JP6026755B2 - 距離センサ及び距離画像センサ - Google Patents
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Description
パルス駆動信号SP:
V(t)=1(但し、0<t<(T/2)の場合)
V(t)=0(但し、(T/2)<t<Tの場合)
V(t+T)=V(t)
検出用ゲート信号S1:
V(t)=1(但し、0<t<(T/2)の場合)
V(t)=0(但し、(T/2)<t<Tの場合)
V(t+T)=V(t)
検出用ゲート信号S2(=S1の反転):
V(t)=0(但し、0<t<(T/2)の場合)
V(t)=1(但し、(T/2)<t<Tの場合)
V(t+T)=V(t)
半導体基板1Aの第一基板領域1Aa:厚さ5〜700μm/不純物濃度1×1018〜1020cm−3
半導体基板1Aの第二基板領域1Ab:厚さ3〜50μm/不純物濃度1×1013〜1016cm−3
第一及び第二半導体領域FD1,FD2:厚さ0.1〜0.4μm/不純物濃度1×1018〜1020cm−3
第三半導体領域FD31,FD32:厚さ0.1〜0.4μm/不純物濃度1×1018〜1020cm−3
ΔV=Q1/Cfd
ΔV=Q2/Cfd
したがって、第一及び第二半導体領域FD1,FD2の面積が低減されると、第一及び第二半導体領域FD1,FD2の静電容量(Cfd)も低減され、発生する電圧変化(ΔV)が大きくなる。すなわち、電荷電圧変換ゲインが高くなる。この結果、距離画像センサ1の高感度化を図ることができる。
Claims (14)
- 入射光に応じて電荷が発生する電荷発生領域と、
前記電荷発生領域に囲まれるように前記電荷発生領域の内側に配置され、前記電荷発生領域からの信号電荷を収集する信号電荷収集領域と、
前記電荷発生領域を囲むように前記電荷発生領域の外側に配置され、前記電荷発生領域からの不要電荷を収集する不要電荷収集領域と、
前記電荷発生領域の上に配置されるフォトゲート電極と、
前記信号電荷収集領域と前記電荷発生領域との間に配置され、入力された信号に応じて前記電荷発生領域からの信号電荷を前記信号電荷収集領域に流入させる転送電極と、
前記不要電荷収集領域と前記電荷発生領域との間に配置され、入力された信号に応じて前記電荷発生領域からの不要電荷を前記不要電荷収集領域に流入させる不要電荷収集ゲート電極と、を備えている、距離センサ。 - 複数の前記電荷発生領域と、複数の前記信号電荷収集領域と、複数の前記不要電荷収集領域と、複数の前記フォトゲート電極と、複数の前記転送電極と、複数の前記不要電荷収集ゲート電極と、を備えており、
前記複数の転送電極には、異なる位相の電荷転送信号がそれぞれ与えられる、請求項1に記載の距離センサ。 - 隣り合う前記不要電荷収集領域同士が、一体的に形成されている、請求項2に記載の距離センサ。
- 前記複数の電荷発生領域が、空間的に離間して形成されている、請求項2又は3に記載の距離センサ。
- 隣り合う前記電荷発生領域同士が、一体的に形成され、
隣り合う前記フォトゲート電極同士が、一体的に形成されている、請求項2又は3に記載の距離センサ。 - 前記転送電極には、所定のタイミンクで間欠的に位相シフトが与えられた電荷転送信号が与えられる、請求項1に記載の距離センサ。
- 前記フォトゲート電極と前記転送電極と前記不要電荷収集ゲート電極とは、前記信号電荷収集領域を中心として、前記信号電荷収集領域側から前記転送電極、前記フォトゲート電極、前記不要電荷収集ゲート電極の順に同心状に配置されている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の距離センサ。
- 前記信号電荷収集領域は、平面視で矩形状であり、
前記フォトゲート電極と前記転送電極と前記不要電荷収集ゲート電極とは、略多角形環状を呈している、請求項1〜7のいずれか一項に記載の距離センサ。 - 前記信号電荷収集領域は、平面視で円形状であり、
前記フォトゲート電極と前記転送電極と前記不要電荷収集ゲート電極とは、略円環状を呈している、請求項1〜7のいずれか一項に記載の距離センサ。 - 前記電荷発生領域にて発生した電荷を前記信号電荷として前記信号電荷収集領域に送る場合、前記転送電極の直下の領域のポテンシャルが前記フォトゲート電極の直下の領域のポテンシャルよりも下がり、かつ、前記不要電荷収集ゲート電極の直下の領域のポテンシャルが前記フォトゲート電極の直下の領域のポテンシャルよりも上がるように、前記転送電極と前記不要電荷収集ゲート電極とに信号が与えられ、
前記電荷発生領域にて発生した電荷を前記不要電荷として前記不要電荷収集領域に送る場合、前記転送電極の直下の領域のポテンシャルが前記フォトゲート電極の直下の領域のポテンシャルよりも上がり、かつ、前記不要電荷収集ゲート電極の直下の領域のポテンシャルが前記フォトゲート電極の直下の領域のポテンシャルよりも下がるように、前記転送電極と前記不要電荷収集ゲート電極とに信号が与えられる、請求項1に記載の距離センサ。 - 一次元状又は二次元状に配置された複数のユニットからなる撮像領域を半導体基板上に備え、前記ユニットから出力される電荷量に基づいて、距離画像を得る距離画像センサであって、
前記ユニットそれぞれが、請求項1に記載の距離センサである、距離画像センサ。 - 前記複数のユニットのうち隣り合う二つのユニットが、前記撮像領域の一画素を構成している、請求項11に記載の距離画像センサ。
- 前記複数のユニットのうち任意の一つのユニットと前記任意の一つのユニットと隣り合う複数のユニットとにおいて、前記任意の一つのユニットと前記複数のユニットのうちの一つのユニットずつとが前記撮像領域の一画素をそれぞれ構成している、請求項12に記載の距離画像センサ。
- 前記ユニットそれぞれが、前記撮像領域の一画素を構成している、請求項11に記載の距離画像センサ。
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