DE112011103391B4

DE112011103391B4 - Entformungseinrichtung

Info

Publication number: DE112011103391B4
Application number: DE112011103391.5T
Authority: DE
Inventors: Shinya Itani; Hiromi Nishihara; Takato Baba; Takaharu Tashiro; Takafumi Ookawa; Hidetoshi Kitahara
Original assignee: Toshiba Machine Co Ltd
Current assignee: Shibaura Machine Co Ltd
Priority date: 2010-10-08
Filing date: 2011-09-30
Publication date: 2021-07-22
Anticipated expiration: 2031-10-01
Also published as: JP5593190B2; KR101421396B1; TWI436878B; KR20130051001A; US20130323347A1; US9415537B2; JP2012081618A; WO2012046660A1; DE112011103391T5; TW201221329A

Abstract

Entformungseinrichtung (7) zum Ablösen einer bahnförmigen Form (MA), welche an einem flachplattigen Formerzeugnis (W) anhaftet, von dem Formerzeugnis (W) nach Übertragung eines feinen Übertragungsmusters, welches an der Form ausgebildet ist, an das Formerzeugnis (W), wobei die Entformungseinrichtung (7) aufweist:
einen Formerzeugnishalter (19), welcher an einer von einer Übertragungsanlage (5), wo die Übertragung stattfindet, entfernten Position angeordnet ist und ausgestaltet ist, das Formerzeugnis (W) aus der Form (MA) und das Formerzeugnis (W), welche aneinander anhaften, zu halten; und
eine Ablöserolleneinheit (23), die ausgestaltet ist, die Form (MA) von dem Formerzeugnis (W) durch Relativbewegen zu dem Formerzeugnishalter (19) abzulösen, wobei die Form (MA) an dem Formerzeugnis (W) anhaftet, das durch den Formerzeugnishalter (19) gehalten wird, und die Form (MA) auf die Ablöserolleneinheit (23) gewickelt wird.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Entformungseinrichtung oder genauer gesagt auf eine Einrichtung, die ausgestaltet ist, eine bahnförmige Form von einem Formerzeugnis in dem Fall abzulösen, wo die bahnförmige Form an dem Formerzeugnis als Ergebnis eines Übertragens eines feinen Übertragungsmusters an das Formerzeugnis, welches auf der bahnförmigen Form ausgeformt ist, anhaftet.
STAND DER TECHNIK
Eine Nanoeinprägtechnologie wurde in den letzten Jahren studiert und entwickelt. Diese Technik ist dafür bestimmt, eine Form durch Ausformen eines ultrafeinen Übertragungsmusters auf einem Quarzsubstrat oder dergleichen durch Elektronenstrahllithographie oder dergleichen auszubilden, und das Übertragungsmuster, welches auf der Form ausgeformt ist, auf ein Formerzeugnis durch Andrücken der Form mit einem vorbestimmten Druck gegen das Formerzeugnis zu übertragen (siehe beispielsweise NPL 1).
Einprägverfahren, welche lithographische Techniken verwenden, wurden als Verfahren zum kostengünstigen Ausformen eines feinen Musters (eines Übertragungsmusters) im Nanometerbereich entwickelt. Solche Ausformverfahren werden allgemein in thermische Einprägverfahren und UV-Einprägverfahren unterteilt. Derartige Verfahren sind beispielsweise auch aus der US 6 761 607 B2 und der US 2003 0 145 459 A1 bekannt.
In dem thermischen Einprägverfahren wird eine Form gegen ein Substrat gedrückt, während ein Harz, welches aus einem thermoplastischen Polymer (einem thermoplastischen Harz) hergestellt ist, auf eine Temperatur erwärmt wird, bei welcher das Harz genügend fließfähig ist, und das Harz in ein feines Muster eingegeben wird. Anschließend werden die Form und das Harz auf eine Glasübergangstemperatur oder darunter abgekühlt und die Form wird, nachdem das feine Muster, welches auf das Substrat übertragen wurde, verfestigt ist, abgelöst.
Das UV-Einprägverfahren verwendet eine transparente Form, die lichtdurchlässig ist. Die Form wird gegen eine UVaushärtbare Flüssigkeit gedrückt, die UV-Strahlungslicht ausgesetzt wird. Die Flüssigkeit wird verfestigt, indem sie dem Strahlungslicht für eine angemessene Zeitdauer ausgesetzt wird, und die Form wird nachdem das feine Muster daran übertragen wurde, entfernt.
In einem anderen Aspekt des Übertragungsprozesses kann das Übertragungsmuster, welches auf einer Form ausgeformt ist, einmal an ein Bahnmaterial übertragen werden, und das Bahnmaterial, an welches das Übertragungsmuster übertragen wurde, kann als eine zweite Form (eine bahnförmige Form) verwendet werden, um das Übertragungsmuster auf der bahnförmigen Form an ein Formerzeugnis zu übertragen.
Dabei ist beispielsweise eine Einrichtung, welche in PTL1 gezeigt ist (siehe 9 und dergleichen in der Literatur) als eine Einrichtung bekannt, die ausgestaltet ist, eine bahnförmige Form von einem Formerzeugnis durch Verwenden einer Rolle in dem Fall zu lösen, wo die bahnförmige Form an einem Formerzeugnis als Ergebnis des Übertragens eines feinen Übertragungsmusters an das Formerzeugnis anhaftet, welches auf der bahnförmigen Form ausgeformt ist.
Literaturliste
Patentliteratur
[PTL1] Japanische Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer JP 2010 105 314 A
Nichtpatentliteratur
[NPL1] CHOI, B.J. [et al]: Design of orientation stages for step and flash imprint lithography. In: Process Engineering, Vol. 25; 2001; S. 192 - 199; ISSN 0141-6359
DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Technisches Problem
Aufgrund der Art und Weise wie die konventionelle Einrichtung, welche in PTL1 gezeigt ist, ausgestaltet ist, um die Übertragung und Ablösung der bahnförmigen Form durch Verwendung der gleichen Einrichtung auszuführen, steht die Einrichtung daher vor einem Problem aufgrund ihres komplizierten Aufbaus.
Insbesondere muss die Rolle in einem Raum angeordnet sein, wo die Übertragung stattfindet und die Rolle muss bewegt werden, um die bahnförmige Form abzulösen. Daher ist der Aufbau der Einrichtung kompliziert, da Komponenten umfassend die Rolle in dem eingeschränkten Raum angeordnet werden müssen.
Die vorliegende Erfindung wurde hinsichtlich des zuvor erwähnten Problems gemacht. Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Aufbau einer Entformungseinrichtung zu vereinfachen, die ausgestaltet ist, eine bahnförmige Form, die an einem Formerzeugnis anhaftet, von dem Formerzeugnis, nachdem ein feines Übertragungsmuster, welches auf der bahnförmigen Form ausgeformt ist, an das Formerzeugnis übertragen wurde, zu lösen.
Lösung des Problems
Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung ist Entformungseinrichtung zum Ablösen einer bahnförmigen Form, welche an einem flachplattigen Formerzeugnis anhaftet, von dem Formerzeugnis nach Übertragung eines feinen Übertragungsmusters, welches an der Form ausgebildet ist, an das Formerzeugnis. Die Entformungseinrichtung weist auf: einen Formerzeugnishalter, welcher an einer von einer Übertragungsanlage, wo die Übertragung stattfindet, entfernten Position angeordnet ist und ausgestaltet ist, das Formerzeugnis aus der Form und das Formerzeugnis, welche aneinander anhaften, zu halten; und eine Ablöserolleneinheit, die ausgestaltet ist, die Form von dem Formerzeugnis durch Relativbewegen zu dem Formerzeugnishalter abzulösen, wobei die Form an dem Formerzeugnis anhaftet, das durch den Formerzeugnishalter gehalten wird, und die Form auf die Ablöserolleneinheit gewickelt ist.
Die Verformungseinrichtung kann ferner eine Formhalteeinheit aufweisen, die ausgestaltet ist, die Form an einem Ort zwischen der Übertragungsanlage, wo die Übertragung stattfindet, und dem Formerzeugnishalter zu halten.
Die Verformungseinrichtung kann ferner eine Spannungsanpassungseinheit aufweisen, die ausgestaltet ist, eine Spannung der Form anzupassen.
Vorteilhafte Effekte der Erfindung
Die vorliegende Erfindung weist einen Effekt auf, das ein Aufbau einer Entformungseinrichtung, die ausgestaltet ist, eine bahnförmige Form, die an einem Formerzeugnis anhaftet, abzulösen, nachdem ein feines Übertragungsmuster, welches auf der bahnförmigen Form ausgebildet ist, an das Formerzeugnis übertragen wurde, verglichen zu einer herkömmlichen Einrichtung vereinfacht werden kann.
Figurenliste

[1] 1 ist eine Vorderansicht, die schematisch ein Aufbau eines Übertragungsystems gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
[2] 2 ist eine Ansicht entlang der Linie II-II in 1, die aus der daran angebrachten Pfeilrichtung betrachtet wird.
[3] 3 ist eine Ansicht entlang der Linie III-III in 1, die aus der daran angebrachten Pfeilrichtung betrachtet wird.
[4] 4 ist eine Ansicht entlang der Linie IV-IV in 1, die aus der daran angebrachten Pfeilrichtung betrachtet wird.
