JP2017037907A - 撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
撮像装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017037907A JP2017037907A JP2015157098A JP2015157098A JP2017037907A JP 2017037907 A JP2017037907 A JP 2017037907A JP 2015157098 A JP2015157098 A JP 2015157098A JP 2015157098 A JP2015157098 A JP 2015157098A JP 2017037907 A JP2017037907 A JP 2017037907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- impurity region
- photoelectric conversion
- impurity
- element formation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 128
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 36
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 509
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims description 93
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 89
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 67
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 81
- 102100023328 G-protein coupled estrogen receptor 1 Human genes 0.000 description 28
- 101000829902 Homo sapiens G-protein coupled estrogen receptor 1 Proteins 0.000 description 28
- 230000008569 process Effects 0.000 description 28
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 19
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 14
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 9
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 9
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 9
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 9
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 241000519995 Stachys sylvatica Species 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- DJQYKWDYUQPOOE-OGRLCSSISA-N (2s,3s)-2-[4-[(1s)-1-amino-3-methylbutyl]triazol-1-yl]-1-[4-[4-[4-[(2s,3s)-2-[4-[(1s)-1-amino-3-methylbutyl]triazol-1-yl]-3-methylpentanoyl]piperazin-1-yl]-6-[2-[2-(2-prop-2-ynoxyethoxy)ethoxy]ethylamino]-1,3,5-triazin-2-yl]piperazin-1-yl]-3-methylpentan- Chemical compound Cl.N1([C@@H]([C@@H](C)CC)C(=O)N2CCN(CC2)C=2N=C(NCCOCCOCCOCC#C)N=C(N=2)N2CCN(CC2)C(=O)[C@H]([C@@H](C)CC)N2N=NC(=C2)[C@@H](N)CC(C)C)C=C([C@@H](N)CC(C)C)N=N1 DJQYKWDYUQPOOE-OGRLCSSISA-N 0.000 description 1
- 101100520152 Arabidopsis thaliana PIR gene Proteins 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
- H01L27/14605—Structural or functional details relating to the position of the pixel elements, e.g. smaller pixel elements in the center of the imager compared to pixel elements at the periphery
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14689—MOS based technologies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
- H01L27/1461—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements characterised by the photosensitive area
