JP5730943B2 - 基板を両面スパッタエッチングするシステム及び方法 - Google Patents
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Description
Claims (20)
- 中心孔を有するディスクをエッチングするエッチングチャンバであって、
チャンバボディと、
前記チャンバボディに連結された前駆体ガス供給アセンブリと、
前記チャンバボディの一方側に連結され、前記ディスクの形状と一致する形状を有し、更に前記ディスクの中心孔に一致する中心孔を備えている導電性電極を備えた可動電極アセンブリと、
前記チャンバボディの内部における、前記ディスクを受け取るためのディスク位置付け機構と、
前駆体ガス供給アセンブリとディスクとの間の空間においてプラズマを維持するよう構成されたプラズマパワー印加部と
を備え、
前記可動電極アセンブリは、前記導電性電極に、処理のために前記ディスクに接触することなく前記ディスクに近接する位置と、前記ディスクの搬送のために前記ディスクに対して遠位にある位置とを選択的にとらせるよう構成され、
前記導電性電極は、前記ディスクの一方の面が近接するが接触しない程度にまで移動され、前記ディスクに対しRFバイアスエネルギが容量的に結合するようにされ、それにより、プラズマ種が前記ディスクに向けて加速され前記ディスクの、前記導電性電極が近接する面と反対側の面をエッチングするようにされた
ことを特徴とするエッチングチャンバ。 - 前記可動電極アセンブリは、
可動支持部材と、
前記可動支持部材に連結された移動アセンブリと、
露出面を有する前記導電性電極と
を備えることを特徴とする請求項1に記載のエッチングチャンバ。 - 前記可動電極アセンブリは、前記導電性電極の周囲に設けられ、エッチング対象のディスクに前記導電性電極の前記露出面を露出させる電極カバーをさらに備え、
前記電極カバーは、前記導電性電極を超えて伸び、これにより、前記導電性電極が前記ディスクに近接する位置にある場合に、前記電極カバーが前記ディスクの縁部を覆い、プラズマ種が前記ディスクの側面に衝突するのを防止し、プラズマが前記ディスクの裏面側に届くことを防止するようにされた
ことを特徴とする請求項2に記載のエッチングチャンバ。 - 前記電極カバーは、前記ディスクの周囲を覆う処理位置をとるよう構成される
ことを特徴とする請求項3に記載のエッチングチャンバ。 - 前記可動電極アセンブリは、前記ディスクにRFエネルギーを効率的に結合させるために、前記ディスクから0.02”〜0.75”の距離に前記導電性電極の前記露出面を位置付けるよう構成される
ことを特徴とする請求項2に記載のエッチングチャンバ。 - 前記導電性電極の前記露出面と前記ディスクとの間の距離を測定する近接センサーをさらに備える
ことを特徴とする請求項2に記載のエッチングチャンバ。 - 前記近接センサーは、光センサーに連結された光ファイバーを備える
ことを特徴とする請求項6に記載のエッチングチャンバ。 - 前記前駆体ガス供給アセンブリは、接地されたシャワーヘッドを備える
ことを特徴とする請求項1に記載のエッチングチャンバ。 - 前記接地されたシャワーヘッドは、陽極酸化アルミニウムを備えている請求項8記載のエッチングチャンバ。
- 前記導電性電極に熱交換流体を供給する流体パイプをさらに備える
ことを特徴とする請求項2に記載のエッチングチャンバ。 - 前記導電性電極に連結されたRF出力ソースをさらに備える
ことを特徴とする請求項2に記載のエッチングチャンバ。 - 前記導電性電極は、陽極酸化アルミニウムを備えている請求項5記載のエッチングチャンバ。
- ディスクをエッチングするシステムであって、
前記システムは、
第1のエッチングチャンバと、
前記第1のエッチングチャンバに連続的に連結された第2のエッチングチャンバと
を備え、
前記第1のエッチングチャンバは、
第1の側と、前記第1の側に対向する第2の側とを有する第1の主チャンバボディと、
前記第1の側に連結された第1の電極アセンブリと、
前記第2の側に連結され、前記ディスクの形状に一致する形状を有し、更に前記ディスクの中心孔に一致する中心孔を備えている導電性電極を備えている第1の可動電極アセンブリと、
前記第1の主チャンバボディの内部に備えられた、前記ディスクを受け取るための第1のディスク位置付け機構と
を備え、
前記第2のエッチングチャンバは、
前記第2の側の反対側に位置する第3の側と、前記第1の側の反対側に位置する第4の側とを有する第2の主チャンバボディと、
前記第4の側に連結された第2の電極アセンブリと、
前記第3の側に連結され、前記ディスクの形状に一致する形状を有し、更に前記ディスクの中心孔に一致する中心孔を備えている導電性電極を備えている第2の可動電極アセンブリと、
前記第2の主チャンバボディの内部に備えられた、前記ディスクを受け取るための第2のディスク位置付け機構と
を備えることを特徴とするシステム。 - 前記第1及び第2のエッチングチャンバの間に位置付けられた遮蔽弁をさらに備える
ことを特徴とする請求項13に記載のシステム。 - 前記第1及び第2のエッチングチャンバの間に位置付けられた冷却チャンバをさらに備える
ことを特徴とする請求項13に記載のシステム。 - 前記第1及び第2の可動電極アセンブリはそれぞれ、
可動支持部材と、
前記可動支持部材に連結された移動アセンブリと、
露出面を有する前記導電性電極と
を備えることを特徴とする請求項13に記載のシステム。 - 前記第1及び第2の可動電極アセンブリは、電極カバーを更に備え、
前記電極カバーは、前記導電性電極を超えて伸び、これにより、前記導電性電極が前記ディスクに近接する位置にある場合に、前記電極カバーが前記ディスクの縁部を覆い、前記電極カバーがプラズマ種が前記ディスクの側面に衝突するのを防止すると共に、プラズマが前記ディスクの裏面側に届くことを防止するようにされた
ことを特徴とする請求項16に記載のシステム。 - 前記第1及び第2のディスク位置付け機構は、ディスク搬送部を更に備えることを特徴とする請求項13記載のシステム。
- 前記第1及び第2のエッチングチャンバは、前記第1又は第2の主チャンバボディに結合されたシャワーヘッドを更に備えることを特徴とする請求項13記載のシステム。
- 前記第1及び第2のエッチングチャンバの後方に位置付けられた冷却チャンバをさらに備える
ことを特徴とする請求項13に記載のシステム。
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