[5] 5 ist eine Ansicht, die den Betrieb einer Entformungseinrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
[6] 6 ist eine Ansicht, die den Betrieb der Entformungseinrichtung zeigt.
[7] 7 ist eine Ansicht, die den Betrieb der Entformungseinrichtung zeigt.
[8] 8 ist eine Ansicht, die eine Übersicht einer Spannungsanpassungseinheit gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
[9] 9 ist eine Ansicht, die eine Übersicht eines Übertragungsprozesses gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
[10] 10 ist eine Ansicht, die zu 1 gehört, und einen Aufbau einer Entformungseinrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
[11] 11 ist eine andere Ansicht, die zu 1 gehört, und die den Aufbau einer Entformungseinrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGFORMEN
Wie in 1 und dergleichen gezeigt, umfasst ein Übertragungssystem 1 eine bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3, eine Übertragungseinrichtung 5, und eine Entformungseinrichtung (eine Ablöserichtung) 7.
Im Folgenden wird eine horizontale Richtung als eine X-Achsenrichtung definiert, während eine andere horizontale Richtung, die senkrecht zu der X-Achsenrichtung angeordnet ist, als Y-Achsenrichtung definiert wird, und eine vertikale Richtung, welche orthogonal zu der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung angeordnet ist, wird als Z-Achsenrichtung zur Einfachheit der Beschreibung definiert.
Die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 umfasst eine ungenutzt-gerollte Form-Anordnungseinrichtung 9 und eine Form-Aufwicklungseinrichtung 11. Die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 ist eine Einrichtung, die ausgestaltet ist, eine bahnförmige Form MA in eine flache Platte an einer vorbestimmten Position (beispielsweise zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11) auszubilden, und die flachplattige bahnförmige Form MA in eine vorbestimmte Richtung (beispielsweise von der rechten zu der linken in 1) zuzuführen und die bahnförmige Form MA anzuordnen.
Die Übertragungseinrichtung 5 ist eine Einrichtung zum Übertragen eines feinen Übertragungsmusters MB (siehe 9), welches auf der bahnförmigen Form MA ausgeformt ist, auf ein Formerzeugnis W.
Die Ablöseeinrichtung (eine bahnförmige Formtrenneinrichtung) 7 ist eine Einrichtung zum Ablösen (Abtrennen) der bahnförmigen Form MA von dem Formerzeugnis W in dem Fall, bei dem die bahnförmige Form MA nach dem Durchführen eines Übertragungsprozesses durch die Übertragungseinrichtung W an dem Formerzeugnis (einem Übertragungs-Formerzeugnis) W anhaftet.
Die Übertragungseinrichtung 5 und die Ablöseeinrichtung 7 sind zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 angeordnet. Die Übertragungseinrichtung 5 und die Ablöseeinrichtung 7 sind voneinander entfernt in der X-Achsenrichtung angeordnet. Die Übertragungseinrichtung 5 ist in eine Zuführrichtung der bahnförmigen Form MA auf einer Stromaufwärtsseite (in der Nähe der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9) durch die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 platziert, und die Ablöseeinrichtung 7 ist in die Zuführrichtung der bahnförmigen Form MA auf einer Stromabwärtsseite (in der Nähe der Form-Aufwicklungseinrichtung 11) durch die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 platziert.
Die flachplattig-bahnförmige Form MA wird durch Verwendung der Übertragungseinrichtung 5 zugeführt und zur Vorbereitung des Übertragungsprozesses positioniert, wenn das feine Übertragungsmuster MB (siehe 9) auf der flachplattig-bahnförmigen Form MA zu dem flachplattigen Formerzeugnis W übertragen wird, und durch Verwendung der Entformungseinrichtung 7, in dem Fall, bei dem die bahnförmige Form MA als Konsequenz des Übertragungsprozesses an dem Formerzeugnis W anhaftet, zur Vorbereitung eines Ablöseprozesses zugeführt und positioniert, wenn die bahnförmige Form MA von der bahnförmigen Form MA abgetrennt wird.
Die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 wird nun ferner im Detail beschrieben.
Die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 umfasst die ungenutzt-gerollte Form-Anordnungseinrichtung 9 (eine Abwicklungsrolle), die ausgestaltet ist, eine ungenutzt-gerollte Form MC anzuordnen, die Form-Aufwicklungseinrichtung 11 (eine Aufwicklungsrolle), die ausgestaltet ist, die bahnförmige Form MA, die von der ungenutzt-gerollten Form, welche an der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung angeordnet ist, abgewickelt (ausgebreitet) wurde, aufzuwickeln, und eine nicht gezeigte bahnförmige Form-Anordnungsdetektionseinrichtung.
Des Weiteren, wie zuvor beschrieben, erstreckt sich die bahnförmige Form MA nach außen und wird im Wesentlichen in eine flache Platte an dem Ort zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 ausgeformt. Die Breitenrichtung der bahnförmigen Form MA in der flachen Plattenform deckt sich mit der Y-Achsenrichtung. Beispielsweise deckt sich die Längsrichtung davon mit der X-Achsenrichtung oder einer Querrichtung in Bezug auf die X-Achse und eine Dickenrichtung davon deckt sich mit der Z-Achsenrichtung oder eine Querrichtung in Bezug auf die Z-Achse. Hier ist beispielsweise die ungenutzt-gerollte Form-Anordnungseinrichtung 9 und die Form-Aufwicklungseinrichtung 11 ganzheitlich mit einer Basis 13 der Ablöseeinrichtung 7 über nicht gezeigte Klammern vorgesehen.
Eine vorgegebene Spannung in der Längsrichtung wird durch Spannungsapplizierungsmittel 15 auf die bahnförmige Form MA in der flache Plattenform zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 appliziert. Somit erhält die bahnförmige Form MA den Zustand der flachen Plattenform aufrecht. Das feine Übertragungsmuster MB, welches in 1 und dergleichen nicht gezeigt ist, wird auf einer unteren Oberfläche der flachplattigen bahnförmigen Form MA ausgeformt.
Die ungenutzt-gerollte Form (die Form in einer gewickelten Gestalt MC) ist die Form in einer Gestalt einer Rolle vor der Verwendung in dem Übertragungsprozess durch die Übertragungseinrichtung 5. Die ungenutzt-gerollte Form MC ist in einer zylindrischen oder säulenförmigen Gestalt so ausgebildet, indem die bahnförmige Form MA um eine äußere Umfangsfläche eines säulenförmigen Kernelements 17 in so einer Form gewickelt wird, dass sich eine Umfangsrichtung des äußeren Umfangs mit der Längsrichtung der bahnförmigen Form MA deckt.
Eine Aufwicklungsform MD, welche durch die Form-Aufwicklungseinrichtung 11 aufgewickelt ist, ist die Form, welche in dem Übertragungsprozess durch die Übertragungseinrichtung 5 verwendet wurde und von dem Formerzeugnis W durch die Ablöseeinrichtung 7 abgelöst wurde. Die Aufwicklungsform ist in der Gestalt einer Rolle vorgesehen, ähnlich zu der ungenutzt-gerollten Form MC.
Die ungenutzt-gerollte Form MC, welche auf der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 angeordnet ist, ist um eine Mittelachse (eine Achse, die sich in die Y-Achsenrichtung erstreckt) C1 der ungenutzt-gerollten Form MC drehbar. Die Aufwicklungsform MD, welche durch die Form-Aufwicklungseinrichtung 11 aufgewickelt ist, ist ebenfalls um eine Mittelachse (eine Achse, die sich in die Y-Achsenrichtung erstreckt) C2 der Aufwicklungsform MD drehbar.
Die flachplattig-bahnförmige Form MA, welche zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 vorliegt, wird durch die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 durch Aufwickeln einer vorbestimmten Menge der bahnförmigen Form MA mit der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 zugeführt und positioniert.
Ein einzelner Zuführabstand durch die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 ist entweder identisch mit einem Abstand einer Region, in welcher ein feines Übertragungsmuster MB ausgeformt ist, oder identisch zu einem Abstand (einem Abstand in die X-Achsenrichtung) zwischen der Mitte in der X-Achsenrichtung der Übertragungseinrichtung 5 und der Mitte in die X-Achsenrichtung der Ablöseeinrichtung 7 (einem später im Detail beschriebenen Formerzeugnishalter 19) .
Darüber hinaus, werden, wenn die bahnförmige Form MA zugeführt wird, oder nachdem sie durch die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 zugeführt wurde, die bahnförmige Form MA, die sich in dem Raum zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 erstreckt, im Wesentlichen an der gleichen Position gehalten, während die vorbestimmte Spannung mit der Hilfe der Spannungsapplizierungsmittel 15 aufrechterhalten wird.
Die Spannungsapplizierungsmittel 15 werden im Detail anhand eines Beispiels beschrieben. Die ungenutzt-gerollte Form MC, welche auf der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 angeordnet ist, ist drehbar ausgeführt, indem sie mit einer Drehausgangswelle eines Aktuators, zum Beispiel eines Motors, über eine Drehmomentregelungskupplung, wie zum Beispiel einer Pulverkupplung, verbunden ist. Die bahnförmige Form (die aufgewickelte Form) MD, welche durch die Form-Aufwicklungseinrichtung 11 aufzuwickeln ist, ist drehbar ausgestaltet, indem sie als Drehausgangswelle eines Aktuators, wie zum Beispiel eines Servomotors, betrachtet wird.
