KR102441184B1 - 필름 교환이 용이한 전사 장치 및 필름 교환 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 필름 교환 방법에 관한 것으로서, 필름을 이용하여 몰드의 패턴을 전사하는 전사부; 상기 필름을 권출하여 상기 전사부를 향하여 상기 필름을 공급하는 필름 공급부; 상기 필름을 귄취하여 상기 전사부로부터 상기 필름을 회수하는 필름 회수부; 상기 전사부와 상기 필름 공급부 사이 및 상기 전사부와 상기 필름 회수부 사이 중 하나 이상에 위치하여 상기 필름의 일 지점을 절단하도록 선택적으로 필름의 일 지점과 인접하는 타 지점을 가압하는 필름 교환부; 를 포함하고, 상기 필름 교환부에 의해서 상기 필름의 일 지점이 절단되어도 상기 필름의 상기 필름 교환부와 상기 전사부 사이는 장력이 유지되는 것을 특징으로 한다.

Description

필름 교환이 용이한 전사 장치 및 필름 교환 방법{TRANSFER DEVICE FOR EASY FILM EXCHANGE AND FILM EXCHANGE METHOD}
본 발명은 필름 교환이 용이한 전사 장치 및 필름 교환 방법에 관한 것이다.
최근 디스플레이 공정 및 반도체 공정에서는 포토리소그래피 공정을 대체하는 공정으로서 몰드(20)의 패턴을 임프린트 형태로 기판에 전사하여 기판에 나노미터 내지 마이크로미터 크기의 미세 패턴을 형성하는 나노 임프린트 공정이 이용되고 있다.
나노 임프린트 공정의 수행방법 중 하나로서 연속공정을 위해서 몰드(20)를 필름(10)에 형성하여 기판에 전사하고 있으며, 이를 위한 장치로서 몰드(20)를 필름(10)에 형성하는 전사 장치와 필름(10)에 형성된 몰드(20)를 기판에 전사하는 전사 장치가 있다.
이러한, 전사 장치는 몰드(20)를 필름(10)에 형성하거나 몰드(20)를 기판에 전사하기 위한 전사부(100)와 전사부(100)를 향하여 필름(10)을 공급하는 필름 공급부(200)와 전사부(100)로부터 필름(10)을 회수하는 필름 회수부(300)와 필름 공급부(200)에서 필름 회수부(300)로 이어진 필름(10)의 이동 방향을 전환하기 위한 가이드롤(50)을 포함한다.
한편, 전사 장치의 필름 공급부(200)에서 필름 회수부(300)까지 이어진 필름(10)을 교체하는 경우, 필름(10)이 전사부(100) 및 가이드롤(50) 등 다양한 구성에 접하고 있으므로 이러한 구성으로부터 필름(10)을 분리해야 필름(10)을 교체할 수 있으며, 필름(10)을 교체하고 다시 이러한 구성에 필름(10)을 조립해야 하므로 이로 인한 공정 시간이 증가하는 문제점이 있다. 또한, 필름(10)이 접하고 있는 구성의 분리에 따라 공정 조건이 변경된다. 따라서, 필름(10)을 조립 후 공정 조건을 다시 조정할 필요가 있으므로 이로 인한 공정 시간이 증가하는 문제점이 있다.
본 발명은 필름 교환이 용이한 전사 장치 및 필름 교환 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예에 따른 필름 교환이 용이한 전사 장치는, 필름을 이용하여 몰드의 패턴을 전사하는 전사부; 상기 필름을 권출하여 상기 전사부를 향하여 상기 필름을 공급하는 필름 공급부; 상기 필름을 귄취하여 상기 전사부로부터 상기 필름을 회수하는 필름 회수부; 상기 전사부와 상기 필름 공급부 사이 및 상기 전사부와 상기 필름 회수부 사이 중 하나 이상에 위치하여 상기 필름의 일 지점을 절단하도록 선택적으로 필름의 일 지점과 인접하는 타 지점을 가압하는 필름 교환부; 를 포함하고, 상기 필름 교환부에 의해서 상기 필름의 일 지점이 절단되어도 상기 필름의 상기 필름 교환부와 상기 전사부 사이는 장력이 유지되는 것을 특징으로 한다.
