JP4685174B2 - インク流動制御構造を有するインクジェットプリントヘッド - Google Patents
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Description
本発明の目的は、1つ以上の従来技術の不都合を克服するか、もしくは少なくとも改善するか、あるいは有用な代替物を提供するインクジェット印刷装置の様々な態様を提供することにある。
本発明の第2の態様によると、1つの壁上にインク吐出口を、第2の壁上にアクチュエータ相互連絡口をそれぞれ有する複数のノズルチャンバと、ノズルチャンバ内に配置され、インク吐出口からインクを吐出するために、外部熱アクチュエータの制御下においてアクチュエータ相互連絡口を介して可動な可動インク吐出パドルと、外部アクチュエータは、該アクチュエータの作動部分の周囲をアクチュエータから離間された保護被覆シェルによって被覆されていることとからなるインクジェットプリントヘッドを提供する。
保護被覆シェルは犠牲材料層の被着及びエッチング、次いで被覆シェルを形成する不活性材料の被着及びエッチングにより形成され得る。
本発明の第3の態様によると、基板上にインクジェットプリントヘッドを形成する方法が提供される。前記方法は、インクジェットプリントヘッドを制御するために、導体、半導体及び非導体材料の挟み込まれた1つ以上の層から形成された電子駆動回路が形成される第1の基板を準備することと、前記基板上に、1つの壁にインク吐出口を有する少なくとも1つのノズルチャンバを形成することと、インク吐出口からインクを吐出するための外部熱アクチュエータの制御下において可動な可動インク吐出パドルをノズルチャンバ内に設けることと、前記アクチュエータ及びインク吐出パドルのうちの1つ以上の形成において、交互に配置された層の少なくとも1つの部分を犠牲層として使用することとを有する。
型金属酸化(CMOS)プロセスからなり、犠牲材料層はCMOS金属層からなり得る。
アクチュエータの形成において犠牲材料層が用いられ得る。アクチュエータは、熱アクチュエータであり得る。アクチュエータは、ノズルチャンバに対して外側に配置され、さらに、ノズルチャンバの.第2の壁に形成された駆動相互連絡口を介してインク吐出パドルと相互連結され得る。
インク流動防止リム及び第1のメニスカスリムは、好ましくは化学的機械的平担化技術を利用して形成される.
インク流動防止リム及び第1のメニスカスリムは、好ましくは窒化チタンから形成される。
ジェットプリントヘッドを形成する方法が提供される。前記方法は、1つのノズルからインクを吐出するための1つのインクジェットノズル配列を形成する工程と、インクジェットプリントヘッドの全てのインクジェットノズルを形成するために1つのインクジェットノズル配列の一連の平行移動及び回転を利用する工程とからなり、前記利用する工程は、最初に、複数のノズルを1つのポッドに形成することと、各群がプリントヘッドから分配される異なる色のインクに対応しているポッドの群を形成することと、前記ポッドの複数の群を駆動する群に形成することと、駆動する群を組合わせて、プリントヘッドのあるセグメントを形成することと、プリントヘッドを形成するために各セグメントを形成することとを有する。
工程(c)は、プリントヘッドから流体を吐出させるには不十分な程度の一連の短い電気パルスを熱アクチュエータに付加することからなり得る。
本発明の第10の態様によると、複数の長手方向に離間された電圧供給点を有する、同一の種類の長尺状インクジェットプリントヘッドのための動力分配装置が提供される。前記動力分配装置は、2つ以上の細長い低抵抗電源母線と、選択された複数の電圧供給点を前記母線に接続する相互接続手段とを備える。
また、好ましくは、相互連絡手段は、プリントヘッド上における選択された別の電圧供給点へ接続するための複数の制御線を備える。
本発明の第11の態様によると、インク吐出ノズルの配列を備えるプリントヘッドに供給するためのインク供給ユニットが提供される。前記供給ユニットは、第1の精度に正確にされた寸法を有して形成され、そこに形成された第1キャビティを有する第1部材と、そこに形成された第2キャビティを有するインク分配マニホルドの形態にある第2部材と、第2キャビティはプリントヘッドに挿入されるのに適していることと、プリントヘッドに形成されたインク供給通路へインクを供給するため1つ以上のチャンバを形成するように、第2部材は第1部材内の第1キャビティと係合するよう形成されることと、第2部材は前記第1の精度よりも高い第2の精度に正確にされた寸法を有して形成されることとからなる。
に適当な一連のインク貯蔵チャンバを形成する。
好ましい形態においては、第2部材は一連の分離したインクプリントヘッドのインク流出口を形成し、前記インク流出口はプリントヘッドのインク供給路にインクを供給するのに適しており、インク供給路はインク吐出ノズルのグループ化されたセットにインクを供給するのに適している。
本発明の第11における態様の付加的な態様によると、多色ページ幅インク供給プリントヘッドに供給するためのインク供給ユニットが提供される。前記インク供給ユニットは、別々の色インクを貯蔵するための一連のチャンバを備え、第1の精度に正確にされた寸法を有して形成され、かつその中に形成された第1の細長いキャビティを有する第1の長尺状部材と、一連の壁要素とそこに形成された第2の細長いキャビティとを備える第2の長尺状部材と、第2の細長いキャビティがページ幅インクジェットプリントヘッドに挿入するのに適していることと、第2の細長いキャビティに挿入されると、壁要素は第1の長尺状部材の対応する要素と組み合って、プリントヘッドの背面上に形成される一連のスロットにインクを供給するための一連のチャンバの形成を完結することと、第2長尺状部材は第1の精度よりも高い第2の精度に正確にされた寸法を有して形成されることとからなる。
第1の長尺状部材及び/又は第2の長尺状部材は、インク供給ユニット内におけるインクの加速を抑えるための一連のバッフルを備え得る。
本発明の第13の態様によると、開口からインクを吐出するために、1つの壁上に形成
されたノズル開口をそれぞれ有する複数のノズルチャンバと、ノズルチャンと相互に連通したインク供給路と、ノズルチャンバ内においてアクチュエータにより可動であり、かつノズルチャンバからインクを吐出するように駆動可能であるパドルと、前記パドルはアクチュエータの付勢により、ノズル開口に向かって運動させられる突出部を有することとからなるインクジェットプリントヘッドが提供される。
液体吐出開口は、一連の層の被着及びエッチングを用いることにより形成され得、突出部は中空の円筒柱からなり得る。
本発明の第13における態様の付加的な態様によると、少なくとも1つのチャンバを備え、吐出パドルの運動によって前記チャンバと相互に連通したノズル開口から液体が吐出されるインクジェットプリントヘッドにおいて、プリントヘッドの作動特性を改善する方法は、可動パドル上に突出部を配置する工程と、前記突出部は流体を吐出するための液体吐出パドルの駆動により、ノズルに向かう運動を受ける工程とからなる。
本発明の第14の態様によると、チャンバからインクを吐出するために、1つの壁上に形成されたノズル開口と、アクチュエータ機構を挿入するための第2開口とをそれぞれ有する複数のノズルチャンバと、ノズルチャンバと相互に連通したインク供給路と、ノズルチャンバ、からインクを吐出するように駆動可能なアクチュエータにより可動なパドルとを備え、前記アクチュエータは、ノズルチャンバの外部に配置された第1部分と、ノズルチャンバの内部に配置され、前記パドルを支持する第2部分と、前記開口を介して第1部分と第2部分とを相互に連結させる相互連結部分と、前記相互連結部は第2開口に隣接して形成され、かつ第2開口を介する流体の流れを制限するように配置される突出したシールドをさらに備えることとからなるインクジェットプリントヘッド装置が提供される。
この好ましい実施形態は、種々様々なページ幅プリンタ、およびプリントオンデマンドカメラシステムに内蔵させるのに適している1600dpiモジュラモノリシックプリントヘッドである。プリントヘッドは、通常、集積回路製造用に開発された技術を使用してミクロン単位で組み立てられた機械的システムである超小型電子機械システム(MEMS)により製造される。
(動作原理)
好ましい実施形態は、インクを吐出するための熱により駆動されるレバーアームを使用する。インクを吐出するノズルチャンバは、その周囲に表面メニスカスが形成される薄い
ノズルリムを備える。ノズルリムは、自己整合被着メカニズムを用いて形成される。好ましい実施形態は、また、インクジェットノズルの周囲に過剰流出防止リムの有利な機能を備える。
ィを用いた場合には、リムの均斉および対称性は、用いるリソグラフィプロセスの変動のある程度内においてのみ確保される。そのために、図8の符号35にて示すリムの変形が起こる。リムが変形すると、図8に示すようにリム35は非対称形になる。この変動は、小さなインク滴を形成する際に問題を生じる恐れがある。図9はその様子を示す。この場合、メニスカス36は、リムの幅が大きく膨らんでいる表面37に沿って流れる。そのため、吐出したインク粒子の吐出方向が大きく変化する恐れがある。
使用することにより規則正しいリムが形成される。図11は、化学的機械的平坦化技術を適用した後の略図である。
インク予熱
好ましい実施形態において、プリントヘッド装置の温度を所定の範囲内に上昇させるためにインク予熱工程が用いられる。図12の符号101は、用いられる工程を示す。最初に、工程102において、印刷のスタートが決定される。印刷を行う前に、プリントヘッドの現在の温度が所定のしきい値内にあるかどうかを判断するために、上記温度が感知される。加熱温度が低すぎる場合には、熱アクチュエータを所定の動作温度まで加熱することによりプリントヘッドを加熱する予熱サイクル104が適用される。温度が所定の温度に達した場合には、通常の印刷サイクル105が開始する。
、前記温度は使用要件により変動する。
(製造プロセス)
IJ46デバイス製造は、標準的なCMOS処理、およびMEMS処理の組合せを使用して行うことができる。理想的には、CMOS処理に現在通常使用されていない材料は、処理のMEMS部分において使用しないことが望ましい。好ましい実施形態において、MEMS材料は、RECVDガラス、スパッタされたTiN、及び犠牲材料(ポリイミド、PSG、BPSG、アルミニウムまたは他の材料であり得る)である。理想的には、チップ面積を大きくすることなく、ノズル間の対応する駆動回路に適合するための最小限度のプロセスは、アルミニウム金属被覆を伴う0.5ミクロン、ポリ1、金属3のCMOSプロセスである。しかし、代わりに、任意のより高度なプロセスも使用し得る。別の方法としては、NMOS、バイポーラ、BiCMOSまたは他のプロセスも使用し得る。CMOSを推薦するのは、業界で広く使用されており、大量のCMOSの製造能力を利用することができるというだけの理由である。
(プロセスを選択する理由)
MEMSデバイス製造の当業者であれば、IJ46プリントヘッドを製造するためには、多くのプロセスシーケンスを使用し得ることを理解するであろう。本明細書に記載するプロセスシーケンスは、ポリ1、金属3の層を使用する「通常の」0.5ミクロン(ドローン)n井戸CMOSプロセスに基づいている。下記表は、任意の別のプロセス選択の効果の判断を容易にするために、この「ノミナル」プロセスのいくつかの選択を行う理由の概略を示す。
多くの異なるCMOSプロセス、および他のプロセスを使用し得るが、このプロセスの説明は、MEMS機能がCMOSマスク内に集積される場合を示すCMOSプロセスの例と、CMOS性能要件が低いためにCMOSプロセスが簡略化され得る場合とを示すCMOSプロセスの例とを兼ねる。
1.図18に示すように、処理は、標準6インチ(15.24cm)pタイプ<100>ウェハを使用してスタートする。(8インチ(20.32cm)のウェハも使用し得、その場合には一次歩留まりがかなり改善される。)
2.図19のn井戸マスクを使用して、図20のn井戸トランジスタ部210を注入する。
3.SiO2の薄い層を成長させ、Si3N4を被着して、フィールド酸化物ハードマスク
を形成する。
4.図22のアクティブマスクを使用して、窒化物および酸化物をエッチングする。LOCOSバーズビークのためにマスクの寸法は大きめに形成する。フィールド酸化物がノズルチャンバから排除されるように、ノズルチャンバ領域はこのマスク内に組み込まれている。その結果、図23に示す一連の酸化物領域212が形成される。
5.ネガ型レジストを有するn井戸マスク、またはn井戸マスクの補足物を使用してチャネルストップを注入する。
6.使用するCMOSプロセスが必要とする、任意の必要なチャネルストップを実行する。
7.LOCOSを使用して、0.5ミクロンのフィールド酸化物を成長させる。8.任意の必要なn/pトランジスタしきい値電圧調整を行う。CMOSプロセスの特性によっては、しきい値調整を省略し得る。これは、動作周波数が3.8MHzと低く、pデバイスの品質が重要でないためである。nチャネル駆動トランジスタのオン抵抗は印刷中の効率および電力消費に有意な影響を有しているため、nトランジスタのしきい値はより重要である。
9.ゲート酸化物を成長させる。
10.0.3ミクロンのポリ(poly)を被着させ、図26に示すポリ部分214を形成するために、図25のポリマスクを使用してパターン形成する。
11.図28のn+マスクを使用して、例えば、図29の符号216で示すn+注入を行う。トランジスタの性能は重要ではないため、LDDのようなドレインエンジニアリングプロセスを使用する必要はない。
12.図31のn+マスクの補足物を使用して、またはネガ型レジストを有するn+マスクを使用して、例えば、図32の符号218で示すp+注入を行う。ノズルチャンバ領域がn+マスク内に含まれるか否かにより、ノズルチャンバ領域に対して、n+またはp+をドープする。このシリコン領域のドーピングは、後にエッチングされるので、無意味である。推奨されるSTS ASEエッチングプロセスは、エッチングストップとしてホウ素を使用しない。
13.例えば、図35の220で示すように、ILD1を形成するために、0.6ミクロンのPECVD TOESガラスを被着する。
14.図34の接点マスクを使用して、接点カットをエッチングする。ノズル領域は、1つの大きな接触領域として処理され、通常の設計規則チェックを通過しない。それ故、この領域は、DRCから除外される。
15.金属1を形成するために、0.6ミクロンのアルミニウムを被着する。
16.例えば、図38の符号224が示す金属領域を形成するために、図37の金属1マスクを使用してアルミニウムをエッチングする。ノズル金属領域は、例えば、225のような金属1により覆われる。このアルミニウム225は犠牲層であり、MEMESシーケンスの一部としてエッチングされる。金属1をノズル内に設けることは必ずしも必要ではないが、アクチュエータレバーアームのネック領域における工程を少なくするのに役に立つ。
17.例えば、図41の符号228のようなILD2領域を形成するために、0.7ミクロンのPECVD TEOSガラスを被着させる。
18.図40のバイア1マスクを使用して接点カットをエッチングする。ノズル領域は、
1つの大きなバイア領域として処理され、ここでもDRCを通過しない。
19.金属2を形成するために、0.6ミクロンのアルミニウムを被着させる。20.例えば、図43の符号230が示す金属部分を形成するために、図42の金属2マスクを使用してアルミニウムをエッチングする。ノズル金属領域231は、金属2により完全に被覆される。このアルミニウム225は犠牲層であり、MEMESシーケンスの一部としてエッチングされる。金属2をノズル内に設けることは必ずしも必要ではないが、アクチュエータレバーアームのネック領域における工程を少なくするのに役に立つ。犠牲金属2は、また、他の流体制御機能に対しても使用される。比較的大きな方形の金属2は、ノズルチャンバのネック領域233に備えられる。金属2は、犠牲金属3と連絡しているので、MEMS犠牲アルミニウムエッチング中に除去される。これにより、アクチュエータ(ILD3から形成されている)のためのノズルチャンバの入口の下部リムはアンダーカットされる。このアンダーカットにより、流体制御表面の角度が90度広くなり、そのために、インクが表面に拡散するのを防止するこのリムの性能が改善される。
21.ILD3を形成するために、0.7ミクロンのPECVD TEOSガラスを被着する。
22.例えば、図46の符号236で示すような部分を残しておくために、図45のバイア2マスクを使用して、接点カットをエッチングする。ILD3内にノズルチャンバ、流体制御リムも形成する。これらもDRCを通過しない。
23.金属3を形成するために、1.0ミクロンのアルミニウムを被着する。
24.例えば、図48の符号238で示すような部分を残しておくために、図47の金属3マスクを使用して、アルミニウムをエッチングする。例えば、符号239のような大部分の金属3は、チップ表面からアクチュエータおよびパドルを分離するために使用する犠牲層である。金属3は、また、チップ上にV+を分配するために使用される。ノズル領域は、例えば、符号240のような金属3で覆われる。このアルミニウムは、犠牲層であり、MEMSシーケンスの一部としてエッチングされる。金属3をノズル内に備えることは必ずしも要ではないが、アクチュエータレバーアームのネック領域における工程を少なくするのに役に立つ。
25.被覆ガラスを形成するために、0.5ミクロンのPECVD TEOSガラスを被着する。
26.不動態層を形成するために、0.5ミクロンのSi3N4を被着する。
27.図51の装置を形成するために、図50のバイア3マスクを使用して、不動態層および被覆ガラスをエッチングする。このマスクは、金属3犠牲層へのアクセス242、およびヒーターアクチュエータへの、例えば、符号243で示すバイアを含む。この工程のリソグラフィは、ボンドパッドに孔を開けるための通常の厳密ではないリソグラフィとは異なり、0.6ミクロンの重要な寸法(ヒータバイア用の)を有する。これは、通常のCMOプロセスの流れとは異なる1つのプロセス工程である。この工程は、工場の配置要件および輸送要件により、CMOSプロセスの最後のプロセス工程としてもよいし、MEMSプロセスの最初の工程としてもよい。
28.ウェハプローブ。全部ではないが、チップの機能の多くの部分は、この段階で決定することができる。この段階においてもっと複雑な試験が必要な場合には、チップ上に、各駆動トランジスタ用に、能動ダミー負荷を設置することができる。このことは、チップの面積を、少し犠牲にすることにより行うことができ、CMOS回路を完全に試験することができる。
29.ウェハを、CMOS施設からMEMS施設に転送する。これらの施設は、同じ工場内に設置することも可能であるし、離れた別の場所に設置することも可能である。
30.0.9ミクロンのマグネトロンスパッタTiNを被着する。電圧は−65V、マグネトロン電流は7.5A、アルゴンガス圧は0.3Pa、温度は300℃である。その結果、熱膨張率は9.4×10-6/℃、となり、ヤング率は600GPaとなる(薄い固体フィルム270(Thin Solid Films
270)、266頁、1995年)。これは、使用する最も重要な薄膜特性である。
31.図53のヒータマスクを使用してTiNをエッチングする。このマスクは、ヒータ素子、パドルアーム、およびパドルを形成する。ヒータと、パドルのTiN層、およびパドルアームの間には、図54に示す狭いギャップ247が存在する。このギャップは、ヒータとインクとの間の電気的接続、および起こり得る電解の問題を防止するためのものである。ウェハ全体を通してヒータ特性を均一に維持するために、この工程においては、サブミクロンの精度が要求される。これが、他のアクチュエータ層と一緒にヒータをエッチングしない主な理由である。ヒータマスク用のCDは0.5ミクロンである。オーバーレイ精度は+/−0.1ミクロンである。ボンドパッドも、このTiN層で覆われる。これは、犠牲アルミニウムがエッチングされている間にボンドパッドがエッチングされるのを防止する。上記被覆により、動作中にアルミニウムボンドパッドが腐食することが防止される。TiNは、アルミニウムに対する優れた腐食バリアである。TiNの比抵抗は十分低いので、ボンドパッド抵抗に関して問題は起こらない。
32.2ミクロンのPECVDガラスを被着する。この被着は、ガラス内の固有応力を最も少なくするために、約350〜400℃で行うことが好ましい。熱応力は、被着温度を下げることにより小さくし得るが、ガラスは2つのTiN層の間にサンドイッチ状に挟まれているため、実際には熱応力は有利な要因である。TiN/ガラス/TiNの三重層は、熱応力による湾曲を打ち消し、その結果、ガラスに一定の圧縮応力が掛かり、それによりアクチュエータの効率が増大する。
33.0.9ミクロンのマグネトロンスパッタTiNを被着する。この層は、下のTiN層およびガラス層の差熱応力による湾曲を打ち消すため、及び犠牲材料から解放されたときにパドルが湾曲するのを防止するために被着される。被着特性は、第1のTiN層の被着特性を同一でなければならない。
34.図56のアクチュエータマスクを使用して、TiNを異方性プラズマエッチングする。このマスクは、アクチュエータおよびパドルを形成する。アクチュエータマスク用のCDは1ミクロンである。オーバーレイ精度は+/−0.1ミクロンである。図57は、エッチングプロセスの結果を示す。この場合、ガラス層250は、TiN層251,248の間にサンドイッチ状に挟まれている。
35.この時点においてウェハをプローブでチェックすることにより、電気的な試験を行い得る。すべてのCMOS試験と、ヒータ機能試験および抵抗試験とは、ウェハをプローブでチェックすることにより行い得る。
36.15ミクロンの犠牲層材料を被着する。この材料については、多くの可能な選択肢が存在する。必須要件は、ウェハを過度に湾曲させることなく、15ミクロンの層を被着することが可能であることと、PECVDガラスおよびTiNに対するエッチング選択性が高いことである。材料の例としては、ホスホシリケートガラス(PSG)、ボロホスホシリケートガラス(BPSG)、ポリイミドのようなポリマー、およびアルミニウムがある。シリコン(ポリイミドで充填され、正しくドーピングされたBPSG)に対する良好なCTE適合性、または低いヤング率(アルミニウム)が必要である。この例の場合には、BPSGを使用している。これらの問題の中において、層が非常に厚いため、応力が最も厳しい問題である。BPSGは、通常、シリコンのCTEより低いCTEを有しているので、かなりの圧縮応力が加わる。しかし、そのCTEをシリコンのCTEに近い値に調整するために、BPSGの組成を有意に変えることができる。BPSGは犠牲層であるので、その電気的特性は意味を有さず、CMOS誘電体を使用し得るので、通常、組成は適していない。無水HFエッチングを使用した場合、PECVDガラスに対するエッチング選択性を改善するので、低密度、高い多孔性、高い含水量は、すべて有利な特性である。37.図60に断面で示す構造体254を形成するために、図59に示すノズルマスクを使用して、2ミクロンの深さに犠牲層をエッチングする。図59のマスクは、以降の工程で被着される被覆がCMPより除去される領域すべてを形成する。これら領域は、ノズル自身、および他の種々の流体制御機能を含む。ノズルマスク用のCDは2ミクロンである。オーバーレイ精度は+/−0.5ミクロンである。
38.図62のチャンバマスクを使用して、CMOS不動態層の深さまで、犠牲層を異方
性プラズマエッチングする。このマスクは、図63に示すように、ノズルチャンバ、およびスロット255を含むアクチュエータシュラウドを形成する。チャンバマスクのCDは2ミクロンである。オーバーレイ精度は+/−0.2ミクロンである。