Währenddessen wird, in dem Fall, in dem die bahnförmige Form MA, die sich an dem Ort zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 erstreckt, unter Steuerung einer Steuereinrichtung 21 zugeführt wird, der Motor der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 rückwärts gedreht (die Drehausgangswelle des Motors für die ungenutzt-gerollte Form MA wird rückwärts gedreht, sodass die flachplattig-bahnförmige Form MA durch die ungenutzt-gerollte Form-Anordnungseinrichtung 9 aufgerollt wird), das Drehmoment der Pulverkupplung wird auf einen vorbestimmten Wert T1 gesetzt, und die Drehausgangswelle des Servomotors der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 wird um einen vorbestimmten Drehwinkel mit vorbestimmten Moment T2 in einer Aufwicklungsrichtung der flachplattig-bahnförmigen Form MA gedreht.
In diesem Fall, wenn der Radius der ungenutzt-gerollten Form MC, welche auf der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 angeordnet ist, als „R1“ definiert wird und der Radius der aufgewickelten Form MD auf der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 als „R2“ definiert wird, dann gilt eine Relation „T1/R1<T2/R2“. Dementsprechend wird die flachplattig-bahnförmige Form MA, die sich an dem Ort zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 befindet, der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 zugeführt, während eine vorbestimmte Spannung F1 (F1 = T1/R2-T1/R1) aufrechterhalten wird.
In dem Zustand, bei welchem die flachplattig-bahnförmige Form MA durch die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 nicht zugeführt wird, und die flachlpattig-bahnförmige Form MA damit an der gleichen Position bleibt, steht die Drehausgangswelle des Servomotors der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 mit einem vorbestimmten Rückhaltemoment still. Dabei erlangt die flachplattig-bahnförmige Form MA die vorbestimmte Spannung über den Motor und die Pulverkupplung der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9.
Festlegung des Zuführabstandes (Zuführpositionierung) der flachplattig-bahnförmigen Form MA, die sich an dem Ort zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 erstreckt, wird durch Verwendung der nicht gezeigten bahnförmigen Form-Anordnungsdetektionseinrichtung (einem nicht gezeigten bahnförmigen Form-Positionierungsdetektor) durchgeführt.
Die bahnförmige Form-Anordnungsdetektionseinrichtung ist ausgestaltet, eine vorbestimmte Region (wie zum Beispiel eine nicht gezeigte Ausrichtungsmarkierung) der bahnförmigen Form MA durch Verwenden eines nicht gezeigten Sensors zu detektieren. Genauer gesagt wird die bahnförmige Form positioniert, indem die Zuführung der bahnförmigen Form MA durch die Zuführpositionierungseinrichtung 3 unter Steuerung der Steuereinrichtung 21 unter Bezugnahme auf ein Ergebnis einer Detektion mit dem Sensor, wenn die bahnförmige Form durch die bahnförmige Form-Anordnungseinrichtung 3 zugeführt wird, gestoppt wird.
Nun wird ein Übertragungsprozess unter Verwendung der Übertragungseinrichtung 5 gemäß eines UV-Einprägverfahrens unter Bezugnahme auf 9 beschrieben.
Das feine Übertragungsmuster MB auf der bahnförmigen Form MA wird beispielsweise durch eine Vielzahl von feinen Erhebungen und Vertiefungen ausgebildet. Das feine Übertragungsmuster MB ist auf einer der Oberflächen in die Dickenrichtung der bahnförmigen Form MA so ausgebildet, dass die Höhe und der Zwischenraum in etwa gleich der Wellenlänge von sichtbarem Licht oder leicht größer als die Wellenlänge von sichtbarem Licht gesetzt werden. Mit anderen Worten wird das feine Übertragungsmuster MB beispielsweise auf einer unteren Oberfläche der flachplattig-bahnförmigen Form MA ausgeformt.
In dem UV-Einprägverfahren wird die Übertragungseinrichtung 5 zum Bewegen der bahnförmigen Form MA in Richtung eines Pfeiles, welcher in 9a gezeigt ist, verwendet, um das Formerzeugnis W mit einer geringen Kraft über die bahnförmige Form MA zu drücken, wie in 9b gezeigt, und ultraviolette Strahlen zu emittieren, um ein ultraviolett-aushärtbares Harz W2 auszuhärten. Somit wird das feine Übertragungsmuster auf das Formerzeugnis W (das ultraviolett-aushärtbare Harz W2) übertragen. Hier wird das Formerzeugnis ausgeformt, indem ein Dünnfilm von ultraviolett-aushärtbarem Harz W2 auf einer der Oberflächen (wie beispielsweise der oberen Oberfläche) in die Dickenrichtung eines bahnförmigen Basismaterials (eines Basismaterials, welches aus Glas, Silizium oder dergleichen) W1 vorgesehen ist.
Anschließend, wenn die bahnförmige Form MA von dem Formerzeugnis W durch Verwenden der Ablöseeinrichtung 7 getrennt wird, zeichnet sich ein feines Übertragungsmuster (ein zu dem Übertragungsmuster MB der bahnförmigen Form MA invertiertes Muster), welches aus dem Formerzeugnis W (dem ultraviolett-aushärtbarem Harz W2) ausgeformt ist, ab und ist in 9c gezeigt.
Anschließend wird der überbleibende Film durch Veraschung oder dergleichen unter Verwendung einer anderen Einrichtung entfernt. Nun wird, in dem Zustand, welcher in 9c gezeigt ist, ein feines Übertragungsmuster aus dem Basismaterial W1 durch Ätzen ausgeformt, während das ultraviolett-aushärtbare Harz W2 als Abdeckelement verwendet wird. Anschließend wird die Übertragung des Feinübertragungsmusters zu dem Basismaterial W1 vervollständigt, wie in 9d gezeigt, indem das ausgehärtete ultraviolett-aushärtbare Harz W2 beispielsweise mit einem Lösungsmittel entfernt wird.
Obwohl die vorherige Beschreibung des UV Einpräverfahrens als Beispiel aufgeführt wurde, kann die Übertragungseinrichtung 5 als eine Einrichtung zum Durchführen eines thermischen Bedruckungsverfahrens durch Bereitstellung der Übertragungseinrichtung 5 mit Einrichtungen zum Heizen und Kühlen des Formerzeugnises W ausgestaltet werden.
Wie zuvor beschrieben, ist die Übertragungseinrichtung 5 eine Einrichtung, die ausgestaltet ist, die flachplattig-bahnförmige Form MA gegen das Formerzeugnis W zu drücken und dabei das feine Übertragungsmuster B, welches auf der flachplattig-bahnförmigen Form MA ausgebildet ist, auf das Formerzeugnis (einem Übertragungsprodukt) W zu übertragen.
Das Formerzeugnis W wird beispielsweise in eine rechteckige flachplattige Form ausgebildet, und ist auf der Übertragungseinrichtung 5 so angeordnet, dass die Längsrichtung des Formerzeugnisses W sich mit der X-Achsenrichtung deckt, sich die Breitenrichtung davon mit der Y-Achsenrichtung deckt, und sich die Dickenrichtung davon mit der Z-Achsenrichtung deckt.
Bei Beenden(Stoppen) der Zuführpositionierung der bahnförmigen Form MA durch die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3, wird die Dickenrichtung der bahnförmigen Form MA mit der Z-Achsenrichtung ausgerichtet und die bahnförmige Form MA wird leicht oberhalb des Formerzeugnisses W, welches auf der Übertragungseinrichtung 5 angeordnet ist, platziert. Dabei überlappen sich in einer Draufsicht von der Z-Achsenrichtung aus betrachtet das feine Übertragungsmuster B und eine Region des Formerzeugnisses W, welches auf der Übertragungseinrichtung 5 angeordnet ist, wo das feine Übertragungsmuster auszubilden ist. Die Breite der bahnförmigen Form MA ist im Wesentlichen identisch zu der Breite des Formerzeugnisses W.
Die Übertragungseinrichtung 5 führt die Übertragung durch Andrücken der bahnförmigen Form MA gegen das Formerzeugnis W in beispielsweise der Z-Achsenrichtung aus. Umgehend nachdem die Übertragung ausgeführt wurde (bevor die Ablösung durch die Ablöseeinrichtung 7 ausgeführt wird) befindet sich die untere Oberfläche der bahnförmigen Form MA in Kontakt mit der oberen Oberfläche des Formerzeugnisses W und somit haftet die bahnförmige Form MA an dem Formerzeugnis W an (siehe 9b und dergleichen). Ferner wird das Formerzeugnis W unterhalb der bahnförmigen Form MA angeordnet.
Anschließend wird die Ablöseeinrichtung 7 im Detail beschrieben.
Wie zuvor erwähnt, ist die Ablöseeinrichtung 7 beispielsweise die Einrichtung, die ausgestaltet ist, die bahnförmige Form MA von dem Formerzeugnis W in dem Fall abzulösen, bei welchem die bahnförmige Form MA an dem Formerzeugnis nach dem Übertragungsprozess des Übertragens des feinen Übertragungsmusters MB, welches auf der bahnförmigen Form MA ausgebildet ist, an das flachplattige Formerzeugnis W durch Verwenden der Übertragungseinrichtung 5, anhaftet.
