JP5110535B2 - 半導体測距素子及び固体撮像装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像装置(2次元イメージセンサ)は、図1に示すように、画素アレイ部(X11〜X1m;X21〜X2m;……;Xn1〜Xnm)と周辺回路部(94,95,96,NC1〜NCm)とを同一の半導体チップ上に集積化している。画素アレイ部には、2次元マトリクス状に多数の画素Xij(i=1〜m;j=1〜n:m,nはそれぞれ整数である。)が配列されており、方形状の撮像領域を構成している。そして、この画素アレイ部の上辺部にはタイミング制御回路94が、下辺部には水平シフトレジスタ96が。それぞれ画素行X11〜X1m;X21〜X2m;……;Xn1〜Xnm方向に沿って設けられ、画素アレイ部の右辺部には画素列X11〜Xn1;X12〜Xn2;……;X1j〜Xnj;……;X1m〜Xnm方向に沿って垂直シフトレジスタ及び垂直走査回路95が設けられている。画素Xnjに内部構造を例示したように、それぞれの画素Xijは、半導体光電変換素子と電荷転送部を備えるTOF画素回路81及び電圧読み出し用バッファアンプ82からなる。
L=(cT0/2)(Q2/(Q1+Q2)) ……(1)
ここで、cは光速、T0は、パルス光のパルス幅である。
L=(cT0/2)(V2/(V1+V2)) ……(2)
により、推定距離Lが求められる。
図7を用いて、図1に概略構成を示した本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像装置(2次元イメージセンサ)の動作を説明する。第1の実施の形態に係る固体撮像装置は、図2に示したように、第1転送ゲート電極16b及び第2転送ゲート電極16aを受光ゲート電極11の左右に設け、光パルスの電荷を左右に振り分けるようにした画素構造であるが、以下の説明では、第1浮遊拡散領域23b及び第2浮遊拡散領域23aを共通にして、1つの読み出しアンプで時系列的に読み出す場合について説明する(しかしながら、図2に示すように、第1浮遊拡散領域23b及び第2浮遊拡散領域23aと読み出しアンプを2系統設け、並列に読み出すようにした方が、読み出し速度の点では有利である。その読み出しタイミングは図7と異なり、ノイズキャンセル回路の構成も図1とは異なるが、2つの信号が同時にサンプリングできるように変更するだけである):
本発明の第2の実施の形態に係る固体撮像装置(2次元イメージセンサ)の全体構成は、図1にしたブロック図と同一であるため、重複した説明を省略する。又、第2の実施の形態に係る固体撮像装置のそれぞれの画素X11〜X1m;X21〜X2m;……;Xn1〜Xnm内のTOF画素回路81として機能する半導体測距素子の平面構造は、絶縁膜31上の表面配線のパターンに関しては、第1の実施の形態に係る半導体測距素子の平面構造の一例として示した図2と基本的に同様となるので、重複した説明を省略する。
図10〜図12を用いて、本発明の第2の実施の形態に係る半導体測距素子及び固体撮像装置の製造方法を説明する。尚、以下に述べる半導体測距素子及び固体撮像装置の製造方法は、一例であり、この変形例を含めて、これ以外の種々の製造方法により、実現可能であることは勿論である。
本発明の第3の実施の形態に係る固体撮像装置(2次元イメージセンサ)の全体構成は、図1にしたブロック図と基本的に同一であるため、重複した説明を省略する。
図13に示した第3の実施の形態に係る固体撮像装置の構造に対して、より信号電荷の最大蓄積量を増やしながら受光ゲート電極11から第1転送ゲート電極16b及び第2転送ゲート電極16aへ、又第1浮遊拡散領域23b及び第2浮遊拡散領域23aへの電荷の転送を容易にした構造を、第4の実施の形態に係る固体撮像装置として図14に示す。
上記のように、本発明は第1〜第4の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
Claims (22)
- パルス光を出射する光源と、
第1導電型の半導体層と、
前記半導体層上の表面の一部に埋め込まれ、第2導電型で島状の電荷生成埋込領域と、
