JPH106501A

JPH106501A - インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジおよびインクジェット装置ならびにインクジェットヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH106501A
Application number: JP16297096A
Authority: JP
Inventors: Genji Inada; 源次稲田; Haruhiko Terai; 晴彦寺井; Hiroshi Koshikawa; 浩志越川
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-06-24
Filing date: 1996-06-24
Publication date: 1998-01-13

Abstract

(57)【要約】【課題】基板とノズル壁の先端部とを充分な接合強度
をもって容易かつ確実に結合し得るインクジェットヘッ
ドを提供する。【解決手段】吐出媒体の液滴を吐出するための吐出用
ヒータ１１およびこの吐出用ヒータ１１に接続して当該
吐出用ヒータ１１に通電可能な第１の電極１２を有する
基板１３と、この基板１３の吐出用ヒータ１１が形成さ
れた側の面に重ね合わされると共に吐出用ヒータ１１を
囲むノズル壁１５が形成された溝付き板１６とを具え、
この溝付き板１６の接合部と基板１３の接合部とを相互
に接合してなるインクジェットヘッドであって、基板１
３の接合部は、吐出用ヒータ１１および第１の電極１２
を覆うように基板１３に形成された保護層１９の上に設
けられると共に溝付き板１９の接合部を接合するに際し
てこの溝付き板１９の接合部を加熱するための接合用ヒ
ータ２６を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドおよびインクジェットカートリッジおよびインクジ
ェットヘッドが搭載されるインクジェット装置およびイ
ンクジェットヘッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、インクジェット装置に搭載され
るインクジェットヘッドは、インク滴やプリント媒体に
吐出されたインク滴の特性を調整するための処理液滴
（以下、これらをまとめて吐出媒体液滴と呼称する）を
吐出する吐出口と、この吐出口に連通するノズル通路
と、このノズル状通路の一部に臨んで吐出媒体液滴形成
用のエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生部とを
具えている。

【０００３】この吐出エネルギー発生手段としては、ピ
エゾ素子などの電気機械変換体を用いたものや、レーザ
などの電磁波を照射して吐出媒体を発熱させ、この発熱
による吐出媒体の膨張を利用して吐出媒体液滴を吐出口
から吐出させるもの、あるいは電気熱変換体などの発熱
体などが知られている。

【０００４】なかでも、電気熱変換体を吐出エネルギー
発生部に用い、熱エネルギーによって吐出媒体液滴を吐
出口より吐出させるインクジェットヘッドは、以下のよ
うな利点を有する。すなわち、吐出媒体液滴を吐出する
吐出口を高密度に配列し、高解像力のプリントを得るた
めに都合のよい構成を容易に取ることが可能である。ま
た、構造上、コンパクト化が容易である。さらに、最近
の半導体分野において技術進歩および信頼性の向上が著
しいＩＣ製造技術やマイクロ加工技術の長所を十二分に
活用して製造することができる。そして、これらの技術
を利用することで、長尺化, 二次元化, 吐出口のマルチ
化, 高密度化がさらに容易となり、しかも大量生産が可
能で製造コストも廉価となる。

【０００５】吐出エネルギー発生部として電気熱変換体
を用い、半導体製造プロセスを経て製造された多数の吐
出口を有するインクジェットヘッドは、通常、各吐出口
にそれぞれ対応したノズル状通路を有し、これら各ノズ
ル状通路毎に電気熱変換体が設けられ、かつ各ノズル状
通路に連通する共通液室から吐出媒体が供給される構造
となっており、特開平４−２４７９４６号公報や特開平
４−２５００４８号公報などに開示されている通りであ
る。

【０００６】このような従来のインクジェットヘッドの
外観を図２４に示し、その断面構造を図２５に示し、そ
のXXVI−XXVI矢視断面構造, XXVII−XXVII 矢視断面構
造を図２６, 図２７にそれぞれ示す。すなわち、インク
ジェットヘッド１０は、エッチング法や、蒸着法, スパ
ッタリング法などの半導体製造プロセスを経て表面に電
気熱変換体としての吐出用ヒータ１１や電極１２などが
成膜された基板１３と、この基板１３との接合により形
成されるノズル状通路１４を仕切るためのノズル壁１５
が形成された溝付き板１６とで主要部が構成されてい
る。

【０００７】基板１３に絶縁層１７を介して積層された
層間膜１８上に配設される吐出用ヒータ１１および電極
１２は、吐出媒体との直接的な接触による腐食を防止す
るため、二酸化ケイ素や窒化ケイ素などで構成される絶
縁性の保護層１９で覆われる。さらに、吐出用ヒータ１
１は、吐出媒体の沸騰に伴うキャビテーションによる破
壊を防止するため、タンタルなどで形成された耐キャビ
テーション層２０が設けられる。

【０００８】前記溝付き板１６は、上述したノズル壁１
５の他に、これらノズル壁１５によって仕切られる各々
のノズル状通路１４に連通して共通吐出媒体液室２１と
なる液室枠２２と、吐出媒体を蓄えた図示しない吐出媒
体タンクから図示しない吐出媒体供給管を介して共通吐
出媒体液室２１に吐出媒体を導入するための吐出媒体供
給口２３と、この溝付き板１６に一体的に接合されてノ
ズル状通路１４に連通する吐出口２４をそれぞれ形成し
た吐出口板２５とを有する。この溝付き板１６は、ポリ
サルフォンを射出成形して得られるが、液晶ポリマーや
ポリエーテルサルフォンなどの樹脂により形成すること
も可能である。

【０００９】従って、吐出媒体は、図示しない吐出媒体
タンクおよび吐出媒体供給管を介して吐出媒体供給高２
３から共通吐出媒体液室２１内に供給され、毛細管現象
によりノズル状通路１４内に引き込まれ、各ノズル状通
路１４の先端の吐出口２４にて表面張力によるメニスカ
スを形成し、各ノズル状通路１４内にて安定に保持され
る。ここで、各ノズル状通路１４内にそれぞれ臨む吐出
用ヒータ１１に通電することにより、吐出用ヒータ１１
の上に介在する吐出媒体が加熱され、瞬間的に沸騰して
吐出口２０から吐出媒体液滴が吐出される。

【００１０】ところで、基板１３と溝付き板１６との接
合面を密着させることは、インクジェットヘッド１０の
吐出性能や信頼性の見地から重要である。吐出媒体の吐
出時の発泡エネルギーのロスを少なくするためには、特
にノズル壁１５の先端面を基板１３と確実に接合する必
要がある。基板１３と溝付き板１６の各々の接合面を密
着させるためには、接着剤を介してこれらを接合する方
法や、特開平４−２４７９４６号公報などに開示されて
いるように、基板１３と溝付き板１６とを押え板ばねに
て圧接させる方法が知られている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】基板１３と溝付き板１
６とを接着剤を介して接合する方法では、余分な接着剤
がノズル状通路１４にはみ出し、このノズル状通路１４
が絞られてしまい、吐出媒体の吐出を円滑に行うことが
できなくなったり、あるいはこのノズル状通路１４が完
全に塞がれてしまう虞がある。