실시예에 따르면, 상기 필름 교환부는, 상기 필름의 일 영역에서 전측의 일면을 선택적으로 가압하여 고정시키는 제1 고정부; 상기 필름의 일 영역에서 후측의 일면을 선택적으로 가압하여 고정시키는 제2 고정부; 상기 제1 고정부 및 제2 고정부에 의해서 가압된 상기 필름의 타면을 지지하는 지지부; 를 포함하고, 상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부에 의해서 상기 필름의 상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부 사이의 일 지점을 절단하는 동안 상기 필름의 일 영역은 장력이 유지되는 것을 특징으로 한다.
실시예에 따르면, 상기 제1 고정부 및 제2 고정부는, 상기 필름이 이동하는 상기 제1 고정부와 상기 지지부 사이의 간극의 크기인 제1 간극을 조절하도록 상기 제1 고정부를 승강시키는 제1 승강부; 상기 필름이 이동하는 상기 제2 고정부와 상기 지지부 사이의 각극의 크기인 제2 간극을 조절하도록 상기 제2 고정부를 승강시키는 제2 승강부; 를 포함하고, 상기 제1 간극 및 상기 제2 간극이 작아지면 상기 필름이 고정되고, 상기 제1 간극 및 상기 제2 간극이 커지면 상기 필름의 고정이 해제되는 것을 특징으로 한다.
실시예에 따르면, 상기 제1 고정부 및 제2 고정부는, 상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부의 양측 중 하나 이상으로부터 상기 지지부의 측면을 감싸도록 연장되는 측면 고정부; 상기 측면 고정부로부터 상기 지지부의 하면을 감싸도록 연장되는 하면 고정부; 를 포함한다.
실시예에 따르면, 상기 하면 고정부는 각각 상기 제1 승강부 및 상기 제2 승강부에 결합되어 승강됨으로써 하면 고정부로부터 연장된 상기 제1 고정부 및 제2 고정부가 연동되어 승강되는 것을 특징으로 한다.
실시예에 따르면, 상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부는 고정 상태에서 상기 필름이 이탈하는 것을 방지하기 위해 비금속으로 형성된 그립부가 상기 필름의 폭방향을 따라서 위치하는 것을 특징으로 한다.
실시예에 따르면, 상기 지지부는, 상기 필름을 절단하기 위한 칼날의 이동방향을 가이드 하도록 상기 지지부의 일면에 상기 필름의 폭방향을 따라서 홈 형상으로 형성되는 절단부; 를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 필름 교환 방법은, 몰드의 패턴을 전사하는 전사부에 공급 또는 회수되는 필름의 일 영역에서 전측 및 후측을 가압하여 고정하는 고정 단계; 상기 고정된 필름의 일 영역에서 전측 및 후측 사이의 일 지점을 절단하는 절단 단계; 상기 필름의 일 영역의 전측의 가압을 해제하는 1차 해제 단계; 상기 필름의 절단된 일 지점부터 상기 필름의 일 영역에서 후측 이후 부분는 유지하고, 상기 필름의 절단된 일 지점부터 상기 필름 중 상기 필름의 일 영역에서 전측 이전 부분은 다른 필름으로 교체하는 교체 단계; 상기 교체된 상기 필름의 일측과 상기 유지된 상기 필름의 일측을 연결하는 연결 단계; 상기 필름의 일 영역에서 후측의 가압을 해제하는 2차 해제 단계; 상기 필름의 연결된 부분이 상기 일 정역을 빠져나오도록 상기 필름을 이동하는 이동 단계; 를 포함한다.
실시예에 따르면, 상기 고정 단계는 제1 고정부 및 제2 고정부가 각각 제1 승강부 및 제2 승강부에 의해서 하강하여 필름을 가압하여 고정하는 것을 특징으로 한다.
