JP6623846B2

JP6623846B2 - 流体噴射装置

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Description

本発明は、流体噴射装置に関する。

移動体の往復移動によって液滴材料を飛翔吐出させる流体噴射装置が知られている。移動体を移動させるための駆動源として圧電素子などを用いたアクチュエーターが使われることが多い。圧電素子は変位量が小さいため、例えば特許文献１に記載された技術では、拡大機構を介して変位量を大きくしている。

特表２０１４−５２５８３１号公報

しかし、拡大機構を用いると構成が複雑になり、駆動装置の大型化を招く可能性がある。そのため、移動体の往復移動によって液滴を吐出する流体噴射装置において、拡大機構を用いることなく移動体の変位量を十分に確保可能な技術が望まれていた。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。

（１）本発明の一形態によれば、流体噴射装置が提供される。この流体噴射装置は、流動性材料を噴射するための流体噴射装置であって；前記流動性材料が供給される流動性材料室と；前記流動性材料室内で往復移動可能な移動体と；前記流動性材料室と連通した吐出口を有し、前記移動体の先端部が、前記吐出口の周囲の内壁に前記流動性材料室側から接触可能なノズル部と；前記移動体の後端部に接触し、前記移動体を往復移動させることにより、前記吐出口から前記流動性材料を吐出させるアクチュエーターと；前記アクチュエーターを駆動するための信号を出力する駆動信号供給部と、を有し；前記アクチュエーターは、直列に連結された第１の圧電素子と第２の圧電素子とを含み、前記第２の圧電素子の一端が、前記移動体の後端部に接触し；前記駆動信号供給部は、前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とに、それぞれ第１の駆動波形と、前記第１の駆動波形に含まれる電圧変化部分よりも急峻な電圧変化部分を有する第２の駆動波形とを出力可能であり；前記駆動信号供給部は、前記第１の圧電素子に前記第１の駆動波形を出力する場合には、前記第２の圧電素子に前記第２の駆動波形を出力し、前記第１の圧電素子に前記第２の駆動波形を出力する場合には、前記第２の圧電素子に前記第１の駆動波形を出力する。このような形態の流体噴射装置であれば、移動体を往復移動させるためのアクチュエーターが、直列に連結された複数の圧電素子によって構成されているので、拡大機構を用いることなく移動体の変位量を十分に確保できる。また、急峻な電圧変化部分を有する第２の駆動波形を、第１の圧電素子と第２の圧電素子とにそれぞれ出力することができるので、一方の圧電素子のみが劣化することを抑制できる。そのため、アクチュエーターの耐用性が向上する。

（２）上記形態の流体噴射装置において、前記駆動信号供給部は；前記第１の駆動波形の少なくとも一部により、前記移動体の先端部を前記内壁に近づけ；前記第２の駆動波形の急峻な電圧変化部分により、前記移動体の先端部を前記内壁に衝突させてもよい。このような形態であれば、流動性材料を補填するためのストローク量を確保しつつ、移動体を高速に内壁に衝突させることができるので、高い粘度の材料を吐出することができる。

（３）上記形態の流体噴射装置において、前記駆動信号供給部は、前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子のそれぞれについて、前記第１の駆動波形の出力後に、前記第２の駆動波形の出力を開始してもよい。このような形態であれば、第１の駆動波形と第２の駆動波形との一部が重複して出力される場合よりも、アクチュエーターに不要な振動が発生することを抑制することができる。

（４）上記形態の流体噴射装置において、前記駆動信号供給部は、前記第１の圧電素子に前記第１の駆動波形と前記第２の駆動波形とを出力する第１の駆動信号供給部と、前記第２の圧電素子に前記第１の駆動波形と前記第２の駆動波形とを出力する第２の駆動信号供給部と、を備えてもよい。このような形態であれば、第１の圧電素子と第２の圧電素子とにそれぞれ個別に駆動信号を供給することができるので、第１の圧電素子と第２の圧電素子とが異なる特性の素子であっても、それぞれの素子の特性に応じた伸縮動作を行わせることができる。