【００１２】また、基板１３と溝付き板１６とを押え板
ばねにて圧接させる方法では、上述のような接着剤を使
用しないことから、ノズル状通路１４が絞られたり、あ
るいはノズル状通路１４が塞がれてしまうというような
不具合は発生しないものの、溝付き板１６に形成された
多数のノズル壁１５の先端面を基板１３の接合面に均一
に押圧することは、一般的に極めて困難である。

【００１３】このため、特に多数のノズル状通路１４を
有するインクジェットヘッド１０では、ノズル壁１５の
先端面と基板１３の接合面との間に隙間が形成され、こ
のような隙間の存在によって隣接するノズル状通路１４
の間で吐出媒体の漏洩、つまりクロストークが発生し、
吐出用ヒータ１１からの熱エネルギーによりノズル状通
路１４中の吐出媒体に発生する沸騰圧力の一部が隣接す
るノズル状通路１４に逃げてしまい、圧力損失を生ずる
場合があった。また、この沸騰圧力の一部が隣接するノ
ズル状通路１４へ伝搬するため、このノズル状通路１４
の吐出口２４における吐出媒体のメニスカスが変化し、
正確な吐出量の確保が困難となる場合があった。

【００１４】

【発明の目的】本発明の第１の目的は、基板とノズル壁
の先端部とを充分な接合強度をもって容易かつ確実に結
合し得るインクジェットヘッドを提供することにある。

【００１５】また、本発明の第２の目的は、このような
インクジェットヘッドを有するインクジェットカートリ
ッジを提供することにある。

【００１６】さらに、本発明の第３の目的は、基板とノ
ズル壁の先端部とを充分な接合強度をもって容易かつ確
実に結合し得るインクジェットヘッドが搭載されるイン
クジェット装置を提供することにある。

【００１７】さらに、本発明の第４の目的は、このよう
なインクジェットヘッドの製造方法を提供することにあ
る。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明による第１の形態
は、吐出媒体の液滴を吐出するための吐出エネルギー発
生部およびこの吐出エネルギー発生部に接続して当該吐
出エネルギー発生部に通電可能な第１の電極を有する基
板と、この基板の前記吐出エネルギー発生部が形成され
た側の面に重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発
生部を囲むノズル壁が形成された溝付き板とを具え、こ
の溝付き板の接合部と前記基板の接合部とを相互に接合
してなるインクジェットヘッドであって、前記基板の接
合部は、前記吐出エネルギー発生部および前記第１の電
極を覆うように前記基板に形成された保護層の上に設け
られると共に前記溝付き板の接合部を接合するに際して
この溝付き耐の接合部を加熱するための発熱部であるこ
とを特徴とするインクジェットヘッドにある。

【００１９】また、本発明による第２の形態は、吐出媒
体の液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部および
この吐出エネルギー発生部に接続して当該吐出エネルギ
ー発生部に通電可能な第１の電極を有する基板と、この
基板の前記吐出エネルギー発生部が形成された側の面に
重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発生部を囲む
ノズル壁が形成された溝付き板とを具え、この溝付き板
の接合部と前記基板の接合部とを相互に接合してなるイ
ンクジェットヘッドと、このインクジェットヘッドに供
給するための前記吐出媒体を蓄える吐出媒体タンクとを
具えたインクジェットカートリッジであって、前記基板
の接合部は、前記吐出エネルギー発生部および前記第１
の電極を覆うように前記基板に形成された保護層の上に
設けられると共に前記溝付き板の接合部を接合するに際
してこの溝付き板の接合部を加熱するための発熱部であ
ることを特徴とするインクジェットカートリッジにあ
る。

【００２０】さらに、本発明による第３の形態は、吐出
媒体の液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部およ
びこの吐出エネルギー発生部に接続して当該吐出エネル
ギー発生部に通電可能な第１の電極を有する基板と、こ
の基板の前記吐出エネルギー発生部が形成された側の面
に重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発生部を囲
むノズル壁が形成された溝付き板とを具え、この溝付き
板の接合部と前記基板の接合部とを相互に接合してなる
インクジェットヘッドの取り付け部を具えたインクジェ
ット装置であって、前記基板の接合部は、前記吐出エネ
ルギー発生部および前記第１の電極を覆うように前記基
板に形成された保護層の上に設けられると共に前記溝付
き板の接合部を接合するに際してこの溝付き板の接合部
を加熱するための発熱部であることを特徴とするインク
ジェット装置にある。

【００２１】一方、本発明による第４の形態は、吐出媒
体の液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部および
この吐出エネルギー発生部に接続して当該吐出エネルギ
ー発生部に通電可能な第１の電極を有する基板と、この
基板の前記吐出エネルギー発生部が形成された側の面に
重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発生部を囲む
ノズル壁が形成された溝付き板とを具えたインクジェッ
トヘッドの製造方法であって、前記吐出エネルギー発生
部および前記第１の電極を覆う保護層を前記基板に形成
するステップと、前記ノズル壁の先端部を加熱するため
の発熱部を前記保護層の上に形成するステップと、前記
発熱部と前記溝付き板の接合部とが当接するように前記
基板と前記溝付き板とを仮組みするステップと、前記発
熱部を加熱することにより前記溝付き板の接合部を加熱
するステップと、加熱に伴う前記溝付き板の接合部の変
形によって前記基板の発熱部と前記溝付き板の接合部と
を一体的に接合するステップとを具えたことを特徴とす
るインクジェットヘッドの製造方法にある。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明の第１の形態によるインク
ジェットヘッドにおいて、基板の接合部は、溝付き板の
接合部に対する接着力が相違する複数の接合面を有し、
これら複数の接合面の少なくとも一つは、吐出エネルギ
ー発生部および第１の電極を覆うように基板に形成され
た保護層であって、別な一つは、保護層の上に設けられ
ると共に基板の接合部と溝付き板の接合部とを接合する
に際して溝付き板の接合部を加熱するための発熱部であ
ってもよい。また、基板の接合部と溝付き板の接合部と
の間には、これらを接着するための境界樹脂が介在して
いてもよく、溝付き板の接合部は、ノズル壁の先端部で
あってもよく、発熱部には、当該発熱部に通電可能な第
２の電極が接続していてもよい。さらに、基板は、保護
層を介して吐出エネルギー発生部を覆う耐キャビテーシ
ョン部をさらに有し、発熱部は、この耐キャビテーショ
ン部と同一材料にて形成されていてもよい。

【００２３】本発明の第２の形態によるインクジェット
カートリッジにおいて、溝付き板の接合部は、ノズル壁
の先端部であってもよく、吐出媒体は、インクおよび／
またはプリント媒体に吐出されるインクの特性を調整す
る処理液であってもよい。