前記半導体層上の表面の一部に、前記電荷生成埋込領域とは前記半導体層の一部により離間して埋め込まれ、前記電荷生成埋込領域から転送された信号電荷を蓄積する、第2導電型で島状の第1及び第2電荷転送埋込領域と、
前記半導体層上の表面の一部に、前記第1電荷転送埋込領域とは前記半導体層の一部により離間して埋め込まれ、前記第1電荷転送埋込領域から前記信号電荷が転送される、第2導電型で島状の第1電荷読み出し埋込領域と、
前記半導体層上の表面の一部に、前記第2電荷転送埋込領域とは前記半導体層の一部により離間して埋め込まれ、前記第2電荷転送埋込領域から前記信号電荷が転送される、第2導電型で島状の第2電荷読み出し埋込領域と、
前記半導体層、前記電荷生成埋込領域、前記第1及び第2電荷転送埋込領域、前記第1及び第2電荷読み出し埋込領域上を被覆する絶縁膜と、
該絶縁膜上に配置され、前記電荷生成埋込領域と前記第1電荷転送埋込領域との間及び前記電荷生成埋込領域と前記第2電荷転送埋込領域との間にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御し、前記信号電荷を、前記第1及び第2電荷転送埋込領域へ交互に転送する第1及び第2転送ゲート電極と、
該絶縁膜上に配置され、前記第1電荷転送埋込領域と前記第1電荷読み出し埋込領域との間及び前記第2電荷転送埋込領域と前記第2電荷読み出し埋込領域の間にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御し、前記信号電荷を、前記第1及び第2電荷読み出し埋込領域へ転送する第1及び第2読み出しゲート電極
とを備え、前記電荷生成埋込領域で、対象物が反射した前記パルス光を光信号として受光し、前記電荷生成埋込領域直下の前記半導体層で前記光信号を前記信号電荷に変換し、前記第1及び第2転送ゲート電極に、前記パルス光と同期して、順次パルス信号を与えて動作させることにより、前記第1及び第2電荷転送埋込領域に前記信号電荷が交互に転送され、更に前記第1及び第2電荷読み出し埋込領域を介してそれぞれ読み出された前記信号電荷の総量としての電荷の配分比から前記パルス光の遅れ時間を推定して、前記対象物までの距離を測定することを特徴とする半導体測距素子。 - 前記第1電荷読み出し埋込領域に接し、前記第1電荷読み出し埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第1浮遊拡散領域と、
前記第2電荷読み出し埋込領域に接し、前記第2電荷読み出し埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第2浮遊拡散領域
とを更に備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体測距素子。 - 前記電荷生成埋込領域の直上の前記絶縁膜上に配置され、前記電荷生成埋込領域がn型の場合において負の電圧を印加する受光ゲート電極を更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体測距素子。
- パルス光を出射する光源と、
第1導電型の半導体層と、
該半導体層の表面に埋め込まれた第2導電型の表面埋込領域と、
前記表面埋込領域上の表面の一部に埋め込まれ、第1導電型で島状の第1及び第2電荷転送障壁領域と、
前記表面埋込領域上の表面の一部に、前記第1電荷転送障壁領域とは前記表面埋込領域の一部により離間して埋め込まれ、前記第1電荷転送障壁領域との間に前記第1電荷転送障壁領域を転送されてきた信号電荷の一部を蓄積する第1ポテンシャル井戸を形成する第1導電型で島状の第1電荷読み出し障壁領域と、
前記表面埋込領域上の表面の一部に、前記第2電荷転送障壁領域とは前記表面埋込領域の一部により離間して埋め込まれ、前記第2電荷転送障壁領域との間に前記第2荷転送障壁領域を転送されてきた前記信号電荷の他の一部を蓄積する第2ポテンシャル井戸を形成する第1導電型で島状の第2電荷読み出し障壁領域と、
前記表面埋込領域、前記第1及び第2電荷転送障壁領域、前記第1及び第2電荷読み出し障壁領域上を被覆する絶縁膜と、
