JP5272860B2 - 固体撮像素子およびカメラシステム - Google Patents
固体撮像素子およびカメラシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5272860B2 JP5272860B2 JP2009094110A JP2009094110A JP5272860B2 JP 5272860 B2 JP5272860 B2 JP 5272860B2 JP 2009094110 A JP2009094110 A JP 2009094110A JP 2009094110 A JP2009094110 A JP 2009094110A JP 5272860 B2 JP5272860 B2 JP 5272860B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pixel
- signal
- circuit
- pixels
- analog
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
- H04N25/77—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components
- H04N25/772—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components comprising A/D, V/T, V/F, I/T or I/F converters
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/75—Circuitry for providing, modifying or processing image signals from the pixel array
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
- H04N25/766—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors comprising control or output lines used for a plurality of functions, e.g. for pixel output, driving, reset or power
Description
現在では、高速化や小型化を目的として、固体撮像素子とアナログ・デジタル変換装置が同一チップや同一パッケージに集積されるようになっている。
このため、この固体撮像素子では、高解像度化に伴いアナログ・デジタル(AD)変換回路の数も増加し、面積および消費電力が増加する。
また、この固体撮像素子は、単位AD変換回路を小型化するため、一般に高速であるが面積の大きなパイプライン型AD変換回路などを用いることは難しく、比較的低速な逐次比較型AD変換回路などが用いられる。
このため、この固体撮像素子では、並列化によって高速化を実現してはいるものの、面積・消費電力の増加と、高速化の限界が問題となっている。
ただし、上記特許文献1のような逐次比較型AD変換回路を用いると、各列のAD変換が完了を待って次列の処理に移るため、並列数に応じて低速化してしまう。
しかし、追加されたアナログ信号のサンプルおよびホールド回路は、一般に大きな容量素子が各列に必要となるため、面積の増加は無視できない。
さらに、サンプルおよびホールド回路は熱雑音(kT/Cノイズ)を発生するため、サンプルおよびホールド素子を追加することは、画質を劣化させる。
ただし、全てのパイプライン段が常に動作しているわけではなく、読み出し期間やサンプルおよびホールド期間が長い場合には、AD変換回路の稼働率が下がり高速性能を十分に引き出せない。
一方で、そのために必要なサンプルおよびホールド回路は、(1) 面積増加を伴うだけでなく、(2) ノイズ源となり画質を劣化させる。さらに、AD変換回路の稼働率が低くなり、(3) AD変換回路の高速性を十分に引き出せない、という問題が挙げられる。
なお、説明は以下の順序で行う。
1.第1の実施形態(固体撮像素子の第1の構成例)
2.第2の実施形態(固体撮像素子の第2の構成例)
3.第3の実施形態(固体撮像素子の第3の構成例)
4.第4の実施形態(固体撮像素子の第4の構成例)
5.第5の実施形態(カメラシステムの構成例)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像素子の構成例を示す図である。
本実施形態では、固体撮像素子としてCMOSイメージセンサ100を例に説明する。
そして、マルチプレクサ(MUX)回路群130、パイプライン型AD変換回路群140、メモリ配列群150、および水平選択回路160により読み出し系回路が構成される。
図1では、1例として、画素回路110aが10×10のマトリクス状に配列された画素アレイ部110を示している。
そして、本第1の実施形態においては、各画素行を駆動する水平画素駆動線kが各行に複数(k0〜k3)が配線され、水平画素駆動線k0〜k3は該当行のいずれかの画素にそれぞれ接続されている。
各行に複数配線される水平画素駆動線k0〜k3と同等の数の複数の画素回路110aにより画素群PG0,PG1・・が形成される。
そして、画素群PG0,PG1・・の複数の画素回路110aは、それぞれ異なる水平画素駆動配線k0〜k3に接続されている。
さらに、各列に画素の出力信号を読み出す垂直信号線vslが配線されており、複数列で1つのAD変換回路を共有している。
そして、画素回路110aは、この1個の光電変換素子111に対して、転送トランジスタ112、リセットトランジスタ113、増幅トランジスタ114、および選択トランジスタ115の4つのトランジスタを能動素子として有する。
転送トランジスタ112は、光電変換素子111と出力ノードとしてのフローティングディフュージョンFDとの間に接続され、転送制御線LTRGを通じてそのゲート(転送ゲート)に制御信号である転送信号TRGが与えられる。
これにより、転送トランジスタ112は、光電変換素子111で光電変換された電子をフローティングディフュージョンFDに転送する。
