JP2018046032A - ウエーハ保持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ウエーハの機能領域より外側を把持しつつ、ウエーハの反りやたわみを低減することができるウエーハ保持装置を提供する。【解決手段】ウエーハの外周エッジ部Ｅの下面側と接して下面側から支える下面側支え部材２と、ウエーハの外周エッジ部Ｅの上面側に近接することで上面側から押さえる上面側押さえ部材３と、下面側支え部材と上面側押さえ部材とを離間／近接させる上下駆動機構４とを備える。下面側支え部材は、ウエーハの中心側に傾斜した当接部２０ａ〜ｃを有し、上面側押さえ部材は、ウエーハの中心側に傾斜した当接部３０ａ〜ｃを有する。下面側支え部材と上面側押さえ部材との距離が近づくことにより、下面側支え部材の当接部がウエーハの外周エッジ部Ｅの下面側に当接しつつ、上面側押さえ部材の当接部が当該ウエーハの外周エッジ部Ｅの上面側に当接することで、当該ウエーハが狭持されて保持される。【選択図】図２

Description

本発明は、シリコンやガラスなどの比較的厚みの薄い基板（つまり、ウエーハ）を保持するウエーハ保持装置に関するものである。

半導体デバイスに代表される電子部品は、１枚のウエーハ上に多数個が一括形成された後、個片化されて製品形態となり、各々電子機器等に組み込まれる。

ウエーハに半導体デバイス等を形成する際、ウエーハキャリアと呼ばれるカセットやフープ（ＦＯＵＰ）などの搬送具を用いて複数枚（例えば、１０枚前後）を一の搬送単位として、上流工程から下流工程へと搬送され、成膜、露光、エッチング、洗浄、検査など各工程で所定の処理が行われる。

なおウエーハは、機能領域（つまり、成膜、検査等の処理が行われる部位。接触禁忌部位とも言う）が予め規定されており、それより外側の外周部やウラ面（つまり、接触許容部位）を把持するように取り決められている。

そして、各工程では所定の処理を枚葉で行うために、ウエーハをカセット等から１枚ずつ取り出したり、処理後のウエーハを再びカセット等に戻したりする作業（つまり、ハンドリング）が行われている。また、ウエーハのハンドリングは、ロボットハンドやエンドエフェクタと呼ばれる機構により行われ、ウエーハのウラ面を負圧吸引して保持するもの（例えば、特許文献１）や、ウエーハの外周側面を内側に向かって押さえて保持（いわゆる、狭持）するものが用いられている（例えば、特許文献２，３）。

特開２００８−６４５９５号公報 特開２００７−３１８１３４号公報 特開平１１−２１９９９０号公報

特許文献１に開示されている様な、ウエーハの下面を負圧吸引する保持装置は、ウエーハの下面も機能領域とて処理したい場合や、透過光を用いて検査を行いたい場合には適用できない。

また、特許文献２，３に開示されている様な、ウエーハの側面を中心部に向かって狭持する保持装置では、ウエーハの外周部を外側から内側に向かって押し続けて狭持しているため、ウエーハの中心部に向けて外力が加わり続け、ウエーハに反りやたわみが生じ、割れや欠けが生じることがある。

そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、
ウエーハの機能領域より外側を把持しつつ、ウエーハの反りやたわみを低減することができるウエーハ保持装置を提供することを目的としている。

以上の課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
ウエーハを保持するウエーハ保持装置において、
ウエーハの外周を囲む様に配置され、当該ウエーハの外周エッジ部の下面側と接して当該ウエーハを下面側から支える下面側支え部材と、
下面側支え部材と対向する位置に配置され、ウエーハの外周エッジ部の上面側に近接することで当該ウエーハを上面側から押さえる上面側押さえ部材と、
下面側支え部材と上面側押さえ部材とを離間ないし近接させる上下駆動機構とを備え、
下面側支え部材は、ウエーハの中心側に傾斜した当接部を有し、
上面側押さえ部材は、ウエーハの中心側に傾斜した当接部を有し、
下面側支え部材と上面側押さえ部材との距離が近づくことにより、下面側支え部材の当接部がウエーハの外周エッジ部の下面側に当接しつつ、上面側押さえ部材の当接部が当該ウエーハの外周エッジ部の上面側に当接することで、当該ウエーハが狭持されて保持されることを特徴としている。

