JP4361722B2 - Tft用多結晶シリコン薄膜の設計方法及びこれを用いて作製されたtftを備えたデバイス - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は多結晶シリコン薄膜及びこれを有したデバイスに係り、さらに詳細にはTFT用多結晶シリコン薄膜及びこれを有したデバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】
TFT(Thin Film Transistor)のアクティブチャネル(active channel)領域は一般的に多結晶シリコンで作られて結晶粒界を有している。このような結晶粒界には原子価表(dangling bonds)などの結合欠陥が存在して、このような欠陥は電荷キャリア(electric charge carrier)に対するトラップ(trap)で作用する。
【0003】
したがって、結晶粒の大きさ、大きさ均一性、数と位置、結晶粒界の傾斜角度などのパラメータはスレショルド電圧(Vth)、しきい値傾斜(sub threshold slope)、電荷輸送移動度(charge carrier mobility)、漏れ電流(leakage current)、及びデバイス安定性(device stability)などのTFT特性に致命的な影響を与える場合がある。特に、結晶粒界の傾斜角度はTFTの特性均一性に致命的な影響を与える場合がある。
【0004】
TFTの特性に致命的な影響をあたえる結晶粒界を“プライマリ(primary)”結晶粒界という。このようなプライマリ結晶粒界の数は、図1に示したように、結晶粒の大きさ、傾斜角度θ、アクティブチャネルの次元(dimension)、長さ(L)、幅(W)等によって変わる場合がある。
【0005】
もしも最大プライマリ結晶粒界の数をNmaxという時、アクティブチャネル領域に含まれることができる“プライマリ”結晶粒界の数はNmaxまたは(Nmax−1)個になる。
【0006】
図2A及び2Bにおいて、図2AのTFTは二個のプライマリ結晶粒界を有していて、図2BのTFTは3個の結晶粒界を有している。
【0007】
ディスプレー装置で、同一な数のプライマリ結晶粒界を有したTFTが多ければ多いほど、ディスプレー装置は優秀なTFT特性均一度を有することができる。しかし、Nmax個の“プライマリ”結晶粒界の数を含むTFTの数と(Nmax−1)個の“プライマリ”結晶粒界の数を含むTFTの数が同一であるならば、TFT基板またはディスプレーデバイス上にあるTFT特性中均一性の面で最も悪いことを容易に予想できる。
【0008】
一方、SLS(Sequential Lateral Solidification)結晶化技術を利用して基板上に多結晶または単結晶である粒子が巨大シリコングレイン(large silicon grain)を形成することができ、これを利用してTFTを製作したとき、単結晶シリコンで製作されたTFTの特性と類似な特性を得ることができることと報告されている。
【0009】
しかし、ディスプレー装置は、数100万個のピクセルを有している。LCD装置の場合に一つのピクセル当たり一つのTFTが提供されて、有機EL表示装置の場合には一つのピクセル当たり二個のTFTが提供される。したがって、アクティブチャネル領域に含まれたプライマリ結晶粒界の数と結晶粒の成長方向が同一な数100万個のTFTを製作することは不可能である。
【0010】
これを具現する方法ではPCT国際特許WO 97/45827号で開示されたように、非晶質シリコンをPECVD、LPCVDまたはスパッタリング法によって蒸着した後SLS技術で全体基板上の非晶質シリコンを多結晶シリコンに変換したり、基板上の選択領域のみを結晶化する技術が開示されている(図3A及び図3B参照)。
【0011】
非晶質シリコンの全体領域や選択領域を結晶化する期間、レーザービームまたはステージ(stage)のステッピング(stepping)及びシフチング(shifting)が必要である。したがって、レーザービームが照射される領域間のミスアライン(misalign)が存在するようになって、数多くのTFTのアクティブチャネル領域内に含まれる“プライマリ”結晶粒界の数は変わるようになり、全体基板上またはドライバ領域、画素セル領域内のTFTは予測できない不均一性を有するようになる。
【0012】
また、米国特許第6,177,391号ではSLS結晶化技術を利用して巨大粒子シリコングレイン(large silicon grain)を形成してドライバと画素配置を含んだLCDデバイス用TFT製作時アクティブチャネル方向がSLS結晶化方法によって成長した結晶粒方向に対して平行した場合電荷キャリア(electric charge carrier)方向に対する結晶粒界のバリヤ(barrier)効果が最小になって(図4A)、したがって、単結晶シリコンに次ぐTFT特性を得ることができる反面、アクティブチャネル方向と結晶粒成長方向が90゜の場合TFT特性が電荷キャリア(electric charge carrier)のトラップで作用する多くの結晶粒界が存在するようになり、TFT特性が大幅に低下する(図4B)。
