JP2003045030A - 記録方法、記録装置、光記録媒体および光ディスク原盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 幅が狭いグルーブを形成することを可能と
し、ディスクの高密度化を達成する。 【解決手段】 レーザ光は、ＥＯＭ２により強度変調さ
れ、変調光学系５に入射される。ＡＰＣ４により半径方
向に線速度が変化しても、ＥＯＭ２を透過するレーザ光
の光出力が安定とされる。光ビームがＡＯＭ６に集光さ
れ、光ビームが直流信号およびピット信号で変調され
る。ピットとグルーブとで別々に且つ非線形に光出力が
変化するようにＡＯＭ６が制御される。変調光学系５か
ら出射された露光ビームは、ＡＯＤ１０に入射し、光学
偏向が施され、ミラーＭ２、偏光ビームスプリッタＰＢ
Ｓ、レンズＬ３、ミラーＭ３を経て対物レンズ１４へ導
かれ、対物レンズ１４によってフォトレジスト膜１６上
に集光される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、記録方法、記録
装置、光記録媒体および光ディスク原盤に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の記録可能なディスク状記録媒体と
して、ＭＤ（Mini Disc），ＣＤ（Compact Disc） −Ｒ
（Recordable），ＣＤ−ＲＷ（ReWritable），ＤＶＤ
（Digital Versatile Disc またはDigital Video Dis
c）＋ＲＷ（ReWritable），ＤＶＤ−Ｒ（Recordabl
e），ＤＶＤ−ＲＷ（ReWritable）等が提案されてい
る。これのディスク状記録媒体のフォーマットでは、グ
ルーブに記録するグルーブ記録フォーマットが採用され
ている。

【０００３】ＩＳＯ（International Organization for
Standardization）の光磁気（ＭＯ;MagnetoOptica1）
ディスクの各フォーマットではランド（グルーブとグル
ーブの間）に記録するランド記録フォーマットが提案さ
れている。ＤＶＤ−ＲＡＭ（Digital Video Disc−Rand
om Access Memory）等において、光ディスクの高密度化
を実現する一つの方法として、グルーブとグルーブ間
（ランド）の両方に記録することにより、トラック密度
を従来の２倍にして高密度化を図る方式（ランドグルー
ブ記録）が提案されている。なお、ランドは、読み取り
面に近い記録領域を意味し、グルーブは、読み取り面に
遠い記録領域を意味する。

【０００４】また、光ディスクフォーマットのディスク
の全面において記録再生特性を均一にする方法が提案さ
れている。例えば特開平５−１９８０１２号公報では、
ＣＤ−Ｒフォーマットのグルーブ形状を内周から外周に
幅や深さと変化させることにより光ディスクの反射率、
ＲＣ（Radia1 Contrast）、プッシュプル信号特性を均
一にし、ディスク全面において記録再生特性を均一にし
ている。

【０００５】近年、ＤＶＲ(DIgital Video Recording s
ystem)、ＵＤＯ（Ultra Density Optical） 等の高密度
光ディスクにおいて、図７に示すように、ランドグルー
ブ記録であり、しかも、ピット（グルーブピットおよび
ランドピット）が混在するフォーマットが提案されてい
る。

【０００６】ＤＶＲは、一例として、ＣＤと同様なサイ
ズに２２．５Ｇｂｙｔｅ（ＣＤの約３５倍）の情報を記
録することができる高密度光ディスクであり、ランドグ
ルーブ記録フォーマット、トラックピッチＴｐが３００
ｎｍである。ディスクの１周がヘッダ領域によって、８
個のセグメントに等分される。ヘッダ領域は、グルーブ
の延長線上に有るグルーブピットにより構成されるグル
ーブ用のヘッダ領域と、ランドの延長線上に有るランド
ピットにより構成されるランド用のヘッダ領域とがあ
る。ヘッダ領域には、凹凸パターンであるピットが予め
形成されている。