上記のウエーハ保持装置にてウエーハを保持すれば、ウエーハの機能領域より外側を把持しつつ、ウエーハの反りやたわみを低減することができる。

本発明を適用して保持されるウエーハＷの一例を示す斜視断面図である。 本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す斜視図である。 本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す平面図である。 本発明を具現化する各当接部の変形例を示す側面図である。 本発明を具現化する形態の変形例を示す平面図である。 本発明を具現化する形態の変形例を示す斜視図である。 本発明を具現化する形態の変形例を示す斜視図である。

以下に、本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。なお、以下の説明では、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、ＸＹ平面を水平面、Ｚ方向を鉛直方向とする。特に、Ｚ方向は矢印の方向を上、その逆方向を下と表現する。

図１は、本発明を適用して保持されるウエーハＷの一例を示す斜視断面図である。

ウエーハＷは、互いに平行で平坦な面（いわゆる、オモテ面やウラ面）を有しており、上側の面を上面Ｗｓ、下側の面を下面Ｗｂと呼ぶ。また、ウエーハＷは、上面Ｗｓおよび下面Ｗｂよりも外側に位置する外周エッジ部Ｅ（つまり、外端部。側面とも言う）を有しており、外周エッジ部Ｅと上面Ｗｓとの境界部ないしその外側を外周エッジ部Ｅの上面側Ｅｓ、外周エッジ部Ｅと下面Ｗｂとの境界部ないしその外側を外周エッジ部Ｅの下面側Ｅｂと呼ぶ。

図２は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す斜視図である。図２には、本発明に係るウエーハ保持装置１の概略が図示されており、保持されるウエーハＷの外周位置が破線Ｗ’で示されている。

ウエーハ保持装置１は、ウエーハＷを保持するものである。ウエーハ保持装置１は、下面側支え部材２、上面側押さえ部材３、上下駆動機構４、支持部材１０等を備えており、ウエーハＷ（詳しくは、ウエーハＷの外周エッジ部Ｅ）を上面Ｗｓ側および下面Ｗｂ側から狭持させることで保持が行われる。

下面側支え部材２は、ウエーハＷの外周エッジ部Ｅの下面側Ｅｂと接してウエーハＷを下面Ｗｂ側から支えるものであり、ウエーハＷの外周を囲む様に複数箇所（具体的には、３ヶ所を例示する）に配置されている。さらに、下面側支え部材２は、ウエーハＷの中心Ｗｃ側に傾斜した当接部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ（以下、各当接部２０ａ〜ｃと呼ぶ）を有している。

各当接部２０ａ〜ｃは、ウエーハＷの外周エッジ部Ｅの下面側Ｅｂと接し、ウエーハＷを所定の姿勢で支持するものである。具体的には、各当接部２０ａ〜ｃは、ウエーハＷの中心Ｗｃ側に傾斜した面で構成されており、ウエーハＷが保持される際の中心位置に近いほど下方に位置しており、中心位置から遠ざかるにつれて上方に位置している。つまり、下面側支え部材２は、くさび状の形状をしている。

支持部材１０は、下面側支え部材２を構成する各当接部２０ａ〜ｃの位置や方向、高さなどを一定の状態に保つためのものである。さらに、支持部材１０は、ウエーハＷの外周よりも大きな開口部Ｈを有しており、各当接部２０ａ〜ｃの下方側（つまり、先端側）が当該開口部に突出するように配置されている。

