JP6969224B2 - 固体撮像素子及び撮像装置 - Google Patents
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Description
信号読み出し中の前記転送トランジスタのゲート電圧である第一の電圧が、前記リセットトランジスタのドレイン電源電圧である第二の電圧以下に維持され、
信号読み出し中以外の前記転送トランジスタのゲート電圧である第三の電圧と、リセット中以外の前記リセットトランジスタのゲート電圧である第四の電圧が、グランドより高く設定されている
ことを特徴とする。
〔固体撮像素子〕
図1は、本実施形態に係る固体撮像素子の構成図である。図2(A)は本実施形態に係る固体撮像素子の画素の等価回路図である。
次に、本実施形態の固体撮像素子の画素の動作タイミングについて説明する。図3は本実施形態に係る固体撮像素子の各信号のタイミングチャートである。図3では、動作タイミングは、画素のリセット、画素信号の読出しと画素の読出し動作を複数回行っており、また、露光期間中に光電変換部PD及びフローティングディフュージョンFDの蓄積電荷を飽和させる光量を照射している状態を示している。
電源線LVDDには電圧VDDHが、リセット電源制御線LVDDRTには電圧VDDRTHが、それぞれ一定の電圧として制御回路部20より供給される。リセット電源制御線LVDDRTの電圧VDDRTHは、リセットトランジスタRTのドレイン電源電圧として供給され、画素の最も高い電源電圧である電圧VDDHより低く設定される。これによって、後述のように、リセットトランジスタRTのオン状態時に、フローティングディフュージョンFDのリセット電位はリセット電源制御線LVDDRTの電圧VDDRTHと等しくなり、ハードリセット状態となる。
B−1.リセット時、画素信号読み出し時の期間
リセットトランジスタRTの制御線LRTと転送トランジスタTXの制御線LTXは、画素の信号を読み出すため、制御回路部20で生成されたパルス信号によって制御される。
上記のリセット時、画素信号読み出し時の期間以外の期間においては、リセットトランジスタRTの制御線LRTによるリセットトランジスタRTのゲートへのオフ電圧(電圧VRTL)の印加が継続されて、リセットトランジスタRTはオフとされている。また、転送トランジスタRTの制御線LTXによる転送トランジスタTXのゲートへのオフ電圧(電圧VTXL)の印加が継続されて、転送トランジスタTXはオフとされている。
時刻t2に転送トランジスタTXをオンとして信号電荷がフローティングディフュージョンFDに転送されると、光電変換部PDは電荷がない電位PD_Darkの状態となる。信号電荷の転送が完了して時刻t3において転送トランジスタTXをオフとすると、新たな露光期間E1が開始して、光電変換部PDにおいて新たに生成された信号電荷が蓄積されていき、光電変換部PDの電位は徐々に低下していく。やがて例えば時刻t4において光電変換部PDは飽和状態となり、次に信号電荷の転送が行われる時刻t7まで電位PD_Satu.で一定となる。光電変換部PDが信号電荷で飽和した後は、光電変換部PDで新たに生成された信号電荷は光電変換部PDから溢れていく。本実施形態においては、転送トランジスタTXのゲートに印加されるオフ電圧(電圧VTXL)をグランドGNDより高い電圧に設定している。これにより、後述のように、光電変換部PDの飽和により溢れた信号電荷は、隣接する他の画素に流出せずに、フローティングディフュージョンFDへ流出する。
上記の露光期間E1において、時刻t6にリセットトランジスタRTをオンとしてフローティングディフュージョンFDをリセットすると、フローティングディフュージョンFDはリセット電位となる。露光期間E1において光電変換部PDで蓄積された信号電荷が時刻t7にフローティングディフュージョンFDに転送される。時刻t8において転送が完了して転送トランジスタTXをオフとすると同時に露光期間E1が終了し、新たな露光期間E2が開始する。信号電荷の転送により、フローティングディフュージョンFDは信号レベル電位となる。その後、時刻t9において光電変換部PDが飽和し、時刻t10においてフローティングディフュージョンFDが飽和する。光電変換部PDから溢れた信号電荷はフローティングディフュージョンFDへ流出し、フローティングディフュージョンFDから溢れた信号電荷はリセット電源制御線LVDDRTへ排出される。
図4は本実施形態の固体撮像素子の画素のポテンシャル図である。図2(B)の画素のレイアウト図の点線Ya−Ybにおける断面におけるポテンシャルに相当する。点Yaから点Ybに向かって順に、電源線LVDDの接続領域、リセット電源制御線LVDDRTの接続領域が並んでいる状態を示す。さらに、リセットトランジスタRTのゲート下チャネル領域、フローティングディフュージョンFD、転送トランジスタTXのゲート下チャネル領域、光電変換部PDが並んでいる状態を示す。