（５）上記形態の流体噴射装置において、前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子の共振周波数が等しくてもよい。このような形態であれば、第１の圧電素子と第２の圧電素子とで同様の伸縮動作を行わせることができる。そのため、アクチュエーターの伸縮動作の制御が容易になる。

（６）上記形態の流体噴射装置において、前記第１の圧電素子に出力される前記第１の駆動波形と前記第２の圧電素子に出力される前記第１の駆動波形とが同じ波形であり、かつ、前記第１の圧電素子に出力される前記第２の駆動波形と前記第２の圧電素子に出力される前記第２の駆動波形とが同じ波形でもよい。このような形態であれば、第１の圧電素子と第２の圧電素子とで共通の駆動波形を用いることができるので、アクチュエーターの伸縮動作の制御が容易になる。

（７）上記形態の流体噴射装置において、複数の前記圧電素子は、接触部を介して連結しており；前記接触部は前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子にそれぞれ点接触、または線接触してもよい。このような形態であれば、圧電素子の相互の発熱が互いに影響を与えないので、圧電素子の耐用性が向上する。

（８）上記形態の流体噴射装置において、前記移動体を前記吐出口側から前記アクチュエーター側に付勢する付勢部材を有してもよい。このような形態であれば、付勢部材によって圧電素子に予備荷重を加えることができるので、圧電素子の耐用性が向上する。

なお、本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、流体噴射システムや流体を噴射する方法等の形態で実現することができる。

第１実施形態としての流体噴射装置を含む流体噴射システムの概略構成図である。駆動波形の概形を示した図である。流動性材料が吐出されるまでの状態変化を示した説明図である。流動性材料が吐出されるまでの状態変化を示した説明図である。第２実施形態としての流体噴射装置の概略構成図である。

Ａ．第１実施形態
図１は、本発明の第１実施形態としての流体噴射装置１００を含む流体噴射システム２００の概略構成図である。流体噴射装置１００は、例えばプリンターに用いられる装置であり、水、溶剤、試薬等の粘性の低い流動性材料から、半田ペースト、銀ペースト、接着剤等の粘性が高い流動性材料までを、フィラーの含有にかかわらず、微量に高速に吐出する装置である。

流体噴射システム２００は、流体噴射装置１００と、流動性材料貯留部１１と、流路１２と、加圧部１３と、駆動信号供給部６０と、制御部７０と、を備える。流体噴射装置１００は、流動性材料室１０と、移動体２０と、ノズル部３０と、アクチュエーター４０と、付勢部材８０と、を備える。なお、流体噴射システム２００を広義の流体噴射装置として捉えることもできる。

流動性材料室１０には、流動性材料が貯留されている。流動性材料室１０には、流動性材料貯留部１１から流路１２を通じて、流動性材料が供給される。流動性材料貯留部１１に貯留された流動性材料は、加圧部１３により、加圧されて流路１２に供給される。流動性材料室１０には、該流動性材料室１０内で往復移動可能な移動体２０の先端部が配置されている。また、流動性材料室１０の一側面には、移動体２０の先端側に対向する位置にノズル部３０が設けられている。

ノズル部３０は、流動性材料室１０と連通した吐出口３１を有している。移動体２０の先端部は、吐出口３１の周囲の内壁３２に、流動性材料室１０側から接触可能である。内壁３２は、テーパー状に傾斜している。このテーパー状の部分に移動体２０が衝突することにより、流動性材料室１０内の流動性材料がノズル部３０から吐出される。

移動体２０は、例えば先端が平面や球状、または先端に突起が設けられたロッド状部材である。移動体２０は、後端部に、付勢部材８０を備える。付勢部材８０は、移動体２０を吐出口３１からアクチュエーター４０側に付勢する。より具体的には、移動体２０の後端部に設けられたフランジ部２１と、流動性材料室１０のアクチュエーター４０側の壁面１４との間に付勢部材８０が挟まれて配置されることで、付勢部材８０は、移動体２０をアクチュエーター４０側に付勢する。この付勢部材８０の付勢力によりアクチュエーター４０（第１の圧電素子４０ａ、第２の圧電素子４０ｂ）に予備荷重が加わる。本実施形態では、付勢部材８０は圧縮コイルバネにより構成されている。なお、付勢部材８０は、ゴムバネなど他の弾性部材によって構成されてもよい。