該絶縁膜上に配置され、前記第1電荷転送障壁領域及び前記第2電荷転送障壁領域にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御し、前記信号電荷を、前記第1及び第2ポテンシャル井戸へ交互に転送する第1及び第2転送ゲート電極と、
該絶縁膜上に配置され、前記第1電荷読み出し障壁領域と前記第2電荷読み出し障壁領域にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御する第1及び第2読み出しゲート電極
とを備え、前記第1及び第2電荷転送障壁領域の間の前記表面埋込領域で、対象物が反射した前記パルス光を光信号として受光し、該表面埋込領域直下の前記半導体層で前記光信号を前記信号電荷に変換し、前記第1及び第2転送ゲート電極に、前記パルス光と同期して、順次パルス信号を与えて動作させることにより、前記第1及び第2ポテンシャル井戸に前記信号電荷が交互に転送され、更に前記第1及び第2電荷読み出し障壁領域を介してそれぞれ読み出された前記信号電荷の総量としての電荷の配分比から前記パルス光の遅れ時間を推定して、前記対象物までの距離を測定することを特徴とする半導体測距素子。 - 前記第1電荷読み出し障壁領域とは前記表面埋込領域の一部により離間し、前記第1ポテンシャル井戸から前記第1電荷読み出し障壁領域を経て転送された前記信号電荷を蓄積する、前記表面埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第1浮遊拡散領域と、
前2ポテンシャル井戸から前記第2電荷読み出し障壁領域を経て転送された前記信号電荷を蓄積する、前記表面埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第2浮遊拡散領域
とを更に備えることを特徴とする請求項4に記載の半導体測距素子。 - 前記第1及び第2電荷転送障壁領域の間の前記表面埋込領域の直上の前記絶縁膜上に配置され、前記表面埋込領域がn型の場合において負の電圧を印加する受光ゲート電極を更に備えることを特徴とする請求項4又は5に記載の半導体測距素子。
- 前記第1及び第2浮遊拡散領域が共通の読み出しトランジスタに接続されていることを特徴とする請求項2又は5に記載の半導体測距素子。
- 第2導電型がn型の場合において、前記第1及び第2転送ゲート電極に交互に負のパルスを印加することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体測距素子。
- 第1導電型の半導体層と、
前記半導体層上の表面の一部に埋め込まれ、第2導電型で島状の電荷生成埋込領域と、
前記半導体層上の表面の一部に、前記電荷生成埋込領域とは前記半導体層の一部により離間して埋め込まれ、前記電荷生成埋込領域から転送された信号電荷を蓄積する、第2導電型で島状の第1及び第2電荷転送埋込領域と、
前記半導体層上の表面の一部に、前記第1電荷転送埋込領域とは前記半導体層の一部により離間して埋め込まれ、前記第1電荷転送埋込領域から前記信号電荷が転送される、第2導電型で島状の第1電荷読み出し埋込領域と、
前記半導体層上の表面の一部に、前記第2電荷転送埋込領域とは前記半導体層の一部により離間して埋め込まれ、前記第2電荷転送埋込領域から前記信号電荷が転送される、第2導電型で島状の第2電荷読み出し埋込領域と、
前記半導体層、前記電荷生成埋込領域、前記第1及び第2電荷転送埋込領域、前記第1及び第2電荷読み出し埋込領域上を被覆する絶縁膜と、
該絶縁膜上に配置され、前記電荷生成埋込領域と前記第1電荷転送埋込領域との間及び前記電荷生成埋込領域と前記第2電荷転送埋込領域との間にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御し、前記信号電荷を、前記第1及び第2電荷転送埋込領域へ交互に転送する第1及び第2転送ゲート電極と、
該絶縁膜上に配置され、前記第1電荷転送埋込領域と前記第1電荷読み出し埋込領域との間及び前記第2電荷転送埋込領域と前記第2電荷読み出し埋込領域の間にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御し、前記信号電荷を、前記第1及び第2電荷読み出し埋込領域へ転送する第1及び第2読み出しゲート電極
とを備える画素を1次元方向に配列した半導体チップと、
パルス光を出射する光源
とを備え、前記パルス光と同期して、すべての画素の前記第1及び第2転送ゲート電極に、順次パルス信号を与え、
それぞれの画素において、それぞれの前記電荷生成埋込領域で、対象物が反射した前記パルス光を光信号として受光し、前記電荷生成埋込領域直下の前記半導体層で前記光信号が前記信号電荷に変換され、前記信号電荷が前記第1及び第2電荷転送埋込領域に交互に転送され、更に前記第1及び第2電荷読み出し埋込領域を介してそれぞれ読み出された前記信号電荷の総量としての電荷の配分比から前記パルス光の遅れ時間を推定して、前記対象物までの距離を測定することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記画素が、
前記第1電荷読み出し埋込領域に接し、前記第1電荷読み出し埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第1浮遊拡散領域と、
前記第2電荷読み出し埋込領域に接し、前記第2電荷読み出し埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第2浮遊拡散領域
とを更に備えることを特徴とする請求項9に記載の固体撮像装置。 - 前記画素が、前記電荷生成埋込領域の直上の前記絶縁膜上に配置され、前記電荷生成埋込領域がn型の場合において負の電圧を印加する受光ゲート電極を更に備えることを特徴とする請求項9又は10に記載の固体撮像装置。
- 第1導電型の半導体層と、
該半導体層の表面に埋め込まれた第2導電型の表面埋込領域と、
前記表面埋込領域上の表面の一部に埋め込まれ、第1導電型で島状の第1及び第2電荷転送障壁領域と、
前記表面埋込領域上の表面の一部に、前記第1電荷転送障壁領域とは前記表面埋込領域の一部により離間して埋め込まれ、前記第1電荷転送障壁領域との間に前記第1電荷転送障壁領域を転送されてきた信号電荷の一部を蓄積する第1ポテンシャル井戸を形成する第1導電型で島状の第1電荷読み出し障壁領域と、
前記表面埋込領域上の表面の一部に、前記第2電荷転送障壁領域とは前記表面埋込領域の一部により離間して埋め込まれ、前記第2電荷転送障壁領域との間に前記第2荷転送障壁領域を転送されてきた前記信号電荷の他の一部を蓄積する第2ポテンシャル井戸を形成する第1導電型で島状の第2電荷読み出し障壁領域と、
前記表面埋込領域、前記第1及び第2電荷転送障壁領域、前記第1及び第2電荷読み出し障壁領域上を被覆する絶縁膜と、
該絶縁膜上に配置され、前記第1電荷転送障壁領域及び前記第2電荷転送障壁領域にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御し、前記信号電荷を、前記第1及び第2ポテンシャル井戸へ交互に転送する第1及び第2転送ゲート電極と、
該絶縁膜上に配置され、前記第1電荷読み出し障壁領域と前記第2電荷読み出し障壁領域にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御する第1及び第2読み出しゲート電極
とを備える画素を1次元方向に配列した半導体チップと、
パルス光を出射する光源
とを備え、前記パルス光と同期して、すべての画素の前記第1及び第2転送ゲート電極に、順次パルス信号を与え、
それぞれの画素において、それぞれの前記第1及び第2電荷転送障壁領域の間の前記表面埋込領域で、対象物が反射した前記パルス光を光信号として受光し、前記表面埋込領域直下の前記半導体層で前記光信号が前記信号電荷に変換され、前記信号電荷が前記第1及び第2ポテンシャル井戸に交互に転送され、更に前記第1及び第2電荷読み出し障壁領域を介してそれぞれ読み出された前記信号電荷の総量としての電荷の配分比から前記パルス光の遅れ時間を推定して、前記対象物までの距離を測定することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記画素が、