실시예에 따르면, 상기 1차 해제 단계는 제1 고정부가 제1 승강부에 의해서 상승하여 필름의 가압을 해제하는 것을 특징으로 한다.
실시예에 따르면, 상기 연결 단계는 일면에 접착성을 가지는 테이프를 매개로 연결하는 것을 특징으로 한다.
실시예에 따르면, 상기 2차 해제 단계는 제2 고정부가 제2 승강부에 의해서 상승하여 필름의 가압을 해제하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 필름 교환 시 필름에 접하고 있는 구성의 분해없이 필름을 교환할 수 있으므로 필름 교환에 따른 공정 시간이 감소되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전사 장비에 관한 도면
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전사부에 관한 도면(참고로 왼쪽은 전사 전을 나타낸 도면이고, 오른쪽은 전사 후를 나타낸 도면이다.)
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 필름 교환부에 관한 도면(참고로 도 4는 필름 교환부의 다른 구성의 형상을 명확히 하고자 지지부의 구성을 투명하게 표현함)
도 5 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 필름 교환부의 필름 교환 방법에 관한 도면
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
최근 디스플레이 공정 및 반도체 공정에서는 포토리소그래피 공정을 대체하는 공정으로서 몰드(20)의 패턴을 임프린트 형태로 기판에 전사하여 기판에 나노미터 내지 마이크로미터 크기의 미세 패턴을 형성하는 나노 임프린트 공정이 이용되고 있다.
나노 임프린트 공정의 수행방법 중 하나로서 연속공정을 위해서 몰드(20)를 필름(10)에 형성하여 기판에 전사하고 있으며, 이를 위한 장치로서 몰드(20)를 필름(10)에 형성하는 전사 장치와 필름(10)에 형성된 몰드(20)를 기판에 전사하는 전사 장치가 있다.
이러한, 전사 장치는 몰드(20)를 필름(10)에 형성하거나 몰드(20)를 기판에 전사하기 위한 전사부(100)와 전사부(100)를 향하여 필름(10)을 공급하는 필름 공급부(200)와 전사부(100)로부터 필름(10)을 회수하는 필름 회수부(300)와 필름 공급부(200)에서 필름 회수부(300)로 이어진 필름(10)의 이동 방향을 전환하기 위한 가이드롤(50)을 포함한다.
한편, 전사 장치의 필름 공급부(200)에서 필름 회수부(300)까지 이어진 필름(10)을 교체하는 경우, 필름(10)이 전사부(100) 및 가이드롤(50) 등 다양한 구성에 접하고 있으므로 이러한 구성으로부터 필름(10)을 분리해야 필름(10)을 교체할 수 있으며, 필름(10)을 교체하고 다시 이러한 구성에 필름(10)을 조립해야 하므로 이로 인한 공정 시간이 증가하는 문제점이 있다. 또한, 필름(10)이 접하고 있는 구성의 분리에 따라 공정 조건이 변경된다. 따라서, 필름(10)을 조립 후 공정 조건을 다시 조정할 필요가 있으므로 이로 인한 공정 시간이 증가하는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해서, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 필름(10) 교환이 용이한 전사 장치는 전사부(100), 필름 공급부(200), 필름 회수부(300) 및 필름 교환부(400)를 포함할 수 있다.
전사부(100)는 필름(10)을 이용하여 몰드(20)의 패턴을 전사물(30)에 전사할 수 있다. 예를 들어, 필름(10)의 일면에 형성된 전사물(30)에 몰드(20)의 패턴을 전사하여 복제된 몰드(20)를 필름(10)에 형성하거나, 필름(10)의 일면에 형성된 몰드(20)의 패턴을 전사물(30)에 전사할 수 있다. 즉, 전사물(30)은 몰드(20)로부터 전사되는 복제된 몰드(20)를 의미하거나 몰드(20)로부터 전사되는 기판을 의미할 수 있다. 이때, 전사물(30)은 광 경화성 레진일 수 있다.