【0013】
実際に、アクティブマトリックスディスプレー製作時に駆動回路(driver circuit)内のTFTと画素セル領域内のTFTは一般的に90゜の角度を有する場合があり、このとき、各TFTの特性を大幅に低下させないながら、TFT間特性の均一性を向上させるためには結晶成長方向に対するアクティブチャネル領域の方向を30゜ないし60゜の角度で傾斜するように製作することによってデバイスの均一性を向上させることができる(図4C)。
【0014】
しかし、この方法もアクティブチャネル領域からプライマリ結晶粒界を完全に除去することができず、したがって、TFT間特性差を引き起こす予測できない不均一性が存在するようになるという問題点がある。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述したような問題点を解決するために案出されたものであり、本発明の目的は特性均一性を有したTFTを提供することができる多結晶シリコン層を提供することにある。
【0016】
本発明の他の目的は特性均一性を有したディスプレー装置(デバイス)を提供することにある。
具体的には、結晶粒が規則的に並んでなるTFT用多結晶シリコン薄膜であって、最小限一つのプライマリ結晶粒界を有するアクティブチャネル領域を備えているポリシリコン層を有しており、ディスプレーデバイスの残り複数個のTFTと比較する時前記アクティブチャネル領域に対して同一な数を有するプライマリ結晶粒界が前記ディスプレーデバイス全体をかけて支配的なTFTを備えており、ここで前記TFTは結晶粒大きさの変数、結晶粒界のティルト角及び前記アクティブチャネル領域の次元をセッティングすることにより製造されることを特徴とする複数個のTFTを備えているディスプレーデバイスを提供することである。さらには、このディスプレーデバイスにおいて、 同一な個数の結晶粒界を備えている前記ディスプレーデバイス中でプライマリ結晶粒界の最大数がアクティブチャネル領域に含まれる確率が75%以上であることを特徴とするディスプレーデバイス、プライマリ結晶粒界の最大数が1ないし10であることを特徴とするディスプレーデバイス、結晶粒大きさは、0.2μm以上であることを特徴とするディスプレーデバイス、及び、 結晶粒の数が2以上であることを特徴とするディスプレーデバイスを提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
前記した目的を達成するために、本発明はプライマリ結晶粒界の最大数がTFTのアクティブチャネル領域内に含まれる確率Pが下記式1で表現され、前記確率が0.5でないことを特徴とするTFT用多結晶シリコン薄膜を提供する。
【0018】
P=(D−(Nmax−1)×Gs)/Gs (式1)
ここで、
D=L cos θ+W sin θ
LはTFTのアクティブチャネルの長さ、WはTFTのアクティブチャネルの幅、Nmaxは長さL、幅がWであるTFTのアクティブチャネル領域内に含まれることができるプライマリ結晶粒界の最大数、Gsは結晶粒大きさ、θはTFTのアクティブチャネル方向の垂直方向に対してプライマリ結晶粒界が傾斜している角度を示す。
【0019】
また、本発明はTFTのアクティブチャネルの長さが結晶粒大きさの定数倍であることを特徴とするTFT用多結晶シリコン薄膜を提供する。
【0020】
また、本発明はプライマリ結晶粒界の最大数を含む確率がTFT基板のアクティブチャネル領域の長軸方向の結晶粒大きさに対して前記結晶粒界の(最大数−1)個の結晶粒が占める距離を差し引いた残り距離の比率で示され、前記確率が0.5でないことを特徴とするTFT用多結晶シリコン薄膜を提供する。
【0021】
また、本発明は本発明によって製造される多結晶シリコン薄膜を用いるアクティブマトリックスTFTを利用したことを特徴とするデバイスを提供する。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【0023】
シリコン結晶粒大きさ、プライマリ結晶粒界の傾斜角度及びアクティブチャネルの次元のようなパラメータの最適条件を決定して特性均一性を有したTFTを製造するために、“プライマリ(primary)”結晶粒界の最大数Nmaxがアクティブチャネル領域(active channel region)内に含まれる確率‘P’を結晶粒大きさ、プライマリ結晶粒界の傾斜角度及びアクティブチャネルの次元の関数で導出する。
【0024】
図5Aないし5Cを参照すると、プライマリ結晶粒界と仮想の法線NNによって形成された角度(θ)は−45゜と45゜間の範囲にあるようになる。すなわち、−45゜≦θ≦45゜が成立する。図6A及び6Bを参照すると、アクティブチャネルの長さと幅が各々LとWであって、アクティブチャネル領域の二頂点から延ばすプライマリ結晶粒界と平行してセカンド結晶粒界とは垂直である仮想の二ライン間の距離をDといえば、次の式が成立する。
すなわち、D=(L+x)×cos θ、
ここで、x=W×tan θである。