【０００７】ヘッダ領域には、アドレスピットやＶＦＯ
(Variable Frequency Oscillator)ピット等が含まれて
いる。ＶＦＯは、実際に回転しているディスクの回転位
相を与えるための信号である。ピット部（ヘッダ領域）
は、２−７変調（最短ピット長−最長ピット長が３Ｔ−
８Ｔ（Ｔは、時間単位である））を用いたピットが形成
され、最短ピット長（３Ｔ）は、２６１ｎｍである。記
録領域であるランド部（適宜ランドトラックと称する）
およびグルーブ部（適宜グルーブトラックと称する）に
は、記録膜である相変化膜が成膜されており、１−７変
調（最短マーク長−最長マーク長が２Ｔ−８Ｔ）でマー
クが記録される。最短記録マーク（２Ｔ）は１７４≡で
ある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述したＤＶＲのよう
に、ピット（ヘッダ領域）とグルーブが混在する高密度
光ディスクを形成するには、マスタリング装置によって
内周から外周に向かってフォトレジスト膜がレーザ光で
露光される。この場合、ＣＡＶ：Constant Angular Vel
ocity）の記録がなされる。かかる記録装置において、
ピットおよびグルーブの両者に関して良好な記録再生特
性を満たすことは非常に困難である。すなわち、所望の
記録再生特性を満たすピット形状やグルーブ形状の条件
を見出すことはかなり困難である。さらに、ディスク全
面において記録再生特性を均一にする必要から、ピット
形状やグルーブ形状の均一性が要求される。

【０００９】光学的記録装置を用い通常の記録方法（単
位面積当たりの露光量を一定）でＤＶＲフォーマットの
光ディスクを作成しても、光学系の内外周露光量差、露
光光学系の内外周の変調帯域差、現像特性の内外周差等
の原因により、ピットの長さやグルーブ幅の内外周にお
けるバラツキを生じる。

【００１０】ピットの長さやグルーブ幅のバラツキを電
子顕微鏡（ＳＥＭ）により測定した結果について説明す
る。ピットは最短ピット（３Ｔ）が単一周波数で形成さ
れているＶＦＯピットの長さを測定し、ピットデューテ
ィを下記のように定義して径方向のピットの長さのばら
つきを測定し、図８に示した。

【００１１】ピットデューティ＝ＶＦＯピットの長さ／
ＶＦＯピットの周期長（５２２ｎｍ）

【００１２】グルーブは、グルーブ幅を測定し、グルー
ブデューティを下記のように定義して径方向のグルーブ
幅のばらつきを測定し、図８に示した。

【００１３】グルーブデューティ＝グルーブ幅／グルー
ブ間隔（６００ｎｍ）

【００１４】図８から分かるように、ＶＦＯピットの長
さは、２４０ｎｍから１７０ｎｍまでディスク径方向の
位置で変化し、ピットデューティは４６．２％から３
２．７％までディスク径方向の位置で変化し、ディスク
全面においてピット信号を良好に再生することは困難で
あった。

【００１５】また、グルーブ幅も３７０ｎｍから３４０
ｎｍまでディスク径方向の位置で変化し、グルーブデュ
ーティは６１．７％から５６．７％までディスク径方向
の位置で変化し、ディスク全面においてグルーブの記録
再生特性を良好にすることはできなかった。

【００１６】このように、ＤＶＲのようなピットとグル
ーブが混在する高密度光ディスクは、ピットおよびグル
ーブの両者の再生特性および記録領域（ランドおよぴグ
ルーブ）の記録再生特性をディスク全面において満たす
ことは非常に困難である。

【００１７】この発明は、ＤＶＲのようなピットとグル
ーブが混在する高密度光ディスク等で、ピット信号の再
生特性および記録領域の記録再生特性をディスク全面に
おいて良好とできる適切なピット形状やグルーブ形状を
実現するため、ピットの露光とグルーブの露光を各々独
立に変化させ、全面においてピット形状やグルーブ形状
を均一にするようにした記録方法、記録装置、光記録媒
体および光ディスク原盤を提供することにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、光デ
ィスク原盤に対してピットとグルーブを記録光によって
形成する記録方法において、光ディスク原盤の半径方向
の位置に対応して線形に記録光の光出力を変化させる第
１の露光ステップと、上記第１の露光ステップに続いて
なされ、ピットとグルーブ別々に適切に上記半径方向で
記録光の光出力を非線形に変化させる第２の露光ステッ
プとからなる記録方法である。

【００１９】請求項３の発明は、光ディスク原盤に対し
てピットとグルーブを記録光によって形成する記録装置
において、半径に対応して線形に記録光の光出力を変化
させる第１の露光手段と、上記第１の露光手段から出力
される記録光の光出力を、ピットとグルーブ別々に適切
に半径方向で非線形に変化させる第２の露光手段とを有
する記録装置である。

