JP5288644B2 - 半導体装置の作製方法及び半導体装置 - Google Patents
半導体装置の作製方法及び半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5288644B2 JP5288644B2 JP2011022665A JP2011022665A JP5288644B2 JP 5288644 B2 JP5288644 B2 JP 5288644B2 JP 2011022665 A JP2011022665 A JP 2011022665A JP 2011022665 A JP2011022665 A JP 2011022665A JP 5288644 B2 JP5288644 B2 JP 5288644B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- layer
- film
- adhesive
- peeled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 66
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 42
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 312
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 80
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 38
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 15
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 description 255
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 192
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 81
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 81
- 239000000463 material Substances 0.000 description 47
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 37
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 32
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 32
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 29
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 29
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 27
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 24
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 24
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 22
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 22
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 19
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 18
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 18
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 15
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 15
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 14
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 14
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 13
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 13
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 12
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 12
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 10
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 10
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 9
- 239000002585 base Substances 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 8
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 7
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 7
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 6
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 6
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 6
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 6
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 6
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 6
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 5
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 5
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 5
- -1 tungsten nitride Chemical class 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- 229910017073 AlLi Inorganic materials 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910017911 MgIn Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 4
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N orlistat Chemical compound CCCCCCCCCCC[C@H](OC(=O)[C@H](CC(C)C)NC=O)C[C@@H]1OC(=O)[C@H]1CCCCCC AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N 0.000 description 4
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 4
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 4
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 4
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 229920002457 flexible plastic Polymers 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OYQCBJZGELKKPM-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Zn+2].[O-2].[In+3] OYQCBJZGELKKPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 239000004954 Polyphthalamide Substances 0.000 description 2
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N oxobarium;oxo(oxoferriooxy)iron Chemical compound [Ba]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 229920006375 polyphtalamide Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N azanylidynemolybdenum Chemical compound [Mo]#N GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 1
- 238000012938 design process Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000005499 laser crystallization Methods 0.000 description 1
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- IZMLNVKXKFSCDB-UHFFFAOYSA-N oxoindium;oxotin Chemical compound [In]=O.[Sn]=O IZMLNVKXKFSCDB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/124—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or layout of the wiring layers specially adapted to the circuit arrangement, e.g. scanning lines in LCD pixel circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1259—Multistep manufacturing methods
- H01L27/1262—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or coating of the substrate
- H01L27/1266—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or coating of the substrate the substrate on which the devices are formed not being the final device substrate, e.g. using a temporary substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14634—Assemblies, i.e. Hybrid structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66742—Thin film unipolar transistors
- H01L29/6675—Amorphous silicon or polysilicon transistors
- H01L29/66757—Lateral single gate single channel transistors with non-inverted structure, i.e. the channel layer is formed before the gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78603—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film characterised by the insulating substrate or support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. phototransistors
- H01L31/101—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
- H01L31/102—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier or surface barrier
- H01L31/105—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier or surface barrier the potential barrier being of the PIN type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
- H10K50/814—Anodes combined with auxiliary electrodes, e.g. ITO layer combined with metal lines
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/126—Shielding, e.g. light-blocking means over the TFTs
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/50—Forming devices by joining two substrates together, e.g. lamination techniques