上面側押さえ部材３は、ウエーハＷの外周エッジ部Ｅの上面側Ｅｓに近接することでウエーハＷを上面Ｗｓ側から押さえるものであり、下面側支え部材２と対向する位置（具体的には、３ヶ所を例示する）に配置されている。さらに、上面側支え部材３は、ウエーハＷの中心Ｗｃ側に傾斜した当接部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ（以下、各当接部３０ａ〜ｃと呼ぶ）を有している。

各当接部３０ａ〜ｃは、エーハＷの外周エッジ部Ｅの上面側Ｅｓに近接し、ウエーハＷを下方に押すものである。具体的には、各当接部３０ａ〜ｃは、ウエーハＷの中心Ｗｃ側に傾斜した面で構成されており、ウエーハＷが保持される際の中心位置に近いほど上方に位置しており、中心位置から遠ざかるにつれて下方に位置している。つまり、上面側押さえ部材３は、くさび状の形状をしている。

上下駆動機構４は、下面側支え部材２と上面側押さえ部材３とを離間ないし近接させるものである。具体的には、上下駆動機構４は、可動部が所定距離だけ往復動作をするものであり、ソレノイド、エアシリンダ、ボールスプライン機構などのアクチュエータで構成されている。より具体的には、上下駆動機構４の本体部４０ａ，４０ｂ，４０ｃ（以下、各本体部４０ａ〜ｃと呼ぶ。つまり、非可動部）が下面側支え部材２と並設するように支持部材１０に取り付けられており、上下駆動機構４の可動部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ（以下、各可動部４１ａ〜ｃ）に上面側押さえ部材３が取り付けられている。

上下駆動機構４は、制御用コントローラ等の外部機器から出力される制御信号や駆動エアなどにより、各可動部４１ａ〜ｃが上方に移動（つまり、上昇）したり下方に移動（つまり、下降）し、各本体部４０ａ〜ｃに対して離間したり近接したりするように構成されている。なお、上下駆動機構４は、上昇端にあるときに下面側支え部材２と上面側押さえ部材３との間をウエーハＷが通過できる程度にクリアランスが設定されており、下降端にあるときに下面側支え部材２と上面側押さえ部材３との距離ＤがウエーハＷの外周エッジ部Ｅの厚みよりも小さくなるように設定されている。

そして、上下駆動機構４を制御して各可動部４１ａ〜ｃを上昇（つまり、下面側支え部材２と上面側押さえ部材３とを離間）させた状態で保持対象となるウエーハＷを破線Ｗ’で示す位置に移載（受け渡しとも言う）し、その後、上下駆動機構４を制御して各可動部４１ａ〜ｃを下降させる。この時、下面側支え部材２と上面側押さえ部材３との距離Ｄが近づくことにより、下面側支え部材２の各当接部２０ａ〜ｃがウエーハＷの外周エッジ部Ｅの下面側Ｅｂに当接しつつ、上面側押さえ部材３の各当接部３０ａ〜ｃが当該ウエーハＷの外周エッジ部Ｅの上面側Ｅｓに当接することで、当該ウエーハＷが狭持されて保持される。

図３は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す平面図である。図３には、本発明に係るウエーハ保持装置１の概略が図示されており、保持されるウエーハＷの外周位置が破線Ｗ’で示されている。

下面側支え部材２は、保持されるウエーハＷの外周（つまり、破線Ｗ’で示す位置）を囲む位置に３ヶ所であって、それぞれが等間隔で備えられている。

下面側支え部材２は、それぞれが等間隔で備えられていることで、外周エッジ部Ｅの下面側Ｅｂにはたらく力もほぼ均等となり、少ない支え点数でバランス良くウエーハＷを下面Ｗｂ側から支えることができるので、この様な配置が好ましいと言える。

なお、ウエーハＷは、２点鎖線で示す位置Ｗ”を経由して、破線Ｗ’で示す位置に移載され、当該位置で保持され、所定の処理が行われる。そして、ウエーハＷは所定の処理後、上面側押さえ部材３を上昇させて保持が解除され、２点鎖線で示す位置Ｗ”を経由して移載（搬出、払い出しとも言う）される。つまり、ウエーハＷは、矢印Ｍの方向に搬送される。

この様な構成をしているため、本発明にかかるウエーハ保持装置１は、ウエーハＷの機能領域より外側の外周エッジ部Ｅを上面側Ｅｓおよび下面側Ｅｂから狭持して保持（つまり、把持）することができ、ウエーハＷの反りやたわみを低減することができる。

［別の形態］
なお上述では、複数箇所に離れて配置された上面側押さえ部材３は、それぞれ独立して上昇／下降する構成を図示しつつ例示しているが、この上昇や下降（特に下降）するタイミングについては、各当接部３０ａ〜ｃが、それぞれ同時に下降し始め、同じ速度で下降するように構成されていることが好ましい。このとき、複数箇所に配置された上面側押さえ部材３は、それぞれ連結金具（図示せず）などを介して連結されていたり、リング状の部材に取り付けられていても良く、上下駆動機構４の個数や場所、構成等も適宜設定すれば良い。なお、下面側支え部材２上に載置されたウエーハＷが、本来ウエーハを載置／保持するべき基準位置（破線Ｗ’で示す位置）からずれて載置された場合、当該ウエーハＷの外周エッジＥが外側に外れた所ほど、外周エッジＥの上面側Ｅｓが上方に位置することとなる。そのため、各当接部３０ａ〜ｃが、それぞれ同時に下降し始め、同じ速度で下降するように構成しておくことで、各当接部３０ａ〜ｃと近接するウエーハＷの外周エッジＥの上面側Ｅｓの内、最も上方にあるところが最初に近接し、ウエーハＷを下方に押さえることとなる。そのため、ウエーハＷを狭持する際にアライメント効果が生じるので、好ましい。

［当接部の変形例］
なお上述では、下面側支え部材２および上面側押さえ部材３の具体的な形状として、くさび状の形状を例示し、各当接部２０ａ〜ｃ，３０ａ〜ｃが図２に示した様な平面形状で構成されている形態を例示した。この場合、ウエーハＷの外周エッジ部Ｅと各当接部２０ａ〜ｃ，３０ａ〜ｃとはそれぞれ点接触となるが、下面側支え部材２および上面側押さえ部材３は、比較的単純な形状であり、容易に製作できる。

しかし、本発明を具現化する上で、下面側支え部材２の各当接部２０ａ〜ｃおよび上面側押さえ部材３の各当接部３０ａ〜ｃは、この様な形状（つまり、平面形状）に限らず、曲面形状で構成されていても良い。

図４は、本発明を具現化する各当接部の変形例を示す側面図であり、図４（ａ）〜（ｃ）には、下面側支え部材２と上面側押さえ部材３が図示されており、保持されるウエーハＷの外縁が破線Ｗ’で示されている。
例えば、図４（ａ）に図示するように、上述の下面側支え部材２の各当接部２０ａ〜ｃ（つまり、平面形状）に代えて、曲面形状の各当接部２１ａ〜ｃを備えた構成であっても良い。或いは、図４（ｂ）に図示するように、上述の上面側押さえ部材３の各当接部３０ａ〜ｃ（つまり、平面形状）に代えて、曲面形状の各当接部３１ａ〜ｃを備えた構成であっても良い。或いは、図４（ｃ）に図示するように、下面側支え部材２と上面側押さえ部材３の双方とも、曲面形状の各当接部２１ａ〜ｃ，３１ａ〜ｃを備えた構成であっても良い。

特に、図４（ｃ）に図示するように、下面側支え部材２の各当接部２０ａ〜ｃ（つまり、下面側当接部）は、ウエーハＷが保持される際の中心位置から遠ざかるにつれてウエーハＷの下面Ｗｂに対する傾斜角度が大きく、上面側押さえ部材３の各当接部３０ａ〜ｃ（つまり、上面側当接部）は、ウエーハＷが保持される際の中心位置から遠ざかるにつれてウエーハＷの上面Ｗｓに対する傾斜角度が大きいことが好ましい。

まず、下面側支え部材２の各当接部２０ａ〜ｃ（つまり、下面側当接部）が上述の様な曲面形状であれば、ウエーハＷが保持しようとする本来の位置（つまり、破線Ｗ’で示す位置）からずれた位置に載置されたとしても、ウエーハＷが載置される際にはたらく自重により中心側に滑り落ちやすくなり、いわゆるセルフアライメント効果がはたらく。

さらに、上面側押さえ部材３の各当接部３０ａ〜ｃ（つまり、上面側当接部）が上述の様な曲面形状であれば、ウエーハＷが保持しようとする本来の位置（つまり、破線Ｗ’で示す位置）からずれた位置に載置されたとしても、外側に大きくずれた所が他の所よりも先に近接し、当接部にはウエーハＷを下方や中心方向に押す力がはたらく。このとき、ウエーハＷを狭持する際にアライメント効果がはたらくが、この効果は、当接部が上述の様な曲面形状をしている方が、平面形状をしているよりも大きくなる。

さらに、このような曲面形状を換言すれば、下面側支え部材２の各当接部２０ａ〜ｃ（つまり、下面側当接部）は、ウエーハＷが保持される際の中心位置に近づくにつれてウエーハＷの下面Ｗｂに対する傾斜角度が小さく、上面側押さえ部材３の各当接部３０ａ〜ｃ（つまり、上面側当接部）は、ウエーハＷが保持される際の中心位置に近づくにつれてウエーハＷの上面Ｗｓに対する傾斜角度が小さい。

つまり、上述のセルフアライメント効果及びアライメント効果により、ウエーハＷが保持しようとする本来の位置に近づくことで、ウエーハＷを狭持する際の外周エッジ部Ｅと当接する各当接部２１ａ〜ｃ，３１ａ〜ｃとの角度が緩やかとなる。そのため、ウエーハＷを中心に向かって押さえ付ける力が減少し、ウエーハＷの反りやたわみを低減することができる。

［下面側支え部材と上面側押さえ部材の変形例］
なお上述では、下面側支え部材２と、それに対向配置された上面側押さえ部材３が、ウエーハＷの外周を囲む位置に３ヶ所、それぞれが等間隔で備えられている構成を例示した。しかし、下面側支え部材２と上面側押さえ部材３とは、このような等間隔に配置された構成に限らず不等間隔に配置されていて良いし、３ヶ所以外に配置されていても良い。

図５は、本発明を具現化する形態の変形例を示す平面図であり、図５（ａ）（ｂ）には、下面側支え部材２と上面側押さえ部材３の変形例がそれぞれ図示されている。

例えば、図５（ａ）に図示するように、下面側支え部材２、上面側押さえ部材３、上下駆動機構４が５箇所、等間隔に配置された構成のウエーハ保持装置１Ｂであっても良い。或いは、図５（ｂ）に図示するように、下面側支え部材２、上面側押さえ部材３、上下駆動機構４が４箇所に配置された構成のウエーハ保持装置１Ｃであっても良い。

図６は、本発明を具現化する形態の変形例を示す斜視図であり、図６（ａ）（ｂ）には、下面側支え部材と上面側押さえ部材の変形例であるウエーハ保持装置１Ｄ，１Ｅがそれぞれ図示されている。

例えば、図６（ａ）に図示するように、ウエーハ保持装置１Ｄは、Ｃ字状（円弧状とも言う）につながった形状の下面側支え部材２Ｂと上面側押さえ部材３Ｂを備えた構成であっても良い。或いは、どちらか一方をＣ字状の形状の下面側支え部材２Ｂ又はと面側押さえ部材３Ｂとし、他方を図２〜図４に示した様な形状にしても良い。

或いは、図６（ｂ）に図示するように、ウエーハ保持装置１Ｅは、図５（ａ）に図示したものと同様の断面形状（破線２ｄ，３ｄ）を有しつつ、リング状につながった形状の下面側支え部材２Ｃと上面側押さえ部材３Ｃを備えた構成であっても良い。或いは、どちらか一方をリング状ににつながった形状の下面側支え部材２Ｃ又は上面側押さえ部材３Ｃとし、他方を図２〜図５（ａ）に示した様な形状にしても良い。そして、これら下面側支え部材２Ｂ，２Ｃ等を上下駆動機構４の本体部４０ａ〜ｃを取り付け、上下駆動機構４の可動部４１ａ〜ｃに上面側押さえ部材３Ｂ，３Ｃ等を取り付ける。なお、上述では、上下駆動機構４の本体部４０ａ〜ｃと可動部４１ａ〜ｃとが３組配置された構成を例示しているが、１組や２組でも良いし、４組以上であっても良い。このような構成であれば、上述した様な支持部材１０を省き、その機能を下面側支え部材２Ｂ，２Ｃに持たせることができる。

そして、この様な形状（Ｃ字状やリング状）であれば、下面側支え部材２Ｂ，２ＣはウエーハＷの外周エッジ部Ｅの下面側Ｅｂを３点以上で接触して支えることができ、下面側支え部材２Ｂ，２Ｃ等と対向して配置された上面側押さえ部材３Ｂ，３Ｃ等により、ウエーハＷの外周エッジ部Ｅの上面側Ｅｓと近接して、ウエーハＷを下方に押すことができる。

なお、図１〜図６（ａ）（ｂ）に示すような、下面側支え部材２等が固定されており、上面側押さえ部材３等が上昇／下降する構成のみならず、下面側支え部材２が上昇／下降する構成であっても良い。
図７は、本発明を具現化する形態の変形例を示す斜視図であり、ウエーハ保持装置１Ｆを下方から見上げた様子が示されている。
ウエーハ保持装置１Ｆは、上面側押さえ部材３がリング状の支持部材１０の下面に取り付けられており、可動部４１ａ〜ｃが本体部４０ａ〜ｃの下方で往復動作するように上下駆動機構４を支持部材１０に取り付けられており、上面側押さえ部材３と対向する様に下面側支え部材２が上下駆動機構４の可動部４１ａ〜ｃに取り付けられてた構成をしている。そのため、下面側支え部材２が上昇／下降することとなる。この場合、下面側支え部材２や上面側押さえ部材３Ｂを３箇所以外や、等間隔以外に配置した構成であったり、上述した他の形状の下面側支え部材２Ｂ，２Ｃや上面側押さえ部材３Ｂ，３Ｃを備えた構成であったり、各当接部を曲面形状で構成したりしても良い。

なお、図５（ａ）（ｂ）、図６（ａ）（ｂ）、図７を示して上述した構成において、各当接部の断面形状は、図１を示して上述した様な直線形状のみならず、図４（ａ）〜（ｃ）を示して上述した様な曲面形状でも構成することができる。

［ウエーハの変形例］
なお上述では、本発明に係るウエーハ保持装置１等の形態として、円形のウエーハＷを例示して把持対象とした。しかし、ウエーハＷは、完全な円形のみならず、外周エッジ部にノッチと呼ばれる凹みや、オリエンテーションフラットと呼ばれる平坦部が形成された略円形であっても良い。さらには、楕円形や矩形等のウエーハであっても良い。

さらに、本発明に係るウエーハ保持装置１等の保持対象とするウエーハＷが、シリコンやガラスなどの比較的厚みの薄い基板であれば、ウエーハＷの反りやたわみを低減することができるので、本発明を適用することが好ましい。ウエーハＷが、脆性材料であれば、ウエーハＷの反りやたわみを低減するだけでなく、外周エッジ部の割れや欠けを防止できるため、本発明を適用することがより好ましい。

［ウエーハ保持装置の適応例］
なお上述では、ウエーハ保持装置１等の具体的な形態を例示しつつ、基本的な構成を例示して説明した。よって、本発明に掛かるウエーハ保持装置は、ウエーハＷを所定の姿勢で保持するためのウエーハ載置台に取り付けることで、種々の処理装置に組み込まれて用いることができる。例えば、ウエーハＷの機能領域に対して上面Ｗｓ側から成膜や露光を行ったり、開口部Ｈを通じてウエーハＷの機能領域に対して下面Ｗｂ側から成膜や露光を行ったり、ウエーハＷの上面Ｗｓ側と下面Ｗｂ側に対向配置された照明手段と撮像手段を用いて透過光による撮像や検査などの処理を行ったりすることができる。

１ ウエーハ保持装置
２ 下面側支え部材
３ 上面側押さえ部材
４ 上下駆動機構
１０ 支持部材
２０ａ〜ｃ 当接部
３０ａ〜ｃ 当接部
４０ａ〜ｃ 本体部
４１ａ〜ｃ 可動部
Ｗ ウエーハ
Ｗ’ 破線（保持されるウエーハＷの外周位置）
Ｗ” ウエーハが移載される際に経由する位置
Ｗｓ 上面
Ｗｂ 下面
Ｗｃ 中心
Ｅ 外周エッジ部（外端部、側面）
Ｅｓ 外周エッジ部の上面側
Ｅｂ 外周エッジ部の下面側
Ｄ 距離
Ｍ 矢印（搬送方向）
１Ｂ〜１Ｆ ウエーハ保持装置（変形例）
２Ｂ，２Ｃ 下面側支え部材（変形例）
３Ｂ，３Ｃ 上面側押さえ部材（変形例）
２１ａ〜ｃ 当接部（変形例）
３１ａ〜ｃ 当接部（変形例）

Claims (3)

1. ウエーハを保持するウエーハ保持装置において、
   前記ウエーハの外周を囲む様に配置され、当該ウエーハの外周エッジ部の下面側と接して当該ウエーハを下面側から支える下面側支え部材と、
   前記下面側支え部材と対向する位置に配置され、前記ウエーハの外周エッジ部の上面側に近接することで当該ウエーハを上面側から押さえる上面側押さえ部材と、
   前記下面側支え部材と前記上面側押さえ部材とを離間ないし近接させる上下駆動機構とを備え、
   前記下面側支え部材は、前記ウエーハの中心側に傾斜した当接部を有し、
   前記上面側押さえ部材は、前記ウエーハの中心側に傾斜した当接部を有し、
   前記下面側支え部材と前記上面側押さえ部材との距離が近づくことにより、前記下面側支え部材の当接部が前記ウエーハの外周エッジ部の下面側に当接しつつ、前記上面側押さえ部材の当接部が当該ウエーハの外周エッジ部の上面側に当接することで、当該ウエーハが狭持されて保持される
   ことを特徴とする、ウエーハ保持装置。
2. 前記下面側支え部材および前記上面側押さえ部材は、前記ウエーハの外周を囲む位置に少なくとも３ヶ所に等間隔で備えられている
   ことを特徴とする、請求項１に記載のウエーハ保持装置。
3. 前記下面側当接部は、前記ウエーハが保持される際の中心位置から遠ざかるにつれて当該ウエーハの下面に対する傾斜角度が大きく、
   前記上面側当接部は、前記ウエーハが保持される際の中心位置から遠ざかるにつれて当該ウエーハの上面に対する傾斜角度が大きい
   ことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載のウエーハ保持装置。

Images