【００２４】本発明の第３の形態によるインクジェット
装置において、溝付き板の接合部は、ノズル壁の先端部
であってもよく、インクジェットヘッドの取り付け部
は、インクジェットヘッドから液滴が吐出されるプリン
ト媒体の搬送方向と交差する方向に走査移動可能であっ
てもよい。

【００２５】本発明の第４の形態によるインクジェット
ヘッドの製造方法において、発熱部を電気的に加熱して
もよい。この場合、発熱部に接続する第２の電極を基板
に形成するステップと、第２の電極の表面を変質処理す
るステップとをさらに具えるようにしてもよく、第２の
電極の変質処理は、酸化処理であってもよい。また、発
熱部をエネルギービームの照射により加熱するようにし
てもよく、発熱部は、ノズル壁の先端部を構成する材料
をそのガラス転移温度以上に加熱してもよい。さらに、
溝付き板の接合部と基板の発熱部との間にこれらを接着
するための境界樹脂を介在させるステップをさらに具
え、発熱部は、境界樹脂をそのガラス転移温度以上に加
熱してもよい。

【００２６】なお、より信頼性の高い接合状態を維持す
るため、インクジェットヘッドの形態によっては、溝付
き板と基板との接合に従来の押えばねをさらに組み合わ
せるようにしてもよい。

【００２７】

【実施例】以下、本発明によるインクジェットヘッドの
一実施例について、その主要部の概略断面構造を表す図
１およびそのII−II矢視断面構造を表す図２を参照しな
がら詳細に説明するが、このインクジェットヘッドの全
体的な構成は、図２４〜図２７にて説明した従来のもの
と実質的に同じであり、接合部分の構成が相違している
と考えてよい。このような観点から、従来のものと実質
的に同一機能の部材には、これと同一の符号を記す。

【００２８】基板１３に絶縁層１７を介して積層された
層間膜１８上には、吐出用ヒータ１１および第１の電極
１２が所定間隔でパターン形成されており、さらにこれ
ら吐出用ヒータ１１や電極１２が吐出媒体と接触するこ
とによって腐食するのを防止するため、絶縁性の保護層
１９がこれらの上を覆っている。また、吐出媒体の沸騰
に伴うキャビテーションによって吐出用ヒータ１１の破
壊を防止するため、タンタルによる耐キャビテーション
層２０が保護層１９を介して吐出用ヒータ１１と重なる
ようにパターン形成されている。

【００２９】一方、溝付き板１６のノズル壁１５の先端
部が当接する保護層１９の上には、このノズル壁１５の
先端部の幅寸法よりも多少広めの幅を有する接合用ヒー
タ２６が所定間隔でパターン形成されており、さらにこ
れら接合用ヒータ２６の吐出口板２５側の端部と、その
反対側の共通吐出媒体液室２１側に位置する端部とにそ
れぞれ接続する第２の電極２７がパターン形成され、図
示しないパルス電源に接続している。ちなみに、各接合
用ヒータ２６の幅寸法は２０μｍ、その長さは４００μ
ｍにそれぞれ設定されている。また、第２の電極２７の
表面は、吐出媒体による腐食を防止するために変質処理
が施されている。

【００３０】本実施例における接合用ヒータ２６は、耐
キャビテーション層２０と同じ材質のタンタル（膜厚が
０．２３μｍでシート抵抗が７．３Ω／□）にて形成さ
れている。また、第２の電極２７としてシート抵抗が２
８ｍΩ／□のアルミニウムを採用することによって、接
合用ヒータ２６の表面を溝付き板１６の材質であるポリ
サルフォンのガラス転移温度以上に発熱保持するように
通電しても、第２の電極２７の抵抗による発熱は、無視
できる程度に小さくすることができる。この場合、本実
施例では第２の電極２７の表面を陽極酸化処理している
が、第２の電極２７を構成する材料によっては、変質処
理として窒化処理などを採用することも当然可能であ
る。

【００３１】つまり、パルス電源によって第２の電極２
７を介して接合用ヒータ２６に通電することにより、こ
の接合用ヒータ２６の表面に当接する溝付き板１６のノ
ズル壁１５の先端部を加熱溶融させ、基板１３と溝付き
板１６のノズル壁１５の先端部とを一体的に接合させる
ようにしている。このため、本実施例では上述した溝付
き板１６をポリサルフォンにて形成したが、溝付き板１
６のノズル壁１５、あるいはノズル壁１５の先端部のみ
をポリサルフォンにて構成し、溝付き板１６の他の部分
をポリサルフォン以外の樹脂やガラスあるいは金属など
で構成することも可能である。

【００３２】なお、接合用ヒータ２６は、吐出媒体液滴
形成の際に吐出媒体の沸点以下に発熱駆動することで、
インクジェットヘッドの温度調整用ヒータとして兼用さ
せることも可能である。また、基板１３に組み込まれた
スイッチング回路に第１の電極１２および第２の電極２
７を接続し、これら第１の電極１２や第２の電極２７を
介して吐出用ヒータ１１や接合用ヒータ２６に通電する
ための図示しない駆動基板の接続パッドに対し、これら
第１の電極１２や第２の電極２７の接続パッドを共用化
するようにしてもよい。

【００３３】本実施例における接合用ヒータ２６は、耐
キャビテーション層２０と同じ材質のタンタルで形成さ
れている。すなわち、保護層１９の形成後に基板１３上
にタンタルをスパッタリングなどで成膜し、吐出用ヒー
タ１１の上方に位置する耐キャビテーション層２０と、
溝付き板１６のノズル壁１５の先端部と対向する接合用
ヒータ２６とをそれぞれ独立したパターンとして、同時
にパターニングする。このため、耐キャビテーション層
２０および接合用ヒータ２６の膜厚は、実質的に等しく
なる。

【００３４】ところで、本実施例で採用したタンタル
は、導電性を有すると共に耐キャビテーション層２０と
しての実用的な厚みである０. １〜１. ０μｍの範囲に
て適度なシート抵抗値を持つため、吐出用ヒータ１１ほ
どの高い信頼性を求める必要のない接合用ヒータ２６と
して好適である。しかも、加熱すべきノズル壁１５の先
端部と接触する基板１３の表面にパターン形成すること
ができるため、局所加熱の熱効率の点で有利である。

【００３５】この場合、溝付き板１６の当接部を加熱溶
融することで接合用ヒータ２６の表面にノズル壁１５を
密着させることは可能であるが、タンタル自体は溝付き
板１６を構成するポリサルフォンなどの樹脂との接着性
が強くないため、タンタルの表面を酸化処理し、ポリサ
ルフォンとの接着性が良好な酸化皮膜をあらかじめ形成
しておくことが望ましい。

