현된다.
전술한 DVR의 경우, 개구수 NA=0.85, 재생광의 파장λ=406nm이기 때문에, 컷 오프 주파수(2NA/λ)는, 4187개/mm이며, 이것에 대응하는 트랙 피치는 0.239μm이다.
DVR의 트랙 피치를 0.32μm로 하면, 컷오프 주파수의 트랙 피치(0.239μm)의 4/3(0.32/0.239≒1.339) 정도가 되어, 충분한 트래킹 서보 신호 진폭, 즉 푸시풀 신호 진폭을 얻을 수 없게 된다.
근년의 고밀도 광디스크에서는, 트래킹 에러 신호로서 푸시풀 신호가 이용되고 있지만, 트래킹 서보를 안정적으로 행하기 위해는, 푸시풀 신호 진폭비가 충분히 클 필요가 있어, 예를 들면 푸시풀 신호 진폭을 최대로 하기 위한 포커스 위치의 조정을 행하는 등의 연구에 의해, 0.14이상 정도로 할 필요가 있다. 또, 워블 신호의 재생을 안정적으로 행하도록 하는 것이 요구되고 있다.
본 발명은, 전술한 바와 같은 문제를 해결하고, 기록 재생 특성의 변동이 생기지 않고, 또 안정된 트래킹 서보를 행하기 위해 푸시풀 신호 진폭을 충분히 얻을 수 있고, 또한 워블 신호의 재생도 안정적으로 행할 수 있는 실용적인 고기록 밀도의 광학 기록 재생 매체, 광학 기록 재생 매체 제조용의 마더 스탬퍼, 또한 광학 기록 재생 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은, 기록 트랙에 따라 그루브가 형성되며, 소정 파장 λ의 광이 조사되어 기록 및/또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체로서, 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 그루브에 이르는 매질(媒質)의 굴절률을 n으로 했을 때, 이 그루브의 위상 깊이 x를,
λ/16.14n≤x≤λ/4.99n
으로 하는 동시에, 그루브의 폭 w와, 트랙 피치 p의 비 w/p를,
0.391≤(w/p)≤0.594
로 하여 구성한다.
또는, 그루브의 위상 깊이 x를,
λ/2.77n≤x≤λ/2.41n
으로 하는 동시에, 그루브의 폭 w와 트랙 피치 p의 비 w/p를,
0.422≤(w/p)≤0.578
로서 구성한다.
또 본 발명은, 전술한 구성에 의한 광학 기록 재생 매체에 있어서, 그루브가 형성된 기판 상에, 적어도 기록층 및 보호층을 형성하고, 그루브는, 광입사면에 가까운 측에 돌출하는 상면을 가지고, 이 그루브의 상면을 정보의 기록 재생이 행해지는 정보면으로서 구성한다.
또한, 본 발명은 전술한 구성에 의한 광학 기록 재생 매체에 있어서, 그루브를 워블링 그루브로서 구성한다.
또한, 본 발명은 전술한 구성에 의한 광학 기록 재생 매체에 있어서, 트랙 피치를, 300nm 이상 325nm 이하로 하여 구성한다.
또한, 본 발명은, 전술한 광학 기록 재생 매체에 대한 기록 및/또는 재생에 사용되는 대물 렌즈의 개구수를 NA로 했을 때, 이 NA를 0.85±0.05로 한다.
또 본 발명은, 기록 트랙에 따라 그루브가 형성되며, 소정 파장 λ의 광이 조사되어 기록 및/또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체를 제조할 때 사용되는 광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼로서, 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 그루브에 이르는 매질의 굴절률을 n으로 했을 때, 이 그루브 패턴의 위상 깊이 x'를,
λ/16.14n≤x'≤λ/4.99n
으로 하는 동시에, 그루브 패턴의 폭 w'와 트랙 피치 p'의 비 w'/p'를,
0.391≤(w'/p')≤0.594로 하여 구성한다.
또는, 그루브 패턴의 위상 깊이 x'를,
λ/2.77n≤x'≤λ/2.41n
으로 하는 동시에, 그루브 패턴의 폭 w'와 트랙 피치 p'의 비 w'/p'를,
0.422≤(w'/p')≤0.578로 하여 구성한다.
또 본 발명에 의한 광학 기록 재생 매체는, 전술한 광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼에 의해 기판을 전사 성형하고, 이 기판 상에, 적어도 기록층 및 보호층을 형성하여 전술한 그루브를, 광입사면에 가까운 측으로 돌출하는 상면을 가지는 구성으로 하고, 또한 이 상면을 정보의 기록 재생이 행해지는 정보면으로서 구성한다.
또한, 본 발명에 의한 광학 기록 재생 장치는, 전술한 구성에 의한 광학 기록 재생 매체에 있어서, 그 그루브의 광입사면에 가까운 상면에만 정보의 기록 재생을 행하는 구성으로 한다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 있어서는, 광학 기록 재생 매체의 그루브를 워 블링 그루브로 하여 그 위상 깊이를
λ/16.14n≤x≤λ/4.99n
으로 하고, 그루브의 폭 w와 트랙 피치 p의 비 w/p를,
0.391≤(w/p)≤0.594
로 하여 구성함으로써, 충분한 푸시풀 신호 진폭을 얻을 수 있었다.
또는, 그루브의 위상 깊이를,
λ/2.77n≤x≤λ/2.41n
으로 하는 동시에, 그루브의 폭 w와 트랙 피치 p의 비 w/p를,
0.422≤(w/p)≤0.578
로 하여 구성함으로써, 충분히 안정적으로 푸시풀 신호 진폭을 얻을 수 있었다.
또한, 본 발명에 있어서는, 전술한 구성에 의한 광학 기록 재생 매체에 있어서, 그루브가 형성된 기판 상에, 적어도 기록층 및 보호층을 형성하고, 그루브를 광입사면에 가까운 측으로 돌출하는 상면을 가지는 구성으로 하고, 즉 판독측에 가까운 쪽에 그루브가 형성되는 구성으로 하여, 이 그루브의 상면을 정보의 기록 재생이 행해지는 정보면으로서 구성함으로써, 랜드 그루브 기록을 채용하는 경우와 같은, 기록 재생 특성의 변동이 생기지 않고, 또 광학 기록 재생 장치의 재생 광학계의 복잡화를 회피할 것도 없고, 또한, 트랙 피치를 300nm이상 325nm이하로 하는 경우는, 전술한 랜드 그루브 기록 방식을 채용하는 경우와 동일한 정도의 고기록 밀도화를 도모할 수가 있어, 안정된 기록 재생 특성을 얻을 수 있는 광학 기록 재 생 매체 또는 광학 기록 재생 장치를 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명에 의한 광학 기록 재생 매체의 일례의 일부의 약선적 확대 단면도이다.