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/80—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass using temporary substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68368—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used in a transfer process involving at least two transfer steps, i.e. including an intermediate handle substrate
Description
置およびその作製方法に関する。例えば、液晶表示パネルに代表される電気光学装置や有
機発光素子を有する発光表示装置を部品として搭載した電子機器に関する。また、本発明
は、集積回路を含むカード(ICカード)にも関する。
置全般を指し、電気光学装置、半導体回路および電子機器は全て半導体装置である。
いて薄膜トランジスタ(TFT)を構成する技術が注目されている。薄膜トランジスタは
ICや電気光学装置のような電子デバイスに広く応用され、特に画像表示装置のスイッチ
ング素子として開発が急がれている。
、特に携帯機器への利用が注目されている。現在、ガラス基板や石英基板が多く使用され
ているが、割れやすく、重いという欠点がある。また、大量生産を行う上で、ガラス基板
や石英基板は大型化が困難であり、不向きである。そのため、可撓性を有する基板、代表
的にはフレキシブルなプラスチックフィルムの上にTFT素子を形成することが試みられ
ている。
ざるを得ず、結果的にガラス基板上に形成する時ほど良好な電気特性のTFTを形成でき
ないのが現状である。そのため、プラスチックフィルムを用いた高性能な液晶表示装置や
発光素子は実現されていない。
に提案されている。例えば、特許文献1、特許文献2に記載された技術は、非晶質シリコ
ン(またはポリシリコン)からなる分離層を設け、基板を通過させてレーザー光を照射し
て非晶質シリコンに含まれる水素を放出させることにより、空隙を生じさせて基板を分離
させるというものである。加えて、この技術を用いて特許文献3には被剥離層(公報では
被転写層と呼んでいる)をプラスチックフィルムに貼りつけて液晶表示装置を完成させる
という記載もある。
通過させ、さらに非晶質シリコンに含まれる水素を放出させるのに十分なエネルギーを与
えるため、比較的大きなレーザー光の照射が必要とされ、被剥離層に損傷を与えてしまう
という問題がある。また、上記方法では、分離層上に素子を作製した場合、素子作製プロ
セスで高温の熱処理等を行えば、分離層に含まれる水素が拡散して低減してしまい、レー
ザー光を分離層に照射しても剥離が十分に行われない恐れがある。従って、分離層に含ま
れる水素量を維持するため、分離層形成後のプロセスが制限されてしまう問題がある。ま
た、上記公報には、被剥離層への損傷を防ぐため、遮光層または反射層を設ける記載もあ
るが、その場合、透過型液晶表示装置を作製することが困難である。加えて、上記方法で
は、大きな面積を有する被剥離層を剥離するのは困難である。
ない剥離方法を提供し、小さな面積を有する被剥離層の剥離だけでなく、大きな面積を有
する被剥離層を全面に渡って剥離することを可能とすることを課題としている。
作製方法を提供することを課題とする。特に、フレキシブルなフィルムにTFTを代表と
する様々な素子(薄膜ダイオード、シリコンのPIN接合からなる光電変換素子やシリコ
ン抵抗素子)を貼りつけ、軽量化された半導体装置およびその作製方法を提供することを
課題とする。
が設けられた第2の基板(封止基板)を接着材で貼り合わせ、その後、第2の基板(封止
基板)のみをエッチングまたは研磨によって除去する。機械研磨で基板を薄くした後にエ
ッチングを行うことで処理時間を短縮することもできる。残ったエッチングストッパー膜
は、そのままブロッキング膜として機能させることが好ましい。或いは、第1及び第2の
基板の少なくとも一方をエッチングまたは研磨によって除去した後、被剥離層を接着材で
部材に貼り付ける。
れらの接着材の組成としては、例えば、エポキシ系、アクリレート系、シリコーン系等い
かなるものでもよい。好ましくは、基板をエッチングする場合に選択比が取れるものが好
ましい。
ートは、シート状で可撓性を有しており、ホワイトボード、スチールボード等の磁性体面
に着脱自在に磁着することができることから、事務用等の表示物、自動車用の初心者マー
クなど、幅広い利用法が考えられ、鋼板などの磁性体面であればどこにでも着磁させるこ
とができる。
希土類磁石等の粉末に、プラスチックのような有機高分子化合物とバインダーとを混合し
た後、シート状に成形する。なお、フェライト磁石およびプラスチック等の混合比率は、
フェライト磁石の粉体80〜90重量%に対して、その他は10〜20重量%とすればよ
い。マグネットシートは被剥離層と接着材で接着され、さらに、被剥離層に形成された金
属配線をマグネットシートの磁力によって引き付けることができ、被剥離層とマグネット
シートとの密着性が向上する。また、マグネットシートに熱伝導性を付与すれば、素子の
放熱を助長することができ、信頼性が向上する。
封止基板)のみをエッチングで除去し、物理的手段により基板を剥離してもよい。即ち、
一方の基板を分離する方法と異なる方法でもう一方の基板を剥離する。
を除去する工程を繰り返し行うことでエッチングストッパー(ブロッキング膜)と接着材
とを積層させてもよい。
素子が形成された発光装置や、液晶表示装置を作製することができ、薄型、軽量、割れに
くいといった特徴に加えて、曲面を有するディスプレイや、ショーウィンドウ等などにも
用いることができる。よって、その用途は携帯機器のみに限定されず、応用範囲は非常に
広い。
強磁性材料からなるシートを支持体とし、
前記強磁性材料からなるシートに接する接着材と、
該接着材に接する絶縁膜上に素子とを備えたことを特徴とする半導体装置である。
素子、液晶を有する素子、メモリー素子、薄膜ダイオード、シリコンのPIN接合からな
る光電変換素子、またはシリコン抵抗素子であることを特徴としている。
脂とを混合して形成され、着磁されたものである。
第1の基板上に半導体素子を含む被剥離層を形成する第1工程と、
エッチングストッパー層が設けられた第2の基板を接着材で前記被剥離層に貼り付ける第
2工程と、
第2の基板のみをエッチングまたは研磨により除去する第3工程と、を有することを特徴
とする半導体装置の作製方法である。
第1の基板上に第1のエッチングストッパー層を形成する第1工程と、
前記第1のエッチングストッパー層上に半導体素子を含む被剥離層を形成する第2工程と
、
第2のエッチングストッパー層が設けられた第2の基板を接着材で前記被剥離層に貼り付
ける第3工程と、
少なくとも第1の基板または第2の基板をエッチングまたは研磨により除去する第4工程
と、を有することを特徴とする半導体装置の作製方法である。
ン(登録商標)などのフッ素樹脂、またはWの単層、またはこれらの積層であることを特
徴としている。
FTが破壊される恐れがある。基板と被剥離層とを分離させる場合には、被剥離層が曲げ
られることによってダメージを与えないようにすることが好ましく、エッチャントによっ
て溶かすことは被剥離層にほとんどダメージを与えない方法である。
ができ、本発明の他の構成は、
接着材を支持体とし、
前記接着材に保護膜と、
前記接着材に接する絶縁膜上に制御部と演算部とからなる中央処理部と、記憶部とを有し
、前記中央処理部は、Nチャネル型の薄膜トランジスタ及びPチャネル型の薄膜トランジ
スタを含むことを特徴とする半導体装置である。
と強磁性材料からなるシートとを支持体とする中央処理部を備えた半導体装置としてもよ
い。
第1の基板上に半導体素子を含む被剥離層を形成する第1工程と、
前記被剥離層上に溶媒に溶ける有機樹脂を含む膜を塗布する第2工程と、
前記有機樹脂を含む膜に第2の基板を第1の両面テープで接着させ、前記被剥離層および
前記有機樹脂を含む膜を前記第1の基板と前記第2の基板とで挟む第3工程と、
第2の両面テープで第3の基板を前記第1の基板と接着する第4工程と、
前記第3の基板が接着された前記第1の基板と、前記被剥離層とを物理的手段で分離する
第5工程と、
前記被剥離層に強磁性材料からなるシートを第1の接着材で接着させ、前記被剥離層を前
記第2の基板と前記強磁性材料からなるシートとで挟む第6工程と、
前記被剥離層および第1の両面テープと前記第2の基板とを分離する第7工程と、
前記被剥離層と前記第1の両面テープとを分離する第8工程と、
前記有機樹脂を含む膜を溶媒で除去する第9工程と、を有することを特徴とする半導体装
置の作製方法である。
第1の基板上に半導体素子を含む被剥離層を形成する第1工程と、
前記被剥離層上に溶媒に溶ける有機樹脂を含む膜を塗布する第2工程と、
前記有機樹脂を含む膜に第2の基板を第1の両面テープで接着させ、前記被剥離層および
有機樹脂を含む膜を前記第1の基板と前記第2の基板とで挟む第3工程と、
第2の両面テープで第3の基板を前記第1の基板と接着する第4工程と、
前記第3の基板が接着された前記第1の基板と、前記被剥離層とを物理的手段で分離する
第5工程と、
前記被剥離層に強磁性材料からなるシートを第1の接着材で接着させ、前記被剥離層を前
記第2の基板と前記強磁性材料からなるシートとで挟む第6工程と、
前記被剥離層および第1の両面テープと前記第2の基板とを分離する第7工程と、
前記被剥離層と前記第1の両面テープとを分離する第8工程と、
前記有機樹脂を含む膜を溶媒で除去する第9工程と、
封止基板を第2の接着材で前記被剥離層に接着させ、前記被剥離層を前記強磁性材料から
なるシートと前記封止基板とで挟む第10工程と、を有することを特徴とする半導体装置
の作製方法である。
は避けたい。しかし、高いバリア性を有するパッシベーション膜を形成するには、熱やス
パッタダメージやプラズマダメージを与える恐れがある。一方、本発明は、基板に高いバ
リア性を有するパッシベーション膜を形成し、そのパッシベーション膜を有機発光素子に
貼り付け、その後で基板を溶かすため、プロセスの制限を受けることなく発光素子にパッ
シベーション膜を形成することが可能となる。
第1の基板上にTFTを含む被剥離層を形成する第1工程と、
前記被剥離層上に溶媒に溶ける有機樹脂を含む膜を塗布する第2工程と、
前記有機樹脂を含む膜に第2の基板を第1の両面テープで接着させ、前記被剥離層および
前記有機樹脂を含む膜を前記第1の基板と前記第2の基板とで挟む第3工程と、
第2の両面テープで第3の基板を前記第1の基板と接着する第4工程と、
前記第3の基板が接着された前記第1の基板と、前記被剥離層とを物理的手段で分離する
第5工程と、
前記被剥離層に第4の基板を第1の接着材で接着させ、前記被剥離層を前記第2の基板と
前記第4の基板とで挟む第6工程と、
前記被剥離層および第1の両面テープと前記第2の基板とを分離する第7工程と、
前記被剥離層と前記第1の両面テープとを分離する第8工程と、
前記有機樹脂を含む膜を溶媒で除去する第9工程と、
前記被剥離層上に有機化合物を含む発光素子を形成する第10工程と、
前記発光素子を封止する強磁性材料からなるシートを第2の接着材で貼り合わせ、前記被
剥離層を前記第4の基板と前記強磁性材料からなるシートとで挟む第11工程と、を有す
ることを特徴とする半導体装置の作製方法である。
ことを特徴としている。
ープと前記第2の基板との密着性よりも前記被剥離層と前記強磁性からなるシートまたは
第4の基板との密着性が高いことを特徴としている。
前記第2の基板および前記第3の基板は、セラミックス基板、または金属基板であり、前
記第4の基板は、プラスチック基板であることを特徴としている。
表面に保護膜が形成されたプラスチックフィルムであることを特徴としている。
機化合物を含む層を有する発光素子、液晶を有する素子、メモリー素子、薄膜ダイオード
、シリコンのPIN接合からなる光電変換素子、またはシリコン抵抗素子を含むことを特
徴としている。
行うことができる。また、素子形成の際にレーザー光を照射しても問題なく後の工程での
剥離が可能である。従って、第1の基板上に電気特性の高い素子を形成することができ、
それらの素子をプラスチック基板やマグネットシートなどに転写することが可能となる。
いう。したがって、上述した正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層及び電子注入
層は、全てEL層に含まれる。
入するための有機材料もしくは無機材料を含む層(以下、EL層という)を二つの電極(
陽極および陰極)で挟んだ構造からなる発光素子であり、陽極、陰極およびEL層からな
るダイオードを指す。
イや、ショーウィンドウ等の分野にも用いることができる。
また、本発明により、鋼板などの磁性体面であればどこにでも着磁させることができる。
また、本発明により、被剥離層にほとんどダメージを与えずにプラスチック基板への転写
ができる。
(実施の形態1)
てプラスチック基板(PC基板)を用い、第2の基板15としてガラス基板(石英基板で
もよい)を用いた例を示す。
Tを代表とする様々な素子(薄膜ダイオード、シリコンのPIN接合からなる光電変換素
子やシリコン抵抗素子やセンサ素子(代表的にはポリシリコンを用いた感圧式指紋センサ
ー)を含む層とすればよい。
スパッタ法などでエッチングストッパー膜を成膜する。このエッチングストッパー膜14
は、第2の基板と選択比が取れる材料が好ましく、且つ、後にパッシベーション膜の役割
を持たせることのできる材料が好ましい。エッチングストッパー膜14としては、SnO
2膜、SrO膜、テフロン(登録商標)膜、または金属膜(代表的には白金、金、W)などが挙げられる。ただし、膜厚が厚い金属膜を用いる場合は、エッチングストッパー膜14側に光が通過しない装置となる。さらにパッシベーション膜の役割を持たせるためにバリア性の高い窒化珪素膜や酸化珪素膜を第2の基板15とエッチングストッパー膜14との間に設けてもよい。
硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、紫外線硬化型接着剤等の光硬化型接着剤、嫌気型接着剤
などの各種硬化型接着剤が挙げられる。
硫酸(H2SO4)とを混合した溶液でガラス基板である第2の基板のみを溶かす。フッ
酸のみとするとエッチングレートが大きくなるが、析出物が基板表面に発生する。この析
出物を抑えるために硫酸を混合している。なお、素子を含む層がエッチングされないよう
に基板端部は、有機樹脂(OH基を有していない)などで覆うことが好ましい。ここでは
、混合溶液が入っている容器内に浸漬させて第2の基板を溶かす例としたため、第1の基
板と第2の基板の材料が異なる例を示したが、溶液を垂らしつつ基板をスピンさせるスピ