【００３６】基板１３との接合前の溝付き板１６の先端
部の断面構造を図３のようにすることも可能である。す
なわち、基板１３との接合前のノズル壁１５の先端部に
は、幅寸法の狭い突起部２８が形成されている。この突
起部２８は、接合用ヒータ２６の駆動時に、接合用ヒー
タ２６から溝付き板１６へ伝達される熱を突起部２８の
みに集中させて突起部２８を溶融させる一方、溝付き板
１６の他の部分が熱変形しないように、ノズル壁１５の
先端部の変形状態の制御を容易化するためのものであ
る。

【００３７】このようなインクジェットヘッドの製造手
順の一例を図４に示す。すなわち、Ｓ１のステップにて
基板１３と溝付き板１６との密着性を向上させるための
前処理、例えば接合用ヒータ２６の表層部の酸化処理な
どを必要に応じて行った後、Ｓ２のステップにて基板１
３と溝付き板１６とを位置決め状態で重ね合わせる。

【００３８】そして、Ｓ３のステップにてノズル壁１５
の突起部２８およびその近傍のみが溶融するような駆動
条件で接合用ヒータ２６に通電し、この接合用ヒータ２
６を一時的にポリサルフォンのガラス転移温度以上に発
熱させる。この場合、ノズル壁１５の先端部と基板１３
とが押し当たるように、基板１３および溝付き板１６の
少なくとも一方を他方側に押し付けておくことも有効で
ある。また、複数の接合用ヒータ２６に対する駆動は、
複数のノズル壁１５の突起部２８の溶融タイミングに著
しい時間差が生じないように行うことが好ましく、一般
的にはすべての接合用ヒータ２６を同時に駆動すること
が好ましい。このようにして接合用ヒータ２６に通電す
ることにより、ノズル壁１５の突起部２８が溶融変形
し、図１に示すようにノズル壁１５の先端部が接合用ヒ
ータ２６の表面に一体的に接合する。

【００３９】しかる後、Ｓ４のステップにて接合用ヒー
タ２６に対する通電を停止し、Ｓ５のステップにて基板
１３と溝付き板１６との接合部分の信頼性を高めるた
め、必要に応じてこの接合部分の周囲をシリコーンシー
ラントなどで封止する。

【００４０】そして、本実施例のように第２の電極２７
の表面が吐出媒体にさらされる場合には、Ｓ６のステッ
プにて第２の電極２７の表面を陽極酸化処理を行い、吐
出媒体に対する耐蝕性を向上させる。

【００４１】このようにして、基板１３と溝付き板１６
とを接合する場合、隣接するノズル状通路１４間での吐
出媒体の漏洩が発生しない信頼性の高い接合が達成され
る。なお、本実施例では、第２の電極２７の変質処理を
Ｓ６のステップにて行っているが、これをＳ１のステッ
プで行うようにしてもよい。

【００４２】上述した実施例では、接合用ヒータ２６の
製造工程を簡略化するため、耐キャビテーション層２０
と同一の構成材料を接合用ヒータ２６として採用し、こ
の接合用ヒータ２６を耐キャビテーション層２０と共に
保護層１９の上に形成するようにしたが、他の導電性材
料を用いてもよい。この場合には、接合用ヒータ２６を
形成するための工程が増えるが、膜厚などを接合用ヒー
タ２６の機能に適した寸法に設定することが可能とな
る。また、ノズル壁１５の先端部に対して接着性が良好
な保護層１９とノズル壁１５の先端部とが直接接触する
ように、接合用ヒータ２６を保護層１９の下に埋設する
ことも可能である。

【００４３】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの他の実施例の断面構造を図５に示すが、先の実施
例と同一機能の部材には、これと同一符号を記すに止
め、重複する説明は省略するものとする。すなわち、基
板１３上の二酸化ケイ素で形成された第１の保護層１９
の下には、接合用ヒータ２６およびこの接合用ヒータ２
６に接続する図示しない第２の電極ががパターン形成さ
れている。また、この第１の保護層１９の上に吐出用ヒ
ータ１１およびこの吐出用ヒータ１１に接続する図示し
ない第１の電極が形成されている。

【００４４】前記吐出用ヒータ１１は、インクの遮断性
やカバレッジ性および工程上のコストの面から窒化ケイ
素による第２の保護層２９にて覆われており、この吐出
用ヒータ１１に接続する電極は、第１の保護層１９を貫
通する図示しないスルーホールを介して下層の図示しな
いシフトレジスタ回路に接続している。吐出用ヒータ１
１の上方に位置する第２の保護層２９の部分は除去さ
れ、溝部３０となって第１の保護層１９が露出状態とな
っている。つまり、接合用ヒータ２６からの発熱は、第
１の保護層１９を介してノズル壁１５の先端部に伝達さ
れるようになっている。

【００４５】窒化ケイ素による第２の保護層２９とノズ
ル壁１５の先端部を構成するポリサルフォンとの接着性
は、第１の保護層１９を構成する二酸化ケイ素よりも劣
るが、基板１３と溝付き板１６との接合時には、接合用
ヒータ２６によって加熱溶融するノズル壁１５の先端部
が第１の保護層１９と接着し、必要な接合強度を発生す
る。つまり、各層を積層した基板１３の製造上の都合な
どにより溝付き板１６を構成する材料と２つの保護層１
９, ２９の何れか一方との接着性が弱く、充分な接着強
度を維持できない場合でも、溝付き板１６と基板１３と
が剥離するような不具合は発生しない。

【００４６】上述した実施例では、接合用ヒータ２６を
ノズル壁１５の先端部と基板１３との接合部分に沿って
パターン状に形成したが、基板１３の表面に一様に形成
することも可能である。

【００４７】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの他の実施例の断面構造を図６に示すが、先の実施
例と同一機能の部材には、これと同一符号を記すに止
め、重複する説明は省略するものとする。すなわち、保
護層１９の上には、すべてのノズル状通路１４に亙って
一様に拡がる接合用ヒータ２６が形成され、吐出口２４
の配列方向に沿った接合用ヒータ２６の両側端部には、
それぞれ第２の電極２７が接合されている。本実施例に
おける接合用ヒータ２６は、基板１３と溝付き板１６と
の接合時に第２の電極２７を介して通電され、ノズル壁
１５の先端部を加熱溶融させるようになっているが、イ
ンクジェットヘッドとして使用する場合には、吐出用ヒ
ータ１１の耐キャビテーション層として機能するように
なっている。

【００４８】図１〜図３に示した先の実施例では、ノズ
ル壁１５の先端部と交差するように吐出口板２５側に第
２の電極２７を配置したため、吐出口板２５側のノズル
壁１５の先端部と基板１３側とを完全に接合させること
ができないけれども、図６に示した実施例では、ノズル
壁１６の先端部の全域に亙ってこれを基板１３と完全に
接合させることができる。

【００４９】上述した実施例では、基板１３とノズル壁
１５の先端部とを直接接合させるようにしたが、これら
の接合力を向上させるため、これらの間に接着剤として
機能する境界樹脂を介在させるようにしてもよい。

