JP5922072B2 - パネル、パネルの製造方法、太陽電池モジュール、印刷装置および印刷方法 - Google Patents

パネル、パネルの製造方法、太陽電池モジュール、印刷装置および印刷方法 Download PDF

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Description

本発明は、パネル、パネルの製造方法、太陽電池モジュール、印刷装置および印刷方法に関する。
ソーラーパネルは、クリーンで無尽蔵に供給される太陽光エネルギーを直接電気エネルギーに変換することができ、新しいエネルギー源として期待されている。現在主流のソーラーパネルにはシリコン基板が用いられており、その表面には銀を含む集電極が設けられる。集電極の材料として銀を用いることにより、シリコン基板と集電極の接触抵抗を低減させるとともに電極自体の低抵抗化が図られている(例えば、特許文献1参照)。
また、ソーラーパネルにおいて受光部側に設けられる集電極の幅が大きいと、シリコン基板の開口面積が小さくなり、エネルギーの変換を効率的に行うことができない。このため、銀を含む導電層を積層した電極を形成することにより、開口面積の低下を抑制するとともに抵抗を低減させることが提案されている(例えば、特許文献2参照)。特許文献2には、印刷法で銀を含む導電層の積層によって比抵抗を小さくするとともに酸化の抑制を図ることが記載されている。
特開2009−194013号公報 特開2010−090211号公報
特許文献2に記載されているように印刷法で導電層を積層する場合、導電性材料の無駄を抑制することができる。しかしながら、近年、さらなるコストの低減が要望されている。例えば、銀以外の別の導電性材料(例えば、比較的安価な銅)を含む導電層を積層した場合、電極自体の抵抗を低くすることができるもののシリコン基板との接触抵抗が増大してしまい、充分な特性が得られない。このように、特許文献2に記載の印刷法では、所望な電極を形成できないことがある。また、単純に電極を形成した場合、電極材料のコストを低減できないことがある。さらに、基板上に形成した電極が酸化すると、抵抗率が増加してしまうことがある。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、電極設計の自由度を向上させたパネル、パネルの製造方法、パネルを備えた太陽電池モジュール、印刷装置および印刷方法を提供することにある。
本発明による印刷装置は、基板の表面にインクを印刷する印刷部を備える、印刷装置であって、前記印刷部は、第1導電性材料を含む第1導電性インクをオフセット印刷で印刷し、前記第1導電性インクの上に、前記第1導電性材料とは異なる第2導電性材料を含む第2導電性インクをオフセット印刷で印刷する。
ある実施形態において、前記印刷装置は、前記基板を搬送するコンベアをさらに備える。
ある実施形態において、前記印刷部は、前記第1導電性インクを印刷する第1印刷機と、前記第2導電性インクを印刷する第2印刷機とを有する。
ある実施形態において、前記第1導電性材料は銀を含む。
ある実施形態において、前記第2導電性材料は、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムのいずれか、または、銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムからなる群から選択された少なくとも2つを含む。
ある実施形態において、前記印刷部は、前記第1導電性インクおよび前記第2導電性インクの少なくとも一部を覆う酸化防止用インクを印刷する。
ある実施形態において、前記酸化防止用インクは透明材料を含む。
ある実施形態において、前記酸化防止用インクは導電性材料を含む。
ある実施形態において、前記基板の前記表面の法線方向から見た場合、前記第1導電インクの幅は前記第2導電インクの幅よりも大きい。
ある実施形態において、前記第1導電性インクの長さは前記第2導電性インクの長さよりも大きい。
本発明の印刷方法は、基板の表面にインクを印刷する印刷方法であって、第1導電性材料を含む第1導電性インクをオフセット印刷で印刷する工程と 前記第1導電性インクの上に、前記第1導電性材料とは異なる第2導電性材料を含む第2導電性インクをオフセット印刷で印刷する工程とを含む。
本発明によるパネルは、表面を有する基板と、前記基板の前記表面上に設けられた積層構造を有する電極とを備える、パネルであって、前記積層構造は、第1導電性材料を含む第1導電層と、前記第1導電性材料とは異なる第2導電性材料を含む第2導電層とを含む。
ある実施形態において、前記第1導電層は銀を含む。
ある実施形態において、前記第2導電層は、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムのいずれか、または、銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムからなる群から選択された少なくとも2つを含む。
ある実施形態において、前記第1導電層および前記第2導電層のそれぞれはオフセット印刷で印刷される。
本発明による太陽電池モジュールは上記に記載のパネルを複数備える。
本発明によるパネルの製造方法は、表面を有する基板を用意する工程と、前記基板の前記表面に電極を形成する工程とを包含する、パネルの製造方法であって、前記電極を形成する工程は、前記基板の前記表面に、第1導電性材料を含む第1導電性インクをオフセット印刷で印刷する工程と、前記第1導電性インクの上に、前記第1導電性材料とは異なる第2導電性材料を含む第2導電性インクをオフセット印刷で印刷する工程と、前記第1導電性インクおよび前記第2導電性インクを加熱する工程とを含む。
本発明によるパネルは、表面を有する基板と、前記基板の前記表面に設けられた積層構造を有する電極とを備える、パネルであって、前記電極は、第1線状電極と、前記第1線状電極から延びた第2線状電極とを有しており、前記第2線状電極は、前記第2線状電極の長手方向に直交する断面の断面積が前記第1線状電極から離れる方向に沿って減少した断面積減少部を有している。
ある実施形態において、前記断面積減少部のうち前記断面積の最も小さい部分における前記積層構造の積層数は、前記断面積減少部のうち前記断面積の最も大きい部分における前記積層構造の積層数よりも少ない。
ある実施形態では、前記断面積減少部において、前記第2線状電極の断面積は前記第1線状電極から離れる方向に沿って連続的に変化する。
ある実施形態において、前記基板の前記表面の法線方向から前記電極を見た場合、前記断面積減少部において、前記第2線状電極の幅は前記第1線状電極から離れる方向に沿って連続的に減少する。