39.図65に示すように、0.5ミクロンの緊密な形状に従った被覆材料(fairly conformal overcoat material)257を被着する。この材料の電気的特性は無関係である。材料は導体であっても、絶縁体であっても、半導体であってもよい。上記材料は、化学的に不活性であり、強い強度を持ち、犠牲材料に対するエッチングの選択性が高くなければならないし、また、CMPに適していなければならないし、500℃以下の温度で形状従った被着に適したものでなければならない。適当な材料としては、PECVDガラス、MOCVD TiN、ECR CVD TiN、PECVD Si3N4、およびその他多数の材料がある。この例の場合の選択は、PECVD TEOSガラスである。BPSGを犠牲材料として使用し、無水HFが犠牲材料エッチング剤として使用される場合には、このような材料の含水量は非常に少ないものでなければならない。というのも、無水HFエッチングは、水の含有量に依存して、BPSGのTEOSガラス対する1000:1のエッチング選択性を達成するためである。形状に従った被覆257は、シェル内でアクチュエータが自由に運動できる状態に維持しながら、熱湾曲アクチュエータの動作部分の周囲に保護被覆シェルを形成する。
40.図67に示すように、CMPにより1ミクロンの深さまでウェハを平坦化する。CMP処理は、ウェハ表面全体に渡って、+/−0.5ミクロンの精度に維持しなければならない。犠牲材料を皿状にする必要はない。これにより、ノズル259および、例えば、符号260で示すような流体制御領域が開口される。CMPプロセス中、ノズルチャンバ構造体に対して犠牲層が硬度を維持し得ることが犠牲材料を選択する際の最も重要な要因の中の1つである。
41.プリントヘッドェーハを裏返して、酸化面263を有する図69のシリコンウェハブランク262上の前面にしっかりと装着する。装着は接着剤265により行い得る。ブランクウェハ262は、再使用することが可能である。
42.背面グラインド(または、エッチング)および研摩により、プリントヘッドウェハを300ミクロンまで薄く削る。ウェハを薄く削ることは、シリコンを深くエッチングするための後続の処理時間を約5時間から約2.3時間に短縮するために行われる。深いシリコンエッチングの精度も改善され、ハードマスクの厚さは、半分の2.5ミクロンになる。エッチング時間を短縮し、プリントヘッドの効率を改善するために、ウェハをさらに薄くしてもよい。ウェハの厚さを制限するものは、犠牲BPSGエッチングを行った後のプリントヘッドの脆さである。
43.ウェハの背面上にSiO2ハードマスク(2.5ミクロンのPECVDガラス)を
被着し、図67に示すように、流入口マスクを使用してパターン形成する。図67のハードマスクは、150:1のハードマスクの選択性で315ミクロンの深さまで行われる後続の深いシリコンエッチングのために使用される。このマスクは、ウェハを貫通してエッチングされるインクの流入口を形成する。流入口マスク用のCDは4ミクロンである。オーバーレイ精度は+/−2ミクロンである。流入口マスクは、300ミクロンのエッチング深さにわたって91度の再入エッチング角度を確保することができるように、各側面上において5.25ミクロンずつ短くなっている。この工程のリソグラフィは、ステッパの代わりにマスク整合装置を使用する。整合は、ウェハの前面のパターンに対して行われる。サブミクロン単位の前部/後部整合を行うことができる装置は容易に入手することができる。
44.前に被着したハードマスクを介して、シリコンウェハにより(例えば、サーフェステクノロジーシステム社のASE高度シリコンエッチング装置のような装置を使用して)、完全に背面エッチングを行う。STS ASEは、ウェハを介して、アスペクト比30:1及び90度の側壁を有する非常に正確な孔部をエッチングすることができる。この例の場合には、91度の再入側壁角度は公称値と見なす。ASEは、任意の精度に対してより速いエッチング速度で、また少ない再入角度でよりよい作業を行うので、ある再入角度
が選択される。また、マスク上の孔部を小さい寸法にすることによって再入エッチングを補償することができる。マスク孔部が合流してしまうので、非再入角度は、容易に補償することはできない。また、好適には、ウェハは、このエッチングによりダイシングすることが好ましい。図69は、背面エッチングしたインクチャネルの一部264を含む最終結果を示す。
45.すべての露出しているアルミニウムをエッチングする。これらすべての層上のアルミニウムは、ある場所において犠牲層として使用される。
46.すべての犠牲材料をエッチングする。ノズルチャンバは、このエッチングによりきれいに清掃される。図71は、その結果を示す。BPSGを犠牲材料として使用した場合には、BPSGは、CMOSガラス層またはアクチュエータガラスをエッチングすることなく除去し得る。このような除去は、60℃の窒素環境において、1500sccmで、無水HFを使用して、TEOSのようなドーピングしていないガラスに対して、1000:1の選択性で行い得る。(L.チャング(chang)他の「DRAMコンデンサに対する処理工程を少なくする無水HFエッチング(Anhydrous HF etch reducesprocessing step for DRAM capacitors)」、Solid State Technology 41巻、5号、71〜76頁、1998年)。このエッチングにより、アクチュエータが解放され、チップはブランクウェハから分離され、チップ同士も分離される。BPSGの代わりに、アルミニウムを犠牲層として使用した場合には、その除去は、前の工程と一緒に行われ、この工程は省略される。
47.真空プローブで分離したプリントヘッドを拾い上げ、プリントヘッドをパッケージ内に装着する。パッケージ前のプリントヘッドは壊れ易いため、この装着は注意深く行わなければならない。ウェハの前面は特に壊れ易く、手で触れてはならない。このプロセスは自動化するのが困難であるため、手作業により行われる。パッケージは、プリントヘッドの背面のインクの流入口に、適当な色のインクを供給するインクチャネルを内蔵する専用の射出成型プラスチックハウジングである。パッケージは、またプリントヘッドを機械的に支持する。パッケージは、チップに加わる応力が最も小さくなるように、また、パッケージの全長に沿って応力を均等に分配するように特に設計される。プリントヘッドは、シリコーンのような弾力性を有するシーラントによりパッケージに接着される。
48.プリントヘッドチップへの外部接続を形成する。空気の流れの混乱を最も少なくする低いプロフィ−ルの接続の場合には、テープ・オートメイティッド・ボンディング(TAB)を使用し得る。動作中、プリンタと紙との間に十分な隙間がある場合には、ワイヤボンディングも使用し得る。すべてのボンドパッドは、チップの100ミリの縁部に沿って設置される。ボンドパッドは、全部で504個あり、63個のボンドパッドからなる8つの同じグループからできている(チップは、8工程のステッパにより製造されるので)。各ボンドパッドは、100×100ミクロンの大きさで、ピッチは200ミクロンである。256個のボンドパッドは、アクチュエータに電力接続およびアース接続を供給するために使用される。この場合、ピーク電流は、3Vにおいて、6.58Aである。全プリントヘッド(24のデータと16の制御)に対して全部で40箇所の信号接続があるが、その大部分は、バスにより、プリントヘッドの8つの同じセクションに接続している。
49.プリントヘッドの前面を疎水性にする。この処理は、50ナノメートルまたはそれ以上のポリテトロフルオロエチレン(PTFE)を真空蒸着することにより行うことができる。しかし、この処理は多くの方法で行い得る。流体は、前の工程で形成された機械的な突起部により完全に制御されるので、疎水層は、プリントヘッドが埃で汚染した場合に、インクが表面上に拡散するのを防止する「任意の追加処置」である。
50.プリントヘッドをソケットに差し込む。ソケットは、電力、データ、およびインクを供給する。プリントヘッドは、毛細管現象によりインクにより満たされる。完成したプリントヘッドをインクで満たし、試験する。図74は、ノズルチャンバへのインク268の充填を示す。
使用するCMOSプロセスパラメータは、0.5ミクロンの寸法またはそれ以上の任意のCMOSプロセスに適合するように変更することができる。MEMSプロセスパラメータは、以下に示す許容範囲を超えて変更してはならない。これらパラメータの中のあるものは、アクチュエータの性能および流体に影響を与え、一方、他のパラメータの影響は不明瞭である。例えば、ウェハを薄くする段階は、深いシリコンエッチングのコストおよび精度、背面ハードマスクの厚さ、および関連プラスチックインクチャネル成形の寸法に影響を与える。上記プロセスパラメータは、下記のように設定することができる。
図76について説明すると、この図は、1つのインクジェットノズル用の関連制御ロジックを示す。制御ロジック280は、オンデマンドで、ヒータ素子281を作動するために使用される。制御ロジック280は、シフトレジスタ282、転送レジスタ283、および動作開始制御ゲート284を含む。基本的動作は、データが正しい位置を占めるまで、データをあるシフトレジスタ282から次のシフトレジスタに移動させることである。
その後で、転送イネーブル信号286が作動すると、データは転送レジスタ283に送られる。データは転送レジスタ283にラッチされ、その後で、素子281を加熱する目的で、加熱パルスを出力するため、ゲート284を作動するために動作開始転送制御信号289が使用される。
(複製ユニット)
インクジェットプリントヘッドは、それぞれが基本的に同じ形状の、多数の複製ユニットセルから構成され得る。この形状について以下に説明する。
図79は、1ミクロンのグリッド306上のユニットセル305を示す。ユニットセル305は、例えば、符号308で示すバイアの他に、拡散およびポリ層を示す図79により、多数回複写され、複製される。信号290,291,292,296,397,299については、図77において既に説明した。図79の多くの重要な態様は、シフトレジスタ、転送レジスタ、およびゲートおよび駆動トランジスタを含む全体的なレイアウトを備える。重要なことは、駆動トランジス300が、例えば、符号312のような、多数の垂直なトレースを有するように配置されている、例えば符号309のような上部ポリ層を備えることである。垂直なトレースは、電力トランジスタ300上に形成されたヒータ素子の波状の性質が、確実に、トレース112のほぼ垂直な方向に延びる波型模様を有する波型の底部を有するようにするために重要なものである。図69、図71および図74がこのことを最も良好に示す。下部のCMOS配線により、避けることが不可能な波型模様の性質および方向を考慮することは、アクチュエータの最終的な動作効率のために重要である。理想的な状態では、アクチュエータは、アクチュエータを形成する前の基板工程の上面上の平坦化工程を備えることにより、波型模様がない状態で形成することが好ましい。しかし、追加のプロセス工程を回避する最善の妥協案は、実施形態に示すように、確実に、波型模様が、アクチュエータの湾曲軸と直交する方向に延びるようにすることであり、好適には、常にその全長に沿って延びるようにすることである。これにより、平らなアクチュエータの効率より僅か2%程度低いだけであるアクチュエータをもたらす。この効率であれば、多くの状況で受け入れることができる。縦方向に延びる波型模様は、平らなアクチュエータと比較して、効率が約20%低下する。
図81は、関連反射部材323〜328の他に、データインライン290、Sクロックライン91、Sクロック292、Q294、TEn296、およびTEn297、V−320、VDD321、VSS322を含む第2レベルの金属層を示す。部分330および部分331は、犠牲エッチングとして使用される。
図85について説明すると、3つのグループ361−363に分割される、インクジェットノズルのアレイの一部360を示す。この場合、各グループは、全3色印刷を行うために、別々のカラー出力(シアン、マゼンタおよびイエロー)を供給する。外部回路との相互接続のためのボンドパッド365の他に、標準セルクロックバッファおよびアドレスデコーダ364も設置されている。
(複製)
ユニットセルは、4インチ(10.16cm)のプリントヘッド上で、下記の複写階層表に示すように、階層状に19,200回複写される。レイアウトグリッドは、0.5ミクロンにおいて、1/21(0.125ミクロン)である。多くの理想的な変換距離は、正確にグリッドの点と一致する。一致しない場合には、距離は最も近いグリット点に四捨五入される。四捨五入した数には*がつけてある。変換は、すべての場合、対応するノズルの中心から測定される。同様に、5本の偶数ノズルの群の5本の奇数ノズルへの変換は、180度の回転を伴う。この工程の並進は、5対のノズルセンターのすべてが一致した位置から起こる。
(複写階層表)
図89に示すように、写真印刷の際の使用に適している4インチ(10.16cm)のプリントヘッドを例にとると、4インチのプリントヘッド380は、それぞれのセグメントが1/2インチ(1.27cm)の長さを有する、例えば符号381のような8つのセグメントからなる。従って、各セグメントは、ページの異なる部分に2層のシアン、マゼンタおよびイエローのドットを印刷して最終的な画像を形成する。図89は、8つのセグメントの位置を示す。この例の場合には、プリントヘッドは、1600dpiでドットを印刷する。各ドットの直径は、18.875ミクロンである。よって、1/2インチ(1.27cm)の各セグメントは、800ドットを印刷するが、この場合、8つのセグメントは、下記の表に示す位置に対応する。
正確な距離は、インクジェット動作パラメータにより異なり、インクジェット毎に変化する。この距離は、一定数のドット幅と見なされ、それ故、印刷の際に考慮に入れなければならない。シアンノズルで印刷したドットは、マゼンタノズルまたはイエローノズルで、印刷したものとは異なるラインに対するものである。印刷アルゴリズムは、約8ドット幅まで、距離を変化させることができるものでなければならない。
プリントヘッドは、全部で19,200のノズルを含む。一回の印刷サイクルは、印刷対象の情報により、一番多い場合は、これらノズル全部の吐出を含む。一回の充填サイクルは、プリントヘッドに、以降の印刷サイクル中に印刷される情報を充填するプロセスを含む。
が行われる限りは、印刷サイクルおよびロードサイクルを同時に行うことができる。
(ロードサイクル)
ロードサイクルは、次の印刷サイクルのノズルイネーブルビットによる、プリントヘッドのシフトレジスタのローディングに関連する。各セグメントは、シフトレジスタのシアン、マゼンタおよびイエローの対に、直接関係する3つの入力を有する。これらの入力は、CDataIn、MDataIn、およびYDataInと呼ばれる。8つのセグメントがあるので、プリントヘッド当り全部で24のカラー入力ラインが存在することになる。(すべてで8つのセグメントの間で共有される)SRClockライン上の1つのパルスは、24のビットを適当なシフトレジスタ内に転送する。交互パルスは、それぞれ、下部ノズルおよび上部ノズルにビットを転送する。19,200のノズルが存在するので、上記転送を行うには、全部で800パルスが必要になる。19,200ビット全ての転送が完了すると、共有のPTransferライン上の1つのパルスにより、シフトレジスタから適当なノズルイネーブルビットにデータが転送される。PTransfer上の1つのパルスによる並列転送は、印刷サイクル終了後に行わなければならない。そうでない場合には、そのラインに対するノズルイネーブルビットは不正確なものになる。
(印刷サイクル)
プリントヘッドは19,200本のノズルを含む。これらノズルを同時に吐出させると、余りに多くの電力を消費し、インクの再充填およびノズルの干渉の点で問題がある。それ故、一回の印刷サイクルは、異なる200段階からなる。全部で19,200本のノズルの場合、間隔が最も広い96本のノズルが各段階において吐出する。
・ 4ビットトリポッド選択(1つの吐出グループから10個のトリポッドの中の1つを選択)
各段階で吐出する96本のノズルは、セグメント当り12本のノズルに相当する。(何故なら、すべてのセグメントは、同じ印刷信号を受信するように配線されているからである。)任意のセグメントからの12本のノズルは、各吐出グループから平等に選択される。吐出グループは4つあるので、各吐出グループの中の3つのノズルが吐出する。上記3つのノズルは、各カラー毎に1つずつである。ノズルの決定は下記のように行われる。
吐出パルスの持続時間は、すべての吐出グループ、それぞれからポッドグループAおよびポッドグループBを駆動させる、AイネーブルラインおよびEイネーブルラインにより決まる。1つのパルスの持続時間は、(温度およびインクの特性による)インクの粘度、およびプリントヘッドが使用することができる電力により異なる。AイネーブルおよびBイネーブルは、駆動パルスが重畳することができるように、別々のラインである。それ故、印刷サイクルの200の段階は、100Aの段階と100Bの段階からなり、効果的にA段階およびB段階の100組を与える。
・トリポッド選択0、ノズル選択0(段階AおよびB)
・トリポッド選択1、ノズル選択0(段階AおよびB)
・トリポッド選択2、ノズル選択0(段階AおよびB)
・...
・トリポッド選択9、ノズル選択0(段階AおよびB)
・トリポッド選択0、ノズル選択1(段階AおよびB)
・トリポッド選択1、ノズル選択1(段階AおよびB)
・トリポッド選択2、ノズル選択1(段階AおよびB)
・...
・トリポッド選択8、ノズル選択9(段階AおよびB)
・トリポッド選択9、ノズル選択9(段階AおよびB)
段階Aおよび段階Bは重畳することができることに留意されたい。また、1つのパルスの持続時間は、バッテリーの電力および(温度の変化による)粘度により変化する。図95は、通常の印刷サイクル中のAイネーブルラインおよびBイネーブルラインを示す。
(プリントヘッドからのフィードバック)
プリントヘッドは、(8つのセグメントから蓄積した)フィードバックの数本のラインを印刷する。フィードバックラインは、駆動パルスのタイミングを調整するのに使用することができる。各セグメントは、同じフィードバックを行うが、すべてのセグメントからのフィードバックは、同じトリステートバスラインを共有する。従って、一回に1つのセグメントのみがフィードバックを行うことができる。シアンに関するデータと論理積したSenseEnableライン上の1つのパルスが、そのセグメントに対するラインを感知することができる。フィードバック感知ラインは下記の通りである。
・ Tsenseは、コントローラにプリントヘッドの温度を知らせる。これにより、コントローラは、温度がインクの粘度に影響するため、駆動パルスのタイミングを調整することが可能である。
(予熱モード)
印刷プロセスは、平衡温度に留まろうとする強い傾向を有する。印刷した写真の第1の部分が確実に一定のドットサイズを有するようにするためには、理想的には、任意のドットを印刷する前に平衡温度を適応させなければならない。この適応は、予熱モードで行い得る。
約30℃高い)平衡温度に達するまで継続して行われる。予熱モードの持続時間は、約50ミリ秒とし得、インクの組成により調整し得る。
(プリントヘッドインターフェースの概要)
プリントヘッドは、下記の接続部を有する。
(パッド接続)
プリントヘッド全体は、全部で504個の接続部を有しているが、マスクレイアウトは、わずか63個の接続部しか有していない。これは、チップは、それぞれ12.7ミクロンの長さを有する8つの同じであるが独立しているセクションから形成されているためである。これら各セクションは、200ミクロンの間隔で63個のパッドを含む。63個のパッドのグループの各端部には50ミクロンの長さの余剰部分があり、そのため、正確な反復距離は、12,700ミクロン(12.7ミクロン、1/2インチ)となっている。(パッド)
周囲温度の変化による主要な結果は、インク粘度および表面張力の変化である。湾曲アクチュエータはアクチュエータ層と湾曲補正層との間の温度差のみに応答するので、周囲
温度が湾曲アクチュエータに与える直接の影響は無視できる。TiNヒータの抵抗は、温度ではわずかにしか変化しない。以下のシミュレーションは、0℃から80℃の温度範囲内にある水性インクに当てはまる。
nse信号を選択する。Tsense信号は、駆動ASICによってデジタル化され、インク粘度の変化を補償するため駆動パルス幅が変更される。インクの粘度/温度の関係を指定するデータは、インクに関連する確認チップに保存される。
ノズル半径は、インク滴量およびインク滴速度に重大な影響を及ぼす。この理由により、0.5ミクロンのリソグラフィで厳密に制御される。ノズルは、2ミクロンの犠牲材料をエッチングし、次にノズル壁材料を被着させ、CMP工程を実行して形成する。CMPは、ノズル構造を平面化し、オーバーコートの頂部を除去して内部の犠牲材料を露出させる。犠牲材料はその後除去され、自己整合したノズルとノズルリムを残す。ノズルの内径精度は、主にリソグラフィの精度、および2ミクロンでエッチングした側壁角度の均一性によって決定される。
5.0から6.0ミクロン)から外れた極端な値も含む。主要なノズル半径の変動は、ノズルの犠牲エッチングとCMP工程の組合せによって決定される可能性が高い。つまり、変動は局所的ではない。ウェハ同士の差、およびウェハの中心の周辺との差がある。ウェハ間の差は、「輝度」調節によって補正される。ウェハ内の変動は、突然でない限り感じられない。
前述した技術により形成されたプリントヘッドは、PCT特許出願第PCT/AU98/00544号で開示されたものと同様の印刷カメラ/システムに使用し得る。次に、プリントオンデマンドカメラシステムでの使用に適したプリントヘッドおよびインク供給構成について説明する。まず図96および図97から説明すると、インク供給ユニット430の形態にあるインク供給装置の部分が示されている。供給ユニットは、3つのインク貯蔵チャンバ521を備え、3色のインクをプリントヘッドの背面に供給するよう形成し得、プリントヘッドは、好ましい形態においてはプリントヘッドチップ431である。インクを公差が厳密なインク出口432からプリントヘッド431の後部へと流れさせるため、インクは、例えば符号434で示されるような一連のスロットを備えるインク分配成形部材すなわちマニホルド433によってプリントヘッドに供給される。出口432は非常に小さく、約100ミクロンの幅を有し、従って後述するハウジング495などのインク供給ユニットの隣接する相互作用構成要素より、はるかに高い精度で形成する必要がある。
プリントヘッドは、プリントヘッド口435の内側に接着剤を塗布することによって、その背面438および側面439に沿って取り付けることが好ましい。この方法において、接着剤は前記口とプリントヘッドの相互接続する面にのみ塗布され、プリントヘッドチップ431(図88参照)の後部に形成された精密なインク供給通路380を閉塞する危険が最小となる。成形部材433を通過するインクを濾過するよう、分配成形部材433の周囲に填るよう設計されたフィルタ436も設ける。
ってインクは、例えば、穴440および穴434を介して流れ得る。バッフル437は、幾つかの隔置されたバッフルまたはスラット441〜443を含むプラスチックの射出成形ユニットでよい。バッフルは、ポータブルプリンタの動作によって誘発され、この好ましい形態においてはプリントヘッドの縦方向に沿って最も破壊的であるような貯蔵チャンバ521内のインクの加速を減少させるよう、各インクチャンネル内に形成され、それと同時に能動的な要求に応答してインクがプリントヘッドに流れさせる。バッフルは、取り扱い中に流れの変動に対する混乱を最小限に抑えるよう、インクの携帯用キャリッジを効果的に提供する。
IJ46プリントヘッドは、他の印刷技術と比較した場合、多くの特徴及び利点を有する。ある場合には、これらの利点は、新しい機能から由来している。
他の場合には、上記利点は、従来技術に固有の問題を解決したことにより生じたものである。これらの利点の中のいくつかを以下に説明する。
(高解像度)
IJ46プリントヘッドの解像度は、走査方向および走査方向に直交する方向の双方において、1,600ドット/インチ(dpi)である。この解像度により、十分な写真画質のカラー画像を印刷し、高品質のテキスト(漢字を含む)を印刷することが可能である。さらに高い解像度も可能であり、特殊な用途用に、2,400dpi、および4,800dpiの解像度の研究が現在進められているが、大部分の用途には1,600dpiが選択される。先行して市販されている圧電素子装置の本当の解像度は120dpi程度であり、サーマルインクジェット装置の解像度は600dpi程度である。