これにより、リセットトランジスタ113は、フローティングディフュージョンFDの電位を電源ラインLVREFの電位にリセットする。
そして、選択制御線LSELを通してアドレス信号に応じた制御信号である選択信号SELが選択トランジスタ115のゲートに与えられ、選択トランジスタ115がオンする。
選択トランジスタ115がオンすると、増幅トランジスタ114はフローティングディフュージョンFDの電位を増幅してその電位に応じた電圧を垂直信号線vslに出カする。
垂直信号線vslを通じて、各画素から出力された電圧は、カラム読み出し系のマルチプレクサ回路群130の対応するマルチプレクサ回路に入力される。
すなわち、水平画素駆動線k0はリセット制御線LRST0、転送制御線LTRG0、および選択制御線LSEL0の3本の制御線により形成される。
同様に、水平画素駆動線k1はリセット制御線LRST1、転送制御線LTRG1、および選択制御線LSEL1の3本の制御線により形成される。
水平画素駆動線k2はリセット制御線LRST2、転送制御線LTRG2、および選択制御線LSEL2の3本の制御線により形成される。
水平画素駆動線k3はリセット制御線LRST3、転送制御線LTRG3、および選択制御線LSEL3の3本の制御線により形成される。
これに対応して、各行の連続する4列の画素回路110aがそれぞれ異なる水平画素駆動線k0〜k3に接続される。そして、続いて連続する4列の画素回路がそれぞれ異なる水平画素駆動線k0〜k3に接続される。
図1において、第0行を例にすると、第0列の画素回路110a−0が水平画素駆動線k0に接続され、第1列の画素回路110a−1が水平画素駆動線k1に接続されている。さらに、第2列の画素回路110a−2が水平画素駆動線k2に接続され、第3列の画素回路110a−3が水平画素駆動線k3に接続されている。
第4列の画素回路110a−4が水平画素駆動線k0に接続され、第5列の画素回路110a−5が水平画素駆動線k1に接続されている。さらに、第6列の画素回路110a−6が水平画素駆動線k2に接続され、第7列の画素回路110a−7が水平画素駆動線k3に接続されている。
以下、同様の繰り返しとなる。
そして、列方向の複数画素群を、重複期間の異なるタイミングで読み出し可能とする。
本第1の実施形態においては、読み出しの水平同期信号の位相を複数画素群の各画素でずらすことで、複数の画素読み出しで1つのAD変換回路を共有するように構成される。
行走査回路120は、画素アレイ部110の中の任意の行に配置された画素回路110aの動作を制御する。行走査回路120は、制御線LSEL、LRST、LTRGを通して各画素回路110aを制御する。
各マルチプレクサ回路130−0,130−1、・・・は、各行画素群PG0,PG1、・・・の各画素回路110aに接続されるx本(本例では4本)の垂直信号線vslがそれぞれ接続される。
前述したように、本第1の実施形態においては、各行に複数配線された水平画素駆動線k0〜k3の読み出し駆動のタイミングをずらすことから、x本の垂直信号線vslに読み出されるアナログ信号の読み出しタイミングがずれる。
各マルチプレクサ回路130−0,130−1、・・は、接続されたx本の垂直信号線vslに読み出されるアナログ信号VSLを順次に選択して、パイプライン型AD変換回路群140の対応するAD変換回路に転送する。
各マルチプレクサ回路130−0,130−1、・・は、x本の垂直信号線vslに接続されたスイッチSW0〜SW3を有する。
スイッチSW0〜SW3は、各行に複数配線された水平画素駆動線k0〜k3の読み出し駆動のタイミングに応じた選択信号m0〜m3により順次にオン、オフされる。
マルチプレクサ回路130−1のスイッチSW0が第4列の垂直駆動線vsl4に接続され、スイッチSW1が第5列の垂直駆動線vsl5に接続されている。さらに、マルチプレクサ回路130−1のスイッチSW2が第6列の垂直駆動線vsl6に接続され、スイッチSW3が第7列の垂直駆動線vsl7に接続されている。
各AD変換回路140−0,140−1、・・は、複数段で構成され、順次入力を受け付けることができる、いわゆるパイプライン動作が可能なAD変換回路である。
各ステージ141(−0〜−n-1)は、前段の出力をサンプルするサンプルおよびホールド回路(SHA)1411、k−bitのAD変換回路1412、k-bitのデジタルアナログ変換装置(DAC (Digital Analog converter)と略す)DAC回路1413を有する。
さらに各ステージ141(−0〜−n-1)は、アナログ加減算回路1414、および増幅回路1415を有する。
たとえば、各段の変換bit数が1bitである場合、たとえば4段あるいは16段のパイプライン構成とすることで、16bitのAD変換回路となる。この場合、初段の1bitのAD変換が終了すれば、次段に信号が送られるため、次の入力信号を受け付けることが可能となる。
各メモリ群150−0,150−1、・・の4個のメモリM0〜M3は、対応するAD変換回路140−0,140−1、・・によるデジタルデータを記憶(ラッチ)する。
また、水平選択回路160は、各スイッチSW10〜SW17、・・を選択駆動するための選択線LS10〜LS17、・・を有する。
水平走査回路161は、選択線SL10〜LS17、・・を順次駆動して、各スイッチSW10〜SW17、・・を順次オン、オフ制御し、各メモリ群150−0,150−1、・・の各メモリM0〜M3のデータを水平転送線162に読み出させる。
なお、水平転送線162を転送されたデータは、図示しないアンプ回路を経て信号処理回路に入力され、2次元画像が生成される。
図5は、本第1の実施形態に係るCMOSイメージセンサの画素読み出しおよびAD変換動作のタイミングを示す第2図である。
また、図6は、本第1の実施形態に係るCMOSイメージセンサの全体的な駆動例を示す図である。図6は、画素読み出し、マルチプレクサ回路の選択動作、およびAD変換動作のタイミングを示している。
前述したように、本第1の実施形態においては、各行に4本の水平画素駆動線k0〜k3が配線されている。また、AD変換回路を共有する出力信号を切り替えるマルチプレクサ(MUX)回路130の選択信号(パルス信号)をm0〜m3とする。
