JP5105549B2 - 半導体測距素子及び固体撮像装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像装置(2次元イメージセンサ)は、図1に示すように、画素アレイ部(X11〜X1m;X21〜X2m;・・・・・;Xn1〜Xnm)と周辺回路部(104,105,106,NC1〜NCm)とを同一の半導体チップ上に集積化している。画素アレイ部には、2次元マトリクス状に多数の画素Xij(i=1〜m;j=1〜n:m,nはそれぞれ整数である。)が配列されており、方形状の撮像領域を構成している。そして、この画素アレイ部の下辺部には、画素行X11〜X1m;X21〜X2m;・・・・・;Xn1〜Xnm方向に沿って水平シフトレジスタ106が設けられ、画素アレイ部の左辺部には画素列X11〜Xn1;X12〜Xn2;・・・・・;X1j〜Xnj;・・・・・;X1m〜Xnm方向に沿って垂直シフトレジスタ105が設けられている。垂直シフトレジスタ105及び水平シフトレジスタ106には、タイミング発生回路104が接続されている。
図1に概略構成を示した本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像装置(2次元イメージセンサ)の動作を図5に示したタイミングチャートを用いて説明する。
次に、本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像装置(2次元イメージセンサ)の応用例として、光飛行時間を用いた距離画像の取得方法を図6のタイミングチャートを用いて説明する。図6に示すように、繰り返しパルス光源を用いて対象部にパルス光(送信光)を照射し、その反射光(受信光)を各画素で捕らえたとき、対象物までの距離によって光の遅れ時間Tdが変化する。
Qs1=Iph×Td×N ・・・(1)
第2繰り返し周期(偶数フレーム)において、受光カソード領域11aから電荷蓄積領域12aへ転送される信号電荷(第2の信号電荷)Qs2は、第2繰り返し周期(偶数フレーム)の光パルスの繰り返し数をN、光電流をIphとして、式(2)のように表される。
Qs2=Iph×T0×N ・・・(2)
式(1)及び式(2)により、遅れ時間Tdは、式(3)のように求めることが出来る。
Td=T0×(Qs1/Qs2) ・・・(3)
対象物までの距離Dは、光速をcとして、式(4)のように求められる。
D=(c/2)×Td =(c/2)×T0×(Qs1/Qs2)・・・(4)
したがって、第1繰り返し周期(奇数フレーム)で電荷蓄積領域12aに蓄積した信号電荷Qs1及び第2繰り返し周期(偶数フレーム)で電荷蓄積領域12aに蓄積した信号電荷Qs2の総量の比を求めることにより、対象物までの距離Dを測定することが可能となる。
次に、本発明の第1の実施の形態に係る半導体測距素子及び固体撮像装置の製造方法を図7(a)〜図9を用いて説明する。尚、以下に述べる半導体測距素子及び固体撮像装置の製造方法は、一例であり、この変形例を含めて、これ以外の種々の製造方法により、実現可能であることは勿論である。
第1の実施の形態の変形例に係る固体撮像装置では、それぞれの画素X11〜X1m;X21〜X2m;・・・・・;Xn1〜Xnm内の半導体測距素子の平面構造として、図10(a)に示すように、縞状(ストライプ状)にn+型受光カソード領域11aのパターンが複数形成されていても良い。図10(a)のB−B面から見た断面構造を図10(b)に示す。p+型ピニング層11bは、受光カソード領域11aと同様にストライプ状の複数のパターンとなっていても、連続したパターンとなっていても構わない。
本発明の第2の実施の形態に係る固体撮像装置(2次元イメージセンサ)の全体構成は、図1にしたブロック図と同一であるため、重複した説明を省略する。第2の実施の形態に係る固体撮像装置のそれぞれの画素X11〜X1m;X21〜X2m;・・・・・;Xn1〜Xnm内のTOF画素回路として機能する半導体測距素子の平面構造の一例を図11に、対応する断面を図12(a)に示す。
本発明の第2の実施の形態の変形例に係る固体撮像装置のそれぞれの画素X11〜X1m;X21〜X2m;・・・・・;Xn1〜Xnm内の半導体測距素子の制御信号の設定方法として、図12に示す構成において、第1転送ゲート電極31を第1繰り返し周期(奇数フレーム)用とし、第2転送ゲート電極33を第2繰り返し周期(偶数フレーム)用として、互いに独立した制御信号GS1=GS(A),GS2=GS(B)を与えても良い。GS(A)及びGS(B)は、図6に示した制御信号である。第1転送ゲート電極31及び第2転送ゲート電極33のそれぞれに制御信号GS1,GS2を異なる値にして印加すれば、第1繰り返し周期(奇数フレーム)では第1電荷蓄積領域12aに、第2繰り返し周期(偶数フレーム)では第2電荷蓄積領域14aにそれぞれ独立して信号電荷を転送することができる。例えば、第2転送ゲート電極33に制御信号GS2として低い電圧(0V、又は負電位)を印加した状態で、第1転送ゲート電極31に制御信号GS1=GS(A)として高い電圧(正の電圧)を印加することにより、受光カソード領域11aの信号電荷を第1電荷蓄積領域12aにのみ転送することができる。