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14645—Colour imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14698—Post-treatment for the devices, e.g. annealing, impurity-gettering, shor-circuit elimination, recrystallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1463—Pixel isolation structures
Abstract
Description
ここでは、2つのフォトダイオードの間に、比較的不純物濃度の低いN型不純物領域を備えた撮像装置の第1例について説明する。
ここでは、2つのフォトダイオードの間に、比較的不純物濃度の低いN型不純物領域を備えた撮像装置の第2例について説明する。
ここでは、2つのフォトダイオードの間に、比較的不純物濃度の低いN型不純物領域を備えた撮像装置の第3例として、赤色画素、緑色画素および青色画素に応じたN型不純物領域を備えた撮像装置の一例について説明する。
ここでは、2つのフォトダイオードの間に、比較的不純物濃度の低いN型不純物領域を備えた撮像装置の第4例として、赤色画素、緑色画素および青色画素に応じたN型不純物領域を備えた撮像装置の他の例について説明する。
ここでは、2つのフォトダイオードの間に、比較的不純物濃度の低いN型不純物領域を備えた撮像装置の第5例について説明する。
ここでは、2つのフォトダイオードの間に、比較的不純物濃度の低いN型不純物領域を備えた撮像装置の第6例について説明する。
ここでは、2つのフォトダイオードの間に、比較的不純物濃度の低いN型不純物領域を備えた撮像装置の第7例について説明する。
ここでは、2つのフォトダイオードの間に、比較的不純物濃度の低いN型不純物領域を備えた撮像装置の第7例として、赤色画素、緑色画素および青色画素に応じたN型不純物領域を備えた撮像装置のさらに他の例について説明する。
ここでは、2つのフォトダイオードの間に、比較的不純物濃度の低いN型不純物領域を備えた撮像装置の第9例として、熱処理工程が追加された撮像装置について説明する。
領域AR、領域BR)にN型不純物領域NR(図9参照)がそれぞれ形成される。
ここでは、2つのフォトダイオードの間に、比較的不純物濃度の低いN型不純物領域を備えた撮像装置の第10例として、注入マスクを追加することなくN型不純物領域が形成された撮像装置について説明する。
[付記1]
第1光電変換第1部および第1光電変換第2部、第2光電変換第1部および第2光電変換第2部ならびに第3光電変換第1部および第3光電変換第2部を備えた撮像装置の製造方法であって、
半導体基板に、第1導電型の第1素子形成領域、第1導電型の第2素子形成領域および第1導電型の第3素子形成領域をそれぞれ形成する工程と、
前記第1素子形成領域において、前記第1光電変換第1部が形成されることになる第1領域第1部を露出する第1開口、および、前記第1素子形成領域において、前記第1光電変換第1部とは間隔を隔てて前記第1光電変換第2部が形成されることになる第1領域第2部を露出する第2開口を有し、
前記第2素子形成領域において、前記第2光電変換第1部が形成されることになる第2領域第1部を露出する第3開口、および、前記第2素子形成領域において、前記第2光電変換第1部とは間隔を隔てて前記第2光電変換第2部が形成されることになる第2領域第2部を露出する第4開口を有し、
前記第3素子形成領域において、前記第3光電変換第1部が形成されることになる第3領域第1部を露出する第5開口、および、前記第3素子形成領域において、前記第3光電変換第1部とは間隔を隔てて前記第3光電変換第2部が形成されることになる第3領域第2部を露出する第6開口を有する第1マスク材を形成する工程と、
前記第1マスク材を注入マスクとして、第2導電型の第1不純物を、第1注入量をもって注入する工程と、
前記第1素子形成領域において、前記第1領域第1部、前記第1領域第2部、および、前記第1領域第1部と前記第1領域第2部との間に位置する前記第1素子形成領域の第1領域第3部を連続して露出する第7開口を有し、
前記第2素子形成領域において、前記第2領域第1部、前記第2領域第2部、および、前記第2領域第1部と前記第2領域第2部との間に位置する前記第2素子形成領域の第2領域第3部を連続して露出する第8開口を有し、
前記第3素子形成領域において、前記第3領域第1部、前記第3領域第2部、および、前記第3領域第1部と前記第3領域第2部との間に位置する前記第3素子形成領域の第3領域第3部を連続して露出する第9開口を有する第2マスク材を形成する工程と、
前記第2マスク材を注入マスクとして、第2導電型の第2不純物を第2注入量をもって注入する工程と
を備え、
前記第1不純物を注入する工程および前記第2不純物を注入する工程によって、
前記第1領域第1部には、第2導電型の第1不純物領域第1部が形成され、
前記第1領域第2部には、第2導電型の第1不純物領域第2部が形成され、
前記第1領域第3部には、前記第1不純物領域第1部および前記第1不純物領域第2部の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する第2導電型の第1不純物領域第3部が形成され、
前記第2領域第1部には、第2導電型の第2不純物領域第1部が形成され、
前記第2領域第2部には、第2導電型の第2不純物領域第2部が形成され、
前記第2領域第3部には、前記第2不純物領域第1部および前記第2不純物領域第2部の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有し、前記第1不純物領域第3部よりも狭い第2導電型の第2不純物領域第3部が形成され、
前記第3領域第1部には、第2導電型の第3不純物領域第1部が形成され、
前記第3領域第2部には、第2導電型の第3不純物領域第2部が形成され、