各行に複数(ここでは4)配線された水平画素駆動線k0,k1,k2,k3は、それぞれ異なる列の画素と接続され、行走査回路120により異なるタイミングで画素を駆動可能となっている。
読み出しが終了したタイミングで、画素出力の列選択を行うマルチプレクサ回路130−0,130−1、・・によって選択されて、画素から読み出されたアナログ信号がパイプライン型AD変換回路140−0,140−1,・・に入力される。
これにより、本第1の実施形態のCMOSイメージセンサ100は、サンプルおよびホールド回路を不要とし、サンプルおよびホールド回路に相当する回路面積を削減し、サンプル&ホールド回路で発生する熱雑音(kT/Cノイズ)による画質劣化がない。
また、サンプルおよびホールド期間が無く、読み出し時間に共有数を合わせることで、AD変換回路の稼働率を上げて高フレームレート化が可能である。
図7は、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像素子(CMOSイメージセンサ)の構成例を示す図である。
各列に垂直信号線vsl0〜vsl3が配線され、垂直信号線vsl0〜vsl3でAD変換回路を共有している。
この場合、列方向の連続する4画素で画素群PGAが構成され、行走査回路120Aは画素群PGAの各画素を、位相をずらして駆動し読み出す。
また、図9は、本第2の実施形態に係るCMOSイメージセンサの全体的な駆動例を示す図である。図9は、画素読み出し、マルチプレクサ回路の選択動作、およびAD変換動作のタイミングを示している。
マルチプレクサ回路130A−0〜130A−Nは、選択信号m0〜m3でスイッチが順次オンオフされて、垂直信号線vsl0〜vsl3に読み出されたアナログ信号を選択し、対応するAD変換回路140A−0〜140A−10(N)に出力する。
本第2の実施形態においては、各列の複数配線される垂直信号線vslで、1つのAD変換回路が共有されている。
読み出しタイミングにあわせてマルチプレクサ(MUX)回路130A−iで選択され、AD変換回路140A−iに入力されることで、図8に示すような駆動が可能となる。
図10は、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像素子(CMOSイメージセンサ)の構成例を示す図である。
第3の実施形態のCMOSイメージセンサ100Bにおいては、各行で水平画素駆動線kが複数本(この例では4)ずつ配線され、垂直信号線vslが各列で複数本(この例では4)ずつ配線されている。
CMOSイメージセンサ100Bでは、たとえば4×4の画素群PGB0に対し、図10中で画素回路110aに付した符号1→2→3の順番で位相をphだけずらして読み出される。
同様に位相のずれた読み出し終了に合わせてマルチプレクサ回路130B−0でAD変換回路140B−0への入力を選択する。
AD変換回路で変換されたデジタル信号はメモリ150B−0,150B−1に格納され、水平選択回路160Bで順次選択され出力される。
本第3の実施形態においては、複数列の複数の垂直信号線で、1つのアナログ・デジタル変換回路が共有されている。
図10に示すように、各行に4本の水平画素駆動線k0,k1,k2,k3が配線され、さらに各列に4本の垂直信号線vsl0〜vsl3が配線されている。
4×4の計16本となる垂直信号線ごとにマルチプレクサ(MUX)回路130B−0,130B−1で選択されAD変換回路140B−0,140B−1に入力される。マルチプレクサ回路130B−0,130B−1では、垂直信号線vslを選択信号(パルス信号)m0,m1,m2,・・,m15で選択する。
行走査回路120Bで、各行の水平画素駆動線k0〜k3を順次位相をずらしながら読み出し動作を開始し、読み出し終了のタイミングで選択信号m0〜m15にて順次AD変換回路140B−0,140B−1へ入力する。
AD変換回路140B−0,140B−1に入力された信号は、初段のAD STAGE#1で処理されたあと、次段以降のADSTAGE(#2, #3...)転送される。
次段へ転送されれば、次の入力信号を受け付けることができるため、AD STAGEのサイクルと、読み出しの位相ずれを一致させることでサンプルおよびホールド回路なしで、複数行によるAD変換回路の共有と高速化を実現できる。
図12は、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像素子(CMOSイメージセンサ)の構成例を示す図である。
3次元構造を用いて2次元配列の画素単位でAD変換回路を共有することで、限られた配線数に対して並列度の高いAD変換が可能となり、より高速な撮像が実現できる。
2層以上の積層構造において、画素アレイ部110C(受光素子部)以降のマルチプレクサ回路群130C、AD変換回路群140C、メモリ群150C、および水平選択回路160Cを含む読み出し系回路などは、いずれの境界で層を分離しても構わない。
受光部に対して、配線層とは反対の面(以降、裏面)から光を照射する構造とすることで、配線数の増加による開口率の低下や面積増加を回避することができる。
これにより、受光面を配慮した配線が不要となり、配線の自由度を高めることができる。
なお、図13において、230は基板支持材を、241はSi02からなる絶縁膜、242は遮光膜、242aは開口部、243は絶縁膜、244は色フィルタ、245はマイクロレンズを、それぞれ示している。
固体撮像素子において、小面積・低ノイズで、高速なアナログ・デジタル変換が可能となる。
また、配線層とは逆の裏面から光を照射する、裏面照射型の撮像装置とすることで、水平画素駆動線または垂直信号線を、画素領域上に配線することができ、配線数の増加による開口率の低下や面積増加を回避することができる。
サンプルおよびホールド回路に必要な容量は1μm^2あたり1fFで形成できるとし、簡単のため素子間の分離や配線領域は無いものとする。
サンプルおよびホールド回路に用いた容量と、サンプルおよびホールド回路で発生するノイズ量、面積を図14(A)に示す。
また、読み出しノイズの典型値として150μVrmsとした場合、サンプルおよびホールド回路の画素領域に対する面積比率とノイズ比率を図14(B)に示す。