【００５０】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの別な実施例の断面構造を図７に示すと共にそのVI
II−VIII矢視断面構造を図８に示すが、先の実施例と同
一機能の部材には、これと同一符号を記すに止め、重複
する説明は省略するものとする。すなわち、ノズル壁１
５の先端部と接合用ヒータ２６との接合部分には、境界
樹脂３１が介在し、この境界樹脂３１を介してノズル壁
１５の先端部と接合用ヒータ２６とが一体的に接合され
た状態となってている。

【００５１】基板１３と溝付き板１６とを重ね合わせる
前の状態を表す図９に示すように、あらかじめ接合用ヒ
ータ２６の上に溝付き板１６と同じ材質のポリサルフォ
ンを主体とする境界樹脂３１を設けておく。この境界樹
脂３１は、細粒状のポリサルフォンをシクロヘキサノン
などの有機溶媒で溶かし、これを基板１３全体にスピン
コートで薄膜形成し、さらにマスキングを行ってエキシ
マレーザ光源からエネルギービームを照射し、個々の接
合用ヒータ２６の上だけに境界樹脂３１が残留するよう
にパターン形成したものである。

【００５２】かかるインクジェットヘッドの製造に際し
ては、あらかじめ境界樹脂３１を溶融するため、基板１
３と溝付き板１５とを位置決め状態で重ね合わせる前
に、接合用ヒータ２６を発熱駆動して境界樹脂３１を加
熱軟化させ、その後、基板１３と溝付き板１５とを位置
決め状態で重ね合わせる。この間、接合用ヒータ２６は
連続的あるいは断続的に発熱駆動されるが、その駆動パ
ルス幅や周波数あるいは電圧などの通電条件を変調させ
るようにしてもよい。

【００５３】前述の境界樹脂３１としては、溝付き板１
６と同一材質のものを使用する必要はなく、例えば溝付
き板１６とは異なる材質の紫外線硬化樹脂などを用い、
接合用ヒータ２６の上にこれを半硬化状態でパターニン
グし、その後、ノズル板１５の先端部を加熱溶融させつ
つ紫外線を照射し、基板１３とノズル板１５の先端部と
を接合することも可能である。

【００５４】なお、ノズル壁１５の先端部と境界樹脂３
１との接触面積を増やすため、ノズル壁１５の先端部に
凹凸を形成するようにしてもよい。

【００５５】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドのさらに他の実施例における接合前の断面構造を図
１０に示すが、先の実施例と同一機能の部材には、これ
と同一符号を記すに止め、重複する説明は省略するもの
とする。すなわち、ノズル壁１５の先端部には、溝形の
凹部３２が形成されており、この凹部３２には接合用ヒ
ータ２６の上の境界樹脂３１が溶融状態で入り込み、基
板１３とノズル板１５の先端部とを一体的に接合するよ
うになっている。

【００５６】上述した実施例における接合部は、何れも
一本の接合用ヒータ２６で形成したが、ノズル壁１５の
先端部に対する接着力が相違する複数の接合面で接合部
を構成するようにしてもよい。

【００５７】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの他の実施例の破断構造を図１１に示し、その XII
−XII 矢視断面構造を図１２に示すが、先の実施例と同
一機能の部材には、これと同一符号を記すに止め、重複
する説明は省略するものとする。すなわち、一対の電極
２７の間には、本実施例では溝部３０を介してそれぞれ
２本の接合用ヒータ２６が保護層１９の上に形成されて
いる。溝部３０を含めた各接合用ヒータ２６の幅は、ノ
ズル壁１５の幅寸法よりも小さく設定され、これら接合
用ヒータ２６の間の溝部３０に、ノズル壁１５の先端部
に対する接着力が接合用ヒータ２６と相違する保護層１
９を露出させた状態としている。

【００５８】本実施例における保護層１９は、１μｍ程
度の膜厚の二酸化ケイ素にて形成されており、この保護
層１９によって覆われた吐出用ヒータ１１は、硼化ハフ
ニウムにて形成されている。また、接合用ヒータ２６
は、耐キャビテーション層２０と同じ材質のもので形成
されており、本実施例では膜厚が０. ２３μｍでシート
抵抗が７. ３Ω／□のタンタルを採用している。

【００５９】本実施例では、隣接する接合用ヒータ２６
の間にポリサルフォンとの接着性がタンタルよりも良好
な二酸化ケイ素による保護層１９が露出した状態となっ
ており、これが接合用ヒータ２６と共に接合部を構成し
ているため、接着性を改善するためにタンタルの表面を
酸化処理するなどの必要性がなくなる。

【００６０】このようなインクジェットヘッドを製造す
るに際しては、図１３に示す状態から図１４に示すよう
にノズル壁１５の先端部と接合用ヒータ２６とが重なり
合うように基板１３と溝付き板１６とを押圧状態で位置
決めする。基板１３と溝付き板１６とを押圧するのは、
基板１３の表面とノズル壁１５の先端部との間に空気溜
まりが断熱部として発生するのを防ぐためである。

【００６１】次に、接合用ヒータ２６にパルス電流を通
電し、瞬間的な加熱と冷却とを繰り返すことにより、ま
ず接合用ヒータ２６と対向するノズル壁１５の先端部の
みを加熱溶融する。次いで、溝部３０と対向する部分が
溶融して溝部３０に位置する保護層１９に当接し、ノズ
ル壁１５の先端部が基板１３の接合用ヒータ２６および
溝部３０に対して一体的に接合する。

【００６２】なお、接合用ヒータ２６によって溶融した
ノズル壁１５の先端部を溝部３０と対向する部分に流動
させるためには、溝部３０の幅を１０μｍ以下に設定す
ることが好ましく、より望ましくは５μｍ以下である。
また、本実施例では、２本の接合用ヒータ２６によって
溝部３０を一つだけ形成したが、接合部の幅寸法が広い
場合には３本以上の接合用ヒータ２６を配列して複数の
溝部３０を形成するようにしてもよい。

【００６３】このように、接合用ヒータ２６の間に溝部
３０を形成し、下地の保護層１９を露出させることによ
り、高温環境下で界面剥離を起こしやすいタンタルによ
る接合用ヒータ２６の残留応力を緩和することができ
る。また、本実施例では溝付き板１６と基板１３とを接
合するために、溝付き板１６の接合部を局部的に加熱す
るための発熱部と接着部とを機能分離させることができ
るため、溝付き板１６を構成する材料との接着性や、接
合用ヒータ２６としての安定性、あるいは製造上のコス
トなどの観点から、最適な材料を選択することができ
る。