ある実施形態において、前記積層構造は、第1導電層と、前記第1導電層上に部分的に積層された第2導電層とを有している。
ある実施形態において、前記基板の前記表面の法線方向から前記電極を見た場合、前記第1導電層の幅は前記第2導電層の幅よりも大きい。
ある実施形態において、前記第1導電層の前記第1線状電極から離れる方向に沿った長さは前記第2導電層の前記第1線状電極から離れる方向に沿った長さよりも大きい。
ある実施形態において、前記第1導電層は、第1導電性材料を含み、前記第2導電層は、前記第1導電性材料とは異なる第2導電性材料を含む。
ある実施形態において、前記第1導電性材料は銀を含む。
ある実施形態において、前記第2導電性材料は、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムのいずれか、または、銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムからなる群から選択された少なくとも2つを含む。
ある実施形態において、前記パネルは、前記電極の少なくとも一部の酸化を防ぐ酸化防止層をさらに備える。
ある実施形態において、前記酸化防止層は透明材料を含む。
ある実施形態において、前記酸化防止層は導電性材料を含む。
ある実施形態において、前記第1線状電極は、前記第1線状電極から離れる方向に互いに平行に延びる第1平行電極および第2平行電極を含み、前記第2線状電極は、前記第1平行電極および前記第2平行電極のそれぞれと電気的に接続された交差電極を含み、前記交差電極は、前記第1平行電極と接触する第1断面積減少部と、前記第2平行電極と接触する第2断面積減少部とを有する。
ある実施形態において、前記基板の前記表面の法線方向から前記電極を見た場合の前記第1平行電極と前記第2平行電極との間の中央付近の前記交差電極の断面積は、前記第1平行電極近傍の前記交差電極の断面積、および、前記第2平行電極近傍の前記交差電極の断面積よりも小さい。
ある実施形態において、前記基板の前記表面の法線方向から前記電極を見た場合、前記第1平行電極と前記第2平行電極との間の中央付近の前記交差電極の幅は、前記第1平行電極近傍の前記交差電極の幅、および、前記第2平行電極近傍の前記交差電極の幅よりも小さい。
本発明による太陽電池モジュールは、上記に記載のパネルを複数備える。
本発明による印刷装置は、基板の表面にインクを印刷する印刷部を備える、印刷装置であって、前記印刷部は、ある方向に線状に延びた積層構造を有する第1線状部および前記第1線状部とは異なる方向に延びた第2線状部を含む導電性インクを、前記第2線状部の長手方向に直交する断面の断面積が前記第1線状部から離れる方向に沿って減少するように印刷する。
ある実施形態において、前記印刷装置は、前記基板を搬送するコンベアをさらに備える。
ある実施形態において、前記印刷部は、第1導電性インクを印刷する第1印刷機と、前記第1導電性インクの上に、第2導電性インクを印刷する第2印刷機とを有する。
本発明による印刷方法は、基板の表面にインクを印刷する印刷方法であって、ある方向に線状に延びた積層構造を有する第1線状部および前記第1線状部とは異なる方向に延びた第2線状部を含む導電性インクを、前記第2線状部の長手方向に直交する断面の断面積が前記第1線状部から離れる方向に沿って減少するように印刷する工程を包含する。
ある実施形態において、前記印刷する工程は、前記基板の表面に第1導電性インクを印刷する工程と、前記第1導電性インクの上に、前記第1導電性インクと比べて幅および長さの少なくとも一方の小さい第2導電性インクを印刷する工程とを含む。
本発明によるパネルの製造方法は、表面を有する基板を用意する工程と、前記基板の前記表面に電極を形成する工程とを包含する、パネルの製造方法であって、前記電極を形成する工程は、ある方向に線状に延びた積層構造を有する第1線状部および前記第1線状部とは異なる方向に延びた第2線状部を含む導電性インクを、前記第2線状部の長手方向に直交する断面の断面積が前記第1線状部から離れる方向に沿って減少するように印刷する工程と、前記導電性インクを加熱する工程とを含む。
ある実施形態において、前記印刷する工程は、第1導電性インクを印刷する工程と、前記第1導電性インクの上に、前記第1導電性インクと比べて幅および長さの少なくとも一方の小さい第2導電性インクを印刷する工程とを含む。
本発明によるパネルは、表面を有する基板と、前記基板の前記表面に設けられた電極と前記電極の少なくとも一部の酸化を防ぐ酸化防止層とを備える。
ある実施形態において、前記酸化防止層は透明材料を含む。
ある実施形態において、前記酸化防止層は導電性材料を含む。
ある実施形態において、前記基板は光電変換層を有している。
ある実施形態において、前記電極は積層構造を有している。
ある実施形態において、前記積層構造は、第1導電層と、前記第1導電層上に設けられた第2導電層とを有している。
ある実施形態において、前記第1導電層の所定の方向に沿った長さは前記第2導電層の前記所定の方向に沿った長さよりも大きい。
ある実施形態において、前記基板の前記表面の法線方向から前記電極を見た場合、前記第1導電層の幅は前記第2導電層の幅よりも大きい。
ある実施形態において、前記第1導電層は、第1導電性材料を含み、前記第2導電層は、前記第1導電性材料とは異なる第2導電性材料を含む。
ある実施形態において、前記第1導電性材料は銀を含む。
ある実施形態において、前記第2導電性材料は、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムのいずれか、または、銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムからなる群から選択された少なくとも2つを含む。
ある実施形態において、前記電極は、互いに平行に延びる複数の平行電極を有しており、前記酸化防止層は、互いに分離された状態で前記複数の平行電極のそれぞれを覆う。
ある実施形態において、前記酸化防止層の幅は前記電極の幅の2倍以上である。
本発明による太陽電池モジュールは、上記に記載のパネルを複数備える。
本発明による印刷装置は、基板の表面にインクを印刷する印刷部を備える、印刷装置であって、前記印刷部は、導電性インクを印刷する導電性インク印刷機と、酸化防止用インクを印刷する酸化防止用インク印刷機とを有する。
ある実施形態において、前記印刷装置は、前記基板を搬送するコンベアをさらに備える。
ある実施形態において、前記導電性インク印刷機は、第1導電性インクを印刷する第1印刷機と、前記第1導電性インクの上に、第2導電性インクを印刷する第2印刷機とを含む。