さらに、全体の10%程度までノイズを抑えるには、撮像領域の数倍の面積を占めることになり現実的でない。
サンプルおよびホールド回路に使用できる面積は、現実的には撮像領域の20%程度といえるため、30%程度のノイズがサンプルおよびホールド回路によって増加していることになる。
本発明の実施形態は、サンプルおよびホールド回路を不要とする構成および駆動であるため、これらの面積増分、およびノイズ増分は無く、小面積・低ノイズで、高速な撮像を可能とする。
図15は、本発明の実施形態に係る固体撮像素子が適用されるカメラシステムの構成の一例を示す図である。
さらに、カメラシステム300は、この撮像デバイス310の画素領域に入射光を導く(被写体像を結像する)光学系、たとえば入射光(像光)を撮像面上に結像させるレンズ320を有する。
カメラシステム300は、撮像デバイス310を駆動する駆動回路(DRV)330と、撮像デバイス310の出力信号を処理する信号処理回路(PRC)340と、を有する。
信号処理回路340で処理された画像信号は、たとえばメモリなどの記録媒体に記録される。記録媒体に記録された画像情報は、プリンタなどによってハードコピーされる。また、信号処理回路340で処理された画像信号を液晶ディスプレイ等からなるモニターに動画として映し出される。
Claims (6)
- 光信号を電気信号に変換する光電変換機能を有する複数の画素が2次元アレイ状に配列された画素アレイ部と、
上記画素の行配列に対応して各行に配列された上記画素を駆動制御するための画素駆動線と、
上記画素の列配列に対応して各列に配列された上記画素の読み出し信号を読み出すための信号線と、
上記画素駆動線を通して読み出しを行うように画素を駆動する画素駆動部と、
上記信号線のアナログ信号をデジタル信号に変換する機能を有する読み出し系回路と、を有し、
上記各行に配線される画素駆動線および上記各列に配線される信号線のうち、少なくとも一方は複数配線され、
上記画素アレイ部において、
上記各行および上記各列に少なくとも一方に複数配線される上記画素駆動線および上記信号線の配線数と同等の数の複数の画素により画素群が形成され、
当該画素群の複数の画素は、それぞれ複数配線の異なる配線に接続され、
上記画素駆動部は、
上記画素群の複数の画素を、位相をずらしたタイミングで順に駆動してアナログ信号を対応する上記信号線に読み出し、
上記読み出し系回路は、
上記画素群から複数の上記信号線に読み出されたアナログ信号を順次取り込み、取り込んだアナログ信号をデジタル信号に順次変換するアナログ・デジタル変換回路を含み、
上記画素駆動線が各行に複数配線され、上記画素群が複数列の複数の画素により形成され、
上記信号線が各列に1本ずつ配線され、
上記読み出し系回路は、
複数列で1つのアナログ・デジタル変換回路を共有している
固体撮像素子。 - 上記アナログ・デジタル変換回路は、
複数段で形成され、順次入力を受け付けることが可能でパイプライン動作が可能なパイプライン型アナログ・デジタル変換回路により形成される
請求項1記載の固体撮像素子。 - 上記画素駆動部は、
上記画素駆動線の読み出し駆動を、上記パイプライン型アナログ・デジタル変換回路のスループットに相当する時間だけ順次ずらす
請求項2記載の固体撮像素子。 - 光電変換機能を有す受光素子と周辺回路を積層構造とし、
上記読み出し系回路は、
上記受光素子の2次元配列ごとに上記アナログ・デジタル変換回路を共有する
請求項1から3のいずれか一に記載の固体撮像素子。 - 光電変換機能を有する受光素子に対して、配線層とは反対側の面から光を照射する裏面照射型とし、
上記画素駆動線および上記信号線の少なくとも一方が受光素子領域上に配線される
請求項1から4のいずれか一に記載の固体撮像素子。 - 固体撮像素子と、
上記固体撮像素子に被写体像を結像する光学系と、
上記固体撮像素子の出力画像信号を処理する信号処理回路と、を有し、
上記固体撮像素子は、
光信号を電気信号に変換する光電変換機能を有する複数の画素が2次元アレイ状に配列された画素アレイ部と、
上記画素の行配列に対応して各行に配列された上記画素を駆動制御するための画素駆動線と、
上記画素の列配列に対応して各列に配列された上記画素の読み出し信号を読み出すための信号線と、
上記画素駆動線を通して読み出しを行うように画素を駆動する画素駆動部と、
上記信号線のアナログ信号をデジタル信号に変換する機能を有する読み出し系回路と、を含み、
上記各行に配線される画素駆動線および上記各列に配線される信号線のうち、少なくとも一方は複数配線され、
上記画素アレイ部において、
上記各行および上記各列に少なくとも一方に複数配線される上記画素駆動線および上記信号線の配線数と同等の数の複数の画素により画素群が形成され、
当該画素群の複数の画素は、それぞれ複数配線の異なる配線に接続され、
上記画素駆動部は、
上記画素群の複数の画素を、位相をずらして順に駆動してアナログ信号を対応する上記信号線に読み出し、
上記読み出し系回路は、
上記画素群から複数の上記信号線に読み出されたアナログ信号を順次取り込み、取り込んだアナログ信号をデジタル信号に順次変換するアナログ・デジタル変換回路を含み、
上記画素駆動線が各行に複数配線され、上記画素群が複数列の複数の画素により形成され、
上記信号線が各列に1本ずつ配線され、
上記読み出し系回路は、
複数列で1つのアナログ・デジタル変換回路を共有している
カメラシステム。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009094110A JP5272860B2 (ja) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 固体撮像素子およびカメラシステム |
TW099105736A TWI430661B (zh) | 2009-04-08 | 2010-02-26 | 固態成像裝置及相機系統 |
EP10002585A EP2239937A2 (en) | 2009-04-08 | 2010-03-11 | Solid-state imaging device and camera system |
