JP4732722B2 - 薄膜トランジスタ表示板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
第1のマスクを用いて、基板上にゲート線を形成する段階と、
前記ゲート線上にゲート絶縁膜と半導体層とを連続して積層する段階と、
前記半導体層上に導電膜を蒸着する段階と、
第2のマスクを用いて、前記導電膜及び前記半導体層を写真エッチングする段階と、
保護膜を蒸着する段階と、
前記保護膜上部に形成される画素電極と前記導電膜との接続のための第1開口部と、薄膜トランジスタのチャンネル部となり得る第2開口部と、に対応する部分に少なくとも開口を有する感光膜を前記保護膜の上部に形成する段階と、
前記感光膜を第3のマスクとして用いて、前記保護膜を写真エッチングして、前記第1開口部に対応する前記導電膜の第1部分及び前記チャンネル部となり得る第2開口部に対応する第2部分を露出させる段階と、
第4のマスクを用いて、前記画素電極のエッチング液により、前記導電膜の第1部分を覆う前記画素電極を形成しつつ前記導電膜の第2部分を除去して、前記導電膜からなるデータ線及びドレーン電極を完成する段階と、
前記第2部分の下部の前記半導体層の一部を露出する段階と、
を含む薄膜トランジスタ表示板の製造方法を提供する。
前記保護膜を写真エッチングする段階において、前記第3開口部に対応する前記導電膜の第3部分をさらに露出する。
<第1実施例>
以下、本発明の実施例による薄膜トランジスタ表示板及びその製造方法について図面を参考にして詳細に説明する。
[構成]
まず、図1、図2を参考にして本発明の好ましい一実施例による薄膜トランジスタ表示板の構造について詳細に説明する。
[製造方法]
以下、図1、図2に示した液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板を本発明の一実施例によって製造する方法について、図3乃至図11と図1、図2を参考にして詳細に説明する。
<第2実施例>
前記実施例では、画素電極をIZO膜で形成したが、ITO膜で形成することもでき、そのような実施例では、データ線がアルミニウムまたはモリブデンまたはそれらの合金からなる導電膜で形成されることが好ましく、これについて図面を参照して具体的に説明する。
[構成]
まず、図12、図13a及び図13bを参考にして本発明の好ましい他の実施例による薄膜トランジスタ表示板について詳細に説明する。
[製造方法]
以下、図12、図13a及び図13bに示した液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板を本発明の一実施例によって製造する方法について図14乃至図22b、図12、図13a及び図13bを参考にして詳細に説明する。
121、129 ゲート線
124 ゲート電極
140 ゲート絶縁膜
151、154 半導体
161、163、165 抵抗性接触部材
171、179 データ線
173 ソース電極
175 ドレーン電極
180 保護膜
181、182、185 接触孔
189 開口部
190 画素電極
81、82 接触補助部材
320 スペーサ
Claims (16)
- 第1のマスクを用いて、基板上にゲート線を形成する段階と、
前記ゲート線上にゲート絶縁膜と半導体層とを連続して積層する段階と、
前記半導体層上に導電膜を蒸着する段階と、
第2のマスクを用いて、前記導電膜及び前記半導体層を写真エッチングする段階と、
保護膜を蒸着する段階と、
前記保護膜上部に形成される画素電極と前記導電膜との接続のための第1開口部と、薄膜トランジスタのチャンネル部となり得る第2開口部と、に対応する部分に少なくとも開口を有する感光膜を前記保護膜の上部に形成する段階と、
前記感光膜を第3のマスクとして用いて、前記保護膜を写真エッチングして、前記第1開口部に対応する前記導電膜の第1部分及び前記チャンネル部となり得る第2開口部に対応する第2部分を露出させる段階と、
第4のマスクを用いて、前記画素電極のエッチング液により、前記導電膜の第1部分を覆う前記画素電極を形成しつつ前記導電膜の第2部分を除去して、前記導電膜からなるデータ線及びドレーン電極を完成する段階と、
前記第2部分の下部の前記半導体層の一部を露出する段階と、
を含む薄膜トランジスタ表示板の製造方法。 - 前記半導体層の露出された部分を覆うスペーサを形成する段階をさらに含む、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記スペーサを有機膜または無機膜で形成する、請求項2に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記感光膜は、前記保護膜上部に形成される接触補助部材と前記導電膜との接続のための第3開口部に対応する開口をさらに有しており、
前記保護膜を写真エッチングする段階において、前記第3開口部に対応する前記導電膜の第3部分をさらに露出する、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。 - 前記画素電極を形成する段階において、前記導電膜の前記第3部分を覆う前記接触補助部材を形成する、請求項4に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記保護膜を写真エッチングする段階において前記ゲート線の一部を露出する、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記画素電極を形成する段階において、前記ゲート線の一部を覆う接触補助部材を形成する、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記ゲート線を形成する段階において、下部膜及び上部膜を含むゲート線を形成する、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記保護膜を写真エッチングする段階において、前記ゲート絶縁膜を共にエッチングして前記ゲート線の前記上部膜の一部を露出する、請求項8に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 露出された前記ゲート線の上部膜を共に除去して前記ゲート線の下部膜の一部を露出する段階をさらに含む、請求項9に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記導電膜をクロムで形成する、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記画素電極をIZO(Indium Zinc Oxide)で形成する、請求項11に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記ゲート線及び前記導電膜を、アルミニウムまたはモリブデンを含んで形成する請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記ゲート線及び前記導電膜を、アルミニウムを含む第1導電膜またはモリブデンを含む第2導電膜からなる二重膜または三重膜で形成する、請求項13に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記画素電極をITO(Indium Tin Oxide)で形成する、請求項13に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
- 前記半導体層は真性半導体膜及び不純物半導体膜を含み、
前記導電膜の除去後、前記不純物半導体膜の露出された部分を除去する段階をさらに含む、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
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