本発明による印刷方法は、基板の表面にインクを印刷する印刷方法であって、前記基板の表面に導電性インクを印刷する工程と、前記導電性インクを覆う酸化防止用インクを印刷する工程とを包含する。
本発明によるパネルの製造方法は、表面を有する基板を用意する工程と、前記基板の前記表面に導電性インクを印刷する工程と、前記導電性インクを覆う酸化防止用インクを印刷する工程と、前記導電性インクおよび前記酸化防止用インクを加熱する工程とを含む。
本発明によれば、電極設計の自由度を向上させたパネル、パネルの製造方法、パネルを備えた太陽電池モジュール、印刷装置および印刷方法を提供することができる。
本発明によるパネルの第1実施形態の模式的な断面図である。 図1に示したパネルの上面図である。 図1に示したパネルの全体を示す模式的な断面図である。 (a)および(b)は図1に示したパネルの製造方法を説明するための模式図である。 (a)〜(c)は図1に示したパネルの電極を形成するための印刷方法を説明するための模式図である。 本発明による印刷装置の第1実施形態の模式図である。 図6に示した印刷装置における印刷機の一例を示す模式図である。 本発明によるパネルの第2実施形態の模式的な断面図である。 (a)は図1に示したパネルの模式的な断面図であり、(b)は図8に示したパネルの模式的な断面図である。 本発明による印刷装置の第2実施形態の模式図である。 本発明によるパネルの第2実施形態の変形例の模式的な断面図である。 (a)は本発明によるパネルの第3実施形態の模式的な上面図であり、(b)は(a)の一部拡大図であり、(c)は模式的な断面図である。 (a)は本発明によるパネルの第3実施形態の変形例の模式図であり、(b)は模式的な断面図である。 (a)は本発明によるパネルの第3実施形態の別の変形例の模式図であり、(b)は模式的な断面図である。 (a)は本発明によるパネルの第3実施形態のさらに別の変形例の模式図であり、(b)は模式的な断面図である。 本発明によるパネルを備える太陽電池モジュールの実施形態の模式図である。
以下、図面を参照して、本発明によるパネル、パネルの製造方法、太陽電池モジュール、印刷装置および印刷方法の実施形態を説明する。なお、本発明の実施形態では、ソーラーパネルを例に説明するが、本発明はこれに限定されない。
(実施形態1)
以下、図面を参照して、本発明によるパネルの第1実施形態を説明する。図1に、パネル100の模式的な断面図を示す。ここでは、パネル100はソーラーパネルである。図1は、パネル100の一方の主面の近傍を拡大して示している。
パネル100は、基板10と、基板10の表面12の上に設けられた電極20とを備える。図1では、電極20は分離されて示されているが、これらの電極20は別の個所において電気的接続されて、電極20のそれぞれの電位は互いにほぼ等しくてもよい。
ここでは図示していないが、基板10は光電変換層を有している。例えば、基板10はシリコン基板であり、基板10は、p型シリコン層およびn型シリコン層を有している。具体的には、光電変換層はアモルファスシリコンを含んでもよく、あるいは、光電変換層は結晶性シリコンを含んでもよい。例えば、光電変換層は単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは微結晶シリコンを含んでもよい。
図1では断面を示しているが、電極20はある方向に延びている。パネル100において、電極20は積層構造20Dを有している。ここでは、電極20は2層構造であり、電極20は、基板10の表面12に接する導電層20aと、導電層20aの上に設けられた導電層20bを有している。導電層20aは導電性材料Daを含み、導電層20bは導電性材料Daとは異なる導電性材料Dbを含む。
導電性材料Daは、例えば銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケル、アルミニウム等の単体またはその混合物である。また、導電性材料Dbは、導電性材料Daとは異なり、例えば銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケル、アルミニウム等の単体または混合物である。なお、導電性材料Da、Dbは完全に同一でなければよく、導電性材料Da、Dbのいずれか一方が混合物である場合、混合物のうちの1つの導電性材料が他方の導電性材料に含まれていてもよく、含まれていなくてもよい。また、導電性材料Da、Dbの両方が混合物である場合、一方の導電性材料内のある導電性材料が他方の導電性材料に含まれていてもよく、含まれていなくてもよい。好ましくは、導電性材料Daは銀であり、導電性材料Dbは、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムのいずれか、または、銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムからなる群から選択された少なくとも2つを含む混合物である。
ここでは、導電層20a、20bはそれぞれ1つの導電性材料Da、Dbを含んでいる。例えば、導電性材料Daは銀であり、導電性材料Dbは銅である。なお、導電性材料Daは好適には基板10の表面12を形成する材料に応じて選択される。例えば、表面12がシリコンから形成される場合、導電性材料Daとして銀を用いることにより、接触抵抗を抑制することができる。典型的には、導電性材料Da、Dbとして抵抗率の低い金属材料が用いられる。本明細書において、導電性材料Da、Dbをそれぞれ第1導電性材料Da、第2導電性材料Dbと呼ぶことがあり、また、導電層20a、20bをそれぞれ第1導電層20a、第2導電層20bと呼ぶことがある。導電層20aの幅は導電層20bの幅とほぼ等しい。
このように電極20が積層構造20Dを有することにより、電極20の幅が比較的小さくても断面積を増大させることができ低抵抗を実現できる。また、導電層20bが導電層20aの導電性材料Daとは異なる導電性材料Dbを含むことにより、基板10の表面12に実質的に影響されることなく導電層20bの導電性材料Dbを選択することができ、電極20の設計の自由度を向上させることができる。また、パネル100では、銀を含む導電層20a、および、銅を含む導電層20bが積層しており、電極20自体の高抵抗化を抑制しつつ高価な銀の使用量を減少させることができる。
図2に、パネル100の受光面の模式図を示す。電極20は、バスバー電極22と、フィンガー電極24とを有しており、電極20は集電極とも呼ばれる。1つのバスバー電極22からフィンガー電極24が延びており、典型的には、フィンガー電極24は一定のピッチで配列される。一般に、バスバー電極22の幅はフィンガー電極24の幅よりも大きい。なお、図1は、図2の1−1’線に沿った断面である。