前記第3領域第3部には、前記第3不純物領域第1部および前記第3不純物領域第2部の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有し、前記第2不純物領域第3部よりも狭い第2導電型の第3不純物領域第3部が形成される、撮像装置の製造方法。
[付記2]
光電変換第1部および光電変換第2部を備えた撮像装置の製造方法であって、
半導体基板に第1導電型の素子形成領域を形成する工程と、
前記素子形成領域において、前記光電変換第1部が形成されることになる領域第1部を露出する第1開口、および、前記素子形成領域において、前記光電変換第1部とは間隔を隔てて前記光電変換第2部が形成されることになる領域第2部を露出する第2開口を有するマスク材を形成する工程と、
前記マスク材を注入マスクとして、第2導電型の第1不純物を、前記半導体基板の表面に対して垂直に注入する第1注入工程と、
前記マスク材を注入マスクとして前記第1不純物を、前記第1開口から、前記第1開口に露出する前記領域第1部と前記第2開口に露出する前記領域第2部との間に位置する前記素子形成領域の領域第3部に向かって斜めに注入する第2注入工程と、
前記マスク材を注入マスクとして前記第1不純物を、前記第2開口から前記領域第3部に向かって斜めに注入する第3注入工程と
を備え、
前記第1注入工程、前記第2注入工程および前記第3注入工程によって、
前記領域第1部には、第2導電型の不純物領域第1部が形成され、
前記領域第2部には、第2導電型の不純物領域第2部が形成され、
前記領域第3部には、前記不純物領域第1部および前記不純物領域第2部の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する第2導電型の不純物領域第3部が形成される、撮像装置の製造方法。
Claims (13)
- 半導体基板に規定された第1導電型の素子形成領域と、
前記素子形成領域に形成された、第2導電型の不純物領域第1部を含む光電変換第1部と、
前記素子形成領域に、前記光電変換第1部とは間隔を隔てて形成された、第2導電型の不純物領域第2部を含む光電変換第2部と、
前記不純物領域第1部と前記不純物領域第2部とに接触する態様で、前記光電変換第1部と前記光電変換第2部との間に形成された第2導電型の不純物領域第3部と
を備え、
前記不純物領域第3部の不純物濃度は、前記不純物領域第1部の不純物濃度および前記不純物領域第2部の不純物濃度よりも低く設定された、撮像装置。 - 前記素子形成領域の表面から前記不純物領域第3部の底までの深さは、前記素子形成領域の表面から前記不純物領域第1部の底までの深さおよび前記素子形成領域の表面から前記不純物領域第2部の底までの深さよりも浅い、請求項1記載の撮像装置。
- 前記素子形成領域は、
第1素子形成領域と、
第2素子形成領域と、
第3素子形成領域と
を含み、
前記光電変換第1部は、
前記第1素子形成領域に形成された、第1波長の光に対応する第1光電変換第1部と、
前記第2素子形成領域に形成された、前記第1波長よりも短い第2波長の光に対応する第2光電変換第1部と、
前記第3素子形成領域に形成された、前記第2波長よりも短い第3波長の光に対応する第3光電変換第1部と
を含み、
前記光電変換第2部は、
前記第1素子形成領域に形成された、前記第1波長の光に対応する第1光電変換第2部と、
前記第2素子形成領域に形成された、前記第2波長の光に対応する第2光電変換第2部と、
前記第3素子形成領域に形成された、前記第3波長の光に対応する第3光電変換第2部と
を含み、
前記不純物領域第3部は、
前記第1素子形成領域に形成された第1不純物領域第3部と、
前記第2素子形成領域に形成された第2不純物領域第3部と、
前記第3素子形成領域に形成された第3不純物領域第3部と
を含む、請求項1記載の撮像装置。 - 前記第2不純物領域第3部の不純物濃度は、前記第1不純物領域第3部の不純物濃度よりも低く、
前記第3不純物領域第3部の不純物濃度は、前記第2不純物領域第3部の不純物濃度よりも低い、請求項3記載の撮像装置。 - 前記第1光電変換第1部は、前記不純物領域第1部として、第1不純物領域第1部を含み、
前記第2光電変換第1部は、前記不純物領域第1部として、第2不純物領域第1部を含み、
前記第3光電変換第1部は、前記不純物領域第1部として、第3不純物領域第1部を含み、
前記第1光電変換第2部は、前記不純物領域第2部として、第1不純物領域第2部を含み、
前記第2光電変換第2部は、前記不純物領域第2部として、第2不純物領域第2部を含み、
前記第3光電変換第2部は、前記不純物領域第2部として、第3不純物領域第2部を含み、
前記素子形成領域の表面から前記第1不純物領域第3部の底までの第1深さは、
前記素子形成領域の表面から前記第1不純物領域第1部の底までの深さ
および
前記素子形成領域の表面から前記第1不純物領域第2部の底までの深さよりも浅く、
前記素子形成領域の表面から前記第2不純物領域第3部の底までの第2深さは、
前記素子形成領域の表面から前記第2不純物領域第1部の底までの深さ
および
前記素子形成領域の表面から前記第2不純物領域第2部の底までの深さよりも浅く、
前記素子形成領域の表面から前記第3不純物領域第3部の底までの第3深さは、
前記素子形成領域の表面から前記第3不純物領域第1部の底までの深さ
および
前記素子形成領域の表面から前記第3不純物領域第2部の底までの深さよりも浅く、
前記第2深さは前記第1深さよりも浅く、
前記第3深さは前記第2深さよりも浅い、請求項3記載の撮像装置。 - 前記第1光電変換第1部は、前記不純物領域第1部として、第1不純物領域第1部を含み、
前記第2光電変換第1部は、前記不純物領域第1部として、第2不純物領域第1部を含み、
前記第3光電変換第1部は、前記不純物領域第1部として、第3不純物領域第1部を含み、
前記第1光電変換第2部は、前記不純物領域第2部として、第1不純物領域第2部を含み、
前記第2光電変換第2部は、前記不純物領域第2部として、第2不純物領域第2部を含み、
前記第3光電変換第2部は、前記不純物領域第2部として、第3不純物領域第2部を含み、