アクチュエーター４０は、直列に連結された第１の圧電素子４０ａと、第２の圧電素子４０ｂとを備えている。第２の圧電素子４０ｂの一端は、移動体２０の後端部に接触している。第１の圧電素子４０ａの移動体２０とは反対側の端部は、流体噴射装置１００の筐体１０１に固定されている。アクチュエーター４０は、移動体２０を往復移動させることにより、吐出口３１から流動性材料を吐出させる。

本実施形態では、第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとは、それぞれ、長手方向に伸縮する棒状またはブロック状の圧電素子である。本実施形態では、第１の圧電素子４０ａ及び第２の圧電素子４０ｂは同じ特性の圧電素子である。具体的には、共振周波数、伸長速度、最大変位量が同一である。第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとは接着剤で接合されている。接着剤としては、例えばエポキシ樹脂やアクリル接着剤等を用いることができる。

信号増幅部５０ａは、第１の圧電素子４０ａに接続されており、信号増幅部５０ｂは、第２の圧電素子４０ｂに接続されている。駆動信号供給部６０は、信号増幅部５０ａ、５０ｂと、制御部７０と、に接続されている。信号増幅部５０ａ、５０ｂはそれぞれ接続された圧電素子４０ａ、４０ｂを駆動するための信号を出力する。

駆動信号供給部６０は、アクチュエーター４０を駆動するための駆動信号を生成する。本実施形態では、駆動信号供給部６０は、第１の駆動信号供給部６０ａと、第２の駆動信号供給部６０ｂとを備えている。第１の駆動信号供給部６０ａは、第１の圧電素子４０ａに供給するための駆動信号を生成する。第２の駆動信号供給部６０ｂは、第２の圧電素子４０ｂに供給するための駆動信号を生成する。駆動信号供給部６０ａ、６０ｂによって生成された駆動信号は、各信号増幅部５０ａ、５０ｂによって増幅されて、各圧電素子４０ａ、４０ｂに印加される。駆動信号供給部６０ａ、６０ｂによる駆動信号の生成は制御部７０によって制御される。

図２は、本実施形態において、各圧電素子４０ａ、４０ｂに出力される第１の駆動波形ｗ１と第２の駆動波形ｗ２の概形を示した図である。本実施形態では、制御部７０による制御によって、第１の駆動信号供給部６０ａは、第１の駆動波形ｗ１と第２の駆動波形ｗ２とを第１の圧電素子４０ａに出力可能であり、第２の駆動信号供給部６０ｂは、第１の駆動波形ｗ１と第２の駆動波形ｗ２とを第２の圧電素子４０ｂに出力可能である。そして、駆動信号供給部６０は、第１の駆動信号供給部６０ａから第１の圧電素子４０ａに第１の駆動波形ｗ１を出力する場合には、第２の駆動信号供給部６０ｂから第２の圧電素子４０ｂに第２の駆動波形ｗ２を出力し、第１の駆動信号供給部６０ａから第１の圧電素子４０ａに第２の駆動波形ｗ２を出力する場合には、第２の駆動信号供給部６０ｂから第２の圧電素子４０ｂに第１の駆動波形ｗ１を出力する。

そしてまた、駆動信号供給部６０は、第１の圧電素子４０ａ及び第２の圧電素子４０ｂのそれぞれについて、第１の駆動波形ｗ１の出力後に、第２の駆動波形ｗ２の出力を開始する。そのため、本実施形態では、第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとにそれぞれ交互に第１の駆動波形ｗ１と第２の駆動波形ｗ２とが出力されることになる。

本実施形態では、第１の圧電素子４０ａに出力される第１の駆動波形と、第２の圧電素子４０ｂに出力される第１の駆動波形とは同じ波形であり、第１の圧電素子４０ａに出力される第２の駆動波形と、第２の圧電素子４０ｂに出力される第２の駆動波形とは同じ波形である。第２の駆動波形ｗ２は、第１の駆動波形ｗ１に含まれる電圧変化部分よりも急峻な電圧変化部分ＰＲを有している。この急峻な電圧変化部分ＰＲが、第１の圧電素子４０ａまたは第２の圧電素子４０ｂに印加されると、第１の圧電素子４０ａまたは第２の圧電素子４０ｂが急激に伸張することによって、移動体２０の移動速度が高まり、流動性材料１５が吐出口３１から吐出される。