【００６４】上述した実施例においても、図７〜図１０
に示した実施例のような境界樹脂を介在させることも可
能である。

【００６５】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドにおける基板と溝付き板との接合前の概略構造を図
１５に示すが、先の実施例と同一機能の部材には、これ
と同一符号を記すに止め、重複する説明は省略するもの
とする。すなわち、ノズル壁１５の先端部を構成するポ
リサルフォンやこれに類する材料を溶剤により溶解し、
これを周知の方法で一対の接合用ヒータ２６の間の溝部
に境界樹脂３１としてパターニングする。そして、接合
用ヒータ２６に通電して突起部２８が形成されたノズル
壁１５の先端部を加熱溶融させ、基板１３とノズル壁１
５の先端部とを一体的に接合する。

【００６６】この場合、境界樹脂３１としては、保護層
１９とノズル壁１５の先端部との実用的な接着性がある
ならば、熱硬化性および熱可塑性の何れの樹脂を採用し
てもよい。

【００６７】上述した各実施例では、吐出用ヒータ１１
の表面に沿ってその側方に吐出口２４を設けた形式のイ
ンクジェットヘッドについて説明したが、吐出用ヒータ
の表面と対向するように吐出口を設けたインクジェット
ヘッドに応用することも可能である。

【００６８】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドのさらに別な実施例の構造を図１６に示すと共にそ
のXVII−XVII矢視断面構造を図１７に示すが、先の実施
例と同一機能の部材には、これと同一符号を記すに止
め、重複する説明は省略するものとする。すなわち、基
板１３に接合される溝付き板１６の中央部には、基板１
３とで共通吐出媒体液室２１を形成する凹部が形成され
ており、この凹部を挟んで溝付き板１６の幅方向両側に
は、基板１３とでそれぞれ複数のノズル状通路１４を形
成する溝部が形成されている。ノズル状通路１４に臨む
基板１３の表面には、それぞれ吐出用ヒータ１１が形成
されており、これら吐出用ヒータ１１と反対側の溝付き
板１６の部分には、吐出口２４が形成されている。

【００６９】一方、隣接するノズル状通路１４を仕切る
ノズル壁１５の先端部が当接する基板１３の部分や、共
通吐出媒体液室２１の長手方向両端側に位置する溝付き
板１６の部分が当接する基板１３の部分には、接合用ヒ
ータ２６が形成されている。そして、これら接合用ヒー
タ２６に対する通電処理によって、当該接合用ヒータ２
６と対向する溝付き板１６の部分を加熱溶融させ、基板
１３と溝付き板１６とを一体的に接合させるようにして
いる。この後、吐出媒体をシールするための封止材を接
合面の周囲に塗布することも可能である。

【００７０】上述した実施例では、共通吐出媒体液室２
１の長手方向両側のみ接合用ヒータ２６を設けたが、共
通吐出媒体液室２１全体を囲むように接合用ヒータ２６
を形成し、基板１３と溝付き板１６とを接合すること
で、共通吐出媒体液室２１からのインク漏れを防止する
ようにしてもよい。

【００７１】なお、本実施例からも明らかなように、本
発明は基板１３とノズル壁１５の先端部との接合部のみ
ならず、基板１３と溝付き板１６との他の接合部分に応
用することも可能である。例えば、図２５に示す液室枠
２２の一部または全部を基板１３と接着する場合にも利
用することが可能である。

【００７２】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの概略構造を図１８に示し、その XIX−XIX 矢視断
面構造を図１９に示すが、先の実施例と同一機能の部材
には、これと同一符号を記すに止め、重複する説明は省
略するものとする。すなわち、溝付き板１６が重ね合わ
される基板１３の保護層１９の上には、仮止めのための
接合用ヒータ３３と、この接合用ヒータ３３に接続する
一対の電極３４とがパターン形成されている。また、こ
れら接合用ヒータ３３と対向する溝付き板１６の表面に
は、半球状の凸部３５が多数形成されている。これら凸
部３５は、接合用ヒータ３３による溝付き板１６の加熱
時に溶融し、基板１３との隙間に流動して基板１３と溝
付き板１６との一体化を確実にしている。

【００７３】従来、基板１３と溝付き板１６とを仮止め
する場合、作業性に優れた紫外線硬化樹脂による接着剤
を用いているが、本実施例の場合には、上述した接合用
ヒータ３３を用いて基板１３と溝付き板１６とを仮止め
することができる。このため、接着剤の塗布と硬化処理
に要する工程を短縮することができ、基板１３および溝
付き板１６に仮止め用の接着剤を塗布するスペースを形
成する必要はない。

【００７４】上述した各実施例では、第２の電極２７や
電極３４を用いて電気的に接合用ヒータ２６, ３２を加
熱するようにしたが、外部熱源からの熱エネルギーを接
合用ヒータ２６に与えてこれを加熱することも可能であ
る。

【００７５】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの接合部分の概略構造を図２０に示し、その平面形
状を図２１に示すが、先の実施例と同一機能の部材に
は、これと同一符号を記すに止め、重複する説明は省略
するものとする。すなわち、基板１３の保護層１９の上
に形成される仮止めのための接合用ヒータ３３と対向す
る溝付き板１６の部分には、ＹＡＧレーザなどのエネル
ギービームを透過させる薄肉部３６が形成されており、
この薄肉部３６を透過してエネルギービームが接合用ヒ
ータ３３に照射され、接合用ヒータ３３を加熱昇温させ
ることにより、基板１３と溝付き板１６とを一体的に接
合する。

【００７６】接合用ヒータ３３は、ＹＡＧレーザなどの
エネルギービームの吸収が良好なタンタルにて形成され
ており、また、エネルギービームは溝付き板１６の薄肉
部３６を透過することによって、その減衰を最小限に抑
制することができる。本実施例では、接合用ヒータ３３
を複数に分割することによって、保護層１９に対する接
合用ヒータ３３の剥離現象を一部に止め、溝付き板１６
との接合の信頼性を損ねないように配慮している。本実
施例では、接合用ヒータ３３に電極３４などを接続する
必要がないので、構成も比較的簡単にすることができ
る。

【００７７】次に、図１〜図４に示したインクジェット
ヘッドを用いた本発明によるインクジェットカートリッ
ジの一実施例の外観を図２２に示す。すなわち、本実施
例におけるインクジェットカートリッジ４０は、シリア
ルタイプのものであり、インクジェットヘッド１０と、
インク供給管４１と、インクを収容するインクタンク４
２と、このインクタンク４２内を密閉する蓋部材４３と
で主要部が構成されている。

【００７８】インクを吐出するための多数の吐出口２４
が形成されたインクジェットヘッド１０は、先の図１に
部分的に示した実施例に対応したものであり、インク
は、インクタンク４２からインク供給管４１を介して溝
付き板１６と基板１３とで形成される図示しない共通イ
ンク室へと導かれるようになっている。

【００７９】本実施例におけるインクジェットカートリ
ッジ４０は、インクジェットヘッド１０とインクタンク
４２とを一体的に形成したものであるが、このインクジ
ェットヘッド１０に対し、インクタンク４２側を交換可
能に連結した構造を採用するようにしても良い。