前記第1光電変換第1部と前記第1光電変換第2部とは、第1方向に間隔を隔てられて、それぞれ前記第1方向と交差する第2方向に延在し、
前記第2光電変換第1部と前記第2光電変換第2部とは、前記第1方向に間隔を隔てられて、それぞれ前記第2方向に延在し、
前記第3光電変換第1部と前記第3光電変換第2部とは、前記第1方向に間隔を隔てられて、それぞれ前記第2方向に延在し、
前記第1不純物領域第3部は、前記第1不純物領域第1部と前記第1不純物領域第2部とに接触した状態で前記第2方向に延在し、
前記第2不純物領域第3部は、前記第2不純物領域第1部と前記第2不純物領域第2部とに接触した状態で前記第2方向に延在し、
前記第3不純物領域第3部は、前記第3不純物領域第1部と前記第3不純物領域第2部とに接触した状態で前記第2方向に延在し、
前記第1不純物領域第3部が前記第2方向に延在する第1長さは、前記第1光電変換第1部および前記第1光電変換第2部が前記第2方向に延在する長さよりも短く、
前記第2不純物領域第3部が前記第2方向に延在する第2長さは、前記第2光電変換第1部および前記第2光電変換第2部が前記第2方向に延在する長さよりも短く、
前記第3不純物領域第3部が前記第2方向に延在する第3長さは、前記第3光電変換第1部および前記第3光電変換第2部が前記第2方向に延在する長さよりも短く、
前記第2長さは、前記第1長さよりも短く、
前記第3長さは、前記第2長さよりも短い、請求項3記載の撮像装置。 - 前記光電変換第1部と前記光電変換第2部とは、第1方向に間隔を隔てられて、それぞれ前記第1方向と交差する第2方向に延在し、
前記不純物領域第3部は、前記不純物領域第1部と前記不純物領域第2部とに接触した状態で前記第2方向に延在し、
前記不純物領域第3部が前記第2方向に延在する長さは、前記光電変換第1部および前記光電変換第2部が前記第2方向に延在する長さよりも短い、請求項1記載の撮像装置。 - 前記光電変換第1部および前記光電変換第2部は、第1位置から前記第2方向に第2位置まで延在し、
前記光電変換第1部における前記第1位置の側に転送ゲート電極第1部が配置され、
前記光電変換第2部における前記第1位置の側に転送ゲート電極第2部が配置され、
前記不純物領域第3部は、前記第1位置の側に形成された、請求項7記載の撮像装置。 - 前記光電変換第1部および前記光電変換第2部は、第1位置から前記第2方向に第2位置まで延在し、
前記光電変換第1部における前記第1位置の側に転送ゲート電極第1部が配置され、
前記光電変換第2部における前記第1位置の側に転送ゲート電極第2部が配置され、
前記不純物領域第3部は、前記第2位置の側に形成された、請求項7記載の撮像装置。 - 光電変換第1部および光電変換第2部を備えた撮像装置の製造方法であって、
半導体基板に第1導電型の素子形成領域を形成する工程と、
前記素子形成領域において、前記光電変換第1部が形成されることになる領域第1部を露出する第1開口、および、前記素子形成領域において、前記光電変換第1部とは間隔を隔てて前記光電変換第2部が形成されることになる領域第2部を露出する第2開口を有する第1マスク材を形成する工程と、
前記第1マスク材を注入マスクとして、第2導電型の第1不純物を第1注入量をもって注入する工程と、
前記素子形成領域において、前記領域第1部、前記領域第2部、および、前記領域第1部と前記領域第2部との間に位置する前記素子形成領域の領域第3部を連続して露出する第3開口を有する第2マスク材を形成する工程と、
前記第2マスク材を注入マスクとして、第2導電型の第2不純物を第2注入量をもって注入する工程と、
を備え、
前記第1不純物を注入する工程および前記第2不純物を注入する工程によって、
前記領域第1部には、第2導電型の不純物領域第1部が形成され、
前記領域第2部には、第2導電型の不純物領域第2部が形成され、
前記領域第3部には、前記不純物領域第1部および前記不純物領域第2部の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する第2導電型の不純物領域第3部が形成される、撮像装置の製造方法。 - 前記領域第1部、前記領域第2部および前記領域第3に前記第2不純物を注入する注入エネルギは、前記領域第1部および前記領域第2部に前記第1不純物を注入する注入エネルギよりも低い、請求項10記載の撮像装置の製造方法。
- 前記領域第1部、前記領域第2部および前記領域第3に前記第2不純物を注入する注入角度は、前記領域第1部および前記領域第2部に前記第1不純物を注入する注入角度よりも大きい、請求項10記載の撮像装置の製造方法。
- 前記第1不純物を注入する工程の後、第1熱処理を行う工程と、
前記第2不純物を注入する工程の後、第2熱処理を行う工程と
を備えた、請求項10記載の撮像装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015157098A JP2017037907A (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 撮像装置およびその製造方法 |
US15/200,803 US9991297B2 (en) | 2015-08-07 | 2016-07-01 | Imaging device and manufacturing method thereof |
CN201610640094.8A CN106449675A (zh) | 2015-08-07 | 2016-08-05 | 成像装置及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015157098A JP2017037907A (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 撮像装置およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017037907A true JP2017037907A (ja) | 2017-02-16 |
Family
ID=58047876
