JP2002207503A - 目標値生成方法及びこれを用いたプロセス制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 制約条件を考慮して最適な目標値を生成しな
がら制御対象を制御することが可能な目標値生成方法及
びこれを用いたプロセス制御装置を実現する。 【解決手段】 制御対象を制御するプロセス制御装置の
目標値生成方法において、実際の制御系を模した模擬制
御系を設けてこの模擬制御系に参考軌道に基づき参考目
標値を供給して予測応答を得ておき、模擬制御系から得
られる予測応答を評価して参考軌道を修正してこれを最
適目標軌道としてこの最適目標軌道に基づき最適目標値
を生成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、制御量に制約を有
する制御対象を制御するプロセス制御装置に関し、特
に、制約条件を考慮して最適な目標軌道を生成しながら
制御対象を制御することが可能な目標値生成方法及びこ
れを用いたプロセス制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の多変数制御装置等のプロセス制御
装置は設定された目標軌道に設定された目標値と制御対
象から出力される制御量や制御対象から検出される温度
や密度等の状態量等に基づき制御対象に対する操作量を
決定して、制御対象を制御して状態量等を目標値に追従
させる。

【０００３】また、制御対象の制御量や操作量に制約条
件がある場合には制御量や操作量が制約条件を回避する
ように目標値の軌道を予め調整しておく。

【０００４】図１１はこのような従来のプロセス制御装
置の一例を示す構成ブロック図である。図１１において
１は目標値の軌道が予め格納された記憶手段、２は目標
値及び制御量に基づき操作量を計算するコントローラ、
３はプロセス等の制御対象である。また、１００は目標
値、１０１は操作量、１０２は制御量である。

【０００５】記憶手段１の出力である目標値１００はコ
ントローラ２に入力され、コントローラ２の出力である
操作量１０１は制御対象３に入力される。制御対象３の
出力である制御量１０２が出力されると共にコントロー
ラ２にフィードバックされる。

【０００６】ここで、図１１に示す従来例の動作を説明
する。コントローラ２は記憶手段１から入力された目標
値１００と制御対象３の出力である制御量１０２に基づ
き操作量１０１を決定して制御対象に入力する。

【０００７】例えば、コントローラ２は目標値１００と
制御量１０２が一致するように操作量１０１を決定して
制御対象３を制御する。

【０００８】但し、現在の状態量と目標値の値がかけ離
れている場合に制御対象３に対していきなり大きな操作
量を入力すると制御量が大きく変動して旨く目標値に追
従できなくなったり、プロセス３の制御量の許容値と言
った制約条件を超えてしまう恐れがある。

【０００９】ここで、さらに、目標軌道の従来の調整方
法について図１２を用いて説明する。図１２は従来の目
標値の決定方法を説明するフロー図である。図１２中”
Ｓ００１”において制約条件を考慮してオフラインシミ
ュレーションを行い、図１２中”Ｓ００２”において目
標軌道を決定する。

【００１０】そして、図１２中”Ｓ００３”において決
定された目標軌道を用いてオンラインによる実際の目標
値追従制御を行うと共に図１２中”Ｓ００４”において
オペレータが制御結果を監視して制御が適正であるか否
かを判断する。

【００１１】もし、制御量の制約条件を満たさなくなる
等の状況が発生して適正な制御でなくなれば、図１２
中”Ｓ００１”に示すオフラインシミュレーションに戻
って目標軌道の再決定を行う。

【００１２】この結果、オフラインシミュレーションに
より予め目標軌道を決定しておき、この目標軌道を用い
てオンラインで目標値追従制御を行いながら当該目標軌
道を修正して行くことにより適正な目標軌道を得ること
ができる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の目標軌
道の決定方法では、第１の手順であるオフラインシミュ
レーションは目標軌道の形に合わせてコントローラ２内
の制御パラメータ等の調整しなければならない項目が多
いため、オフラインシミュレーションには膨大な工数を
費やしてしまうと言った問題点があった。

【００１４】また、第２の手順である実際に制御対象３
を用いて目標値追従制御を行った場合には、システム変
動、負荷変動、周囲環境等変化等の様々な要因により先
にオフラインシミュレーションで決定した目標軌道が適
切ではなく、制御結果に基づき容易に目標軌道の修正で
きない場合がある。

