KR100973809B1 - 박막 트랜지스터 표시판 및 그의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 복수의 신호선,상기 신호선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터,상기 신호선 및 박막 트랜지스터 위에 형성되어 있는 보호막,상기 보호막의 위에 형성되어 있으며, 상기 박막 트랜지스터에 연결되어 있는 화소 전극을 포함하며,상기 각 신호선은 외부 회로와 연결을 위한 접촉부를 가지며, 상기 보호막은 상기 접촉부를 노출하는 접촉 구멍을 포함하고, 상기 접촉 구멍을 포함하는 제1 부분의 보호막 두께는 상기 화소 전극 아래에 위치하는 제2 부분의 보호막 두께보다 얇은 박막 트랜지스터 표시판.
- 제1항에서,상기 화소 전극의 가장자리는 상기 보호막을 사이에 두고 상기 신호선과 중첩하는 박막 트랜지스터 표시판.
- 제1항에서,상기 보호막은 유기 절연 물질로 이루어진 박막 트랜지스터 표시판.
- 제1항에서,상기 보호막의 제1 부분 위에 위치하며 상기 접촉 구멍을 통해서 상기 접촉부와 연결되어 있는 접촉 보조 부재를 더 포함하는 박막 트랜지스터 표시판.
- 제4항에서,상기 보호막은 상기 접촉 보조 부재의 경계선과 멀어질수록 상기 보호막의 두께는 두꺼워져 상기 화소 전극 아래의 보호막 두께와 같아지는 제3 부분을 포함하는 박막 트랜지스터 표시판.
- 제1항에서,상기 접촉 구멍은 상기 접촉부의 경계를 드러내는 박막 트랜지스터 표시판.
- 제1항에서,상기 신호선은 서로 교차하는 게이트선과 데이터선을 포함하는 박막 트랜지스터 표시판.
- 제1항에서,상기 각 신호선의 접촉부는 군집 형태로 연결부를 이루고상기 접촉부 사이에 위치하는 상기 보호막의 두께는 상기 보호막의 제1 부분 두께와 같은 박막 트랜지스터 표시판.
- 제8항에서,상기 연결부의 평면 패턴은 모퉁이가 둥근 사각형 또는 모퉁이가 모따기 된 사각형인 박막 트랜지스터 표시판.
- 삭제
- 제1항에서,상기 화소 전극은 IZO 또는 ITO로 이루어진 박막 트랜지스터 표시판.
- 기판 위에 복수의 게이트선을 형성하는 단계,상기 게이트선과 교차하며 접촉부를 가지는 복수의 데이터선을 형성하는 단계,상기 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계,상기 박막 트랜지스터, 상기 데이터선 및 상기 게이트선을 덮는 보호막을 형성하는 단계,상기 보호막 위에 복수의 슬릿을 포함하는 광마스크를 배치하는 단계,상기 광마스크로 상기 보호막을 노광 및 현상하여 상기 보호막에 복수의 접촉 구멍을 형성하는 단계, 그리고상기 보호막 위에 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 화소 전극 및 상기 접촉 구멍을 통해서 상기 접촉부와 연결되는 접촉 보조 부재를 형성하는 단계를 포함하고,상기 슬릿은 상기 접촉 보조 부재와 대응하는 부분에는 등간격으로 배열되어 있으며, 상기 접촉 보조 부재로부터 멀어질수록 점진적으로 좁아지도록 배열되어 있는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제12항에서,상기 보호막은 유기 절연 물질로 형성하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.
- 제12항에서,상기 화소 전극 및 상기 접촉 보조 부재는 IZO 또는 ITO로 형성하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.
- 제5항에서,상기 각 신호선의 접촉부는 군집 형태로 연결부를 이루고,상기 제3 부분은 상기 연결부의 경계를 이루며 상기 제3 부분의 기울기는 45°이하인 박막 트랜지스터 표시판.
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