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015157098A Pending JP2017037907A (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 撮像装置およびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9991297B2 (ja) |
JP (1) | JP2017037907A (ja) |
CN (1) | CN106449675A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102016212784A1 (de) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Robert Bosch Gmbh | CMOS Pixel, Bildsensor und Kamera sowie Verfahren zum Auslesen eienes CMOS Pixels |
US10536652B2 (en) * | 2018-01-08 | 2020-01-14 | Semiconductor Components Industries, Llc | Image sensors with split photodiodes |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008069141A1 (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-12 | National University Corporation Shizuoka University | 半導体測距素子及び固体撮像装置 |
JP2008193527A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Nikon Corp | 光電変換部の連結/分離構造、固体撮像素子及び撮像装置 |
JP2011044887A (ja) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
JP2013041890A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-28 | Canon Inc | 撮像素子及び撮像装置 |
JP2013149741A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Canon Inc | 光電変換装置および撮像システム、光電変換装置の製造方法 |
JP2013149743A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Canon Inc | 撮像装置および撮像システム |
JP2014204043A (ja) * | 2013-04-08 | 2014-10-27 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および撮像システム |
JP2015220279A (ja) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6346722B1 (en) * | 1998-06-26 | 2002-02-12 | Nec Corporation | Solid state imaging device and method for manufacturing the same |
US6819360B1 (en) | 1999-04-01 | 2004-11-16 | Olympus Corporation | Image pickup element and apparatus for focusing |
JP4077577B2 (ja) | 1999-04-01 | 2008-04-16 | オリンパス株式会社 | 撮像素子 |
JP4069918B2 (ja) * | 2004-09-27 | 2008-04-02 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像装置 |
JP4285388B2 (ja) * | 2004-10-25 | 2009-06-24 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像装置 |
US7247829B2 (en) * | 2005-04-20 | 2007-07-24 | Fujifilm Corporation | Solid-state image sensor with an optical black area having pixels for detecting black level |
JP2007317768A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光半導体装置およびその製造方法 |
JP5564909B2 (ja) * | 2009-11-30 | 2014-08-06 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
CN102231381B (zh) * | 2011-06-16 | 2013-05-01 | 格科微电子(上海)有限公司 | Cmos图像传感器及其形成方法 |
-
2015
- 2015-08-07 JP JP2015157098A patent/JP2017037907A/ja active Pending
-
2016
- 2016-07-01 US US15/200,803 patent/US9991297B2/en active Active