図３は、第１の圧電素子４０ａに第１の駆動波形ｗ１、第２の圧電素子４０ｂに第２の駆動波形ｗ２を印加した時において、流動性材料１５が吐出されるまでの状態変化を示した説明図である。各グラフの横軸は時間（μｓ）を示し、グラフの縦軸は圧電素子４０ａ、４０ｂの変位量（μｍ）と電圧を示す。最も上段に示したグラフは、第１の圧電素子４０ａの変位量と第２の圧電素子４０ｂの変位量とを合成した合成変位量を示している。なお、駆動波形は圧電素子の変位量と同様の振る舞いをする前提で単純化している。また、流体噴射装置１００の動作を簡易的に示すため、図の下部にはアクチュエーター４０が直接、吐出口３１に接触して流動性材料１５を吐出させる様子を示している。

タイミングｔ０からタイミングｔ１までの期間は、圧電素子４０ａ、４０ｂに共に電圧が印加され、圧電素子４０ａ、４０ｂが共に最大に伸長した状態である。タイミングｔ１からタイミングｔ２までの期間（２５μｓ）において、第１の駆動波形ｗ１及び第２の駆動波形ｗ２が共にたち下がることにより、第１の圧電素子４０ａと、第２の圧電素子４０ｂとが縮む。タイミングｔ２において、第１の圧電素子４０ａ及び第２の圧電素子４０ｂは縮みきっている。

タイミングｔ２からタイミングｔ３までの期間（５０μｓ）において、駆動波形ｗ１、ｗ２と第１の圧電素子４０ａ及び４０ｂのいずれにも変動はない。この期間に、流動性材料１５が、流動性材料貯留部１１から流動性材料室１０に補填される。

タイミングｔ３からタイミングｔ４までの期間（１００μｓ）において、第１の駆動波形ｗ１が徐々に立ち上がることにより第１の圧電素子４０ａは伸長する。タイミングｔ４において第１の圧電素子４０ａは最大変位量まで伸長し、その後、第２の圧電素子４０ｂに第２の駆動波形ｗ２の急峻な電圧変化部分ＰＲが印加される。

タイミングｔ４からタイミングｔ５までの期間（２５μｓ）において、第２の駆動波形ｗ２内の急峻な電圧変化部分ＰＲが第２の圧電素子４０ｂに印加されることによって、先端側の第２の圧電素子４０ｂは急激に伸長する。そのため、タイミングｔ５において、加速された移動体２０（図３では省略）が内壁３２に衝突し、流動性材料１５が吐出口３１から吐出される。

図４は、第１の圧電素子４０ａに第２の駆動波形ｗ２、第２の圧電素子４０ｂに第１の駆動波形ｗ１を印加した時において、流動性材料１５が吐出されるまでの状態変化を示した説明図である。図４に示されているように、第１の圧電素子４０ａに第２の駆動波形ｗ２を、アクチュエーター４０に第１の駆動波形ｗ１を印加する場合には、先に先端側の第２の圧電素子４０ｂが伸長し、その後、後端側の第１の圧電素子４０ａが伸長する。このような動作であっても、後端側の第１の圧電素子４０ａが急激に伸長することによって、吐出口３１から流動性材料１５が吐出される。

本実施形態では、図３に示した動作と図４に示した動作とが第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとにおいて交互に１回ずつ繰り返し行われる。

以上で説明した本実施形態の流体噴射装置１００によれば、複数の圧電素子４０ａ、４０ｂが直列に連結されているので、拡大機構を用いずに移動体２０の変位量を大きくすることができる。この結果、アクチュエーター４０の大きさを抑えることができる。また、急峻な電圧変化部分ＰＲを有する第２の駆動波形ｗ２を第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとにそれぞれ出力することができるので、一方の圧電素子４０ａのみが劣化することを抑制できる。そのため、圧電素子４０ａの耐用性が向上する。