도 2 (A), 도 2 (B) 및 도 2 (C)는, 각각 본 발명에 의한 광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼의 제조 공정의 일례를 나타내는 공정도이다.
도 3은, 광학 기록 장치의 일례의 개략 구성도이다.
도 4는, 본 발명에 의한 광학 기록 재생 장치의 일례의 개략 구성도이다.
도 5는, 종래의 광학 기록 재생 매체의 일례의 일부 확대 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이하의 예에 한정되지 않고, 본 발명 구성을 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 구성을 채용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.
도 1에 본 발명에 의한 광학 기록 재생 매체의 일례의 일부를 확대한 단면 구성을 모식적으로 나타낸다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 이 예에 있어서는, 기판(1) 상에, 광입사면에 가까운 쪽, 도시한 예에서는 위쪽으로 돌출하는 그루브(2)가 형성되어 이루어지고, 이 위에 예를 들면 반사층(3), 제1 유전체층(4), 기록층(5), 제2 유전체층(6) 및 광투과성의 보호층(7)이 순차 적층 형성되어 광학 기록 재생 매체가 구성된다.
8은 대물 렌즈 등의 광픽업을 나타내고, 레이저광 등의 재생광 0L이 그루브(2)상에 조사되어, 이 그루브(2)의 상면에 기록된 정보를 판독하도록 되어 있다.
그리고 특히 본 발명에 있어서는, 전술한 그루브(2)의 깊이(도시한 예에서는 높이에 상당함)를 d로 하고, 도 1에 있어서 레이저광 L로 나타내는 재생광의 파장을 λ, 광입사면으로부터 그루브(2)에 이르는 매질, 즉 도 1의 예에 있어서 보호층(7)의 굴절률을 n로 했을 때, λ/(d·n)으로 표현되는 위상 깊이 x가,
λ/16.14n≤x≤λ/4.99n
으로 되도록 구성하는 동시에, 그루브(2)의 폭 w와 트랙 피치 p의 비 w/p가,
0.391≤(w/p)≤0.594
로 되도록 구성한다.
또는, 그루브(2)의 위상 깊이 x를,
λ/2.77n≤x≤λ/2.41n
으로 되도록 구성하는 동시에, 그루브(2)의 폭 w와 트랙 피치 p의 비 w/p가,
0.422≤(w/p)≤0.578
로 되도록 구성한다.
다음에, 이러한 본 발명에 의한 광학 기록 재생 매체의 제조 공정의 일례를, 도 2 (A)~도 2 (C)의 광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼의 일례의 제조 공정도를 참조하여 설명한다.
도 2 (A)에 있어서, 11은 유리 등으로 이루어지는 원반용 기판을 나타낸다.
이 원반용 기판(11)의 상면에, 포토레지스트 등에 의해 이루어지는 감광층(12)이 피착 형성되어, 후술하는 소정의 패턴 노광 및 현상에 의해, 예를 들면 워블링 그루브에 대응하는 그루브 패턴(13)이, 원반용 기판(11)의 상면이 노출되도록, 즉 감광층(12)이 제거된 말하자면 오목한 패턴으로서 형성된다.
그 후, 도시하지 않지만, 이 패터닝 된 감광층(12) 상을 덮어 전면적으로 무전계 도금법 등에 의해, 니켈피막 등으로 이루어지는 도전화막을 피착한 후, 도전화막이 피착된 원반용 기판(11)을 전주(電鑄) 장치에 장착하여, 전기 도금법에 의해 도전화막층 상에 예를 들면 300±5μm정도의 두께가 되도록 니켈 도금층을 형성한다.
계속하여, 니켈 도금층이 두껍게 피착된 원반용 기판(11)으로부터, 니켈 도금층을 커터 등으로 박리하고, 요철 패턴이 형성된 감광층을 아세톤 등을 이용하여 세정하고, 도 2 (B)에 나타낸 바와 같이, 원반(11) 상에서의 워블링 그루브 패턴(13)이 반전한 패턴의 반전 워블링 그루브 패턴(13n)이 형성된 스탬퍼(14), 즉 이른바 마스터 스탬퍼가 형성된다.
그 후, 이 스탬퍼(14)의 요철 패턴이 형성된 면 상에 예를 들면 이형제(離型劑)를 도포한 후, 예를 들면 전기 도금법에 의해, 도 2 (C)에 나타낸 바와 같이, 스탬퍼(14)의 요철 패턴을 전사한 마더 스탬퍼(15)를 형성한다.
이 마더 스탬퍼(15)는, 도 2 (A)에 있어서 설명한 원반용 기판(11) 상의 감광층(12)의 패턴과 동일하게, 소정의 워블링 그루브 패턴(16)이 오목하게 형성되어 이루어진다.
본 발명에 있어서는, 이 마더 스탬퍼(15)에 있어서, 재생광의 파장을 λ, 이 마더 스탬퍼(15)로 형성한 광학 기록 재생 매체의 기판 상에 형성하는 보호층의 굴절률을 n으로 했을 때, 그루브 패턴(16)의 위상 깊이 x'를,
λ/16.14 n≤x'≤λ/4.99n
으로 되도록 구성하는 동시에, 그루브 패턴(16)의 폭 w'와 트랙 피치 p'의 비 w'/p'가,
0.391≤(w'/p')≤0.594
로 되도록 구성한다.
또는, 위상 깊이 x'를,
λ/2.77n≤x'≤λ/2.41n
으로 되도록 구성하는 동시에, 그루브 패턴(16)의 폭 w'와 트랙 피치 p'의 비 w'/p'를,
0.422≤(w'/p')≤0.578
로 되도록 구성한다.
다음에, 전술한 도 2 (A)에 있어서 설명한, 광학 기록 재생 매체 제작용 원반의 구체적인 노광 공정을, 도 3을 참조하여, 광학 기록 장치의 구성예와 함께 상세하게 설명한다.
먼저, 이 광학 기록 장치의 구성에 대하여 설명한다.