Die Ablöseeinrichtung 7 umfasst den Formerzeugnishalter 19 und eine Ablöserolleneinheit 23.
Der Formerzeugnishalter 19 ist beispielsweise an einer Position in der X-Achsenrichtung von einer Übertragungsanlage (der Übertragungseinrichtung 5), wo der Übertragungsprozess stattfindet, angeordnet, und ist ausgestaltet, das Formerzeugnis W aus der bahnförmigen Form MA und das Formerzeugnis W, welche aneinander anhaften, zu halten.
Die Ablöserolleneinheit 23 wird beispielsweise auch in die X-Achsenrichtung entfernt von der Übertragungsanlage (der Übertragungseinrichtung 5) angeordnet, wo der Übertragungsprozess stattfindet. Darüber hinaus soll die bahnförmige Form MA, welche an dem Formerzeugnis W, welches durch den Formerzeugnishalter 19 gehalten wird, anhaftet, auf die Ablöserolleneinheit 23 aufgewickelt werden. Darüber hinaus wird die bahnförmige Form MA von dem Formerzeugnis W abgelöst, wenn die Ablöserolleneinheit 23 mit der bahnförmigen Form MA, welche drauf gewickelt ist, sich relativ zu dem Formerzeugnishalter 19 (dem Formerzeugnis W) bewegt.
An der Entformungseinrichtung 7 sind ebenfalls eine Formhalteeinheit 25 und eine Spannungsanpassungseinheit 27 vorgesehen. Die Formhalteeinheit 25 ist ausgestaltet, die bahnförmige Form MA an einem Ort zwischen der Übertragungseinrichtung 5 und dem Formerzeugnishalter 19 zu halten. Die Spannungsübertragungseinheit 27 ist ausgestaltet, die Spannung der bahnförmigen Form MA, welche sich zwischen entweder der Ablöserolleinheit 23 oder der Formhalteeinheit 25 der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 erstreckt, anzupassen. Um genauer zu sein, ist die Spannungsanpassungseinheit 27 ausgestaltet, die Spannung der flachplattig-bahnförmigen Form MA an eine im Wesentlichen konstante Höhe anzupassen, um einem Verlieren der bahnförmigen Form MA oder einem Abschneiden aufgrund einer zu hohen Spannung vorzubeugen, selbst wenn der Zustand der flachplattig-bahnförmigen Form MA, wie zum Beispiel eine Pfadlänge der Ausdehnung der flachplattig-bahnförmigen Form MA, die zwischen der Formhalteeinheit 25 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 vorliegt, als Ergebnis des Ablösens der bahnförmigen Form MA von dem Formerzeugnis W durch Verwenden der Ablöserolleinheit 23 sich verändert.
Die Spannungsanpassungseinheit 27 passt die Spannung der flachplattig-bahnförmigen Form MA an ein im Wesentlichen vorbestimmtes Level unabhängig von dem Zustand der flachplattig-bahnförmigen Form MA an, und kann dabei einem Verlieren der bahnförmigen Form MA oder dem Abschneiden, wenn das Formerzeugnis W von der flachplattig-bahnförmigen Form MA abgelöst wird, vorzubeugen.
Nun wird die Ablöseeinrichtung 7 im weiteren Detail beschrieben.
Wie zuvor erwähnt, ist an der Ablöseeinrichtung 7 die Basis 13 vorgesehen. Der Formerzeugnishalter 19 ist an einem mittleren Teil in die X-Achsenrichtung der Basis 13 angeordnet.
Darüber hinaus ist der Formerzeugnishalter 19 oberhalb einer Formerzeugnishalterstütze 29 platziert und ganzheitlich mit der Formerzeugnishalterstütze 29 vorgesehen. Die Formerzeugnishalterstütze 29 (der Formerzeugnishalter 19) wird durch einen Abstützbock (ein Abstützbock, welcher ganzheitlich mit der Basis 13 vorgesehen ist) 33 über ein Linearführungslager 31 gestützt und ist in die Z-Achsenrichtung relativ zu der Basis 13 bewegbar ausgestaltet.
Darüber hinaus kann der Formerzeugnishalter 19 (die Formerzeugnishalterstütze 29) in die Z-Achsenrichtung durch einen Aktuator, wie zum Beispiel einen Servomotor 35, unter Steuerung der Steuereinrichtung 21 frei bewegt und positioniert werden. Eine obere Oberfläche des Formerzeugnishalters 19 ist in eine rechteckige Form ausgebildet und erstreckt sich horizontal. Die Längsrichtung des Formerzeugnishalters 19 deckt sich mit der X-Achsenrichtung und die Breitenrichtung davon deckt sich mit der Y-Achsenrichtung.
Wenn der Formerzeugnishalter 19 an einem oberen Ende angeordnet wird, steht die obere Oberfläche des Formerzeugnishalters 19 leicht nach oben von einem oberen Ende der Basis 13 hervor. Wenn der Formerzeugnishalter 19 an einem unteren Ende angeordnet ist, ist der Formerzeugnishalter 19 innerhalb der Basis 13 platziert.
Die bahnförmige Form MA, die dem Übertragungsprozess durch die Übertragungseinrichtung 5 unterlag, ist mit dem Formerzeugnis W, welches an einer unteren Oberfläche davon anhaftet, vorgesehen und wird stromabwärts (in Richtung der Ablöseeinrichtung 7) von der Übertragungseinrichtung 5 durch einen vorbestimmten Abstand zugeführt und durch die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 unter Steuerung der Steuerungseinrichtung 21 positioniert.
Als Ergebnis der Zuführanordnung durch die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 wird das Formerzeugnis W, an welchem die bahnförmige Form MA als Ergebnis des Übertragungsprozesses anhaftet, oberhalb (beinahe direkt darüber) des Formerzeugnishalters 19 platziert.
Wie zuvor beschrieben, deckt sich, in dem Zustand, wo das Formerzeugnis W, welches an der bahnförmige Form MA anhaftend, oberhalb des Formerzeugnishalters 19 angeordnet ist, die Breitenrichtung von der bahnförmigen Form MA und dem Formerzeugnis W mit der Breitenrichtung des Formerzeugnishalters 19.
Währenddessen ist eine Abmessung in die Breitenrichtung der oberen Oberfläche des Formerzeugnishalters 19 im Wesentlichen identisch oder leicht größer als eine Abmessung in die Breitenrichtung des Formerzeugnises W, und eine Abmessung in die Längsrichtung der oberen Oberfläche des Formerzeugnishalters 19 ist im Wesentlichen identisch oder leicht größer als eine Abmessung in die Längsrichtung des Formerzeugnises W.
Darüber hinaus, wenn der Zustand des Formerzeugnises W, welches an der bahnförmigen Form MA anhaftet und oberhalb des Formerzeugnishalters platziert wird, in die Z-Achsenrichtung betrachtet wird, ist W beispielsweise auf einer Innenseite der oberen Oberfläche (der Formerzeugnishalter 19) des Formerzeugnishalters 19 vorhanden.
Darüber hinaus sind mehrere Vakuumhalterillen 37 auf der oberen Oberfläche des Formerzeugnishalters 19 vorgesehen. Wenn das Formerzeugnis W, welches an der bahnförmigen Form MA anhaftet, oberhalb des Formerzeugnishalters 19 angeordnet wird, und der Formerzeugnishalter 19 oberhalb des oberen Endes angeordnet wird, kommt die untere Oberfläche des Formerzeugnises W, welche an der bahnförmigen Form MA anhaftet, in Oberflächenkontakt mit der oberen Oberfläche des Formerzeugnishalters 19. Somit hält der Formerzeugnishalter 19 das Formerzeugnis W, welches an der bahnförmigen Form MA anhaftet, durch Vakuumhalten unter Steuerung der Steuereinrichtung 21.
Wenn der Formerzeugnishalter 19 an dem unteren Ende angeordnet wird, ist der Formerzeugnishalter 19 von der bahnförmigen Form MA und dem Formerzeugnis W, welches an der bahnförmigen Form MA anhaftet, entfernt.
Wie bereits verstanden, haftet das Formerzeugnis W an der bahnförmigen Form MA an, während es vorbestimmte Intervalle in der X-Achsenrichtung dazwischen bereitstellt. Dementsprechend gibt es eine Region der bahnförmigen Form MA ohne Anhaftung von jeglichen Formerzeugnissen W (einer Region, wo nur die bahnförmige Form MA vorhanden ist).
Beispielsweise umfasst die Ablöserolleneinheit 23 zwei Rollen, genauer gesagt eine untere Rolle 39 und eine obere Rolle 41. Die untere Rolle 39 ist in einer säulenförmigen oder zylindrischen Form ausgeformt, von der sich eine Achse C5 in die Y-Achsenrichtung erstreckt und ist drehbar (in einer Form, dass sie um die Achse C5 drehbar ist) durch eine Rollstütze 43 gestützt.
