JP4639821B2 - 目標値加工装置、温度調節器および制御プロセス実行システム - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 164
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 40
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims description 31
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 81
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 14
- 238000011112 process operation Methods 0.000 claims description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 11
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 2
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 37
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 30
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 30
- 230000004044 response Effects 0.000 description 23
- 230000008859 change Effects 0.000 description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000006870 function Effects 0.000 description 11
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 11
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 10
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 6
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000013641 positive control Substances 0.000 description 1
- 101150063780 spp1 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G05B11/32—Automatic controllers electric with inputs from more than one sensing element; with outputs to more than one correcting element
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
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- G05B11/36—Automatic controllers electric with provision for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral, differential
- G05B11/42—Automatic controllers electric with provision for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral, differential for obtaining a characteristic which is both proportional and time-dependent, e.g. P. I., P. I. D.
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Description
例えば、外乱によって、観測量が、どの時点で何度不所望に変化しているかを求めることができる。
温度調節器3では、供給される整形目標値信号に基づいて、ヒータHの加熱制御を実施する。したがって、温度調節器3は、入力される目標値信号に沿って従前の制御動作を実施することになる。このとき、外乱発生当初の期間が終了している。そのため、目標値信号を用いた従前の温度制御を実施しても何ら問題はない。このように、目標値加工装置1では、期間毎に整形目標値信号と未整形目標値信号とを切り換えることで、最終的な目標値信号の整形を行って整形目標値信号とする。
なお、コマンドシェープ制御は、外乱発生当初の期間だけに実施される制御である。そのため、外乱発生当初の期間が終了すると、このことを検知したタイミング検出回路21は、出力切換回路27に制御切換指令を出力する。制御切換指令を受けた出力切換回路27は、第2メモリ26から供給される整形目標値信号の選択操作を停止し、換わって、A/D変換回路20からタイミング検出回路21を通過して供給される未加工の目標値信号(デジタル)を選択してD/A変換回路28に出力する。
未整形の目標値信号は、D/A変換回路28によりアナログ信号に変換されたのち、温度調節器3に供給される。温度調節器3では、供給される未整形目標値信号に基づいて、ヒータHの加熱制御を実施する。したがって、温度調節器3は、入力される未整形目標値信号に沿って従前の制御動作を実施することになる。このとき、コマンドシェープ制御が必要となる外乱発生当初の期間が終了している。そのため、未整形目標値信号を用いた従前の温度制御を実施しても何ら問題はない。このように、目標値加工装置1では、期間毎に整形目標値信号と未整形目標値信号とを切り換えることで、最終的な目標値信号の整形を行う。
SPr:整形目標値信号
SP:未加工目標値信号
G(s):アンチリセットワインドアップ制御に適した適切な伝達関数行列