ンエッチング装置を用いた場合、第1の基板として第2の基板と同じガラス基板を用いる
ことができる。
機械研磨を行って第2の基板15の厚さを薄くした後、エッチングを行うことが好ましい
。
パー膜14とを有する半導体装置が完成する。
膜14に接するよう貼り付けてもよい。
(実施の形態2)
ングストッパー膜22と、素子を含む層21とを形成する。なお、素子を含む層21は、
TFTを代表とする様々な素子(薄膜ダイオード、シリコンのPIN接合からなる光電変
換素子やシリコン抵抗素子やセンサ素子(代表的にはポリシリコンを用いた感圧式指紋セ
ンサー)を含む層とすればよい。
トッパー膜22、24は、基板と選択比が取れる材料が好ましく、且つ、後にパッシベー
ション膜の役割を持たせることのできる材料が好ましい。エッチングストッパー膜22、
24としては、SnO2膜、SrO膜、テフロン(登録商標)膜、または金属膜(代表的にはW)などが挙げられる。さらにパッシベーション膜の役割を持たせるため、バリア性の高い窒化珪素膜や酸化珪素膜を第2の基板25とエッチングストッパー膜24との間、第1の基板20とエッチングストッパー膜22との間に設けてもよい。
硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、紫外線硬化型接着剤等の光硬化型接着剤、嫌気型接着剤
などの各種硬化型接着剤が挙げられる。
は、フッ酸(HF)と硫酸(H2SO4)とを混合した溶液が入っている容器内に浸漬さ
せて第1の基板および第2の基板を溶かす。
チングストッパー膜24とを有する半導体装置が完成する。
膜22、24のどちらか一方に接するよう貼り付けてもよい。
(実施の形態3)
を図3に示す。
。
れた元素、または前記元素を主成分とする合金材料若しくは化合物材料からなる単層、ま
たはこれらの積層、或いは、これらの窒化物、例えば、窒化チタン、窒化タングステン、
窒化タンタル、窒化モリブデンからなる単層、またはこれらの積層を用いればよい。窒化
物層または金属層32の膜厚は10nm〜200nm、好ましくは50nm〜75nmと
する。
すい。そのため、ドライエッチングによって周縁部のみを除去することが好ましいが、そ
の際、基板もエッチングされないように、基板30と窒化物層または金属層32との間に
酸化窒化シリコン膜からなる絶縁膜を100nm程度形成してもよい。
化金属材料からなる層を形成すればよい。酸化物層33の膜厚は、窒化物層または金属層
32の約2倍以上であることが望ましい。ここでは、酸化シリコンターゲットを用いたス
パッタ法により、酸化シリコン膜を150nm〜200nmの膜厚とする。
属膜)を形成した後、水素を含む材料膜中に含まれる水素を拡散するための熱処理を行う
。この熱処理は410℃以上であればよく、素子を含む層31の形成プロセスとは別途行
ってもよいし、兼用させて工程を省略してもよい。例えば、水素を含む材料膜として水素
を含むアモルファスシリコン膜を用い、加熱してポリシリコン膜を形成する場合、結晶化
させるため500℃以上の熱処理を行えば、ポリシリコン膜を形成すると同時に水素の拡
散を行うことができる。なお、素子を含む層31は、TFTを代表とする様々な素子(薄
膜ダイオード、シリコンのPIN接合からなる光電変換素子やシリコン抵抗素子やセンサ
素子(代表的にはポリシリコンを用いた感圧式指紋センサー)を含む層とすればよい。
エッチングストッパー膜34を形成しておく。エッチングストッパー膜34は、第2の基
板35と選択比が取れる材料が好ましく、且つ、後にパッシベーション膜の役割を持たせ
ることのできる材料が好ましい。エッチングストッパー膜34としては、SnO2膜、S
rO膜、テフロン(登録商標)膜、または金属膜(代表的にはPt、Au、W)などが挙げられる。さらにパッシベーション膜の役割を持たせるため、バリア性の高い窒化珪素膜や酸化珪素膜を第2の基板35とエッチングストッパー膜34との間に設けてもよい。
つける。(図3(B))なお、第2の基板35は第1の基板30よりも剛性の高い基板を
用いることが好ましい。接着材36としては有機材料からなる接着材もしくは両面テープ
を用いればよい。
(図3(C))酸化物層33の膜応力と、金属層32の膜応力が異なっているため、比較
的小さな力で引き剥がすことができる。
ることができる。剥離後の状態を図3(D)に示す。
硫酸(H2SO4)とを混合した溶液が入っている容器内に浸漬させて第2の基板を溶か
す。
ー膜34とを有する半導体装置が完成する。
膜34に接するよう貼り付けてもよい。
(実施の形態4)
パー膜との積層を形成する例を示す。なお、実施の形態1と同じ部分は同じ符号を用いて
説明する。
相当する。
1で貼り付ける。(図4(D))エッチングストッパー膜52は、エッチングストッパー
膜14と同じ材料を用いてもよいし、異なる材料を用いてもよい。
硫酸(H2SO4)とを混合した溶液が入っている容器内に浸漬させて第3の基板を溶か
す。
パー膜14と、接着材51と、エッチングストッパー膜52とを有する半導体装置が完成
する。
去する処理を繰り返すことによって積層させてもよい。
できる。
(実施の形態5)
PUやメモリーを形成する例を図12を用いて説明する。
、1004は記憶部(メモリーとも呼ばれる)、1005は入力部、1006は出力部(
表示部など)である。
算部1003は、加算、減算の算術演算やAND、OR、NOTなどの論理演算を行う算
術論理演算部(arithmetic logic unit,ALU)、演算のデータ
や結果を一時格納する種々のレジスタ、入力される1の個数を数え上げるカウンタなどか
ら成り立っている。演算部1003を構成する回路、例えば、AND回路、OR回路、N
OT回路、バッファ回路、またはレジスタ回路などはTFTで構成することができ、高い
電界効果移動度を得るため、連続発振型のレーザー光を用いて結晶化を行った半導体膜を
TFTの活性層として作製すればよい。アモルファスシリコン膜に連続発振型のレーザー
光を照射してポリシリコン膜を得る方法を用いてもよいし、アモルファスシリコン膜を加
熱してポリシリコン膜を得た後に連続発振型のレーザー光を照射してポリシリコン膜を得
る方法を用いてもよいし、アモルファスシリコン膜に触媒となる金属元素を添加した後、
加熱してポリシリコン膜を得た後に連続発振型のレーザー光を照射してポリシリコン膜を
得る方法を用いてもよい。本実施例において、演算部1003を構成するTFTのチャネ
ル長方向とレーザービームの走査方向とを揃える。
御する役割を担っている。制御部1002はプログラムカウンタ、命令レジスタ、制御信
号生成部からなる。また、制御部1002もTFTで構成することができ、連続発振型の
レーザー光を用いて結晶化を行った半導体膜をTFTの活性層として作製すればよい。本
実施例において、制御部1002を構成するTFTのチャネル長方向とレーザービームの
走査方向とを揃える。
Uで頻繁に実行されるデータやプログラムが格納されている。記憶部1004は、主メモ
リ、アドレスレジスタ、データレジスタからなる。さらに主メモリに加えてキャッシュメ
モリを用いてもよい。これらのメモリは、SRAM、DRAM、フラッシュメモリなどで
形成すればよい。また、記憶部1004もTFTで構成する場合には、連続発振型のレー
ザー光を用いて結晶化を行った半導体膜をTFTの活性層として作製することができる。
本実施例において、記憶部1004を構成するTFTのチャネル長方向とレーザービーム
の走査方向とを揃える。
力部1006は結果を表示するための装置、代表的には表示装置である。
少ないCPUを絶縁基板上に作り込むことができる。また、同一基板上にCPUと表示部
とを作り込むことができる。表示部においても各画素に配置される複数のTFTのチャネ
ル長方向とレーザービームの走査方向を揃えることが好ましい。
作り込むこともできる。
。
できる。
トッパー膜を形成し、その上にCPUやメモリを含む大規模集積回路(LSI)を形成し
た後、絶縁基板をエッチングして除去し、プラスチック基板に転写することで軽量化が図
れる。
こととする。
こととする。
リクス型の発光装置に限定されず、カラー表示パネルとなるパッシブマトリクス型の発光
装置や、面光源または電飾用装置となるエリアカラーの発光装置に適用することができる
。
上に金属膜301、ここではタングステン膜(膜厚10nm〜200nm、好ましくは5
0nm〜75nm)を形成し、さらに大気にふれることなく、酸化物膜302、ここでは
酸化シリコン膜(膜厚150nm〜200nm)を積層形成する。なお、スパッタ法では
基板端面に成膜されるため、基板端面に成膜されたタングステン膜と酸化シリコン膜とを
O2アッシングなどで選択的に除去することが好ましい。後の工程で剥離する際、タング
ステン膜と酸化シリコン膜との界面または酸化シリコン膜中で分離が生じる。
し、さらに大気にふれることなく、アモルファスシリコン膜(膜厚54nm)を積層形成
する。
、結晶化させるため500℃以上の熱処理を行えば、ポリシリコン膜を形成すると同時に
水素の拡散を行うことができる。得られたポリシリコン膜を用いて、TFTを代表とする
様々な素子(薄膜ダイオード、シリコンのPIN接合からなる光電変換素子やシリコン抵
抗素子やセンサ素子(代表的にはポリシリコンを用いた感圧式指紋センサー)を形成する
ことができる。
法など)を用いてポリシリコン膜を形成した後、パターニングを行って島状の半導体領域
を形成し、それを活性層とするトップゲート型TFT303を作製する。適宜、ゲート絶
縁膜の形成、ゲート電極の形成、活性層へのドーピングによるソース領域またはドレイン
領域の形成、層間絶縁膜の形成、ソース電極またはドレイン電極の形成、活性化処理など
を行う。
と記す)を設け、一対の電極間に電界を加えることで、蛍光又は燐光が得られる発光素子
を形成するための第1の電極を形成する。まず、陽極または陰極となる第1の電極304
を形成する。ここでは第1の電極304として仕事関数の大きい金属膜(Cr、Pt、W
など)、または透明導電膜(ITO(酸化インジウム酸化スズ合金)、酸化インジウム酸
化亜鉛合金(In2O3―ZnO)、酸化亜鉛(ZnO)等)を用い、陽極として機能さ
せる例を示す。
ソース領域またはドレイン領域に接して第1電極を別途形成する場合には、TFTとは第
1電極を含める。
壁、土手などと呼ばれる)305aを形成する。カバレッジを良好なものとするため、隔
壁の上端部または下端部に曲率を有する曲面が形成されるようにする。例えば、隔壁の材
料としてポジ型の感光性アクリルを用いた場合、隔壁の上端部のみに曲率半径(0.2μ
m〜3μm)を有する曲面を持たせることが好ましい。また、隔壁305aとして、感光
性の光によってエッチャントに不溶解性となるネガ型、或いは光によってエッチャントに
溶解性となるポジ型のいずれも使用することができる。
布または焼成時に一部溶解したり、密着性が高くなりすぎる恐れがある。従って、隔壁の
材料として有機樹脂を用いた場合、後の工程で塗布した水溶性樹脂を除去しやすくなるよ
うに隔壁305aを無機絶縁膜(SiNX膜、SiNXOY膜、AlNX膜、またはAl
NXOY膜)で覆うことが好ましい。この無機絶縁膜は、隔壁の一部305bとして機能
する。(図5(A))
組成としては、例えば、エポキシ系、アクリレート系、シリコーン系等いかなるものでも
よい。ここではスピンコートで水溶性樹脂(東亜合成製:VL−WSHL10)からなる
膜(膜厚30μm)306を塗布し、仮硬化させるために2分間の露光を行ったあと、U
V光を裏面から2.5分、表面から10分、合計12.5分の露光を行って本硬化させる
。(図5(B))
を部分的に低下させる処理を行う。密着性を部分的に低下させる処理は、剥離しようとす
る領域の周縁に沿って金属膜301または酸化物膜302にレーザー光を部分的に照射す
る処理、或いは、剥離しようとする領域の周縁に沿って外部から局所的に圧力を加えて酸
化物膜302の層内または界面の一部分に損傷を与える処理である。具体的にはダイヤモ
ンドペンなどの硬い針を垂直に押しつけて荷重をかければよい。好ましくは、スクライバ
ー装置を用い、押し込み量を0.1mm〜2mmとし、圧力をかければよい。このように
、剥離を行う前に剥離現象が生じやすくなるような部分、即ち、きっかけをつくることが
重要であり、密着性を選択的(部分的)に低下させる前処理を行うことで、剥離不良がな
くなり、さらに歩留まりも向上する。
貼り付ける。さらに、両面テープ309を用い、第1の基板300に第3の基板310を
貼り付ける。(図5(C))第3の基板310は、後の剥離工程で第1の基板300が破
損することを防ぐ。第2の基板308および第3の基板310としては、第1の基板30
0よりも剛性の高い基板、例えば石英基板、半導体基板を用いることが好ましい。
ている第1の基板300を物理的手段により引き剥がす。比較的小さな力(例えば、人間
の手、ノズルから吹付けられるガスの風圧、超音波等)で引き剥がすことができる。こう
して、酸化物層302上に形成された被剥離層を第1の基板300から分離することがで
きる。剥離後の状態を図5(D)に示す。
する。(図5(E))接着材311を用いた酸化物層302(及び被剥離層)と第4の基
板312との密着性は、両面テープ307を用いた第2の基板308と被剥離層との密着
性よりも高いことが重要である。
ン、ポリプロピレンサルファイド、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリフェニ
レンサルファイド、ポリフェニレンオキサイド、ポリサルフォン、またはポリフタールア
ミドからなるプラスチック基板を用いることが好ましい。ここではポリカーボネート基板
(PC基板)を用いる。また、第4の基板としてマグネットシートを用いてもよい。
光硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤が挙げられる。
性樹脂が残っていると不良の原因となるため、第1の電極304の表面を洗浄処理やO2
プラズマ処理で清浄な表面とすることが好ましい。
)製、ナイロン製)に界面活性剤(弱アルカリ性)を含ませ、第1の電極304表面を擦
って洗浄する。
板全体の吸着水分を除去するための真空加熱を行う。さらに有機化合物を含む層を形成す
る直前に、第1電極に対して紫外線照射を行ってもよい。
によって有機化合物を含む層313を選択的に形成する。有機化合物を含む層313とし
ては、高分子材料、低分子材料、無機材料、またはこれらを混合させた層、またはこれら
を分散させた層、またはこれらの層を適宜組み合わせた積層とすればよい。
)陰極314としては、仕事関数の小さい材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれら
の合金MgAg、MgIn、AlLi、CaF2、またはCaN)の薄膜(発光を透過す
る膜厚)と透明導電膜との積層を用いればよい。また、必要であれば、第2電極を覆って
スパッタ法または蒸着法により形成する保護層を形成する。保護層としてはスパッタ法ま
たはCVD法により得られる窒化珪素膜、酸化珪素膜、酸化窒化珪素膜(SiNO膜(組