(優れた画質)
高い画質は、高い解像度と、インク滴の正確な位置への印刷とを必要とする。IJ46プリントヘッドのモノリシックなページ幅の性質により、インク滴をミクロン未満の単位で印刷することが可能である。また、正しくない方向へのインク滴の吐出、静電気による変位、空気の擾乱および渦流をなくし、また、高度に一定なインク滴量および速度を維持することによっても、高い品質を達成している。また、画質は複数のインク濃度を使用しなくてもすむように十分な解像度を供給することによっても確実に達成される。5色または6色の「写真」インクジェットシステムは、染料の相互作用およびインク滴のサイズが絶対完全でなければ、中間色(肉色のような)においてハーフトーンの人工的な印刷物を生じる恐れがある。この問題は、IJ46プリントヘッドで使用している2層式3色システムにより解決することが可能である。
(高速(プリントヘッド当り30ppm))
プリントヘッドがページ幅を有しており、走査を必要としないため、高速印刷を行うことが可能である。フルカラーのA4サイズの1頁を印刷するのに必要な時間は2秒以下であるので、1つのプリントヘッドで、1分間あたり30ページ(ppm)を完全に印刷することが可能である。60ppm、90ppm、120ppm等を実現するために、複数のプリントヘッドを並行して使用することが可能である。IJ46プリントヘッドは、コストが安く、小型であるために、多重ヘッド構成は実用的である。
(低コスト)
IJ46プリントヘッドのノズル搭載密度が非常に高いので、プリントヘッド当りのチップ面積を小さくすることが可能である。そのため、多数のプリントヘッドチップを、同一ウェハ上に実装することが可能であるため、製造コストが安価になる。
(全デジタル動作)
デジタル中間調調整技術を用いたデジタル操作を完全に可能にするために、プリントヘッドの解像度は高く選択してある。そうすることによりカラーの非直線性(連続トーンプリンタの抱える1つの問題)を除去し、駆動ASICの設計が容易になる。
(インク滴が小さい)
真の1,600dpiの解像度を達成するためには、インク滴のサイズは小さくなければならない。IJ46プリントヘッドのインク滴のサイズは、1ピコリットル(1pl)である。先行して市販されている圧電素子装置、およびサーマルインクジェット装置のインク滴のサイズは約3〜30plである。
(インク滴速度の正確な制御)
インク滴吐出装置は、精度の高い機械的機構であり、バブル核形成に依存していないので、インク滴の速度を正確に制御することが可能である。これにより、媒体および空気の流れを制御し得る用途に使用することが可能なように、インク滴の速度を遅くし得る(3〜4メートル/秒)。アクチュエータに供給されるエネルギーを変化させることにより、かなり広い範囲でインク滴の速度を正確に変化させることが可能である。普通紙および比較的制御されていない状態における使用に適している高いインク滴の速度(10〜15メートル/秒)は、ノズルチャンバおよびアクチュエータの寸法を変化させることにより達成することが可能である。
(速乾性)
非常に高い解像度と、非常に小さいインク滴と、高い染料濃度との組合せにより、遥かに少ない水の噴出量でフルカラー印刷を行うことが可能である。1,600dpiの解像度を有するIJ46プリントヘッドは、600dpiのサーマルインクジェットプリンタが噴出する水の約33%しか噴出しない。それにより、迅速な乾燥が可能になり、紙に皺がよらなくなる。
(広い温度範囲)
IJ46プリントヘッドは、周囲温度の影響を打ち消すように設計されている。温度によるインクの特性の変化だけが動作に影響を与えるが、このような影響は電子的に補償することが可能である。使用温度範囲は、水性インクの場合、0℃〜50℃と予想される。(特殊な製造装置を必要としない)
IJ46プリントヘッドの製造プロセスは、すでに確立されている半導体製造産業からすべて導入したものである。大部分のインクジェットシステムは、高精度の特殊製造装置が必要になるため、実験室段階から生産段階へ移行する際に大きな困難に遭遇し、多大の費用を必要とする。
(高生産性)
月産10,000枚のウェハ生産で開始した6インチのCMOS工場は、年間約1800万個のプリントヘッドを生産することが可能である。月産20,000枚のウェハ生産で開始した8インチCMOS工場は、約6000万個のプリントヘッドを生産することが可能である。現在、世界中に、このようなCMOS工場が多数ある。
(低い工場設備費)
現在の0.5ミクロンの6インチCMOS工場を使用することが可能であるため、工場を安いコストで立ちあげることが可能である。これらの工場は、完全に自動化することができ、本質的には、CMOSロジック生産には時代遅れになっている。それ故、大量生産に「古い」現在の施設を使用することが可能である。大部分のMEMS後処理もCMOS工場で行うことが可能である。
(優れた耐光性)
インクを加熱しないので、使用することが可能である染料のタイプに関する制限が少ない。そのため、耐光性が最適になるように染料を選択することが可能である。アベシア(Avecia)社およびヘキスト(Hoechst)社のような企業が最近開発した染料は、耐光度4の耐光性を有する。この耐光性は、多くの顔料が有する耐光性と同一であり、現在まで使用されてきた写真用染料およびインクジェット染料の耐光性よりかなり優れ
ている。
(優れた耐水性)
耐光性と同様に、上記染料には熱的制限がないので、耐水性のような特性により染料を選択することが可能である。非常に高い耐水性(洗濯可能である布地に要求されるような)を有しているので、反応性染料を使用することが可能である。
(優れた色域)
高い色純度の透明な染料を使用することにより、オフセット印刷およびハロゲン化銀写真の色域よりかなり広い色域での印刷が可能になる。特に、オフセット印刷の場合には、使用する顔料からの光の散乱により、色域が狭くなる。3色システム(CMY)、または4色システム(CMYK)を使用することにより、
色域は、色頂点の間の四面体の体積に必然的に制限される。それ故、シアン、マゼンタおよびイエロー染料のスペクトルは、可能であるだけ純粋であることが重要である。純粋な赤、緑、および青を含む、若干広い「六角錐」色域は、6色(CMYRGB)モデルを用いて達成され得る。チップ幅が1ミリですむので、このような6色プリントヘッドを経済的に製造することが可能である。
(色滲みの解消)
前の色が濡れている間に異なる一次色を印刷すると、色間でインクが滲む。1600dpiの場合には、通常、インクの滲みによる画像のぼけはごくわずかであるが、インクの滲みが画像の中間色を「濁らせる」恐れがある。インクの滲みは、IJ46プリントヘッドが非常に適しているマイクロエマルジョンを基材とするインクを使用することにより解消することが可能である。マイクロエマルジョンインクを使用すると、ノズルの詰まりを防止することも助け、確実にインクを長期間安定させておくことが可能である。
(多いノズル数)
IJ46プリントヘッドは、モノリシックCMY3色写真プリントヘッドに19,200本のノズルを有する。この数は他のプリントヘッドと比較すると多いが、大量生産の際に、CMOS VLSIチップ上に通常集積されるデバイスの数と比較すると少ない。また、この数は、テキサスインスツルメンツ(Texas Instruments)社が、類似のCMOSおよびMEMSプロセスにより製造したデジタルマイクロミラーデバイス(DMD)内に集積する可動ミラーの数より3%少ない。
(A4ページ幅プリントヘッド当り51,200本のノズル)
A4/USレターのページ幅を印刷するための4色カラー(CMYK)IJ46プリントヘッドは、2つのチップを使用する。各0.66cm2のチップは、全部で51,200本のノズルのうちの25,600本のノズルを備える。
(駆動回路の集積化)
51,200のノズルを含むプリントヘッドにおいては、データ分配回路(シフトレジスタ)、データタイミングトランジスタ、およびノズルを含む駆動トランジスタを集積することが非常に重要である。さもないと、最低でも、51,201個の外部接続が必要になる。この要件は、駆動回路が圧電基板上に集積することができないため、圧電インクジェットにとって重大な問題である。数百万の接続部を集積するということは、高い収率で、大量生産されるCMOS VLSIチップ内において普通に行われていることである。制限しなければならないのはオフチップ接続の数である。
(モノリシック製造)
IJ46プリントヘッドは、1つのモノリシックCMOSチップとして製造される。それ故、精度の高い組立てを行う必要はない。すべての製造は、標準CMOS VLSIおよびMEMS(超小型電子機械システム)により行われる。サーマルインクジェットシステム、およびある種の圧電インクジェットシステムの場合には、ノズルプレートとプリントヘッドチップとの組立が、低い収率、低い解像度、サイズ制限の原因である。同様に、ページ幅アレイは、通常、複数のより小さなチップから形成される。これらのチップの組立および整合は、費用のかかるプロセスである。
(広い印刷幅用に拡張可能なモジュールタイプ)
2つまたはそれ以上の100ミリ幅のIJ46プリントヘッドを互いに突き合わせることにより、広いページ幅のプリントヘッドを作ることが可能である。IJ46プリントヘッドの端部は、隣接するチップに自動的に整合するように設計されている。1つのプリントヘッドを使用すると写真サイズのプリンタが形成され、2つのプリントヘッドを使用するとA4プリンタが形成され、4つのプリントヘッドを使用するとA3プリンタが形成される。高速デジタル印刷、ページ幅の広いフォーマットの印刷および布地印刷用には、より多数のプリントヘッドを使用することが可能である。
(両面動作) 全速の印刷速度における両面印刷は、非常に実用的なものである。最も簡単な方法は、紙の各側面上に1つずつ配置した2つのプリントヘッドを備える方法である。2つのプリントヘッドを設置するのに要するコストおよび複雑さの程度は、紙を裏返すための機械的システムのものよりは少ない。
(直線ペーパーパス)
ドラムを必要としないため、紙詰まりを起こす可能性を減らすために、直線的なペーパーパスを使用することが可能である。このことは、ページを裏返すために必要とされる複雑な機構が紙詰まりの主な原因となっているオフィス用両面印刷プリンタに特に関係する。
(高効率)
サーマルインクジェットプリントヘッドは、約0.01%程度の効率(電気エネルギーの入力に対する、粒子の運動エネルギー及び増加した界面エネルギー)しか有しない。IJ46プリントヘッドは、20倍を超える効率を有する。
(自己放熱動作)
各インク滴を吐出するために必要とされるエネルギーは160nJ(0.16μJ)であり、サーマルインクジェットプリンタが必要とするエネルギーの一部である。低エネルギーであるためプリントヘッドは吐出されたインクにより完全に冷却され、最悪の事態においても、わずか40℃のインク温度の上昇となる。ヒートシンクは不要である。
(低圧力)
IJ46プリントヘッドにおいて生じる最大圧力は、約60kPa(0.6気圧)である。サーマルインクジェット、及びバブルジェットシステムにおける気泡核生成、及び崩壊により生じる圧力は、一般的には10MPa(100気圧)を超え、これはIJ46プリントヘッドの最大圧力の160倍に相当する。バブルジェットやサーマルインクジェットの設計における高い圧力は、高い機械的応力を生じる。
(低電力)
30ppm/A4サイズのIJ46プリンタヘッドは、全3色を重ね合わせた黒を印刷するときに、約67ワットの電力を必要とする。5%の印字密度で印刷する場合、平均電力消費量は、わずか3.4ワットである。
(低電圧による作動)
IJ46プリントヘッドは、一般的なドライブASICと同様に、単一の3Vの電源供給により動作が可能である。サーマルインクジェットは、一般的には少なくとも20Vを必要とし、圧電素子インクジェットは、50Vを超える電圧を必要とすることが多い。IJ46プリントヘッドアクチュエータは、2.8Vの通常動作用に設計されており、駆動用トランジスタにおける0.2Vの電圧降下を許容して、3Vでチップの作動を達成する。
(2本、又は4本のAAバッテリーによる作動)
電圧消費量は、写真用IJ46プリントヘッドがAAバッテリーにより動作可能であるほど低い。典型的な6”×4”(15cm×10cm)の写真には、20J(駆動用トランジスタによる損失を含む)より少ない電力を必要とする。写真を2秒で印刷する場合には、4本のAAバッテリーの使用が推奨される。印刷時間が4秒まで延長される場合は、2本のAAバッテリーを使用可能である。
(バッテリー電圧補償)
IJ46プリントヘッドは、無調節電池電源によっても作動させることが可能であるた
め、電圧調節器における効率損失を排除する。このことは、相当な範囲の供給電圧において、一貫した動作を達成しなければならないことを意味する。IJ46プリントヘッドは、供給電圧を検知し、インク滴の体積を一定にするために、アクチュエータの動作を調節する。
(アクチュエータ及びノズルの小面積化)
IJ46プリントヘッドのノズル、アクチュエータ、及び駆動回路に必要な面積は1764μm2である。これは、圧電素子インクジェットノズルに必要な面積の1%に満たず、バブルジェットノズルに必要な面積の約5%である。アクチュエータ面積は、プリントヘッドの製造コストに直接的に影響を与える。
(プリントヘッド全体の小型化)
A4、30ppm、1,600dpi、4色プリントヘッドに使用するプリントヘッドアセンンブリ全体(インク供給チャネルを含む)は、210mm×12mm×7mmの大きさを有する。小型化により、ノート型コンピュータや、小型プリンタに組み込むことが可能となる。写真プリンタは106mm×7mm×7mmの大きさを有し、ポケットデジタルカメラ、パームトップPC、携帯電話/ファックス、等への組み込みを可能とさせる。インク供給チャネルが、この体積の大半を占める。プリントヘッドチップ自体は、わずか102mm×0.55mm×0.3mmの大きさを有する。
(小型ノズル封止システム)
IJ46プリントヘッドのために小型ノズル封止システムが設計された。写真プリンタ用のノズル封止システムは、わずか106mm×5mm×4mmであり、プリントヘッドを移動させる必要はない。
(高い製造歩留り)
IJ46プリントヘッドの製造歩留り(成熟時)は、プリントヘッドが主としてわずか0.55cm2の面積を有するデジタルCMOSチップであることから、少なくとも80%になると見積られる。最新のCMOSプロセスは、1cm2を超えるチップ面積においても高い歩留りを達成する。約1cm2よりも小さいチップにおいては、コストはチップ面積にほぼ比例する。コストは、1〜4cm2チップにおいて急激に上昇し、これよりも大きいサイズのチップはほとんど実用的ではない。1cm2よりも小さいチップ面積の確保する強い動機である。サーマルインクジェット及びバブルジェットプリントヘッドにおいて、チップ幅は一般的には約5mmであり、対費用効果のよいチップ長は約2cmに限定される。IJ46プリントヘッド開発の主要な目的は、可能な限りチップ幅を減少させて対費用効果のよいモノリシックページ幅プリントヘッドを可能にすることにある。
(プロセスの簡略化)
デジタルIC製造において、デバイスのマスクの複雑化は、製造コスト又は難易度にほとんど影響を及ぼさない。コストは工程数とリソグラフィの限界寸法に比例する。IJ46プリントヘッドは、標準的0.5μシングルポリトリプルメタル(single poly triple metal)CMOS製造プロセスと、これに加えて5つのMEMSマスク工程を使用す
る。これにより、典型的な5層の金属を有する0.25μCMOSロジックプロセスよりも製造プロセスを単純化する。
(検査の簡略化)
IJ46プリントヘッドは、ウェハプローブ工程において大半の検査の完了を可能にするテスト回路を備える。アクチュエータの抵抗を含む、全ての電気特性の検査をこの工程で完了することが可能である。しかし、アクチュエータの動作は、犠牲材料を取り除いた後でないと検査することができないので、最終検査は、パッケージされたチップで行われる。
(低コストパッケージ)
IJ46プリントヘッドは、射出成形されたポリカーボネートパッケージでパッケージされる。全接続は、テープオートメーテッドボンディング(TAB)技術(ワイヤボンディングをオプションとして使用することもある)により形成される。全ての接続は、チップの一辺に沿っている。
(アルファ粒子に対する感度がない)
スタティックレジスタ以外にはメモリ素子がないため、パッケージにおいてアルファ粒子の放出を考慮する必要がない。アルファ粒子の通過による状態変化は、紙に印刷したときに、1つの余分なドットを生じるのみである(又は生じない)。
(限界寸法の緩和)
IJ46プリントヘッドCMOS駆動回路の限界寸法(CD)は、0.5ミクロンである。マイクロプロセッサのような最新式のデジタルICは、0.25ミクロンのCDを使用し、IJ46プリントヘッドが必要とするよりも2世代進んだデバイスである。MEMS後プロセス工程の大部分は、1ミクロン以上のCDを有する。
(製造における低応力)
製造中のデバイスのクラッキングは、サーマルインクジェット及び圧電素子装置の双方において深刻な問題である。この問題は、製造可能なプリントヘッドの大きさを限定する。IJ46プリントヘッドの製造にかかる応力はCMOS作製に必要とされるものより大きくなることはない。
(走査による濃度ムラの解消)
IJ46プリントヘッドはページの全幅にわたる幅を有するので走査は行わない。これにより、インクジェットプリンタの最も重要な画質についての問題点を排除する。他の原因(位置ズレしたインク滴、プリントヘッド位置合わせ)による濃度ムラ(Banding)は、ページ幅のプリントヘッドにおいて一般的に重要な問題である。濃度ムラにおけるこれらの原因も本発明の対象としている。
(「完璧な」ノズル位置合わせ)
プリントヘッド内の全てのノズルは、プリントヘッドのリソグラフィに使用される0.5ミクロンのステッパにより、サブミクロンの精度で位置決めされている。A4ページ幅のプリントヘッドを形成するために、2つの4”(10センチメートル)プリントヘッドのノズル位置合わせが、プリントヘッドチップ上の機械的位置合わせ特性の補助により、達成される。これにより、自動機械的位置合わせを(2つのプリントヘッドチップを単純に押し合うことにより)1ミクロン以内にすることが可能となる。特別の用途において、より微細な位置合わせが必要となるときは、4”プリントヘッドは、光学的に位置合わせされることもある。
(サテライトインク滴の解消)
極小インク滴サイズ(1pl)と中程度のインク滴速度(3m/s)により、画質の問題点の主要因であるサテライトインク滴が排除される。約4m/sにおいて、サテライトインク滴が形成されるが、もとのインク滴に追いつく。約4.5m/s以上においては、もとのインク滴に対して多様な速度を有して、サテライトインク滴が形成される。特に問題となるのは、プリントヘッドに対して負の速度を有するため、プリントヘッド表面に堆積されることが多くなるようなサテライトインク滴である。これは、高速(約10m/s)なインク滴速度を用いる場合に回避が困難な問題点である。
(層流のエアフロー)
低いインク滴速度は、インク滴の印刷媒体上の良好な配置のために、渦(eddy)を有さない空気の層流を必要とする。これは、プリントヘッドパッケージの設計により達成される。普通紙への適用や、他の粗い表面上に印刷するためには、より高いインク滴速度が望ましい。15m/sまでのインク滴速度は、多様な設計寸法を使用することにより達成可能である。4m/sインク滴速度の3色写真プリントヘッドと15m/sインク滴速度の4色普通紙プリントヘッドを同一のウェハに作製することが可能である。これは、同一のプロセスパラメータを使用して双方を形成することが可能であるからである。
(位置ズレしたインク滴がない)
位置ズレしたインク滴は、ノズルの周囲に、プリントヘッド表面の疎水性コーティングが併設された領域に、インク滴が散乱することを防止する薄いリムを配置することにより排除される。
(熱的クロストークがない)
バブルジェットや他のサーマルインクジェットシステムにおいて、隣接するアクチュエータに電圧が印加されると、1つのアクチュエータから放出された熱は他のアクチュエータに広がり、噴射性に影響を与える。IJ46プリントヘッドにおいては、1つのアクチュエータから隣接するアクチュエータに拡散する熱は、ヒータ層と湾曲相殺層の双方に均等に影響し、パドル位置には何の影響も与えない。これにより、熱的クロストークが事実上排除される。
(流体クロストークがない)
同時に発射する各ノズルは、(薄くされた)ウェハを貫通してエッチングされた300ミクロン長のインク流入部の末端にある。これらのインク流入部は、低い流体抵抗を有する大きなインクチャネルに接続される。事実上この構造においては、1つのノズルからのインク滴の吐出が他のノズルに影響を及ぼさない。
(構造的クロストークがない)
これは圧電素子プリントヘッドについて共通な問題である。この問題は、IJ46プリントヘッドにおいては生じない。
恒久型プリントヘッド
IJ46プリントヘッドは、恒久的に組み入れることが可能である。プリントヘッドを消耗品に含める必要がないため、消耗品の製造コストは劇的に低減される。
(コゲーションがない)
コゲーション(焦げたインク、溶媒、及び不純物の燃え殻)は、バブルジェット及び他のサーマルインクジェットプリントヘッドにおける重要な問題である。IJ46プリントヘッドにおいては、インクは直接加熱されないため、この問題を有さない。
(キャビテーションがない)
気泡の激しい崩壊により生じる壊食は、バブルジェット及び他のサーマルジェットプリントヘッドの寿命を制限する別の問題点である。IJ46プリントヘッドは、気泡が形成されないため、この問題が生じない。
(エレクトロマイグレーションがない)
IJ46プリントヘッドのアクチュエータやノズルにおいては、金属が使用されず、全てセラミックである。従って、実際のインクジェットデバイスにおいてエレクトロマイグレーションに関する問題がない。CMOS金属層は、エレクトロマイグレーションを起こすことなく、要求される電流を流すように設計されている。この考察は、高速CMOSスイッチングではなくヒータ駆動電力から生じるため、容易に達成される。
(確実な電力接続)
IJ46プリントヘッドの電力消費はサーマルインクジェットプリントヘッドよりも50倍少ないが、高速印刷や低電圧は結果的に相当に高い電流消費となる。最悪の場合は、3ボルトの供給により写真のIJ46プリントヘッドによる2秒の印刷のための電流が4.9Ampである。電流は、銅のバスバーを通じ、チップの端部に沿って256個のボンドパッドに供給される。各ボンドパッドは、最大40mAの電流を流す。駆動トランジスタに通じるオンチップコンタクト及びバイアは、1.5mAのピーク電流を1.3μ秒、最大平均値12mAを流す。
(腐食がない)
ノズルとアクチュエータは全て、ガラス、及びCMOSデバイスに置いて金属バリア層として一般的に使用される導電性セラミックである窒化チタン(TiN)により形成される。これらの材料は、腐食に対し高い耐性を有する。
(電解の解消)
インクはいかなる電気的ポテンシャルとも接触しないため、電解は起こらない。
(疲労がない)
全てのアクチュエータ動作は弾性限界内であるため、使用される材料は全てセラミックであり、疲労は起こらない。
(摩擦がない)
動く表面との接触がないため、摩擦は生じない。
スティクションがない
IJ46プリントヘッドは、多数のMEMSデバイスに共通する問題であるスティクションを排除するように設計されている。スティクションは、「スティック(接着)」と「フリクション(摩擦)」を組み合わせた言葉であり、MEMSにおいては、力の相対的スケーリングのため特に有意である。IJ46プリントヘッドにおいては、パドルは基板中の孔を覆って吊られているので、吊られてなければ生じるであろうパドルから基板のスティクションを排除する。
(亀裂伝播がない)
材料にかけられる応力は、典型的なTiN及びガラス層の表面粗さにおいて、亀裂伝播を生じる応力の1%に満たない。応力のホットスポットを最小化するため、角は丸くしている。ガラスには常に、引張応力よりも亀裂伝播に対して格段の耐性を有する圧縮応力がかけられている。
(電気分極が不要)