US12/731,710 US8570417B2 (en) | 2009-04-08 | 2010-03-25 | Solid-state imaging device and camera system |
KR1020100026588A KR20100112076A (ko) | 2009-04-08 | 2010-03-25 | 고체 촬상 소자 및 카메라 시스템 |
CN2010101369513A CN101860688B (zh) | 2009-04-08 | 2010-03-31 | 固态摄像器件和相机系统 |
US14/026,542 US8786748B2 (en) | 2009-04-08 | 2013-09-13 | Solid-state imaging device and camera system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009094110A JP5272860B2 (ja) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 固体撮像素子およびカメラシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010245955A JP2010245955A (ja) | 2010-10-28 |
JP5272860B2 true JP5272860B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=42168195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009094110A Expired - Fee Related JP5272860B2 (ja) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 固体撮像素子およびカメラシステム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8570417B2 (ja) |
EP (1) | EP2239937A2 (ja) |
JP (1) | JP5272860B2 (ja) |
KR (1) | KR20100112076A (ja) |
CN (1) | CN101860688B (ja) |
TW (1) | TWI430661B (ja) |
Families Citing this family (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4107269B2 (ja) * | 2004-02-23 | 2008-06-25 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
JP5671890B2 (ja) * | 2010-08-31 | 2015-02-18 | 株式会社ニコン | 撮像装置 |
JP5633323B2 (ja) * | 2010-11-11 | 2014-12-03 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
JP2012253624A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Sony Corp | 固体撮像装置およびカメラシステム |
JP5791571B2 (ja) * | 2011-08-02 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
JP5862126B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2016-02-16 | ソニー株式会社 | 撮像素子および方法、並びに、撮像装置 |
GB201117319D0 (en) | 2011-10-06 | 2011-11-16 | Isis Innovation | Active pixel image sensor |
JP6041500B2 (ja) * | 2012-03-01 | 2016-12-07 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、撮像システム、撮像装置の駆動方法、撮像システムの駆動方法 |
US8872096B2 (en) * | 2012-04-12 | 2014-10-28 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Method and apparatus for detecting failures of a dual matrix sensor array |
EP3496394A1 (en) * | 2012-06-08 | 2019-06-12 | Nikon Corporation | Imaging sensor and imaging device |
JP2014016382A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-01-30 | Sony Corp | 固体撮像装置、電子機器、および画素読み出し方法 |
JP6049332B2 (ja) * | 2012-07-11 | 2016-12-21 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および撮像システム |
US9343497B2 (en) * | 2012-09-20 | 2016-05-17 | Semiconductor Components Industries, Llc | Imagers with stacked integrated circuit dies |
JP6149369B2 (ja) * | 2012-09-27 | 2017-06-21 | 株式会社ニコン | 撮像素子 |
CN104756480B (zh) * | 2012-10-30 | 2018-09-21 | 卡尔斯特里姆保健公司 | 用于数字放射影像检测器的电荷注入补偿 |