- 2016-08-05 CN CN201610640094.8A patent/CN106449675A/zh active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008069141A1 (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-12 | National University Corporation Shizuoka University | 半導体測距素子及び固体撮像装置 |
JP2008193527A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Nikon Corp | 光電変換部の連結/分離構造、固体撮像素子及び撮像装置 |
JP2011044887A (ja) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
JP2013041890A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-28 | Canon Inc | 撮像素子及び撮像装置 |
JP2013149741A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Canon Inc | 光電変換装置および撮像システム、光電変換装置の製造方法 |
JP2013149743A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Canon Inc | 撮像装置および撮像システム |
JP2014204043A (ja) * | 2013-04-08 | 2014-10-27 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および撮像システム |
JP2015220279A (ja) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9991297B2 (en) | 2018-06-05 |
CN106449675A (zh) | 2017-02-22 |
US20170040360A1 (en) | 2017-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8363141B2 (en) | Solid-state image pickup device, image pickup system including the same, and method for manufacturing the same | |
US8604408B2 (en) | Solid-state imaging device, method of manufacturing the same, and electronic apparatus | |
KR100535926B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서 제조 방법 | |
US6869817B2 (en) | Image sensor and method of manufacturing the same | |
US8035714B2 (en) | Solid-state imaging device, method of manufacturing the same, and camera | |
JP7361452B2 (ja) | 撮像装置およびカメラ | |
JP2017120829A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2007318093A (ja) | Cmosイメージセンサ及びその製造方法 | |
JP2009071310A (ja) | イメージセンサー及びその製造方法 | |
US20230005981A1 (en) | Solid-state image sensor and electronic device | |
JP2016143870A (ja) | 固体撮像装置 | |
KR100558530B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조 방법 | |
JP5172078B2 (ja) | Cmosイメージ・センサーの製造方法 | |
JP2009065155A (ja) | イメージセンサー | |
JP2013207078A (ja) | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 | |
JP2008103566A (ja) | 固体撮像装置 | |
KR100922924B1 (ko) | 이미지센서 및 그 제조방법 | |
JP2017037907A (ja) | 撮像装置およびその製造方法 | |
KR101024756B1 (ko) | 이미지 센서 및 이미지 센서의 제조 방법 | |
JP5665951B2 (ja) | 固体撮像装置、および固体撮像装置を用いた撮像システム | |
US10504950B2 (en) | Solid-state imaging device and its manufacturing method | |
JP2017054932A (ja) | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 | |
JP4115446B2 (ja) | Cmosイメージセンサの製造方法 | |
JP4025208B2 (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
JP6682674B2 (ja) | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160203 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180516 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190319 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20191105 |