【００２０】請求項５の発明は、予めピットとグルーブ
が混在して形成され、ランドおよびグルーブの両者に記
録を行う光記録媒体であって、最短ピットのピットデュ
ーティが５０．２％から４０．４％までであり、グルー
ブデューティが６５．４％から６０．８％までである光
記録媒体である。

【００２１】請求項６の発明は、予めピットとグルーブ
が混在して形成され、ランドおよびグルーブの両者に記
録を行う光記録媒体であって、最短ピットのピットデュ
ーティの変化を６．８％以内、グルーブデューティの変
化を２．３％以内にするようにした光記録媒体である。

【００２２】請求項９の発明は、フォトレジストを露光
することによって、ピットおよびグルーブが混在して形
成される光ディスク原盤において、最短ピットのピット
デューティが５０．２％から４０．４％までであり、グ
ルーブデューティが６５．４％から６０．８％までであ
る光ディスク原盤である。

【００２３】請求項１０の発明は、フォトレジストを露
光することによって、ピットおよびグルーブが混在して
形成される光ディスク原盤において、最短ピットのピッ
トデューティの変化を６．８％以内、グルーブデューテ
ィの変化を２．３％以内にするようにした光ディスク原
盤である。

【００２４】請求項１３の発明は、予めピットとグルー
ブが混在して形成され、ランドおよびグルーブの両者に
記録を行う光記録媒体であって、最短ピットのピットデ
ューティが５０．２％から４０．４％までであり、グル
ーブデューティが６５．４％から６０．８％までである
光記録媒体である。

【００２５】請求項１４の発明は、予めピットとグルー
ブが混在して形成され、最短ピットのピットデューティ
の変化が６．８％以内、グルーブデューティの変化が
２．３％以内にされた光記録媒体に対する記録装置であ
って、ランドおよびグルーブの両者に記録を行うように
した記録装置である。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施形態につ
いて図面を参照しながら説明する。一実施形態は、ピッ
トとグルーブが混在する高密度光ディスク媒体におい
て、好適なピット形状やグルーブ形状を形成することを
可能とするものである。最初に、一実施形態で使用した
光学的記録装置の構成例について図１を参照して説明す
る。光学的記録装置は、光ディスクの製造プロセスにお
いて、各所望の凹凸パターン（ここでは、ピットおよび
グルーブ）をディスク基板の表面に転写するためのスタ
ンパを形成するものである。

【００２７】光源１より出射されたレーザ光は、平行ビ
ームのまま直進して、電気光学変調器（ＥＯＭ：E１ect
ro Optical Modulator）により強度変調され検光子を透
過した後、一部が光路分離用ビームスプリッタＢＳ１を
透過し、他の一部がビームスプリッタＢＳ１により反射
される。

【００２８】一実施形態による光学的記録装置において
は、光源１としては、特に限定されるものではなく、適
宜選択して使用できる。例えばＫｒレーザ（λ＝３５１
n≡）の記録用レーザ光を発振するレーザ源が使用され
る。

【００２９】ビームスプリッタＢＳ１の透過光は、光検
出器（図１ではＰＤと示す）３に入射される。光検出器
３に入射したレーザ光は、光検出器３により電気信号に
変換されて光出力制御部（ＡＰＣ:Auto Power Controll
er）４に供給される。ＡＰＣ４は、光検出器３より供給
される信号に基づいて制御信号を生成し、この制御信号
をＥＯＭ２に供給する。ＥＯＭ２は、ＡＰＣ４から供給
される制御信号の信号電界に応じて、光源から出射され
る記録用レーザ光の強度変調を行う。

【００３０】このように、レーザ光の一部を光検出器３
により検出し、これに基づいてＡＰＣ４によりＥＯＭ２
に対してフィードバック制御を行うことにより、ＥＯＭ
２を透過するレーザ光の光出力を安定させるようになさ
れている。さらに、回転数一定（ＣＡＶ：Constant Ang
ular Velocity）の記録の場合、半径により線速度が異
なるため、線速度が変化しても、単位面積あたりの露光
量を一定にする必要がある。ＡＰＣ４によりＥＯＭ２に
対してフィードバック制御を行う際、半径方向の線速度
の変化に対応して線形にＥＯＭ２を透過するレーザ光の
光出力を変化させ、単位面積あたりの露光量が一定とさ
れる。このために、ＡＰＣ４に対して、線速度の変化を
補正するための制御信号が端子４ａから供給される。こ
のように、半径による線速度の変化に対応してレーザ光
の強度を変化するので、単位面積あたりの露光量を一定
にしながら記録できる。