成比N>O)またはSiON膜(組成比N<O))、炭素を主成分とする薄膜(例えばD
LC膜、CN膜)を用いることができる。
れたシール材(図示しない)を所望のパターンに描画する。ここではブロッキング効果を
持たせるため、表面にバリア膜(SiNX膜、SiNXOY膜、AlNX膜、またはAl
NXOY膜など)とエッチングストッパー膜(SrO膜、SnO2膜、またはテフロン(登録商標)膜)との積層膜317が形成されたガラス基板316を用いる。次いで、シールが描画された封止基板とアクティブマトリクス基板とを貼り合わせ、封止基板に設けられたシールパターンがアクティブマトリクス基板に設けられた発光領域を囲む位置になるように封止する。また、シール材に囲まれた空間には透明な有機樹脂からなる接着材315が充填されるように封止する。(図5(J))
積層膜317を露呈させる。(図5(K))本実施例は、発光素子の発光を積層膜317
に透過させる例であるので、積層膜317としては透光性を有する材料膜であればよい。
装置を作製することができる。(図5(L))こうして得られる発光装置は支持体をプラ
スチック基板としているため薄く、軽量、且つ、フレキシブルなものとすることができる
。
る。
図6に示す。なお、工程の一部は実施例1と同一であるため、詳細な説明は省略するとと
もに同一である部分には同じ符号を用いる。
トッパー膜401としては、蒸着法またはスパッタ法により得られるSrO膜、SnO2
膜、テフロン(登録商標)膜を用いる。また、発光を通過させるためにエッチングストッパー膜401は透明もしくは半透明な膜厚とする。
を形成し、さらに大気にふれることなく、アモルファスシリコン膜(膜厚54nm)を積
層形成する。
。また、発光を通過させるために第1の電極304としては透明導電膜を用いる。次いで
、隔壁405をポジ型の感光性アクリルで形成する。
)製、ナイロン製)に界面活性剤(弱アルカリ性)を含ませ、第1の電極304表面を擦
って洗浄する。また、第1の電極304の表面を洗浄処理やO2プラズマ処理で清浄な表
面とすることが好ましい。
板全体の吸着水分を除去するための真空加熱を行う。さらに有機化合物を含む層を形成す
る直前に、第1電極に対して紫外線照射を行ってもよい。
によって有機化合物を含む層413を選択的に形成する。有機化合物を含む層413とし
ては、高分子材料、低分子材料、無機材料、またはこれらを混合させた層、またはこれら
を分散させた層、またはこれらの層を適宜組み合わせた積層とすればよい。
)陰極414としては、仕事関数の小さい材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれら
の合金MgAg、MgIn、AlLi、CaF2、またはCaN)を用いればよい。また
、必要であれば、第2電極を覆ってスパッタ法または蒸着法により形成する保護層を形成
する。保護層としてはスパッタ法またはCVD法により得られる窒化珪素膜、酸化珪素膜
、酸化窒化珪素膜(SiNO膜(組成比N>O)またはSiON膜(組成比N<O))、
炭素を主成分とする薄膜(例えばDLC膜、CN膜)を用いることができる。
れたシール材(図示しない)を所望のパターンに描画する。ここではブロッキング効果を
持たせるため、表面にバリア膜(SiNX膜、SiNXOY膜、AlNX膜、またはAl
NXOY膜など)417が形成されたプラスチック基板416を用いる。次いで、シール
が描画された封止基板とアクティブマトリクス基板とを貼り合わせ、封止基板に設けられ
たシールパターンがアクティブマトリクス基板に設けられた発光領域を囲む位置になるよ
うに封止する。また、シール材に囲まれた空間には透明な有機樹脂からなる接着材415
が充填されるように封止する。(図6(C))
ッパー膜401を露呈させる。(図6(D))
装置を作製することができる。(図6(E))
ことができる。
1と同一であるため、詳細な説明は省略するとともに同一である部分には同じ符号を用い
る。
物膜302、TFT303、第1の電極304、隔壁305a、305bを形成する。(
図5(A))なお、図7(A)は図5(A)と同一である。
)製、ナイロン製)に界面活性剤(弱アルカリ性)を含ませ、第1の電極304表面を擦
って洗浄する。
板全体の吸着水分を除去するための真空加熱を行う。さらに有機化合物を含む層を形成す
る直前に、第1電極に対して紫外線照射を行ってもよい。
によって有機化合物を含む層313を選択的に形成する。
)また、必要であれば、第2電極を覆ってスパッタ法または蒸着法により形成する保護層
を形成する。
を保持するギャップ材が含まれたシール材(図示しない)を所望のパターンに描画する。
また、シール材に囲まれた空間には透明な有機樹脂からなる接着材515が充填されるよ
うに封止する。(図7(C))
を部分的に低下させる処理を行う。次いで、密着性を部分的に低下させた領域側から剥離
させ、金属膜301が設けられている第1の基板300を物理的手段により引き剥がす。
比較的小さな力(例えば、人間の手、ノズルから吹付けられるガスの風圧、超音波等)で
引き剥がすことができる。こうして、酸化物層302上に形成された被剥離層を第1の基
板300から分離することができる。剥離後の状態を図7(D)に示す。
する。(図7(E))接着材511としては、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、紫外
線硬化型接着剤等の光硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤が挙げられる
。
ン、ポリプロピレンサルファイド、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリフェニ
レンサルファイド、ポリフェニレンオキサイド、ポリサルフォン、またはポリフタールア
ミドからなるプラスチック基板を用いることが好ましい。ここではポリカーボネート基板
(PC基板)を用いる。また、第3の基板としてマグネットシートを用いてもよい。
ッチングストッパー膜517を露呈させる。(図7(F))本実施例は、発光素子の発光
をエッチングストッパー膜517に透過させる例であるので、エッチングストッパー膜5
17は透光性を有する材料膜であればよい。
装置を作製することができる。(図7(G))こうして得られる発光装置は支持体をプラ
スチック基板としているため薄く、軽量、且つ、フレキシブルなものとすることができる
。
ことができる。
備えた発光装置(上面出射構造)を作製する例を図8に示す。
断した断面図である。点線で示された1101はソース信号線駆動回路、1102は画素
部、1103はゲート信号線駆動回路である。また、1104は透明な封止基板、110
5は第1のシール材であり、第1のシール材1105で囲まれた内側は、透明な第2のシ
ール材1107で充填されている。なお、第1のシール材1105には基板間隔を保持す
るためのギャップ材が含有されている。
103に入力される信号を伝送するための配線であり、外部入力端子となるFPC(フレ
キシブルプリントサーキット)1109からビデオ信号やクロック信号を受け取る。なお
、ここではFPCしか図示されていないが、このFPCにはプリント配線基盤(PWB)
が取り付けられていても良い。
ト1110上には下地絶縁膜とエッチングストッパー膜との積層膜1150、接着材11
40を介して駆動回路及び画素部が形成されているが、ここでは、駆動回路としてのソー
ス信号線駆動回路1101と画素部1102が示されている。マグネットシート1110
は、バリウムフェライト、ストロンチウムフェライト、或いは希土類磁石等の粉末に、プ
ラスチックのような有機高分子化合物とバインダーとを混合した後、シート状に成形した
基板である。
TFT1124とを組み合わせたCMOS回路が形成される。なお、実施の形態5に従っ
て、これらのTFTを得ることもできる。また、駆動回路を形成するTFTは、公知のC
MOS回路、PMOS回路もしくはNMOS回路で形成しても良い。また、本実施例では
、基板上に駆動回路を形成したドライバー一体型を示すが、必ずしもその必要はなく、基
板上ではなく外部に形成することもできる。また、ポリシリコン膜を活性層とするTFT
の構造は特に限定されず、トップゲート型TFTであってもよいし、ボトムゲート型TF
Tであってもよい。
とそのドレインに電気的に接続された第1の電極(陽極)1113を含む複数の画素によ
り形成される。電流制御用TFT1112としてはnチャネル型TFTであってもよいし
、pチャネル型TFTであってもよいが、陽極と接続させる場合、pチャネル型TFTと
することが好ましい。また、保持容量(図示しない)を適宜設けることが好ましい。なお
、ここでは無数に配置された画素のうち、一つの画素の断面構造のみを示し、その一つの
画素に2つのTFTを用いた例を示したが、3つ、またはそれ以上のTFTを適宜、用い
てもよい。
め、第1の電極1113の下層はシリコンからなるドレインとオーミックコンタクトのと
れる材料層とし、有機化合物を含む層と接する最上層を仕事関数の大きい材料層とするこ
とが望ましい。例えば、窒化チタン膜とアルミニウムを主成分とする膜と窒化チタン膜と
の3層構造とすると、配線としての抵抗も低く、且つ、良好なオーミックコンタクトがと
れ、且つ、陽極として機能させることができる。また、第1の電極1113は、窒化チタ
ン膜、クロム膜、タングステン膜、Zn膜、Pt膜などの単層としてもよいし、2層以上
の積層を用いてもよい。
と呼ばれる)1114が形成される。絶縁物1114は有機樹脂膜もしくは珪素を含む絶
縁膜で形成すれば良い。ここでは、絶縁物1114として、ポジ型の感光性アクリル樹脂
膜を用いて図8に示す形状の絶縁物を形成する。
する曲面が形成されるようにする。例えば、絶縁物1114の材料としてポジ型の感光性
アクリルを用いた場合、絶縁物1114の上端部のみに曲率半径(0.2μm〜3μm)
を有する曲面を持たせることが好ましい。また、絶縁物1114として、感光性の光によ
ってエッチャントに不溶解性となるネガ型、或いは光によってエッチャントに溶解性とな
るポジ型のいずれも使用することができる。
とする薄膜、または窒化珪素膜からなる保護膜で覆ってもよい。
ジェット法によって有機化合物を含む層1115を選択的に形成する。さらに、有機化合
物を含む層1115上には第2の電極(陰極)1116が形成される。陰極としては、仕
事関数の小さい材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれらの合金MgAg、MgIn
、AlLi、CaF2、またはCaN)を用いればよい。ここでは、発光が透過するよう
に、第2の電極(陰極)1116として、膜厚を薄くした金属薄膜と、透明導電膜(IT
O(酸化インジウム酸化スズ合金)、酸化インジウム酸化亜鉛合金(In2O3―ZnO
)、酸化亜鉛(ZnO)等)との積層を用いる。こうして、第1の電極(陽極)1113
、有機化合物を含む層1115、及び第2の電極(陰極)1116からなる発光素子11
18が形成される。ここでは発光素子1118は白色発光とする例であるので着色層11
31と遮光層(BM)1132からなるカラーフィルター(簡略化のため、ここではオー
バーコート層は図示しない)を設けている。
、カラーフィルターを用いなくともフルカラーの表示を得ることができる。
護層1117としてはスパッタ法(DC方式やRF方式)やPCVD法により得られる窒
化珪素または窒化酸化珪素を主成分とする絶縁膜、炭素を主成分とする薄膜(DLC膜、
CN膜など)、またはこれらの積層を用いることが好ましい。シリコンターゲットを用い
、窒素とアルゴンを含む雰囲気で形成すれば、水分やアルカリ金属などの不純物に対して
ブロッキング効果の高い窒化珪素膜が得られる。また、窒化シリコンターゲットを用いて
もよい。また、透明保護層は、リモートプラズマを用いた成膜装置を用いて形成してもよ
い。また、透明保護層に発光を通過させるため、透明保護層の膜厚は、可能な限り薄くす
ることが好ましい。
、第2シール材1107により封止基板1104を貼り合わせる。なお、第1シール材1
105、第2シール材1107としてはエポキシ系樹脂を用いるのが好ましい。また、第
1シール材1105、第2シール材1107はできるだけ水分や酸素を透過しない材料で
あることが望ましい。
チングして除去した後でマグネットシート1110を接着している。エッチングによって
下地絶縁膜とエッチングストッパー膜との積層膜1150が露呈する。従って、本実施例
では封止基板1104を構成する材料として、ガラス基板のエッチングで除去されない材
料からなるプラスチック基板を用いる。また、第1シール材1105、第2シール材11
07を用いて封止基板1104を接着した後、さらに側面(露呈面)を覆うように第3の
シール材で封止することも可能である。
ことにより、発光素子を外部から完全に遮断することができ、外部から水分や酸素といっ
た有機化合物層の劣化を促す物質が侵入することを防ぐことができる。また、金属からな
る配線をマグネットシート1110の磁力で引き付けることで接着力を維持することがで
きる。従って、信頼性の高い発光装置を得ることができる。
ことができる。
である陰極を形成するという構造(以下、上面出射構造とよぶ)とした例を示したが、本
実施例では、陽極上に有機化合物を含む層が形成され、有機化合物層上に陰極が形成され
る発光素子を有し、有機化合物を含む層において生じた発光を透明電極である陽極からT
FTの方へ取り出す(以下、下面出射構造とよぶ)という構造とした例を示す。
断した断面図である。点線で示された1201はソース信号線駆動回路、1202は画素
部、1203はゲート信号線駆動回路である。また、1204はマグネットシート、12
05aは一対の基板間隔を保持するためのギャップ材が含有されているシール材であり、
シール材1205aで囲まれた内側は、シール材1205bで充填されている。シール材
1205b中に乾燥剤を配置してもよい。
203に入力される信号を伝送するための配線であり、外部入力端子となるFPC(フレ
キシブルプリントサーキット)1209からビデオ信号やクロック信号を受け取る。
には接着材1240を介して駆動回路及び画素部が形成されているが、ここでは、駆動回
路としてのソース信号線駆動回路1201と画素部1202が示されている。なお、ソー
ス信号線駆動回路1201にはnチャネル型TFT1223とpチャネル型TFT122
4とを組み合わせたCMOS回路が形成される。
とそのドレインに電気的に接続された透明な導電膜からなる第1の電極(陽極)1213
を含む複数の画素により形成される。
13はTFTのドレイン領域と接続電極を介して電気的に接続している構成となっている
。第1の電極1213は透明性を有し、且つ、仕事関数の大きい導電膜(ITO(酸化イ
ンジウム酸化スズ合金)、酸化インジウム酸化亜鉛合金(In2O3―ZnO)、酸化亜
鉛(ZnO)等)を用いることが望ましい。
と呼ばれる)1214が形成される。カバレッジを良好なものとするため、絶縁物121
4の上端部または下端部に曲率を有する曲面が形成されるようにする。また、絶縁物12
