JP3492116B2 - 光ディスクおよびその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、予めトラックのア
ドレス情報が記録されている光ディスクおよびその製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】情報を書き込むことができる光ディスク
としては、光磁気ディスク、相変化型ディスク、色素系
ディスク等がある。これらの光ディスクは、いずれも情
報の記録再生が行われるトラックのアドレス情報が、ト
ラックに予め記録されている。例えば、日本工業規格
(ＪＩＳ) Ｘ ６２７１に規定されている光磁気ディスク
では、図１０に示すように、データ情報はグルーブトラ
ック102に挟まれたランドトラック103上のデータ部104
に記録ビット列106として記録されており、一方、アド
レス情報はランドトラック103上のヘッダ部105にプレピ
ット107によって予め記録されている。

【０００３】また、色素系ディスクとしては、例えば特
開平５−１８９９３４号公報に記載された光ディスクが
ある。この色素系のディスクでは、図１１に示すよう
に、アドレス情報はアドレスのデータによって変調され
たウォブリンググルーブ207として、光ディスク201の最
内周側に予め記録されており、続いてその外側の周に他
の情報が書き込まれている。このアドレス情報を記録す
るウォブリンググルーブ207は光磁気ディスクにおいて
も使用されている。

【０００４】一方、近年、記録容量を増大させるため
に、図１２に示すように、グルーブトラック302とラン
ドトラック303の両方のトラックに情報を記録する光デ
ィスクが提案されている。この光ディスクは、アドレス
情報を予め記録するために、グルーブトラック302のヘ
ッダ部305とランドトラック303のヘッダ部305に、専用
のプレピット307を置く専用アドレス型の光ディスクで
ある。

【０００５】さらに、図１３に示すような、隣り合うグ
ルーブトラック402とランドトラック403とによってプレ
ピット407を共有する中間アドレス型の光ディスクが提
案されている(日経エレクトロニクス1995.11.6号P16
8)。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１0
に示す従来の例では、ランドトラック103上にのみプレ
ピット107を形成しており、この光ディスクでは記録密
度が上がらないという問題がある。

【０００７】また、図１１に示すウォブリンググルーブ
207では、一般にウォブリンググルーブ207の周期Ｗが数
十μｍであるのに対し、ウォブリンググルーブ207の振
れ量すなわち変位量Ａは数十ｎｍしかない。このよう
に、ウォブリンググルーブ207の周期Ｗに対して振れ量
Ａを大きくとることができず、ウォブリンググルーブ20
7を長くゆっくり変化させているのは、グルーブにトラ
ッキングしなければならないからである。ウォブリング
の信号の検出はグルーブトラックの中心からのずれを信
号として読み取るため、高速のデータの記録は不可能で
ある。そのため、このウォブリンググルーブ207は、通
常、データを記録する前のブランクディスクの大まかな
アドレス情報用として利用される。すなわち、このウォ
ブリンググルーブ207は、高速でデータを読み書きする
ことができないので、コンピュータ用光ディスクのアド
レス情報を記録するプレピットに代わるものとして使用
することができない。

【０００８】また、図１２に示す専用アドレス型の光デ
ィスクでは、トラック幅に比較して十分細い幅のプレピ
ット307を形成する必要があるので、光ディスクのマス
ター原盤を作製するときに、グルーブトラック形成用の
レーザー光とは別系統のレーザー光が必要となり、製造
装置が複雑になるという問題がある。また、この専用ア
ドレス型の光ディスクでは、アドレス情報を記録してい
るヘッダ部305が、グルーブトラック302とランドトラッ
ク303のどちらの場合でも、ランド上に設けられている
ので、グルーブトラック302の情報を読み書きしている
時に、グルーブが連続しなくなり、トラッキングが不安
定になるという問題がある。また、図１４(a)は図１２
の拡大図であり、図１４(b)と図１４(c)は、それぞれ図
１４(a)のランドトラック303とグルーブトラック302の
反射光量を示す。アドレス情報の読み取り信号である反
射光量は、グルーブトラック302あるいはランドトラッ
ク303のいずれの場合も、データ部304よりもプレピット
307のないヘッダ部305の所で高反射率となる。したがっ
て、基本的に読み取り信号光の強度が、データ部304
と、プレピット307のないヘッダ部305と、プレピット30
7の部分とによって異なる３つのレベルとなり、信号処
理が複雑になるという問題がある。