【００１５】このため、前述の様々な要因を考慮した複
数の目標軌道をオフラインシミュレーションで決定して
おく必要があり作業が容易ではないと言った問題点があ
った。従って本発明が解決しようとする課題は、制約条
件を考慮して最適な目標値を生成しながら制御対象を制
御することが可能な目標値生成方法及びこれを用いたプ
ロセス制御装置を実現することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、制御対
象を制御するプロセス制御装置の目標値生成方法におい
て、実際の制御系を模した模擬制御系を設けてこの模擬
制御系に参考軌道に基づき参考目標値を供給して予測応
答を得ておき、前記模擬制御系から得られる前記予測応
答を評価して前記参考軌道を修正してこれを最適目標軌
道としてこの最適目標軌道に基づき最適目標値を生成す
ることにより、制約条件を考慮して最適な目標値を生成
しながら制御対象を制御することが可能になる。

【００１７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明である目標値生成方法において、初期の参考軌道を作
成してこの初期の参考軌道を時系列順に参考目標値とし
て前記模擬制御系に供給して予測応答を得ておき、長期
評価時刻における前記予測応答が適性であるか否かを判
断して適正でなければ前記参考軌道を修正し、応答余裕
が適性であるか否かを判断して適正でなければ前記参考
軌道を修正し、長期評価時刻における前記予測応答が適
性且つ応答余裕が適性であれば前記参考軌道を最適目標
軌道とし、この最適目標軌道に基づき最適目標値を生成
することにより、制約条件を考慮して最適な目標値を生
成しながら制御対象を制御することが可能になる。

【００１８】請求項３記載の発明は、請求項２記載の発
明である目標値生成方法において、前記応答余裕がプラ
スの場合にはランプ応答を微小角プラスにし、前記応答
余裕がマイナスの場合にはランプ応答を微小角マイナス
して前記参考軌道を修正することにより、制約条件を考
慮して最適な目標値を生成しながら制御対象を制御する
ことが可能になる。

【００１９】請求項４記載の発明は、請求項２記載の発
明である目標値生成方法において、前記応答余裕の正負
によりランプ応答の前回の角度の１／２を前回の角度に
加算若しくは減算して前記参考軌道を修正することによ
り、制約条件を考慮して最適な目標値を生成しながら制
御対象を制御することが可能になる。

【００２０】請求項５記載の発明は、制御対象を制御す
るプロセス制御装置において、予め目標軌道が格納され
た記憶手段と、この記憶手段から出力される目標値、操
作量及び前記制御対象の出力である制御量に基づき最適
目標値を生成して出力する目標軌道生成手段と、前記最
適目標値に基づき前記制御対象に対して目標値追従制御
を行わせるコントローラと、このコントローラの出力に
制約を加えて前記操作量として前記制御対象及び前記目
標軌道生成手段に供給する操作量制約手段とを備えたこ
とにより、制約条件を考慮して最適な目標値を生成しな
がら制御対象を制御することが可能になる。

【００２１】請求項６記載の発明は、請求項５記載の発
明であるプロセス制御装置において、前記目標軌道生成
手段が、実際の制御系を模した模擬制御系である応答予
測手段と、この応答予測手段に参考軌道に基づき参考目
標値を供給して予測応答を得て、この予測応答を評価し
て前記参考軌道を修正してこれを最適目標軌道とし、こ
の最適目標軌道に基づき最適目標値を生成する目標軌道
決定手段とから構成されたことにより、制約条件を考慮
して最適な目標値を生成しながら制御対象を制御するこ
とが可能になる。

【００２２】請求項７記載の発明は、請求項６記載の発
明であるプロセス制御装置において、前記目標軌道決定
手段が、初期の参考軌道を作成してこの初期の参考軌道
を時系列順に参考目標値として前記模擬制御系に供給し
て予測応答を得ておき、長期評価時刻における前記予測
応答が適性であるか否かを判断して適正でなければ前記
参考軌道を修正し、応答余裕が適性であるか否かを判断
して適正でなければ前記参考軌道を修正し、長期評価時
刻における前記予測応答が適性且つ応答余裕が適性であ
れば前記参考軌道を最適目標軌道とし、この最適目標軌
道に基づき最適目標値を生成することにより、制約条件
を考慮して最適な目標値を生成しながら制御対象を制御
することが可能になる。