14を窒化アルミニウム膜、窒化酸化アルミニウム膜、炭素を主成分とする薄膜、または
窒化珪素膜からなる保護膜で覆ってもよい。
ジェット法によって有機化合物を含む層1215を選択的に形成する。さらに、有機化合
物を含む層1215上には第2の電極(陰極)1216が形成される。陰極としては、仕
事関数の小さい材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれらの合金MgAg、MgIn
、AlLi、CaF2、またはCaN)を用いればよい。こうして、第1の電極(陽極)
1213、有機化合物を含む層1215、及び第2の電極(陰極)1216からなる発光
素子1218が形成される。発光素子1218は、図9中に示した矢印方向に発光する。
ここでは発光素子1218はR、G、或いはBの単色発光が得られる発光素子であり、R
、G、Bの発光が得られる有機化合物を含む層をそれぞれ選択的に形成した3つの発光素
子でフルカラーとする。
1217としてはスパッタ法(DC方式やRF方式)やPCVD法により得られる窒化珪
素または窒化酸化珪素を主成分とする絶縁膜、または炭素を主成分とする薄膜(DLC膜
、CN膜など)、またはこれらの積層を用いることが好ましい。シリコンターゲットを用
い、窒素とアルゴンを含む雰囲気で形成すれば、水分やアルカリ金属などの不純物に対し
てブロッキング効果の高い窒化珪素膜が得られる。また、窒化シリコンターゲットを用い
てもよい。また、保護層は、リモートプラズマを用いた成膜装置を用いて形成してもよい
。
1205bによりエッチングストッパー膜1250が成膜されたガラス基板を貼り付け、
ガラス基板をエッチングで除去した後、接着材1251でマグネットシート基板1204
を貼り合わせる。なお、シール材1205a、1205bとしてはエポキシ系樹脂を用い
るのが好ましい。また、1205a、1205bはできるだけ水分や酸素を透過しない材
料であることが望ましい。
10を貼り付ける前の基板は、剥離法、例えば実施の形態1乃至4に示した方法で除去ま
たは剥離している。
ことができる。
置する隔壁の形状について説明する。
は第1の電極(陽極)、44は有機化合物を含む層、45は第2の電極(陰極)46はT
FTである。
ドレイン領域、46dはゲート電極、46e、46fはソース電極またはドレイン電極で
ある。ここではトップゲート型TFTを示しているが、特に限定されず、逆スタガ型TF
Tであってもよいし、順スタガ型TFTであってもよい。なお、46fは第1の電極43
と一部接して重なることによりTFT46とを接続する電極である。
っており、第1の電極をパターニングした後、電極を一部重なるように形成することでT
FTと接続させている。
タクトホールを介してTFTの電極と接続されている。
よい。フォトリソグラフィ法を用いてレジストを露光した後、非感光性の有機樹脂や無機
絶縁膜をエッチングすることによって得られる。
曲面を有する形状とすることができる。
下端部に曲面を有する形状とすることができる。
せることができる。
に示す。
縁膜を形成する。次いで、下地絶縁膜上に半導体素子、nチャネル型TFT903b、p
チャネル型TFT903a、容量部906、端子部(図示しない)などを形成する。nチ
ャネル型TFT903bとpチャネル型TFT903aを相補的に組み合わせればCMO
S回路ができ、さまざまな集積回路を構成することができる。例えば、SRAMなどのメ
モリー回路も作製することができる。従って、第1の基板900上に演算部(AND回路
、OR回路、NOT回路、バッファ回路、またはレジスタ回路を含む)と制御部(プログ
ラムカウンタ、命令レジスタ、または制御信号生成部を含む)とを合わせた中央処理部(
CPUとも呼ばれる)を作製することができる。なお、CPUに関しては、実施の形態5
に説明したので、ここでは詳細な説明は省略する。
力端子などを適宜形成する。(図11(A))
で第2の基板916を貼り付ける。第2の基板916としては特に限定されず、後のエッ
チングで選択比が取れる材料からなる板状の基材であれば特に限定されない。(図11(
B))
を露呈させる。本実施例では、フッ酸(HF)と硫酸(H2SO4)とを混合した溶液で
ガラス基板である第1の基板900のみを溶かす。(図11(C))
らなる第3の基板921を貼り付ける。(図11(D))プラスチックからなる基板92
1としては特に限定されず、透光性を有していてもよいし、透光性がなくてもよい。
、第3の基板921上に接着材920と、エッチングストッパー膜901と、集積回路(
CPUなど)とを有する半導体装置が完成する。
すカード型の電子機器を作製することができる。例えば、認証カードとする場合には、1
010をカード基材、1011を情報を確保するためのメモリ回路を含むCPU、101
2をデータ入出力部、1013をバッテリー(例えば太陽電池)として埋め込むことがで
きる。CPUは、上記プロセスでプラスチック基板に貼り付けられ、装置全体としてさら
なる薄型化が可能となる。
表示部、1012を駆動回路、1013をゲームプログラムが実行可能なCPUとすれば
よい。これら表示部、駆動回路部、CPUを全てプラスチック基板上に形成することがで
きるため、さらなる薄型化が可能となる。
せることができる。
液晶表示装置、アクティブマトリクス型ECモジュール)を完成させることができる。即
ち、本発明を実施することによって、それらを組み込んだ全ての電子機器が完成される。
レイ(ゴーグル型ディスプレイ)、カーナビゲーション、プロジェクタ、カーステレオ、
パーソナルコンピュータ、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話または電子書
籍等)などが挙げられる。それらの一例を図14、図15に示す。
表示部2003、キーボード2004等を含む。本発明によりプラスチック基板を用いる
ことによって軽量化を図ることができる。
03、操作スイッチ2104、バッテリー2105、受像部2106等を含む。本発明に
よりプラスチック基板を用いることによって軽量化を図ることができる。
よりプラスチック基板を用いることによって軽量化を図ることができる。
ーヤーであり、本体2401、表示部2402、スピーカ部2403、記録媒体2404
、操作スイッチ2405等を含む。なお、このプレーヤーは記録媒体としてDVD(Di
gtial Versatile Disc)、CD等を用い、音楽鑑賞や映画鑑賞やゲ
ームやインターネットを行うことができる。
3、操作スイッチ2504、受像部(図示しない)等を含む。本発明によりプラスチック
基板を用いることによって軽量化を図ることができる。
03、表示部2904、操作スイッチ2905、アンテナ2906、画像入力部(CCD
、イメージセンサ等)2907等を含む。
3、記憶媒体3004、操作スイッチ3005、アンテナ3006等を含む。本発明によ
りプラスチック基板を用いることによって軽量化を図ることができる。
等を含む。本発明によりプラスチック基板を用いることによって軽量化を図ることができ
る。
インチの画面サイズのものである。また、このようなサイズの表示部を形成するためには
、基板の一辺が1mのものを用い、多面取りを行って量産することが好ましい。
用することが可能である。また、本実施例の電子機器は実施の形態1乃至5、実施例1乃
至7のどのような組み合わせからなる構成を用いても実現することができる。
ントローラ、電源回路等を含むICが実装された状態にあるモジュールが搭載されている
。モジュールとパネルは、共に発光装置の一形態に相当する。本実施例では、モジュール
の具体的な構成について説明する。
モジュールの外観図を示す。パネル800には、発光素子が各画素に設けられた画素部8
03と、前記画素部803が有する画素を選択する走査線駆動回路804と、選択された
画素にビデオ信号を供給する信号線駆動回路805とが設けられている。
コントローラ801または電源回路802から出力された各種信号及び電源電圧は、FP
C807を介してパネル800の画素部803、走査線駆動回路804、信号線駆動回路
805に供給される。
ーフェース(I/F)部808を介して供給される。
るが、必ずしもこの構成に限定されない。COG(Chip on Glass)方式を
用い、コントローラ801、電源回路802をパネル800に直接実装させるようにして
も良い。
る例を示すが、実施例7に示した素子の形成方法に従えばプラスチック基板上にポリシリ
コンを利用した大規模集積回路(LSI)を作り込むことができ、ICチップに代用して
LSIが設けられたプラスチック基板を用いることができる。
が有する抵抗等によって、電源電圧や信号にノイズがのったり、信号の立ち上がりが鈍っ
たりすることがある。そこで、プリント基板806にコンデンサ、バッファ等の各種素子
を設けて、電源電圧や信号にノイズがのったり、信号の立ち上がりが鈍ったりするのを防
ぐようにしても良い。
08に供給された各種信号と電源電圧は、コントローラ801と、電源電圧802に供給
される。
hase Locked Loop)810と、制御信号生成部811と、SRAM(S
tatic Random Access Memory)812、813とを有してい
る。なお本実施例ではSRAMを用いているが、SRAMの代わりに、SDRAMや、高
速でデータの書き込みや読み出しが可能であるならばDRAM(Dynamic Ran
dom Access Memory)も用いることが可能である。
おいてパラレル−シリアル変換され、R、G、Bの各色に対応するビデオ信号として制御
信号生成部811に入力される。また、インターフェース808を介して供給された各種
信号をもとに、A/Dコンバータ809においてHsync信号、Vsync信号、クロ
ック信号CLK、交流電圧(AC Cont)が生成され、制御信号生成部811に入力
される。
の周波数と、制御信号生成部811の動作周波数の位相とを合わせる機能を有している。
制御信号生成部811の動作周波数は、インターフェース808を介して供給された各種
信号の周波数と必ずしも同じではないが、互いに同期するように制御信号生成部811の
動作周波数を位相ロックドループ810において調整する。
込まれ、保持される。制御信号生成部811では、SRAM812に保持されている全ビ
ットのビデオ信号のうち、全画素に対応するビデオ信号を1ビット分づつ読み出し、パネ
ル800の信号線駆動回路805に供給する。
を、パネル800の走査線駆動回路804に供給する。
線駆動回路804及び画素部803に供給する。
回路802は、4つのスイッチングレギュレータコントロール860を用いたスイッチン
グレギュレータ854と、シリーズレギュレータ855とからなる。
り、降圧だけでなく昇圧や正負反転することも可能である。一方シリーズレギュレータは
、降圧のみに用いられるが、スイッチングレギュレータに比べて出力電圧の精度は良く、
リプルやノイズはほとんど発生しない。本実施例の電源回路802では、両者を組み合わ
せて用いる。
ール(SWR)860と、アテニュエイター(減衰器:ATT)861と、トランス(T
)862と、インダクター(L)863と、基準電源(Vref)864と、発振回路(
OSC)865、ダイオード866と、バイポーラトランジスタ867と、可変抵抗86
8と、容量869とを有している。
が変換されることで、陰極に与えられる電源電圧と、スイッチングレギュレータ854に
供給される電源電圧が生成される。
71と、オペアンプ872と、電流源873と、可変抵抗874と、バイポーラトランジ
スタ875とを有し、スイッチングレギュレータ854において生成された電源電圧が供
給されている。
た電源電圧を用い、バンドギャップ回路870において生成された一定の電圧に基づいて
、各色の発光素子の陽極に電流を供給するための配線(電流供給線)に与える直流の電源
電圧を、生成する。
。この場合、電流源873において生成された電流は、パネル800の信号線駆動回路8
05に供給される。なお、ビデオ信号の電圧が画素に書き込まれる駆動方式の場合には、
電流源873は必ずしも設ける必要はない。
わせからなる構成を用いても実現することができる。
Claims (11)
- 第1の基板上方に、第1の層を形成する工程と、
前記第1の層上方に、素子を有する層を形成する工程と、
前記素子を有する層上方に、第2の層及び第2の基板を形成する工程と、
前記第1の基板及び前記第2の基板を、溶液を用いてエッチングする工程と、
前記第1の層又は前記第2の層に、第3の基板を貼り付ける工程と、を有し、
前記第1の層は、SnO 2 、SrO、フッ素樹脂、又は金属を有し、
前記第2の層は、SnO 2 、SrO、フッ素樹脂、又は金属を有し、
前記第3の基板は、可撓性を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 第1の基板上方に、素子を有する層を形成する工程と、
前記素子を有する層上方に、第1の層及び第2の基板を形成する工程と、
前記第2の基板を、溶液を用いてエッチングする工程と、
前記第1の層上方に、第2の層及び第3の基板を形成する工程と、
前記第3の基板を、溶液を用いてエッチングする工程と、を有し、
前記第1の層は、SnO 2 、SrO、フッ素樹脂、又は金属を有し、
前記第2の層は、SnO 2 、SrO、フッ素樹脂、又は金属を有し、
前記第1の基板は、可撓性を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1において、
前記第3の基板は、強磁性材料を有し、
前記素子を有する層は、金属を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項2において、
前記第1の基板は、強磁性材料を有し、
前記素子を有する層は、金属を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1又は3において、
前記第3の基板の表面に、バリア膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記素子を有する層は、発光素子を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上方の、第1の層と、
前記第1の層上方の、素子を有する層と、
前記素子を有する層上方の、第2の層と、を有し、
前記第1の層は、SnO 2 、SrO、フッ素樹脂、又は金属を有し、
前記第2の層は、SnO 2 、SrO、フッ素樹脂、又は金属を有し、
前記基板は、可撓性を有することを特徴とする半導体装置。 - 基板上方の、素子を有する層と、
前記素子を有する層上方の、第1の層と、
前記第1の層上方の、第2の層と、を有し、
前記第1の層は、SnO 2 、SrO、フッ素樹脂、又は金属を有し、
前記第2の層は、SnO 2 、SrO、フッ素樹脂、又は金属を有し、
前記基板は、可撓性を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項7又は8において、
前記基板は、強磁性材料を有し、