また、本実施形態では、第１の駆動波形ｗ１により、移動体２０の先端部を吐出口３１の周囲の内壁３２に近づけ、第２の駆動波形ｗ２の急峻な電圧変化部分ＰＲにより、移動体２０の先端部を内壁３２に衝突させている。そのため、流動性材料１５を補填するためのストローク量を確保しつつ、移動体２０を高速に内壁３２に衝突させることができるので、高い粘度の材料を吐出することができる。

また、本実施形態では、各圧電素子４０ａ、４０ｂに対して、第１の駆動波形ｗ１の出力後に、第２の駆動波形ｗ２の出力を開始しているので、第１の駆動波形ｗ１と第２の駆動波形ｗ２の一部が重複して出力される場合よりも、アクチュエーター４０に不要な振動が発生することを抑制することができる。

また、本実施形態では、第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとにそれぞれ駆動信号供給部６０ａ、６０ｂから個別に駆動信号を供給することができるので、第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとが異なる特性の素子であっても、それぞれの素子の特性に応じた伸縮動作を行わせることができる。

また、本実施形態では、第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとの共振周波数が等しいため、第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとで同様の伸縮動作を行わせることができる。そのため、アクチュエーター４０の伸縮動作の制御が容易になる。

また、本実施形態では、第１の圧電素子４０ａに出力される第１の駆動波形ｗ１と第２の圧電素子４０ｂに出力される第１の駆動波形ｗ１とは同じ波形であり、第１の圧電素子４０ａに出力される第２の駆動波形ｗ２と第２の圧電素子４０ｂに出力される第２の駆動波形ｗ２とは同じ波形であるため、第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとで共通の駆動波形を用いることができる。そのため、アクチュエーター４０の伸縮動作の制御が容易になる。

また、本実施形態では、付勢部材８０により圧電素子４０ａ、４０ｂに予備荷重が印加されているので、圧電素子４０ａ、４０ｂの耐用性が向上する。

Ｂ．第２実施形態
図５は、本発明の第２実施形態としての流体噴射装置１００Ａの概略構成図である。本実施形態の流体噴射装置１００Ａは、圧電素子４０ａ、４０ｂが接触部９０を介して連結されている点が、第１実施形態と異なり、他の構成は第１実施形態と同じである。

本実施形態の流体噴射装置１００Ａは、真球状の接触部９０を備える。第１の圧電素子４０ａ及び第２の圧電素子４０ｂの９０に接触する端面はそれぞれテーパー状に窪んでいる。そのため、接触部９０と圧電素子４０ａ、４０ｂとはそれぞれ線接触している。接触部９０は、剛性体であり、金属やセラミックで構成される。

以上で説明した本実施形態の流体噴射装置１００によれば、圧電素子４０ａ、４０ｂの相互の発熱が互いに影響を与えないので、圧電素子４０ａ、４０ｂの耐用性が向上する。

Ｃ．変形例
＜第１変形例＞
上記実施形態において、第１の圧電素子４０ａと第２の圧電素子４０ｂとの共振周波数や伸長速度、最大変位量は等しくなくてもよい。第１の圧電素子４０ａに印加される第１の駆動波形及び第２の駆動波形と、第２の圧電素子４０ｂに印加される第１の駆動波形及び第２の駆動波形とは、各圧電素子の共振周波数や伸長速度、最大変位量に応じて、各圧電素子が同じ挙動を示すように、それぞれ異なる駆動波形としてもよい。

＜第２変形例＞
上記実施形態において、付勢部材８０を設けずに、移動体２０と第２の圧電素子４０ｂとを接着剤で接合してもよい。

＜第３変形例＞
上記実施形態において、図３と図４の駆動波形の印加動作は、交互に１回ずつ切替えてもよいし、それぞれを複数回行ってから切替えてもよい。また、図３と図４の動作回数を揃えなくてもよい。

＜第４変形例＞
上記第２実施形態において、第１の圧電素子４０ａ及び第２の圧電素子４０ｂの接触部９０に接触する端面を平面にして、接触部９０と圧電素子４０ａ、４０ｂとをそれぞれ点接触にさせてもよい。また、一方を点接触させ、他方を線接触させてもよい。