圧電性材料は、プリントヘッド構造に形成された後に分極する必要がある。この分極には、非常に高い、約20,000V/cmの、電界強度が必要とされる。高電圧を必要とするため、一般的には圧電素子プリントヘッドのサイズは約5cmに限定され、分極のために100,000Vを必要とする。IJ46プリントヘッドは分極を必要としない。
(整流による拡散がない)
周期的圧力変化による気泡生成である、整流による拡散(rectified
diffusion)は、圧電素子インクジェットにおいて主として問題を生じる不具合である。IJ46プリントヘッドは、インク圧が負圧にならないため、整流による拡散を防止するように設計されている。
(切断路の削減)
ウェハにおけるチップ間の切断路(saw street)は、一般的には200ミクロンである。これは、ウェハ面積の26%を占める。この代わりにプラズマエッチングを使用すると、ウェハ面積の4%しか必要としない。プラズマエッチングの使用は、ソーイングにおける破壊も排除する。
(標準的ステッパを使用したリソグラフィ)
IJ46プリントヘッドは100mm長であるが、標準的ステッパ(典型的には約20mm四方の結像領域を有する)を使用する。これはプリントヘッドが8つの同一の露光を使用して「縫合」されるためである。縫合における整合は、縫合領域において電気接続が形成されないため重大ではない。32個のそれぞれのプリントヘッドの部分は、ステッパの各露光で像が形成され、露光ごとに「平均」4個のプリントヘッドが形成される。
(1枚のチップ上にフルカラー集積)
IJ46プリントヘッドにおいては、必要な全色を1枚のチップに集積する。これはページ幅の「エッジシューター」型インクジェット技術においては不可能である。
(多種類のインク)
IJ46プリントヘッドのインク滴の吐出はインクの特性に依存しない。インクは、水性、マイクロエマルジョン、油性、多様なアルコール、MEK、溶融ワックス、又は他の溶媒を基部としていている場合がある。IJ46プリントヘッドは、様々な粘性、及び表面張力を有するインクに使用することが可能である。これは、多様な用途を可能とする際に重要な要因である。
(渦を有さない空気の層流)
プリントヘッドパッケージは、気流が層流であり、渦(eddy)を排除することを確保するように設計されている。インク滴サイズが小さいため渦すなわち乱流が画質を劣化させることがあので、上記は重要である。
(インク滴の繰り返し周期)
写真用IJ46プリントヘッドの公称インク滴周期は5kHzであり、写真1枚で2秒の印刷速度に帰着する。A4プリントヘッドのための公称インク滴周期は、30ppmを超えるA4印刷においては10kHzである。最高インク滴周期は主としてノズルリフィ
ルレートにより限定されるが、このノズルリフィルレートは、加圧されないインクを使用して可動するときは表面張力により決定される。50kHzのインク滴周期は正のインク圧(約20kPa)を使用するときに可能である。しかし、最も低コストの消費者向け用途としては、もっぱら34ppmが適切である。商業的印刷物のような非常に高速な用途においては、高速な紙送りと併せて複数のプリントヘッドを使用することが可能である。低電力動作(例えば2本のAAバッテリによる動作)のためには、電力を削減するために、インク滴周期を減少させることが可能である。
(ヘッドと紙との相対速度が遅い)
写真用IJ46プリントヘッドのヘッド対紙の公称速度はわずか0.076m/secである。A4のプリントヘッド用においては、この速度は、典型的な走査型インクジェットヘッドの速度の約1/3である、わずか0.16m/secである。この低速度は、プリンタの設計を容易にし、インク滴の配置の精度を向上させる。しかし、このヘッドと紙との相対速度は、ページ幅のプリントヘッドのため、34ppm印刷用には十分である。必要であれば、容易にさらに高速にすることが可能である。
(高速CMOSが不要)
30ppmで動作するA4/レター版プリントヘッド用としては、プリントヘッドシフトレジスタのクロック速度はわずか14MHzである。写真用プリンタ用としては、クロック速度はわずか3.84MHzである。これは、使用されたCMOSプロセスの速度能力よりもずっと低速である。このことは、CMOS設計を単純にし、白に近い画像を印刷するときの電力損失の問題を排除する。
(完全なスタティックCMOS設計)
シフトレジスタ及びトランスファレジスタは、完全にスタティック設計である。スタティック設計は、ダイナミックデザインのために必要な約13個に比較して、ノズルにつき35個のトランジスタを必要とする。しかし、スタティックデザインには、ノイズに対するより高い耐性、休止状態における低消費電力、及びより大きなプロセス許容誤差を含む、いくつかの長所がある。
(幅が広いパワートランジスタ)
パワートランジスタの幅対長さ比は、688である。これは、4オームのオン抵抗値を許容し、3Vで動作させるとき、駆動トランジスタはアクチュエータの電力の6.7%を消費する。このサイズのトランジスタは、シフトレジスタや他のロジック回路とともに、アクチュエータの下に収まる。従って、適切な駆動トランジスタは、付属するデータ伝送回路を伴っても、アクチュエータにより必要とされていないチップ面積を使うことはない。
(適用範囲)
本明細書に記載されたインクジェット印刷技術は、広い範囲の印刷装置に適合する。
1.カラー及び白黒オフィスプリンタ
2.SOHOプリンタ
3.家庭用PCプリンタ
4.ネットワークに接続されたカラー及び白黒プリンタ
5.部門別プリンタ
6.写真用プリンタ
7.カメラに組み込まれたプリンタ
8.3G携帯電話内蔵プリンタ
9.携帯用及びノート型プリンタ
10.幅が広い媒体用プリンタ
11.カラー及び白黒コピー機
12.カラー及び白黒ファックス
13.印刷、ファックス、スキャナ、及びコピー機能を組み合わせた多機能プリンタ
14.業務用デジタルプリンタ
15.短時間運転デジタルプリンタ
16.梱包用プリンタ
17.生地用プリンタ
18.短時間運転デジタルプリンタ
19.オフセット印刷補助プリンタ
20.低コスト走査型プリンタ
21.高速ページ幅プリンタ
22.ページ幅プリンタ内蔵ノート型コンピュータ
23.携帯用カラー及び白黒プリンタ
24.ラベルプリンタ
25.チケットプリンタ
26.店頭レシートプリンタ
27.大型CAD用プリンタ
28.写真加工プリンタ
29.ビデオプリンタ
30.フォトCDプリンタ
31.壁紙プリンタ
32.積層プリンタ
33.室内サインプリンタ
34.広告看板プリンタ
35.ビデオゲームプリンタ
36.写真「キオスク」プリンタ
37.名刺プリンタ
38.挨拶状プリンタ
39.書籍プリンタ
40.新聞プリンタ
41.雑誌プリンタ
42.帳票プリンタ
43.デジタル写真アルバムプリンタ
44.医療用プリンタ
45.自動車用プリンタ
46.粘着ラベルプリンタ
47.色校正用プリンタ
48.故障許容商業用プリンタアレイ
(従来のインクジェット技術)
確立されたインクジェット製造者から、近い将来に同様な能力のプリントヘッドが市販される見込みはない。これは、主要な2つの競業する商品である、サーマルインクジェット及び圧電素子インクジェットのそれぞれが、適用の要件を満たす深刻な基本的問題を有するためである。
じている。サーマルインクジェットにおいては、インクを押し出す蒸気の気泡を生成するために、水分を急激に沸騰させる。水は非常に高い熱容量を有し、サーマルインクジェットの用途においては、過熱される必要がある。高電力消費は、ノズル搭載密度を限定する。
(IJ46プリントヘッド及びサーマルインクジェット(TIJ)の印刷メカニズムの比較)
Claims (4)
- インクジェットプリントヘッドにおいて、該インクジェットプリントヘッドは、
ウェハ基板と、
前記ウェハ基板上に設けられたインク吐出用の一連のインク吐出ノズル部材であって、各々のインク吐出ノズル部材はノズルチャンバを形成するチャンバ壁と、同チャンバ壁の側壁部に形成されたスロットを貫通して前記ノズルチャンバの外側からノズルチャンバの内部にまで前記ウェハ基板に沿って延びるアクチュエータとを有し、前記チャンバ壁はその頂壁部に前記ノズルチャンバと外気とを連通させるインク吐出開口を有し、前記ノズルチャンバ内での前記アクチュエータの前記インク吐出開口への移動は、前記ノズルチャンバ内のインクを前記インク吐出開口から流出させる、前記インク吐出ノズル部材と、
使用時に第1のインクメニスカスを形成するように、各々の前記インク吐出開口の周りに設けられたメニスカスリムであって、前記アクチュエータが元の位置に戻る動きは前記第1のインクメニスカスをくびれさせ、切り離すことと、
各々の前記スロットの近傍において、前記アクチュエータと一体移動可能なように同アクチュエータ上に取り付けられるバリアであって、同バリアは前記チャンバ壁の側壁部との間にピットを形成するように、同側壁部から外側に離間した位置において前記アクチュエータから同側壁部に沿って延びており、前記バリアと前記チャンバ壁との間に第2のインクメニスカスを形成するように、前記インクが前記ノズルチャンバから前記スロットを通じて前記ピットに流れ込む、前記バリアと、
を備えるインクジェットプリントヘッド。 - 前記メニスカスリムが、化学的機械的平坦化技術を用いて形成される、請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記メニスカスリムが、PECVD TEOSから形成される、請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記メニスカスリムが、窒化ケイ素から形成される、請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7011390B2 (en) * | 1997-07-15 | 2006-03-14 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printing mechanism having wide format printing zone |
US6188415B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-02-13 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printer having a thermal actuator comprising an external coil spring |
US7287836B2 (en) * | 1997-07-15 | 2007-10-30 | Sil;Verbrook Research Pty Ltd | Ink jet printhead with circular cross section chamber |
US7468139B2 (en) | 1997-07-15 | 2008-12-23 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of depositing heater material over a photoresist scaffold |
US6682174B2 (en) | 1998-03-25 | 2004-01-27 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet nozzle arrangement configuration |
US6582059B2 (en) * | 1997-07-15 | 2003-06-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Discrete air and nozzle chambers in a printhead chip for an inkjet printhead |
AUPP653998A0 (en) * | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46B) |
US7556356B1 (en) | 1997-07-15 | 2009-07-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead integrated circuit with ink spread prevention |
US7465030B2 (en) | 1997-07-15 | 2008-12-16 | Silverbrook Research Pty Ltd | Nozzle arrangement with a magnetic field generator |
US7337532B2 (en) * | 1997-07-15 | 2008-03-04 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacturing micro-electromechanical device having motion-transmitting structure |
AUPP398798A0 (en) * | 1998-06-09 | 1998-07-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (ij43) |
US6513908B2 (en) * | 1997-07-15 | 2003-02-04 | Silverbrook Research Pty Ltd | Pusher actuation in a printhead chip for an inkjet printhead |
AUPP654598A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46h) |
US6648453B2 (en) | 1997-07-15 | 2003-11-18 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printhead chip with predetermined micro-electromechanical systems height |
US6471336B2 (en) * | 1997-07-15 | 2002-10-29 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Nozzle arrangement that incorporates a reversible actuating mechanism |
US6712453B2 (en) | 1997-07-15 | 2004-03-30 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Ink jet nozzle rim |
US6935724B2 (en) | 1997-07-15 | 2005-08-30 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet nozzle having actuator with anchor positioned between nozzle chamber and actuator connection point |
US6733116B1 (en) * | 1998-10-16 | 2004-05-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printer with print roll and printhead assemblies |
US6959981B2 (en) | 1998-06-09 | 2005-11-01 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead nozzle having wall actuator |
US6742873B1 (en) | 2001-04-16 | 2004-06-01 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead construction |
US7677686B2 (en) * | 1998-10-16 | 2010-03-16 | Silverbrook Research Pty Ltd | High nozzle density printhead ejecting low drop volumes |
US7815291B2 (en) * | 1998-10-16 | 2010-10-19 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead integrated circuit with low drive transistor to nozzle area ratio |
US7028474B2 (en) * | 1998-10-16 | 2006-04-18 | Silverbook Research Pty Ltd | Micro-electromechanical actuator with control logic circuitry |
US7419250B2 (en) * | 1999-10-15 | 2008-09-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micro-electromechanical liquid ejection device |
US7182431B2 (en) | 1999-10-19 | 2007-02-27 | Silverbrook Research Pty Ltd | Nozzle arrangement |
US6994424B2 (en) * | 1998-10-16 | 2006-02-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead assembly incorporating an array of printhead chips on an ink distribution structure |
US6902255B1 (en) * | 1998-10-16 | 2005-06-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printers |
US7216956B2 (en) * | 1998-10-16 | 2007-05-15 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead assembly with power and ground connections along single edge |
AUPP702198A0 (en) * | 1998-11-09 | 1998-12-03 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (ART79) |
JP2004501006A (ja) * | 2000-06-30 | 2004-01-15 | シルバーブルック リサーチ ピーティワイ リミテッド | プリントエンジン用インキ供給機構 |
US7431427B2 (en) * | 2002-06-13 | 2008-10-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink supply arrangement with improved ink flows |
US7052117B2 (en) | 2002-07-03 | 2006-05-30 | Dimatix, Inc. | Printhead having a thin pre-fired piezoelectric layer |
US7281778B2 (en) | 2004-03-15 | 2007-10-16 | Fujifilm Dimatix, Inc. | High frequency droplet ejection device and method |
US8491076B2 (en) | 2004-03-15 | 2013-07-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Fluid droplet ejection devices and methods |
US7387370B2 (en) * | 2004-04-29 | 2008-06-17 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microfluidic architecture |
US7293359B2 (en) * | 2004-04-29 | 2007-11-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for manufacturing a fluid ejection device |
KR20070087223A (ko) | 2004-12-30 | 2007-08-27 | 후지필름 디마틱스, 인크. | 잉크 분사 프린팅 |
JP2009511293A (ja) * | 2005-10-10 | 2009-03-19 | シルバーブルック リサーチ ピーティワイ リミテッド | インクジェット印字ヘッド用低損失電極接続 |
US7682008B2 (en) * | 2006-12-05 | 2010-03-23 | Xerox Corporation | Printhead reservoir with siphon vents |
US7988247B2 (en) | 2007-01-11 | 2011-08-02 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Ejection of drops having variable drop size from an ink jet printer |
US8284467B2 (en) * | 2007-01-16 | 2012-10-09 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Intelligent toner saving for color copying |
KR101430267B1 (ko) * | 2007-08-14 | 2014-08-18 | 엘지전자 주식회사 | 무선통신시스템에서의 데이터 전송방법 |
US9221056B2 (en) | 2007-08-29 | 2015-12-29 | Canon U.S. Life Sciences, Inc. | Microfluidic devices with integrated resistive heater electrodes including systems and methods for controlling and measuring the temperatures of such heater electrodes |
US7974637B1 (en) * | 2007-09-24 | 2011-07-05 | Mikael Bror Taveniku | Passive mode tracking through existing and future wireless networks |
US7914109B2 (en) * | 2007-11-26 | 2011-03-29 | Eastman Kodak Company | Liquid drop dispenser with movable deflector |
JP5081598B2 (ja) * | 2007-12-06 | 2012-11-28 | 理想科学工業株式会社 | 印刷装置 |
US7914121B2 (en) * | 2008-02-01 | 2011-03-29 | Eastman Kodak Company | Liquid drop dispenser with movable deflector |
US8226213B2 (en) * | 2008-05-05 | 2012-07-24 | Zamtec Limited | Short pulsewidth actuation of thermal bend actuator |