前記素子を有する層は、金属を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項7乃至9のいずれか一項において、
前記基板上方の、バリア膜を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項7乃至10のいずれか一項において、
前記素子を有する層は、発光素子を有することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011022665A JP5288644B2 (ja) | 2002-11-01 | 2011-02-04 | 半導体装置の作製方法及び半導体装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002320270 | 2002-11-01 | ||
JP2002320270 | 2002-11-01 | ||
JP2011022665A JP5288644B2 (ja) | 2002-11-01 | 2011-02-04 | 半導体装置の作製方法及び半導体装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004525644A Division JP4748986B2 (ja) | 2002-11-01 | 2003-10-23 | 半導体装置の作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011142328A JP2011142328A (ja) | 2011-07-21 |
JP5288644B2 true JP5288644B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=32211848
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004525644A Expired - Fee Related JP4748986B2 (ja) | 2002-11-01 | 2003-10-23 | 半導体装置の作製方法 |
JP2011022665A Expired - Fee Related JP5288644B2 (ja) | 2002-11-01 | 2011-02-04 | 半導体装置の作製方法及び半導体装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004525644A Expired - Fee Related JP4748986B2 (ja) | 2002-11-01 | 2003-10-23 | 半導体装置の作製方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (5) | US7180093B2 (ja) |
JP (2) | JP4748986B2 (ja) |
CN (1) | CN100416840C (ja) |
AU (1) | AU2003275615A1 (ja) |
TW (2) | TWI320946B (ja) |
WO (1) | WO2004040649A1 (ja) |
Families Citing this family (72)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7230316B2 (en) | 2002-12-27 | 2007-06-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having transferred integrated circuit |
US7973313B2 (en) | 2003-02-24 | 2011-07-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film integrated circuit device, IC label, container comprising the thin film integrated circuit, manufacturing method of the thin film integrated circuit device, manufacturing method of the container, and management method of product having the container |
FR2859312B1 (fr) * | 2003-09-02 | 2006-02-17 | Soitec Silicon On Insulator | Scellement metallique multifonction |
WO2005043617A1 (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor integrated circuit and design method thereof |
US7130234B2 (en) * | 2003-12-12 | 2006-10-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US7768405B2 (en) * | 2003-12-12 | 2010-08-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7405665B2 (en) * | 2003-12-19 | 2008-07-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, RFID tag and label-like object |
US7508305B2 (en) * | 2003-12-26 | 2009-03-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Packing material, tag, certificate, paper money, and securities |
US7282380B2 (en) * | 2004-03-25 | 2007-10-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
JP3956955B2 (ja) * | 2004-04-22 | 2007-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体基板の製造方法、電気光学装置の製造方法 |
US7202504B2 (en) * | 2004-05-20 | 2007-04-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting element and display device |
KR100600874B1 (ko) * | 2004-06-09 | 2006-07-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막트랜지스터 및 그의 제조 방법 |
WO2006006636A1 (en) | 2004-07-14 | 2006-01-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Wireless processor, wireless memory, information system, and semiconductor device |
JP5303096B2 (ja) * | 2004-07-14 | 2013-10-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | プロセッサ |
KR20060077536A (ko) * | 2004-12-30 | 2006-07-05 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 씨모스 이미지 센서 및 그의 제조방법 |
US7176543B2 (en) * | 2005-01-26 | 2007-02-13 | United Solar Ovonic Corp. | Method of eliminating curl for devices on thin flexible substrates, and devices made thereby |
US7307006B2 (en) * | 2005-02-28 | 2007-12-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing semiconductor device |
TWI467702B (zh) | 2005-03-28 | 2015-01-01 | Semiconductor Energy Lab | 記憶裝置和其製造方法 |
JP4378314B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2009-12-02 | シャープ株式会社 | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
US8030132B2 (en) * | 2005-05-31 | 2011-10-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method of semiconductor device including peeling step |
JP5177976B2 (ja) * | 2005-08-31 | 2013-04-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP5089033B2 (ja) | 2005-11-04 | 2012-12-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
FR2899572B1 (fr) * | 2006-04-05 | 2008-09-05 | Commissariat Energie Atomique | Protection de cavites debouchant sur une face d'un element microstructure |
JP5045028B2 (ja) * | 2006-08-16 | 2012-10-10 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 表面形状センサとその製造方法 |
JP4866200B2 (ja) * | 2006-10-05 | 2012-02-01 | パナソニック株式会社 | 発光デバイスの製造方法 |
KR100812001B1 (ko) * | 2006-11-10 | 2008-03-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법 |
KR101446226B1 (ko) | 2006-11-27 | 2014-10-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법 |
JP2008293957A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-12-04 | Canon Inc | 有機発光装置の製造方法 |
JP2009141093A (ja) | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Toshiba Corp | 発光素子及び発光素子の製造方法 |
US7749884B2 (en) * | 2008-05-06 | 2010-07-06 | Astrowatt, Inc. | Method of forming an electronic device using a separation-enhancing species |
EP2294607A2 (en) * | 2008-05-17 | 2011-03-16 | Astrowatt, Inc. | Method of forming an electronic device using a separation technique |
WO2010016207A1 (ja) * | 2008-08-04 | 2010-02-11 | パナソニック株式会社 | フレキシブル半導体装置およびその製造方法 |
TWI384434B (zh) * | 2008-08-28 | 2013-02-01 | Au Optronics Corp | 可撓式顯示面板及其製造方法、光電裝置及其製造方法 |
EP2327055B1 (en) * | 2008-09-25 | 2012-08-22 | TomTom Global Content B.V. | Method of and arrangement for blurring an image |
TWI607670B (zh) | 2009-01-08 | 2017-12-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 發光裝置及電子裝置 |
JP5545970B2 (ja) | 2009-03-26 | 2014-07-09 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置及びその作製方法 |
KR20110019498A (ko) * | 2009-08-20 | 2011-02-28 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기전계발광 표시장치 |
KR102480780B1 (ko) | 2009-09-16 | 2022-12-22 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광 장치 및 이의 제조 방법 |
TWI400138B (zh) * | 2010-11-18 | 2013-07-01 | Ind Tech Res Inst | 雷射背面加工吸附方法及其裝置 |
CN102569018B (zh) * | 2010-12-10 | 2016-02-10 | 晶元光电股份有限公司 | 半导体元件的制作方法 |
US8735874B2 (en) | 2011-02-14 | 2014-05-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device, display device, and method for manufacturing the same |
CN102184892A (zh) * | 2011-03-19 | 2011-09-14 | 福州华映视讯有限公司 | 用于软性显示器的软板制作方法 |