D=(L+W tan θ)×cos θ=L cos θ+W tan θcos θである。
tan θcos θ=sinθであるので、D=L cos θ+W sin θである。
【0025】
したがって、前記最大距離Dは、アクティブチャネル領域の長さLと幅W、そして法線NN′に対する“プライマリ”結晶粒界の傾斜角度θだけの関数で示すことができる。
【0026】
結晶粒長軸方向の大きさをGsという時、アクティブチャネル領域内に含まれる“プライマリ”結晶粒界の最大数Nmaxは次のような式によって求めることができる。
Nmax=ξ(D/Gs)、
【0027】
ここで、関数ξは次のように定義される。
ξ(x)=xより大きいか、同一数(≧x)中から最も小さい数。x=任意の数(arbitrary number)である。
【0028】
例えば、xが2である時、Nmax=2であり、x=2.3である時、Nmax=3になる。
【0029】
一方、“プライマリ(primary)”結晶粒界の最大数Nmaxがアクティブチャネル領域(active channel region)内に含まれる確率‘P’は次のように誘導されうる。
P=(a+b)/Gs
ここで、(a+b)は距離Dで(Nmax−1)個の結晶粒が占める距離を差し引いた距離である。すなわち、a+b=D−(Nmax−1)×Gsである。
したがって、P=(−(Nmax−1)×Gs)/Gsになる。
【0030】
一方、“プライマリ(primary)”結晶粒界が(Nmax−1)個アクティブチャネル領域(active channel region)内に含まれる確率‘Q’は次のように誘導されうる。
P+Q=1であるので、Q=1−P
したがって、Q=1−(D−(Nmax−1)×Gs/Gs)=(−D+Nmax×Gs)/Gsになる。
【0031】
以上のように、アクティブチャネル領域内にはNmax個または(Nmax−1)個の“プライマリ”結晶粒界の数のみ存在することができ、これに基づき前記数式によって表現される確率Pの物理的な意味は次のとおりである。
【0032】
P=0:アクティブチャネル領域内には(Nmax−1)個の“プライマリ”結晶粒界の最大数Nmaxが含まれる確率は0であって、したがって、アクティブチャネル領域内には(Nmax−1)個の“プライマリ”結晶粒界の数のみ存在することができる。
【0033】
0<P<0.5:アクティブチャネル領域内にNmax個の“プライマリ”結晶粒界の数が存在する確率は(Nmax−1)個の境界数が存在する確率より低い。
【0034】
P=0.5:アクティブチャネル領域内にNmax個の“プライマリ”結晶粒界の数を含む確率が(Nmax−1)個の境界数を含む確率と同一である。
【0035】
0.5<P<1:アクティブチャネル領域内にNmax個の“プライマリ”結晶粒界の数を含む確率が(Nmax−1)個の境界を含む確率と同一である。
【0036】
P=1:アクティブチャネル領域内に“プライマリ”結晶粒界の最大数Nmaxを含む確率は1であって、したがってアクティブチャネル領域内ではNmax個の“プライマリ”結晶粒界の数のみ存在することができる。
【0037】
その結果、TFTの均一性はP=0.5の場合が最も悪く、P=0またはP=1の場合が最も優れるということが分かる。
【0038】
しかし、多結晶シリコンを利用した実際TFT基板製作ではアクティブチャネル形成のためのゲートメタル(gate metal)の湿式または乾式エッチング時工程マージンによって、P=0またはP=1である確率を得るのが容易でなく、アクティブマトリックスディスプレーの具現に必要なTFT特性の均一性を確保することができる確率Pの範囲である0≦P≦0.25または0.75≦P≦1を基準にして与えられた結晶粒大きさ及び方位に対してTFTを設計したり要求されるTFT設計に合わせて多結晶シリコン薄膜を製作するようにシリコン結晶化工程を実施することが望ましい。
【0039】
図7Aないし7Cを参照すると、プライマリ結晶粒界は仮想の法線NNと平行する。すなわち、プライマリ結晶粒界の傾斜角度(θ)は0゜である。この場合、同一な数の“プライマリ”結晶粒界がアクティブチャネル領域に含まれるならば、θ≠0゜の場合に比べて、“プライマリ”結晶粒界に対して垂直な“セカンダリ(Secondary)”結晶粒界がTFT特性におよぼす影響は減って、これによりTFT特性がさらに優秀なことを容易に判断できる。
【0040】
図8A及び8Bを参照すると、プライマリ結晶粒界の傾斜角度が0゜の場合、距離Dはアクティブチャネルの長さLと同一になる。したがって、アクティブチャネル領域にプライマリ結晶粒界が含まれる確率は次のように求めることができる。
P=(L−(Nmax−1)×Gs)/Gsである。
Q=1−(L−(Nmax−1)×Gs)/Gs
=(−L+Nmax×Gs)/Gsである。
【0041】