例えば、パネル100は、主面の長さおよび幅がそれぞれ170mmの矩形状である。また、例えば、バスバー電極22の幅は2mm以上3mm以下であり、フィンガー電極24の幅は15μm以上70μm以下である。フィンガー電極24のピッチ(すなわち、あるフィンガー電極24の中心と、それに隣接するフィンガー電極24の中心との間の距離)は2mmである。フィンガー電極24のピッチが大きすぎると、基板10において生成されたキャリアがフィンガー電極24にまで充分に到達しないため、電流を効率的に取り出すことができない。一方、フィンガー電極24のピッチが小さすぎると、フィンガー電極24の本数が多くなり、開口面積が減少する。
図3に、パネル100の模式図を示す。パネル100は、基板10の表面12に設けられた電極20だけでなく基板10の裏面14に設けられた電極110をさらに備えている。典型的には、電極110は基板10の裏面14全体を覆うように設けられている。例えば、電極110はアルミニウムから形成される。
以下に、図4を参照して、パネル100を好適に製造するための製造方法を説明する。図4(a)に示すように、表面12を有する基板10を用意する。上述したように、例えば、基板10はシリコン基板である。次に、図4(b)に示すように、基板10の表面12上に電極20を形成する。電極20は例えば印刷方法で形成される。
以下に、図5を参照して、電極20の形成方法を説明する。図5(a)に示すように、基板10の上に、導電性材料Daを含む導電性インクKaを印刷する。例えば、導電性インクKaは、粒子状の導電性材料Daおよびビヒクルを有しており、ビヒクルは樹脂および溶剤を含む。導電性インクKaは適度なチクソ性を有している。
上述したように、導電性材料Daは銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケル、アルミニウム等の単体または混合物である。樹脂はバインダ樹脂とも呼ばれる。樹脂は、例えばポリエステル−メラミン樹脂のような熱硬化性樹脂、アクリル樹脂のような紫外線硬化性樹脂、ポリエステル樹脂のような熱可塑性の樹脂等である。また、例えば、溶剤は室温で揮発する低温揮発性溶剤である。具体的には、溶剤はグリコールエーテル系溶剤である。
次に、図5(b)に示すように、導電性インクKaの上に、導電性材料Daとは異なる導電性材料Dbを含む導電性インクKbを印刷する。上述したように、導電性材料Dbは導電性粒子Daとは異なり、銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケル、アルミニウム等の単体またはそれらの群から選択された少なくとも2つを含む混合物である。例えば、導電性インクKbは、粒子状の導電性材料Dbおよびビヒクルを有しており、ビヒクルは樹脂および溶剤を含む。導電性インクKaのビヒクルは導電性インクKaと同一であってもよく、あるいは、導電性インクKaのビヒクルは導電性インクKaと同様であってもよい。以上のように、基板10の上には導電性インクが印刷される。なお、本明細書において、導電性インクKa、Kbをそれぞれ第1導電性インクKa、第2導電性インクKbと呼ぶことがある。
その後、図5(c)に示すように、第1導電性インクKaおよび第2導電性インクKbを加熱する。加熱温度は、例えば、500℃以上850℃以下である。これにより、導電性材料Daが焼成して導電性材料Daを含む第1導電層20aが形成され、導電性材料Dbが焼成して導電性材料Dbを含む第2導電層20bが形成される。なお、第1導電層20aは導電性インクKaの形状に応じて形成され、第2導電層20bは導電性インクKbの形状に応じて形成される。
図4および図5を参照して説明した製造方法および印刷方法は、以下の印刷装置を用いて好適に行われる。
図6に、本発明による印刷装置の実施形態を説明する。本実施形態の印刷装置200は、基板10を搬送するコンベア210と、印刷部220と、加熱装置230とを備える。印刷部220は複数の印刷機を有している。印刷機の数は、電極20の積層構造の数と対応している。ここでは、印刷部220は、導電性材料Daを含む導電性インクKaを印刷する印刷機220aと、導電性材料Daとは異なる導電性材料Dbを含む導電性インクKbを印刷する印刷機220bとを有している。
まず、回転するコンベア210の上に基板10が載置され、コンベア210は基板10を搬送する。コンベア210によって搬送された基板10が印刷機220aの下に到達すると、印刷機220aは基板10に導電性インクKaを印刷する。
次に、コンベア210によって搬送された基板10が印刷機220bの下に到達すると、印刷機220bは基板10に導電性インクKbを印刷する。なお、導電性インクKbは導電性インクKaの上に積層するように、コンベア210の搬送速度および印刷機220a、220bの印刷は設定されている。
その後、コンベア210は導電性インクKa、Kbの積層された基板10を加熱装置230に搬送する。基板10は加熱装置230内において加熱され、導電性インクKa、Kbが焼成される。これにより、導電性インクKaから導電性材料Daを含む導電層20aが形成され、導電性インクKbから導電性材料Dbを含む導電層20bが形成される。以上のようにして異なる導電性材料を含む導電層20a、20bを有する電極20が形成される。
図7に、印刷機220aの一例の模式図を示す。印刷機220aは、インクトレー302と、インク供給ロール304と、凹版ロール306と、転写ロール308と、スクレーパー310と、クリーニングロール312とを備えている。この印刷機220aでは、インクトレー302内の導電性インクKaは、インク供給ロール304から、凹版ロール306の周面に移動し、さらに、転写ロール308の周面に移動して、転写ロール308の下方を順次に通過する基板10の表面へ転写される。このような印刷はオフセット印刷またはグラビアオフセット印刷とも呼ばれる。
以下、具体的に説明する。インクトレー302には基板10に印刷される導電性インクKaが入っている。インクトレー302内の導電性インクKaが減少した場合、下方のポンプ(図示せず)により、インクトレー302内に導電性インクKaが補充される。インクトレー302は印刷機220aの下方に位置にしている。
インク供給ロール304の下部分はインクトレー302内の導電性インクKaに浸漬しており、インク供給ロール304はインクトレー302内の導電性インクKaに浸漬しながら回転する。インク供給ロール304に付着した導電性インクKaは凹版ロール306に移転する。なお、凹版ロール306の近傍にはスクレーパー310が設けられている。凹版ロール306がインクトレー302内の導電性インクKaから出て転写ロール308と接触する前に、スクレーパー310は凹版ロール306に付着した余分な導電性インクKaを除去する。