Währenddessen wird ein unteres Ende der unteren Rolle 39 leicht oberhalb der oberen Oberfläche der Formerzeugnisstütze 19, welche an dem oberen Ende platziert ist, angeordnet. Insbesondere befindet sich ein Abstand in der Z-Achsenrichtung zwischen der unteren Rolle 39 und der oberen Oberfläche des Formerzeugnisstüzte 19, welche an dem oberen Ende angeordnet ist. Dabei hat der Abstand entweder einen Wert, der identisch zu einer Summe der Dicke der bahnförmigen Form MA und der Dicke des Formerzeugnises W ist, oder einen Wert, der leicht größer als solch eine Summe ist.
Darüber hinaus ist eine Abmessung in die Breitenrichtung (die Abmessung in die Y-Achsenrichtung) der unteren Rolle 39 größer als die Breite der bahnförmigen Form MA. In der Y-Achsenrichtung fällt der Mittelpunkt der unteren Rolle 39 und der Mittelpunkt der bahnförmigen Form MA miteinander zusammen.
Die obere Rolle 41 ist beispielsweise in der gleichen Form ausgestaltet, wie die untere Rolle 39. Eine Achse C4 der oberen Rolle 41 erstreckt sich in die Y-Achsenrichtung und ist drehbar (in so einer Form, dass sie drehbar um die Achse C4 ist) durch die Rollstütze 43 in einer Position oberhalb der unteren Rolle 39 und entfernt von der unteren Rolle 39 gestützt. Darüber hinaus sind die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41 beispielsweise in Bezug auf die Y-Achsenrichtung und die X-Achsenrichtung gegenseitig an der gleichen Position angeordnet.
Währenddessen wird die bahnförmige Form MA, welche von der ungenutzt-gerollten Form MC ausgegeben wird, die auf der unbenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 angeordnet ist, auf die untere Rolle 39 gewickelt, anschließend auf die obere Rolle 41 gewickelt, anschließend auf eine Rolle 45 der Spannungsanpassungseinheit 27 gewickelt, und durch die Form-Aufwicklungseinrichtung 11 aufgewickelt.
Die bahnförmige Form MA wird auf die untere Rolle 39 auf einer Stromabwärtsseite (in der Nähe der Form-Aufwicklungseinrichtung 11) gewickelt. Darüber hinaus wird die bahnförmige Form MA auf die obere Rolle 41 auf einer Stromaufwärtsseite (in der Nähe der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9) gewickelt.
Dementsprechend ist, von der Y-Achsenrichtung aus betrachtet, die bahnförmige Form MA, welche auf die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41 gewickelt ist, in einer „S“-Form oder einer invertierten „S“-Form ausgebildet, wie in 1 und dergleichen gezeigt.
Die bahnförmige Form MA breitet sich in die X-Achsenrichtung und in die Y-Achsenrichtung an einem Ort zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der unteren Rolle 39 aus, und wird in der Y-Achsenrichtung betrachtet gerade gemacht. Dabei wird die bahnförmige Form MA auf die Rolle 45 der Spannungsanpassungseinrichtung 27 auf einer unteren Seite der Rolle 45 gewickelt. An einem Ort zwischen der oberen Rolle 41 und der Rolle 45 der Spannungsanpassungseinheit 27 und an einem Ort zwischen der Rolle 45 und der Spannungsanpassungseinheit 27 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 wird die Breitenrichtung der bahnförmigen Form MA mit der Y-Achsenrichtung ausgerichtet, während die Längsrichtung davon in eine „V“-Form von der Y-Achsenrichtung aus betrachtet geneigt ist.
Dabei ist die Rollstütze 43 durch einen Rollbasiskörper 49 über eine Linearführungslagerung 47 gestützt, und relativ zu dem Rollbasiskörper 49 in die X-Achsenrichtung bewegbar gemacht. Der Rollbasiskörper 49 ist ganzheitlich mit der Basis 13 über den nicht gezeigten Abstützbock vorgesehen.
Darüber hinaus kann die Rollstütze 43 frei bewegt werden und wird in die X-Achsenrichtung durch einen Aktuator, wie zum Beispiel einem Servomotor 51, unter Steuerung der Steuereinrichtung 21 positioniert. Darüber hinaus wird die untere Rolle 49 und die obere Rolle 41 in die X-Achsenrichtung mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit bewegt und positioniert.
Wenn die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41 entsprechend an der am weitesten Stromabwärtsseite angeordnet werden, sind die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41 stromabwärts des Formerzeugnishalters 19 und stromaufwärts der Rolle der Spannungsanpassungseinheit 27 vorhanden. Wenn die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41 entsprechend an der am weitesten Stromaufwärtsseite angeordnet werden, sind die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41 stromaufwärts des Formerzeugnishalters 19 und stromabwärts der Formhalteeinheit 25 vorhanden.
Die Rollstütze 43 wird oberhalb des Formerzeugnishalters 19 sowie der Basis 13 und entfernt von dem Formerzeugnishalter 19 sowie der Basis 13 angeordnet. Der Rollbasiskörper 49 wird oberhalb der Rollstütze 43 platziert. Eine obere Halterung 53, welche die Formhalteeinheit 25 ausbildet, ist an einem Endbereich (einem Endbereich in der Nähe der Übertragungseinheit 5) des Rollbasiskörpers 49 vorgesehen. Dabei ist eine untere Halterung 55, welche die Formhalteeinheit 25 ausbildet, ganzheitlich mit einem oberen Teil der Basis 13 vorgesehen, die ein Endbereich (ein Endbereich in der Nähe der Übertragungseinrichtung 5) der Basis 13 ist.
Wie in 2 gezeigt, sind Führungsstangen 57 ganzheitlich mit der oberen Halterung 53 vorgesehen. Die Führungsstangen 57 sind oberhalb der oberen Halterung 53 angeordnet und stehen vertikal von der oberen Halterung 53 nach oben. Darüber hinaus sind die Führungsstangen 57 in Eingriff mit Führungslagern 59, welche ganzheitlich mit dem Rollbasiskörper 49 vorgesehen sind. Somit ist die obere Halterung 53 bewegbar in die Z-Achsenrichtung relativ zu dem Rollbasiskörper 49 (der Basis 13) ausgestaltet.
Dabei wird die obere Halterung 53 in die Z-Achsenrichtung unter Steuerung der Steuereinrichtung 21 durch Verwenden eines Aktuators, wie zum Beispiel eines Zylinders (eines Luftzylinders beispielsweise) 61, welcher an einem oberen Teil der oberen Halterung 53 vorgesehen ist, bewegt. Ein Zylinderbereich des Luftzylinders 61 ist ganzheitlich mit dem Rollbasiskörper 49 vorgesehen und ein Spitzendbereich einer Kolbenstange davon ist ganzheitlich mit der oberen Halterung 53 im Eingriff.
Eine untere Oberfläche der oberen Halterung 53 ist in eine rechteckige flache Plattenform ausgebildet. Die Breitenrichtung der unteren Oberfläche der oberen Halterung 53 ist mit der X-Achsenrichtung ausgerichtet und die Längsrichtung der unteren Oberfläche ist mit der Y-Achsenrichtung ausgerichtet. Eine Abmessung in die Längsrichtung der unteren Oberfläche der oberen Halterung 53 ist größer als die Breite der bahnförmigen Form MA gesetzt und die Position der Mitte der bahnförmigen Form MA deckt sich in Bezug auf die Y-Achsenrichtung mit der Position der Mitte der unteren Oberfläche der oberen Halterung 53.
Eine obere Oberfläche der unteren Halterung 55 ist beispielsweise in der gleichen Form und der gleichen Größe wie die untere Oberfläche der oberen Halterung 53 ausgebildet. In die Z-Achsenrichtung betrachtet überlappen sich die untere Oberfläche der oberen Halterung 53 und die obere Oberfläche der unteren Halterung 55.
In die Z-Achsenrichtung ist die obere Oberfläche der unteren Halterung 55 unterhalb der bahnförmigen Form MA und leicht entfernt (entfernt durch einen Wert, der geringfügig größer als die Dicke des Formerzeugnises W ist) von der bahnförmigen Form MA, welche sich horizontal an dem Ort, der durch die ungenutzt-gerollte Form-Anordnungseinrichtung 9 definiert wird, erstreckt, angeordnet.
Wenn die obere Halterung 53 an einem oberen Ende angeordnet wird, wird die obere Halterung 53 oberhalb der bahnförmigen Form MA und entfernt von der bahnförmigen Form MA, die sich horizontal an einem Ort, welcher durch die ungenutzt-gerollte Form-Anordnungseinrichtung 9 definiert wird, erstreckt, platziert. Dabei wird die untere Halterung 55 unterhalb der bahnförmigen Form MA und entfernt von der bahnförmigen Form MA, die sich horizontal an dem Ort, der durch die ungenutzt-gerollte Form-Anordnungseinrichtung 9 definiert ist, erstreckt, angeordnet.
Währenddessen sind die obere Halterung 53 und die untere Halterung 55 so ausgestaltet, dass sie die bahnförmige Form MA, die sich horizontal an dem Ort, welcher durch die ungenutzt-gerollte Form-Anordnungseinrichtung 9 definiert wird, erstreckt, dazwischen einschieben und Halten, wenn die obere Halterung 53 sich nach unten von dem oberen Ende bewegt.