上記の本実施形態の固体撮像素子の製造方法としては、例えばリセットトランジスタRTと増幅トランジスタSFを同一半導体プロセスで形成することが可能であり、これにより半導体プロセスの工程数を増加させず形成することが可能である。その他の工程については、上記のように転送トランジスタTXのゲート電圧、リセットトランジスタRTのゲート電圧、リセット電源制御線LVDDRTの電圧を上記のように設定する点を除いて、通常のCMOSプロセスによって製造可能である。
本実施例は、デバイスシミュレーションにより、転送トランジスタTXのゲートがオン時の画素断面における電子分布を、実施例と比較例に係る固体撮像素子について算出したものである。図6は比較例に係る固体撮像素子の転送トランジスタTXがオン状態での電子分布を示す図であり、図7は実施例に係る固体撮像素子の転送トランジスタTXがオン状態での電子分布を示す図である。
図8は、本実施形態に係る固体撮像素子の制御回路部と画素の構成図である。本実施形態は、図1に示される第1実施形態の全体回路構成の制御回路部20において、電圧調整用回路を有する実施形態である。
本実施形態は、上記の第1実施形態あるいは第2実施形態に係る固体撮像素子を有する撮像装置である。図9は、上記の第1本実施形態あるいは第2実施形態に係る固体撮像素子が適用されるカメラシステムの構成の一例を示す図である。
11 画素
20 制御回路部
21,22,23 抵抗(抵抗ラダー)
24,25 パルス制御論理回路
30 読み出し信号処理部
31 AD変換部
32 データ転送部
40 出力部
50 半導体基板
51 ゲート絶縁膜
52 ゲート電極
100 固体撮像素子
101 駆動部
102 信号処理部
103 レンズ
PD 光電変換部
TX 転送トランジスタ
FD フローティングディフュージョン
RT リセットトランジスタ
SF 増幅トランジスタ
LTX 転送トランジスタの制御線
LRT リセットトランジスタの制御線
LVDD 電源線
LVDDRT リセット電源制御線
VSL 垂直信号線
Claims (7)
- 光信号を電荷に変換する光電変換部と、前記電荷をフローティングディフュージョンへ電荷転送する転送トランジスタと、前記フローティングディフュージョンをリセットするリセットトランジスタと、前記フローティングディフュージョンとゲートが接続されて信号を増幅する増幅トランジスタとを有する画素が複数配列され、
信号読み出し中の前記転送トランジスタのゲート電圧である第一の電圧が、前記リセットトランジスタのドレイン電源電圧である第二の電圧以下に維持され、
信号読み出し中以外の前記転送トランジスタのゲート電圧である第三の電圧と、リセット中以外の前記リセットトランジスタのゲート電圧である第四の電圧が、グランドより高く設定されている
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 前記第二の電圧が、前記画素の最も高い電源電圧より低く設定されることを特徴とする
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記第二の電圧が、前記増幅トランジスタの電源電圧より低く設定されることを特徴とする
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記第四の電圧が前記第三の電圧より高く設定されていることを特徴とする
請求項1〜3のいずれかに記載の固体撮像素子。 - 前記固体撮像素子は制御回路部を備え、
前記制御回路部が、前記第一の電圧、前記第二の電圧、前記第三の電圧及び前記第四の電圧を生成する
請求項1〜4のいずれかに記載の固体撮像素子。 - 前記制御回路部は、前記画素の電源電圧と前記グランドの間に梯子状に直列に接続された複数の抵抗を有し、スイッチで接続位置を切り替えて前記電源電圧から所定の前記抵抗の分降下した電圧を取り出して、前記第一の電圧、前記第二の電圧、前記第三の電圧又は前記第四の電圧とする
請求項5に記載の固体撮像素子。 - 固体撮像素子と、
前記固体撮像素子の光電変換部に入射光を導く光学系と、
前記固体撮像素子の出力信号を処理する信号処理部と、
前記固体撮像素子の動作を処理する駆動部と、を備え、
前記固体撮像素子は、
光信号を電荷に変換する光電変換部と、前記電荷をフローティングディフュージョンへ電荷転送する転送トランジスタと、前記フローティングディフュージョンをリセットするリセットトランジスタと、前記フローティングディフュージョンとゲートが接続されて信号を増幅する増幅トランジスタとを有する画素が複数配列され、
信号読み出し中の前記転送トランジスタのゲート電圧である第一の電圧が、前記リセットトランジスタのドレイン電源電圧である第二の電圧以下に維持され、
信号読み出し中以外の前記転送トランジスタのゲート電圧である第三の電圧と、リセット中以外の前記リセットトランジスタのゲート電圧である第四の電圧が、グランドより高く設定されている
ことを特徴とする
撮像装置。
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