US8373181B2 (en) * | 2011-06-29 | 2013-02-12 | General Electric Company | Method and device for a cathode structure for flexible organic light emitting diode (OLED) device |
JP6216540B2 (ja) * | 2012-05-30 | 2017-10-18 | ローム株式会社 | 有機el発光装置およびその製造方法、および積層カラーフィルタ |
KR102091687B1 (ko) | 2012-07-05 | 2020-03-20 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광 장치 및 발광 장치의 제작 방법 |
WO2014024900A1 (en) | 2012-08-10 | 2014-02-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing light-emitting device |
KR102027246B1 (ko) * | 2013-03-14 | 2019-10-01 | 삼성전자주식회사 | 디지타이저 및 그 제조 방법 |
JP2014186169A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Toshiba Corp | 表示装置の製造方法及び表示装置 |
KR20140120584A (ko) * | 2013-04-03 | 2014-10-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 패널용 절단 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 |
KR20140126439A (ko) * | 2013-04-23 | 2014-10-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 투명 플렉시블 표시장치의 제조방법 및 이를 이용한 투명 플렉시블 표시장치 |
US11335721B2 (en) * | 2013-11-06 | 2022-05-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Backside illuminated image sensor device with shielding layer |
JP6294670B2 (ja) | 2014-01-07 | 2018-03-14 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
CA2950961C (en) * | 2014-06-20 | 2022-11-01 | Thomas POWER | Magnetic screens and curtains for welding and grinding |
CN104078336B (zh) * | 2014-07-02 | 2018-01-09 | 上海朕芯微电子科技有限公司 | 无衬底结构的功率器件制造工艺 |
KR101829971B1 (ko) * | 2015-02-17 | 2018-02-19 | 주식회사 엘지화학 | 봉지 필름 |
JP6587511B2 (ja) | 2015-11-06 | 2019-10-09 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機el表示装置の製造方法 |
US10259207B2 (en) | 2016-01-26 | 2019-04-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for forming separation starting point and separation method |
JP6863803B2 (ja) | 2016-04-07 | 2021-04-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
US9824893B1 (en) * | 2016-06-28 | 2017-11-21 | Lam Research Corporation | Tin oxide thin film spacers in semiconductor device manufacturing |
JP6439782B2 (ja) * | 2016-12-27 | 2018-12-19 | 株式会社Sumco | 石英試料の分解方法、石英試料の金属汚染分析方法および石英部材の製造方法 |
KR20180093798A (ko) | 2017-02-13 | 2018-08-22 | 램 리써치 코포레이션 | 에어 갭들을 생성하는 방법 |
US10546748B2 (en) | 2017-02-17 | 2020-01-28 | Lam Research Corporation | Tin oxide films in semiconductor device manufacturing |
WO2018172617A1 (en) * | 2017-03-23 | 2018-09-27 | Beneq Oy | Thin film display element and manufacturing |
US20200161367A1 (en) * | 2017-07-12 | 2020-05-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | Imaging panel and method for producing same |
US10779892B2 (en) * | 2017-08-10 | 2020-09-22 | Northern Digital Inc. | Tracking a cylindrical opening |
KR102073270B1 (ko) * | 2017-08-24 | 2020-03-02 | 장연 | Oled 봉지재, 그 제조방법 및 oled 봉지방법 |
KR102630349B1 (ko) | 2018-01-30 | 2024-01-29 | 램 리써치 코포레이션 | 패터닝에서 주석 옥사이드 맨드렐들 (mandrels) |
KR102041048B1 (ko) * | 2018-05-16 | 2019-11-06 | 한국과학기술원 | 유기 절연체 3중층으로 이루어진 전하 트랩 구조와 이를 이용한 비휘발성 메모리 |
CN108983505B (zh) * | 2018-07-13 | 2023-10-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示装置及其制造方法、封框胶 |
JP6888746B2 (ja) * | 2018-12-26 | 2021-06-16 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 電子部品パッケージの製造方法 |
JP7320085B2 (ja) | 2019-06-27 | 2023-08-02 | ラム リサーチ コーポレーション | 交互のエッチングプロセスおよび不動態化プロセス |
EP4050673A4 (en) * | 2019-10-21 | 2022-11-02 | BOE Technology Group Co., Ltd. | DISPLAY PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF, AND DISPLAY DEVICE |
Family Cites Families (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3839700A (en) * | 1973-02-13 | 1974-10-01 | Sperry Rand Corp | Traffic sensor |
US3898598A (en) * | 1974-01-24 | 1975-08-05 | Foster Tsushin Kogyo | Dynamic electroacoustic transducer |
JP2642935B2 (ja) | 1987-09-24 | 1997-08-20 | 株式会社小森コーポレーション | フィーダにおける枚葉紙パイルの端面位置決め装置 |
US5005306A (en) | 1989-06-21 | 1991-04-09 | Kinstler William G | Illuminated vehicle sign |
US5618739A (en) | 1990-11-15 | 1997-04-08 | Seiko Instruments Inc. | Method of making light valve device using semiconductive composite substrate |
US5347154A (en) | 1990-11-15 | 1994-09-13 | Seiko Instruments Inc. | Light valve device using semiconductive composite substrate |
JP2811131B2 (ja) | 1991-04-26 | 1998-10-15 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の配線接続構造およびその製造方法 |
JP3207918B2 (ja) * | 1991-04-22 | 2001-09-10 | キヤノン株式会社 | Iii−v族化合物の多結晶半導体材料を用いた発光素子およびその製造方法 |
JPH0588016A (ja) | 1991-09-27 | 1993-04-09 | Kansai Paint Co Ltd | カラーフイルターの製造方法 |
US5559399A (en) * | 1992-06-11 | 1996-09-24 | Norden Systems, Inc. | Low resistance, thermally stable electrode structure for electroluminescent displays |
JPH06348215A (ja) * | 1992-06-29 | 1994-12-22 | Iyo Technical:Kk | Elランプの薄型防水機能付きフレキシブルデスプレー |
US5643804A (en) | 1993-05-21 | 1997-07-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing a hybrid integrated circuit component having a laminated body |
JPH0835759A (ja) * | 1994-07-22 | 1996-02-06 | Kuriputon Internatl:Kk | 冷凍冷蔵庫保存内容表示装置 |
JP4619462B2 (ja) | 1996-08-27 | 2011-01-26 | セイコーエプソン株式会社 | 薄膜素子の転写方法 |
CN1495523A (zh) * | 1996-08-27 | 2004-05-12 | ������������ʽ���� | 转移方法和有源矩阵基板的制造方法 |
JP3809681B2 (ja) | 1996-08-27 | 2006-08-16 | セイコーエプソン株式会社 | 剥離方法 |
JP4619461B2 (ja) | 1996-08-27 | 2011-01-26 | セイコーエプソン株式会社 | 薄膜デバイスの転写方法、及びデバイスの製造方法 |
US6127199A (en) | 1996-11-12 | 2000-10-03 | Seiko Epson Corporation | Manufacturing method of active matrix substrate, active matrix substrate and liquid crystal display device |
TW464785B (en) * | 1996-11-21 | 2001-11-21 | Seiko Epson Corp | Input device, liquid crystal device, and electronic equipment using the liquid crystal device |
US6331722B1 (en) | 1997-01-18 | 2001-12-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Hybrid circuit and electronic device using same |
JPH10256576A (ja) * | 1997-03-06 | 1998-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 太陽電池シート |
JP4042182B2 (ja) | 1997-07-03 | 2008-02-06 | セイコーエプソン株式会社 | Icカードの製造方法及び薄膜集積回路装置の製造方法 |
JP3406207B2 (ja) | 1997-11-12 | 2003-05-12 | シャープ株式会社 | 表示用トランジスタアレイパネルの形成方法 |
JPH11243209A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Seiko Epson Corp | 薄膜デバイスの転写方法、薄膜デバイス、薄膜集積回路装置、アクティブマトリクス基板、液晶表示装置および電子機器 |
TW362266B (en) | 1998-05-08 | 1999-06-21 | Mutual Tek Ind Co Ltd | Packaging method for economical thin type chip |
US6313481B1 (en) * | 1998-08-06 | 2001-11-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and a method of manufacturing the same |
JP3567971B2 (ja) | 1998-11-10 | 2004-09-22 | 日立プラント建設株式会社 | ガラス基板の洗浄液及び洗浄方法 |
US7821065B2 (en) | 1999-03-02 | 2010-10-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising a thin film transistor comprising a semiconductor thin film and method of manufacturing the same |