전술한 패턴 노광 공정에 있어서는, 레이저 빔을 대물 렌즈로 집광하고, 원반용 기판 상의 포토레지스트를 노광하는 방법이 일반적으로 채용되고 있다. 도 3은 이러한 광학 기록 장치의 일례의 개략 구성도이다.
도 3에 있어서, 20은 기체(氣體) 레이저 등의 광원을 나타낸다. 광원으로서는, 특히 한정되는 것이 아니고, 적절히 선택하여 이용할 수가 있지만, 후술하는 실시예에 있어서는, Kr레이저(파장λ=351nm)의 기록용 레이저광을 발진하는 레이저원을 사용했다.
여기로부터 출사된 레이저광은, 전기 광학 변조기(EOM)(21), 검광자(檢光子)(22)를 통과한 후, 빔스플리터(BS1)에 의해 일부 반사된다. 빔스플리터(BS1)를 투과한 레이저광은, 포토디텍터(PD)(24)에 의해 검출되고, 도시하지 않지만, 기록광 파워 제어 회로 등의 제어부에 있어서, 비교 전압 Ref과 비교되어 변조기(21)에 피드백되어 일정한 파워로 유지된다.
빔스플리터(BS1)에 의해 반사된 레이저광은, 변조부(25)에 입사된다. 변조부(25)에 있어서, 레이저광을 렌즈 L1으로 집광하고, 그 초점면 상에 AOM(Acousto-Optic Modulator;음향 광학 변조 소자)으로 구성되는 음향 광학 변조기(28)를 배치한다.
이 음향 광학 변조기(28)에는, 기록 신호에 대응하는 초음파가 드라이버(27)로부터 입력되어, 이 초음파에 따라 레이저광의 강도가 강도 변조된다. 레이저광은, 음향 광학 변조기(28)의 회절 격자에 의해 회절되어, 그 회절광 중 1차 회절광만이 슬릿을 투과하도록 이루어진다.
강도 변조를 받은 1차 회절광은, 렌즈 L2에 의해 집광 된 후, 미러 M1에 의해 반사되어 진행 방향이 90˚꺽인 다음, 이동 광학 테이블(40)에 수평으로 또한 광축에 따라 도입된다.
그루브를 워블하는 패턴으로 하는 경우는, 이동 광학 테이블(40)에 입사한 레이저광은, 편향 광학계 OD에 있어서 광학 편향이 행해진 후, 미러 M2에 의해 반사되어 다시 진행 방향이 90˚ 꺽여져, 편광 빔스플리터 PBS에 입사한다.
광학 기록 재생 매체를 제조하는데 있어서, 예를 들면 그루브를 형성하는 이른바 기록 영역의 일부, 또는 이 기록 영역 외의 예를 들면 내주부에 피트를 형성하는 경우는, 광학 편향되지 않고 미러 M2에 의해 반사되어 편광 빔스플리터 PBS에 입사하고, 소정 패턴에 대응하는 ON/OFF를 예를 들면 전술한 드라이버(27)로부터 입력함으로써, 목적으로 하는 피트 패턴을 형성할 수도 있다.
그리고, 편광 빔스플리터 PBS에 의해 재차 90˚진행 방향이 꺽인 레이저광은, 확대 렌즈 L3에 의해 소정 빔경으로 된 후, 미러 M3에 의해 반사되어 대물 렌즈(54)로 유도되고, 이 대물 렌즈(54)에 의해, 원반용 기판(11) 상의 감광층(12)에 집광된다. 원반용 기판(11)은, 도시하지 않지만 회전 구동 수단에 의해 화살표 a로 나타낸 바와 같이 회전된다. 일점 쇄선 c는, 기판(11)의 중심축을 나타낸다.
기록용의 레이저광 L은, 이동 광학 테이블(40)에 의해 평행 이동된다. 이것에 의해, 레이저광의 조사 궤적에 따른 요철 패턴에 대응하는 잠상(潛像)이, 감광층(12)의 전체면에 걸쳐서 형성되게 된다.
여기서, 편향 광학계 OD는, 웨지 프리즘(47), 음향 광학 편향기(AOD:Acousto 0ptical Def1ector)(48), 웨지 프리즘(49)에 의해 구성된다. 레이저광 L은, 웨지 프리즘(47)을 통하여 음향 광학 편향기(48)에 입사하고, 이 음향 광학 편향기(48)에 의해, 원하는 노광 패턴에 대응하도록 광학 편향이 행해진다.
이 음향 광학 편향기(48)에 사용되는 음향 광학 소자로서는, 예를 들면, 산화 테룰(TeO2)로 이루어지는 음향 광학 소자가 매우 적합하다. 그리고, 음향 광학 편향기(48)에 의해 광학 편향이 행해진 레이저광 L은, 웨지 프리즘(49)를 통하여 편향 광학계 OD로부터 출사된다.
그리고, 웨지 프리즘(47),(49)은, 음향 광학 편향기(48)의 음향 광학 소자의 격자면에 있어서 브래그(Bragg) 조건을 만족시키도록 레이저광 L이 입사하는 동시에, 음향 광학 편향기(48)에 의해 레이저광 L에 대하여 광학 편향을 행해도, 빔의 수평 높이가 변하지 않도록 하는 기능을 가진다. 환언하면, 이들 웨지 프리즘(47), (49)과 음향 광학 편향기(48)는, 음향 광학 편향기(48)의 음향 광학 소자의 격자면이 레이저광 L에 대하여 브래그 조건을 만족시키고, 또한 편향 광학계 OD로부터 출사되었을 때의 레이저광의 수평 높이가 변하지 않도록 배치된다.
여기서, 음향 광학 편향기(48)에는, 이 음향 광학 편향기(48)를 구동하기 위해 구동용 드라이버(50)가 장착되어 있고, 이 구동용 드라이버(50)에는, 전압 제어 발진기(VCO:Voltage Controlled 0scillator)(51)로부터의 고주파 신호가, 정현파로 변조되어 공급된다. 그리고, 감광층의 노광시에는, 원하는 노광 패턴에 따른 신호가 전압 제어 발진기(51)로부터 구동용 드라이버(50)에 입력되고, 이 신호에 따라 구동용 드라이버(50)에 의해 음향 광학 편향기(48)가 구동되고, 이것에 의해, 레이저광 L에 대하여 원하는 워블링에 대응한 광학 편향이 행해진다.