JP6037878B2 (ja) * | 2013-02-13 | 2016-12-07 | オリンパス株式会社 | 撮像装置 |
US9453730B2 (en) * | 2013-03-20 | 2016-09-27 | Cognex Corporation | Machine vision 3D line scan image acquisition and processing |
JP6230260B2 (ja) | 2013-04-24 | 2017-11-15 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、撮像システム、撮像装置の駆動方法 |
JP6284047B2 (ja) | 2013-05-29 | 2018-02-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置および撮像方法 |
WO2014192243A1 (ja) | 2013-05-29 | 2014-12-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置、復元装置、撮像システム、および、撮像方法 |
WO2015002005A1 (ja) * | 2013-07-04 | 2015-01-08 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、制御方法、及び、電子機器 |
JP6361965B2 (ja) | 2013-10-24 | 2018-07-25 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像システム、撮像装置、符号化装置、および撮像方法 |
CN103780850B (zh) * | 2014-01-30 | 2017-12-15 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 像素分裂与合并图像传感器及其信号传输方法 |
CN105100653B (zh) * | 2014-05-09 | 2018-05-01 | 恒景科技股份有限公司 | 感测装置 |
CN105574472B (zh) * | 2014-10-14 | 2019-05-28 | 上海箩箕技术有限公司 | 面阵指纹传感器 |
JP6398679B2 (ja) * | 2014-12-12 | 2018-10-03 | Smk株式会社 | 撮像装置 |
US9391632B1 (en) * | 2015-01-27 | 2016-07-12 | Omnivision Technologies, Inc. | Method and system for implementing an extended range approximation analog-to-digital converter |
CN106357995B (zh) * | 2015-07-22 | 2019-07-30 | 恒景科技股份有限公司 | 图像传感器 |
JP6922905B2 (ja) * | 2016-06-08 | 2021-08-18 | ソニーグループ株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置、および、固体撮像素子の制御方法 |
US9955099B2 (en) * | 2016-06-21 | 2018-04-24 | Hand Held Products, Inc. | Minimum height CMOS image sensor |
DE102016212776A1 (de) | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Robert Bosch Gmbh | Subpixeleinheit für einen Lichtsensor, Lichtsensor, Verfahren zum Sensieren eines Lichtsignals und Verfahren zum Generieren eines Bildes |
CN109891196B (zh) * | 2016-11-02 | 2022-02-01 | 普莱希莱布斯股份有限公司 | 检测器设备、定位代码和位置检测方法 |
EP3324545B1 (en) | 2016-11-22 | 2024-04-24 | ams AG | Image sensor and method for readout of an image sensor |
JP6769349B2 (ja) | 2017-03-03 | 2020-10-14 | 株式会社リコー | 固体撮像素子及び撮像装置 |
CN107040733B (zh) * | 2017-04-18 | 2020-10-20 | 中国科学院半导体研究所 | Cmos图像传感器 |
JP6904119B2 (ja) * | 2017-07-06 | 2021-07-14 | 株式会社リコー | 固体撮像素子および撮像装置 |
JP6969224B2 (ja) * | 2017-08-24 | 2021-11-24 | 株式会社リコー | 固体撮像素子及び撮像装置 |
JP7039237B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2022-03-22 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、撮像システム、移動体、回路チップ |
JP7102119B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2022-07-19 | キヤノン株式会社 | 半導体装置および機器 |
JP6632588B2 (ja) * | 2017-10-18 | 2020-01-22 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、撮像システム、撮像装置の駆動方法 |
JP6999381B2 (ja) * | 2017-11-28 | 2022-01-18 | シャープ株式会社 | 固体撮像装置 |