US7946687B2 (en) * | 2008-05-05 | 2011-05-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Thermal bend actuator comprising bent active beam having resistive heating bars |
US8322207B2 (en) * | 2008-09-25 | 2012-12-04 | Silverbrook Research Pty Ltd | Tack adhesion testing device |
US20100071456A1 (en) * | 2008-09-25 | 2010-03-25 | Silverbrook Research Pty Ltd | Tack adhesion testing device |
EP2340172A1 (en) * | 2008-09-29 | 2011-07-06 | Silverbrook Research Pty Ltd | Efficient inkjet nozzle assembly |
JP2011023463A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Denso Corp | 半導体モジュール |
US8323993B2 (en) * | 2009-07-27 | 2012-12-04 | Zamtec Limited | Method of fabricating inkjet printhead assembly having backside electrical connections |
US9011570B2 (en) | 2009-07-30 | 2015-04-21 | Lockheed Martin Corporation | Articles containing copper nanoparticles and methods for production and use thereof |
US9072185B2 (en) | 2009-07-30 | 2015-06-30 | Lockheed Martin Corporation | Copper nanoparticle application processes for low temperature printable, flexible/conformal electronics and antennas |
JP5903769B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2016-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
US8706415B2 (en) * | 2011-05-23 | 2014-04-22 | Microsoft Corporation | Changing emphasis of list items in a map navigation tool |
JP2013014130A (ja) * | 2011-06-06 | 2013-01-24 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドのプリカーサ制御装置及び制御方法 |
US8643140B2 (en) * | 2011-07-11 | 2014-02-04 | United Microelectronics Corp. | Suspended beam for use in MEMS device |
JP5971037B2 (ja) * | 2012-08-31 | 2016-08-17 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
JP6007678B2 (ja) * | 2012-08-31 | 2016-10-12 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
US9129715B2 (en) | 2012-09-05 | 2015-09-08 | SVXR, Inc. | High speed x-ray inspection microscope |
WO2014088533A1 (en) | 2012-12-03 | 2014-06-12 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Multi-part fluid flow structure |
US8915568B2 (en) * | 2013-04-29 | 2014-12-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | System and method for adaptive printhead temperature control |
CN106232366B (zh) * | 2014-04-22 | 2018-01-19 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 流体流道结构 |
CN106255598B (zh) | 2014-04-25 | 2018-10-16 | 惠普发展公司有限责任合伙企业 | 选择喷嘴 |
JP6492891B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2019-04-03 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置及び液体吐出装置ユニット |
WO2016158922A1 (ja) * | 2015-04-02 | 2016-10-06 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッドの駆動装置、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
EP3341199B1 (en) * | 2015-11-05 | 2023-05-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printing apparatuses |
JP6623846B2 (ja) | 2016-03-03 | 2019-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | 流体噴射装置 |
JP6707907B2 (ja) | 2016-03-03 | 2020-06-10 | セイコーエプソン株式会社 | 流体噴射装置 |
US11260656B2 (en) * | 2017-12-15 | 2022-03-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Setpoint registers to adjust firing pulses |
US11559984B2 (en) | 2018-07-13 | 2023-01-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Increasing temperatures of printing elements |
JP7135622B2 (ja) | 2018-09-11 | 2022-09-13 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッド |
SE543118C2 (en) | 2018-09-15 | 2020-10-06 | Coloreel Group AB | Method and a system for in-line treatment of thread |
JP7293668B2 (ja) * | 2019-01-29 | 2023-06-20 | セイコーエプソン株式会社 | 集積回路装置、及び液体吐出装置 |
CN115723430A (zh) | 2019-02-06 | 2023-03-03 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 打印部件和操作打印部件的方法 |
BR112021014334A2 (pt) | 2019-02-06 | 2021-09-21 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Matriz para um cabeçote de impressão |
CN113396065B (zh) | 2019-02-06 | 2022-11-18 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 用于打印头的管芯、包括管芯的打印头和形成管芯的方法 |
KR20210104903A (ko) | 2019-02-06 | 2021-08-25 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 유체 다이용 어드레스 드라이버가 있는 집적 회로 |
PT3710260T (pt) | 2019-02-06 | 2021-08-19 | Hewlett Packard Development Co | Matriz para uma cabeça de impressão |
AU2019428181B2 (en) | 2019-02-06 | 2023-11-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Data packets comprising random numbers for controlling fluid dispensing devices |
CN113412466B (zh) | 2019-02-06 | 2024-05-07 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 流体喷射控制器接口、流体喷射控制方法和流体喷射装置 |
CN115339241B (zh) | 2019-02-06 | 2024-05-07 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 访问流体喷射设备的寄存器 |
ES2904246T3 (es) | 2019-02-06 | 2022-04-04 | Hewlett Packard Development Co | Troquel de un cabezal de impresión |
JP7230666B2 (ja) * | 2019-04-23 | 2023-03-01 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド用のドライバic、サーマルプリントヘッド、および、サーマルプリントヘッドの配線パターン |
JP7356819B2 (ja) * | 2019-05-23 | 2023-10-05 | 東芝テック株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出方法 |
JP7293049B2 (ja) * | 2019-08-26 | 2023-06-19 | キヤノン株式会社 | 現像部材、電子写真プロセスカートリッジおよび電子写真画像形成装置 |
WO2022025902A1 (en) * | 2020-07-30 | 2022-02-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Print adjustments based on air measurements |
WO2022032109A1 (en) * | 2020-08-06 | 2022-02-10 | The Regents Of The University Of Michigan | Electrohydrodynamic jet printed photonic devices |
CN111755364B (zh) * | 2020-08-13 | 2023-04-07 | 抚州华成半导体科技有限公司 | 一种半导体二极管生产设备 |
CN112198865B (zh) * | 2020-09-29 | 2022-03-25 | 中电海康无锡科技有限公司 | 一种mcu低功耗模式切换的测试方法、装置及系统 |
CN113486454B (zh) * | 2021-09-07 | 2021-11-09 | 中国空气动力研究与发展中心低速空气动力研究所 | 一种液滴的目标释放位置的计算方法 |
US12011928B2 (en) | 2022-05-11 | 2024-06-18 | Funai Electric Co., Ltd. | Self-cleaning nozzle plate |
CN117451769B (zh) * | 2023-12-19 | 2024-03-15 | 四川省水利科学研究院 | 一种堆石混凝土施工质量检测方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52126227A (en) * | 1976-04-14 | 1977-10-22 | Nec Corp | Manufacture of high precision fine nozzle |
JPS57113078A (en) * | 1980-11-07 | 1982-07-14 | Philips Nv | Manufacture of jet nozzle board for ink jet printing head |
JPS6157345A (ja) * | 1984-08-29 | 1986-03-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジエツト記録装置 |
Family Cites Families (278)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3247790A (en) * | 1963-09-30 | 1966-04-26 | Harris Intertype Corp | Printing press |
GB1344627A (en) | 1970-09-04 | 1974-01-23 | Int Computers Ltd | System for controlling the position of the movable element of an actuator honing machines |
US4330787A (en) * | 1978-10-31 | 1982-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording device |
US4452136A (en) | 1979-10-19 | 1984-06-05 | International Business Machines Corporation | Printer subsystem with dual cooperating microprocessors |
US4736089A (en) * | 1980-05-05 | 1988-04-05 | Texas Instruments Incorporated | Switching regulator for terminal printhead |
DE3125259A1 (de) | 1980-06-27 | 1982-06-03 | Ricoh Co., Ltd., Tokyo | Ausgabeeinrichtung mit thermokopf |
JPS5764563A (en) | 1980-10-07 | 1982-04-19 | Fuji Xerox Co Ltd | Ink particle jet apparatus of multi-nozzle ink jet printer |
JPS5881181A (ja) | 1981-11-06 | 1983-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 感熱記録ヘツド |
DE3217248C2 (de) | 1982-05-07 | 1986-01-02 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Anordnung zum Ausstoß von Tintentröpfchen |
US4593295A (en) | 1982-06-08 | 1986-06-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet image recording device with pitch-shifted recording elements |
US4480259A (en) * | 1982-07-30 | 1984-10-30 | Hewlett-Packard Company | Ink jet printer with bubble driven flexible membrane |
IT1156090B (it) | 1982-10-26 | 1987-01-28 | Olivetti & Co Spa | Metodo e dispositivo di stampa a getto d inchiostro |
US4728392A (en) * | 1984-04-20 | 1988-03-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink jet printer and method for fabricating a nozzle member |
DE3528064A1 (de) | 1984-08-06 | 1986-02-13 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Fluessigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und damit versehenes fluessigkeitsstrahlaufzeichnungsgeraet |
JPS6157734A (ja) | 1984-08-27 | 1986-03-24 | 株式会社大林組 | ボツクス型鉄骨柱の連結方法 |
JPS6157346A (ja) | 1984-08-28 | 1986-03-24 | Taiyo Kogyo Kk | 微量噴射用ノズルの製造方法 |
US5302971A (en) | 1984-12-28 | 1994-04-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge recording apparatus and method for maintaining proper ink viscosity by deactivating heating during capping and for preventing overheating by having plural heating modes |
IT1183811B (it) * | 1985-05-02 | 1987-10-22 | Olivetti & Co Spa | Circuito di pilotaggio per un elemento di scrittura a getto di inchiostro e relativo metodo di dimensionamento e di fabbricazione |
US4695106A (en) | 1985-05-13 | 1987-09-22 | Amp Incorporated | Surface mount, miniature connector |
US4612554A (en) | 1985-07-29 | 1986-09-16 | Xerox Corporation | High density thermal ink jet printhead |
US4635073A (en) | 1985-11-22 | 1987-01-06 | Hewlett Packard Company | Replaceable thermal ink jet component and thermosonic beam bonding process for fabricating same |
US4678680A (en) | 1986-02-20 | 1987-07-07 | Xerox Corporation | Corrosion resistant aperture plate for ink jet printers |
US4752783A (en) * | 1986-03-27 | 1988-06-21 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Thermal-electrostatic ink jet recording method and apparatus |
US4894664A (en) | 1986-04-28 | 1990-01-16 | Hewlett-Packard Company | Monolithic thermal ink jet printhead with integral nozzle and ink feed |
JPS63116857A (ja) | 1986-11-06 | 1988-05-21 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
US4791435A (en) * | 1987-07-23 | 1988-12-13 | Hewlett-Packard Company | Thermal inkjet printhead temperature control |
US4751528A (en) | 1987-09-09 | 1988-06-14 | Spectra, Inc. | Platen arrangement for hot melt ink jet apparatus |
US4812859A (en) * | 1987-09-17 | 1989-03-14 | Hewlett-Packard Company | Multi-chamber ink jet recording head for color use |
US5008689A (en) * | 1988-03-16 | 1991-04-16 | Hewlett-Packard Company | Plastic substrate for thermal ink jet printer |
US4899180A (en) * | 1988-04-29 | 1990-02-06 | Xerox Corporation | On chip heater element and temperature sensor |
US5020219A (en) * | 1988-05-16 | 1991-06-04 | Leedy Glenn J | Method of making a flexible tester surface for testing integrated circuits |
JPH0230543A (ja) | 1988-07-21 | 1990-01-31 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド |
US6234599B1 (en) | 1988-07-26 | 2001-05-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate having a built-in temperature detecting element, and ink jet apparatus having the same |