前記第1電荷読み出し障壁領域とは前記表面埋込領域の一部により離間し、前記第1ポテンシャル井戸から前記第1電荷読み出し障壁領域を経て転送された前記信号電荷を蓄積する、前記表面埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第1浮遊拡散領域と、
前2ポテンシャル井戸から前記第2電荷読み出し障壁領域を経て転送された前記信号電荷を蓄積する、前記表面埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第2浮遊拡散領域
とを更に備えることを特徴とする請求項12に記載の固体撮像装置。 - 前記画素が、前記第1及び第2電荷転送障壁領域の間の前記表面埋込領域の直上の前記絶縁膜上に配置され、前記表面埋込領域がn型の場合において負の電圧を印加する受光ゲート電極を更に備えることを特徴とする請求項12又は13に記載の固体撮像装置。
- 第1導電型の半導体層と、
前記半導体層上の表面の一部に埋め込まれ、第2導電型で島状の電荷生成埋込領域と、
前記半導体層上の表面の一部に、前記電荷生成埋込領域とは前記半導体層の一部により離間して埋め込まれ、前記電荷生成埋込領域から転送された信号電荷を蓄積する、第2導電型で島状の第1及び第2電荷転送埋込領域と、
前記半導体層上の表面の一部に、前記第1電荷転送埋込領域とは前記半導体層の一部により離間して埋め込まれ、前記第1電荷転送埋込領域から前記信号電荷が転送される、第2導電型で島状の第1電荷読み出し埋込領域と、
前記半導体層上の表面の一部に、前記第2電荷転送埋込領域とは前記半導体層の一部により離間して埋め込まれ、前記第2電荷転送埋込領域から前記信号電荷が転送される、第2導電型で島状の第2電荷読み出し埋込領域と、
前記半導体層、前記電荷生成埋込領域、前記第1及び第2電荷転送埋込領域、前記第1及び第2電荷読み出し埋込領域上を被覆する絶縁膜と、
該絶縁膜上に配置され、前記電荷生成埋込領域と前記第1電荷転送埋込領域との間及び前記電荷生成埋込領域と前記第2電荷転送埋込領域との間にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御し、前記信号電荷を、前記第1及び第2電荷転送埋込領域へ交互に転送する第1及び第2転送ゲート電極と、
該絶縁膜上に配置され、前記第1電荷転送埋込領域と前記第1電荷読み出し埋込領域との間及び前記第2電荷転送埋込領域と前記第2電荷読み出し埋込領域の間にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御し、前記信号電荷を、前記第1及び第2電荷読み出し埋込領域へ転送する第1及び第2読み出しゲート電極
とを備える画素を2次元マトリクス状に配列した半導体チップと、
パルス光を出射する光源
とを備え、前記パルス光と同期して、すべての画素の前記第1及び第2転送ゲート電極に、順次パルス信号を与え、
それぞれの画素において、それぞれの前記電荷生成埋込領域で、対象物が反射した前記パルス光を光信号として受光し、前記電荷生成埋込領域直下の前記半導体層で前記光信号が前記信号電荷に変換され、前記信号電荷が前記第1及び第2電荷転送埋込領域に交互に転送され、更に前記第1及び第2電荷読み出し埋込領域を介してそれぞれ読み出された前記信号電荷の総量としての電荷の配分比から前記パルス光の遅れ時間を推定して、前記対象物までの距離を測定し、全画素を2次元アクセスし、前記測定された距離に対応する2次元画像を得ることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記画素が、
前記第1電荷読み出し埋込領域に接し、前記第1電荷読み出し埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第1浮遊拡散領域と、
前記第2電荷読み出し埋込領域に接し、前記第2電荷読み出し埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第2浮遊拡散領域
とを更に備えることを特徴とする請求項15に記載の固体撮像装置。 - 前記画素が、前記電荷生成埋込領域の直上の前記絶縁膜上に配置され、前記電荷生成埋込領域がn型の場合において負の電圧を印加する受光ゲート電極を更に備えることを特徴とする請求項15又は16に記載の固体撮像装置。
- 第1導電型の半導体層と、
該半導体層の表面に埋め込まれた第2導電型の表面埋込領域と、
前記表面埋込領域上の表面の一部に埋め込まれ、第1導電型で島状の第1及び第2電荷転送障壁領域と、
前記表面埋込領域上の表面の一部に、前記第1電荷転送障壁領域とは前記表面埋込領域の一部により離間して埋め込まれ、前記第1電荷転送障壁領域との間に前記第1電荷転送障壁領域を転送されてきた信号電荷の一部を蓄積する第1ポテンシャル井戸を形成する第1導電型で島状の第1電荷読み出し障壁領域と、
前記表面埋込領域上の表面の一部に、前記第2電荷転送障壁領域とは前記表面埋込領域の一部により離間して埋め込まれ、前記第2電荷転送障壁領域との間に前記第2荷転送障壁領域を転送されてきた前記信号電荷の他の一部を蓄積する第2ポテンシャル井戸を形成する第1導電型で島状の第2電荷読み出し障壁領域と、
前記表面埋込領域、前記第1及び第2電荷転送障壁領域、前記第1及び第2電荷読み出し障壁領域上を被覆する絶縁膜と、
該絶縁膜上に配置され、前記第1電荷転送障壁領域及び前記第2電荷転送障壁領域にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御し、前記信号電荷を、前記第1及び第2ポテンシャル井戸へ交互に転送する第1及び第2転送ゲート電極と、
該絶縁膜上に配置され、前記第1電荷読み出し障壁領域と前記第2電荷読み出し障壁領域にそれぞれ形成される転送チャネルの電位を、前記絶縁膜を介して静電的に制御する第1及び第2読み出しゲート電極
とを備える画素を2次元マトリクス状に配列した半導体チップと、
パルス光を出射する光源
とを備え、前記パルス光と同期して、すべての画素の前記第1及び第2転送ゲート電極に、順次パルス信号を与え、
それぞれの画素において、それぞれの前記第1及び第2電荷転送障壁領域の間の前記表面埋込領域で、対象物が反射した前記パルス光を光信号として受光し、前記表面埋込領域直下の前記半導体層で前記光信号が前記信号電荷に変換され、前記信号電荷が前記第1及び第2ポテンシャル井戸に交互に転送され、更に前記第1及び第2電荷読み出し障壁領域を介してそれぞれ読み出された前記信号電荷の総量としての電荷の配分比から前記パルス光の遅れ時間を推定して、前記対象物までの距離を測定し、全画素を2次元アクセスし、前記測定された距離に対応する2次元画像を得ることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記画素が、
前記第1電荷読み出し障壁領域とは前記表面埋込領域の一部により離間し、前記第1ポテンシャル井戸から前記第1電荷読み出し障壁領域を経て転送された前記信号電荷を蓄積する、前記表面埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第1浮遊拡散領域と、
前2ポテンシャル井戸から前記第2電荷読み出し障壁領域を経て転送された前記信号電荷を蓄積する、前記表面埋込領域よりも高不純物密度で、第2導電型の第2浮遊拡散領域
とを更に備えることを特徴とする請求項18に記載の固体撮像装置。 - 前記画素が、前記第1及び第2電荷転送障壁領域の間の前記表面埋込領域の直上の前記絶縁膜上に配置され、前記表面埋込領域がn型の場合において負の電圧を印加する受光ゲート電極を更に備えることを特徴とする請求項18又は19に記載の固体撮像装置。
- 前記第1及び第2浮遊拡散領域が共通の読み出しトランジスタに接続されていることを特徴とする請求項10,13,16及び19のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 第2導電型がn型の場合において、前記第1及び第2転送ゲート電極に交互に負のパルスを印加することを特徴とする請求項9〜21のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
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