【００２３】請求項８記載の発明は、請求項７記載の発
明であるプロセス制御装置において、前記目標軌道決定
手段が、前記応答余裕がプラスの場合にはランプ応答を
微小角プラスにし、前記応答余裕がマイナスの場合には
ランプ応答を微小角マイナスして前記参考軌道を修正す
ることにより、制約条件を考慮して最適な目標値を生成
しながら制御対象を制御することが可能になる。

【００２４】請求項９記載の発明は、請求項７記載の発
明であるプロセス制御装置において、前記目標軌道決定
手段が、前記応答余裕の正負によりランプ応答の前回の
角度の１／２を前回の角度に加算若しくは減算して前記
参考軌道を修正することにより、制約条件を考慮して最
適な目標値を生成しながら制御対象を制御することが可
能になる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係るプロセス制御装置の一実
施例を示す構成ブロック図である。図１において１〜３
及び１００は図１１と同一符号を付してあり、４は目標
軌道生成手段、５は操作量制約手段，１０１ａは操作
量、１０２ａは制御量、１０３は最適目標値である。

【００２６】記憶手段１の出力である目標値１００は目
標軌道生成手段４に入力され、目標軌道生成手段４の出
力である最適目標値１０３がコントローラ２に接続され
る。コントローラ２の出力は操作量制約手段５に接続さ
れ、操作量制約手段５の出力である操作量１０１ａは制
御対象３及び目標軌道生成手段４にそれぞれ接続され
る。

【００２７】制御対象３の出力である制御量１０２ａが
出力されると共にコントローラ２及び目標軌道生成手段
４にそれぞれフィードバックされる。

【００２８】ここで、図１に示す実施例の動作を簡単に
説明する。目標軌道生成手段４は記憶手段１から入力さ
れた目標値１００、操作量１０１ａ及び制御対象３の出
力である制御量１０２ａに基づき最適目標値１０３を生
成してコントローラ２に入力する。

【００２９】そして、コントローラ２は目標軌道生成手
段４から入力された最適目標値１０３と制御対象３の出
力である制御量１０２ａに基づき仮の操作量を決定し、
操作量制約手段５は当該仮の操作量に対して制約条件か
ら値を調整して操作量１０１ａとして制御対象３に入力
する。

【００３０】例えば、コントローラ２は最適目標値１０
３と制御量１０２ａが一致するように仮の操作量を決定
し、操作量制約手段５を介して操作量１０１ａを制御対
象３に入力して制御する。

【００３１】ここで、さらに目標軌道生成手段４の動作
を説明する。図２は目標軌道生成手段４の詳細を示す構
成ブロック図である。図２において１００，１０１ａ，
１０２ａ及び１０３は図１と同一符号を付してあり、６
は参考軌道決定手段、７は応答評価手段、８はコントロ
ーラ、９は操作量制約手段、１０は制御対象の挙動を表
したモデル、１０４は参考目標値、１０５は予測応答で
ある。

【００３２】また、６及び７は目標軌道決定手段５０
を、８，９及び１０は応答予測手段５１をそれぞれ構成
している。

【００３３】目標値１００は参考軌道決定手段６に入力
され、参考軌道決定手段６の出力である参考目標値１０
４はコントローラ８に接続される。コントローラ８の出
力は操作量制約手段９を介してモデル１０に接続され、
モデル１０の出力である予測応答１０５は応答評価手段
７及びコントローラ８にフィードバックされる。

【００３４】応答評価手段７は条件に応じて最適目標値
１０３を出力すると共に評価結果を参考軌道決定手段６
に入力する。また、操作量１０１ａはモデル１０に供給
され、制御量１０２ａはコントローラ８及びモデル１０
に供給される。

【００３５】ここで、図２に示す目標軌道生成手段４の
動作を説明する。目標軌道決定手段５０の参考軌道決定
手段６は目標値１００に基づき参考軌道を決定し、当該
参考軌道を時系列順に参考目標値１０４として応答予測
手段５１に供給する。

