JP6508286B2 - ワーク分割装置及びワーク分割方法 - Google Patents
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Description
これより、R=1/1400=0.00071m2・K/Wとなる。
での距離はせいぜい大きくて0.2mm以内である。それに対して、冷凍チャックテーブルの外周からDAFの外周までの径の差は12mmであるため、片側6mm程度はある。
なお、異種材料間を伝わる熱伝達においては、同種材料内を伝わる熱伝導と基本的には同じであり、熱伝導率の変わりに熱伝達係数が適用されるだけである。
にハロゲンランプを用いることにより、短時間で目的の照度つまり温度を得ることができる。これは一般的な赤外線ヒータや温風ヒータでの実現は困難である。このように制御性が良いこともハロゲンランプヒータを用いることが好ましい一つの理由である。
この回転中においては、光加熱装置22は電源オフするか、加熱に寄与しない程度の電圧を印加する。そして、次に図17の符号2の位置においてダイシングテープSの周辺部を加熱する。
。
Claims (2)
- ダイシングテープをエキスパンドすることにより、前記ダイシングテープに貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割装置において、
前記ワークを保持するワーク保持手段と、
前記ワーク保持手段とは独立して昇降し、前記ダイシングテープをエキスパンドするエキスパンド手段であって、前記ダイシングテープよりも熱伝導率が高い材質で形成されたエキスパンド手段と、
前記エキスパンドにより前記ダイシングテープの弛んだ部分に向けて熱照射する熱照射手段と、
前記熱照射手段を前記ワークの周方向に沿って相対的に回転移動させる回転移動手段と、
を備える、ワーク分割装置。 - ダイシングテープをエキスパンドすることにより、前記ダイシングテープに貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割方法において、
ワーク保持手段とは独立してエキスパンド手段を昇降させることにより、前記ダイシングテープをエキスパンドするエキスパンドステップであって、前記エキスパンド手段は前記ダイシングテープよりも熱伝導率が高い材質で形成されるエキスパンドステップと、
前記エキスパンドにより前記ダイシングテープの弛んだ部分に向けて、熱照射手段により熱照射する熱照射ステップと、
前記熱照射手段を前記ワークの周方向に沿って相対的に回転移動させる回転移動ステップと、
を備える、ワーク分割方法。
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