TWI677932B - 拉伸膜擴張方法及其膜擴張機 - Google Patents

Abstract

本發明係關於一種拉伸膜擴張方法及其膜擴張機，可改善膜擴張機經擴張膜後，膜上方之晶粒間距不等或間距過小的問題，並可將晶粒進行等距擴張，且拉伸膜在擴張後不會有形變，且無破裂問題。本發明之拉伸膜擴張方法包含步驟(a)：提供一拉伸膜；步驟(b)：使用複數個膜固定結構固定該拉伸膜之外緣，其中該複數個膜固定結構包含一上端固定結構、一下端固定結構、一右端固定結構、一左端固定結構、一右上端固定結構、一右下端固定結構、一左上端固定結構、一左下端固定結構；並使用複數個連結於該膜固定結構之擴張結構，以背離該中心點之方向，將該拉伸膜進行平均擴張使該拉伸膜之中心軸不偏離。

Description

拉伸膜擴張方法及其膜擴張機

本發明係關於一種拉伸膜擴張方法及其膜擴張機，特別係一種將晶圓切割後擴張分離的拉伸膜擴張方法及其膜擴張機，可將切割晶圓擴張成等間距，以利於後續直接封裝、晶粒加工或拾取。

半導體製程中，會先將晶圓固定在拉伸膜並切割成晶粒後，藉由拉伸膜擴張使晶粒分離成有間距，隨後即進行晶粒拾取、加工或直接封裝。因此，當晶粒之間間距太小、或距離不等時，容易造成後續作業上的不便。

早期，膜擴張機之擴張方式係將拉伸膜外緣固定後，利用拉伸膜下方的頂膜結構向上移動，使拉伸膜彈性延伸擴張。為使擴張後的晶粒於X方向及Y方向上的間距可一致，拉伸膜通常為圓形，擴張方向以圓形中心為準，360度朝向圓外圍方向擴張。理論上，晶粒於X方向及Y方向的間距會彼此相等，然而於實際操作時，由於拉伸膜於拉伸方向的受力不同，導致靠近拉伸膜外緣之晶粒間距通常會大於接近拉伸膜中心之間距。因此，往往會造成固晶機不易定位拾取晶粒、或將晶粒直接進行封裝時，需捨棄外圍間距不等的晶粒。

為改善晶粒間距不等的問題，有不使用頂膜結構的膜擴張機，其係利用將拉伸膜周圍以四邊形方式固定，以拉伸膜中心點為準，朝背離中心點方向拉伸，拉伸方向即為水平及垂直。然而，此種膜擴張方法容易使拉伸膜受力不均及厚薄不均，擴張時容易斷裂，需限制其擴張範圍不可太大，即擴張的間距有所受限，無法進行較大間距的晶粒擴張。另外，水平及垂直之拉伸方法有將拉伸膜設計為十字形，以補償拉伸時受力不均的問題，然而實際操作時，十字形拉伸膜仍存有因受力不均及厚薄不均的問題，仍會在擴張時破裂。

鑒於上述之問題，為改善膜擴張機之晶粒間距不等或間距過小的問題，本發明提供一種拉伸膜擴張方法及其膜擴張機，可將晶粒進行等距擴張，即拉伸膜在擴張後不會有形變，且無破裂問題。

是以，本發明目的為提供一種拉伸膜擴張方法，包含步驟(a)：提供一拉伸膜；步驟(b)：使用複數個膜固定結構固定該拉伸膜之外緣，其中該複數個膜固定結構包含一上端固定結構、一下端固定結構、一右端固定結構、一左端固定結構、一右上端固定結構、一右下端固定結構、一左上端固定結構、一左下端固定結構；並使用複數個連結於該膜固定結構之擴張結構，以背離該中心點之方向，將該拉伸膜進行平均擴張使該拉伸膜之中心軸不偏離。