구체적으로는, 예를 들면, 주파수 956kHz에서 그루브를 워블링시킴으로써, 그루브에 어드레스 정보를 부가하는 것 같은 경우에는, 예를 들면 중심 주파수가 224MHz의 고주파 신호를 주파수 956kHz의 제어 신호에서 정현파 신호를 전압 제어 발진기(51)로부터 구동용 드라이버(50)에 공급한다.
그리고, 이 신호에 따라, 구동용 드라이버(50)에 의해 음향 광학 편향기(48)를 구동하고, 이 음향 광학 편향기(48)의 음향 광학 소자의 브래그각을 변화시키고, 이것에 의해, 주파수 956kHz의 워블링에 대응하도록, 레이저광에 있어서 광학 편향을 행한다. 이것에 의해, 감광층 상에 집광되는 레이저광의 스폿 위치가, 주파수 956kHz, 진폭±10nm에서, 원반용 기판(11)의 반경 방향으로 진동하도록 광학 편향을 행했다.
여기서, 편광 빔스플리터 PBS는, S편광을 반사하고, P편광을 투과하게 되어, 광학 편향된 레이저광은 S편광이며, PBS에 있어서 반사하도록 된다.
대물 렌즈의 개구수NA는 0.85±0.05이면 되지만, 이하의 실시예에 있어서는, 대물 렌즈의 개구수NA를 0.85로 하였다. 음향 광학 변조기(28)의 AOM으로서는, 산화 테룰을 사용했다. 입력 단자로부터 드라이버(27)를 통하여 공급되는 신호는, 그루브를 형성하는 경우는 일정 레벨의 DC(직류) 신호이다. 이 예에서는, 변조 광학계(25)의 광학 렌즈로서는, 집광 렌즈 L1의 촛점 거리를 80mm, 콜리메이터 렌즈 L2의 촛점 거리를 100mm로 하고, 또 이동 광학 테이블(40)의 확대 렌즈 L3의 촛점 거리를 50mm로 했다.
전술한 구성에 의한 광학 기록 장치에 있어서의 노광 조건은, 워블링 그루브에 대하여 선속도 5.28 m/s, 레이저 파워 0.4 mJ/m 정도로 하고, 트랙 피치를 320nm로 하여 원반용 기판(11)상의 감광층(12)에 패턴 노광을 행했다.
계속하여, 이 원반용 기판(11)을 감광층(12)이 상부가 되도록 현상기의 턴테이블에 탑재하고, 이 원반용 기판(11)의 표면이 수평면이 되도록 하여 회전시킨다. 이 상태에서, 감광층(12) 상에 현상액을 적하(滴下)하여, 감광층(12)의 현상 처리를 행하고, 신호 형성 영역에, 기록 신호에 따른 요철 패턴이 형성되어, 전술한 도 2 (A)에 있어서 설명한 광학 기록 재생 매체 제조용의 원반을 형성한다.
그리고 이 후, 전술한 도 2 (B)~(C)에 있어서 설명한 제조 공정에 의해, 전술한 광학 기록 장치에 의한 패턴 노광과 현상 공정에 의해 제작한 요철 패턴과 동일한 요철 패턴이 형성된 광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼를 형성하고, 또한 이 마더 스탬퍼로부터 사출 성형법 또는 2P법 등에 의해, 이 예에 있어서는 사출 성형에 의해 폴리카보네이트 등의 광투과성 수지로 이루어지는 광학 기록 재생 매체용의 기판을 성형한다.
후술하는 실시예에 있어서는, 성형한 기판의 두께를 1.1mm로 하고, 그 신호 형성면에, Al합금 등으로 이루어지는 반사층(3), ZnS-SiO2 등으로 이루어지는 제1 유전체층(4), GeSbTe 합금 등의 상변화 재료로 이루어지는 기록층(5), ZnS-SiO2 등으로 이루어지는 제2 유전체층(6)을 순차 스퍼터링 등에 의해 성막한다.
그 후, 제2 유전체층(5) 상에 자외선 경화 수지를 스핀 코트법에 의해 도포하고, 이 자외선 경화 수지에 대하여 자외선을 조사해 경화시킴으로써, 두께 0.1 mm의 보호층(7)을 형성한다. 이상의 공정에 의해, DVR형 구성의 광학 기록 재생 매 체가 형성된다.
이와 같이 하여 형성한 광학 기록 재생 매체의 요철 패턴의 재생 특성의 평가를, 파장λ=406nm, 개구수NA=0.85의 광학계를 구비한 광학 기록 재생 장치를 사용하여 행하였다. 이 장치의 모식적인 구성을 도 4에 나타낸다.
도 4에 있어서, 61은 파장 λ=406nm의 반도체 레이저 등의 광원을 나타내고, 여기로부터 출사된 레이저 빔은, 콜리메이터 렌즈(62)에 의해 평행광으로 되고, 그레이팅(63)에 의해, 0차 광(주빔) 및 ±1차 광(부빔)의 3개의 빔으로 나눌 수 있다. 이들 3개의 빔(P편광)은, 편광 빔스플리터(PBS)(64), 1/4파장판(65)을 원편광으로 하여 투과하고, 개구수 NA=0.85의 대물 렌즈로 이루어지는 광픽업(66)에 의해, 광학 기록 재생 매체(10)의 소정 기록 트랙 상에 집광된다.
주빔의 중앙의 스폿은 기록 정보의 기록 재생에 사용되고, 부빔의 광스폿은 트래킹 에러의 검출용으로 사용된다. 도 4중, 68은 광학 기록 재생 매체(10)를 화살표 b로 나타낸 바와 같이 회전하는 회전 수단을 나타내고, 실선 e는, 광학 기록 재생 매체(10)의 회전축을 나타낸다.
그리고, 광학 기록 재생 매체(10)로부터의 반사광은, 광픽업(66), 1/4파장판(65)을 다시 경유하여 원편광은 S편광으로 되어 편광 빔스플리터(64)에 반사되어 조합 렌즈(71)에 입사된다.
조합 렌즈(71)에 입사된 레이저광은, 레이저 빔에 비점 수차를 부여하는 렌즈를 통하여 포토 다이오드(72)에 입사되고, 빔의 강도에 따른 전기 신호로 변환되어, 서보 신호(포커스 에러 신호 및 트래킹 에러 신호)로서, 서보 회로(도시하지 않음)에 출력된다. 포토 다이오드(72)는 분할된 디텍터(73A~73H)을 가진다. 주빔의 귀환광은 디텍터(73)의 중앙부에 위치하는 4분할 디텍터의 A~D에 입사하고, 부빔의 귀환광은 디텍터(73)의 양측부에 위치하는 E~H에 입사한다.