凹版ロール306の表面には凹部が設けられており、凹部は、基板10に印刷される線・図形・模様その他に対応する。例えば、凹版ロール306の外径は100mmであり、幅は145mmである。なお、凹版ロール306の凹部に対応して導電性インクKaが転写される。例えば、幅30μmのフィンガー電極24(図2)を形成する場合、対応する凹版ロール306の凹部の幅は幅30μmである。
凹版ロール306の凹部に付着した導電性インクKaは転写ロール308に付着する。転写ロール308は、凹版ロール306の周面と接触しながら回転すると共に、下方を通過する基板10の表面を押圧して導電性インクKaを基板10に転写する。転写ロール308は、導電性インクKaが転写ロール308から基板10の表面にスムーズかつ確実に転写可能となるように剥離性の良い材質から形成される。例えば、転写ロール308はシリコンゴムの一種から形成される。転写ロール308は、外径200mmで、幅135mmである。なお、転写ロール308の近傍にはクリーニングロール312が設けられている。クリーニングロール312により、転写ロール308に付着した余分な導電性インクKaが除去される。
なお、ここでは図示していないが、印刷機220bは、インクトレー302内の導電性インクが異なる点を除いて上述した印刷機220aと同様の構成を有している。以上のように印刷装置200はオフセット印刷によって導電性インクKa、Kbを印刷する。このようなオフセット印刷により、導電性インクKa、Kbの幅を小さくすることができ、結果として、幅の小さい電極20を形成することができる。
なお、上述した説明では、電極20は2層構造であり、印刷装置200には2つの印刷機220a、220bが設けられたが、本発明はこれに限定されない。電極20は3層以上の積層構造であり、印刷部220には3以上の印刷機が設けられてもよい。
また、上述した説明では、積層構造20Dにおける層の種類は印刷部220の印刷機の数と等しかったが、本発明はこれに限定されない。積層構造20Dにおける層の種類は、印刷部220の印刷機の数よりも少なくてもよい。例えば、印刷部220は、2つの印刷機のそれぞれが導電性材料として銀を含む導電性インクの層を印刷して2層の導電性インクを形成した後で、別の印刷機が他の導電性材料(例えば、銅)を含む導電性インクの層を上記2つの導電性インクの上に印刷してもよい。
また、上述した説明では、印刷機220a、220bにおける凹版ロール306はバスバー電極22およびフィンガー電極24の両方に対応しており、印刷部220は、バスバー電極22およびフィンガー電極24を含む電極20に対応する導電性インクを一度に印刷したが、本発明はこれに限定されない。印刷部220は、バスバー電極22およびフィンガー電極24の一方を先に形成し、他方を後に形成してもよい。例えば、印刷機220a、220bにおける凹版ロール306はフィンガー電極24に対応しており、印刷部220a、220bがフィンガー電極24に対応する導電性インクを印刷した後に、別の印刷機(図示せず)がバスバー電極22に対応する導電性インクを印刷してもよい。
なお、図6に示した印刷装置200では、コンベア210は直線状に基板10を搬送したが、本発明はこれに限定されない。コンベア210は曲線状に基板10を搬送してもよい。例えば、コンベア210は基板10を環状に搬送してもよい。このような環状のコンベア210はターンテーブルとも呼ばれる。
また、図6に示した印刷装置200では、コンベア210は基板10を一方向に搬送したが、本発明はこれに限定されない。コンベア210は基板10を双方向に搬送してもよい。例えば、印刷部220は1つの印刷機220aのみを有しており、印刷機220aを印刷可能な状態にしてコンベア210が基板10を一方向に搬送して印刷を行った後で、印刷機220aを印刷不可の状態にしてコンベア210が基板10を反対方向に搬送し、再度、導電性インクを交換して印刷機220aを印刷可能な状態にしてコンベア210が基板10を再び一方向に搬送して再度印刷を行うことにより、積層構造20Dを実現してもよい。
(実施形態2)
以下、図8を参照して本発明によるパネルの第2実施形態を説明する。本実施形態のパネル100Aは、酸化防止層をさらに備えている点を除いて図1〜図3を参照して上述したパネル100と同様の構成を有しており、冗長を避けるために重複する説明を省略する。ここでも、電極20は、導電層20aおよび導電層20bを有しており、導電層20aの幅は導電層20bの幅とほぼ等しい。
パネル100Aは、基板10および電極20に加えて、酸化防止層30をさらに備えている。酸化防止層30の幅は導電層20a、20bの幅よりも大きく、酸化防止層30は、電極20の少なくとも一部の酸化を防止する。例えば、上述したように、導電層20aが銀を含み、導電層20bが銅を含む場合、銅は酸化しやすく、また、酸化に伴って比抵抗値が増大してしまうことがあるが、酸化防止層30を設けることにより、酸化を抑制して比抵抗の増大を抑制することができる。また、銀は比較的酸化しにくいものの、厳密には銀を主成分とする導電層20aでも経年劣化が生じることがあるが、酸化防止層30により、その劣化を抑制することができる。このように、パネル100Aでは、酸化防止層30により、導電層20a、20bの少なくとも一部の酸化を防止することにより、パネル100Aの特性の劣化を抑制できる。
例えば、酸化防止層30は透明導電性材料から好適に形成される。具体的には、透明導電性材料は、酸化インジウムスズ(Indium Tin Oxide:ITO)である。または、透明導電性材料は、酸化亜鉛、酸化スズであってもよい。なお、酸化防止層30は導電性ではない透明材料を含んでもよい。あるいは、酸化防止層30は透明ではない導電性材料を含んでもよい。ただし、酸化防止層30は透明導電性材料を含むことが好ましく、これにより、フィンガー電極24のピッチを増大させることができる。また、上述したように、電極20は互いに分離して平行に設けられおり、ここでは、酸化防止層30は互いに分離された状態で電極20を覆っている。
以下、図9を参照して、酸化防止層30が透明導電性材料であることの利点を説明する。図9(a)に図1〜図3を参照して上述したパネル100の模式的な断面図を示す。図9(a)は、基板10の表面12の上に設けられた電極20が4本示されている点を除いて図1と同様である。上述したように、フィンガー電極24のピッチは、基板10内で生成されたキャリアの取り出し効率に応じて設定される。