於較佳實施例中，該拉伸膜為正方形，四個邊之邊長各為2a。

於較佳實施例中，該步驟(b)包含：步驟(b-1)：該拉伸膜先以該上端固定結構、該下端固定結構、該右端固定結構及該左端固定結構固定該拉伸膜之四邊，且該上端固定結構、該下端固定結構、該右端固定結構及該左端固定結構係以該拉伸膜為中心點之上下左右四個方向平均設置並相互對應；該拉伸膜經固定後，其四邊的邊長設為2a，經該上端固定結構、該下端固定結構、該右端固定結構及該左端固定結構固定之邊長設為2b，該拉伸膜之四個角尚未經固定而形成四個相同之等腰直角三角形，該等腰直角三角形之兩腰長各為(a-b)，且該斜邊的邊長設為c= 。

於較佳實施例中，於該步驟(b-1)後，進一步包含一步驟(b-2)：以該擴張結構對該上端固定結構、該下端固定結構、該右端固定結構及該左端固定結構施予一擴張力，使該拉伸膜經拉伸後之四邊邊長為 ，其中該ER為該拉伸膜之四邊邊長的擴張比率。

於較佳實施例中，於該步驟(b-2)後，進一步包含一步驟(b-3)：以該右上端固定結構、該右下端固定結構、該左上端固定結構、該左下端固定結構固定該拉伸膜之四個相同之等腰直角三角形之斜邊，並以該擴張結構對該右上端固定結構、該右下端固定結構、該左上端固定結構、該左下端固定結構提供一補償力，使該斜邊的邊長設為d= 。

於較佳實施例中，於進行該步驟(b-1)時，也可先固定該右上端固定結構、該右下端固定結構、該左上端固定結構、該左下端固定結構於該拉伸膜之四個相同之等腰直角三角形之斜邊，並於該步驟(b-2)後，直接以該擴張結構對該右上端固定結構、該右下端固定結構、該左上端固定結構、該左下端固定結構提供一補償力，使該斜邊的邊長設為d= 。

於較佳實施例中，該補償力之強度小於該拉伸膜具有之拉力強度。

本發明另一目的為提供一種膜擴張機，包含一擴張平台及一擴張裝置。該擴張裝置係設置於該擴張平台上，其包含複數個膜固定結構及複數個連結於該膜固定結構之擴張結構；其中，該膜固定結構包含一上端固定結構、一下端固定結構、一右端固定結構、一左端固定結構、一右上端固定結構、一右下端固定結構、一左上端固定結構、一左下端固定結構。其中，以該擴張平台的中心為準，該複數個擴張結構可背離該中心進行移動，其移動方向包含至少一向上、至少一向下、至少一向左、至少一向右、至少一向左上、至少一向左下、至少一向右上及至少一向右下。

於較佳實施例中，該膜固定結構包含一夾膜單元及一鄰設於該夾膜單元之凸部單元，該凸部單元為位於該夾膜單元及該擴張平台的中心之間。

相對於習知技術，本發明之拉伸膜擴張方法及膜擴張機可使拉伸膜平均擴張，且不破裂，並將晶粒以等距進行擴張，以利於後續封裝或晶粒拾取。

以下實施方式不應視為過度地限制本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者可在不背離本發明之精神或範疇的情況下對本文所討論之實施例進行修改及變化，而仍屬於本發明之範圍。

有關本發明之詳細說明及技術內容，現就配合圖式說明如下。再者，本發明中之圖式，為說明方便，其比例未必照實際比例繪製，該等圖式及其比例並非用以限制本發明之範圍，在此先行敘明。

本發明中，所述的「擴張比率(Expansion rate, ER)」係指擴張後的拉伸膜邊長之長度相對於擴張前拉伸膜邊長的長度之比率，如下式1：
式1。

請參閱圖1、圖2(a)及圖2(b)，分別為本發明之拉伸膜及膜固定結構組合的示意圖、及拉伸膜擴張方法的示意圖（圖2(a)為本發明之拉伸膜經四邊擴張的示意圖；圖2(b)為本發明之拉伸膜經四邊擴張及補償力擴張後的示意圖）。

如圖1所示，本發明之拉伸膜擴張方法，包含步驟(a)：提供一拉伸膜1；步驟(b)：使用複數個膜固定結構2固定該拉伸膜1之外緣，其中該複數個膜固定結構2包含一上端固定結構21、一下端固定結構22、一右端固定結構23、一左端固定結構24、一右上端固定結構25、一右下端固定結構26、一左上端固定結構27、一左下端固定結構28；如圖2(a)所示，使用複數個連結於該膜固定結構2之擴張結構10(圖1、圖2(a)及圖2(b)中未示，請參閱圖6所示之擴張結構10)，以背離該拉伸膜1中心點3之方向，將該拉伸膜1進行平均擴張，使該拉伸膜1不偏離中心軸，該中心軸包含以該中心點3為準之垂直中心軸31及水平中心軸32；即，該拉伸膜1向左及向右擴張時，該右端固定結構23及該左端固定結構24可與垂直中心軸31相對平行而不偏離，向上及向下擴張時可，該上端固定結構21及該下端固定結構22可與水平中心軸32相對平行而不偏離。

進一步地，該步驟(b)包含步驟(b-1)、(b-2)及(b-3)。

於該步驟(b-1)中：該拉伸膜1先以該上端固定結構21、該下端固定結構22、該右端固定結構23及該左端固定結構24固定該拉伸膜1之四邊，且該上端固定結構21、該下端固定結構22、該右端固定結構23及該左端固定結構24係以該拉伸膜1為中心點3之上下左右四個方向平均設置並相互對應；該拉伸膜1經固定後，其四邊的邊長分別設為2a，經該上端固定結構21、該下端固定結構22、該右端固定結構23及該左端固定結構24固定之邊長分別設為2b，由於該上端固定結構21、該下端固定結構22、該右端固定結構23及該左端固定結構24長度均相同且係以該拉伸膜1的各邊長中心為準平均固定，且留下拉伸膜1各邊的相對應的左右區域未固定，因此該拉伸膜1之四個角尚未經固定而形成四個相同之等腰直角三角形14，該等腰直角三角形14之兩腰長各為(a-b)，且該斜邊的邊長設為c，該c= 。

於該步驟(b-2)中：以該擴張結構10(圖1、圖2(a)及圖2(b)中未示，請參閱圖6所示之擴張結構10)對該上端固定結構21、該下端固定結構22、該右端固定結構23及該左端固定結構24施予一擴張力，使該拉伸膜經拉伸後之四邊邊長為 ，其中該ER為該拉伸膜1之各四邊邊長的擴張比率。此步驟中，由於僅針對拉伸膜1之四邊中間受固定之位置向外拉伸，因此該拉伸膜1之四個角形成四個相同之等腰直角三角形14由於未受力而內縮，因此需使用下述步驟(b-3)對該四個相同之等腰直角三角形14提供一補償力。

於該步驟(b-3)中：以該右上端固定結構25、該右下端固定結構26、該左上端固定結構27、該左下端固定結構28固定該拉伸膜1之四個相同之等腰直角三角形14之斜邊，並以該擴張結構10對該右上端固定結構25、該右下端固定結構26、該左上端固定結構27、該左下端固定結構28提供補償力F，使該等腰直角三角形14擴張為擴張後之擴張後的等腰三角形14’，其斜邊的邊長經擴張為d= 。

此外，本發明之拉伸膜擴張方法中，也可於進行該步驟(b-1)時，進一步先固定該右上端固定結構25、該右下端固定結構26、該左上端固定結構27、該左下端固定結構28於該拉伸膜1之四個相同之等腰直角三角形14之斜邊，並於該步驟(b-2)後，直接以該擴張結構10對該右上端固定結構25、該右下端固定結構26、該左上端固定結構27、該左下端固定結構28提供一補償力F，使該等腰直角三角形14擴張為擴張後之擴張後的等腰三角形14’，其斜邊的邊長經擴張為d= 。

本發明之拉伸膜擴張方法中，因該拉伸膜1之右上、右下、左上及左下的斜邊具有該補償力F將該拉伸膜1進行拉伸，使該拉伸膜1除了有水平及垂直之方向擴張之外，也有四個角分別向右上、右下、左上及左下的斜向補償擴張，當該拉伸膜1之四邊及四個角皆有擴張時，可使該拉伸膜1於擴張後的厚度達到一致，不會有中心或外圍厚薄不均的問題。因此，本發明之拉伸膜擴張方法可避免習知之拉伸膜擴張方法中，因拉伸膜無法平均擴張，致使離晶粒有間距不等的問題，甚者，拉伸膜產生破裂。

本發明之拉伸膜擴張方法中，該拉伸膜1界定出一不形變區域4，使拉伸膜1於擴張前及完成擴張後都能保持正方形之形狀。如圖1所示，該拉伸膜1擴張前，該不形變區域4呈現正方形，邊長為2b，而該拉伸膜1上的虛線6呈現直線；如圖2(a)所示，經步驟(b-1)該拉伸膜1擴張後，因擴張力拉伸，該拉伸膜1開始形變，使原為直線的虛線6變成彎曲的虛線6’，該不形變區域4在擴張後呈現四邊稍微外擴之正方形4’；隨後，如圖2(b)所示，於提供補償力F後，該四邊稍微外擴之正方形4’於補償後回覆正方形4’’，原本彎曲的虛線6’也因補償力的關係再度回復直線6’’。因此，當晶粒設置在正方形之不形變區域4時，於拉伸膜1經擴張及補償力補償後，由於該不形變區域4仍會呈現正方形4’’，即可使晶粒擴張後具有等距的間隔。本發明之拉伸膜擴張方法中，該切割晶圓之直徑可為2b或小於2b，即可完整容納於邊長為2b的正方形之不形變區域4中。

本發明之拉伸膜擴張方法中，該拉伸膜1之四邊邊長的擴張率ER至少為1.2以上，較佳為1.3以上，更佳1.5以上；亦即，使用本發明之拉伸膜擴張方法即可將晶粒之間距擴張為至少20%以上，較佳為30%以上，更佳50%以上。此外，該拉伸膜1之四個角的等腰直角三角形14的斜邊(即擴張前為斜邊c，擴張後為斜邊d)具有斜邊擴張比率ER’，該斜邊擴張率ER’與該擴張比率ER之關係如下式2所示：
式2。

請參閱圖3及圖4，係分別為使用本發明之拉伸膜擴張方法，拉伸膜於擴張前、及擴張且經補償後的示意圖。

如圖3所示，將尚未分離的晶粒5設置在該不形變區域4內，使用本發明之拉伸膜擴張方法進行擴張。如圖4所示，該拉伸膜1擴張及補償力後，該晶粒5會被分離成具相同間距的晶粒5’，即本發明之拉伸膜擴張方法可有效地分離晶粒成等間距的晶粒。

本發明之拉伸膜擴張方法中，所述的擴張結構10可為通用的可滑動或滾動的構件，例如滾輪或滑軌等，且本發明不限於此等。

請參閱圖5及圖6，係分別本發明之膜擴張機的示意圖、及本發明之膜擴張機的夾膜單元及凸部單元的示意圖。

如圖5所示，本發明之膜擴張機100包含一擴張平台7及一擴張裝置13。該擴張裝置13係設置於該擴張平台7上，其包含複數個膜固定結構2及複數個連結於該膜固定結構之擴張結構10(圖5中未示，請參閱圖6之擴張結構10)。其中，該膜固定結構2包含一上端固定結構21、一下端固定結構22、一右端固定結構23、一左端固定結構24、一右上端固定結構25、一右下端固定結構26、一左上端固定結構27、一左下端固定結構28。其中，當該拉伸膜1固定於該膜擴張機100時，以該擴張平台7的中心131(圖5中未示，請參閱圖6之擴張平台7的中心131)為準，該複數個擴張結構10可背離該中心131進行移動，其移動方向包含至少一向上、至少一向下、至少一向左、至少一向右、至少一向左上、至少一向左下、至少一向右上及至少一向右下，即可將該拉伸膜1朝八個方向進行平均擴張。

如圖6所示，該膜固定結構2包含一夾膜單元8及一鄰設於該夾膜單元8之凸部單元9，該凸部單元9位於該夾膜單元8及該擴張平台7的中心131之間。該凸部單元9可使該拉伸膜1不易從該夾膜單元8彈出；該拉伸膜1具有彈性可伸縮，當該拉伸膜1擴張時通常會因為其本身的彈性而往該中心131方向彈 回，因此若只有使用夾膜單元8固定拉伸膜1，並無法有效地固定住該拉伸膜1之外緣，而若設有該凸部單元9時，即可讓拉伸膜1在欲彈回該中心131時會受到障礙阻擋，使該膜固定結構2可有效地固定住該拉伸膜1之外緣。另外，該擴張結構10為滾輪，連結於該膜固定結構2，可將該膜固定結構2移動，進而將該拉伸膜1進行擴張。

本發明中，所述的拉伸膜1可為通用之分離晶粒用的拉伸膜，該拉伸膜之拉力強度以越高為佳，且該拉力強度會大於該擴張力及該補償力F，使拉伸膜於擴張時不會破裂。該拉伸膜之材料可為聚氯乙烯(PVC)、橡膠或熱塑性彈性體(TPE)，且本發明並不限於此等。

本發明中，所述的擴張結構10同本發明之拉伸膜擴張方法所使用的擴張結構10，其為通用的可滑動或滾動的構件，例如滾輪或滑軌等，且本發明不限於此等。

本發明中，所述的夾膜單元8可為通用具有夾住膜功能的夾具構件，例如鑷子鈍頭或夾板，且本發明不限於此等。

本發明中，所述的凸部單元9可為具有阻擋功能的構件，可與拉伸膜有接觸面而產生摩擦力，使拉伸膜不易滑動，甚者，使拉伸膜稍微形變具有凹部，其形狀可為圓凸狀或條塊狀，且本發明不限於此等。

[具體實施例]

實施例1至5為使用本發明之膜擴張機將不同拉伸膜進行擴張的測試數據。

實施例1. 將拉伸膜A固定在膜擴張機上，尚未擴張前，該拉伸膜A的邊長為24英寸，四個角之無膜固定結構的等腰三角形的斜邊邊長為6.36英寸。隨後，該膜擴張機進行擴張及補償，使該拉伸膜A的四邊邊長之擴張比率ER為1.2，四個角之等腰三角形的斜邊長擴張比率ER’為1.53。經擴張後，該拉伸膜A的邊長為28.80英寸，四個角之無膜固定結構的等腰三角形的斜邊邊長為9.76英寸。

實施例 2.將拉伸膜B固定在膜擴張機上，尚未擴張前，該拉伸膜B的邊長為24英寸，四個角之無膜固定結構的等腰三角形的斜邊邊長為6.36英寸。隨後，該膜擴張機進行擴張及補償，使該拉伸膜B的四邊邊長之擴張比率ER為1.3，四個角之等腰三角形的斜邊長擴張比率ER’為1.80。經擴張後，該拉伸膜B的邊長為31.20英寸，四個角之無膜固定結構的等腰三角形的斜邊邊長為11.46英寸。

實施例 3.將拉伸膜C固定在膜擴張機上，尚未擴張前，該拉伸膜C的邊長為24英寸，四個角之無膜固定結構的等腰三角形的斜邊邊長為6.01英寸。隨後，該膜擴張機進行擴張及補償，使該拉伸膜C的四邊邊長之擴張比率ER為1.3，四個角之等腰三角形的斜邊長擴張比率ER’為1.85。經擴張後，該拉伸膜C的邊長為31.20英寸，四個角之無膜固定結構的等腰三角形的斜邊邊長為11.10英寸。

實施例 4.將拉伸膜D固定在膜擴張機上，尚未擴張前，該拉伸膜D的邊長為23.10英寸，四個角之無膜固定結構的等腰三角形的斜邊邊長為5.66英寸。隨後，該膜擴張機進行擴張及補償，使該拉伸膜D的四邊邊長之擴張比率ER為1.47，四個角之等腰三角形的斜邊長擴張比率ER’為2.36。經擴張後，該拉伸膜D的邊長為34.00英寸，四個角之無膜固定結構的等腰三角形的斜邊邊長為13.37英寸。

實施例 5.將拉伸膜E固定在膜擴張機上，尚未擴張前，該拉伸膜E的邊長為24英寸，四個角之無膜固定結構的等腰三角形的斜邊邊長為6.29英寸。隨後，該膜擴張機進行擴張及補償，使該拉伸膜E的四邊邊長之擴張比率ER為1.37，四個角之等腰三角形的斜邊長擴張比率ER’為2.0。經擴張後，該拉伸膜E的邊長為32.88英寸，四個角之無膜固定結構的等腰三角形的斜邊邊長為12.57英寸。

下表1為上述實施例1至5之拉伸膜擴張前後的邊長及斜邊的長度及擴張率。

表1

	實施例1	實施例2	實施例3	實施例4	實施例5
拉伸前	拉伸後	拉伸前	拉伸後	拉伸前	拉伸後	拉伸前	拉伸後	拉伸前	拉伸後
拉伸膜四邊各邊長(英寸)	24.00	28.80	24.00	31.20	24.00	31.20	23.10	34.00	24.00	32.88
拉伸膜四個角各等腰三角形之斜邊邊長 (英寸)	6.36	9.76	6.36	11.46	6.01	11.10	5.66	13.37	6.29	12.57
拉伸膜面積(英吋平方)	576	829.44	576	973.44	576	973.44	533.61	1156.22	576	1081.09
邊長擴張比率ER	1.20	1.30	1.30	1.47	1.37
斜邊長擴張比率ER’	1.53	1.80	1.85	2.36	2.00

綜上所述，本發明之拉伸膜擴張方法及膜擴張機可使拉伸膜有效平均擴張，且該不形變區域可於擴張前或擴張後仍呈正方形不形變，而當切割晶圓放置於該不形變區域時，即可有效地將切割晶圓進行分擴張分離成具有等間距的晶粒。因此，不同於習知技術，本發明之拉伸膜擴張方法及膜擴張機可有效地擴張拉伸膜，不會有擴張後厚度不均或是破裂等問題，並有效地分離晶粒，以利於後續封裝或晶粒拾取。

以上已將本發明做一詳細說明，惟以上所述者，僅惟本發明之一較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即凡依本發明申請專利範圍所作之均等變化與修飾，皆應仍屬本發明之專利涵蓋範圍內。

1‧‧‧拉伸膜
2‧‧‧膜固定結構
21‧‧‧上端固定結構
22‧‧‧下端固定結構
23‧‧‧右端固定結構
24‧‧‧左端固定結構
25‧‧‧右上端固定結構
26‧‧‧右下端固定結構
27‧‧‧左上端固定結構
28‧‧‧左下端固定結構
3‧‧‧中心
31‧‧‧垂直中心軸
32‧‧‧水平中心軸
4‧‧‧不形變區域(擴張前)
4’‧‧‧不形變區域(拉伸膜之四邊擴張後)
4’’‧‧‧不形變區域(拉伸膜之四邊及四個角皆擴張後)
5‧‧‧未分離晶粒
5’‧‧‧分離晶粒
6‧‧‧虛線(擴張前)
6’‧‧‧虛線(拉伸膜之四邊擴張後)
6’’‧‧‧虛線(拉伸膜之四邊及四個角皆擴張後)
7‧‧‧擴張平台
8‧‧‧夾膜結構
9‧‧‧凸部結構
100‧‧‧擴張機
10‧‧‧膜擴張結構
13‧‧‧膜擴張裝置
131‧‧‧擴張平台的中心
14‧‧‧等腰直角三角形(擴張前)
14’‧‧‧等腰直角三角形 (拉伸膜之四邊及四個角皆擴張後)
a‧‧‧拉伸膜半邊長(擴張前)
b‧‧‧拉伸膜有膜固定結構之半邊長
a-b‧‧‧拉伸膜無膜固定結構之半邊長(擴張前)
c‧‧‧斜邊長(擴張前)
a*ER‧‧‧拉伸膜半邊長(擴張後)
d‧‧‧斜邊長(拉伸膜之四邊及四個角皆擴張後)
F‧‧‧補償力

圖1為本發明之拉伸膜及膜固定結構組合的示意圖。

圖2(a)為本發明之拉伸膜經四邊擴張的示意圖；圖2(b)為本發明之拉伸膜經四邊擴張及補償力擴張後的示意圖。

圖3為使用本發明之拉伸膜擴張方法，拉伸膜擴張前的示意圖。

圖4為使用本發明之拉伸膜擴張方法，拉伸膜擴張後及補償後的示意圖。

圖5為本發明之膜擴張機的示意圖。

圖6為本發明之膜擴張機的夾膜單元及凸部單元的示意圖。

Claims (10)

1. 一種拉伸膜擴張方法，包含：
   步驟(a) ：提供一拉伸膜；
   步驟(b) ：使用複數個膜固定結構固定該拉伸膜之外緣，其中該複數個膜固定結構包含一上端固定結構、一下端固定結構、一右端固定結構、一左端固定結構、一右上端固定結構、一右下端固定結構、一左上端固定結構、一左下端固定結構；並使用複數個連結於該膜固定結構之擴張結構，以背離該中心點之方向，將該拉伸膜進行平均擴張使該拉伸膜之中心軸不偏離。
2. 如請求項1所述之拉伸膜擴張方法，其中該拉伸膜為正方形，四個邊之邊長各為2a。
3. 如請求項2所述之拉伸膜擴張方法，其中，該步驟(b)包含：
   步驟(b-1)：該拉伸膜先以該上端固定結構、該下端固定結構、該右端固定結構及該左端固定結構固定該拉伸膜之四邊，且該上端固定結構、該下端固定結構、該右端固定結構及該左端固定結構係以該拉伸膜為中心點之上下左右四個方向平均設置並相互對應；該拉伸膜經固定後，其四邊的邊長設為2a，經該上端固定結構、該下端固定結構、該右端固定結構及該左端固定結構固定之邊長設為2b，該拉伸膜之四個角尚未經固定而形成四個相同之等腰直角三角形，該等腰直角三角形之兩腰長各為(a-b)，且該斜邊的邊長設為c= 。
4. 如請求項3所述之拉伸膜擴張方法，其中，於該步驟(b-1)後，進一步包含一步驟(b-2)：以該擴張結構對該上端固定結構、該下端固定結構、該右端固定結構及該左端固定結構施予一擴張力，使該拉伸膜經拉伸後之四邊邊長為 ，其中該ER為該拉伸膜之四邊邊長的擴張比率。
5. 如請求項4所述之拉伸膜擴張方法，其中，於該步驟(b-2)後，進一步包含一步驟(b-3)：以該右上端固定結構、該右下端固定結構、該左上端固定結構、該左下端固定結構固定該拉伸膜之四個相同之等腰直角三角形之斜邊，並以該擴張結構對該右上端固定結構、該右下端固定結構、該左上端固定結構、該左下端固定結構提供一補償力，使該斜邊的邊長設為d= 。
6. 如請求項4所述之拉伸膜擴張方法，其中於進行該步驟(b-1)時，可先固定該右上端固定結構、該右下端固定結構、該左上端固定結構、該左下端固定結構於該拉伸膜之四個相同之等腰直角三角形之斜邊，並於該步驟(b-2)後，直接以該擴張結構對該右上端固定結構、該右下端固定結構、該左上端固定結構、該左下端固定結構提供一補償力，使該斜邊的邊長設為d= 。
7. 如請求項5所述之拉伸膜擴張方法，其中該補償力之強度小於該拉伸膜具有之拉力強度。
8. 如請求項6所述之拉伸膜擴張方法，其中該補償力之強度小於該拉伸膜具有之拉力強度。
9. 一種膜擴張機，包含：
   一擴張平台；及
   一擴張裝置，設置於該擴張平台上，其包含複數個膜固定結構及複數個連結於該膜固定結構之擴張結構；其中，該膜固定結構包含一上端固定結構、一下端固定結構、一右端固定結構、一左端固定結構、一右上端固定結構、一右下端固定結構、一左上端固定結構、一左下端固定結構；
   其中，以該擴張平台的中心為準，該複數個擴張結構可背離該中心點進行移動，其移動方向包含至少一向上、至少一向下、至少一向左、至少一向右、至少一向左上、至少一向左下、至少一向右上及至少一向右下。
10. 如請求項8所述之膜擴張機，其中該膜固定結構包含一夾膜單元及一鄰設於該夾膜單元之凸部單元，該凸部單元為位於該夾膜單元及該擴張平台的中心之間。