Wenn die obere Halterung 53 und die untere Halterung 55 aufeinander gelegt werden und die bahnförmige Form MA halten, ist die obere Oberfläche der unteren Halterung 55 in Kontakt mit der unteren Oberfläche der bahnförmigen Form MA (der Region ohne Haftung von einem Formerzeugnis W) und die untere Oberfläche der oberen Halterung 53 ist in Kontakt mit der oberen Oberfläche der bahnförmigen Form MA. Wenn die bahnförmige Form MA dazwischen eingeschoben wird, bewegt sich die Region der bahnförmigen Form MA, welche durch die Formhalteeinheit 25 (gehalten durch die obere Halterung 53 und die untere Halterung 55) und dergleichen leicht nach unten. Diese Bewegung ist dabei gering, sodass die Spannung der bahnförmigen Form MA kaum verändert wird. Somit treten Veränderungen, wie zum Beispiel Verformungen der bahnförmigen Form MA, nicht auf.
Dabei wird die bahnförmige Form MA, welche an dem Formerzeugnis W als Ergebnis des Übertragungsprozesses anhaftet, von dem Formerzeugnis W wie im Folgenden im Detail beschrieben, gelöst.
Als erstes wird der Formerzeugnishalter 19 nach unten bewegt, während die obere Halterung 53 nach oben bewegt wird und die Ablöserolleneinheit 23 an dem Endbereich auf der Stromabwärtsseite (siehe 5a) angeordnet wird. In diesem Zustand wird die bahnförmige Form MA durch die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 so zugeführt und positioniert, dass das Formerzeugnis W, welches an der bahnförmigen Form MA als Ergebnis des Übertragungsprozesses anhaftet, direkt oberhalb des Formerzeugnishalters 19 angeordnet wird.
Anschließend wird der Formerzeugnishalter 19 nach oben bewegt und an dem oberen Ende angeordnet. Das Formerzeugnis W wird durch den Formerzeugnishalter 19 gehalten. Nun wird die obere Halterung 53 nach unten bewegt und die bahnförmige Form MA wird durch die Formhalteeinheit 25 (siehe 5b) gehalten. Anschließend wird die Ablöserolleneinheit 23 (die Rollstütze 43) zu der Stromabwärtsseite mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit bewegt, bis ein Endbereich auf der Stromabwärtsseite (siehe 6) erreicht ist.
Als Ergebnis des Ausführens der zuvor beschriebenen Schritte, wird die Ablöserolleneinheit 23 (die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41) synchron mit der Bewegung der Rollstütze 43 gedreht, und die bahnförmige Form MA wird von dem Formerzeugnis W gelöst (abgerissen). In anderen Worten wird eine Lineargrenze (eine Grenze, die sich in die Breitenrichtung der bahnförmigen Form MA erstreckt) zwischen einer Region, wo die Ablösung vervollständigt wird und einer Region, wo die Ablösung nicht vervollständigt ist, von einem Endbereich zu dem anderen Endbereich (von der Linken zu der Rechten in 1 beispielsweise) der bahnförmigen Form MA in dem Zustand, wo es keine Schiene zwischen der Ablöserolleneinheit 23 und der bahnförmigen Form MA gibt, verschoben. Die Ablösung wird vollbracht, wenn diese Verschiebung beendet wird.
Dabei wird in der vorherigen Beschreibung der einzelne Luftzylinder 61 an dem mittleren Teil (der mittlere Teil in der Y-Achsenrichtung) der oberen Halterung 53 vorgesehen, um die obere Halterung 53 zu bewegen und die bahnförmige Form MA zu halten. Hier können Hilfszylinder (wie zum Beispiel Hilfszylinder) 63 zusätzlich zu dem Luftzylinder 61 vorgesehen sein (siehe 2).
Beispielsweise sind zwei Hilfszylinder 63 vorgesehen, welche entsprechend mit gegebenen Abständen in die Y-Richtung entfernt von dem Luftzylinder 61 symmetrisch in Bezug auf den Luftzylinder 61 angeordnet sind.
Jeder Hilfszylinder 63 ist oberhalb der oberen Halterung 53 angeordnet und ein Zylinderbereich davon ist ganzheitlich mit dem Rollbasiskörper 49 vorgesehen. Dabei erstreckt sich eine Zylinderstange des Hilfszylinders 63 nach unten von dem Zylinderbereich, ist aber nicht mit der oberen Halterung 53 verbunden. Somit kann die Zylinderstange frei in Kontakt mit der oberen Halterung 53 kommen oder sich von dieser zurückziehen.
Wenn die Kolbenstange des Luftzylinders 61 nach oben bewegt wird und die obere Halterung 53 an dem oberen Ende angeordnet wird, wird eine Kolbenstange des Hilfszylinders 63 nach oben bewegt und an einem oberen Ende angeordnet. Dabei ist die Kolbenstange des Hilfszylinders 63 entfernt von der oberen Halterung 53 (siehe 2).
Auf der anderen Seite, wenn die Kolbenstange des Hilfszylinders 63 in dem Zustand, wo die bahnförmige Form MA ergriffen ist, indem die Kolbenstange des Luftzylinders 61 nach unten bewegt wird und die obere Halterung 53 nach unten bewegt wird, nach unten bewegt wird, kommt ein unteres Ende der Kolbenstange des Hilfszylinders 63 in Kontakt mit der oberen Halterung 53 und drückt dabei die obere Halterung 53 nach unten.
Entsprechend kann die bahnförmige Form MA mit einem gleichförmigen Druck im Wesentlichen entlang der gesamten Länge in die Breitenrichtung (die Y-Achsenrichtung) der oberen Halterung 53 gegriffen werden.
In der oberen Beschreibung wird währenddessen die bahnförmige Form MA durch Bewegen der oberen Halterung 53 gegriffen, während die untere Halterung 55 fixiert wird. Stattdessen kann die bahnförmige Form MA durch Bewegen der unteren Halterung 55 gegriffen werden, während die obere Halterung 53 fixiert wird, oder die bahnförmige Form MA durch Bewegen der oberen Halterung 53 und der unteren Halterung 55 gegriffen werden. In dem Fall, in dem die untere Halterung 55 bewegt wird, kann die untere Halterung 55 mit der Formerzeugnishalterstütze 29 vorgesehen sein und ganzheitlich mit dieser bewegt werden.
Nun wird die Spannungsanpassungseinheit (eine Form-Längenanpassungseinrichtung) 27 im Detail beschrieben.
Die Spannungsanpassungseinheit 27 umfasst Führungsstangen 67, welche ganzheitlich durch ein Basiselement 65 gestützt werden und sich in die Z-Achsenrichtung erstrecken, ein Lagerelement 69, welches mit den Führungsstangen 67 über die Linearführungslager (nicht gezeigt) eingreifen und welches bewegbar in die Vertikalrichtung ausgestaltet sind, und die Rolle 45, welche an dem Lagerelement 69 so vorgesehen ist, dass sie drehbar um eine Achse C3, die sich in die Y-Achsenrichtung erstreckt, ist. Das Basiselement 65 ist beispielsweise ganzheitlich mit der Basis 13 über einen nicht gezeigten Abstützbock vorgesehen.
Wie zuvor beschrieben, ist die Rolle 45 zwischen der Ablöserolleneinheit 23 und der ungenutzt-gerollten Form-Aufwicklungseinrichtung 11 vorgesehen. Die Rolle 35 ist beispielsweise unterhalb der oberen Rolle 41 oder der aufgewickelten Form MD auf der ungenutzt-gerollten Form-Aufwicklungseinrichtung 11 angeordnet. Die bahnförmige Form MA ist auf die untere Seite der Rolle 45 gewickelt. Hier wird die Breite (eine Abmessung in die Y-Richtung) der Rolle 45 größer als die Breite der bahnförmigen Form MA gesetzt und die Mitte der Rolle 45 und die Mitte der bahnförmigen Form MA decken sich miteinander in Bezug auf die Y-Achsenrichtung.
Die Spannungsanpassungseinheit 27 umfasst Vorspannmittel 71, die ausgestaltet sind, die Rolle 45 beispielsweise nach unten vorzuspannen, in eine Richtung (die eine nach unten Richtung in 1, 2, usw. ist), sodass die Spannung auf die flachplattig-bahnförmige Form MA, welche auf die Rolle 45 gewickelt ist, appliziert wird, sodass die geeignete Spannung auf die flachplattig-bahnförmige Form MA zu applizieren.
Genauer gesagt umfassen die Vorspannmittel 71 einen Luftzylinder 73 und ein Luftdrucksteuermodul (wie zum Beispiel ein Regulator 75 und ein Richtungssteuerventil 77), die ausgestaltet sind, einen Luftdruck, welcher dem Luftzylinder 73 zuzuführen ist, zu steuern (siehe 8).
Der Luftzylinder 73 ist beispielsweise unterhalb der Rolle 45 angeordnet. Ein Luftzylinderbereich des Luftzylinders 73 ist ganzheitlich mit dem Basiselement 65 vorgesehen. Eine Kolbenstange des Luftzylinders 73 steht nach oben von dem Zylinderbereich hervor und ein Spitzenendbereich der Kolbenstange ist mit dem Lagerelement 69 verbunden.
Darüber hinaus ist ein Innenraum auf einer Stangenseite (einer oberen Seite) des Luftzylinders 73 direkt mit einer Druckluftquelle 79 verbunden. Derweilen ist ein Innenraum auf einer Kopfseite (einer unteren Seite) des Luftzylinders 73 über den Regulator 75 und das Richtungssteuerungsventil 77 mit der Druckluftquelle 79 verbunden.