전사부(100)의 전사 방식으로는 스템프 프레스 방식, 롤 프레스 방식 및 롤투롤(Roll to roll) 프레스 방식이 있을 수 있다. 예를 들어, 도 2a에 도시된 바와 같이, 스템프 프레스 방식은 스템프가 필름(10)을 가압하면서 몰드(20)의 패턴을 전사물(30)에 전사할 수 있다. 또한, 도 2b에 도시된 바와 같이, 롤 프레스 방식은 수평 방향으로 이동하는 롤이 필름(10)을 가압하면서 몰드(20)의 패턴을 전사물(30)에 전사할 수 있다. 또한, 도 2c에 도시된 바와 같이, 롤투롤 프레스 방식은 롤과 롤 사이를 필름(10)이 지나가면서 몰드(20)의 패턴을 전사물(30)에 전사할 수 있다.
필름 공급부(200)는 필름(10)을 권출하여 전사부(100)를 향하여 필름(10)을 공급할 수 있다.
필름 회수부(300)는 필름(10)을 귄취하여 전사부(100)로부터 필름(10)을 회수할 수 있다.
필름 교환부(400)는 전사부(100)와 필름 공급부(200) 사이 및 전사부(100)와 필름 회수부(300) 사이 중 하나 이상에 위치하여 필름(10)의 일 지점을 절단할 수 있도록 선택적으로 필름(10)의 일 지점과 인접하는 타 지점을 가압하여 고정할 수 있다.
이러한, 필름 교환부(400)에 의해서 필름(10)의 일 지점(이후, 절단 지점으로 통칭할 수 있다)이 절단되어도 일 지점과 인접하는 타 지점(이후, 가압 지점으로 통칭할 수 있다)을 가압하여 고정되므로 필름(10)의 필름 교환부(400)와 전사부(100) 사이는 장력이 유지될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 실시예의 구체적인 설명으로서, 필름 교환부(400)는 제1 고정부(421), 제2 고정부(422) 및 지지부(410)를 포함할 수 있다.
제1 고정부(421)는 필름(10)의 일 영역에서 전측의 일면을 선택적으로 가압하여 고정시킬 수 있다.
제2 고정부(422)는 필름(10)의 일 영역에서 후측의 일면을 선택적으로 가압하여 고정시킬 수 있다.
지지부(410)는 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)에 의해서 가압된 필름(10)의 타면을 지지할 수 있다.
이러한, 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)에 의해서 필름(10)의 일 영역에서 일 지점(절단 지점)을 절단하는 동안 필름(10)의 일 영역에서 전측 및 후측(가압 지점)을 가압하여 필름(10)의 일 영역의 장력이 유지될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 실시예의 구체적인 설명으로서, 고정부는 제1 승강부(425) 및 제2 승강부(426)를 포함할 수 있다.
제1 승강부(425)는 필름(10)이 이동하는 제1 고정부(421)와 지지부(410) 사이의 간극의 크기인 제1 간극(G1)을 조절하도록 제1 고정부(421)를 승강시킬 수 있다.
제2 승강부(426)는 필름(10)이 이동하는 제2 고정부(422)와 지지부(410) 사이의 간극의 크기인 제2 간극(G2)을 조절하도록 제2 고정부(422)를 승강시킬 수 있다.
이러한, 제1 승강부(425) 및 제2 승강부(426)가 하강하여 제1 간극(G1) 및 제2 간극(G2)이 작아지면 필름(10)이 고정되고, 제1 승강부(425) 및 제2 승강부(426)가 승강하여 제1 간극(G1) 및 제2 간극(G2)이 커지면 필름(10)의 고정이 해제될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 실시예의 구체적인 설명으로서, 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)는 측면 고정부(423) 및 하면 고정부(424)를 포함할 수 있다.
측면 고정부(423)는 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)의 양측 중 하나 이상으로부터 지지부(410)의 측면을 감싸도록 연장될 수 있다. 이때, 지지부(410)의 측면을 측면 고정부(423)가 감싸서 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)의 승강이 가이드될 수 있다. 예를 들어, 지지부(410)의 측면에 측면 고정부(423)가 접촉되어 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)가 양측 중 어느 일 측으로 치우쳐서 승강하는 것을 제한할 수 있다.