【０００９】一方、図１３に示す中間アドレス型の光デ
ィスクでは、プレピット407をグルーブトラック402とラ
ンドトラック403の境界上に形成するため、光ディスク
のマスター原盤を作製するとき、グルーブトラック形成
用のレーザー光とは別系統のプレピット用のレーザー光
が必要となるという問題がある。あるいは、グルーブト
ラック形成用のレーザー光をプレピット407用として共
用するとしても、高速のレーザー光をＯＮ／ＯＦＦ(透
過／非透過)させる装置とレーザー光の方向を変化させ
る機器とが必要となり、製造装置が複雑になる。また、
トラッキングが不安定になり、また信号処理が複雑にな
るという問題は、上記専用アドレス型の光ディスクと同
様である。さらに、上記グルーブトラック402とランド
トラック403とがアドレス情報を共有するため、グルー
ブトラック402かランドトラック403かのどちらにトラッ
キングしているかを判断しなければならない。

【００１０】そこで、本発明の目的は、記録密度を高密
度化でき、かつ安定したトラッキングができ、かつ信号
処理が容易で、製造工程の簡素化ができる光ディスクお
よびその製造方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、同心円状またはスパイラル状の
ランドトラックとグルーブトラックとが半径方向に交互
に繰り返し隣接して設けられ、上記ランドトラックおよ
びグルーブトラックのそれぞれにはアドレス情報を記録
するヘッダ部とデータを記録するデータ部とが交互に周
方向に隣接して設けられている光ディスクにおいて、上
記グルーブトラックの半径方向片側のみにグルーブをウ
ォブリングすることによって、上記グルーブトラックの
ヘッダ部に上記グルーブトラックのアドレス情報が記録
されると共に、上記グルーブトラックのヘッダ部と上記
片側において隣接する上記ランドトラックのヘッダ部に
も、上記グルーブトラックのアドレス情報と同一のラン
ドトラックのアドレス情報が記録されていて、かつ、上
記ウォブリングの最大振れ量が上記ランドトラックの幅
の１／４乃至１／１倍未満であることを特徴としてい
る。

【００１２】上記請求項１の光ディスクによれば、グル
ーブトラックのヘッダ部は半径方向片側のみのランドト
ラックへ変位するウォブリングによってアドレス情報が
記録されている。したがって、ランド／グルーブ記録の
特長である高密度記録ができる上に、ランドトラックと
グルーブトラックはそれぞれ読み書きする方向に連続す
ることになり、トラッキングが容易になされる。

【００１３】また、アドレス信号は、ランドトラックお
よびグルーブトラックのデータ部の反射光量とそれより
低いウォブリンググルーブ部の反射光量との差を検出す
ることによって簡単に読み取られる。アドレス信号が、
反射光の強度の差によって読み取られることから、アド
レス情報が高い線密度で記入でき、したがって、高速で
データが読み書きできる。また、ウォブリングの方向は
隣接する一方のランドトラックでそのグルーブのトラッ
クとペアーになって、同一のアドレス情報を共有するラ
ンドトラックの方向のみであり、ウォブリンググルーブ
の最大振れ量がランドトラックの幅の１／４乃至１／１
倍未満なので、ウォブリングによって他のグルーブトラ
ックが影響されることがなく、また、ランド部とグルー
ブ部との反射光量の差が大きくなるから信号が容易に検
出される。

【００１４】請求項２の発明は、請求項１に記載の光デ
ィスクにおいて、一つのウォブリングの長さが上記ラン
ドトラックの幅の１／２乃至１０倍であることを特徴と
している。

【００１５】上記請求項２の光ディスクによれば、ウォ
ブリンググルーブの長さがランドトラックの幅の１／２
乃至１０倍なので、トラッキングが不安定になることな
く、かつ情報記録ビットと同程度に高線密度かつ高速で
アドレス情報が記録される。

【００１６】請求項３の発明は、請求項１に記載の光デ
ィスクにおいて、上記グルーブトラックであることを示
すマークとして、上記グルーブトラック内に上記グルー
ブトラックの幅の略１／２の幅で、かつ上記ランドトラ
ックと同一面となるランド部分を有することを特徴とし
ている。

【００１７】上記請求項３の光ディスクによれば、グル
ーブトラックの一部がランドトラックと同一面になって
おり、グルーブトラックを読んでいるときは、読み取り
光のスポットにグルーブとランドの両方が入るため干渉
効果で反射光量が減少する。一方、隣接するランドトラ
ックを読んでいるときは、読み取り光のスポットの周辺
部に増大したランド部が入るため反射光量が増加する。
この反射光量の減少または増加によって、グルーブトラ
ックであるかランドトラックであるかの識別が容易に行
われる。

【００１８】請求項４の発明は、請求項１に記載の光デ
ィスクの製造方法であって、上記光ディスクのマスター
原盤を作製するときに、基盤に塗布されたレジストを露
光するためのレーザー光のウォブリングのための変位を
電気光学偏向器によって行うことを特徴としている。

【００１９】上記請求項４の光ディスクの製造方法によ
れば、従来の専用アドレス型や中間アドレス型の光ディ
スクを製造する場合と異なって、ヘッダ部にウォブリン
グによってアドレスを記録し、プレピットを形成する必
要がないから、プレピット用レーザー光の発生装置ある
いはレーザー光のＯＮ／ＯＦＦ(透過／非透過)を高速で
行う装置が不要になって、マスター原盤の製造装置の構
造が簡単になる。また、レーザー光の方向が電気光学偏
向器を用いて変化されるから、大きなウォブリングを高
速で行なうことができる。

【００２０】請求項５の発明は、請求項３に記載の光デ
ィスクの製造方法であって、上記光ディスクのマスター
原盤を製造する際に、基盤に塗布されたレジストを露光
するための２本のレーザー光を独立して発生させ、上記
２本のレーザー光のウォブリングをそれぞれ電気光学偏
向器を用いて行なうと共に、一方のレーザー光の経路に
はグルーブトラックのグルーブの幅を変化させるための
レーザーパワー制御用変調器を設け、上記２本のレーザ
ー光を合成して太幅のグルーブの部分を形成すると共
に、上記一方のレーザー光をレーザーパワー制御用変調
器によって変調して、細幅のグルーブの部分を形成する
ことを特徴としている。

【００２１】上記請求項５の光ディスクの製造方法によ
れば、１本のグルーブの太幅の部分は、合成された２本
のレーザー光により作製され、また、細幅のグルーブの
部分は一方のレーザー光を変調することによって形成さ
れる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
によって詳細に説明する。

【００２３】図１は、本発明による光ディスク１の一実
施の形態を概略的に示す部分平面図である。図１に示す
ように、グルーブトラック２とランドトラック３とが、
半径方向に交互に繰り返されて同心円状に形成されてい
る。また、各グルーブトラック２と各ランドトラック３
に、データ部４とヘッダ部５とが周方向に隣接して交互
に設けられている。

【００２４】図２(ａ)は、図１の部分拡大図である。図
２(ａ)において、データ部４のグルーブトラック２とラ
ンドトラック３には、それぞれデータ情報が記録ビット
列６として記録されている。また、ヘッダ部５には、グ
ルーブトラック２のグルーブを半径方向片側へ変位すな
わちウォブリングすることによって、ウォブリンググル
ーブ７が形成され、アドレス情報が予め記録されてい
る。図２(ｂ)は、図２(ａ)のｂ−ｂ線断面図である。グ
ルーブトラックとランドトラックの両方の信号レベルが
略等しくなるように、図２(ｂ)のごとく、グルーブトラ
ック２の幅とランドトラック３の幅は略等しく設定され
ている。

【００２５】図３(ａ)は、図２(ａ)の一部分を取り出し
た平面図である。ここで、隣接し合うグルーブトラック
２とランドトラック３とが対を形成していると考えて、
図３(ａ)に示すように、説明の便宜上、グルーブトラッ
ク２に順番にＧ１,Ｇ２という記号を付し、一方、ラン
ドトラック３に順番にＬ０,Ｌ１という記号を付してい
る。さらに、グルーブトラックＧ１上のウォブリンググ
ルーブ７にＷ１，Ｗ２という記号を付している。

【００２６】図３(ａ)に示すように、上記ウォブリング
グルーブＷ１，Ｗ２は、ヘッダ部５における上記グルー
ブトラックＧ１をランドトラックＬ１へウォブリングす
ることによって、形成されている。ここで、ウォブリン
グが他のグルーブトラックに影響しないように、ウォブ
リンググルーブＷ１の振れ量Ａはランドトラックの幅Ｂ
よりも小さく設定されている。また、グルーブトラック
Ｇ１上には、ウォブリンググルーブＷ１，Ｗ２によっ
て、それぞれランド部９，１０が形成されている。一
方、ランドトラックＬ１上には、ウォブリンググルーブ
Ｗ１，Ｗ２によって、それぞれグルーブ部１１，１２が
形成されている。ここで、ランド部９とグルーブ部１１
の形状は等しく、ランド部１０とグルーブ部１２の形状
は等しい。

【００２７】上記の構成において、光スポット８を用い
てグルーブトラックＧ１をデータ部４からヘッダ部５に
向かって走査する場合を考える。グルーブトラック２に
トラッキングしておけば、光スポット８はグルーブトラ
ック２の中心線上を移動する。まず、光スポット８はデ
ータ部４の記録ビット列６を読み取る。このとき、光磁
気ディスクの場合は光の偏光を読み取り、相変化および
色素系の場合は反射光量の強弱を読み取る。次に、光ス
ポット８はヘッダ部５に移動し、さらにウォブリンググ
ルーブＷ１に至る。ウォブリンググルーブＷ１の所で
は、ウォブリングによって形成されたランド部９とこれ
に隣接するグルーブ部１４が、光スポット８の中に入っ
てくる。このとき、ランド部９の反射光とグルーブ部１
４の反射光が干渉し、図３(ｂ)に示すように、干渉効果
によって反射光量が減少する。さらに、光スポット８が
移動してウォブリンググルーブＷ１の箇所を過ぎると、
図３(ｂ)に示すように反射光量は元のレベルに戻る。光
スポット８が、さらにグルーブトラック２上を移動する
と、ウォブリンググルーブＷ２に至り、ウォブリングに
よって形成されたランド部１０とこれに隣接するグルー
ブ部１５が、光スポット８に入る。このとき、上述のラ
ンド部９の場合と同様に、反射光量が減少する。したが
って、図３(ｂ)に示すように、ウォブリンググルーブＷ
１，Ｗ２が存在しない部分と存在する部分とでは反射光
量が異なるので、アドレス情報をウォブリンググルーブ
Ｗ１，Ｗ２による反射光量の変化として読み取みとるこ
とができる。

【００２８】一方、ランドトラックＬ１を走査している
ときも、アドレス情報をウォブリンググルーブＷ１，Ｗ
２による反射光量の変化として読み取ることができる。
しかし、図３(ｃ)に示すように、グルーブトラックＧ２
上のウォブリングによって形成されたランド部１３(ラ
ンド増大部)の影響で、反射光量が増加する部分が生じ
る。この反射光量の増加は、光スポット８が隣接するラ
ンド部１３からの反射光量を感知することによって生じ
たものである。しかし、この反射光量の増加はわずかで
無視でき、反射光量のレベルは、大略、データ部４のレ
ベルと、それより低いウォブリンググルーブ部７のレベ
ルとの２つのレベルと見なすことができる。したがっ
て、アドレス信号の読み取りは、データ部の反射量とそ
れより低いウォブリンググルーブ部の反射光量の差を検
出することによって簡単に行なわれる。

【００２９】上述のように、ウォブリングによってヘッ
ダ部にアドレス情報を記録する場合、図１２，図１３，
図１４(ａ)に示す従来例と異なって、ランドトラックＬ
０，Ｌ１とグルーブトラックＧ１，Ｇ２は、それぞれ読
み書きする方向すなわち周方向に連続しているので、容
易にトラッキングができる。また、ウォブリンググルー
ブＷ１によって形成されたランド部９とグルーブ部１
１、およびウォブリンググルーブＷ２によって形成され
たランド部１０とグルーブ部１２は、互いに形状が等し
く、グルーブトラックＧ１とランドトラックＬ１には、
ウォブリンググルーブ７で記録された同じアドレス情報
を与えることができる。また、ウォブリンググルーブＷ
１，Ｗ２のウォブリングの方向は、ランドトラックＬ１
の側にのみ向かっているので、ウォブリングはランドト
ラックＬ１と反対側に隣接するランドトラックＬ０には
影響を与えず、さらに、ウォブリンググルーブＷ１，Ｗ
２の振れ量ＡがランドトラックＬ１の幅Ｂよりも小さい
ので、ウォブリンググルーブＷ１，Ｗ２は隣接するグル
ーブトラックＧ２にも影響を与えることが少ない。すな
わち、ウォブリングの方向は半径方向一方に隣接するラ
ンドトラックで、そのグルーブトラックとペアーになっ
て、同一のアドレス情報を共有するランドトラックの方
向のみであるため、隣接する他方のランドトラックへの
影響は小さい。

【００３０】また、図４はランドトラックの幅に対する
ウォブリンググルーブの変位の割合と反射光量の変化率
との関係を示す。実用的な反射光量の変化率は０．１５
以上なので、図４が示すように、この実用的な反射光量
の変化率を得るにはウォブリンググルーブの変位量はラ
ンドトラックの幅の１／４倍以上が適当である。一方、
ウォブリンググルーブの変位量が１／１倍以上になる
と、ウォブリンググルーブが隣接するグルーブトラック
へ侵入して影響を与えるので、不適当となる。すなわ
ち、ウォブリンググルーブの適当な変位量は、ランドト
ラックの幅の１／４乃至１／１倍未満である。このウォ
ブリンググルーブの変位量と反射光量の変化率との関係
は、ランドトラックの幅が０．８μｍ、ウォブリンググ
ルーブの深さが６０ｎｍ、屈折率が１．５８のポリカー
ボネート基板の光ディスクで７８０ｎｍの半導体レーザ
ーを用いて調査された。

【００３１】また、ウォブリンググルーブの長さをラン
ドトラックの幅の割合で表して、適当なウォブリンググ
ルーブの長さを調べると、図５のようになる。反射光量
の変化率が実用的な０．１５以上になるには、図５に示
すように、ウォブリンググルーブの長さが１／２以上が
適当であることが分かる。また、光ディスクに用いられ
る代表的な変調方式であるＦＭ変調、ＥＦＭ変調、
(１，７)変調等を考慮すると、連続する同一ビットの長
さは最小単位の１０倍程度であり、光ディスクの場合最
小単位の長さはトラック幅と同程度になるので、連続す
るウォブリンググルーブの長さはトラック幅の１０倍以
内が適当である。すなわち、適当なウォブリンググルー
ブの長さは、ランドトラックの幅の１／２乃至１０倍で
ある。

【００３２】以上の説明から明らかなように、ウォブリ
ンググルーブの変位量がランドトラックの幅の１／４乃
至１／１倍未満、かつ、ウォブリンググルーブの長さが
ランドトラックの幅の１／２乃至１０倍となるウォブリ
ングでは、トラッキングが不安定になることなく、情報
記録ビットと同程度に高線密度かつ高速でアドレス情報
を記録することができる。また、反射光量の変化率が大
きく、信号が高品質になって、信号処理を簡単にするこ
とができる。

【００３３】一方、ランドトラック３であるかグルーブ
トラック２であるかの識別は、トラック信号の極性をア
ドレス情報として記録し、その極性を検出することによ
って行うことができる。また、別の識別方法として、図
６(ａ)に示すように、グルーブトラック２の一部にラン
ド部分１６を形成して置き、光スポット８を用いてグル
ーブトラック２を走査する方法がある。光スポット８が
ランド部分が増大したランド部分１６に来ると、光スポ
ット８にランド部分１６が入り、図６(ｂ)に示すよう
に、ランド部分１６からの反射光とグルーブトラック２
からの反射光との干渉効果によって反射光量は減少す
る。一方、光スポット８がランドトラック３を走査し、
ランド部分が増大したランド部分１６に隣接する所に来
たときには、図６(ｃ)が示すように、ランド部分１６の
影響を受けて反射光量は増加する。したがって、反射光
量を検出しておけば、グルーブトラックの識別は反射光
量の減少によって行い、ランドトラックの識別は反射光
量の増加によって容易に行うことができる。

【００３４】次に、光ディスクの製造方法が、図７(ａ)
ないし図７(ｇ)に示される。図７(ａ)に示すように、ま
ず、ガラス基盤１７の表面にレジスト１８が塗布され
る。次に、図７(ｂ)のように、レーザー光２０は、対物
レンズ１９を介してレジスト１８を露光し、所望のグル
ーブトラック２およびランドトラック３のパターンが形
成される。露光されたレジスト原盤２１を現像して図７
(ｃ)に示すパターンを形成した後、図７(ｄ)に示すよう
に電鋳によってニッケル板２２を形成し、図７(ｅ)に示
すようにレジスト原盤２１からニッケル板２２を引きは
がして裏面と内外周部分を加工するとマスター原盤であ
るスタンパ２３ができる。このスタンパ２３を型にして
図７(ｆ)に示すポリカーボネイト板２４を形成し、図７
(ｇ)に示すように、記録膜２５と保護膜２６をポリカー
ボネイト板２４の表面に形成すると共に、裏面に保護膜
２６を形成して、光ディスク１が完成する。

【００３５】図８(ａ)は、レジスト露光用のカッティン
グマシン２７の概略構成図である。カッティングマシン
２７のＡｒレーザー発生器２８からでたレジスト露光用
のレーザー光２０は、電気光学偏向器２９に入る。この
電気光学偏向器２９はレーザー光２０を微小に変化させ
てウォブリングを行うことができる。次に、このレーザ
ー光２０は、コーナーミラー３０ａ，３０ｂ，３０ｃに
よって方向が変えられ、シャッター３１に入る。露光の
開始と終了は、このシャッター３１によって行われる。
さらに、レーザー光２０は、対物レンズ１９を介して、
ガラス基盤上のレジスト１８に焦点が合わされる。図８
(ｂ)はレーザー光によって露光されているレジスト原盤
の斜視図である。ここで、レーザー光２０は、回転する
レジスト１８に焦点が合わされ、光ディスクのデータ部
では方向を変えないが、ヘッダ部では電気光学偏向器２
９によって半径方向に高速度で変化されて、レジスト１
８上にウォブリンググルーブが形成される。一方、カッ
ティングマシン２７に通常使用される音響光学偏向器を
用いず、電気光学偏向器２９を使用するのは、レーザー
光２０の角度を高速度で変化させるためである。音響光
学偏向器のアクセス時間数が数μｓであるのに対して、
電気光学偏向器２９のアクセス時間数は０．１μｓであ
り、本発明に有効である。

【００３６】なお、図８(ａ)中に２点鎖線で示すよう
に、レーザーパワー制御用変調器３２をレーザー光２０
の経路に入れてレーザー光２０の出力を制御すると、レ
ジスト原盤２１を低速で回転させることも可能となる。
したがって、レーザーパワー制御用変調器３２を使用す
る場合は、高速でレーザー光２０をウォブリングする必
要がないことから、電気光学偏向器２９に代えて音響光
学偏向器を使用してもよい。

【００３７】これらの光ディスクの製造方法によれば、
従来の専用アドレス型や中間アドレス型の光ディスクを
製造する場合と異なって、ヘッダ部にウォブリングによ
ってアドレスを記録して、プレピットを形成する必要が
ないから、プレピット用レーザー光の発生装置あるいは
レーザー光のＯＮ／ＯＦＦ(透過／非透過)を高速で行う
装置が不要になって、マスター原盤の製造用カッティン
グマシン２７の構造は簡単になる。

【００３８】図９(ａ)は、２本に分離されたレーザー光
線２０ａ，２０ｂの内、一方の光線２０ｂの経路に設け
られたレーザーパワー制御用変調器３２によって、グル
ーブトッラクのグルーブの幅を変化させるカッティング
マシン３４の概略構成図である。Ａｒレーザー発生器２
８から発射されたレジスト露光用のレーザー光２０は、
偏向ビームスプリッタ３３ａを用いて２本のレーザー光
２０ａ，２０ｂに分離される。分離された一方のレーザ
ー光２０ａは、電気光学偏向器２９ａを経た後、上記も
う１つの偏向ビームスプリッタ３３ｂに入る。分離され
たもう一方のレーザー光２０ｂは、その経路に挿入され
たレーザーパワー制御用変調器３２を経て、電気光学偏
向器２９ｂに入り、さらに、もう１つの偏向ビームスプ
リッタ３３ｂに入って、上記レーザー光２０ａと合成さ
れる。合成された２本のレーザー光２０ａ，２０ｂは、
シャッター３１を介して対物レンズ１９に入り、対物レ
ンズ１９によってレジスト１８上に焦点が合わされる。
この合成された２本のレーザー光２０ａ，２０ｂを使用
してレジスト１８を露光すると、太幅のグルーブトラッ
クが形成されるのに対し、レーザー光によって分離され
た他方のレーザー光２０ｂをレーザーパワー制御用変調
器３２によって遮断し、一方のレーザー光２０ａだけで
レジストを露光すると、細幅のグルーブトラックが形成
される。このように２本のレーザー光２０ａ，２０ｂを
使い分けをすることによって、図６(ａ)に示す太幅や細
幅のグルーブのパターンが自在に形成される。すなわ
ち、図９(ａ)のカッティングマシン３４を用いると、１
本のグルーブの太幅の部分は、合成された２本のレーザ
ー光により作製でき、また、細幅のグルーブの部分は一
方のレーザー光を変調することによって形成できる。

【００３９】上記実施の形態では、ランドトラックとグ
ルーブトラックと同心円状に配置されるが、ランドトラ
ックとグルーブトラックとは、スパイラル形状のもので
あってもよい。

【００４０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１の光ディスクは、同心円状またはスパイラル状のラン
ドトラックとグルーブトラックとが半径方向に交互に繰
り返し隣接して設けられ、上記ランドトラックおよびグ
ルーブトラックのそれぞれにはアドレス情報を記録する
ヘッダ部とデータを記録するデータ部とが交互に周方向
に隣接して設けられている光ディスクにおいて、上記グ
ルーブトラックの半径方向片側のみにグルーブをウォブ
リングすることによって、上記グルーブトラックのヘッ
ダ部に上記グルーブトラックのアドレス情報が記録され
ると共に、上記グルーブトラックのヘッダ部と上記片側
において隣接する上記ランドトラックのヘッダ部にも、
上記グルーブトラックのアドレス情報と同一のランドト
ラックのアドレス情報が記録されている。したがって、
ランド／グルーブ記録の特長である高密度記録ができる
上に、ランドトラックとグルーブトラックはそれぞれ読
み書きする方向に連続することになり、安定したトラッ
キングが容易にできる。

【００４１】また、アドレス信号は、ランドトラックお
よびグルーブトラックのデータ部の反射光量とそれより
低いウォブリンググルーブ部の反射光量との差を検出す
ることによって簡単に読み取ることができる。アドレス
信号が、反射光の強度の差によって読み取られることか
ら、アドレス情報が高い線密度で記入でき、したがっ
て、高速でデータが読み書きできる。さらに、ウォブリ
ンググルーブの最大振れ量がランドトラックの幅の１／
４乃至１／１倍未満なので、ウォブリングによって他の
グルーブトラックが影響されることがなく、また、ラン
ド部とグルーブ部との反射光量の差が大きくなるから、
信号が容易に検出される。

【００４２】また、ウォブリングの方向は隣接する一方
のランドトラックで、そのグルーブのトラックとペアー
になって、同一のアドレス情報を共有するランドトラッ
クの方向のみであるため、隣接する他方のランドトラッ
クへの影響を小さくすることができる。

【００４３】請求項２の光ディスクは、ウォブリンググ
ルーブの長さがランドトラックの幅の１／２乃至１０倍
なので、トラッキングが不安定になることなく、かつ情
報記録ビットと同程度に高線密度かつ高速でアドレス情
報を記録できる。

【００４４】請求項３の光ディスクは、グルーブトラッ
クであることを示すマークとして、上記グルーブトラッ
ク内に上記グルーブトラックの幅の略１／２の幅で、か
つ上記ランドトラックと同一面となるランド部分を有す
るので、このランド部分で干渉効果により反射光量が低
下し、グルーブトラックとランドトラックの識別とが容
易に行なうことができる。

【００４５】請求項４の光ディスクの製造方法は、光デ
ィスクのマスター原盤を作製するときに、レジスト露出
用のレーザー光のウォブリングを電気光学偏向器によっ
て行うので、従来の専用アドレス型や中間アドレス型の
光ディスクを製造する場合と異なって、プレピットを形
成する必要がなく、ヘッダ部にウォブリングによってア
ドレスを記録するから、プレピット用レーザー光の発生
装置あるいはレーザー光のＯＮ／ＯＦＦ(透過／非透過)
を高速で行う装置が不要になって、マスター原盤の製造
装置の構造が簡単になる。また、レーザー光の方向を電
気光学偏向器を用いて変化させるから、大きなウォブリ
ングを高速で行なうことができ、ウォブリンググルーブ
を高速で作ることができる。

【００４６】請求項５の光ディスクの製造方法は、光デ
ィスクのマスター原盤を製造する際に、レジスト露光用
の２本のレーザー光を独立して発生させ、上記２本のレ
ーザー光のウォブリングをそれぞれ電気光学偏向器を用
いて行なうと共に、一方のレーザー光の経路にはグルー
ブトラックのグルーブの幅を変化させるためのレーザー
パワー制御用変調器を設け、上記２本のレーザー光を合
成して太幅のグルーブの部分を形成すると共に、上記一
方のレーザー光を変調して細幅のグルーブの部分を形成
する。したがって、１本のグルーブの太幅の部分と細幅
の部分とを簡単に形成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の光ディスクの一実施の形態を模式的
に示す部分平面図である。

【図２】 図２(ａ)は図１の部分拡大平面図である。図
２(ｂ)は図２(ａ)のｂ−ｂ線断面図である。

【図３】 図３(ａ)は図２(ａ)の部分平面図である。図
３(ｂ)は図３(ａ)のウォブリンググルーブが形成された
グルーブトラックの反射光量を示す図である。図３(ｃ)
は図３(ａ)のウォブリンググルーブが形成されたランド
トラックの反射光量を示す図である。

【図４】 本発明の光ディスクのランドトラック幅に対
するウォブリンググルーブの変位の割合と反射光量の変
化率との関係を示す図である。

【図５】 本発明の光ディスクのランドトラック幅に対
するウォブリンググルーブの長さの割合と反射光量の変
化率との関係を示す図である。

【図６】 図６(ａ)は本発明の光ディスクの他の実施の
形態を模式的に示す平面図である。図６(ｂ)は図６(ａ)
のグルーブトラックの反射光量を示す図である。図６
(ｃ)は図６(ａ)のランドトラックの反射光量を示す図で
ある。

【図７】 本発明の光ディスクの製造プロセスを示す図
である。

【図８】 図８(ａ)は本発明の光ディスクを作製するた
めのカッティングマシンの概略図である。図８(ｂ)はレ
ーザー光が照射されているレジスト原盤の露光部の拡大
斜視図である。

【図９】 図９(ａ)は本発明の他の実施の形態の光ディ
スクを製造するためのカッティングマシンの概略図であ
る。図９(ｂ)はレーザー光が照射されているレジスト原
盤の露光部の拡大斜視図である。

【図１０】 従来のＪＩＳ規格光磁気ディスクの構成を
模式的に示す平面図である。

【図１１】 従来の色素系光ディスクの構成を模式的に
示す平面図である。

【図１２】 従来の専用アドレス型の光ディスクの構成
を模式的に示す平面図である。

【図１３】 従来の中間アドレス型の光ディスクの構成
を模式的に示す平面図である。

【図１４】 図１４(ａ)は図１２の部分拡大図である。
図１４(ｂ)は図１４(ａ)のランドトラックの反射光量を
示す図である。図１４(ｃ)は図１４(ａ)のグルーブトラ
ックの反射光量を示す図である。

【符号の説明】

１…光ディスク、 ２…グルーブトラック、 ３…ラン
ドトラック、４…データ部、 ５…ヘッダ部、 ６…記
録ビット列、７…ウォブリンググルーブ、１６…ランド
部分、２０，２０ａ，２０ｂ…レーザー光、 ２３…マ
スター原盤、２９，２９ａ，２９ｂ…電気光学偏向器、
３２…レーザーパワー制御用変調器。

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 同心円状またはスパイラル状のランドト
   ラックとグルーブトラックとが半径方向に交互に繰り返
   し隣接して設けられ、上記ランドトラックおよびグルー
   ブトラックのそれぞれにはアドレス情報を記録するヘッ
   ダ部とデータを記録するデータ部とが交互に周方向に隣
   接して設けられている光ディスクにおいて、 上記グルーブトラックの半径方向片側のみにグルーブを
   ウォブリングすることによって、上記グルーブトラック
   のヘッダ部に上記グルーブトラックのアドレス情報が記
   録されると共に、上記グルーブトラックのヘッダ部と上
   記片側において隣接する上記ランドトラックのヘッダ部
   にも、上記グルーブトラックのアドレス情報と同一のラ
   ンドトラックのアドレス情報が記録されていて、かつ、 上記ウォブリングの最大振れ量が上記ランドトラックの
   幅の１／４乃至１／１倍未満であることを特徴とする光
   ディスク。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光ディスクにおいて、
   一つのウォブリングの長さが上記ランドトラックの幅の
   １／２乃至１０倍であることを特徴とする光ディスク。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の光ディスクにおいて、
   上記グルーブトラックであることを示すマークとして、
   上記グルーブトラック内に上記グルーブトラックの幅の
   略１／２の幅で、かつ上記ランドトラックと同一面とな
   るランド部分を有することを特徴とする光ディスク。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の光ディスクの製造方法
   であって、上記光ディスクのマスター原盤を作製すると
   きに、基盤に塗布されたレジストを露光するためのレー
   ザー光のウォブリングのための変位を電気光学偏向器に
   よって行うことを特徴とする光ディスクの製造方法。
5. 【請求項５】 請求項３に記載の光ディスクの製造方法
   であって、上記光ディスクのマスター原盤を製造する際
   に、基盤に塗布されたレジストを露光するための２本の
   レーザー光を独立して発生させ、上記２本のレーザー光
   のウォブリングをそれぞれ電気光学偏向器を用いて行な
   うと共に、一方のレーザー光の経路にはグルーブトラッ
   クのグルーブの幅を変化させるためのレーザーパワー制
   御用変調器を設け、上記２本のレーザー光を合成して太
   幅のグルーブの部分を形成すると共に、上記一方のレー
   ザー光を変調して細幅のグルーブの部分を形成すること
   を特徴とする光ディスクの製造方法。