US4899174A (en) | 1988-08-05 | 1990-02-06 | Eastman Kodak Company | Method of making LED array printhead with tab bonded wiring |
US4989317A (en) | 1988-11-21 | 1991-02-05 | Hewlett-Packard Company | Method for making tab circuit electrical connector supporting multiple components thereon |
JP2803258B2 (ja) | 1989-01-27 | 1998-09-24 | セイコーエプソン株式会社 | ワイヤドット型印字ヘッドの駆動回路 |
JPH041051A (ja) * | 1989-02-22 | 1992-01-06 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録装置 |
DE69027363T2 (de) | 1989-03-24 | 1996-11-14 | Canon Kk | Verfahren für die Herstellung von Tintenstrahl-Aufzeichnungsköpfen |
EP0398031A1 (en) | 1989-04-19 | 1990-11-22 | Seiko Epson Corporation | Ink jet head |
JP2824848B2 (ja) | 1989-07-05 | 1998-11-18 | グラフテック株式会社 | サーマルヘッドアレイの導線接続構造 |
US5016023A (en) | 1989-10-06 | 1991-05-14 | Hewlett-Packard Company | Large expandable array thermal ink jet pen and method of manufacturing same |
US5030971B1 (en) | 1989-11-29 | 2000-11-28 | Xerox Corp | Precisely aligned mono- or multi-color roofshooter type printhead |
US4980702A (en) * | 1989-12-28 | 1990-12-25 | Xerox Corporation | Temperature control for an ink jet printhead |
US5057855A (en) | 1990-01-12 | 1991-10-15 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead and control arrangement therefor |
RU1800273C (ru) | 1990-06-12 | 1993-03-07 | Ю.Г.Еремин, С.Н.Максимовский и Г.А.Радуцкий | Способ струйной многоцветной печати, струйна печатающа головка дл его осуществлени и способ изготовлени такой головки |
US5057854A (en) | 1990-06-26 | 1991-10-15 | Xerox Corporation | Modular partial bars and full width array printheads fabricated from modular partial bars |
US5124720A (en) * | 1990-08-01 | 1992-06-23 | Hewlett-Packard Company | Fault-tolerant dot-matrix printing |
US5469199A (en) | 1990-08-16 | 1995-11-21 | Hewlett-Packard Company | Wide inkjet printhead |
US5109234A (en) * | 1990-09-14 | 1992-04-28 | Hewlett-Packard Company | Printhead warming method to defeat wait-time banding |
US5534900A (en) * | 1990-09-21 | 1996-07-09 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus |
JP3021055B2 (ja) | 1991-01-28 | 2000-03-15 | 三菱重工業株式会社 | 合成ガスの製造方法 |
US5815173A (en) | 1991-01-30 | 1998-09-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Nozzle structures for bubblejet print devices |
AU657720B2 (en) * | 1991-01-30 | 1995-03-23 | Canon Kabushiki Kaisha | A bubblejet image reproducing apparatus |
US6019457A (en) | 1991-01-30 | 2000-02-01 | Canon Information Systems Research Australia Pty Ltd. | Ink jet print device and print head or print apparatus using the same |
US5079567A (en) | 1991-03-04 | 1992-01-07 | Eastman Kodak Company | Leaf-spring assembly for LED printhead |
US5168284A (en) * | 1991-05-01 | 1992-12-01 | Hewlett-Packard Company | Printhead temperature controller that uses nonprinting pulses |
US5459498A (en) | 1991-05-01 | 1995-10-17 | Hewlett-Packard Company | Ink-cooled thermal ink jet printhead |
US5160945A (en) * | 1991-05-10 | 1992-11-03 | Xerox Corporation | Pagewidth thermal ink jet printhead |
US5212497A (en) * | 1991-06-17 | 1993-05-18 | Tektronix, Inc. | Array jet velocity normalization |
US5479197A (en) * | 1991-07-11 | 1995-12-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Head for recording apparatus |
EP0539804B1 (en) * | 1991-10-15 | 1998-03-04 | Canon Kabushiki Kaisha | A substrate for a liquid jet recording head, a manufacturing method for such a substrate, a liquid jet recording head, and a liquid jet recording apparatus |
ATE220006T1 (de) | 1991-10-22 | 2002-07-15 | Canon Kk | Verfahren zur herstellung eines tintenstrahlaufzeichnungskopfes |
US5257043A (en) | 1991-12-09 | 1993-10-26 | Xerox Corporation | Thermal ink jet nozzle arrays |
US5600354A (en) * | 1992-04-02 | 1997-02-04 | Hewlett-Packard Company | Wrap-around flex with address and data bus |
US5296873A (en) | 1992-05-01 | 1994-03-22 | Hewlett-Packard Company | Airflow system for thermal ink-jet printer |
US5440332A (en) | 1992-07-06 | 1995-08-08 | Compa Computer Corporation | Apparatus for page wide ink jet printing |
DE4225799A1 (de) | 1992-07-31 | 1994-02-03 | Francotyp Postalia Gmbh | Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung |
JP3339724B2 (ja) | 1992-09-29 | 2002-10-28 | 株式会社リコー | インクジェット記録方法及びその装置 |
US5691750A (en) | 1992-11-24 | 1997-11-25 | Lexmark International, Inc. | Ink level sensing for disposable ink jet print head cartridges |
JP3222593B2 (ja) | 1992-12-28 | 2001-10-29 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッド用モノリシック集積回路 |
US5412410A (en) * | 1993-01-04 | 1995-05-02 | Xerox Corporation | Ink jet printhead for continuous tone and text printing |
JP3569543B2 (ja) | 1993-03-31 | 2004-09-22 | ヒューレット・パッカード・カンパニー | 集積型印刷ヘッドのアドレス指定システム |
US5745136A (en) * | 1993-04-16 | 1998-04-28 | Canon Kabushiki Kaishi | Liquid jet head, and liquid jet apparatus therefor |
US5408746A (en) * | 1993-04-30 | 1995-04-25 | Hewlett-Packard Company | Datum formation for improved alignment of multiple nozzle members in a printer |
US5435060A (en) | 1993-05-20 | 1995-07-25 | Compaq Computer Corporation | Method of manufacturing a single side drive system interconnectable ink jet printhead |
US5324683A (en) | 1993-06-02 | 1994-06-28 | Motorola, Inc. | Method of forming a semiconductor structure having an air region |
US5666141A (en) * | 1993-07-13 | 1997-09-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ink jet head and a method of manufacturing thereof |
JPH0776080A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Canon Inc | 記録ヘッド用基体、記録ヘッド、記録ヘッドカートリッジおよび記録装置と、記録ヘッド用基体の製造方法 |
US5471163A (en) | 1993-11-16 | 1995-11-28 | Hewlett-Packard Company | Tab circuit fusible links for disconnection or encoding information |
EP0659562B1 (en) * | 1993-12-24 | 2002-07-24 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head |
US5635966A (en) | 1994-01-11 | 1997-06-03 | Hewlett-Packard Company | Edge feed ink delivery thermal inkjet printhead structure and method of fabrication |
US6116714A (en) * | 1994-03-04 | 2000-09-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Printing head, printing method and apparatus using same, and apparatus and method for correcting said printing head |
US5659346A (en) * | 1994-03-21 | 1997-08-19 | Spectra, Inc. | Simplified ink jet head |
JPH0823153A (ja) * | 1994-07-05 | 1996-01-23 | Sharp Corp | 配線形成方法 |
US5519423A (en) | 1994-07-08 | 1996-05-21 | Hewlett-Packard Company | Tuned entrance fang configuration for ink-jet printers |
JPH0890769A (ja) * | 1994-09-27 | 1996-04-09 | Sharp Corp | ひだ付きダイアフラム型インクジェットヘッド |
US5969730A (en) * | 1994-11-07 | 1999-10-19 | Canon Aptex Inc. | Printer |
US5494698A (en) * | 1994-11-07 | 1996-02-27 | Xerox Corporation | Teflon filled resinoid dicing blades for fabricating silicon die modules |
US5560837A (en) | 1994-11-08 | 1996-10-01 | Hewlett-Packard Company | Method of making ink-jet component |
DE4443244C2 (de) * | 1994-11-25 | 2000-04-06 | Francotyp Postalia Gmbh | Anordnung für einen Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen |
JPH08169110A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-02 | Sharp Corp | インクジェットヘッド |
KR960021538A (ko) * | 1994-12-29 | 1996-07-18 | 김용현 | 전해연마법을 사용한 발열방식의 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제작방법 |
JPH08192513A (ja) | 1995-01-18 | 1996-07-30 | Fujitsu Ltd | 圧電式インクジェットプリンタヘッド |
US5598200A (en) * | 1995-01-26 | 1997-01-28 | Gore; David W. | Method and apparatus for producing a discrete droplet of high temperature liquid |
AUPN230695A0 (en) | 1995-04-12 | 1995-05-04 | Eastman Kodak Company | A manufacturing process for monolithic lift print heads using anistropic wet etching |
EP0765568A1 (en) * | 1995-04-12 | 1997-04-02 | Eastman Kodak Company | Fax machine with concurrent drop selection and drop separation ink jet printing |
AUPN230795A0 (en) | 1995-04-12 | 1995-05-04 | Eastman Kodak Company | Nozzle placement in monolithic drop-on-demand print heads |
US5796416A (en) * | 1995-04-12 | 1998-08-18 | Eastman Kodak Company | Nozzle placement in monolithic drop-on-demand print heads |
US5784077A (en) | 1995-04-12 | 1998-07-21 | Eastman Kodak Company | Digital printing using plural cooperative modular printing devices |
US5812162A (en) * | 1995-04-12 | 1998-09-22 | Eastman Kodak Company | Power supply connection for monolithic print heads |
US5838339A (en) | 1995-04-12 | 1998-11-17 | Eastman Kodak Company | Data distribution in monolithic print heads |
US5815179A (en) | 1995-04-12 | 1998-09-29 | Eastman Kodak Company | Block fault tolerance in integrated printing heads |
US5825385A (en) | 1995-04-12 | 1998-10-20 | Eastman Kodak Company | Constructions and manufacturing processes for thermally activated print heads |
JPH08281947A (ja) * | 1995-04-20 | 1996-10-29 | Sharp Corp | インクジェット記録装置 |
TW334399B (en) * | 1995-04-26 | 1998-06-21 | Canon Kk | Liquid ejecting head, and device and method of liquid ejection |
CN1072115C (zh) * | 1995-04-26 | 2001-10-03 | 佳能株式会社 | 液体喷头 |
JP3637633B2 (ja) | 1995-05-10 | 2005-04-13 | ブラザー工業株式会社 | インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法 |
US5992769A (en) | 1995-06-09 | 1999-11-30 | The Regents Of The University Of Michigan | Microchannel system for fluid delivery |
JPH091795A (ja) * | 1995-06-15 | 1997-01-07 | Sharp Corp | インクジェットヘッド |
US6183064B1 (en) | 1995-08-28 | 2001-02-06 | Lexmark International, Inc. | Method for singulating and attaching nozzle plates to printheads |
US5711891A (en) * | 1995-09-20 | 1998-01-27 | Lucent Technologies Inc. | Wafer processing using thermal nitride etch mask |
US5612511A (en) * | 1995-09-25 | 1997-03-18 | Hewlett-Packard Company | Double-sided electrical interconnect flexible circuit for ink-jet hard copy systems |
JPH0994968A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Hewlett Packard Co <Hp> | インクジェットプリントヘッド |
US6123413A (en) * | 1995-10-25 | 2000-09-26 | Hewlett-Packard Company | Reduced spray inkjet printhead orifice |
US5838351A (en) | 1995-10-26 | 1998-11-17 | Hewlett-Packard Company | Valve assembly for controlling fluid flow within an ink-jet pen |
AUPN623895A0 (en) | 1995-10-30 | 1995-11-23 | Eastman Kodak Company | A manufacturing process for lift print heads with nozzle rim heaters |
JP3452111B2 (ja) | 1995-11-10 | 2003-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
US6758552B1 (en) | 1995-12-06 | 2004-07-06 | Hewlett-Packard Development Company | Integrated thin-film drive head for thermal ink-jet printer |
GB9601947D0 (en) * | 1996-01-31 | 1996-04-03 | Neopost Ltd | Ink jet printing device |
US5992994A (en) | 1996-01-31 | 1999-11-30 | Hewlett-Packard Company | Large inkjet print swath media support system |
KR0185329B1 (ko) | 1996-03-27 | 1999-05-15 | 이형도 | 기록액의 운동 관성을 이용한 기록 장치 |
US5790151A (en) * | 1996-03-27 | 1998-08-04 | Imaging Technology International Corp. | Ink jet printhead and method of making |
JPH09327920A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドを用いた液体吐出方法および液体吐出装置 |
JP3437379B2 (ja) * | 1996-07-05 | 2003-08-18 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出方法および液体吐出装置 |
JP2777710B2 (ja) * | 1996-06-13 | 1998-07-23 | ミネベア株式会社 | パルスジェネレータ |
JPH106501A (ja) * | 1996-06-24 | 1998-01-13 | Canon Inc | インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジおよびインクジェット装置ならびにインクジェットヘッドの製造方法 |
EP0819531B1 (en) | 1996-07-09 | 2003-09-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharging head, head cartridge and liquid discharge apparatus |
US5812159A (en) * | 1996-07-22 | 1998-09-22 | Eastman Kodak Company | Ink printing apparatus with improved heater |
DE69725073T2 (de) | 1996-07-31 | 2004-07-08 | Canon K.K. | Aufzeichnungskopf und Aufzeichnungsverfahren |
JP3109442B2 (ja) | 1996-08-05 | 2000-11-13 | 村田機械株式会社 | 静電吸引型インクジェットプリンタ用ノズルヘッド及びその製造方法 |
US5847356A (en) | 1996-08-30 | 1998-12-08 | Hewlett-Packard Company | Laser welded inkjet printhead assembly utilizing a combination laser and fiber optic push connect system |
JP3387749B2 (ja) | 1996-08-30 | 2003-03-17 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッド及びその記録ヘッドを用いた記録装置 |
JPH1086362A (ja) | 1996-09-10 | 1998-04-07 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
US5738799A (en) | 1996-09-12 | 1998-04-14 | Xerox Corporation | Method and materials for fabricating an ink-jet printhead |
JPH10109421A (ja) | 1996-10-08 | 1998-04-28 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッド用発熱基板 |
KR100209498B1 (ko) | 1996-11-08 | 1999-07-15 | 윤종용 | 서로 다른 열팽창 계수 특성을 지닌 다중 멤브레인을 갖는 잉크젯 프린터의 분사장치 |
JPH10166576A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-06-23 | Minolta Co Ltd | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
JPH10166586A (ja) * | 1996-12-16 | 1998-06-23 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドカートリッジおよび液体吐出装置 |
US5994816A (en) * | 1996-12-16 | 1999-11-30 | Mcnc | Thermal arched beam microelectromechanical devices and associated fabrication methods |
US6022099A (en) * | 1997-01-21 | 2000-02-08 | Eastman Kodak Company | Ink printing with drop separation |
JP3803985B2 (ja) * | 1997-01-24 | 2006-08-02 | 富士写真フイルム株式会社 | インク噴射記録ヘッドの製造方法および記録装置 |
US6294420B1 (en) * | 1997-01-31 | 2001-09-25 | Texas Instruments Incorporated | Integrated circuit capacitor |
US5975689A (en) | 1997-02-03 | 1999-11-02 | Hewlett-Packard Co. | Air purge apparatus for inkjet print cartridges |
US5801097A (en) * | 1997-03-10 | 1998-09-01 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Thermal annealing method employing activated nitrogen for forming nitride layers |
US5815180A (en) | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Hewlett-Packard Company | Thermal inkjet printhead warming circuit |
WO1998042513A1 (fr) | 1997-03-26 | 1998-10-01 | Seiko Epson Corporation | Tete d'impression et enregistreur a stylet utilisant la tete d'impression |
JPH10264383A (ja) | 1997-03-27 | 1998-10-06 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
US6109716A (en) | 1997-03-28 | 2000-08-29 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet printing apparatus having printed head driven by ink viscosity dependent drive pulse |
US5914744A (en) | 1997-04-11 | 1999-06-22 | Eastman Kodak Company | Apparatus and method of printing with non-uniformity correction of exposure parameters to reduce low spatial frequency printed artifacts |
US6106089A (en) * | 1997-04-30 | 2000-08-22 | Eastman Kodak Company | Magnetic sensor for ink detection |
US5903380A (en) | 1997-05-01 | 1999-05-11 | Rockwell International Corp. | Micro-electromechanical (MEM) optical resonator and method |
JPH1120154A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-26 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタ及びインクジェットプリンタにおけるインク吐出速度調整方法 |
AUPP653498A0 (en) * | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46a) |
AUPP087397A0 (en) * | 1997-12-12 | 1998-01-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (IJ36) |
AUPO798697A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Data processing method and apparatus (ART51) |
US6213589B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-04-10 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Planar thermoelastic bend actuator ink jet printing mechanism |
AUPP398498A0 (en) * | 1998-06-09 | 1998-07-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | A method of manufacture of an image creation apparatus (ijm44) |
AUPO801097A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | A device (MEMS05) |
US6264849B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-07-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a bend actuator direct ink supply ink jet printer |
AUPP654398A0 (en) * | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46g) |
US6270182B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet print head recapping mechanism |
AUPP654598A0 (en) * | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46h) |
US6491833B1 (en) * | 1997-07-15 | 2002-12-10 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a dual chamber single vertical actuator ink jet printer |
US6180427B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-01-30 | Silverbrook Research Pty. Ltd. | Method of manufacture of a thermally actuated ink jet including a tapered heater element |
AUPP653998A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46B) |
US6228668B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-05-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a thermally actuated ink jet printer having a series of thermal actuator units |
US6648453B2 (en) | 1997-07-15 | 2003-11-18 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printhead chip with predetermined micro-electromechanical systems height |
US6227654B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-05-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printing mechanism |
AUPP398798A0 (en) | 1998-06-09 | 1998-07-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (ij43) |
AUPP654098A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical fluid supply system (fluid05) |
US6188415B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-02-13 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printer having a thermal actuator comprising an external coil spring |
US6264850B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-07-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Dual nozzle single horizontal fulcrum actuator inkjet |
AUPP702398A0 (en) * | 1998-11-09 | 1998-12-03 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (IJ46J) |
US6557977B1 (en) * | 1997-07-15 | 2003-05-06 | Silverbrook Research Pty Ltd | Shape memory alloy ink jet printing mechanism |
AUPO794697A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | A device (MEMS10) |
AUPP259398A0 (en) * | 1998-03-25 | 1998-04-23 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (IJ41) |
AUPP654198A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46d) |
US6331258B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-12-18 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a buckle plate ink jet printer |
US6171875B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-01-09 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a radial back-curling thermoelastic ink jet printer |
US6239821B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-05-29 | Silverbrook Research Pty Ltd | Direct firing thermal bend actuator ink jet printing mechanism |
US6071750A (en) * | 1997-07-15 | 2000-06-06 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a paddle type ink jet printer |
AUPP702298A0 (en) | 1998-11-09 | 1998-12-03 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (IJ46I) |
US6834939B2 (en) | 2002-11-23 | 2004-12-28 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micro-electromechanical device that incorporates covering formations for actuators of the device |
AUPO794797A0 (en) | 1997-07-15 | 1997-08-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | A device (MEMS07) |
AUPP653798A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical fluid supply system (fluid07) |
US6260953B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-07-17 | Silverbrook Research Pty Ltd | Surface bend actuator vented ink supply ink jet printing mechanism |
US6382769B1 (en) | 1997-07-15 | 2002-05-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of tab alignment in an integrated circuit type device |
US6022482A (en) | 1997-08-04 | 2000-02-08 | Xerox Corporation | Monolithic ink jet printhead |
EP0895861B1 (en) | 1997-08-05 | 2003-11-26 | Canon Kabushiki Kaisha | A liquid discharge head, a substrate for use of such head and a method of manufacture therefor |
US6089692A (en) * | 1997-08-08 | 2000-07-18 | Eastman Kodak Company | Ink jet printing with multiple drops at pixel locations for gray scale |
US6037957A (en) * | 1997-08-11 | 2000-03-14 | Eastman Kodak Company | Integrated microchannel print head for electrographic printer |
DE69810215T2 (de) | 1997-09-01 | 2003-08-14 | Seiko Epson Corp., Tokio/Tokyo | Tintenstrahldrucker |
US6270180B1 (en) | 1997-09-08 | 2001-08-07 | Konica Corporation | Ink jet printer |
US6733116B1 (en) | 1998-10-16 | 2004-05-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printer with print roll and printhead assemblies |
US6115573A (en) | 1997-10-27 | 2000-09-05 | Minolta Co., Ltd. | Image forming apparatus and method using a developing device relating to ink viscosity and/or temperature |
US6123410A (en) | 1997-10-28 | 2000-09-26 | Hewlett-Packard Company | Scalable wide-array inkjet printhead and method for fabricating same |
US6250738B1 (en) | 1997-10-28 | 2001-06-26 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printing apparatus with ink manifold |
US6154229A (en) * | 1997-10-28 | 2000-11-28 | Hewlett-Packard Company | Thermal ink jet print head and printer temperature control apparatus and method |
JP3495930B2 (ja) * | 1997-12-09 | 2004-02-09 | キヤノン株式会社 | インクジェット用吸着剤、該吸着剤を用いた吸着部材を備えたインク保持容器及び吸着部材を備えたインク供給システム |
JPH11179912A (ja) | 1997-12-18 | 1999-07-06 | Canon Inc | インクジェット記録装置 |
US6154234A (en) | 1998-01-09 | 2000-11-28 | Hewlett-Packard Company | Monolithic ink jet nozzle formed from an oxide and nitride composition |
US6126277A (en) | 1998-04-29 | 2000-10-03 | Hewlett-Packard Company | Non-kogating, low turn on energy thin film structure for very low drop volume thermal ink jet pens |
US6126273A (en) * | 1998-04-30 | 2000-10-03 | Hewlett-Packard Co. | Inkjet printer printhead which eliminates unpredictable ink nucleation variations |