【００３１】ビームスプリッタＢＳ１の反射光は、変調
光学系（図１ではＯＭと示す）５に入射される。ビーム
リレー光学系とその間のＡＯＭ６をブラッグ条件をみた
すように配置する。リレー光学系は、光源１から出射さ
れた光ビームをＬ１のレンズを用いてＡＯＭ６に集光す
るように配置する。このＡＯＭ６に供給される超音波に
基づいて強度変調される。ＡＯＭ６に対しては、ドライ
バ７から駆動信号が供給される。

【００３２】この駆動信号は、２−７変調信号と直流信
号とからなる。露光ビームは、２−７変調信号（ピット
の信号）で強度変調され、直流信号（グルーブの信号）
で連続変調される。ピットの幅が２１０〜２５０ｎｍで
あり、グルーブの幅が３５０〜４００ｎｍであるので、
駆動信号のレベルは、グルーブに対応する直流信号の方
がより大きい。

【００３３】各々強度変調されて発散したレーザ光は、
レンズＬ２によって平行ビームとされる。そして、変調
光学系５（ＯＭ）から出射された露光ビームは、ミラー
Ｍ１によって反射され、移動光学テーブル８上に水平且
つ平行に導かれる。ＡＯＭ６によってピットとグルーブ
別々に適切に半径方向の露光パワーを非線形に変化させ
るようになされる。

【００３４】変調光学系ＯＭから出射され、移動光学テ
ーブル８上に水平且つ平行に導かれた露光ビームは、偏
向光学系によって光学偏向が施された上でミラーＭ２に
よって反射されて進行方向が９０°曲げられた上で偏光
ビームスプリッタＰＢＳに入射する。

【００３５】ここで、偏向光学系は、ウォブルピット
（ランドピット）やウォブルグルーブのウォブルに対応
するように、露光ビームに対して光学偏向を施すための
ものである。すなわち、変調光学系ＯＭから出射され偏
向光学系に入射した露光ビームは、ウェッジプリズム９
を介して音響光学偏向器（ＡＯＤ:Acousto Optical Def
lector）１０に入射し、この音響光学偏向器１０によっ
て、所望する露光パターンに対応するように光学偏向が
施される。ここで、音響光学偏向器１０に使用される音
響光学素子としては、例えぱ、酸化テルル（ＴｅＯ₂ ）
からなる音響光学素子が好適である。音響光学偏向器１
０によって光学偏向が施された第２の露光ビームは、ウ
エッジプリズム１１を介して偏向光学系ＯＤから出射さ
れる。

【００３６】なお、ウェッジプリズム９、１１は、音響
光学偏向器１０の音響光学素子の格子面に対してブラッ
グ条件を満たすように第２の露光ビームが入射するよう
にするとともに、音響光学偏向器１０によって第２の露
光ビームに対して光学偏向を施したとしてもビーム水平
高さが変わらないようにするためのものである。換言す
れば、ウエッジプリズム９、音響光学偏向器１０および
ウエッジプリズム１１は、音響光学偏向器１０の音響光
学素子の格子面が第２の露光ビームに対してブラッグ条
件を満たし、且つ偏向光学系ＯＤから出射される第２の
露光ビームのビーム水平高さが変わらないように配置さ
れる。

【００３７】ここで、音響光学偏向器１０には、音響光
学偏向器１０を駆動するための駆動用ドライバ１２が取
り付けられており、この駆動用ドライバ１２には、電圧
制御発振器（ＶＣＯ：Voltage Controlled Oscillato
r）１３からの高周波信号が正弦波で変調され供給され
る。そして、ガラス原盤１５上のフォトレジスト１６の
露光時には、所望する露光パターンに応じた信号が電圧
制御発振器１３から駆動用ドライバ１２に入力され、当
該信号に応じて駆動用ドライバ１２によって音響光学偏
向器１０が駆動され、これにより、露光ビームに対して
光学偏向が施される。