Darüber hinaus kann eine Vorspannkraft der Vorspannmittel 71 verändert werden, indem das Richtungssteuerungsventil 77 durch die Steuerungseinrichtung 21 gesteuert wird. Hier steht der Innenraum auf der Stangenseite des Luftzylinders 73 und der Innenraum auf der Kopfseite der Luftzylinders 73 über ein nicht gezeigtes Überdruckventil mit der Umgebung in Kontakt, um einen exzessiven Anstieg des Luftdruck in den Innenräumen zu vermeiden.
Insbesondere in einem Zustand, in dem ein Elektromagnet Solb des Richtungssteuerungsventils 77 ausgeschaltet wird (in dem in 8 gezeigten Zustand), wird die komprimierte Luft mit gleichem Druck dem Innenraum auf der Stangenseite des Luftzylinders 73 und dem Innenraum auf der Kopfseite des Luftzylinders 73 zugeführt. Dabei ist die Fläche des Innenraums auf der Stangenseite des Luftzylinders 73 kleiner als die Fläche des Innenraums auf der Kopfseite des Luftzylinders 73 ausgestaltet, da auf der Stangenseite die Kolbenstange bereitgestellt wird.
Demensprechend soll sich in dem in 8 gezeigten Zustand die Rolle 45 nach oben bewegen und nicht in der Lage sein, eine Spannung auf die bahnförmige Form MA zu applizieren. Nichtsdestotrotz wirkt eine nach unten gerichtete Kraft auf die Rolle 45 auf Grund der Masse (Gewicht) der Rolle, sodass die Rolle die Spannung auf die bogenförmige Form MA applizieren kann.
In dem Zustand, wo der Elektromagnet Solb des Richtungssteuerungsventils 77 angeschaltet ist, wird der Luftdruck, welcher dem Innenraum auf der Kopfseite des Luftzylinders 73 zuzuführen ist, kleiner als der Luftdruck der Luftdruckquelle 79 mit Hilfe des Regulators 75 gemacht. Dementsprechend wirkt eine größere Kraft für die Nach-Unten-Bewegung auf die Rolle 45.
Das Richtungssteuerungsventil 77 wird geschaltet, um eine Variationsbreite der Spannung der bahnförmigen Form MA zu minimieren. Die Variationsbreite für die Spannung der bahnförmigen Form MA kann beispielsweise minimiert werden, indem ein Spannungsdetektor, welcher die Spannung der bahnförmigen Form MA detektieren kann, vorgesehen wird, und das Richtungssteuerungsventil 77 unter Bezugnahme auf ein Ergebnis der Detektion des Spannungsdetektors geschaltet wird.
Die Messung der Spannung durch den Spannungsmesser wird beispielsweise durch einen nicht gezeigten Druckmesser, welcher eine Last, die am Lager der Rolle 45 erzeugt wird, misst, ermittelt. Währenddessen wird das Richtungssteuerungsventil 77 so geschaltet, dass der Elektromagnet Solb des Richtungssteuerungsventils 77 ausgeschaltet wird, wenn die Last, welche durch den Druckmesser gemessen wird, größer als ein vorbestimmter Schwellenwert ist und der Elektromagnet SolB des Richtungssteuerungsventils 77 wird eingeschaltet, wenn die durch den Druckmesser gemessene Last kleiner als ein vorbestimmter Schwellenwert ist.
Obwohl der Druck der Luft, welche dem Innenraum der unteren Seite des Luftzylinders 73 zuzuführen ist, in zwei Schritten in der vorherigen Beschreibung verändert wird, kann der Luftdruck stattdessen in drei oder mehr Schritten oder schrittlos und kontinuierlich verändert werden.
Alternativ können die Bewegungsgeschwindigkeiten der unteren Rolle 39 und der oberen Rolle 41 (eine Bewegungsgeschwindigkeit der Rollenstütze 43, wenn die bahnförmige Form MA abgelöst wird) angemessen in Abhängigkeit des Ergebnis der Messung des Spannungsmessers verändert werden.
Insbesondere können die Bewegungsgeschwindigkeiten der unteren Rolle 39 und der oberen Rolle 41 vergrößert werden, wenn die Spannung der bahnförmigen Form MA, welche durch den Spannungsmesser gemessen wird, geringer wird, und anschließend können die Bewegungsgeschwindigkeiten der unteren Rolle 39 und der oberen Rolle 41 graduell gemäß der Spannungen der bahnförmigen Form MA, welche durch den Spannungsmesser gemessen wird, verringert werden, die größer wird. Auf diese Weise kann die bahnförmige Form MA effizient abgelöst werden, während die Aussetzung der bahnförmigen Form MA einer erhöhten Spannung vorgebeugt wird und Beschädigung des Übertragungsmusters, welches auf das Formerzeugnis W zu übertragen ist, vermieden wird.
Da die Spannungsanpassungseinheit 27 die Rolle 45 und den Luftzylinder 73 aufweist, kann die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 die Spannung der flachplattig-bahnförmigen Form MA im Wesentlichen an einem konstanten Level durch die Verwendung des einfachen Aufbaus ohne Durchführen von komplizierten Steuerungen halten.
Darüber handelt es sich bei der komprimierten Luft, welche dem Luftzylinder 73 zugeführt wird, um ein Gas mit einer Kompressibilität. Dementsprechend kann, in dem Fall einer plötzlichen Veränderung in den Bedingungen der flachplattig-bahnförmigen Form MA für jegliche Gründe die Spannung als Ergebnis auf den plötzlichen Wechsel angepasst werden. Somit ist es möglich, ein Abreißen der bahnförmigen Form MA zu verhindern und die bahnförmige Form MA vor anderen Einflüssen zu schützen, selbst wenn es einen plötzlichen Wechsel in den Bedingungen der flachplattig-bahnförmigen Form MA gibt.
Nun wird der Betrieb des Übertragungssystems 1 beschrieben.
Als erstes wird in einem Ausgangszustand angenommen, dass sich die bahnförmige Form MA zwischen der ungenutzt-gerollten Form MC, welche auf der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 angeordnet ist, und der Aufwicklungsform MD auf der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 mit einer vorbestimmten Spannung erstreckt, und es wird angenommen, dass die sich erstreckende bahnförmige Form auf die Ablöserolleneinheit 23 (die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41) sowie um die Rolle 45 der Spannungsanpassungseinheit 27 gewickelt ist.
Währenddessen wird angenommen, dass das Formerzeugnis W vor Ausführen des Übertragungsprozesses auf der Übertragungseinrichtung 5 platziert ist und vorbereitet für den Übertragungsprozess ist. In der Ablöseeinrichtung 7 wird angenommen, dass der Formerzeugnishalter 19 nach unten bewegt wird, während für die obere Halterung 53 angenommen wird, nach oben bewegt zu werden, und für die Ablöserolleneinheit 23 (die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41) wird angenommen, stromabwärts des Formerzeugnishalters 19 platziert zu sein.
In dem Ausgangszustand, wenn der Übertragungsprozess als erstes durch die Übertragungseinrichtung 5 ausgeführt wird, haften das Formerzeugnis W und die bahnförmige Form MA als Ergebnis des Übertragungsprozesses aneinander an.
Nach dem Übertragungsprozess durch die Übertragungseinrichtung 5 führt die bahnförmige Form-Zuführpositionierungseinrichtung 3 die bahnförmige Form MA auf der Stromabwärtsseite zu und positioniert diese, um dabei das Formerzeugnis W, welches an der unteren Oberfläche der bahnförmigen Form MA anhaftet, an der Position direkt oberhalb des Formerzeugnisses W zu platzieren (siehe 5a) .
Anschließend wird ein anderes Formerzeugnis W, welches dem anschließenden Übertragungsprozess unterliegt, auf der Übertragungseinrichtung 5 angeordnet. Zur gleichen Zeit wird das Formerzeugnis W durch den Formerzeugnishalter 19 durch Bewegen des Formerzeugnishalters 19 der Ablöseeinrichtung 7 nach oben gehalten, und die bahnförmige Form MA wird durch Bewegen der oberen Halterung 53 nach unten gehalten (siehe 5b). Nachdem die bahnförmige Form MA durch die obere Halterung 53 und die untere Halterung 55 gehalten wird, führt die Übertragungseinrichtung 5 den nächsten Übertragungsprozess aus.
Anschließend wird die bahnförmige Form MA von dem Formerzeugnis W durch Bewegen der Ablöserolleneinheit 23 (der unteren Rolle 39 und der oberen Roll 41) zu der Stromaufwärtsseite abgelöst (siehe 6a und 6b).
Anschließend wird der Formerzeugnishalter 19 nach unten bewegt, um zu verursachen, dass der Formerzeugnishalter 19 das Formerzeugnis 15 nicht weiter hält, und das Formerzeugnis W wird somit von dem Formerzeugnishalter 19 entfernt. Nun wird die obere Halterung 53 nach oben bewegt, um die Formhalteeinheit 25 dazu zu bewegen, dass sie die bahnförmige Form MA nicht mehr hält, und die Ablöserolleinheit 23 (die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41) wird zurück zu der Stromabwärtsseite des Formerzeugnishalters 19 bewegt.