디텍터(73)의 A~H에 의해 출력되는 신호 A~H가, 도시하지 않지만 소정 회로계에 있어서 다음과 같이 가산 감산 처리되어 소정 신호가 출력된다. 이 예에 있어서는, 소정 간격으로 배치하여 조사한 상기 3개의 레이저광을 이용한 차동 푸시풀(DPP:Diffrentia1 Push-Pull) 방식에 의해 트래킹 서보 신호를 얻었다. 즉,
광학 기록 재생 매체의 재생 신호 = (A+B+C+D)
피트 재생 신호(예를 들면 EFM 신호) = (A+B+C+D)
푸시풀 신호 = (B+C)-(A+D)
차동 푸시풀(트래킹 서보) 신호 = (B+C)-(A+D)-k((E-F)+(G-H))
(k는 소정 정수)
로 한다.
이러한 구성에 의한 광학 기록 재생 장치에 있어서, 이하의 실시예에 있어서, 전술한 본 발명 구성에 의한 광학 기록 재생 매체의 평가를 행했다.
[실시예]
이하의 각 예에 있어서는, 감광층(2)의 재료, 이 경우 포토레지스트의 재료의 희석율과 레지스터 도포시의 스핀 코트의 회전수를 바꾸어 감광층(2)의 두께를 제어하여, 그루브의 깊이를 각각 17nm, 20nm, 23nm, 34nm, 47nm, 55nm의 광학 기록 재생 매체 A~F를 전술한 공정에 의해 제조했다.
또한, 각 광학 기록 재생 매체의 원반을 제작할 때의 기록 광파워를 변화시킴으로써, 그루브의 폭을 125nm에서 220nm까지 변화시켜 제조하여, 각 광학 기록 재생 매체의 푸시풀 신호량을 측정했다. 이 결과를 이하의 표 1에 나타낸다. 그리고, 재생광의 파장 λ은 전술한 바와 같이 406nm, 보호층(7)의 굴절률은 1.48이다. 표 1에 있어서 신호량을 기재하고 있지 않는 란은, 재생할 수 없었던 것을 나타낸다.
[표 1]
Figure 112003005627816-pct00001
전술한 바와 같이, 푸시풀 신호 진폭은, 푸시풀 신호량이 최대가 되도록 포커스 미조정을 행하는 경우, 안정된 트래킹 서보, 또는 워블링 신호를 재생하기 위해서는, 0.14 정도 이상 필요하게 된다.
상기 표 1의 결과로부터 알수 있는 바와 같이, 광학 기록 재생 매체 A~F에서는, 재생할 수 없었던 부분을 제외하고 전체면에 있어서 안정적인 트래킹 서보 신호를 얻을 수 있었다.
한편, 워블링 그루브의 어드레스 정보를 안정적으로 재생할 수 있는 영역은, 광학 기록 재생 매체 A~F 중 그루브폭이 125nm에서 190nm의 범위로 된 것이었다.
그루브폭이 220nm의 영역은, 어드레스 정보를 안정적으로 재생할 수 없는 것이 있었다.
또, 워블링 그루브의 어드레스 정보를 안정적으로 재생할 수 있는 영역, 즉 그루브폭이 125nm, 160nm, 190nm로 된 광학 기록 재생 매체 A~F의, 재생 광조사 측에 가까운 그루브(2)의 상면에, 1-7변조로 정보의 기록 및 재생을 행했던 바, 광학 기록 재생 매체의 정보면 전체면에 있어서 지터 10% 이하로 재생을 행할 수 있어, 양호한 기록 재생 특성을 실현할 수가 있었다.
이들 결과로부터, 320nm의 협트랙 피치의 워블링 그루브 기록 포맷을 채용하는 광학 기록 재생 매체에 있어서, 그루브 깊이를 17nm이상 55nm이하로 했을 때, 즉 파장 λ=406nm, 굴절률 n= 1.48에 대하여, 위상 깊이를 λ/16.14n 이상 λ/4.99 n 이하로 하고, 또한 그루브의 폭을 125nm이상 190nm이하로 하고, 따라서 그루브폭과 트랙 피치의 비를, 0.391이상 0.594 이하로 할 때, 그루브 형상은 기록 재생 특성을 손상시키지 않고, 최적의 형상으로 되어, 양호한 기록 재생 특성을 유지하면서 기록 밀도의 고밀도화, 대용량화를 도모할 수 있는 것을 알 수 있다.
또한, 포토레지스트의 두께를 변화시킴으로써, 그루브 깊이 99nm, 103nm, 11 lnm, 111nm의 광학 기록 재생 매체 G~J를 제작했다. 이 경우에 있어서도 각 광학 기록 재생 매체의 원반에 대한 기록용 레이저광의 파워를 변화시킴으로써, 그루브폭을 135nm, 155nm, 175nm, 185nm로서 기록을 행하고, 그 푸시풀 신호량을 전술한 광학 기록 재생 장치에 있어서 측정했다.
이 결과를, 이하의 표 2에 나타낸다.
[표 2]
Figure 112003005627816-pct00002
이들 광학 기록 재생 매체 G~J의 전체면에 있어서, 안정적인 트래킹 서보 신호를 얻을 수 있었다. 또한, 워블링 그루브의 어드레스 정보를 재생했던 바, 광학 기록 재생 매체 G 및 J의 그루브폭이 135nm, 185nm의 영역에서는 재생에서의 에러 레이트의 악화를 볼 수 있었지만, 어드레스 정보의 안정적인 재생은 가능했다. 즉, 안정적으로 재생할 수 있는 영역은, 광학 기록 재생 매체 G~J의, 그루브폭이 135nm이상 185nm이하의 영역인 것을 알 수 있다.
따라서, 320nm의 협트랙 피치의 워블링 그루브 기록 포맷을 채용하는 광학 기록 재생 매체에 있어서, 그루브 깊이를 99nm이상 114nm이하로 했을 때, 즉 파장λ=406nm, 굴절률 n=1.48에 있어서, 위상 깊이를 λ/2.77 이상 λ/2.41 이하로 하고, 또한 그루브의 폭을 135nm이상 185nm이하로 하고, 즉 그루브폭과 트랙 피치와의 비를, 0.422 이상 0.578 이하로 할 때, 그루브 형상은 기록 재생 특성을 손상시키지 않고 최적의 형상으로 되어, 양호한 기록 재생 특성을 유지하면서 기록 밀도의 고밀도화, 대용량화를 도모할 수 있는 것을 알 수 있다.