ur:温度調節器3のリミッタ40に入力される制御プロセス操作量
u:リミッタ40から出力される制御プロセス操作量
目標値加工装置1によるアンチリセットワインドアップ制御においては、任意の温度調節器3により制御されるヒータHの能力・特性を最大限に引き出すように、整形目標値信号を生成して温度調節器3に供給することにより、ヒータHの特性を最大限まで向上させることができる。この場合、温度調節器3等の操作対象は一般にパワー素子である。そのため、目標値加工装置1においてアンチリセットワインドアップ制御を実施することで、操作対象(パワー素子)の能力を100%使い切る制御動作を回避させることができる。このことは、操作対象(パワー素子)の長寿命化やエネルギー改善に繋がる。
この実施の形態は、外乱応答制御および目標値応答制御に好適である。
また、上述した図2,図3では、一つの目標値加工装置1と一つの温度調節器3とを端子台4により連結した構成とした。しかしながら、複数のプロセス制御対象(ヒータH)を同時にプロセス制御する場合、これらのプロセス制御対象毎に温度調節器3が設けられる。この場合、温度調節器3毎に設けられる端子台部4bを互いに連結したうえで、連結した端子台部4bを介して温度調節器3どうしも互いに連結することが実施される。このような使用形態では、温度調節器3毎に設ける目標値加工装置1用の端子台4aも端子台部4bに連結すればよい。そうすれば、複数の温度調節器3,…と、複数の目標値加工装置1とを端子台4を介して一体化させることが可能となる。
2 目標値供給装置 3 温度調節器 3a 入力部
4 端子台 4a 端子台部 4b 端子台部
4c 台座 5 連結レール 6 目標値整形器
7a サイドコネクタ 7b サイドコネクタ 8a 接続端子
8b 接続端子 8 レール係合溝 9 接続ケーブル
10 温度センサ H ホットプレート W 加熱対象
20 A/D変換回路 21 タイミング検出回路 22 タイマ
23 第1メモリ 24 検出回路 25 計算回路
26 第2メモリ 27 出力切換回路 28 D/A変換回路
29 デコード回路 30 アクセス制御回路 31 第3メモリ
32 比較回路 33 第2出力回路 34 入力回路
35 判定回路 36 第1出力回路 40 検出器
41 減算器 50 波形発生器 51 目標値加工器
52 パラメータ生成器
Claims (9)
- 目標値と制御対象からの観測量とに基づいて制御プロセスを実行する調節器の前段に設けられて、前記調節器に対する前記目標値を加工する装置であって、
制御プロセスの目標値を示す目標値信号が入力される入力部と、
前記入力部に入力される前記目標値信号を整形する目標値整形器と、
前記目標値の整形パターンを予め記憶する記憶器と、
前記目標値整形器で整形される整形目標値信号を、前記調節器に対して前記目標値として出力する出力部と、
当該目標値加工装置を前記調節器に着脱自在に連結させる連結器または当該目標値加工装置と前記調節器とを通信可能に接続する通信手段とを備え、
前記目標値整形器は、予め未整形目標値信号を前記調節器に供給した状態で該調節器によって制御される制御対象の観測量を取り込み、取り込んだ観測量が前記目標値に到達するように前記目標値の整形パターンを作成して前記記憶器に記憶させ、かつ、当該目標値整形器は、目標値整形制御時において、前記記憶器から整形パターンを読み出して、前記入力部に入力される前記目標値信号の整形を行う、ことを特徴とする目標値加工装置。 - 請求項1に記載の目標値加工装置において、
前記出力部は、前記連結器による当該目標値加工装置と前記調節器との着脱操作に伴って、前記調節器の目標値入力部に着脱自在に電気接続される構造を有する、ことを特徴とする目標値加工装置。 - 請求項1または2に記載の目標値加工装置において、
前記目標値整形器は、予め制御対象の観測開始時においてオーバーシュートまたはアンダーシュートが生じたときの前記観測量を取り込み、前記オーバーシュートまたはアンダーシュートが生じた観測量のピーク値が前記目標値になるように前記目標値信号を整形して前記整形パターンを作成して前記記憶器に記憶させる、ことを特徴とする目標値加工装置。 - 請求項1または2に記載の目標値加工装置において、
前記目標値整形器は、予め外乱が印加されたときの前記観測量を取り込み、外乱による変動の周期と同周期で逆位相となる変動を前記目標値に与えて前記整形パターンを作成して前記記憶器に記憶させる、ことを特徴とする目標値加工装置。 - 請求項1または2に記載の目標値加工装置において、
設定されるパラメータに基いて、波形を発生する波形発生器と、該波形発生器で発生する波形に基いて、前記目標値信号を加工して前記整形目標値信号として出力する加工器とを含み、
前記パラメータが、時間と目標値との関係を示すデータ、ARXモデルを規定するパラメータであることを特徴とする目標値加工装置。 - 請求項1または2に記載の目標値加工装置において、
予め未整形目標値信号を前記調節器に供給した状態で該調節器によって制御される制御対象の観測量、および、パラメータを生成するのに用いる目標値信号を前記調節器に供給した状態で該調節器によって制御される制御対象の観測量を取り込んで、パラメータを生成するパラメータ生成器と、このパラメータ生成器で生成されたパラメータに基いて、波形を発生する波形発生器と、該波形発生器で発生する波形に基いて、前記目標値信号を加工して前記整形目標値信号として出力する加工器とを含み、
前記パラメータは、時間と目標値との関係を示すデータ、ARXモデルを規定するパラメータであることを特徴とする目標値加工装置。 - 目標値と制御対象からの観測量とに基づいて制御プロセスを実行する調節器の前段に設けられて、前記調節器に対する前記目標値を加工する装置であって、
制御プロセスの目標値を示す目標値信号が入力される入力部と、
前記調節器の制御プロセス操作量の飽和量を予測する飽和量予測器と、
前記飽和量予測器で予測された予測飽和量を、所望のフィードバックゲインで前記目標値信号から減算して前記整形目標値信号として出力する加工器と、
前記加工器で整形される整形目標値信号を、前記調節器に対して前記目標値として出力する出力部と、