Anschließend wird das folgende Formerzeugnis W auf ähnliche Weise von der bahnförmigen Form MA gelöst.
Als Ergebnis der zuvor beschriebenen Vorgänge, wird der Übertragungsprozess einer nach dem anderen auf den mehreren Formerzeugnissen W durch Verwenden der bahnförmigen Form MA, welche sich zwischen der ungenutzt-gerollten Form-Anordnungseinrichtung 9 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 erstreckt, durchgeführt. In der Zwischenzeit werden die mehreren Formerzeugnisse W eine nach dem anderen von der bahnförmigen Form MA gelöst. In anderen Worten werden der Übertragungsprozess und der Ablöseprozess als Rolle-zu-Rolle-Prozess ausgeführt.
Gemäß der Ablöseeinrichtung 7 des Übertragungssystems 1 kann der Aufbau der Einrichtung vereinfacht werden, da die Einrichtung ausgestaltet ist, die bahnförmige Form MA, welche an dem Formerzeugnis W anhaftet, von dem Formerzeugnis W an einem von der Übertragungseinrichtung 5 entfernten Ort abzulösen.
Insbesondere behindern sich der Formerzeugnishalter 19, die Ablöserolleneinheit 23 und dergleichen nicht mit der Übertragungseinrichtung 5, da der Formerzeugnishalter 19, die Ablöserolleneinheit 23 und dergleichen entfernt von der Übertragungseinrichtung 5 angeordnet sind. Somit vergrößert sich die Freiheit zur Ausgestaltung der Anordnungsräume für Formerzeugnishalter 19, Ablöserolleneinheit 23 und dergleichen und der Aufbau der Einrichtung kann somit vereinfacht werden.
Gemäß der Ablöseeinrichtung 7 des Übertragungssystems 1 erreicht, selbst wenn feiner Staub oder desgleichen während des Ablösens der bahnförmigen Form MA von dem Formerzeugnis W erzeugt wird, solch ein Staub nicht die Übertragungseinrichtung 5. Somit ist es möglich, einen genauen Übertragungsprozess auszuführen, da feiner Staub den Übertragungsprozess nicht nachteilig beeinflusst.
Gemäß der Ablöseeinrichtung 7 des Übertragungssystems 1 werden darüber hinaus die Übertragung und die Ablösung der bahnförmigen Form MA von dem Formerzeugnis W an gegenseitig unterschiedlichen Orten ausgeführt. Somit ist es möglich, die Übertragung und die Ablösung der bahnförmigen Form MA von dem Produkt W gleichzeitig auszuführen und dabei die erforderliche Zeit für die Übertragung zu reduzieren.
Darüber hinaus ist, gemäß der Ablöseeinrichtung 7, ein Ablösungswinkel (ein Schneidungswinkel zwischen der oberen Oberfläche des Formerzeugnisses W, welches durch den Formerzeugnishalter 19 gehalten wird, und der bahnförmigen Form MA, welche auf die untere Rolle 39 gewickelt ist) der Ablöserolleinheit 23 unverändert. Dementsprechend kann die bahnförmige Form MA von dem Formerzeugnis W mit einer im Wesentlichen konstanten Kraft abgelöst werden. Somit kann es verhindert werden, dass das Übertragungsmuster, welches auf das Formerzeugnis W übertragen wurde, durch die Trennung beschädigt wird.
Darüber hinaus kann, da die Ablöseeinrichtung 7 mit der Formhalteeinheit 25 versehen ist, die bahnförmige Form MA verhindert werden, in die X-Achsenrichtung verrückt (insbesondere Verrückung an der Übertragungseinrichtung 5) zu werden, selbst wenn die Ablösung durch die Ablöserolleneinheit 23 (die Ablösung der bahnförmigen Form MA von dem Formerzeugnis W) beendet wurde.
Insbesondere in dem Zustand, bei welchem die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41 die bahnförmige Form MA ablösen, wie in 6a gezeigt, haftet die bahnförmige Form MA an dem Formerzeugnis W an und das Formerzeugnis W wird durch den Formerzeugnishalter 19 gehalten. Dementsprechend verhindert die bahnförmige Form MA beispielsweise die Verrückung der bahnförmigen Form MA, welche auf der Übertragungseinrichtungsseite 5 vorhanden ist, selbst wenn die bahnförmige Form MA nicht durch die obere Halterung 53 und die untere Halterung 55 gehalten wird.
Auf der anderen Seite, wird, in dem Zustand, wo die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41 die Ablösung der bahnförmigen Form MA beendet haben (wenn die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41 entfernt von dem Formerzeugnishalter 19 und stromaufwärts des Formerzeugnishalters 19 angeordnet sind), oder in dem Zustand, direkt vor Beendigung der Ablösung, wie in 6b gezeigt, die bahnförmige Form MA, welche an der Übertragungseinrichtungsseite 5 vorhanden ist, durch die Kraft, welche von der unteren Rolle 39 und der oberen Roll 41 auf die bahnförmige Form MA appliziert wird, verrückt, außer die obere Halterung 53 und die untere Halterung 55 halten die bahnförmige Form MA.
Nichtdestotrotz, da die bahnförmige Form MA durch die obere Halterung 53 und die untere Halterung 55 gehalten wird, kann die Ablöseeinrichtung 7 das Verrücken der bahnförmigen Form MA an der Übertragungseinrichtung 5 verhindern.
Wie in 10 gezeigt, kann in der Zwischenzeit eine Führungsrolle 31 zwischen der oberen Rolle 41 und der Rolle 45 und eine Führungsrolle 83 zwischen der Rolle 45 und der Form-Aufwicklungseinrichtung 11 vorgesehen sein. Hier sind die Führungsrollen 81 und 83 um die Achsen C6 und C7, die sich entsprechend in die Y-Achsenrichtung erstrecken, drehbar.
Die bahnförmige Form MA ist auf die Führungsrollen 81 und 83 gewickelt. An dem Ort zwischen der Führungsrolle 81 und der Rolle 45 und dem Ort zwischen der Rolle 45 und der Führungsrolle 83 erstreckt sich die bahnförmige Form MA immer in die Z-Achsenrichtung unabhängig von der Position der Ablöserolleneinheit 23 und einer Änderung in dem Außendurchmesser der aufgewickelten Form MD. In anderen Worten ist ein Wicklungswinkel der bahnförmigen Form MA an der unteren Seite der Rolle 45 immer gleich 180°.
Als Ergebnis ist es leichter die Spannung der bahnförmigen Form MA mit der Rolle 45 der Spannungsanpassungseinheit 27 anzupassen.
In der oberen Beschreibung sind die untere Rolle 39 und die obere Rolle 41 ausgestaltet, um gemäß der Bewegung der Rollstütze 43 gedreht zu werden. Hier kann die untere Rolle 39 und/oder die obere Rolle 41 ausgestaltet sein, um synchron mit der Bewegung der Rollenstütze 43 durch Verwendung eines Aktuators, wie zum Beispiel eines Servomotors, gedreht zu werden.
Währenddessen kann die bahnförmige Form MA, welche an dem Formerzeugnis W anhaftet, direkt durch Verwenden der aufgewickelten Form MD gelöst werden.
Insbesondere, wie in 11 gezeigt, kann die bahnförmige Form MA durch Drehen der Aufwicklungsform MD um die Achse C8, welche sich in die Y-Achsenrichtung erstreckt, und Bewegen der aufgewickelten Form MD von der Linken zur Rechten in der X-Achsenrichtung gelöst werden. Hier wird davon ausgegangen, dass die aufgewickelte Form MD ebenfalls in die Z-Achsenrichtung frei bewegbar und positioniert wird.

Claims

Entformungseinrichtung (7) zum Ablösen einer bahnförmigen Form (MA), welche an einem flachplattigen Formerzeugnis (W) anhaftet, von dem Formerzeugnis (W) nach Übertragung eines feinen Übertragungsmusters, welches an der Form ausgebildet ist, an das Formerzeugnis (W), wobei die Entformungseinrichtung (7) aufweist: einen Formerzeugnishalter (19), welcher an einer von einer Übertragungsanlage (5), wo die Übertragung stattfindet, entfernten Position angeordnet ist und ausgestaltet ist, das Formerzeugnis (W) aus der Form (MA) und das Formerzeugnis (W), welche aneinander anhaften, zu halten; und eine Ablöserolleneinheit (23), die ausgestaltet ist, die Form (MA) von dem Formerzeugnis (W) durch Relativbewegen zu dem Formerzeugnishalter (19) abzulösen, wobei die Form (MA) an dem Formerzeugnis (W) anhaftet, das durch den Formerzeugnishalter (19) gehalten wird, und die Form (MA) auf die Ablöserolleneinheit (23) gewickelt wird.
Entformungseinrichtung (7) nach Anspruch 1 ferner mit: einer Formhalteeinheit (25), die ausgestaltet ist, die Form an einem Ort zwischen der Übertragungsanlage (5), wo die Übertragung stattfindet, und dem Formerzeugnishalter (19) zu halten.
Entformungseinrichtung (7) nach Anspruch 1 oder 2 ferner mit: einer Spannungsanpassungseinheit (27), die ausgestaltet ist, eine Spannung der Form (MA) anzupassen.