画素の構造が複雑になる欠点はあるが、図15(a)に示すように、第1電荷読み出し領域13及び第2電荷読み出し領域15のそれぞれに、互いに独立した第1電圧読み出し用バッファアンプ108a及び第2電圧読み出し用バッファアンプ108bが接続されていても良い。第1電荷読み出し領域13には、電圧読み出し用バッファアンプ108aを構成する信号読み出しトランジスタ(増幅トランジスタ)MA1のゲート電極が接続される。信号読み出しトランジスタ(増幅トランジスタ)MA1のドレイン電極は電源VDDに接続され、ソース電極は画素選択用のスイッチングトランジスタMS1のドレイン電極に接続されている。画素選択用のスイッチングトランジスタMS1のソース電極は、垂直信号線B1に接続され、ゲート電極には水平ラインの選択用制御信号Sが垂直シフトレジスタ105から与えられる。
上記のように、本発明は第1及び第2の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
Claims (18)
- 一定のパルス幅のパルス光を繰り返して出射する光源と、
第1導電型の半導体領域と、
前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、対象物が反射した前記パルス光を、前記対象物からの反射光として入射する第2導電型の受光用表面埋込領域と、
前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、前記受光用表面埋込領域よりもポテンシャル井戸の深さが深く、前記受光用表面埋込領域から前記光により生成された信号電荷が転送される第2導電型の第1の電荷蓄積領域と、
前記第1の電荷蓄積領域から前記信号電荷を受け入れる第1の電荷読み出し領域と、
前記受光用表面埋込領域と前記第1の電荷蓄積領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記受光用表面埋込領域から前記第1の電荷蓄積領域へ前記信号電荷を転送する第1の電位制御手段と、
前記第1の電荷蓄積領域と前記第1の電荷読み出し領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記第1の電荷蓄積領域から前記第1の電荷読み出し領域へ前記信号電荷を転送する第2の電位制御手段と、
前記受光用表面埋込領域から電荷を排出する第1の排出ドレイン領域と、
前記受光用表面埋込領域と前記第1の排出ドレイン領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記受光用表面埋込領域から前記第1の排出ドレイン領域へ前記信号電荷を転送する第3の電位制御手段
とを備え、Nを前記パルス光の繰り返し数として、前記パルス光をN個含む周期である第1繰り返し周期において、前記反射光の遅れ時間に依存する前記信号電荷を、前記受光用表面埋込領域から、前記パルス光に同期してN回繰り返し転送して前記第1の電荷蓄積領域に第1信号電荷として蓄積し、該N回の繰り返し転送と逆位相のタイミングで、前記受光用表面埋込領域から前記第1の排出ドレイン領域へ前記信号電荷を転送し、
前記第1繰り返し周期と同じ長さの周期である第2繰り返し周期において、前記反射光により発生した前記信号電荷のすべてを前記受光用表面埋込領域から前記パルス光に同期してN回繰り返し転送して前記第1の電荷蓄積領域に第2信号電荷として蓄積し、該N回の繰り返し転送と逆位相のタイミングで、前記受光用表面埋込領域から前記第1の排出ドレイン領域へ前記信号電荷を転送し、
N回繰り返し転送されてそれぞれ蓄積された前記第1及び第2信号電荷の総量を、前記第2の電位制御手段を介して、それぞれ前記第1の電荷読み出し領域に一括して転送し、前記第1の電荷読み出し領域から逐次読み出された前記第1及び第2信号電荷の総量の比を求めて、前記遅れ時間を推定し、前記対象物までの距離を測定することを特徴とする半導体測距素子。 - 前記受光用表面埋込領域が互いに前記半導体領域の上部に埋め込まれた複数のストライプ状のパターンからなることを特徴とする請求項1に記載の半導体測距素子。
- 前記第1の電荷蓄積領域が前記受光用表面埋込領域よりも高不純物密度であることを特徴とする請求項1に記載の半導体測距素子。
- 前記第1の電荷蓄積領域が前記受光用表面埋込領域よりも深いことを特徴とする請求項1に記載の半導体測距素子。