【００３８】具体的には、例えば、周波数２０４．２kH
zにてグルーブをウォブルさせることにより、グルーブ
にアドレス情報を付加するような場合には、例えぱ中心
周波数が２２４ＭHzの高周波信号を周波数２０４．２kH
zの制御信号にて正弦波信号を、電圧制御発振器１３か
ら駆動用ドライバ１２に供給する。そして、この信号に
応じて、駆動用ドライバ１２によって音響光学偏向器１
０を駆動し、この音響光学偏向器１０の音響光学素子の
ブラッグ角を変化させ、これにより、周波数２０４．２
ｋHz のウォブルに対応するように、第２の露光ビーム
に対して光学偏向を施す。その結果、フォトレジスト１
６上に集光される第２の露光ビームの光スポットの位置
は、周波数２０４．２ｋHz、振幅±９ｎｍにて、ガラス
基板１５の半径方向に振動される。ウォブリング情報と
してアドレス情報を記録する場合には、アドレス情報が
ＦＭ変調によって記録される。

【００３９】ランドの延長線上に有るランドピットは、
グルーブピットをウォブルすることにより形成する（ウ
ォブルピット）。図７に示すように、ランドピットは変
形方向にトラックピッチ（３００ｎｍ）をウォブルする
ことにより形成する。

【００４０】そして、このような偏向光学系ＯＤによっ
て、ウォブルピットやウォブルグルーブのウォブルに対
応するように光学偏向が施された露光ビームは、ミラー
Ｍ２によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上
で偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。露光ビーム
は、偏光ビームスプリッタＰＢＳによって反射されて、
拡大レンズＬ３によって所定のビーム径とされた上でミ
ラーＭ３によって反射されて対物レンズ１４へと導か
れ、対物レンズ１４によってフォトレジスト膜１６上に
集光される。

【００４１】フォトレジスト膜１６が露光され、フォト
レジスト膜１６に潜像が形成される。このとき、フォト
レジスト膜１６が塗布されているガラス原盤１５は、フ
ォトレジスト膜１６の全面にわたって所望のパターンで
の露光がなされるように、図示しない回転駆動装置によ
って回転駆動されるとともに、移動光学テーブルによっ
て露光ビームが径方向に移動される。この結果、露光ビ
ームの照射軌跡に応じた潜像がフォトレジスト膜１６の
全面にわたって形成されることとなる。ここで、偏光ビ
ームスプリッタＰＢＳは、Ｓ偏光を反射し、Ｐ偏光を透
過するようになされている。

【００４２】ウォブルピット（すなわち、ランドピッ
ト）、ウォブルしないピット（すなわち、グルーブピッ
ト）およびウォブルグルーブを形成するように、フォト
レジスト膜１６の表面に対物レンズ１４が露光ビームを
集光する。図２に示すように、ＡＯＭ６によって、ピッ
トとグルーブ別々に適切に半径方向の露光パワーを非線
形に変化させることにより、最適なピット形状およぴグ
ルーブ形状でありかつディスク全面において均一な形状
パターンが対物レンズ１４を介してフォトレジスト１６
に照射され、照射軌跡に応じた記録パターンが描画され
る。

【００４３】一例として、対物レンズ１４の開口数ＮＡ
が０．９とされる。ＡＯＭ６およびＡＯＤ１０の音響光
学素子は酸化テルル（ＴｅＯ₂ ）を用いた。ＡＯＭ６に
は、駆動信号がドライバ７を介して供給される。駆動信
号は、ピットを形成する場合は、２−７変調信号であ
り、グルーブを形成する場合は、一定レベルのＤＣ信号
である。

【００４４】また、一例として、変調光学系５（ＯＭ）
のレンズは同一のものを用い、集光レンズＬ１の焦点距
離が８０ｍｍ、コリメートレンズＬ２の焦点距離が１０
０ｍｍ、拡大レンズＬ３の焦点距離が５０ｍｍとされ
る。

【００４５】この場合、光学記録方法における露光条件
は、４５０ｒｐｍのＣＡＶにより行い、グルーブは、レ
ーザパワー０．４ｍＪ／ｍ程度、ピットはレーザパワー
０．２５ｍＪ／ｍ程度であり、送りピッチ０．６０μm
（トラックピッチ：０．３０μm）で記録されるもので
ある。

【００４６】露光に続いてガラス原盤１５をフォトレジ
スト１６が上部になるように現像機のターンテーブルに
載置して、ガラス原盤１５を水平面に対して回転させ
る。この後、フォトレジスト１６上に現像液を滴下し
て、フォトレジスト１６を現像処理する。現像処理によ
り記録部分のフォトレジスト１６が溶けて、凹凸パター
ンであるランドピット、グルーブピットおよびウォブル
グルーブが形成される。これらは、最適なピット形状お
よびグルーブ形状であり、且つディスク全面において均
一な凹凸形状パターンとされたものである。このよう
に、ガラス原盤１５およびその信号形成面に形成された
凹凸パターンからなる光デイスク原盤が作成される。

【００４７】次いでガラス原盤の凹凸パターン上に無電
界メッキ法等によりニッケル被膜でなる導電化膜層を形
成する。導電化膜層が形成された光デイスク原盤を電鋳
装置に取り付け、電気メッキ法により導電化膜層上に３
００±５〔μｍ〕程度の厚さになるようにニッケルメッ
キ層を形成する。続いてニツケルメッキ層付きガラス原
盤からニツケルメッキ層をカッター等で剥離し、そのニ
ッケルメッキ層信号形成面のフォトレジストをアセトン
等を用いて洗浄し、スタンパを作製する。

【００４８】その金型を用いて、ＰＣ（屈折率１．５９
のポリカーボネイト）１．１mmの透明樹脂に射出成形を
行い、微小な凹凸（信号に相当するピツトやグルーブパ
ターン）が転写された透明基板を形成する。図３に示す
ように、成形された基板２１の信号形成面に、Ａｌ合金
等からなる光反射層２２を成膜し、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂か
らなる第１の誘電体層２３と、ＧｅＳｂＴｅ合金等から
なる相変化記録層２４と、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂等からなる
第２の誘電体層２５とをスパッタリングによって順次成
膜し、第２の誘電体層２５上に紫外線硬化樹脂をスピン
コート法により塗布し、この紫外線硬化樹脂に対して紫
外線を照射し硬化させることにより、０．１ｍｍカバー
層２６を形成する。以上の工程により、ＤＶＲ等の相変
化光ディスクが完成する。信号の記録再生のためのレー
ザビームは、カバー層２６の側からディスク上に照射さ
れる。

【００４９】評価用ディスクも同様の工程によって作製
される。評価用ディスクでは、ＥＯＭ２を透過するレー
ザ光の出力を半径による線速度の変化に対応して線形に
変化させ、単位面積あたりの露光量を一定にする。さら
に、ＡＯＭ６の回折効率をピットとグルーブ別々に適切
に半径方向の露光パワーを非線形に変化させることによ
り、ピット形状およびグルーブ形状を形成する。

【００５０】このディスクの透明成形基板に金を成膜
し、ＶＦＯピットの長さやグルーブ幅のぱらつきを電子
顕微鏡（ＳＥＭ）により測定する。図４は、測定したピ
ットデューティおよびグルーブデューティの半径方向の
位置に対する変化を示す。

【００５１】図４に示すように、ピットデューティ（Ｖ
ＦＯピット）は４６．２％から４０．４％まで変化して
はいるがかなり改善され、ディスク全面においてほぼ均
一なピット形状を実現できた。ランドピットもグルーブ
ピットもピットデューティはほとんど変わらない。ま
た、グルーブデューティは６２．５％から６０．８％ま
でと、変化がほとんどなく、ディスク全面においてほぼ
均一なグルーブ形状を実現できた。このように、ＤＶＲ
のようなピットとグルーブが混在する高密度光ディスク
のディスク全面において、ピット形状およびグルーブ形
状をほほ均一にすることができた。

【００５２】さらに、評価ディスクの評価作業を光ピツ
クアツプ（波長４０６ｎｍ，ＮＡ＝０．８５）備えたＤ
ＶＲ評価機を用いて評価するようにする。

【００５３】ピット信号の再生において最も困難である
アドレス信号の再生により評価する。図５にグルーブピ
ットのアドレス再生エラーを示した。図５に示すよう
に、ほとんどの領域でアドレス再生エラーが（１×１０
^-5）で問題無くアドレス再生可能であった。１部で、ア
ドレス再生エラーが１×１０^-3となるところがあるが、
これは、ディフェクト（欠陥）のためと思われる。ま
た、ランドピットのアドレス再生エラーも同様であり、
問題無くアドレス再生可能であった。ディスク全面にお
いてほぼ均一なピット形状を実現でき、ディスク全面の
ピット信号の再生も実現できた。

【００５４】また、ランドトラック（読み取り面に近い
記録領域）に１−７変調で記録再生を行ない、ディスク
全面においてジッター９％程度で再生ができ、良好な記
録再生特性を実現できた。グルーブトラックに相変化記
録再生を行ない、ディスク全面においてジッター９．５
％程度で再生ができ、良好な記録再生特性を実現でき
た。このように、ランドグルーブ記録においてディスク
全面において良好な記録再生特性を実現でき、記録密度
を大幅に向上することが可能となった。