US6097406A (en) | 1998-05-26 | 2000-08-01 | Eastman Kodak Company | Apparatus for mixing and ejecting mixed colorant drops |
US6255588B1 (en) | 1998-09-08 | 2001-07-03 | International Business Machines Corporation | Arrangement for supplying power from a buss bar to a circuit board |
US6742873B1 (en) * | 2001-04-16 | 2004-06-01 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead construction |
US6318841B1 (en) | 1998-10-15 | 2001-11-20 | Xerox Corporation | Fluid drop ejector |
US7028474B2 (en) | 1998-10-16 | 2006-04-18 | Silverbook Research Pty Ltd | Micro-electromechanical actuator with control logic circuitry |
US7677686B2 (en) | 1998-10-16 | 2010-03-16 | Silverbrook Research Pty Ltd | High nozzle density printhead ejecting low drop volumes |
US6623108B2 (en) | 1998-10-16 | 2003-09-23 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printhead having thermal bend actuator heating element electrically isolated from nozzle chamber ink |
US7384131B2 (en) * | 1998-10-16 | 2008-06-10 | Silverbrook Research Pty Ltd | Pagewidth printhead having small print zone |
US6902255B1 (en) * | 1998-10-16 | 2005-06-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printers |
US20040263551A1 (en) | 1998-10-16 | 2004-12-30 | Kia Silverbrook | Method and apparatus for firing ink from a plurality of nozzles on a printhead |
US7419250B2 (en) | 1999-10-15 | 2008-09-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micro-electromechanical liquid ejection device |
US6886915B2 (en) | 1999-10-19 | 2005-05-03 | Silverbrook Research Pty Ltd | Fluid supply mechanism for a printhead |
US6863378B2 (en) * | 1998-10-16 | 2005-03-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printer having enclosed actuators |
US7216956B2 (en) | 1998-10-16 | 2007-05-15 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead assembly with power and ground connections along single edge |
US7815291B2 (en) | 1998-10-16 | 2010-10-19 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead integrated circuit with low drive transistor to nozzle area ratio |
US7001007B2 (en) | 1998-10-16 | 2006-02-21 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of ejecting liquid from a micro-electromechanical device |
US6994424B2 (en) | 1998-10-16 | 2006-02-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead assembly incorporating an array of printhead chips on an ink distribution structure |
US6174735B1 (en) | 1998-10-23 | 2001-01-16 | Ramtron International Corporation | Method of manufacturing ferroelectric memory device useful for preventing hydrogen line degradation |
US6547368B2 (en) * | 1998-11-09 | 2003-04-15 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printer including printhead capping mechanism |
AUPP702498A0 (en) | 1998-11-09 | 1998-12-03 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (ART77) |
US6217163B1 (en) * | 1998-12-28 | 2001-04-17 | Eastman Kodak Company | Continuous ink jet print head having multi-segment heaters |
US6328407B1 (en) * | 1999-01-19 | 2001-12-11 | Xerox Corporation | Method and apparatus of prewarming a printhead using prepulses |
US6273552B1 (en) * | 1999-02-12 | 2001-08-14 | Eastman Kodak Company | Image forming system including a print head having a plurality of ink channel pistons, and method of assembling the system and print head |
US6860107B2 (en) * | 1999-02-15 | 2005-03-01 | Silverbrook Research Pty Ltd | Integrated circuit device having electrothermal actuators |
US6792754B2 (en) | 1999-02-15 | 2004-09-21 | Silverbrook Research Pty Ltd | Integrated circuit device for fluid ejection |
AUPP993199A0 (en) * | 1999-04-22 | 1999-05-20 | Silverbrook Research Pty Ltd | A micromechanical device and method (ij46p2a) |
US6244696B1 (en) | 1999-04-30 | 2001-06-12 | Hewlett-Packard Company | Inkjet print cartridge design for decreasing ink shorts by using an elevated substrate support surface to increase adhesive sealing of the printhead from ink penetration |
US7123239B1 (en) | 1999-05-25 | 2006-10-17 | Paul Lapstun | Computer system control with user data via interface surface |
JP4057193B2 (ja) * | 1999-05-28 | 2008-03-05 | 松下電器産業株式会社 | 電池並列使用時の異常検出方法 |
US6139131A (en) | 1999-08-30 | 2000-10-31 | Hewlett-Packard Company | High drop generator density printhead |
US6211598B1 (en) | 1999-09-13 | 2001-04-03 | Jds Uniphase Inc. | In-plane MEMS thermal actuator and associated fabrication methods |
US6312110B1 (en) | 1999-09-28 | 2001-11-06 | Brother International Corporation | Methods and apparatus for electrohydrodynamic ejection |
US6447017B1 (en) * | 1999-10-29 | 2002-09-10 | The Gates Corporation | Fluid coupling and assembly |
US6575562B1 (en) | 1999-11-16 | 2003-06-10 | Lexmark International, Inc. | Performance inkjet printhead chip layouts and assemblies |
JP2001205827A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-07-31 | Canon Inc | インクジェット記録方法、インクジェット記録装置、コンピュータ可読記憶媒体およびプログラム |
US6302521B1 (en) * | 1999-11-24 | 2001-10-16 | Xerox Corporation | Method and apparatus for expanded color space in acoustic ink printing |
US6474795B1 (en) * | 1999-12-21 | 2002-11-05 | Eastman Kodak Company | Continuous ink jet printer with micro-valve deflection mechanism and method of controlling same |
US6986566B2 (en) | 1999-12-22 | 2006-01-17 | Eastman Kodak Company | Liquid emission device |
US6276782B1 (en) | 2000-01-11 | 2001-08-21 | Eastman Kodak Company | Assisted drop-on-demand inkjet printer |
US6409316B1 (en) | 2000-03-28 | 2002-06-25 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead with crosslinked polymer layer |
US6275325B1 (en) | 2000-04-07 | 2001-08-14 | Microsoft Corporation | Thermally activated microelectromechanical systems actuator |
US6447483B1 (en) * | 2000-04-12 | 2002-09-10 | Sherwood Services, Ag | Thoracentesis device with hyper-sensitive detection mechanism |
US6439693B1 (en) | 2000-05-04 | 2002-08-27 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Thermal bend actuator |
US6526658B1 (en) | 2000-05-23 | 2003-03-04 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of an ink jet printhead having a moving nozzle with an externally arranged actuator |
TW446825B (en) * | 2000-07-07 | 2001-07-21 | Ind Tech Res Inst | Manufacturing method of dual-color filter |
US6398347B1 (en) * | 2000-07-24 | 2002-06-04 | Hewlett-Packard Company | Energy balanced ink jet printhead |
EP1666256B1 (en) * | 2000-08-09 | 2007-05-23 | Sony Corporation | Print head, manufacturing method therefor and printer |
US6585352B1 (en) | 2000-08-16 | 2003-07-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Compact high-performance, high-density ink jet printhead |
IT1320599B1 (it) | 2000-08-23 | 2003-12-10 | Olivetti Lexikon Spa | Testina di stampa monolitica con scanalatura autoallineata e relativoprocesso di fabbricazione. |
US6655786B1 (en) * | 2000-10-20 | 2003-12-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Mounting of printhead in support member of six color inkjet modular printhead |
US6352337B1 (en) * | 2000-11-08 | 2002-03-05 | Eastman Kodak Company | Assisted drop-on-demand inkjet printer using deformable micro-acuator |
AUPR157600A0 (en) * | 2000-11-20 | 2000-12-14 | Silverbrook Research Pty. Ltd. | An apparatus and method (bin04) |
US6561627B2 (en) * | 2000-11-30 | 2003-05-13 | Eastman Kodak Company | Thermal actuator |
US6649480B2 (en) * | 2000-12-04 | 2003-11-18 | Amberwave Systems Corporation | Method of fabricating CMOS inverter and integrated circuits utilizing strained silicon surface channel MOSFETs |
US6478404B2 (en) | 2001-01-30 | 2002-11-12 | Hewlett-Packard Company | Ink jet printhead |
AUPR292301A0 (en) | 2001-02-06 | 2001-03-01 | Silverbrook Research Pty. Ltd. | A method and apparatus (ART99) |
US6616268B2 (en) | 2001-04-12 | 2003-09-09 | Lexmark International, Inc. | Power distribution architecture for inkjet heater chip |
US6438954B1 (en) | 2001-04-27 | 2002-08-27 | 3M Innovative Properties Company | Multi-directional thermal actuator |
US6874865B2 (en) | 2001-09-10 | 2005-04-05 | Sony Corporation | Printer head chip and printer head |
US6631979B2 (en) | 2002-01-17 | 2003-10-14 | Eastman Kodak Company | Thermal actuator with optimized heater length |
US6739132B2 (en) * | 2002-04-30 | 2004-05-25 | Adc Telecommunications, Inc. | Thermal micro-actuator based on selective electrical excitation |
US6598960B1 (en) | 2002-05-23 | 2003-07-29 | Eastman Kodak Company | Multi-layer thermal actuator with optimized heater length and method of operating same |
US6685303B1 (en) | 2002-08-14 | 2004-02-03 | Eastman Kodak Company | Thermal actuator with reduced temperature extreme and method of operating same |
US6764155B2 (en) * | 2002-09-09 | 2004-07-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | System and method for compensating for non-functional ink cartridge ink jet nozzles |
US7044591B2 (en) | 2002-09-25 | 2006-05-16 | Brother Kogya Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, filter assembly used for manufacturing the ink-jet head, and method for manufacturing the ink-jet head using the filter assembly |
US6721020B1 (en) * | 2002-11-13 | 2004-04-13 | Eastman Kodak Company | Thermal actuator with spatial thermal pattern |
US6719406B1 (en) | 2002-11-23 | 2004-04-13 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printhead with conformally coated heater |
US6808241B2 (en) * | 2003-03-11 | 2004-10-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device |
US6971740B2 (en) | 2003-05-13 | 2005-12-06 | Kenneth Yuen | Ink cartridge refill system and method of use |
US7249815B2 (en) * | 2004-01-30 | 2007-07-31 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Nozzle distribution |
US7238990B2 (en) | 2005-04-06 | 2007-07-03 | Freescale Semiconductor, Inc. | Interlayer dielectric under stress for an integrated circuit |
JP2007237607A (ja) | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Fujifilm Corp | 画像形成装置 |
US7644686B2 (en) * | 2006-07-19 | 2010-01-12 | Aos Holding Company | Water heating distribution system |
US7798603B2 (en) * | 2007-07-30 | 2010-09-21 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead with high nozzle pitch tranverse to print direction |
US7755313B2 (en) * | 2007-09-12 | 2010-07-13 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Power inverter module thermal management |
-
1999
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---|---|---|---|---|
JPS52126227A (en) * | 1976-04-14 | 1977-10-22 | Nec Corp | Manufacture of high precision fine nozzle |
JPS57113078A (en) * | 1980-11-07 | 1982-07-14 | Philips Nv | Manufacture of jet nozzle board for ink jet printing head |
JPS6157345A (ja) * | 1984-08-29 | 1986-03-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジエツト記録装置 |
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