JP3488124B2 - 光情報記憶媒体 - Google Patents

光情報記憶媒体

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  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的にランド及
びグルーブを記録トラックとする光情報記憶媒体に関
し、特に、ランド/グルーブヘッダー領域を光ビームが
走査する際に安定したプッシュプル信号を得ることので
きる光情報記憶媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】光ディスクには、CD−ROMのような
再生専用の光ディスクのほかに、追加記録のみが可能な
追記型光ディスク、書き換えが可能な光磁気ディスク及
び相変化型光ディスク等があり、近年急速に発展するマ
ルチメディア化の中で中核となるメモリ媒体として脚光
を浴びている。
【0003】光ディスクの基板上には、照射されるレー
ザビーム案内用のグルーブが同心円状又は螺旋状に形成
されている。隣接するグルーブの間の平坦部はランドと
呼ばれる。
【0004】従来の一般的な光ディスクにおいては、ラ
ンドあるいはグルーブの一方を記録トラックとして情報
を記録している。このため、予め形成された複数の位相
ピットからなるヘッダー部として極めて単純な方式の採
用が可能であった。
【0005】しかし、最近ではランド及びグルーブの双
方を記録トラックとし、トラックピッチを狭めることで
記録密度の向上を図ることが重要な技術課題となってお
り、既に様々な方式が提案されている。
【0006】ランド/グルーブ記録法式をも含んだ従来
の光ディスクにおいては、一般的にグルーブの光学的深
さはほぼλ/8(λは使用波長)でヘッダー部の位相ピ
ットの光学的深さもλ/8である。
【0007】なぜなら、例えば光磁気記録媒体でグルー
ブの深さがλ/8より深い場合には、再生信号が小さく
なりすぎるという欠点があり、またλ/8より浅いとヘ
ッダー信号そのものの品質が十分に得られないからであ
る。
【0008】具体的には、記録トラックであるランド及
びグルーブのヘッダー部は、グルーブが一旦途切れた後
のそれぞれの記録トラックの延長線上あるいはランドと
グルーブの境界線の延長線上のミラー部に設けられてお
り、それぞれのヘッダー部は光ディスクの円周方向に互
いにずらして形成されている。
【0009】他の従来方式としては、基板に連続的なグ
ルーブが形成されており、グルーブのヘッダー部はグル
ーブ幅が変調されており、ランドのヘッダー部には一般
的な位相ピットが形成されている方式が知られている。
位相ピットとグルーブの深さは同じである。
【0010】この従来技術の場合にも、ランド及びグル
ーブのヘッダー部は光ディスクの半径方向には互いに隣
接していない。即ち、ランド及びグルーブのヘッダー部
は光ディスクの円周方向に互いにずらして形成されてい
る。
【0011】従来のランド/グルーブ記録では、基板の
データ領域には同心円状あるいは螺旋状のグルーブが形
成されており、隣接するグルーブの間には平坦なランド
が画成されている。
【0012】記録トラックであるグルーブはヘッダー領
域で一旦途切れる構造となっている。従って、記録トラ
ックであるグルーブ用のヘッダー部と記録トラックであ
るランド用のヘッダー部とは、グルーブが一旦途切れた
領域であるL/Gヘッダー領域に位相ピットとして配置
されている。位相ピットの光学的深さはほぼλ/8(λ
は使用波長)であり、グルーブの光学的深さと同じであ
る。
【0013】トラッキングエラー検出方法としては、プ
ッシュプル法、ヘテロダイン法等とがある。プッシュプ
ル法は、光ディスクからの反射光分布が、対物レンズに
より光ディスク上に集光されるレーザビームのビームス
ポットと、光ディスク上のグルーブとの位置関係によっ
て変化することを利用して、トラッキングエラー検出を
行なうものである。
【0014】ビームスポットの中心が丁度グルーブの中
間位置にある場合には、反射光の分布は均一となり、ビ
ームスポットの位置が中心からずれると反射光の分布が
不均一となり、グルーブの中心線に対して右あるいは左
に片寄ってしまう。
【0015】従って、ビームスポットの中心が丁度グル
ーブの中間の位置にあるときに、例えば、光ディスクの
情報記録方向と平行な線によって反射ビームを2等分す
るホログラム回折格子に入射して、各々のビームを異な
る光検知器AとBに入射すると、トラッキングエラー信
号TESは光検知器A,Bの出力をfa,fbとすると
以下の式で表される。
【0016】TES=fa−fb 従って、TESの値によってトラッキングエラー検出を
行なうことができる。
【0017】光ディスクに入射するレーザビームの波長
をλとすると、光ディスクのグルーブの深さがλ/8の
ときにレーザビームの収束位置の変動による反射光の分
布の変化が最大となるため、従来の方式ではグルーブの