図9(b)にパネル100Aの模式的な断面図を示す。上述したように、パネル100Aでは、酸化防止層30が電極20を覆っている。この酸化防止層30が導電性を有する場合、基板10内で生成されたキャリアがフィンガー電極24だけでなく酸化防止層30に到達すれば、生成したキャリアを電流として取り出すことができる。
パネル100においてフィンガー電極のピッチを2mmに設定する場合、パネル100Aにおいてフィンガー電極のピッチを3mmにすることができる。例えば、パネル100、100Aの主面が170mm四方の場合、パネル100においてフィンガー電極の本数は85本であり、パネル100Aにおいてフィンガー電極の本数は56本である。このようにパネル100Aでは電極20の本数を減らすことができ、コストの低減を図るとともに光に対する開口面積を増大させることができる。例えば、酸化防止層30の幅は電極20の幅の2倍以上であることが好ましい。
このようなパネル100Aは印刷装置を用いて好適に作製される。
以下、図10を参照して印刷装置200Aを説明する。印刷装置200Aは、印刷部220にさらなる印刷機を追加した点を除いて図6を参照して上述した印刷装置200と同様の構成を有しており、冗長を避けるために重複する説明を省略する。印刷装置200Aにおいて印刷部220は、導電性インクKbを印刷する印刷機220bと、加熱装置230との間に、印刷機220cをさらに有している。印刷機220cは、インクトレー302内のインク、および、凹版ロール306に設けられた凹部の形状が異なる点を除いて図7を参照して上述した印刷機220aと同様の構成を有しており、冗長を避けるために重複する説明を省略する。
ここでは、図7を参照して、印刷機220cを説明する。印刷機220cにおいて、インクトレー302には、インクKcが入っている。ここでは、インクKcは、粒子状のITOおよびビヒクルを有しており、ビヒクルは樹脂および溶剤を含む。本明細書においてインクKcを酸化防止用インクとも呼ぶ。なお、本明細書において導電性インクKa、Kbを印刷する印刷機220a、220bを導電性インク印刷機と呼ぶことがあり、酸化防止用インクKcを印刷する印刷機220cを酸化防止用インク印刷機と呼ぶことがある。
酸化防止用インクKcのビヒクルは導電性インクKaまたはKbと同一であってもよく、あるいは、導電性インクKcのビヒクルは導電性インクKaまたはKbと同様であってもよい。基板10には凹版ロール306の凹部に対応してインクKcが転写される。例えば、幅30μmおよび高さ50μmのフィンガー電極24を覆う幅50μmの酸化防止層30を形成する場合、対応する凹版ロール306の凹部の幅は例えば150μmである。酸化防止層30のうち、基板10を直接覆う部分がフィンガー電極24の両側に10μmずつある場合には170μm(例えば、150μm+10μm+10μm)である。以上のように、基板10aの上には導電性インクKa、Kbの上にインクKcが印刷される。その後、導電性インクKa、Kbおよび酸化防止用インクKcは加熱装置230(図10)で加熱される。
なお、上述した説明では、パネル100Aにおいて、酸化防止層30に覆われる電極20は、異なる導電層20a、20bを有していたが、本発明はこれに限定されない。図11に示すように、本実施形態のパネル100Bにおいて、電極20は単層の導電層であってもよい。例えば、基板10の表面12はシリコンから形成されており、電極20は銀を主成分とする導電層から形成される。
(実施形態3)
以下、図12を参照して本発明によるパネルの第3実施形態を説明する。本実施形態のパネル100Cは、ある方向(ここではx方向)に延びる電極24の断面積が位置に応じて異なる点を除いて、図1から図3を参照して上述したパネル100と同様の構成を有しており、冗長を避けるために重複する説明を省略する。
図12(a)にパネル100Cの模式的な上面図を示す。パネル100Cにおいて、電極20は、線状電極22、24を有している。ここでは、線状電極22はy方向に延びており、線状電極24は線状電極22からx方向に延びている。本明細書の以下の説明において線状電極22、24をそれぞれ第1線状電極22、第2線状電極24と呼ぶことがある。ここでは、線状電極22、24はいずれも直線形状を有しており、かつ、互いに直交するように交差しているが、線状電極22、24の少なくとも一方が折れ曲がっていてもよいし、曲線であってもよい。なお、本明細書において、所定の方向に平行に延びる互いに隣接する第1線状電極22を第1、第2平行電極22a、22bと呼ぶことがあり、このような第1、第2平行電極22a、22bと交差する第2線状電極24を交差電極と呼ぶことがある。
例えば、パネル100Cがソーラーパネルの場合、線状電極22はバスバー電極とも呼ばれ、線状電極24はフィンガー電極とも呼ばれる。図12(a)に示されるように、複数のバスバー電極22が互いに平行にy方向に延びており、フィンガー電極24はバスバー電極22と交差している。ここでは、フィンガー電極24は互いに平行にx方向に延びており、バスバー電極22はフィンガー電極24と直交するように配置されている。
図12(b)にパネル100Cの一部拡大図を示し、図12(c)にパネル100Cの模式的な断面図を示す。図12(c)は、図12(b)の12c−12c’線に沿った断面である。
上述したように、線状電極24は線状電極22から延びている。パネル100Cにおいて線状電極24は、線状電極24の長手方向に直交する断面の面積(断面積)が線状電極22から離れる方向に沿って減少する断面積減少部24xを有している。なお、図12(b)には、線状電極24に2つの断面積減少部24xが設けられているが、線状電極24に設けられる断面積減少部24xは1つであってもよい。また、ここでは、2つの断面積減少部24xのそれぞれにおいて、断面積の最も小さい部分における積層数は1であり、断面積の最も大きい部分における積層数は2である。このように、断面積の最も小さい部分における積層数は断面積の最も大きい部分における積層数よりも少なくてもよい。
ここでは、電極20は第1導電層20aおよび第2導電層20bを含む積層構造20Dを有している。例えば、第1導電層20aは銀を含み、第2導電層20bは銅を含む。パネル100Cでは、バスバー電極22およびフィンガー電極24のいずれも第1導電層20aを有しているのに対して、バスバー電極22およびフィンガー電極24の少なくとも一方において第2導電層20bは選択的に設けられている。ここでは、フィンガー電極24のうちバスバー電極22の近傍において第2導電層20bが設けられており、フィンガー電極24の中央付近には第2導電層20bが設けられていない。このため、フィンガー電極24のうちのバスバー電極22に近い部分Aの断面積はバスバー電極22から遠い部分Bの断面積よりも大きい。基板10において形成されたキャリアは近傍に位置する電極20を介して取り出され、フィンガー電極24のうちバスバー電極22に近い部分Aにおける電流が増大する。隣接する2つのバスバー電極22と電気的に接続されたフィンガー電極24において、バスバー電極22近傍の断面積がフィンガー電極24の中央付近の断面積よりも大きいことにより、電流の取り出し効率を低減させることなくフィンガー電極24のための材料コストの低減を図ることができる。
また、パネル100Cでは、フィンガー電極24において、第2導電層20bは第1導電層20aよりも短く、かつ、第2導電層20bの幅は第1導電層20aの幅よりも小さい。ここで、第1、第2導電層20a、20bの長さは、フィンガー電極24からバスバー電極22に向かって電流の流れる方向に沿った距離であり、第1、第2導電層20a、20bの幅は、基板10の表面12の法線方向からみた場合のフィンガー電極24からバスバー電極22に向かって電流の流れる方向に直交する方向に沿った距離である。第2導電層20bが第1導電層20aよりも短いことにより、パネル100Cでは、第2導電層20bは第1導電層20aの上に島状設けられており、隣接する第2導電層20bは第1導電層20aを介して互いに電気的に接続されている。
パネル100Cでは、基板10の表面12の法線方向から電極20を見た場合の交差電極24の中央付近の断面積は、第1平行電極22a近傍の交差電極24の断面積、および、第2平行電極22b近傍の交差電極24の断面積よりも小さい。また、基板10の表面12の法線方向から電極20を見た場合、交差電極24の中央付近の幅は、第1平行電極22a近傍の交差電極24の幅、および、第2平行電極22b近傍の交差電極24の幅よりも小さい。
なお、上述した説明では、第2導電層20bは第1導電層20aよりも短く、かつ、第2導電層20bの幅は第1導電層20aの幅よりも小さかったが、本発明はこれに限定されない。第2導電層20bの幅が第1導電層20aの幅よりも小さい場合は、第2導電層20bの長さは第1導電層20aと等しくてもよく、隣接するバスバー電極22が第1導電層20aだけでなく第2導電層20bを介して互いに電気的に接続されてもよい。あるいは、第2導電層20bが第1導電層20aよりも短い場合には、第1導電層20aの幅は第2導電層20bの幅と等しくてもよい。このように、第2導電層20bの幅および長さの少なくとも一方が第1導電層20aよりも小さいことが好ましい。
なお、パネル100Cにおける電極20は、例えば、図6を参照して上述した印刷装置200を用いて作製される。この場合、図12(b)に示した第1導電層20aの形状およびサイズは第1導電性インクKaに対応し、図12(c)に示した第2導電層20bの形状およびサイズは第2導電性インクKbに対応する。
なお、図12を参照して説明したパネル100Cでは、フィンガー電極24の幅は一定であったが、本発明はこれに限定されない。
図13(a)にパネル100C1の一部拡大図を示し、図13(b)にパネル100C1の模式的な断面図を示す。図13(b)は、図13(a)の13b−13b’線に沿った断面である。
パネル100C1では、基板10の表面12の法線方向から見て、2つの断面積減少部24xのそれぞれにおいて電極20の幅は第1線状電極22から離れる方向に沿って連続的に減少している。このように、第2線状電極24の断面積は第1線状電極22から離れる方向に沿って連続的に減少しており、これにより、基板10の表面12の開口面積を増大させることができる。
例えば、パネル100C1をソーラーパネルとして用いる場合、基板10の表面12の法線方向から見ると、フィンガー電極24のうち、隣接するバスバー電極22の間の中央付近Dの幅はバスバー電極22近傍Cの幅よりも小さい。具体的には、フィンガー電極24を形成する第1導電層20aのうち隣接するバスバー電極22の間の中央付近の幅はバスバー電極22近傍の幅よりも小さい。また、フィンガー電極24を形成する第2導電層20bはバスバー電極22の近傍Cに設けられており、隣接するバスバー電極22の間の中央付近Dには設けられていない。このため、パネル100C1では、フィンガー電極24のうちのバスバー電極22に近い部分の抵抗を小さくすることができる。このように、フィンガー電極24のうちのバスバー電極22近傍Cの断面積を中央付近Dの断面積よりも大きくすることにより、電流の取り出し効率を低減させることなく材料コストの低減を図ることができる。さらに、ソーラーパネルの開口面積を増大させることができ、電流を効率的に発生させることができる。
なお、上述した説明では、パネル100Cおよび100C1において電極20の導電層20a、20bは異なる導電性材料を有していたが、本発明はこれに限定されない。導電層20a、20bは同じ導電性材料を有していてもよい。
図14を参照してパネル100C2を説明する。図14(a)にパネル100C2の一部拡大図を示し、図14(b)にパネル100C2の模式的な断面図を示す。図14(b)は、図14(a)の14b−14b’線に沿った断面である。
パネル100C2では、導電層20a、20bが同じ導電性材料を有する点を除いて図12を参照して上述したパネル100Cと同様の構成を有しており、冗長を避けるために重複する説明を省略する。例えば、導電層20a、20bはいずれも銀を含む。なお、図14ではフィンガー電極24の幅は一定であるが、パネル100C2においても、図13に示したパネル100C1と同様に、フィンガー電極24の幅は変化してもよい。
また、上述した説明では、パネル100C1において電極20は複数の導電層20a、20bを有していたが、本発明はこれに限定されない。
図15(a)にパネル100C3の一部拡大図を示し、図15(b)にパネル100C3の模式的な断面図を示す。図15(b)は、図15(a)の15b−15b’線に沿った断面である。
パネル100C3では、フィンガー電極24のうち、隣接するバスバー電極22の間の中央付近Eの幅はバスバー電極22近傍Fの幅よりも小さい。このため、パネル100C3では、フィンガー電極24のうちのバスバー電極22に近い部分の抵抗を小さくすることができる。フィンガー電極24のうちのバスバー電極22に近い部分の断面積はバスバー電極22から遠い部分の断面積よりも大きいことが好ましい。このため、バスバー電極22の間に位置するフィンガー電極24において、バスバー電極22近傍の断面積をフィンガー電極24の中央付近の断面積よりも大きくすることにより、電流の取り出し効率を低減させることなく材料コストの低減を図ることができる。また、ソーラーパネルの開口面積を増大させることができ、電流を効率的に発生させることができる。