【００８０】上述したインクジェットカートリッジ４０
を用いた本発明によるインクジェット装置の一実施例の
外観を図２３に示す。すなわち、本実施例のインクジェ
ット装置５０の紙送りモータ５１によって駆動回転する
プラテンローラ５２と平行に配設された一対の案内棒５
３には、キャリッジ５４が摺動自在に保持されている。
また、案内棒５３の両端側に回転自在に取り付けられた
一対のプーリ５５, ５６には、走査ワイヤ５７が案内棒
５３と平行に巻き掛けられ、その両端部がキャリッジ５
４に連結されている。一方のプーリ５５には、キャリッ
ジ駆動モータ５８が連結され、このキャリッジ駆動モー
タ５８の正逆転によって、キャリッジ５４は案内棒５３
に案内されながらプラテンローラ５２に沿ってその長手
方向に走査移動するようになっている。

【００８１】前記キャリッジ５４には、図１８に示した
インクジェットカートリッジ４０が着脱操作レバー５９
を介して交換可能に位置決め状態で搭載され、インクジ
ェットヘッド１０の吐出口２４がプラテンローラ５２に
巻き付けられた紙などのプリント媒体７０と所定の間隙
を以て対向する。また、インクジェットヘッド１０に
は、キャリッジ５４に連結されたフレキシブルケーブル
６０を介して適宜のデータ供給源からのデータに応じた
インクの吐出信号が供給される。そして、紙送りモータ
５１によるプリント媒体７０の送り動作と、キャリッジ
駆動モータ５８によるキャリッジ５４の走査移動とによ
り、プリント媒体７０の所定箇所に所望のデータをプリ
ントすることができる。

【００８２】なお、インクジェットカートリッジ４０
は、使用するインクの色などに応じて１つ以上（図示例
では２つ）をキャリッジ５４に搭載することができるよ
うになっている。また、上述したインクジェットヘッド
１０として、シリアルタイプのものを採用したが、フル
ラインタイプのインクジェットヘッドを用いたインクジ
ェットカートリッジや、そのインクジェット装置にも適
用することができる。

【００８３】

【発明の効果】本発明によると、吐出エネルギー発生部
および第１の電極を覆うように基板に形成された保護層
の上に、溝付き板の接合部を接合するに際してこの溝付
き板の接合部を加熱するための発熱部を設けたので、基
板と溝付き板との自律的な接合が可能であり、吐出性能
に大きく影響する基板の接合面とノズル壁部の先端部と
を確実に接合することができ、駆動時の隣接ノズルヘの
吐出エネルギーのリークが低減され、安定な液滴の吐出
が可能である。

【００８４】また、耐キャビテーション層として使用可
能なタンタルを接合用ヒータとして使用した場合、この
接合ヒータの表面を酸化処理しなくても良好な接着が可
能であり、接合ヒータを形成するための追加の工程を不
要にすることができる。

【００８５】さらに、溝付き板の接合部に確実かつ効率
的に熱を伝え、吐出媒体液滴形成のための吐出エネルギ
ー発生部に負担をかけることなく、溝付き板の接合部の
みの加熱を制御することが可能である。特に、溝付き板
の接合部と接触する基板１３の表面に、溝付き板の接合
部を加熱する発熱部とこの溝付き板の接合部と実質的に
接合し合う接着部とを露出させるようにした場合には、
溝付き板の接合部に対する伝熱効率を高めることがで
き、接合部以外の他の部分に熱による変形を起こすよう
不具合を抑制することが可能である。

【００８６】一方、基板の製造コストや耐インク性能な
どの都合により、基板の接合部の広い範囲に亙って溝付
き板に対して接着性の低い材料の層を設けなければなら
ない場合でも、溝付き板との接着性の比較的良好な材料
を基板の接合部に一部露出させることにより、溝付き板
の接合部に対して基板を密着状態で接合させることがで
きる。

【００８７】しかも、溝付き板の接合部の直下に接合用
ヒータを設けた場合には、発熱に適した材料の層と、溝
付き天板の接合部との密着性能に優れた材料の層とを隣
接して設けることで、発熱と密着との機能を分離し、製
造工程やコストおよび性能などの点で好適な基板の接合
面を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるインクジェットヘッドの第１の実
施例の主要部の構造を表す断面図である。

【図２】図１中のII−II矢視断面図である。

【図３】図１に示した実施例における基板と溝付き板と
の接合前の状態を表す断面図である。

【図４】図１に示した実施例の製造手順を表すフローチ
ャートである。

【図５】本発明によるインクジェットヘッドの第２の実
施例における基板と溝付き板との接合前の状態を表す断
面図である。

【図６】本発明によるインクジェットヘッドの第３の実
施例における図２と同様の断面図である。

【図７】本発明によるインクジェットヘッドの第４の実
施例における図２と同様の断面図である。

【図８】図７中のVIII−VIII矢視断面図である。

【図９】図７に示した実施例における基板と溝付き板と
の接合前の状態を表す断面図である。

【図１０】本発明によるインクジェットヘッドの第５の
実施例における基板と溝付き板との接合前の状態を表す
断面図である。

【図１１】本発明によるインクジェットヘッドの第６の
実施例における主要部を抽出拡大した断面図である。

【図１２】図１１中の XII−XII 矢視断面図である。

【図１３】図１４と共に第６の実施例によるインクジェ
ットヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図１４】図１３と共に第６の実施例によるインクジェ
ットヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図１５】本発明によるインクジェットヘッドの第７の
実施例における基板と溝付き板との接合前の状態を表す
断面図である。

【図１６】本発明によるインクジェットヘッドの第８の
実施例における第２図と同様の断面図である。

【図１７】図１６中のXVII−XVII矢視断面図である。

【図１８】本発明によるインクジェットヘッドの第９の
実施例の構造を表す平面図である。

【図１９】第９の実施例における基板と溝付き板との接
合前の状態を表す図１８中の XIX−XIX 矢視断面図であ
る。

【図２０】本発明によるインクジェットヘッドの第１０
の実施例における基板と溝付き板との接合前の状態を表
す断面図である。

【図２１】図２０に示したインクジェットヘッドの平面
図である。

【図２２】本発明によるインクジェットカートリッジの
一実施例の外観を表す斜視図である。

【図２３】本発明によるインクジェット装置の一実施例
の概略構造を表す破断斜視図である。

【図２４】本発明の対象となったインクジェットヘッド
の一例の外観を表す斜視図である。

【図２５】図２４に示したインクジェットヘッドの内部
構造を表す断面図である。

【図２６】図２５中のXXVI−XXVI矢視断面図である。

【図２７】図２５中の XXVII−XXVII 矢視断面図であ
る。

【符号の説明】

１０インクジェットヘッド１１電気熱変換体１２電極１３基板１４ノズル状通路１５ノズル壁１６溝付き板１７電気回路部１８絶縁層１９保護層２０耐キャビテーション層２１共通吐出媒体液室２２液室枠２３吐出媒体供給口２４吐出口２５吐出口板２６接合用ヒータ２７第２の電極２８突起部２９第２の保護層３０溝部３１境界樹脂３２凹部３３接合用ヒータ３４電極３５凸部３６薄肉部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吐出媒体の液滴を吐出するための吐出エ
ネルギー発生部およびこの吐出エネルギー発生部に接続
して当該吐出エネルギー発生部に通電可能な第１の電極
を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギー発生部
が形成された側の面に重ね合わされると共に前記吐出エ
ネルギー発生部を囲むノズル壁が形成された溝付き板と
を具え、この溝付き板の接合部と前記基板の接合部とを
相互に接合してなるインクジェットヘッドであって、前記基板の接合部は、前記吐出エネルギー発生部および
前記第１の電極を覆うように前記基板に形成された保護
層の上に設けられると共に前記溝付き板の接合部を接合
するに際してこの溝付き板の接合部を加熱するための発
熱部であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】前記基板の接合部は、前記溝付き板の接
合部に対する接着力が相違する複数の接合面を有し、前記複数の接合面の少なくとも一つは、前記吐出エネル
ギー発生部および前記第１の電極を覆うように前記基板
に形成された保護層であり、前記複数の接合面の少なくとも別な一つは、前記保護層
の上に設けられると共に前記基板の接合部と前記溝付き
板の接合部とを接合するに際して前記溝付き板の接合部
を加熱するための発熱部であることを特徴とする請求項
１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】前記基板の接合部と前記溝付き板の接合
部との間には、これらを接着するための境界樹脂が介在
していることを特徴とする請求項１または請求項２に記
載のインクジェットヘッド。
【請求項４】前記溝付き板の接合部は、前記ノズル壁
の先端部であることを特徴とする請求項１から請求項３
の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】前記発熱部には、当該発熱部に通電可能
な第２の電極が接続していることを特徴とする請求項１
から請求項４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】前記基板は、前記保護層を介して前記吐
出エネルギー発生部を覆う耐キャビテーション部をさら
に有し、前記発熱部は、この耐キャビテーション部と同
一材料にて形成されていることを特徴とする請求項１か
ら請求項５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】吐出媒体の液滴を吐出するための吐出エ
ネルギー発生部およびこの吐出エネルギー発生部に接続
して当該吐出エネルギー発生部に通電可能な第１の電極
を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギー発生部
が形成された側の面に重ね合わされると共に前記吐出エ
ネルギー発生部を囲むノズル壁が形成された溝付き板と
を具え、この溝付き板の接合部と前記基板の接合部とを
相互に接合してなるインクジェットヘッドと、このイン
クジェットヘッドに供給するための前記吐出媒体を蓄え
る吐出媒体タンクとを具えたインクジェットカートリッ
ジであって、前記基板の接合部は、前記吐出エネルギー発生部および
前記第１の電極を覆うように前記基板に形成された保護
層の上に設けられると共に前記溝付き板の接合部を接合
するに際してこの溝付き板の接合部を加熱するための発
熱部であることを特徴とするインクジェットカートリッ
ジ。
【請求項８】前記溝付き板の接合部は、前記ノズル壁
の先端部であることを特徴とする請求項７に記載のイン
クジェットカートリッジ。
【請求項９】前記吐出媒体は、インクおよび／または
プリント媒体に吐出されるインクの特性を調整する処理
液であることを特徴とする請求項７または請求項８に記
載のインクジェットカートリッジ。
【請求項１０】吐出媒体の液滴を吐出するための吐出
エネルギー発生部およびこの吐出エネルギー発生部に接
続して当該吐出エネルギー発生部に通電可能な第１の電
極を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギー発生
部が形成された側の面に重ね合わされると共に前記吐出
エネルギー発生部を囲むノズル壁が形成された溝付き板
とを具え、この溝付き板の接合部と前記基板の接合部と
を相互に接合してなるインクジェットヘッドの取り付け
部を具えたインクジェット装置であって、前記基板の接合部は、前記吐出エネルギー発生部および
前記第１の電極を覆うように前記基板に形成された保護
層の上に設けられると共に前記溝付き板の接合部を接合
するに際してこの溝付き板の接合部を加熱するための発
熱部であることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項１１】前記溝付き板の接合部は、前記ノズル
壁の先端部であることを特徴とする請求項１０に記載の
インクジェット装置。
【請求項１２】前記インクジェットヘッドの取り付け
部は、前記インクジェットヘッドから液滴が吐出される
プリント媒体の搬送方向と交差する方向に走査移動可能
であることを特徴とする請求項１０または請求項１１に
記載のインクジェット装置。
【請求項１３】吐出媒体の液滴を吐出するための吐出
エネルギー発生部およびこの吐出エネルギー発生部に接
続して当該吐出エネルギー発生部に通電可能な第１の電
極を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギー発生
部が形成された側の面に重ね合わされると共に前記吐出
エネルギー発生部を囲むノズル壁が形成された溝付き板
とを具えたインクジェットヘッドの製造方法であって、前記吐出エネルギー発生部および前記第１の電極を覆う
保護層を前記基板に形成するステップと、前記溝付き板の接合部を加熱するための発熱部を前記保
護層の上に形成するステップと、前記発熱部と前記溝付き板の接合部とが当接するように
前記基板と前記溝付き板とを仮組みするステップと、前記発熱部を加熱することにより前記溝付き板の接合部
を加熱するステップと、加熱に伴う前記溝付き板の接合部の変形によって前記基
板の発熱部と前記溝付き板の接合部とを一体的に接合す
るステップとを具えたことを特徴とするインクジェット
ヘッドの製造方法。
【請求項１４】前記発熱部を電気的に加熱することを
特徴とする請求項１３に記載のインクジェットヘッドの
製造方法。
【請求項１５】前記発熱部に接続する第２の電極を前
記基板に形成するステップと、前記第２の電極の表面を
変質処理するステップとをさらに具えたことを特徴とす
る請求項１３または請求項１４の何れかに記載のインク
ジェットヘッドの製造方法。
【請求項１６】前記第２の電極の変質処理は、酸化処
理であることを特徴とする請求項１５に記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法。
【請求項１７】前記発熱部をエネルギービームの照射
により加熱することを特徴とする請求項１３に記載のイ
ンクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１８】前記発熱部は、前記ノズル壁の先端部
を構成する材料をそのガラス転移温度以上に加熱するも
のであることを特徴とする請求項１３から請求項１７の
何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１９】前記溝付き板の接合部と前記基板の前
記発熱部との間にこれらを接着するための境界樹脂を介
在させるステップをさらに具え、前記発熱部は、前記境
界樹脂をそのガラス転移温度以上に加熱するものである
ことを特徴とする請求項１３から請求項１８の何れかに
記載のインクジェットヘッドの製造方法。