深さはλ/8に設定されていた。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来方式で
は、記録トラックであるグルーブ用のグルーブヘッダー
部に形成された位相ピットと、同じく記録トラックであ
るランド用のランドヘッダー部に形成された位相ピット
の光学的深さは同じである。なぜなら、グルーブそのも
のがほぼλ/8の光学的深さであるため、位相ピットの
光学的深さも最大でλ/8になる。
【0019】この構造において極めて特徴的なことは、
光ディスクの基板に形成したグルーブの光学的深さがλ
/4までの深さにおいては、所謂プッシュプル信号(ト
ラックエラー信号)の極性が一定であることである。
【0020】すなわち、グルーブヘッダー部とランドヘ
ッダー部の位相ピットは同じ光学的深さを有するので、
両位相ピットに対するプッシュプル信号の極性は当然の
ことながら同じである。
【0021】しかし、グルーブヘッダー部とランドヘッ
ダー部は1トラック分ずれて配置されている。従って、
例えばグルーブトラックをレーザビームスポットが走査
しながらL/Gヘッダー領域に侵入すると、まずグルー
ブヘッダー部の位相ピットを走査することになるが、こ
のときプッシュプル信号の極性はグルーブ走査時と同じ
であるため、トラッキングサーボは安定して動作する。
【0022】次に、グルーブヘッダー部を通過すると、
ランドヘッダー部の位相ピット列に挟まれた平坦な領域
を走査することになるが、平坦な領域を挟むランドヘッ
ダー部の位相ピットはグルーブと同じλ/8の光学的深
さを有するため、グルーブヘッダー部に対してランドヘ
ッダー部のプッシュプル信号の極性は逆に反転すること
になる。
【0023】すなわち、グルーブヘッダー部とランドヘ
ッダー部の境目で突然プッシュプル信号の極性反転が生
ずるので、そのままではランドヘッダー部の平坦部を走
査できなくなる。
【0024】従って、境目のタイミングを検出して、電
気的にプッシュプル信号の極性を反転する等の仕組みが
必要であり、従来は光ディスク装置が複雑になってしま
うという問題があった。
【0025】よって、本発明の目的は、トラックエラー
信号及びヘッダー信号となるプッシュプル信号を安定に
得ることができるランド/グルーブ記録に適した光情報
記憶媒体を提供することである。
【0026】
【課題を解決するための手段】本発明によると、交互に
形成された複数のグルーブ及び複数のランドを有し、各
ランド及びグルーブを記録トラックとする情報記憶領域
を備えた光情報記憶媒体であって、前記各ランドの延長
線上に形成された第1位相ピットを有する第1ヘッダー
領域と、前記各グルーブの延長線上に形成された第2位
相ピットを有する第2ヘッダー領域とを具備し、λを使
用する光ビームの波長とするとき、前記各グルーブは約
3λ/8の光学的深さを有しており、前記第1位相ピッ
トは前記各グルーブよりも浅い光学的深さを有し、前記
第2位相ピットは前記各グルーブとほぼ同じ光学的深さ
を有しており、前記第1ヘッダー領域と前記第2ヘッダ
ー領域は前記各トラックの延長線方向にずらして配置さ
れていることを特徴とする光情報記憶媒体が提供され
る。
【0027】好ましくは、第1及び第2位相ピットが移
動する方向に対して直交する方向に回折する光ビームに
より得られるプッシュプル信号の極性が第1位相ピット
と第2位相ピットとでは反転し、且つ第1ヘッダー領域
のプッシュプル信号と記録トラックであるランドにより
発生するプッシュプル信号の極性が一致するような光学
的深さに第1位相ピットの深さが設定されている。
【0028】例えば、第1ヘッダー領域の第1位相ピッ
トの実効的な光学的深さはλ/8であり、第2ヘッダー
領域の第2位相ピットの光学的深さはほぼ3λ/8であ
る。
【0029】本発明の他の側面によると、交互に形成さ
れた複数のグルーブ及び複数のランドを有し、各ランド
及びグルーブを記録トラックとする情報記憶領域を備え
た光情報記憶媒体であって、前記各ランドの延長線上に
形成された第1位相ピットを有する第1ヘッダー領域
と、前記各グルーブの延長線上に形成された第2位相ピ
ットを有する第2ヘッダー領域とを具備し、前記第1ヘ
ッダー領域と前記第2ヘッダー領域は前記各トラックの
延長線方向にずらして配置されており、λを使用する光
ビームの波長とするとき、前記各グルーブは(2n+
1)λ/8の光学的深さを有しており、前記第1位相ピ
ットは(2n−1−4m)λ/8の光学的深さを有して
おり、前記第2位相ピットは(2n+1−4s)λ/8
の光学的深さを有しており、ここでnは1以上の正の整
数であり、m,sはそれぞれ0を含む正の整数であり、
2n−1−4m>0及び2n+1−4s>0の条件を満
たすことを特徴とする光情報記憶媒体が提供される。
【0030】本発明の更に他の側面によると、交互に形
成された複数の第1グルーブ及び複数のランドを有し、
各ランド及び各第1グルーブを記録トラックとする情報
記憶領域を備えた光情報記憶媒体であって、前記各第1
グルーブの延長線上に該第1グルーブに連続して形成さ
れた第1グルーブよりも幅の狭い第2グルーブと、前記
各第2グルーブに部分的にオーバーラップするように形
成された第1位相ピットを有するグルーブヘッダー領域
と、前記各ランドの延長線上で且つ隣接する前記第2グ
ルーブの間に形成された第2位相ピットを有するランド
ヘッダー領域とを具備し、前記グルーブヘッダー領域と
前記ランドヘッダー領域は前記各トラックの延長線方向
にずらして配置されており、λを使用する光ビームの波
長とするとき、前記第1グルーブ、第2グルーブ及び第
1位相ピットは約(2n+1)λ/8の光学的深さを有
しており、前記第2位相ピットは約(2m−1)λ/4
の実効的な光学的深さを有しており、ここでn,mはそ
れぞれ正の整数であり、(2m−1)λ/4<(2n+
1)λ/8の条件を満足することを特徴とする光情報記
録媒体が提供される。
【0031】例えば、グルーブに続いてランド/グルー
ブ共通セクターマーク領域が独立して形成されていても
よい。このようにセクターマークを共通化すると、その
分だけ全体のヘッダー部を短くできるので、記録容量を
向上することができる。
【0032】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について詳細に説明する。図1は本発明第1実施
形態の光情報記録媒体の概略平面図であって、媒体のデ
ータ記録領域24に挟まれたヘッダー領域30の構造を
示している。
【0033】図2(A)は図1の2A−2A線断面図で
あり、図2(B)は図1の2B−2B線断面図をそれぞ
れ示している。尚、明瞭化のために、基板22上に積層
される情報記録層は省略されている。
【0034】基板22上にはグルーブ26が同心円状又
は螺旋状に形成されており、隣接するグルーブ26の間
には平坦なランド28が画成されている。記録トラック
であるグルーブ26はヘッダー領域30で一旦途切れる
構造になっている。
【0035】本実施形態はグルーブ26及びランド28
の双方を記録トラックとして使用するため、データ記録
領域24はグルーブ26とランド28の記録トラック上
に画成される。
【0036】ヘッダー領域30はグルーブヘッダー部3
2とランドヘッダー部34とを含んでいる。それぞれの
ヘッダー部32,34はセクターマーク(SM)、アド
レスマーク(AM)及びID信号から構成される。
【0037】グルーブヘッダー部32には複数の位相ピ
ット36が形成されており、各位相ピット36の列は各
グルーブ26の延長線上に形成されている。ランドヘッ
ダー部34にも複数の位相ピット38が形成されてお
り、各位相ピット38の列は各ランド28の延長線上に
形成されている。
【0038】更に、グルーブヘッダー部32の位相ピッ
ト36とランドヘッダー部34の位相ピット38は光デ
ィスクの半径方向に互いに隣接することなく、円周方向
にずらして形成されている。
【0039】使用するレーザビームの波長をλとする
と、グルーブ26の実効的光学深さはほぼ3λ/8であ
って、グルーブヘッダー部32の位相ピット36の実効
的光学深さも同様に約3λ/8である。
【0040】一方、隣接する2つのグルーブ26で挟ま
れた記録トラックであるランド28用のランドヘッダー
部34に形成された位相ピット38の実効的光学深さ
は、ほぼλ/8に設定されている。
【0041】本明細書で使用する光学的深さという用語
は光が通過する媒体の屈折率nを考慮しない深さを意味
する。また、実効的光学深さという表現を用いた理由
は、実際の光ディスクにおいては位相ピット36,38
の断面が矩形ではなく台形状又はテーパ状となるため、
位相ピットの最深部の光学的深さが少し深くなる。しか
し、実質的には、例えば光学的深さλ/8の矩形状ピッ
トの場合と同様の振る舞いをする。
【0042】この状態を図3(A)及び図3(B)に光
ディスクの半径方向に切断した断面として示す。図3
(A)は基板22に形成された矩形状ピットあるいは矩
形状グルーブ40を示しており、図3(B)は基板22
に形成されたテーパ状又は台形状のピットあるいはグル
ーブ42を示している。
【0043】P1は矩形状ピットあるいはグルーブ40
の光学的深さを示しており、P2はテーパ状ピットある
いはグルーブ42の最深部の光学的深さを示している。
Kは例えば1/8,3/8である。
【0044】このように光ディスクに形成される実際の
ピットあるいはグルーブは図3(B)に示すようなテー
パ形状となるため、最深部P2の光学的深さを深くして
図3(A)に示した矩形状ピット40と同様な振る舞い
をさせるものである。
【0045】図4はプッシュプル信号によるトラッキン
グエラー検出の説明図である。44は分割線46により
2つのセグメント44a,44bに分割された2分割光
検出器である。48は光情報記録媒体で反射された光ビ
ームが2分割光検出器44上に形成するビームスポット
である。
【0046】2分割光検出器44のセグメント44a,
44bの出力はそれぞれ差動増幅器50に入力され、ロ
ーパスフィルタ52を通してセグメント44aと44b
の出力の差分としてのプッシュプル信号が出力される。
【0047】しかして、レーザビームが光学的深さ3λ
/8のグルーブ26を走査している状態から、グルーブ
ヘッダー部32にレーザビームが進行すると、このグル
ーブヘッダー部32には同様に3λ/8の光学的深さを
有する位相ピット36が形成されているため、トラック
エラー信号となるプッシュプル信号を、プッシュプル信
号の極性が変化することなくグルーブ26を走査中と同
じように検出できる。
【0048】更に、レーザビームが位相ピット38の一
対の列で挟まれたランドヘッダー部34の平坦部に進行
すると、位相ピット38は光学的深さがλ/8であるた
め、光学的深さが3λ/8の場合とはプッシュプル信号
の極性が反転する。
【0049】ここで、レーザビームは一対の位相ピット
列で挟まれた平坦部(ランド)を走査したいわけである
が、上述したプッシュプル信号の極性反転とランド走査
するためグルーブ走査時とプッシュプル信号が逆極性と
なるため、結果的にグルーブ走査時と同じ極性のプッシ
ュプル信号(トラックエラー信号)が得られる。
【0050】同様に、レーザビームがランド28を走査
している状態から、ヘッダー領域30に進行した場合も
プッシュプル信号(トラックエラー信号)の極性を切替
えることなく走査できる。
【0051】図5(A)〜図6(C)を参照して、グル
ーブ深さ及びピット深さに応じたプッシュプル信号の極
性反転について説明する。これらの図はトラックサーボ
がON状態でない場合、ディスク偏心により観察される
プッシュプル信号を想定したイメージである。図5
(A)ではグルーブ54とランド56が交互に形成され
ている。図6(A)では複数列の位相ピット64が形成
されている。
【0052】図5(A)及び図6(A)とも、ビームス
ポット58がトラックに対して斜めに相対的に移動して
いる際の様子を示したものである。
【0053】図5(B)はグルーブ深さがλ/8,5λ
/8,9λ/8,…のときのプッシュプル信号60を示
しており、図5(C)はグルーブ深さが3λ/8,7λ
/8,…のときのプッシュプル信号62を示している。
【0054】図5(B)及び図5(C)を観察すると明
らかなように、グルーブの光学的深さに応じてプッシュ
プル信号60,62の位相が互いに180°ずれて、そ
の極性が反転している。
【0055】図6(B)は位相ピット64の深さがλ/
8,5λ/8,9λ/8,…のときのプッシュプル信号
66を示しており、図6(C)は位相ピット64の深さ
が3λ/8,7λ/8,…のときのプッシュプル信号6
8を示している。
【0056】図6(B)及び図6(C)を観察すると明
らかなように、グルーブ54の深さのときと同様に位相
ピット64の深さに応じてプッシュプル信号66と68
の位相が180°ずれてその極性が反転している。
【0057】この考え方を拡張すると、第1実施形態の
発展形態としてグルーブ26の光学的深さが(2n+
1)λ/8(nは正の整数)であり、ランドヘッダー部
34に形成される位相ピット38の光学的深さが(2n
−1−4m)λ/8(mは0を含む正の整数)であり、
グルーブヘッダー部32に形成される位相ピット36の
光学的深さが(2n+1−4s)λ/8(sは0を含む
正の整数)であってもよい。
【0058】この場合には、2n−1−4m>0及び2
n+1−4s>0の関係を満たす必要がある。よって、
上述したn,m,sの条件を満たす全ての組み合わせに
基づく光学的な深さを有するグルーブ26及び位相ピッ
ト36,38を具備した光情報記憶媒体では、電気的に
プッシュプル信号の極性を反転することなく安定したプ
ッシュプル信号が得られることになる。
【0059】従って、グルーブ26、グルーブヘッダー
部32の位相ピット36及びランドヘッダー部34の位
相ピット38のそれぞれの光学的深さが一致しない組み
合わせもあり得る。
【0060】例えば、グルーブ26の光学的深さが5λ
/8、グルーブヘッダー部32の位相ピット36の光学
的深さがλ/8、ランドヘッダー部34の位相ピット3
8の光学的深さが3λ/8の場合にも、上述した第1実
施形態と同様な効果を上げることができる。
【0061】図7は例えば特開平10−79125号に
開示されたランド/グルーブ記録媒体のヘッダー部の構
成に類似した比較例図である。基板上にはグルーブ70
が同心円状又は螺旋状に形成されており、隣接するグル
ーブ70の間には平坦なランド72が画成されている。
【0062】各グルーブ70の延長線上のグルーブヘッ
ダー領域74及びランドヘッダー領域76にはグルーブ
70より幅の狭いグルーブ78が形成されている。グル
ーブヘッダー領域74には更に、グルーブ78に部分的
に重なるように複数の位相ピット80が形成されてい
る。
【0063】また、記録トラックであるランド72の延
長線上のランドヘッダー領域76には、一対のグルーブ
78に挟まれた部分に複数の位相ピット82が形成され
ている。
【0064】ここで、グルーブ70,78及び位相ピッ
ト80,82は同じ光学的深さに設定されている。ある
いは、特開平10−79125号には異なる深さを有す
る場合も記載されているが、使用するレーザビームの波
長λとの関係については何ら言及されていない。
【0065】例えば、グルーブ70,78及び位相ピッ
ト80,82の光学的深さをトラックエラー信号となる
プッシュプル信号が最大となるλ/8に設定した場合、
ランドヘッダー領域76の位相ピット82の反射変調度
については、グルーブ78が両サイドに存在するため十
分な反射変調度が得られない。
【0066】更に、ランドヘッダー領域76でのプッシ
ュプル信号は、グルーブ78に起因するプッシュプル信
号と位相ピット82に起因するプッシュプル信号が干渉
するため、十分な強度のプッシュプル信号が得られない
という問題がある。
【0067】図8は図7に示した比較例の問題点を解決
した本発明第2実施形態のヘッダー部の構成を示す概略
平面図である。図7と同様に、基板上にはグルーブ84
が同心円状又は螺旋状に形成されており、隣接するグル
ーブ84の間には平坦なランド86が画成されている。
【0068】各グルーブ84の延長線上であるグルーブ
ヘッダー領域88及びランドヘッダー領域90にはグル
ーブ84より幅の狭いグルーブ92が形成されている。
グルーブヘッダー領域88には更に、グルーブ92に部
分的に重なるように複数の位相ピット94が形成されて
いる。
【0069】各ランド86の延長線上のランドヘッダー
領域90には、一対のグルーブ92に挟まれた部分に複
数の位相ピット96が形成されている。
【0070】本実施形態では、グルーブ84、グルーブ
92及び位相ピット94の光学的深さを3λ/8に設定
し、位相ピット96の光学的深さをλ/4に設定する。
【0071】このような光学的深さに設定すれば、ラン
ドヘッダー領域90の位相ピット96による反射変調度
は大幅に改善させる。また、ランドヘッダー領域90で
のプッシュプル信号も大幅に改善される。
【0072】なぜなら、位相ピット96の光学的深さは
λ/4であるため、位相ピット96に起因するプッシュ
プル信号は発生しない。従って、グルーブ92に起因す
るプッシュプル信号だけが検出されるためである。よっ
て、安定したトラッキングサーボを実現することができ
る。
【0073】この考え方を拡張すると、グルーブ84、
グルーブ92及び位相ピット94の光学的深さが(2n
+1)λ/8(nは1以上の正の整数)であり、更にラ
ンドヘッダー領域90に形成される位相ピット96の実
効的な光学的深さが(2m−1)λ/4(mは1以上の
正の整数)であってもよい。しかし、(m−1)λ/4
<(2n+1)λ/8の関係を満足する必要がある。
【0074】図9は本発明第3実施形態のヘッダー部の
構成を示す概略平面図である。一般的な光情報記録媒体
においては、ランド及びグルーブのヘッダー領域にそれ
ぞれセクターマーク(SM)が独立して配置されてい
る。本実施形態はランド及びグルーブの双方に共通のセ
クターマークとして検出する場合の基板フォーマットを
示している。
【0075】基板上には同心円状又は螺旋状にグルーブ
98が形成されており、隣接するグルーブ98の間には
平坦なランド100が画成されている。各グルーブ98
の延長線上のグルーブID領域102及びランドID領
域104にはグルーブ98より幅の狭いグルーブ106
が形成されている。
【0076】グルーブID領域102にはグルーブ10
6と部分的に重なるように複数の位相ピット108が形
成されている。また、各ランド100の延長線上のラン
ドID領域104には一対のグルーブ106で挟まれて
複数の位相ピット110が形成されている。
【0077】すなわち、グルーブ及びランドのヘッダー
部102,104にはID信号及びアドレスマーク(A
M)のみが位相ピット108,110として形成されて
いる。
【0078】グルーブID領域102の上流側には各グ
ルーブ98に引き続いて共通セクターマーク112が複
数の位相ピット114として形成されている。
【0079】ビームスポット118がグルーブ98を走
査するときは、位相ピット114がグルーブトラックの
セクターマークとなる。一方、記録トラックであるラン
ド100のセクターマークの検出は、図9から明らかな
ようにビームスポット118内の位相ピット114をク
ロストークとして検出する。
【0080】ここで、ランドトラックを再生する場合、
クロストークでセクターマークとしての位相ピット11
4を読み出す必要があるため、光記録媒体の半径方向に
隣接する位相ピット114の前エッジ114a及び後エ
ッジ114bは半径方向に整列していることが必要であ
る。
【0081】ゾーン・コンスタント・アンギュラー・ヴ
ィロシティー媒体(ZCAV媒体)においては、前後エ
ッジ114a及び114bはゾーン内で整列しているこ
とが必要である。各ゾーンを隣接するゾーンと識別する
ために、一般に各ゾーンはバッファトラック116によ
り挟まれている。
【0082】上述したように、第3実施形態ではグルー
ブトラック及びランドトラックのセクターマークを共通
化しているので、その分だけ全体のヘッダー部を短くす
ることができる。その結果データ記録領域の面積を大き
くすることができ、記録容量を向上することができる。
【0083】以下、上述した本発明の光情報記録媒体の
製造方法について説明する。光情報記録媒体の基板は、
グルーブ及びプリピット(位相ピット)が形成されたガ
ラス原盤を用いて作られたスタンパにより射出成形する
ことで得られる。図10は本発明に係る光情報記録媒体
を製造する際に用いられるビーム露光装置の構成図であ
る。
【0084】まず、研磨されたガラス原盤Gに、スピン
コート法によりフォトレジストの厚み80nmを被着さ
せ、90℃で30分間クリーンオーブンでプリベーク処
理した後、ガラス原盤Gを、このビーム露光装置のスピ
ンドルモータ132の試料台120上に載置する。
【0085】このビーム露光装置は、Arレーザ光源1
21から出射されたビーム光がハーフミラー122aで
透過及び反射して分光される。ハーフミラー122aで
反射された第1のビーム光は第1の集光レンズ123a
へ入射される。第1の集光レンズ123aで集光された
光は第1のAOM(Acousto-Optic Modulator)124
aへ入射されて光強度が変調される。
【0086】強度変調された光は、第1のコリメートレ
ンズ125aに入射され、ここで平行光に戻されて第1
のビームエキスパンダ126aへ入射される。第1のビ
ームエキスパンダ126aではビーム径が拡大され、ハ
ーフミラー127aで反射されてハーフミラー128へ
入射される。
【0087】第1のコリメートレンズ125a及び後述
する第2のコリメートレンズ125bは、光軸に直交す
る方向に移動可能に構成されており、この移動により第
1のビーム光と後述する第2のビーム光との相対位置が
制御される。
【0088】一方、ハーフミラー122aで透過された
第2のビーム光はミラー122bへ入射され、第1のビ
ーム光と同様の進路を辿る。即ち、ミラー122bで反
射されて第2の集光レンズ123bへ入射された光はこ
こで集光され、第2のAOM124aへ入射されて光強
度が変調される。
【0089】強度変調された光は第2のコリメートレン
ズ125bに入射され、ここで平行光に戻されて第2の
ビームエキスパンダ126bへ入射される。第2のビー
ムエキスパンダ126bではビーム径が拡大され、ミラ
ー127bで反射されてハーフミラー127aを透過
し、ハーフミラー128へ入射される。
【0090】ハーフミラー128を透過した第1及び第
2のビーム光は、第1及び第2のコリメートレンズ12
5a,125bにて制御された相対位置を保ったまま、
光学ヘッド129へ入射される。
【0091】光学ヘッド129は、ダイクロイックミラ
ー130及び対物レンズ131を備えており、試料台1
20に対して垂直及び平行方向に移動可能に構成されて
いる。第1及び第2のビーム光は、ダイクロイックミラ
ー130で反射され、対物レンズ131にてガラス原盤
G上に集光される。
【0092】ガラス原盤Gへのフォーカシングは、光学
ヘッド129の垂直方向への移動により制御される。そ
して、ガラス原盤Gのフォトレジストが感光しない波長
である780nmのレーザビームがガラス原盤に照射さ
れ、その反射光によるフォーカシングエラー信号に応じ
て、光学ヘッド129を垂直方向に移動させてフォーカ
シング制御を行なう。
【0093】また、第1のビーム光及び第2のビーム光
が照射されるガラス原盤G上の位置は、光学ヘッド12
9の平行方向への移動により制御され、光学ヘッド12
9の平行方向の移動は露光制御部133からの指示によ
り行われる。
【0094】また、露光制御部133は第1及び第2の
AOM124a,124bに露光パワーの指示を与え、
光強度の変調程度を制御する。この制御により、ガラス
原盤Gに形成されるグルーブ及びプリビットの光学的深
さがそれぞれ制御される。
【0095】ガラス原盤Gに集光されて反射した第1の
ビーム光及び第2のビーム光は、ダイクロイックミラー
130にて反射され、ハーフミラー128で反射されて
ビーム相対位置検出部134へ入射する。ビーム相対位
置検出部134では、第1のビーム光及び第2のビーム
光の相対位置をモニタすることができる。
【0096】以上のようなビーム露光装置を用いて、1
例として、グルーブG1間のピッチが1.4μm、グル
ープG1の深さが80nm、プリフォーマット部のクロ
ック作成のためのプリピットP1のトラック方向の長さ
が0.64μm、そのスペース部分のトラック方向の長
さが0.64μm、プリフォーマット部の情報を記録す
るためのプリピットP11のトラック方向の長さが2.
56μm、そのスペース部分のトラック方向の長さが
2.56μmのガラス原盤Gを作製する。
【0097】カウントミス防止用グルーブG11は、ビ
ーム光の露光パワーを変えることにより、深さが30,
60,80nmのVグルーブ及び深さが1/2の位置に
おける幅である半値幅が50,100,150nmのU
グルーブ等、種々の深さ、幅、形状を得ることができ
る。
【0098】尚、本実施の形態では以上のような構成の
ビーム露光装置を用いてガラス原盤を形成する場合を説
明しているが、これに限るものではなく、例えば、可視
短波長レーザ又は紫外線レーザを用いても良く、またE
OM(Electro-optic Modulator)を用いてビーム光の
強度を変調するように構成してあっても良く、ビーム光
の強度を制御しつつガラス原盤Gにグルーブ及びプリピ
ットを形成できる装置であれば良い。
【0099】プリピット及びグルーブが形成されたガラ
ス原盤Gを真空蒸着器へ搬入し、ガラス原盤G表面にN
iを0.2μmの厚みに蒸着して、メッキ用の電極を形
成する。次に、電解メッキにてNiを0.3mmの厚み
にメッキし、ガラス原盤Gを剥離してNi製のスタンパ
を得る。
【0100】このスタンパを用いて射出成形によりポリ
カーボネート製の基板を作成する。このようにして、ガ
ラス原盤Gと同寸法のプリピット及びグルーブが形成さ
れた基板が得られる。
【0101】この基板上に、RFマグネトロンスパッタ
法にてSiNの下地層を70nmの厚みに形成し、その
表面にスパッタ法により、Gd22(Fe70Co3078
再生層を厚み8nm,Tb20(Fe90Co1080の記録
層を厚み17nm、SiNの上地層を厚み15nm、A
lの反射層を厚み100nmでこの順に積層することに
より、記録膜を被着する。
【0102】この記録膜のグルーブG1及びランド部L
1の光記録部に書き換え可能信号を記録する。つまり、
光記録部にトラック方向の長さが0.64μmの記録マ
ークの繰り返しパターンを記録して、本発明実施形態の
光情報記録媒体を得る。
【0103】
【発明の効果】本発明は以上詳述したように構成したの
で、ランド/グルーブ記録方式の光情報記録媒体におい
て、トラックエラー信号としてのプッシュプル信号を安
定に得ることができる。
【0104】また、グルーブトラックあるいはランドト
ラックをレーザビームが走査し、ヘッダー領域内のグル
ーブヘッダー部からランドヘッダー部へレーザビームが
走査される際に、境界部分でプッシュプル信号の極性を
電気的に反転する必要がなく、記録再生装置の構成を簡
素化することができる。
【0105】更に、ランド及びグルーブのそれぞれにお
けるセクターマーク、アドレスマーク、ID信号を安定
に検出することができ、狭トラックピッチ化への対応が
極めて容易に実現できる。
【0106】また本発明においては、グルーブの光学的
深さを従来のλ/8より深い3λ/8以上を基本にして
おり、ランドトラック及びグルーブトラックの双方にお
いて記録時、あるいは消去時、あるいはオーバーライト
時のクロスライト、クロスイレースの低減効果が極めて
高く、データ破壊の恐れがない光情報記録媒体を供給で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明第1実施形態の基板フォーマットを示す
概略平面図である。
【図2】図2(A)は図1の2A−2A線に沿った断面
図であり、図2(B)は図1の2B−2B線に沿った断
面図である。
【図3】図3(A)は矩形状グルーブの光学的深さを示
す説明図であり、図3(B)はテーパ状グルーブの光学
的深さを示す説明図である。
【図4】トラックエラー信号としてのプッシュプル信号
の説明図である。
【図5】図5(A)〜図5(C)はグルーブ深さに応じ
たプッシュプル信号の極性反転の説明図である。
【図6】図6(A)〜図6(C)は位相ピット深さに応
じたプッシュプル信号の極性反転の説明図である。
【図7】比較例の基板フォーマットを示す概略平面図で
ある。
【図8】本発明第2実施形態の基板フォーマットを示す
概略平面図である。
【図9】本発明第3実施形態の基板フォーマットを示す
概略平面図である。
【図10】本発明に係る光情報記録媒体の製造装置の構
成を示す概略図である。
【符号の説明】
26 グルーブ 28 ランド 30 ヘッダー領域 32 グルーブヘッダー部 34 ランドヘッダー部 36,38 位相ピット 84,92 グルーブ 86 ランド 94,96 位相ピット
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−79125(JP,A) 特開 平10−275365(JP,A) 特開 平9−245350(JP,A) 特開 平11−353656(JP,A) 中根和彦、外6名,シングルスパイラ ル−ランドグループ記録のアクセス方 式,信学技報,日本,1996年 2月,M R95−88(1996),29−34 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/007 G11B 7/24

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 交互に形成された複数のグルーブ及び複
    数のランドを有し、各ランド及びグルーブを記録トラッ
    クとする情報記憶領域を備えた光情報記憶媒体であっ
    て、 前記各ランドの延長線上に形成された第1位相ピットを
    有する第1ヘッダー領域と、 前記各グルーブの延長線上に形成された第2位相ピット
    を有する第2ヘッダー領域とを具備し、 λを使用する光ビームの波長とするとき、前記各グルー
    ブは3λ/8の光学的深さを有しており、 前記第1位相ピットはλ/8の光学的深さを有し、前記
    第2位相ピットは前記各グルーブと同じ光学的深さを有
    しており、 前記第1ヘッダー領域と前記第2ヘッダー領域は前記各
    トラックの延長線方向にずらして配置されていることを
    特徴とする光情報記憶媒体。
  2. 【請求項2】 交互に形成された複数のグルーブ及び複
    数のランドを有し、各ランド及びグルーブを記録トラッ
    クとする情報記憶領域を備えた光情報記憶媒体であっ
    て、 前記各ランドの延長線上に形成された第1位相ピットを
    有する第1ヘッダー領域と、 前記各グルーブの延長線上に形成された第2位相ピット
    を有する第2ヘッダー領域とを具備し、 前記第1ヘッダー領域と前記第2ヘッダー領域は前記各
    トラックの延長線方向にずらして配置されており、 λを使用する光ビームの波長とするとき、前記各グルー
    ブは(2n+1)λ/8の光学的深さを有しており、 前記第1位相ピットは(2n−1−4m)λ/8の光学
    的深さを有しており、 前記第2位相ピットは(2n+1−4s)λ/8の光学
    的深さを有しており、 ここでnは1以上の正の整数であり、m,sはそれぞれ
    0を含む正の整数であり、2n−1−4m>0及び2n
    +1−4s>0の条件を満たすことを特徴とする光情報
    記憶媒体。
  3. 【請求項3】 前記第2位相ピットは前記各グルーブの
    光学的深さよりも浅い光学的深さを有していることを特
    徴とする請求項2記載の光情報記憶媒体。
  4. 【請求項4】 交互に形成された複数の第1グルーブ及
    び複数のランドを有し、各ランド及び各第1グルーブを
    記録トラックとする情報記憶領域を備えた光情報記憶媒
    体であって、 前記各第1グルーブの延長線上に該第1グルーブに連続
    して形成された第1グルーブよりも幅の狭い第2グルー
    ブと、 前記各第2グルーブに部分的にオーバーラップするよう
    に形成された第1位相ピットを有するグルーブヘッダー
    領域と、 前記各ランドの延長線上で且つ隣接する前記第2グルー
    ブの間に形成された第2位相ピットを有するランドヘッ
    ダー領域とを具備し、 前記グルーブヘッダー領域と前記ランドヘッダー領域は
    前記各トラックの延長線方向にずらして配置されてお
    り、 λを使用する光ビームの波長とするとき、前記第1グル
    ーブ、第2グルーブ及び第1位相ピットは(2n+1)
    λ/8の光学的深さを有しており、 前記第2位相ピットは(2m−1)λ/4の実効的な光
    学的深さを有しており、 ここでn,mはそれぞれ正の整数であり、(2m−1)
    λ/4<(2n+1)λ/8の条件を満足することを特
    徴とする光情報記録媒体。
  5. 【請求項5】 前記第1グルーブ、第2グルーブ及び第
    1位相ピットはそれぞれ3λ/8の光学的深さを有して
    おり、 前記第2位相ピットはλ/4の光学的深さを有している
    ことを特徴とする請求項4記載の光情報記憶媒体。
  6. 【請求項6】 前記第1グルーブと同じ光学的深さであ
    って且つ該第1グルーブの幅と同じ幅を有する第3位相
    ピットであるセクターマークを有する共通セクターマー
    ク領域を更に具備したことを特徴とする請求項4記載の
    光情報記憶媒体。
  7. 【請求項7】 前記第1グルーブの伸長方向に直交する
    方向の互いに隣接するセクターマーク同士の前後エッジ
    が整列していることを特徴とする請求項6記載の光情報
    記憶媒体。
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