【００３６】応答予測手段５１は実際の制御対象３の挙
動を表したモデル１０に対してコントローラ８及び操作
量制約手段９と言った実際の制御系と同様の機能の模擬
制御系により制御を行い、参考目標値１０４により予測
される制御量を予測応答１０５として返す。

【００３７】目標軌道決定手段５０の応答評価手段７は
応答予測手段５１から返される予測応答１０５を評価し
て判定基準を満足する場合には当該参考軌道を最適目標
軌道として、当該参考軌道を時系列順に最適目標値１０
３として出力する。

【００３８】この結果、実際の制御系を模した模擬制御
系である応答予測手段５１に参考目標値１０４を供給し
て予測応答１０５を得て、この予測応答１０５を評価し
て参考軌道を修正し最適目標軌道を決定して最適目標値
を生成することにより、制約条件を考慮して最適な目標
値を生成しながら制御対象を制御することが可能にな
る。

【００３９】ここで、さらに、目標軌道生成手段４の動
作を図３、図４、図５、図６、図７及び図８を用いて詳
細に説明する。図３は予測応答の評価方法を説明する説
明図、図４は目標軌道生成手段４の動作を説明するフロ
ー図、図５、図６、図７及び図８は予測応答の評価方法
を説明する説明図である。

【００４０】図３中”ＣＨ０１”に示す予測応答はラン
プ応答の軌道を示しており、図３中”ＵＬ０１”は制約
条件の上限を、図３中”ＬＬ０１”は制約条件の下限を
それぞれ示している。

【００４１】また、予測応答の評価に関しては図３中”
ＳＰ０１”に示す短期評価時刻、図３中”ＬＰ０１”に
示す長期評価時刻及び図３中”ＲＭ０１”に示す応答余
裕がある。

【００４２】図３中”ＳＰ０１”に示す短期評価時刻”
Ｔ１”は近い将来の予測応答を評価するポイントであ
り、図３中”ＬＰ０１”に示す長期評価時刻”Ｔ２”は
遠い将来を予測応答を評価するポイントである。特に長
期評価区間”Ｔ２”では制御が発散したり、振動等を発
生していないかを評価する。

【００４３】また、図３中”ＲＭ０１”に示す応答余裕
は短期評価時刻”Ｔ１”における制約条件との差異を示
す指標である。具体的には制御量の制約条件の上下限の
近い方から時刻”ｔ＋Ｔ１”の予測応答を減算した値を
応答余裕とする。

【００４４】例えば、時刻”ｔ”において制御が開始し
た場合、時刻”ｔ＋Ｔ１”において応答余裕を評価し、
時刻”ｔ＋Ｔ２”において発散や振動の有無を評価す
る。

【００４５】ここで、参考軌道生成手段４の動作を図４
を用いて説明する。図４中”Ｓ１０１”において参考軌
道決定手段６は初期の参考軌道を作成して、図４中”Ｓ
１０２”において初期の参考軌道を時系列順に参考目標
値１０４として応答予測手段５１に供給して予測応答１
０５を得る。

【００４６】図４中”Ｓ１０３”において応答評価手段
７は予測応答１０５の内で長期評価時刻”ｔ＋Ｔ２”に
おける予測応答１０５が適性であるか否かを判断し、も
し、適正でなければ図４中”Ｓ１０４”において参考軌
道を修正する。なお、参考軌道の修正方法については別
途後述する。

【００４７】例えば、図５中”ＣＨ１１”に示すような
予測応答１０５が応答予測手段５１から得られた場合、
時刻”ｔ＋Ｔ２”における予測応答１０５は発散して振
り切っているので参考軌道を修正する必要性がある。

【００４８】一方、もし、図４中”Ｓ１０３”において
応答評価手段７は予測応答１０５が適性であれば図４
中”Ｓ１０５”において応答余裕が適性であるか否かを
判断し、もし、適正でなければ図４中”Ｓ１０６”にお
いて参考軌道を修正する。

【００４９】例えば、図６中”ＣＨ２１”に示すような
予測応答１０５が応答予測手段５１から得られた場合、
時刻”ｔ＋Ｔ１”における応答余裕は図６中”ＲＭ２
１”とプラスの値となり、制約条件の上限から遠く、図
６中”ＰＲ２１”に示す許容差内に入っていない。