JP2000353809A (ja) * | 1999-03-02 | 2000-12-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
GB9907019D0 (en) * | 1999-03-27 | 1999-05-19 | Koninkl Philips Electronics Nv | Thin film transistors and their manufacture |
JP3804349B2 (ja) * | 1999-08-06 | 2006-08-02 | セイコーエプソン株式会社 | 薄膜デバイス装置の製造方法、アクティブマトリクス基板の製造方法、および電気光学装置 |
US6436520B1 (en) | 1999-09-01 | 2002-08-20 | Toda Kogyo Corporation | Magnetic display device |
US6312795B1 (en) | 1999-09-01 | 2001-11-06 | Toda Kogyo Corporation | Magnetic sheet |
JP3942770B2 (ja) * | 1999-09-22 | 2007-07-11 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | El表示装置及び電子装置 |
JP2001102168A (ja) | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 表示装置 |
JP2001156313A (ja) * | 1999-11-24 | 2001-06-08 | Toppan Printing Co Ltd | 太陽電池用基材および太陽電池 |
US7060153B2 (en) | 2000-01-17 | 2006-06-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and method of manufacturing the same |
JP2001217443A (ja) * | 2000-02-04 | 2001-08-10 | Sony Corp | 半導体素子およびその製造方法、太陽電池およびその製造方法ならびに半導体素子を用いた光学素子 |
TW495808B (en) * | 2000-02-04 | 2002-07-21 | Semiconductor Energy Lab | Thin film formation apparatus and method of manufacturing self-light-emitting device using thin film formation apparatus |
TW521303B (en) * | 2000-02-28 | 2003-02-21 | Semiconductor Energy Lab | Electronic device |
TW495854B (en) * | 2000-03-06 | 2002-07-21 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP2001284622A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Canon Inc | 半導体部材の製造方法及び太陽電池の製造方法 |
US7579203B2 (en) * | 2000-04-25 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US6621482B2 (en) * | 2000-05-15 | 2003-09-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Display arrangement with backlight means |
TW501282B (en) * | 2000-06-07 | 2002-09-01 | Semiconductor Energy Lab | Method of manufacturing semiconductor device |
JP4869471B2 (ja) * | 2000-07-17 | 2012-02-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP2002087844A (ja) | 2000-09-14 | 2002-03-27 | Sony Corp | 表示パネルの製造方法 |
US6739931B2 (en) * | 2000-09-18 | 2004-05-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and method of fabricating the display device |
JP3974749B2 (ja) * | 2000-12-15 | 2007-09-12 | シャープ株式会社 | 機能素子の転写方法 |
KR100710282B1 (ko) * | 2000-12-29 | 2007-04-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 박막트랜지스터 및 그 제조방법 |
JP4061846B2 (ja) * | 2001-01-23 | 2008-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | 積層体の製造方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2002278473A (ja) | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Sony Corp | 表示パネルの製造方法 |
JP2002289861A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Sharp Corp | 半導体装置およびそれを用いた液晶表示装置 |
TW574753B (en) * | 2001-04-13 | 2004-02-01 | Sony Corp | Manufacturing method of thin film apparatus and semiconductor device |
WO2002093245A1 (en) * | 2001-05-15 | 2002-11-21 | E Ink Corporation | Electrophoretic displays containing magnetic particles |
TW564471B (en) | 2001-07-16 | 2003-12-01 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device and peeling off method and method of manufacturing semiconductor device |
US6814832B2 (en) | 2001-07-24 | 2004-11-09 | Seiko Epson Corporation | Method for transferring element, method for producing element, integrated circuit, circuit board, electro-optical device, IC card, and electronic appliance |
TW554398B (en) * | 2001-08-10 | 2003-09-21 | Semiconductor Energy Lab | Method of peeling off and method of manufacturing semiconductor device |
JP3909583B2 (ja) * | 2001-08-27 | 2007-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置の製造方法 |
JP4166455B2 (ja) * | 2001-10-01 | 2008-10-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 偏光フィルム及び発光装置 |
JP2003133070A (ja) * | 2001-10-30 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 積層膜の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、及び電子機器 |
TW594947B (en) | 2001-10-30 | 2004-06-21 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
-
2003
- 2003-10-23 WO PCT/JP2003/013553 patent/WO2004040649A1/ja active Application Filing
- 2003-10-23 AU AU2003275615A patent/AU2003275615A1/en not_active Abandoned
- 2003-10-23 CN CNB2003801021452A patent/CN100416840C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-10-23 JP JP2004525644A patent/JP4748986B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-10-31 TW TW092130543A patent/TWI320946B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-10-31 US US10/697,941 patent/US7180093B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-10-31 TW TW098131126A patent/TWI442575B/zh not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-02-05 US US11/702,058 patent/US7741642B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-04-14 US US12/759,999 patent/US8237164B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-02-04 JP JP2011022665A patent/JP5288644B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-07-26 US US13/558,374 patent/US9263617B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-01-19 US US15/000,710 patent/US20160133683A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1708852A (zh) | 2005-12-14 |
US20100195033A1 (en) | 2010-08-05 |
TW201005952A (en) | 2010-02-01 |
US20040232459A1 (en) | 2004-11-25 |
WO2004040649A1 (ja) | 2004-05-13 |
TW200415792A (en) | 2004-08-16 |
JP2011142328A (ja) | 2011-07-21 |
US7741642B2 (en) | 2010-06-22 |
TWI442575B (zh) | 2014-06-21 |
CN100416840C (zh) | 2008-09-03 |
US7180093B2 (en) | 2007-02-20 |
US20160133683A1 (en) | 2016-05-12 |
US9263617B2 (en) | 2016-02-16 |
US8237164B2 (en) | 2012-08-07 |
AU2003275615A1 (en) | 2004-05-25 |
US20070138954A1 (en) | 2007-06-21 |
TWI320946B (en) | 2010-02-21 |
JPWO2004040649A1 (ja) | 2006-03-02 |
JP4748986B2 (ja) | 2011-08-17 |
US20120286315A1 (en) | 2012-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5288644B2 (ja) | 半導体装置の作製方法及び半導体装置 | |
US11196020B2 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing the same | |
US8482011B2 (en) | Light-emitting device | |
JP5094776B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4912835B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4781082B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2004240412A (ja) | 液晶表示装置及び液晶表示装置の作製方法 | |
JP2005026706A (ja) | 半導体装置の作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110303 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110309 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130305 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130529 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130603 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5288644 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |