JP6577373B2 - リードフレーム及びその製造方法、半導体装置 - Google Patents
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Description
[リードフレームの構造]
図1は、第1の実施の形態に係るリードフレームを例示する平面図である。図1を参照するに、リードフレーム1は、平面視略矩形状の基板フレーム10に、複数の単位リードフレーム群20が離間して配列された構造を有している。
である。
次に、第1の実施の形態に係るリードフレームの製造方法について、単位リードフレーム30を図示しながら説明する。図3〜図5は、第1の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図である。なお、図3及び図4において、(a)は平面図、(b)は底面図、(c)は(a)及び(b)のA−A線に沿う断面図である。又、図5は、図3及び図4の(c)に対応する断面図である。
図6は、第1の実施の形態に係るリードフレームを用いた半導体装置を例示する断面図である。
第1の実施の形態の変形例1では、第1の実施の形態とはリードの積層構造が異なるリードフレームの例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例1において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第1の実施の形態の変形例2では、第1の実施の形態とはリードの構造が異なるリードフレームの他の例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例2において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第1の実施の形態の変形例3では、樹脂部内に電子部品を内蔵したリードフレームの例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例3において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第1の実施の形態の変形例4では、樹脂部内にも配線を形成する例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例4において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第1の実施の形態の変形例5では、フリップチップ実装用のリードフレームの例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例5において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
図17は、第1の実施の形態の変形例5に係るリードフレームを用いた半導体装置を例示する断面図である。
5、6 半導体装置
10 基板フレーム
10x、34z スリット
20 単位リードフレーム群
30、30A、30B、30C、30D、30E 単位リードフレーム
31、32、33、34 フレーム
31y、31z、32y、32z、33y 凹部
32t、32x 開口部
39 樹脂部
39a 樹脂部の下面
39b 樹脂部の上面
40 電子部品
45 接合部
51、61 半導体チップ
52 金属線
53、63 封止樹脂
62 バンプ
310、320、330、340 金属板
310a、320a 金属板の上面
310b、320b 金属板の下面
311 チップ搭載部
312、322、332 リード
315、315A、315B、315D 外部接続端子
321 ボンディングパッド
323、343 配線
344 パッド
Claims (10)
- 第1リードフレームからなる第1リードと、第2リードフレームからなる第2リードと、を接合してなるリードフレームであって
下面及び上面を備える樹脂部を有し、
前記第1リードは、前記樹脂部の下面に配置され、
前記第2リードは、前記樹脂部の上面に配置され、
前記第1リードと前記第2リードとは、前記樹脂部に埋設された埋設部と、前記樹脂部から突出する突出部と、を備え、
前記第1リードの埋設部と前記第2リードの埋設部とは、前記樹脂部内で接合されているリードフレーム。 - 前記第1リードと前記第2リードの前記樹脂部の表裏面と接触する個所には、粗化処理又は酸化処理が施されている請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記第1リードと前記第2リードの一方は、前記埋設部の直上に配置された前記突出部に凹部が設けられている請求項1又は2に記載のリードフレーム。
- 前記第1リードフレームと前記第2リードフレームの一方は、半導体チップを搭載するダイパッドを備えている請求項1乃至3の何れか一項に記載のリードフレーム。
- 前記第1リードの埋設部の側面及び前記第2リードの埋設部の側面には括れが形成されている請求項1乃至4の何れか一項に記載のリードフレーム。
- 前記第1リードと前記第2リードとの間に配置された第3リードを有し、
前記第3リードは、前記樹脂部に埋設され、
前記第1リードの埋設部と前記第2リードの埋設部とは、前記第3リードを介して前記樹脂部内で接合されている請求項1乃至5の何れか一項に記載のリードフレーム。 - 前記第3リードは、第2リードよりもライン/スペースが狭い高密度リードである請求項6に記載のリードフレーム。
- 前記樹脂部に電子部品が埋設され、前記電子部品は前記第1リードと前記第2リードの一方と電気的に接続されている請求項1乃至7の何れか一項に記載のリードフレーム。
- 請求項1乃至8の何れか一項に記載のリードフレームと、
と、
前記リードフレームに搭載された半導体チップと、
前記半導体チップを封止する封止樹脂と、を有する半導体装置。 - 第1金属板をエッチングして、前記第1金属板の一方の面に凹部が形成された第1フレームを作製する工程と、
第2金属板をエッチングして、前記第2金属板の一方の面に凹部が形成された第2フレームを作製する工程と、
前記凹部同士が対向して隙間を形成するように、前記第1フレームと前記第2フレームとを接合する工程と、
前記隙間に樹脂を充填し、硬化させて樹脂部を形成する工程と、
前記第1フレーム及び前記第2フレームの所定部分をエッチングにより除去し、前記第1フレーム、前記第2フレームの一方に、前記樹脂部の表面に配置されたリードを形成するリードフレームの製造方法。
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