- 前記半導体領域の上部の一部に前記第1の電荷蓄積領域と離間して埋め込まれ、前記受光用表面埋込領域よりもポテンシャル井戸の深さが深く、前記受光用表面埋込領域から前記光により生成された信号電荷が転送される第2導電型の第2の電荷蓄積領域と、
前記第2の電荷蓄積領域から前記信号電荷を受け入れる第2の電荷読み出し領域と、
前記受光用表面埋込領域と前記第2の電荷蓄積領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記受光用表面埋込領域から前記第2の電荷蓄積領域へ前記信号電荷を転送する第4の電位制御手段と、
前記第2の電荷蓄積領域と前記第2の電荷読み出し領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記第2の電荷蓄積領域から前記第2の電荷読み出し領域へ前記信号電荷を転送する第5の電位制御手段
とを更に備え、前記第1の電位制御手段と同期して前記第4の電位制御手段を駆動して、前記第1繰り返し周期において、前記反射光の遅れ時間に依存する前記信号電荷を前記受光用表面埋込領域から前記第2の電荷蓄積領域に転送し、前記第2繰り返し周期において、前記反射光により発生した前記信号電荷を前記受光用表面埋込領域から前記第2の電荷蓄積領域に転送し、
前記第2の電位制御手段と同期して前記第5の電位制御手段を駆動して、前記第2の電荷蓄積領域から前記第2の電荷読み出し領域へ前記信号電荷を転送し、前記第1及び第2の電荷読み出し領域から読み出された前記第1及び第2信号電荷の総量の比を求めて、前記遅れ時間を推定し、前記対象物までの距離を測定することを特徴とする請求項1に記載の半導体測距素子。 - 前記第2の電荷蓄積領域が前記受光用表面埋込領域よりも高不純物密度であるか、又は前記第2の電荷蓄積領域が前記受光用表面埋込領域よりも深いことを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置。
- 前記受光用表面埋込領域から電荷を排出する第2の排出ドレイン領域と、
前記受光用表面埋込領域と前記第2の排出ドレイン領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記受光用表面埋込領域から前記第2の排出ドレイン領域へ前記信号電荷を転送する第6の電位制御手段
とを更に備えることを特徴とする請求項5に記載の半導体測距素子。 - 第1導電型の半導体領域と、
前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、対象物が反射したパルス光を、前記対象物からの反射光として入射する第2導電型の受光用表面埋込領域と、
前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、前記受光用表面埋込領域よりもポテンシャル井戸の深さが深く、前記受光用表面埋込領域から前記光により生成された信号電荷が転送される第2導電型の第1の電荷蓄積領域と、
前記第1の電荷蓄積領域から前記信号電荷を受け入れる第1の電荷読み出し領域と、
前記受光用表面埋込領域と前記第1の電荷蓄積領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記受光用表面埋込領域から前記第1の電荷蓄積領域へ前記信号電荷を転送する第1の電位制御手段と、
前記第1の電荷蓄積領域と前記第1の電荷読み出し領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記第1の電荷蓄積領域から前記第1の電荷読み出し領域へ前記信号電荷を転送する第2の電位制御手段と、
前記受光用表面埋込領域から電荷を排出する第1の排出ドレイン領域と、
前記受光用表面埋込領域と前記第1の排出ドレイン領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記受光用表面埋込領域から前記第1の排出ドレイン領域へ前記信号電荷を転送する第3の電位制御手段 とを備える画素を複数個配列した半導体チップと、
前記パルス光を、一定のパルス幅で繰り返して出射する光源と
を備え、Nを前記パルス光の繰り返し数として、前記パルス光をN個含む周期である第1繰り返し周期において、前記反射光の遅れ時間に依存する前記信号電荷を、前記受光用表面埋込領域から、前記パルス光に同期してN回繰り返し転送して前記第1の電荷蓄積領域に第1信号電荷として蓄積し、該N回の繰り返し転送と逆位相のタイミングで、前記受光用表面埋込領域から前記第1の排出ドレイン領域へ前記信号電荷を転送し、