【００５５】ピットデューティ（ＶＦＯピット）が４
６．２％から４０．４％において、ディスク全面のピッ
ト信号の再生が実現できた。ピットデューティの変化が
５．８％（４６．２％〜４０．４％）以内であれぱピッ
ト信号の再生が可能である。また、このとき、ＶＦＯピ
ット幅は、２３０nm以下であった。

【００５６】また、上記グルーブデューティが６２．５
％から６０．８％において、ディスク全面の良好な記録
再生特性を実現できた。グルーブデューティの変化が
１．７％（６２．５％から６０．８％）以内であれば良
好な記録再生特性が可能である。

【００５７】さらに、同様な方法（すなわち、ＥＯＭを
透過するレーザ光を半径に対応して線形に光出力変化さ
せ、ＡＯＭの回折効率をピットとグルーブ別々に適切に
半径方向の露光パワーを非線形に変化させる方法）で、
３枚の評価用ディスクＡ、Ｂ、Ｃを作成し、上述したよ
うにピット信号の再生およびランドグルーブ記録の記録
再生特性を評価した。

【００５８】評価用ディスクＡ，Ｂ，Ｃにおいて、ほと
んどの領域でアドレス再生エラーが１×１０^-5台のエラ
ーレートで問題無くアドレス再生可能であり、ディスク
全面のピット信号の再生が実現でき、さらに、ランド部
およびグルーブ部に相変化記録再生はディスク全面にお
いてジッター１０．０％以内で再生ができ、良好な記録
再生特性を実現できた。

【００５９】評価用ディスク、ディスクＡ，Ｂ，Ｃのピ
ットデューティ最大値および最小値、グルーブデューテ
ィ最大値および最小値、ピットデューティの変化、グル
ーブデューティの変化を図６にまとめて示す。

【００６０】図６から分かるように、最短ピット（ＶＦ
Ｏピット）のピットデューティは５０．２％から４０．
４％までピット信号の再生が可能である。グルーブデュ
ーティは６５．４％から６０．８％まで良好な記録再生
特性が可能である。

【００６１】また、ＥＯＭ２を透過するレーザ光を半径
に対応して線形に光出力変化させ、ＡＯＭ６の回折効率
をピットとグルーブ別々に適切に半径方向の露光パワー
を非線形に変化させる方法を用いて、最短ピットのピッ
トデューティの変化を６．８％以内にすることができ、
グルーブデューティの変化を２．３％以内にすることが
できた。ディスク全面においてピット信号の再生、良好
な記録再生特性を実現できた。

【００６２】この発明は、上述したこの発明の一実施形
態等に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱
しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。例えば
コンピュータの外部記憶媒体としての光ディスク媒体に
対してもこの発明は適用することができる。また、この
発明は、情報記録媒体のみならず、信号記録再生システ
ムまたは装置、あるいは両方の機能を有するシステムま
たは装置にも適用可能である。円盤状ではなく、平板状
のディスク記録媒体に対してもこの発明を適用できる。

【００６３】

【発明の効果】この発明によれぱ、ＥＯＭを透過するレ
ーザ光を半径に対応して線形に光出力変化させ、ＡＯＭ
の回折効率をピットとグルーブ別々に適切に半径方向の
露光パワーを非線形に変化させる方法を用いて、ディス
ク全面においてピットデューティおよびグルーブデュー
ティがほほ均一な光ディスク媒体を提供できる。また、
かかるディスク状記録媒体を用い、ディスク全面におい
て、ピット信号の再生、良好な記録再生特性が可能であ
り、安定した記録再生システムを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＤＶＲ等のランドグルーブ記録の光ディスクフ
ォーマットの模式図を示す略線図である。

【図２】通常の記録方法により作成された光ディスクの
ピットデューティ、グルーブデューティの内外周変化を
示す図である。

【図３】この発明を適用した評価用光ディスクの断面お
よぴ光ピックアップを示す模式図である。

【図４】この発明を適用したＡＯＭの回折効率をピット
とグルーブを別々に半径方向に非線形に変化させる場合
のパワー変化を示す略線図である。

【図５】この発明を適用した光ディスクのグルーブピッ
トのアドレス再生エラーを示す図である。

【図６】この発明を適用した記録方法により作成された
光ディスクのピットデューティ、グルーブデューティの
内外周変化を示す図である。

【図７】ＤＶＲ等のランドグルーブ記録の光ディスクフ
ォーマットの模式図を示す略線図である。

【図８】通常の記録方法により作成された光ディスクの
ピットデューティ、グルーブデューティの内外周変化を
示す図である。

【符号の説明】

１・・・レーザ光源、２・・・電気光学変調器（ＥＯ
Ｍ）、４・・・ＡＰＣ、５・・・変調光学系（ＯＭ）、
６・・・音響光学変調器（ＡＯＭ）、１０・・・音響光
学偏向器（ＡＯＤ）、１４・・・対物レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 7/24 ５６３ Ｇ１１Ｂ 7/24 ５６３Ｄ 7/26 ５０１ 7/26 ５０１ (72)発明者 鈴木 忠男 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 永野 信広 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 5D029 WA02 WB11 WC01 WD10 5D090 AA01 BB01 BB02 BB03 BB04 CC01 CC14 DD03 EE02 GG03 GG10 KK03 KK05 5D119 AA23 BA01 BB01 BB02 BB03 BB09 CA05 DA01 EB06 EC10 FA03 GA01 GA02 HA08 HA45 5D121 BB21 BB38 CA10

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ディスク原盤に対してピットとグルー
   ブを記録光によって形成する記録方法において、 光ディスク原盤の半径方向の位置に対応して線形に記録
   光の光出力を変化させる第１の露光ステップと、 上記第１の露光ステップに続いてなされ、ピットとグル
   ーブ別々に適切に上記半径方向で記録光の光出力を非線
   形に変化させる第２の露光ステップとからなる記録方
   法。
2. 【請求項２】 請求項１において、 上記グルーブがウォブリングされている記録方法。
3. 【請求項３】 光ディスク原盤に対してピットとグルー
   ブを記録光によって形成する記録装置において、 半径に対応して線形に記録光の光出力を変化させる第１
   の露光手段と、 上記第１の露光手段から出力される記録光の光出力を、
   ピットとグルーブ別々に適切に半径方向で非線形に変化
   させる第２の露光手段とを有する記録装置。
4. 【請求項４】 請求項３において、 上記グルーブがウォブリングされている記録装置。
5. 【請求項５】 予めピットとグルーブが混在して形成さ
   れ、ランドおよびグルーブの両者に記録を行う光記録媒
   体であって、 最短ピットのピットデューティが５０．２％から４０．
   ４％までであり、グルーブデューティが６５．４％から
   ６０．８％までである光記録媒体。
6. 【請求項６】 予めピットとグルーブが混在して形成さ
   れ、ランドおよびグルーブの両者に記録を行う光記録媒
   体であって、 最短ピットのピットデューティの変化を６．８％以内、
   グルーブデューティの変化を２．３％以内にするように
   した光記録媒体。
7. 【請求項７】 請求項５または６において、 ピット幅が２３０ｎｍ以下である光記録媒体。
8. 【請求項８】 請求項５または６において、 上記グルーブがウォブリングされている光記録媒体。
9. 【請求項９】 フォトレジストを露光することによっ
   て、ピットおよびグルーブが混在して形成される光ディ
   スク原盤において、 最短ピットのピットデューティが５０．２％から４０．
   ４％までであり、グルーブデューティが６５．４％から
   ６０．８％までである光ディスク原盤。
10. 【請求項１０】 フォトレジストを露光することによっ
    て、ピットおよびグルーブが混在して形成される光ディ
    スク原盤において、 最短ピットのピットデューティの変化を６．８％以内、
    グルーブデューティの変化を２．３％以内にするように
    した光ディスク原盤。
11. 【請求項１１】 請求項９または１０において、 ピット幅が２３０ｎｍ以下である光ディスク原盤。
12. 【請求項１２】 請求項９または１０において、 上記グルーブがウォブリングされている光ディスク原
    盤。
13. 【請求項１３】 予めピットとグルーブが混在して形成
    され、ランドおよびグルーブの両者に記録を行う光記録
    媒体であって、 最短ピットのピットデューティが５０．２％から４０．
    ４％までであり、グルーブデューティが６５．４％から
    ６０．８％までである光記録媒体。
14. 【請求項１４】 予めピットとグルーブが混在して形成
    され、最短ピットのピットデューティの変化が６．８％
    以内、グルーブデューティの変化が２．３％以内にされ
    た光記録媒体に対する記録装置であって、 ランドおよびグルーブの両者に記録を行うようにした記
    録装置。