JP7013973B2 (ja) | 2018-03-19 | 2022-02-01 | 株式会社リコー | 固体撮像素子及び撮像装置 |
WO2019234966A1 (ja) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | 三菱電機株式会社 | 赤外線撮像素子およびそれを備えた空気調和機 |
WO2020036051A1 (ja) * | 2018-08-17 | 2020-02-20 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
JP7322552B2 (ja) | 2019-07-01 | 2023-08-08 | 株式会社リコー | 光電変換装置、ラインセンサ、画像読取装置、及び画像形成装置 |
JP7357477B2 (ja) * | 2019-07-08 | 2023-10-06 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6721008B2 (en) * | 1998-01-22 | 2004-04-13 | Eastman Kodak Company | Integrated CMOS active pixel digital camera |
CN1129888C (zh) * | 1998-08-04 | 2003-12-03 | 精工爱普生株式会社 | 电光转换装置以及电子设备 |
WO2001003418A1 (en) * | 1999-07-05 | 2001-01-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Image detector |
US7092021B2 (en) * | 2000-02-22 | 2006-08-15 | Micron Technology, Inc. | Frame shuttering scheme for increased frame rate |
US6445763B1 (en) * | 2000-11-22 | 2002-09-03 | General Electric Medical Systems Global Technology Company, Llc | Methods and apparatus for application specific computed tomographic radiation detection |
GB0118183D0 (en) * | 2001-07-26 | 2001-09-19 | Koninkl Philips Electronics Nv | Device comprising of an array of pixels |
JP4087615B2 (ja) | 2002-02-12 | 2008-05-21 | 株式会社フォトロン | 高速撮像装置 |
CN1274454C (zh) * | 2003-09-20 | 2006-09-13 | 大连理工大学 | 镁合金激光-tig焊接方法 |
JP2005333265A (ja) * | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Olympus Corp | 固体撮像素子および装置 |
JP4584634B2 (ja) * | 2004-06-29 | 2010-11-24 | オリンパス株式会社 | 固体撮像装置 |
JP4157083B2 (ja) * | 2004-09-09 | 2008-09-24 | マイクロン テクノロジー,インコーポレイテッド | オンチップ半列並列パイプラインアナログ‐デジタル変換器を具えるイメージセンサ |
JP4442515B2 (ja) | 2005-06-02 | 2010-03-31 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置におけるアナログ−デジタル変換方法および撮像装置 |
JP2007148222A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Hitachi Displays Ltd | 画像表示装置 |
JP4959207B2 (ja) * | 2006-03-06 | 2012-06-20 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
JP4692828B2 (ja) * | 2006-03-14 | 2011-06-01 | カシオ計算機株式会社 | 表示装置及びその駆動制御方法 |
JP4827627B2 (ja) * | 2006-06-16 | 2011-11-30 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及びその処理方法 |
US7488928B2 (en) * | 2007-04-20 | 2009-02-10 | Alexander Krymski | Image sensor circuits and methods with multiple readout lines per column of pixel circuits |
US7746400B2 (en) * | 2007-07-31 | 2010-06-29 | Aptina Imaging Corporation | Method, apparatus, and system providing multi-column shared readout for imagers |
US7999870B2 (en) * | 2008-02-01 | 2011-08-16 | Omnivision Technologies, Inc. | Sampling and readout of an image sensor having a sparse color filter array pattern |
JP5038188B2 (ja) * | 2008-02-28 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及びそれを用いた撮像システム |