또, 광학 기록 재생 매체 G~J의 전체면의 워블링 그루브부, 즉 광입사 측에 가까운 기록 영역에 1-7 변조 방식으로 기록 재생을 행하고, 디스크 전체면에 있어 서 지터 12% 이하의 재생을 행할 수 있어, 양호한 기록 재생 특성을 실현할 수 있었다.
그리고, 전술한 각 예에 있어서는, 그루브의 트랙 피치를 모두 320nm로 한 것이지만, 트랙 피치를 300nm, 310nm, 315nm, 325nm로 하고, 그루브의 깊이는 34nm, 따라서 위상 깊이는 λ/8.07n으로 하고, 그루브폭과 트랙 피치와의 비 w/p를 0.5로 한 광학 기록 재생 매체를 제조하여, 그 푸시풀 신호 진폭을 측정했다. 이 결과를, 트랙피치 320nm로 한 것도 포함하여, 이하의 표 3에 나타낸다.
[표 3]
Figure 112003005627816-pct00003
이 결과로부터, 트랙 피치가 310nm의 경우는, 그루브의 위상 깊이가 대략 λ/8n으로 신호량이 0.18이며, 또한 트랙 피치를 미소화하여 300nm로 했을 경우는, 동일한 그루브의 위상 깊이 λ/8n에서 신호량은 0.14로 저하해 버려, 실용적인 워블 재생의 하한인 것을 알 수 있었다. 따라서, 트랙 피치를 300nm이상 325nm이하, 또한 바람직하게는 310nm이상 325nm이하로 하는 경우에는, 안정된 워블 신호의 재생이 가능하다는 것을 알 수 있다.
또, 그루브의 깊이를 103nm로 하고, 즉 위상 깊이는λ/2.66n로 하고, 그루브폭과 트랙 피치와의 비 w/p를 0.5로 하여 트랙 피치를 300nm에서 325nm까지 변화시 켜 광학 기록 재생 매체를 제조하고, 그 푸시풀 신호 진폭을 측정했다. 이 결과를, 이하의 표 4에 나타낸다.
[표 4]
Figure 112003005627816-pct00004
이 결과로부터, 트랙 피치가 310nm에서는 그루브의 위상 깊이 λ/2.66n에서 신호량은 0.14, 트랙 피치가 300nm에서는 신호량은 보다 낮게 0.137로 되어 버려, 실용적인 워블 신호의 재생의 하한인 것을 알 수 있다.
즉, 전술한 표 3 및 표 4의 결과로부터, 위상 깊이를 비교적 얕게 λ/8n 근방으로 하는 경우에 있어서도, 비교적 깊게 λ/2.66n 근방으로 하는 경우에 있어서도, 트랙 피치를 300nm이상 325nm이하로 할 경우에 실용적인 워블 신호를 얻을 수 있고, 또한 바람직하게는 트랙 피치를 310nm이상 325nm로 하는 경우에는, 안정된 워블 신호의 재생이 가능함을 알 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명 구성으로 하는 경우는, 전술한 랜드 그루브 기록 방식을 채용하는 경우와 대략 동일한 정도의 트랙 밀도로 하고, 따라서 종래의 2배 정도의 고기록 밀도화를 도모할 수 있다. 또한, 랜드 그루브 기록 방식을 채용하는 경우와 같이, 재생시에 복수의 포커스점을 설정할 필요가 없고, 기록 재생 특성의 불균일도 생기지 않는다.
즉, 이러한 본 발명에 의한 광학 기록 재생 매체를 이용하는 광학 기록 재생 장치에 있어서, 그 보호층 측으로부터 재생광을 조사하여, 그루브의 돌출하는 상면에 기록 정보의 기록 재생을 행하는 구성으로 함으로써, 광학계의 복잡화를 초래하지 않고, 기록 재생 특성을 양호하게 유지하면서 종래의 2배 정도의 고기록 밀도화를 도모할 수가 있게 된다.
이상 본 발명의 실시 형태와 실시예의 각 예를 설명했지만, 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않고, 예를 들면 광학 기록 재생 매체의 상변화 재료로 이루어지는 기록층 등의 각 층의 재료 구성을 변경할 수 있는 것이며, 예를 들면 기록층으로서 광자기 기록층, 색소 재료층을 사용하는 경우나, 기판 재료나 구성 등, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변형 및 변경이 가능함은 말할 필요도 없다.
또, 정보로서는 기록 정보에 한정되지 않고, 신호의 기록 재생이나 혹은 정보 및 신호의 기록 재생 양쪽 모두의 기능을 가지는 광학 기록 재생 매체, 광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼 및 광학 기록 재생 장치에도 적용할 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 종래의 2배 정도의 고기록 밀도화를 도모할 수 있는 협트랙 피치의 그루브를 형성하는 구성으로 하는 경우에 있어서도, 최적의 그루브 형상을 채용함으로써 양호한 기록 재생 특성을 유지하고, 또한 광학계의 복잡화를 회피하여, 확실히 안정적인 기록 재생을 행할 수 있는 고기록 밀도 의 광학 기록 재생 매체 및 광학 기록 재생 장치를 제공할 수 있다.
또, 워블링 그루브를 형성하는 경우, 그 어드레스 정보를 안정적으로 재생하는 것을 실현할 수 있어, 모든 기록 영역에 있어서의 워블 신호의 재생이 가능한 기록 재생 특성이 뛰어난 고밀도의 광학 기록 재생 매체와 이것을 사용한 광학 기록 재생 장치를 제공할 수 있다.