本発明は、上述の実施形態や変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、変形例中の技術的特徴は、上述した課題を解決するために、あるいは上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜削除することが可能である。

１０…流動性材料室、１１…流動性材料貯留部、１２…流路、１３…加圧部、１４…壁面、１５…流動性材料、２０…移動体、２１…フランジ部、３０…ノズル部、３１…吐出口、３２…内壁、４０…アクチュエーター、４０ａ…第１の圧電素子、４０ｂ…第２の圧電素子、５０ａ、５０ｂ…信号増幅部、６０…駆動信号供給部、６０ａ…第１の駆動信号供給部、６０ｂ…第２の駆動信号供給部、７０…制御部、８０…付勢部材、９０…接触部、１００、１００Ａ…流体噴射装置、１０１…筐体、２００…流体噴射システム、ＰＲ…電圧変化部分、ｗ１…第１の駆動波形、ｗ２…第２の駆動波形

Claims

流動性材料を噴射するための流体噴射装置であって、
前記流動性材料が供給される流動性材料室と、
前記流動性材料室内で往復移動可能な移動体と、
前記流動性材料室と連通した吐出口を有し、前記移動体の先端部が、前記吐出口の周囲の内壁に前記流動性材料室側から接触可能なノズル部と、
前記移動体の後端部に接触し、前記移動体を往復移動させることにより、前記吐出口から前記流動性材料を吐出させるアクチュエーターと、
前記アクチュエーターを駆動するための信号を出力する駆動信号供給部と、を有し、
前記アクチュエーターは、直列に連結された第１の圧電素子と第２の圧電素子とを含み、前記第２の圧電素子の一端が、前記移動体の後端部に接触し、
前記駆動信号供給部は、前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とに、それぞれ第１の駆動波形と、前記第１の駆動波形に含まれる電圧変化部分よりも急峻な電圧変化部分を有する第２の駆動波形とを出力可能であり、
前記駆動信号供給部は、前記第１の圧電素子に前記第１の駆動波形を出力する場合には、前記第２の圧電素子に前記第２の駆動波形を出力し、前記第１の圧電素子に前記第２の駆動波形を出力する場合には、前記第２の圧電素子に前記第１の駆動波形を出力する流体噴射装置。
請求項１に記載の流体噴射装置であって、
前記駆動信号供給部は、
前記第１の駆動波形の少なくとも一部により、前記移動体の先端部を前記内壁に近づけ、
前記第２の駆動波形の急峻な電圧変化部分により、前記移動体の先端部を前記内壁に衝突させる流体噴射装置。
請求項１または２に記載の流体噴射装置であって、
前記駆動信号供給部は、前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子のそれぞれについて、前記第１の駆動波形の出力後に、前記第２の駆動波形の出力を開始する流体噴射装置。
請求項１〜３のいずれか１つに記載の流体噴射装置であって、
前記駆動信号供給部は、前記第１の圧電素子に前記第１の駆動波形と前記第２の駆動波形とを出力する第１の駆動信号供給部と、前記第２の圧電素子に前記第１の駆動波形と前記第２の駆動波形とを出力する第２の駆動信号供給部と、を備える流体噴射装置。
請求項１〜４のいずれか１つに記載の流体噴射装置であって、
前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子の共振周波数が等しい流体噴射装置。
請求項１〜５のいずれか１つに記載の流体噴射装置であって、
前記第１の圧電素子に出力される前記第１の駆動波形と前記第２の圧電素子に出力される前記第１の駆動波形とが同じ波形であり、かつ、前記第１の圧電素子に出力される前記第２の駆動波形と前記第２の圧電素子に出力される前記第２の駆動波形とが同じ波形である流体噴射装置。
請求項１〜６のいずれか１つに記載の流体噴射装置であって、
複数の前記圧電素子は、接触部を介して連結しており、
前記接触部は、前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子にそれぞれ点接触、または線接触している流体噴射装置。
請求項１〜７のいずれか１つに記載の流体噴射装置であって、
前記移動体を前記吐出口側から前記アクチュエーター側に付勢する付勢部材を有する流体噴射装置。