前記第1繰り返し周期と同じ長さの周期である第2繰り返し周期において、前記反射光により発生した前記信号電荷のすべてを前記受光用表面埋込領域から前記パルス光に同期してN回繰り返し転送して前記第1の電荷蓄積領域に第2信号電荷として蓄積し、該N回の繰り返し転送と逆位相のタイミングで、前記受光用表面埋込領域から前記第1の排出ドレイン領域へ前記信号電荷を転送し、
N回繰り返し転送されてそれぞれ蓄積された前記第1及び第2信号電荷の総量を、前記第2の電位制御手段を介して、それぞれ前記第1の電荷読み出し領域に一括して転送し、前記第1の電荷読み出し領域から逐次読み出された前記第1及び第2信号電荷の総量の比を求めて、前記遅れ時間を推定し、前記対象物までの距離を測定することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記受光用表面埋込領域が互いに前記半導体領域の表面に埋め込まれた複数のストライプ状のパターンからなることを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置。
- 前記第1の電荷蓄積領域が前記受光用表面埋込領域よりも高不純物密度であることを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置。
- 前記第1の電荷蓄積領域が前記受光用表面埋込領域よりも深いことを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置。
- 前記画素が、前記第1の電荷読み出し領域に転送された前記信号電荷に依存した電圧を読み出す電圧読み出し用バッファアンプを更に備えることを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置。
- 前記受光用表面埋込領域から前記第1の電荷蓄積領域への前記信号電荷を前記すべての画素で一斉に転送することを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置。
- 前記半導体領域の上部の一部に前記第1の電荷蓄積領域と離間して埋め込まれ、前記受光用表面埋込領域よりもポテンシャル井戸の深さが深く、前記受光用表面埋込領域から前記光により生成された信号電荷が転送される第2導電型の第2の電荷蓄積領域と、
前記第2の電荷蓄積領域から前記信号電荷を受け入れる第2の電荷読み出し領域と、
前記受光用表面埋込領域と前記第2の電荷蓄積領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記受光用表面埋込領域から前記第2の電荷蓄積領域へ前記信号電荷を転送する第4の電位制御手段と、
前記第2の電荷蓄積領域と前記第2の電荷読み出し領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記第2の電荷蓄積領域から前記第2の電荷読み出し領域へ前記信号電荷を転送する第5の電位制御手段
とを更に備え、前記第1の電位制御手段と同期して前記第4の電位制御手段を駆動して、前記第1繰り返し周期において、前記反射光の遅れ時間に依存する前記信号電荷を前記受光用表面埋込領域から前記第2の電荷蓄積領域に転送し、前記第2繰り返し周期において、前記反射光により発生した前記信号電荷を前記受光用表面埋込領域から前記第2の電荷蓄積領域に転送し、
前記第2の電位制御手段と同期して前記第5の電位制御手段を駆動して、前記第2の電荷蓄積領域から前記第2の電荷読み出し領域へ前記信号電荷を転送し、前記第1及び第2の電荷読み出し領域から読み出された前記第1及び第2信号電荷の総量の比を求めて、前記遅れ時間を推定し、前記対象物までの距離を測定することを特徴とする請求項8に記載の半導体測距素子。 - 前記第2の電荷蓄積領域が前記受光用表面埋込領域よりも高不純物密度であるか、又は前記第2の電荷蓄積領域が前記受光用表面埋込領域よりも深いことを特徴とする請求項14に記載の固体撮像装置。
- 前記受光用表面埋込領域から電荷を排出する第2の排出ドレイン領域と、
前記受光用表面埋込領域と前記第2の排出ドレイン領域との間の前記半導体領域の上部に形成されるチャネルの電位を制御して、前記受光用表面埋込領域から前記第2の排出ドレイン領域へ前記信号電荷を転送する第6の電位制御手段 とを更に備えることを特徴とする請求項14に記載の半導体測距素子。 - 前記画素が、前記第1及び第2の電荷読み出し領域にそれぞれ転送された前記信号電荷に依存した電圧を読み出す共通の電圧読み出し用バッファアンプを更に備えることを特徴とする16に記載の固体撮像装置。
- 前記画素が、前記第1及び第2の電荷読み出し領域に転送された前記信号電荷に依存した電圧をそれぞれ読み出す第1及び第2の電圧読み出し用バッファアンプを更に備えることを特徴とする請求項14に記載の固体撮像装置。
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