このようなパネル100C〜100C3も上述した印刷装置200を用いて好適に作製される。印刷部220の印刷機は、インクトレー302内のインク、および、凹版ロール306に設けられた凹部の形状が異なる点を除いて上述した印刷機と同様の構成を有しており、冗長を避けるために重複する説明を省略する。
なお、上述した説明では、パネル100、100A、100B、100C、100C1、100C2または100C3のそれぞれにおいて、基板10の光電変換層はシリコンを含んでいたが、本発明はこれに限定されない。光電変換層は無機化合物材料を含んでもよい。光電変換層、InGaAs、GaAs、カルコパイライト系、Cu2ZnSnS4、CdTe−CdSを含んでもよい。あるいは、光電変換層は有機化合物を含んでもよい。
また、上述した説明では、パネル100〜100C3において、基板10の表面12にあるシリコン層の上に電極20が設けられたが、本発明はこれに限定されない。基板10のシリコン層の上に透明導電層が設けられ、電極20は透明導電層の上に設けられてもよい。
また、上述した説明では、基板10の表面12において電極20の設けられない領域には、必要に応じてその一部に酸化防止層30が設けられる点を除いて何も設けられなかったが、本発明はこれに限定されない。基板10の表面12において電極20の設けられない領域に反射防止膜が設けられてもよい。あるいは、基板10の表面全体に反射防止膜が設けられて、電極20は、その反射防止膜の上に設けられてもよい。
なお、パネル100〜100C3がソーラーパネルとして用いられる場合、パネル100〜100C3は複数個まとめて配列される。
図16に、パネル100、100A、100B、100C、100C1、100C2または100C3の配列された太陽電池モジュール300を示す。太陽電池モジュール300には、パネル100〜100C3が複数の行および複数の列のマトリクス状に配列されており、パネル100〜100C3は互いに直列または並列に接続されている。
なお、上述した説明では、第1導電層20は基板10の表面12と接していたが、本発明はこれに限定されない。第1導電層20は基板10上の他の層を介して積層されてもよい。この場合、基板10の上に所定の層を印刷した後でこの層の上に第1導電性インクを印刷してもよい。
なお、上述した説明において、パネル100〜100C3はソーラーパネルであったが、本発明はこれに限定されない。パネル100〜100C3は、タッチパネルや電磁波防止パネルであってもよい。
また、上述した説明では、電極20は集電極であったが、本発明はこれに限定されない。電極20は配線の一部であってもよく、電極20は導電積層構造として好適に用いられる。
本発明によれば、パネルに設けられる電極設計の自由度を向上させることができる。例えば、本発明によれば、電極の幅が比較的小さくても断面積を増大させることができる。さらに、本発明は、太陽電池用パネル、タッチパネル、電磁波防止パネル、太陽電池モジュール等に好適に適用される。
10 基板
12 表面
14 裏面
20 電極
20D 積層構造
20a 第1導電層
20b 第2導電層
22 バスバー電極
24 フィンガー電極
100 パネル
200 印刷装置
210 コンベア
220 印刷部
230 加熱装置
300 太陽電池モジュール

Claims (11)

  1. 第1凹版ロールおよび第1転写ロールを有する第1印刷機を用意する工程と、
    第2凹版ロールおよび第2転写ロールを有する第2印刷機を用意する工程と、
    表面を有する基板を用意する工程と、
    前記基板の前記表面に電極として厚さの異なる第1電極および第2電極を形成する工程と
    を包含する、パネルの製造方法であって、
    前記電極を形成する工程は、
    前記第1印刷機が、前記基板の前記表面に、第1導電性材料を含む第1導電性インクをオフセット印刷で印刷して前記第1電極の第1層および前記第2電極を形成する工程と、
    前記第2印刷機が、前記第1導電性インクの上に、前記第1導電性材料とは異なる第2導電性材料を含む第2導電性インクをオフセット印刷で印刷して前記第1電極の第2層を形成する工程と、
    を含む、パネルの製造方法。
  2. 前記電極を形成する工程は、
    前記第1印刷機が前記第1導電性インクを印刷した後、前記第2印刷機が前記第2導電性インクを印刷する前に、前記第1導電性インクの印刷された前記基板をコンベアで前記第1印刷機から前記第2印刷機まで搬送する工程をさらに含む、請求項1に記載のパネルの製造方法。
  3. 前記第1導電性インクをオフセット印刷で印刷する工程において、前記第1導電性材料は銀を含む、請求項1または2に記載のパネルの製造方法。
  4. 前記第2導電性インクをオフセット印刷で印刷する工程において、前記第2導電性材料は、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムのいずれか、または、銀、銅、金、炭素、コバルト、チタン、ニッケルおよびアルミニウムからなる群から選択された少なくとも2つを含む、請求項1から3のいずれかに記載のパネルの製造方法。
  5. 前記電極の少なくとも一部を覆う酸化防止用インクを印刷する工程をさらに包含する、請求項1から4のいずれかに記載のパネルの製造方法。
  6. 前記酸化防止用インクを印刷する工程において、前記酸化防止用インクは透明材料を含む、請求項5に記載のパネルの製造方法。
  7. 前記酸化防止用インクを印刷する工程において、前記酸化防止用インクは導電性材料を含む、請求項5または6に記載のパネルの製造方法。
  8. 前記電極を形成する工程において、前記基板の前記表面の法線方向から見た場合、前記第1導電性インクの幅は前記第2導電性インクの幅よりも大きい、請求項1から7のいずれかに記載のパネルの製造方法。
  9. 前記電極を形成する工程において、前記第1導電性インクの長さは前記第2導電性インクの長さよりも大きい、請求項1から8のいずれかに記載のパネルの製造方法。
  10. 前記第1導電性インクをオフセット印刷で印刷する工程において、前記第1導電性インクはビヒクルをさらに含み、
    前記第2導電性インクをオフセット印刷で印刷する工程において、前記第2導電性インクはビヒクルをさらに含み、
    前記第1導電性インクの前記ビヒクルは、前記第2導電性インクの前記ビヒクルと同じである、請求項1から9のいずれかに記載のパネルの製造方法。
  11. 前記電極を形成する工程において、前記電極としてフィンガー電極を形成する、請求項1から10のいずれかに記載のパネルの製造方法。

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