【００５０】また、例えば、図７中”ＣＨ３１”に示す
ような予測応答１０５が応答予測手段５１から得られた
場合、時刻”ｔ＋Ｔ１”における応答余裕は図７中”Ｒ
Ｍ３１”とマイナスの値となり、制約条件の上限を超え
てしまっており、図７中”ＰＲ３１”に示す許容差内に
入っていない。

【００５１】すなわち、図６及び図７に示すような予測
応答１０５では適切な制御とは言えないので参考軌道を
修正する必要性がある。

【００５２】一方、もし、図４中”Ｓ１０５”において
応答余裕が適性であれば図４中”Ｓ１０７”において応
答評価手段７は今回の参考軌道を最適目標軌道とし、図
４中”Ｓ１０８”において最適目標軌道を時系列順に最
適目標値１０３として出力する。

【００５３】例えば、図８中”ＣＨ４１”に示すような
予測応答１０５が応答予測手段５１から得られた場合、
時刻”ｔ＋Ｔ２”における予測応答１０５は発散も振動
も生じておらず、且つ、時刻”ｔ＋Ｔ１”における応答
余裕も図７中”ＰＲ４１”に示す許容差内に納まってい
るので適正な制御がなされたものと評価される。

【００５４】さらに、参考軌道の修正方法について図９
及び図１０を用いて説明する。図９は目標軌道の修正方
法を説明する説明図、図１０は最適目標軌道の一例を示
す説明図である。応答余裕がプラスの場合にはランプ応
答を微小角プラス”＋β”にし、応答余裕がマイナスの
場合にはランプ応答を微小角マイナス”−β”とする。

【００５５】また、初期参考軌道のステップ応答を”９
０度”とし、応答余裕の正負により前回の角度の”１／
２（＝４５度）”を前回の角度に加算若しくは減算して
参考軌道を修正する。

【００５６】このような、修正を加えることにより、図
１０中”ＣＨ５１”に示すような最適目標軌道が決定さ
れる。

【００５７】なお、図１等の説明に際しては説明の簡単
のために制御量を１つの出力として取り扱っているが、
勿論、多出力の制御系であっても構わない。この場合に
は、複数の出力変数を順番に評価して、最終的に全ての
変数に対する予測応答がそれぞれの制約条件を満足する
ように参考軌道を修正して行く。

【００５８】また、図１等の説明に際しては説明の簡単
のために制御対象３から出力される制御量のみを取り扱
っているが、制御対象３で測定可能な状態量であっても
構わない。

【００５９】また、図２においてモデル１０は単に制御
対象３の挙動を表したモデルとして取り扱っているが、
モデルの同定機能を備えて、操作量１０１ａや制御量１
０２ａに基づき常にモデル自身を前記制御対象３に近づ
くように修正するモデルであっても構わない。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１乃至請
求項９の発明によれば、実際の制御系を模した模擬制御
系である応答予測手段に参考目標値を供給して予測応答
を得て、この予測応答を評価して参考軌道を修正し最適
目標軌道を決定して最適目標値を生成することにより、
制約条件を考慮して最適な目標値を生成しながら制御対
象を制御することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプロセス制御装置の一実施例を示
す構成ブロック図である。

【図２】目標軌道生成手段の詳細を示す構成ブロック図
である。

【図３】予測応答の評価方法を説明する説明図である。

【図４】目標軌道生成手段の動作を説明するフロー図で
ある。

【図５】予測応答の評価方法を説明する説明図である。

【図６】予測応答の評価方法を説明する説明図である。

【図７】予測応答の評価方法を説明する説明図である。

【図８】予測応答の評価方法を説明する説明図である。

【図９】目標軌道の修正方法を説明する説明図である。

【図１０】最適目標軌道の一例を示す説明図である。

【図１１】従来のプロセス制御装置の一例を示す構成ブ
ロック図である。

【図１２】従来の目標値の決定方法を説明するフロー図
である。

【符号の説明】

１ 記憶手段 ２，８ コントローラ ３ 制御対象 ４ 目標軌道生成手段 ５，９ 操作量制約手段 ６ 参考軌道決定手段 ７ 応答評価手段 １０ モデル ５０ 目標軌道決定手段 ５１ 応答予測手段 １００ 目標値 １０１，１０１ａ 操作量 １０２，１０２ａ 制御量 １０３ 最適目標値 １０４ 参考目標値 １０５ 予測応答