Claims (17)

  1. 기록 트랙에 따라 그루브(groove)가 형성되며, 소정 파장 λ의 광이 조사(照射)되어 기록 및/또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체에 있어서,
    상기 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 상기 그루브에 이르는 매질(媒質)의 굴절률을 n으로 했을 때, 상기 그루브의 위상 깊이 x가
    λ/16.14n≤x≤λ/4.99n
    이 되는 동시에, 상기 그루브의 폭 w와 트랙 피치 p의 비 w/p가
    0.391≤(w/p)≤0.594
    가 되고,
    그루브의 깊이가 17nm 이상 55nm 이하이고,
    상기 그루브가 형성된 기판 상에 적어도 기록층 및 보호층이 형성되며,
    상기 그루브는 상기 광입사면에 가까운 측으로 돌출하는 상면을 가지며, 상기 그루브의 상면이 정보의 기록 재생이 행해지는 정보면이 되며,
    상기 그루브는 워블링(wobbling) 그루브이며,
    상기 트랙 피치가 300nm 이상 325nm 이하로 되고,
    상기 광학 기록 재생 매체에 대한 기록 및/또는 재생에 사용되는 대물 렌즈의 개구수를 NA로 했을 때, 상기 NA는 0.85 이상인,
    광학 기록 재생 매체.
  2. 삭제
  3. 기록 트랙에 따라 그루브가 형성되며, 소정 파장 λ의 광이 조사되어 기록 및/또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체에 있어서,
    상기 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 상기 그루브에 이르는 매질의 굴절률을 n으로 했을 때, 상기 그루브의 위상 깊이 x가
    λ/2.77n≤x≤λ/2.41n
    이 되는 동시에, 상기 그루브의 폭 w와 트랙 피치 p의 비 w/p가
    0.422≤(w/p)≤0.578
    이 되고,
    그루브의 깊이가 99nm 이상 114nm 이하이고,
    상기 그루브가 형성된 기판 상에 적어도 기록층 및 보호층이 형성되며,
    상기 그루브는 상기 광입사면에 가까운 측으로 돌출하는 상면을 가지며, 상기 그루브의 상면이 정보의 기록 재생이 행해지는 정보면이 되며,
    상기 그루브는 워블링(wobbling) 그루브이며,
    상기 트랙 피치가 300nm 이상 325nm 이하로 되고,
    상기 광학 기록 재생 매체에 대한 기록 및/또는 재생에 사용되는 대물 렌즈의 개구수를 NA로 했을 때, 상기 NA는 0.85 이상인,
    광학 기록 재생 매체.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 기록 트랙에 따라 그루브가 형성되며, 소정 파장 λ의 광이 조사되어 기록 및/또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체를 제조할 때 사용되는 광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼(mother stamper)에 있어서,
    상기 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 상기 그루브에 이르는 매질의 굴절률을 n으로 했을 때, 상기 그루브에 대응하는 그루브 패턴의 위상 깊이 x'가
    λ/16.14n≤x'≤λ/4.99n
    이 되는 동시에, 상기 그루브 패턴의 폭 w'와 트랙 피치 p'의 비 w'/p'가
    0.391≤(w'/p')≤0.594
    가 되고,
    그루브의 깊이가 17nm 이상 55nm 이하이고,
    상기 트랙 피치가 300nm 이상 325nm 이하로 되며,
    상기 그루브 패턴은 워블링 그루브 패턴인,
    광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼.
  8. 기록 트랙에 따라 그루브가 형성되며, 소정 파장 λ의 광이 조사되어 기록 및/또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체를 제조할 때 사용되는 광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼에 있어서,
    상기 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 상기 그루브에 이르는 매질의 굴절률을 n으로 했을 때, 상기 그루브에 대응하는 그루브 패턴의 위상 깊이 x'가
    λ/2.77n≤x'≤λ/2.41n
    이 되는 동시에, 그루브 패턴의 폭 w'와 트랙 피치 p'의 비 w'/p'가
    0.422≤(w'/p')≤0.578
    이 되고,
    그루브의 깊이가 99nm 이상 114nm 이하이고,
    상기 트랙 피치가 300nm 이상 325nm 이하로 되며,
    상기 그루브 패턴은 워블링 그루브 패턴인,
    광학 기록 재생 매체 제조용 마더 스탬퍼.
  9. 삭제
  10. 기록 트랙에 따라 그루브가 형성되며, 소정 파장 λ의 광이 조사되어 기록 및/또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체에 있어서,
    상기 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 상기 그루브에 이르는 매질의 굴절률을 n로 했을 때, 상기 그루브에 대응하는 그루브 패턴의 위상 깊이 x'가
    λ/16.14n≤x'≤λ/4.99n
    이 되는 동시에, 상기 그루브 패턴의 폭 w'와 트랙 피치 p'의 비 w'/p'가
    0.391≤(w'/p')≤0.594
    가 되고, 상기 트랙 피치가 300nm 이상 325nm 이하로 되어 이루어지는 마더 스탬퍼를 이용하여 전사 성형된 기판을 사용하며,
    상기 기판 상에 적어도 기록층 및 보호층이 형성되고,
    상기 그루브는 상기 광입사면에 가까운 측으로 돌출하는 상면을 가지며, 또한 상기 상면이 정보의 기록 재생이 행해지는 정보면이 되며,
    그루브의 깊이가 17nm 이상 55nm 이하이고,
    상기 그루브 패턴은 워블링 그루브 패턴인,
    광학 기록 재생 매체.
  11. 기록 트랙에 따라 그루브가 형성되며, 소정 파장 λ의 광이 조사되어 기록 및/또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체에 있어서,
    상기 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 상기 그루브에 이르는 매질의 굴절률을 n으로 했을 때, 상기 그루브에 대응하는 그루브 패턴의 위상 깊이 x'가
    λ/2.77n≤x'≤λ/2.41n
    이 되는 동시에, 상기 그루브 패턴의 폭 w'와 트랙 피치 p'의 비 w'/p'가
    0.422≤(w'/p')≤0.578
    이 되고, 상기 트랙 피치가 300nm 이상 325nm 이하로 되어 이루어지는 마더 스탬퍼를 이용하여 전사 성형된 기판을 사용하며,
    상기 기판 상에 적어도 기록층 및 보호층이 형성되고,
    상기 그루브는 상기 광입사면에 가까운 측으로 돌출하는 상면을 가지며, 또한 상기 상면이 정보의 기록 재생이 행해지는 정보면이 되며,
    그루브의 깊이가 99nm 이상 114nm 이하이고,
    상기 그루브 패턴은 워블링 그루브 패턴인,
    광학 기록 재생 매체.