하면 고정부(424)는 측면 고정부(423)로부터 지지부(410)의 하면을 감싸도록 연장될 수 있다. 이때, 지지부(410)의 하면을 하면 고정부(424)가 감싸서 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)의 승강이 가이드될 수 있다. 예를 들어, 지지부(410)의 하면에 하면 고정부(424)가 접촉되어 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)가 더 상승하는 것을 제한할 수 있다.
제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)으로부터 연장되는 측면 고정부(423) 및 하면 고정부(424)는 일체로 형성되거나 복수 개의 구성이 결합하여 연장될 수 있다.
측면 고정부(423)가 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)의 양측으로부터 지지부(410)의 측면을 감싸도록 연장되는 경우, 하면 고정부(424)와 함께 개구가 형성될 수 있고, 이러한 개구를 통해 필름(10)이 가이드되어 이동할 수 있다.
하면 고정부(424)는 각각 제1 승강부(425) 및 제2 승강부(426)에 결합되어 승강됨으로써 하면 고정부(424)로부터 연장된 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)가 연동되어 승강될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 실시예의 구체적인 설명으로서, 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)는 고정 상태에서 필름(10)이 이탈하는 것을 방지하기 위해 비금속으로 형성된 그립부(430)가 필름(10)의 폭방향을 따라서 위치할 수 있다. 그립부(430)는 제1 고정부 및 제2 고정부 하면에 형성된 홈에 일부가 노출되도록 삽입되어 고정될 수 있다. 또한, 그립부(430)의 재질은 비금속으로서 보다 자세하게는 아세탈(Acetal)일 수 있다.
이러한, 그립부(430)는 필름(10)이 고정되기 위해 일면 및 타면이 서로 가압되어야 하나 필름(10)의 일면 및 타면을 가압하는 면이 동일한 재질일 경우 고정이 확실하게 되지 않아 필름(10)이 조금씩 이동하게 되는데 그립부(430)가 고정이 확실하게 되도록하여 필름(10)이 이동하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 필름(10)의 일 영역의 장력을 유지할 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 실시예의 구체적인 설명으로서, 지지부(410)는 절단부(411)를 포함할 수 있다.
절단부(411)는 필름(10)을 절단하기 위한 칼날의 이동방향을 가이드 하도록 지지부(410)의 일면에 필름(10)의 폭방향을 따라서 연장되는 홈 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 절단부(411)는 지지부(410)에 직접 가공되어 형성되거나 홈이 형성된 상판과 결합하여 형성될 수 있다.
도 5 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 필름(10) 교환 방법은 고정 단계, 절단 단계, 1차 해제 단계, 교체 단계, 연결 단계, 2차 해제 단계 및 이동 단계를 포함할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 필름(10)을 교환하기 이전(즉, 몰드를 전사하는 동안)에는 필름 교환부(400)는 필름(10)의 가압이 해제되어 필름(10)이 이동할 수 있으며, 뒤에 필름(10)을 교환하는 순서를 순차적으로 설명하고자 한다.
먼저, 도 6에 도시된 바와 같이, 몰드의 패턴을 전사하는 전사부(100)에 공급 또는 회수되는 필름(10)의 일 영역에서 전측 및 필름(10)의 일 영역에서 전측보다 전사부(100)로부터 이격된 위치의 후측을 가압하여 고정할 수 있다. 이때, 고정 단계는 제1 고정부(421) 및 제2 고정부(422)가 각각 제1 승강부(425) 및 제2 승강부(426)에 의해서 하강하여 필름(10)을 가압하여 고정할 수 있다.
다음, 도 6에 도시된 바와 같이, 절단 단계는 고정된 필름(10)의 일 영역에서 전측 및 후측 사이의 일 지점을 절단할 수 있다. 이때, 절단 단계는 지지부(410)에 형성된 절단부(411)에 칼날이 가이드되어 이동하면서 필름(10)의 일지점을 절단할 수 있다.