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】制御対象を制御するプロセス制御装置の目
   標値生成方法において、 実際の制御系を模した模擬制御系を設けてこの模擬制御
   系に参考軌道に基づき参考目標値を供給して予測応答を
   得ておき、 前記模擬制御系から得られる前記予測応答を評価して前
   記参考軌道を修正してこれを最適目標軌道としてこの最
   適目標軌道に基づき最適目標値を生成することを特徴と
   する目標値生成方法。
2. 【請求項２】初期の参考軌道を作成してこの初期の参考
   軌道を時系列順に参考目標値として前記模擬制御系に供
   給して予測応答を得ておき、 長期評価時刻における前記予測応答が適性であるか否か
   を判断して適正でなければ前記参考軌道を修正し、 応答余裕が適性であるか否かを判断して適正でなければ
   前記参考軌道を修正し、 長期評価時刻における前記予測応答が適性且つ応答余裕
   が適性であれば前記参考軌道を最適目標軌道とし、 この最適目標軌道に基づき最適目標値を生成することを
   特徴とする請求項１記載の目標値生成方法。
3. 【請求項３】前記応答余裕がプラスの場合にはランプ応
   答を微小角プラスにし、 前記応答余裕がマイナスの場合にはランプ応答を微小角
   マイナスして前記参考軌道を修正することを特徴とする
   請求項２記載の目標値生成方法。
4. 【請求項４】前記応答余裕の正負によりランプ応答の前
   回の角度の１／２を前回の角度に加算若しくは減算して
   前記参考軌道を修正することを特徴とする請求項２記載
   の目標値生成方法。
5. 【請求項５】制御対象を制御するプロセス制御装置にお
   いて、 予め目標軌道が格納された記憶手段と、 この記憶手段から出力される目標値、操作量及び前記制
   御対象の出力である制御量に基づき最適目標値を生成し
   て出力する目標軌道生成手段と、 前記最適目標値に基づき前記制御対象に対して目標値追
   従制御を行わせるコントローラと、 このコントローラの出力に制約を加えて前記操作量とし
   て前記制御対象及び前記目標軌道生成手段に供給する操
   作量制約手段とを備えたことを特徴とするプロセス制御
   装置。
6. 【請求項６】前記目標軌道生成手段が、 実際の制御系を模した模擬制御系である応答予測手段
   と、 この応答予測手段に参考軌道に基づき参考目標値を供給
   して予測応答を得て、この予測応答を評価して前記参考
   軌道を修正してこれを最適目標軌道とし、この最適目標
   軌道に基づき最適目標値を生成する目標軌道決定手段と
   から構成されたことを特徴とする請求項５記載のプロセ
   ス制御装置。
7. 【請求項７】前記目標軌道決定手段が、 初期の参考軌道を作成してこの初期の参考軌道を時系列
   順に参考目標値として前記模擬制御系に供給して予測応
   答を得ておき、 長期評価時刻における前記予測応答が適性であるか否か
   を判断して適正でなければ前記参考軌道を修正し、 応答余裕が適性であるか否かを判断して適正でなければ
   前記参考軌道を修正し、 長期評価時刻における前記予測応答が適性且つ応答余裕
   が適性であれば前記参考軌道を最適目標軌道とし、 この最適目標軌道に基づき最適目標値を生成することを
   特徴とする請求項６記載のプロセス制御装置。
8. 【請求項８】前記目標軌道決定手段が、前記応答余裕が
   プラスの場合にはランプ応答を微小角プラスにし、 前記応答余裕がマイナスの場合にはランプ応答を微小角
   マイナスして前記参考軌道を修正することを特徴とする
   請求項７記載のプロセス制御装置。
9. 【請求項９】前記目標軌道決定手段が、 前記応答余裕の正負によりランプ応答の前回の角度の１
   ／２を前回の角度に加算若しくは減算して前記参考軌道
   を修正することを特徴とする請求項７記載のプロセス制
   御装置。