  12. 삭제
  13. 기록 트랙에 따라 그루브가 형성되며, 소정 파장 λ의 광이 조사되어 기록 및/또는 재생되는 광학 기록 재생 매체를 이용하는 광학 기록 재생 장치에 있어서,
    상기 광학 기록 재생 매체는 상기 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 상기 그루브에 이르는 매질의 굴절률을 n으로 했을 때, 상기 그루브의 위상 깊이 x가
    λ/16.14n≤x≤λ/4.99n
    이 되는 동시에, 상기 그루브의 폭 w와 트랙 피치 p의 비 w/p가
    0.391≤(w/p)≤0.594
    가 되고,
    상기 그루브의 상기 광입사면에 가까운 상면에만 정보의 기록 재생을 행하고,
    그루브의 깊이가 17nm 이상 55nm 이하이고,
    상기 그루브는 워블링 그루브이며, 그 워블링 정보의 재생이 행해지고,
    상기 트랙 피치가 300nm 이상 325nm 이하로 되어 이루어지고,
    상기 광학 기록 재생 매체에 대한 기록 및/또는 재생에 사용되는 대물 렌즈의 개구수를 NA로 했을 때, 상기 NA는 0.85 이상인,
    광학 기록 재생 장치.
  14. 기록 트랙에 따라 그루브가 형성되며, 소정 파장 λ의 광이 조사되어 기록 및/또는 재생이 행해지는 광학 기록 재생 매체를 이용하는 광학 기록 재생 장치에 있어서,
    상기 광학 기록 재생 매체는 상기 광학 기록 재생 매체의 광입사면으로부터 상기 그루브에 이르는 매질의 굴절률을 n으로 했을 때, 상기 그루브의 위상 깊이 x가
    λ/2.77n≤x≤λ/2.41n
    이 되는 동시에, 상기 그루브의 폭 w와 트랙 피치 p의 비 w/p가
    0.422≤(w/p)≤0.578
    이 되고,
    상기 그루브의 상기 광입사면에 가까운 상면에만 정보의 기록 재생을 행하고,
    그루브의 깊이가 99nm 이상 114nm 이하이고,
    상기 그루브는 워블링 그루브이며, 그 워블링 정보의 재생이 행해지고,
    상기 트랙 피치가 300nm 이상 325nm 이하로 되어 이루어지며,
    상기 광학 기록 재생 매체에 대한 기록 및/또는 재생에 사용되는 대물 렌즈의 개구수를 NA로 했을 때, 상기 NA는 0.85 이상인,
    광학 기록 재생 장치.
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE60233511D1 (de) 2001-07-18 2009-10-08 Sony Corp Substrat für benutzung optischen aufzeichnungs-/wiedergabemediums, herstellungsverfahren für ein optisches aufzeichnungs-/wiedergabemedium, produktionsstempel und produktionsstempel für optisches aufzeichnungs-/wiedergabemedium
KR20040038902A (ko) * 2001-10-10 2004-05-08 소니 가부시끼 가이샤 광학 렌즈, 집광 렌즈, 광학 픽업 및 광기록 재생 장치
JP2003272238A (ja) * 2002-03-19 2003-09-26 Sony Corp 光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用原盤及び光学記録再生装置
US6996055B2 (en) 2002-04-30 2006-02-07 Tdk Corporation Optical recording medium and method for optically recording data in the same
US7231649B2 (en) 2002-05-31 2007-06-12 Tdk Corporation Optical recording medium and method for optically recording data in the same
JP4059714B2 (ja) 2002-07-04 2008-03-12 Ｔｄｋ株式会社 光記録媒体
JP3714331B2 (ja) * 2003-02-14 2005-11-09 ソニー株式会社 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法
JP2005078782A (ja) * 2003-09-04 2005-03-24 Tdk Corp 光記録媒体及びその製造方法、並びに、光記録媒体に対するデータ記録方法及びデータ再生方法
JP2005044395A (ja) 2003-07-23 2005-02-17 Tdk Corp 光情報記録媒体
JP2005071402A (ja) 2003-08-25 2005-03-17 Tdk Corp 光情報記録媒体
US7876666B2 (en) * 2004-04-02 2011-01-25 Kabushiki Kaisha Toshiba Write-once information recording medium and coloring matter material therefor
US7870990B2 (en) * 2005-04-29 2011-01-18 Sukhvinder Singh Dhanjal Cleaning a hot soldering iron tip using dry melamine sponge

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11120617A (ja) 1997-10-17 1999-04-30 Sony Corp 光記録媒体
JPH11167733A (ja) * 1997-09-26 1999-06-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光ディスク装置及び光ディスク
JP2000334744A (ja) * 1999-06-01 2000-12-05 Nikon Corp 細溝付き成形基板の製造方法
JP2001093151A (ja) * 1999-07-19 2001-04-06 Victor Co Of Japan Ltd 光ディスク管理システム、光ディスク

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3284744B2 (ja) * 1994-04-20 2002-05-20 松下電器産業株式会社 光学的情報記録媒体
US6343062B1 (en) 1997-09-26 2002-01-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd Optical disk device and optical disk for recording and reproducing high-density signals
EP0939398B1 (en) 1998-02-26 2008-01-02 Victor Company of Japan, Ltd. Optical disc record carrier with wobbled grooves that permit recording on the grooves and lands, apparatus for manufacturing such a record carrier, and recording and/or reproducing apparatus for such a record carrier
JP3615054B2 (ja) * 1998-06-04 2005-01-26 ソニー株式会社 光学記録媒体
JP3488124B2 (ja) * 1999-03-17 2004-01-19 富士通株式会社 光情報記憶媒体
JP2001126315A (ja) 1999-10-26 2001-05-11 Victor Co Of Japan Ltd 光学的情報記録媒体
JP2001034948A (ja) 2000-01-01 2001-02-09 Victor Co Of Japan Ltd 光ディスク管理システム、光ディスク
CA2424008A1 (en) * 2000-09-01 2003-02-26 Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Optical disc medium, optical disc playback and recorder
CA2396246C (en) * 2000-11-20 2007-05-15 Sony Corporation Optical recording medium with high density track pitch and optical disk device for recording and playback of the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11167733A (ja) * 1997-09-26 1999-06-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光ディスク装置及び光ディスク
JPH11120617A (ja) 1997-10-17 1999-04-30 Sony Corp 光記録媒体
JP2000334744A (ja) * 1999-06-01 2000-12-05 Nikon Corp 細溝付き成形基板の製造方法
JP2001093151A (ja) * 1999-07-19 2001-04-06 Victor Co Of Japan Ltd 光ディスク管理システム、光ディスク

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Publication number Publication date
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KR20040014932A (ko) 2004-02-18
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JP2003085778A (ja) 2003-03-20

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