当該目標値加工装置を前記調節器に着脱自在に連結させる連結器または当該目標値加工装置と前記調節器とを通信可能に接続する通信手段とを備え、
前記飽和量予測器は、前記調節器の前記制御プロセス操作量に相当する制御プロセス操作量が入力されるリミッタを備え、該リミッタの入力と出力との差を前記予測飽和量とすることを特徴とする目標値加工装置。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の目標値加工装置の前記出力部のみから出力される前記整形目標値信号が入力される目標値入力部を有する、ことを特徴とする温度調節器。
- 制御プロセスの目標値を示す目標値信号を生成する目標値供給装置と、
前記目標値供給装置が生成した目標値信号を整形する請求項1ないし7のいずれかに記載の目標値加工装置と、
前記目標値加工装置で整形された整形目標値信号に基づいて制御プロセスを実行する調節器と、
を備えることを特徴とする制御プロセス実行システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005018005A JP4639821B2 (ja) | 2004-02-24 | 2005-01-26 | 目標値加工装置、温度調節器および制御プロセス実行システム |
EP05003909A EP1569054A3 (en) | 2004-02-24 | 2005-02-23 | Target value processing unit, temperature controller, control process implementing system, process controlling method, target value processing program, and recording medium |
US11/062,756 US7218999B2 (en) | 2004-02-24 | 2005-02-23 | Target value processing unit, temperature controller, control process implementing system, process controlling method, target value processing program, and recording medium |
CNB2005100517911A CN100433070C (zh) | 2004-02-24 | 2005-02-24 | 目标值加工装置、温度调节器、控制过程执行系统和方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004048172 | 2004-02-24 | ||
JP2005018005A JP4639821B2 (ja) | 2004-02-24 | 2005-01-26 | 目標値加工装置、温度調節器および制御プロセス実行システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005276169A JP2005276169A (ja) | 2005-10-06 |
JP4639821B2 true JP4639821B2 (ja) | 2011-02-23 |
Family
ID=34752152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005018005A Expired - Fee Related JP4639821B2 (ja) | 2004-02-24 | 2005-01-26 | 目標値加工装置、温度調節器および制御プロセス実行システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7218999B2 (ja) |
EP (1) | EP1569054A3 (ja) |
JP (1) | JP4639821B2 (ja) |
CN (1) | CN100433070C (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP4639821B2 (ja) * | 2004-02-24 | 2011-02-23 | オムロン株式会社 | 目標値加工装置、温度調節器および制御プロセス実行システム |
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- 2005-01-26 JP JP2005018005A patent/JP4639821B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-02-23 EP EP05003909A patent/EP1569054A3/en not_active Withdrawn
- 2005-02-23 US US11/062,756 patent/US7218999B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-02-24 CN CNB2005100517911A patent/CN100433070C/zh not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100433070C (zh) | 2008-11-12 |
EP1569054A3 (en) | 2006-05-24 |
US20050192681A1 (en) | 2005-09-01 |
CN1661642A (zh) | 2005-08-31 |
JP2005276169A (ja) | 2005-10-06 |
US7218999B2 (en) | 2007-05-15 |
EP1569054A2 (en) | 2005-08-31 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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|
A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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