図9Aと図9Bでチャネル長さL=9μmであり、結晶粒大きさGs=2μm(a)とGs=4μm(b)に対して図示した。結晶粒大きさが2μmである場合(図9A)アクティブチャネル領域内に含まれることができる“プライマリ”結晶粒界の最大数は5であり、したがって、与えられたアクティブチャネル次元(dimension)及び結晶粒大きさと方向に対してアクティブチャネル領域内に含まれることができる“プライマリ”結晶粒界の数は5と4であり、これによる確率は各々0.5対0.5であって、このような場合、基板またはディスプレー上に製作されるTFTの均一性は最も悪いことが容易に分かる。
【0042】
同一なアクティブチャネル次元に対して結晶粒大きさを4μmにしたとき(図9B)、アクティブチャネル領域内に含まれることができる“プライマリ”結晶粒界の数が2である確率は0.75であって図9AよりTFT均一性が向上されることがわかる。
【0043】
同一な結晶粒大きさ2μmと4μmに対してアクティブチャネル長さを10μmにすれば(図10A、図10B)、結晶粒大きさ2μmに対してアクティブチャネル領域内に含まれる“プライマリ”結晶粒界の数が5である確率が1であって、与えられたアクティブチャネル次元と結晶粒大きさに対して、駆動回路基板またはディスプレー上のすべてのTFTが同一な数の“プライマリ”結晶粒界を含むようになり、少なくとも結晶粒大きさ、すなわち、結晶粒界によるTFT特性においては完全な均一性を得ることができることが分かる。反面、L=10μm、Gs=4μmである場合、確率は0.5であって、TFT特性中均一性の面で最も悪い結果が招来されることが予想できる。
【0044】
結晶粒大きさがアクティブチャネル長さより大きい場合にも前記確率Pを示す数式を適用して、“プライマリ”結晶粒界がアクティブチャネル領域内に含まれる確率が存在し、計算できるということが図11Aと図11Bで示している。
【0045】
図11Aと図11Bからチャネル長さL=4μmに対して結晶粒大きさが8μmである場合に比べて、16μmである場合TFT特性中均一性が向上されうることが分かる。
【0046】
上述したような例の通り、“プライマリ”結晶粒界が含まれる確率を計算することによって製作されるTFT基板の均一性を予測できて、これに基づきシリコン結晶化工程の工程パラメータを設定して最適の均一性を得るTFTを得ることができる。
【0047】
次の表1ないし4は、結晶粒大きさとアクティブチャネル次元による確率Pを示す。
【0048】
【表1】
【0049】
【表2】
【0050】
【表3】
前記表3で、傾斜角度は0゜である。アクティブチャネル長さに対する結晶粒界の最大数の比が結晶粒大きさになる場合には確率Pが1になることが分かる。
【0051】
【表4】
前記表4で、傾斜角度は0゜である。アクティブチャネル長さを結晶粒大きさで割った値が結晶粒界の最大数になる場合確率Pが1になることが分かる。
【発明の効果】
以上、説明したように、結晶粒の大きさ、結晶粒界の傾斜角度、及びアクティブチャネル領域の次元のようなパラメータを設定して特性均一性を有したTFTを製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来技術によってアクティブチャネル領域に含まれるプライマリ結晶粒界の数が結晶粒大きさ、結晶粒界の傾斜角度、及びアクティブチャネル領域の次元によって変わることを示す図面である。
【図2A】 従来技術によってプライマリ結晶粒界の数が相異なるTFTを示す図面である。
【図2B】 従来技術によってプライマリ結晶粒界の数が相異なるTFTを示す図面である。
【図3A】 従来技術によってSLS結晶化法によって形成された粒子大きさが大きいシリコングレインを含んだTFTの概略的な図面である。
【図3B】 従来技術によってSLS結晶化法によって形成された粒子大きさが大きいシリコングレインを含んだTFTの概略的な図面である。
【図4A】 他の従来技術によって製造されたTFTのアクティブチャネルの概略的な図面である。
【図4B】 他の従来技術によって製造されたTFTのアクティブチャネルの概略的な図面である。
【図4C】 他の従来技術によって製造されたTFTのアクティブチャネルの概略的な図面である。
【図5A】 TFTのアクティブチャネル領域内にソース/ドレイン方向と垂直しない結晶粒界を有する多結晶シリコンを利用したTFTを示す概略的な図面である。
【図5B】 TFTのアクティブチャネル領域内にソース/ドレイン方向と垂直しない結晶粒界を有する多結晶シリコンを利用したTFTを示す概略的な図面である。
【図5C】 TFTのアクティブチャネル領域内にソース/ドレイン方向と垂直しない結晶粒界を有する多結晶シリコンを利用したTFTを示す概略的な図面である。
【図6A】 アクティブチャネル領域内にソース/ドレイン方向と垂直しない一般的な結晶粒界を有する多結晶シリコンを利用したTFTの構造において、最大数または最大数−1個のプライマリ結晶粒界がアクティブチャネル領域内に含まれる確率を計算するための図面である。
【図6B】 アクティブチャネル領域内にソース/ドレイン方向と垂直しない一般的な結晶粒界を有する多結晶シリコンを利用したTFTの構造において、最大数または最大数−1個のプライマリ結晶粒界がアクティブチャネル領域内に含まれる確率を計算するための図面である。
【図7A】 TFTのアクティブチャネル領域内にソース/ドレイン方向と垂直な結晶粒界を有する多結晶シリコンを利用したTFT構造を示す概略的な図面である。
【図7B】 TFTのアクティブチャネル領域内にソース/ドレイン方向と垂直な結晶粒界を有する多結晶シリコンを利用したTFT構造を示す概略的な図面である。
【図7C】 TFTのアクティブチャネル領域内にソース/ドレイン方向と垂直な結晶粒界を有する多結晶シリコンを利用したTFT構造を示す概略的な図面である。
【図8A】 TFTのアクティブチャネル領域内にソース/ドレイン方向と垂直な結晶粒界を有する多結晶シリコンを利用したTFT構造を示す概略的な図面である。
【図8B】 TFTのアクティブチャネル領域内にソース/ドレイン方向と垂直な結晶粒界を有する多結晶シリコンを利用したTFT構造を示す概略的な図面である。
【図9A】 本発明によって計算された特定のパラメータ値によって確率を計算するための例を示す図面である。
【図9B】 本発明によって計算された特定のパラメータ値によって確率を計算するための例を示す図面である。
【図10A】 本発明によって計算された特定のパラメータ値によって確率を計算するための例を示す図面である。
【図10B】 本発明によって計算された特定のパラメータ値によって確率を計算するための例を示す図面である。
【図11A】 本発明によって計算された特定のパラメータ値によって確率を計算するための例を示す図面である。
【図11B】 本発明によって計算された特定のパラメータ値によって確率を計算するための例を示す図面である。
Claims (31)
- 多結晶シリコンの結晶粒が四角形状で規則的に成長したものとしてモデル化したTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法であって、アクティブチャネル領域を含んでおり、プライマリ結晶粒界の最大数が前記アクティブチャネル領域内に含まれる確率Pが下記式1で表現され、前記確率が0.5でないように設計することを特徴とするTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法:P=(D−(Nmax−1)×Gs)/Gs (式1)ここで、D=L cos θ+W sin θ、LはTFTのアクティブチャネルの長さ、WはTFTのアクティブチャネルの幅、Nmaxは長さL、幅がWであるTFTのアクティブチャネル領域内に含まれることができるプライマリ結晶粒界の最大数、Gsは結晶粒大きさ、θはプライマリ結晶粒界が傾斜している角度を示す。
- 前記多結晶シリコン薄膜がディスプレー部に配置されるように設計することを特徴とする請求項1に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記多結晶シリコン薄膜が駆動回路基板上に配置されるように設計することを特徴とする請求項1に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記Pが0.75以上であるかまたは0.25以下であるように設計することを特徴とする請求項1に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記θが−45゜≦θ≦45゜であるように設計することを特徴とする請求項1に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記結晶粒大きさが0.2μm以上であるように設計することを特徴とする請求項1に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記TFT基板内の結晶粒の数が2個以上であるように設計することを特徴とする請求項1に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記プライマリ結晶粒界の(Nmax−1)個がTFTのアクティブチャネル領域内に含まれる確率Qが下記式2で表現されるように設計することを特徴とする請求項1に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法:Q=1−P (式2)
- 前記TFTのアクティブチャネル領域内に含まれるプライマリ結晶粒界の最大数が下記式3に表現されるように設計することを特徴とする請求項1に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法:Nmax=ζ(D/Gs) (式3)、ここで、ζ(x)は、最も小さい整数≧x、x=任意の数(arbitrarynumber)である。
- 前記Nmaxが1ないし10中いずれか一つであるように設計することを特徴とする請求項9に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- θ=0゜である時、前記アクティブチャネル長さとNmaxの比が結晶粒大きさになるように設計することを特徴とする請求項1に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜。
- θ=0゜である時、前記結晶粒大きさとNmaxの積が前記チャネル長さになることを特徴とする請求項1に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 多結晶シリコンの結晶粒が四角形状で規則的に成長したものとしてモデル化したTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法であって、TFTのアクティブチャネルの長さが結晶粒大きさの定数倍であるように設計することを特徴とするTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記多結晶シリコン薄膜がディスプレー部に配置されるように設計することを特徴とする請求項13に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記多結晶シリコン薄膜が駆動回路基板上に配置されるように設計することを特徴とする請求項13に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記アクティブチャネル長さが0.2μm以上であるように設計することを特徴とする請求項13に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記結晶粒の数が2個以上であるように設計することを特徴とする請求項13に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記結晶粒の大きさが0.2μm以上であるように設計することを特徴とする請求項13に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 多結晶シリコンの結晶粒が四角形状で規則的に成長したものとしてモデル化したTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法であって、アクティブチャネル領域を有していて、プライマリ結晶粒界の最大数を含む確率が、前記アクティブチャネル領域の対角に位置する二頂点からそれぞれプライマリ結晶粒界と平行して延ばした仮想の二ライン間の距離から、(前記結晶粒界の最大数−1)個の結晶粒が占める距離を差し引いた残り距離を、前記アクティブチャネル領域の長軸方向の結晶粒大きさで割った比率で示され、前記確率が0.5でないように設計することを特徴とするTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記多結晶シリコン薄膜がディスプレー部に配置されるように設計することを特徴とする請求項19に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記多結晶シリコン薄膜が駆動回路基板上に配置されるように設計することを特徴とする請求項19に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記確率が0.75以上であるかまたは0.25以下であるように設計することを特徴とする請求項19に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記TFTのアクティブチャネル長さが結晶粒大きさの定数倍であるように設計することを特徴とする請求項19に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記多結晶シリコン薄膜が結晶粒が一定な方向に成長したものであるように設計することを特徴とする請求項19に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記結晶粒大きさが0.2μm以上であるように設計することを特徴とする請求項19に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記結晶粒界の最大数が1ないし10中いずれか一つであるように設計することを特徴とする請求項19に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記アクティブチャネルの長さが0.2μm以上であるように設計することを特徴とする請求項19に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 前記結晶粒の数が2個以上であるように設計することを特徴とする請求項19に記載のTFT用多結晶シリコン薄膜の設計方法。
- 請求項1に記載の多結晶シリコン薄膜の設計方法を用いて作製されたアクティブマトリックスTFTを備えたことを特徴とするデバイス。
- 前記デバイスがディスプレーデバイスまたは半導体デバイスとして用いられることを特徴とする請求項29に記載のデバイス。
- 前記ディスプレーデバイスは、液晶表示装置(LCD)または有機電界発光素子(EL)であることを特徴とする請求項30に記載のデバイス。
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