다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 1차 해제 단계는 필름(10)의 일 영역에서 전측의 가압을 해제할 수 있다. 이때, 1차 해제 단계는 제1 고정부(421)가 제1 승강부(425)에 의해서 상승하여 필름(10)의 가압을 해제할 수 있다.
다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 교체 단계는 필름(10)의 절단된 일 지점부터 필름(10)의 일 영역에서 후측 이후 부분은 유지하고, 필름(10)의 절단된 일 지점부터 필름(10)의 일 영역에서 전측 이전 부분은 다른 필름(10)으로 교체할 수 있다. 예를 들어, 필름(10)의 절단된 일 지점부터 필름 회수부(300)까지는 유지하고, 필름(10)의 절단된 일 지점부터 필름 공급부(200)까지는 교체할 수 있다. 이때, 교체된 필름(10)의 일측은 제1 고정부(421)를 통과하여 지지부(410)에 위치할 수 있다.
다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 연결 단계는 교체된 필름(10)의 일측과 유지된 필름(10)의 일측을 연결할 수 있다. 이때, 연결 단계는 일면에 접착성을 가지는 테이프(T1)를 매개로 교체된 필름(10)의 일측과 유지된 필름(10)의 일측을 연결할 수 있다.
다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 2차 해제 단계는 필름(10)의 일 영역에서 후측의 가압을 해제할 수 있다. 이때, 2차 해제 단계는 제2 고정부(422)가 제2 승강부(426)에 의해서 상승하여 필름(10)의 가압을 해제할 수 있다.
다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 이동 단계는 필름(10)의 연결된 부분이 일 영역을 빠져나오도록 필름(10)을 이동할 수 있다. 이때, 필름(10)의 연결된 부분이 필름 회수부(300)에 감길 때까지 필름(10)을 필름 공급부(200)에서 필름 회수부(300)로 이동시킬 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 본 발명은 필름 교환 시 필름에 접하고 있는 구성의 분해없이 필름을 교환할 수 있으므로 필름 교환에 따른 공정 시간이 감소되는 효과가 있다.
이상, 바람직한 실시예를 통하여 본 발명에 관하여 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 청구범위 내에서 다양하게 실시될 수 있다.
10: 필름 20: 몰드
30: 전사물 50: 가이드롤
100: 전사부 200: 필름 공급부
300: 필름 회수부 400: 필름 교환부
410: 지지부 411: 절단부
421: 제1 고정부 422: 제2 고정부
423: 측면 고정부 424: 하면 고정부
425: 제1 승강부 426: 제2 승강부
430: 그립부 G1: 제1 간극
G2: 제2 간극 T1: 테이프

Claims (12)

  1. 필름을 이용하여 몰드의 패턴을 전사하는 전사부;
    상기 필름을 권출하여 상기 전사부를 향하여 상기 필름을 공급하는 필름 공급부;
    상기 필름을 귄취하여 상기 전사부로부터 상기 필름을 회수하는 필름 회수부;
    상기 전사부와 상기 필름 공급부 사이 및 상기 전사부와 상기 필름 회수부 사이 중 하나 이상에 위치하여 상기 필름의 일 지점을 절단할 수 있도록 선택적으로 필름의 일 지점과 인접하는 타 지점을 가압하는 필름 교환부; 를 포함하고,
    상기 필름 교환부에 의해서 상기 필름의 일 지점이 절단되어도 상기 필름의 상기 필름 교환부와 상기 전사부 사이는 장력이 유지되는 것을 특징으로 하는,
    상기 필름 교환부는,
    상기 필름의 일 영역에서 전측의 일면을 선택적으로 가압하여 고정시키는 제1 고정부;
    상기 필름의 일 영역에서 후측의 일면을 선택적으로 가압하여 고정시키는 제2 고정부;
    상기 제1 고정부 및 제2 고정부에 의해서 가압된 상기 필름의 타면을 지지하는 지지부; 를 포함하고,
    상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부에 의해서 상기 필름의 상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부 사이의 일 지점을 절단하는 동안 상기 필름의 일 영역은 장력이 유지되는 것을 특징으로 하는,
    필름 교환이 용이한 전사 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 고정부 및 제2 고정부는,
    상기 필름이 이동하는 상기 제1 고정부와 상기 지지부 사이의 간극의 크기인 제1 간극을 조절하도록 상기 제1 고정부를 승강시키는 제1 승강부;
    상기 필름이 이동하는 상기 제2 고정부와 상기 지지부 사이의 각극의 크기인 제2 간극을 조절하도록 상기 제2 고정부를 승강시키는 제2 승강부; 를 포함하고,
    상기 제1 간극 및 상기 제2 간극이 작아지면 상기 필름이 고정되고, 상기 제1 간극 및 상기 제2 간극이 커지면 상기 필름의 고정이 해제되는 것을 특징으로 하는,
    필름 교환이 용이한 전사 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1 고정부 및 제2 고정부는,
    상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부의 양측 중 하나 이상으로부터 상기 지지부의 측면을 감싸도록 연장되는 측면 고정부;
    상기 측면 고정부로부터 상기 지지부의 하면을 감싸도록 연장되는 하면 고정부; 를 포함하는,
    필름 교환이 용이한 전사 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 하면 고정부는 각각 상기 제1 승강부 및 상기 제2 승강부에 결합되어 승강됨으로써 하면 고정부로부터 연장된 상기 제1 고정부 및 제2 고정부가 연동되어 승강되는 것을 특징으로 하는,
    필름 교환이 용이한 전사 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부는 고정 상태에서 상기 필름이 이탈하는 것을 방지하기 위해 비금속으로 형성된 그립부가 상기 필름의 폭방향을 따라서 위치하는 것을 특징으로 하는,
    필름 교환이 용이한 전사 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 지지부는,
    상기 필름을 절단하기 위한 칼날의 이동방향을 가이드 하도록 상기 지지부의 일면에 상기 필름의 폭방향을 따라서 홈 형상으로 형성되는 절단부; 를 포함하는,
    필름 교환이 용이한 전사 장치.
  8. 몰드의 패턴을 전사하는 전사부에 공급 또는 회수되는 필름의 일 영역에서 전측 및 후측을 가압하여 고정하는 고정 단계;
    상기 고정된 필름의 일 영역에서 전측 및 후측 사이의 일 지점을 절단하는 절단 단계;
    상기 필름의 일 영역의 전측의 가압을 해제하는 1차 해제 단계;
    상기 필름의 절단된 일 지점부터 상기 필름의 일 영역의 후측 이후 부분는 유지하고, 상기 필름의 절단된 일 지점부터 상기 필름 중 상기 필름의 일 영역에서 전측 이전 부분은 다른 필름으로 교체하는 교체 단계;
    상기 교체된 상기 필름의 일측과 상기 유지된 상기 필름의 일측을 연결하는 연결 단계;
    상기 필름의 일 영역에서 후측의 가압을 해제하는 2차 해제 단계;
    상기 필름의 연결된 부분이 상기 일 영역을 빠져나오도록 상기 필름을 이동하는 이동 단계; 를 포함하는,
    필름 교환 방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 고정 단계는 제1 고정부 및 제2 고정부가 각각 제1 승강부 및 제2 승강부에 의해서 하강하여 필름을 가압하여 고정하는 것을 특징으로 하는,
    필름 교환 방법.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 1차 해제 단계는 제1 고정부가 제1 승강부에 의해서 상승하여 필름의 가압을 해제하는 것을 특징으로 하는,
    필름 교환 방법.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 연결 단계는 일면에 접착성을 가지는 테이프를 매개로 연결하는 것을 특징으로 하는,
    필름 교환 방법.
  12. 청구항 8에 있어서,
    상기 2차 해제 단계는 제2 고정부가 제2 승강부에 의해서 상승하여 필름의 가압을 해제하는 것을 특징으로 하는,
    필름 교환 방법.
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