JP5165520B2 (ja) * | 2008-10-01 | 2013-03-21 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、撮像装置、および固体撮像装置のad変換方法 |
EP2234387B8 (en) * | 2009-03-24 | 2012-05-23 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, driving method of solid-state imaging device, and electronic apparatus |
JP5233828B2 (ja) * | 2009-05-11 | 2013-07-10 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法および電子機器 |
-
2009
- 2009-04-08 JP JP2009094110A patent/JP5272860B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-02-26 TW TW099105736A patent/TWI430661B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-03-11 EP EP10002585A patent/EP2239937A2/en not_active Withdrawn
- 2010-03-25 KR KR1020100026588A patent/KR20100112076A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-03-25 US US12/731,710 patent/US8570417B2/en active Active
- 2010-03-31 CN CN2010101369513A patent/CN101860688B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-09-13 US US14/026,542 patent/US8786748B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010245955A (ja) | 2010-10-28 |
EP2239937A2 (en) | 2010-10-13 |
US20100259662A1 (en) | 2010-10-14 |
CN101860688A (zh) | 2010-10-13 |
KR20100112076A (ko) | 2010-10-18 |
US20140009656A1 (en) | 2014-01-09 |
TWI430661B (zh) | 2014-03-11 |
CN101860688B (zh) | 2012-10-31 |
US8570417B2 (en) | 2013-10-29 |
US8786748B2 (en) | 2014-07-22 |
TW201103323A (en) | 2011-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5272860B2 (ja) | 固体撮像素子およびカメラシステム | |
KR101596507B1 (ko) | 고체 촬상 소자 및 카메라 시스템 | |
US7714904B2 (en) | Solid-state imaging device and method for driving the same | |
JP4952601B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
TWI516122B (zh) | 固態成像裝置,固態成像裝置之信號處理方法,及電子設備 | |
JP4946761B2 (ja) | 固体撮像素子およびカメラシステム | |
US7244921B2 (en) | Solid-state imaging device, driving method therefor, and imaging apparatus | |
JP6149572B2 (ja) | イメージセンサ、制御方法、及び、電子機器 | |
US20090015699A1 (en) | Image sensing apparatus driving method, image sensing apparatus, and image sensing system | |
US20110050969A1 (en) | Imaging device and camera system | |
JP4442669B2 (ja) | 固体撮像素子およびカメラシステム | |
JP2007243265A (ja) | 固体撮像装置 | |
TWI401950B (zh) | Solid-state imaging elements and camera systems | |
JP4678583B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
CN109155830B (zh) | 固态成像元件、成像装置和固态成像元件的控制方法 | |
JP2006203929A (ja) | 撮像装置及び撮像システム | |
JP5640509B2 (ja) | 固体撮像素子およびカメラシステム | |
JP7344045B2 (ja) | 撮像素子 | |
JP6747316B2 (ja) | 固体撮像素子及び撮像装置 | |
JP2009100381A (ja) | 固体撮像素子およびその駆動方法、並びにカメラシステム | |
TWI429281B (zh) | 固態成像裝置,固態成像裝置之信號處理方法,及電子設備 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120312 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130429 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |