JP4083846B2 - 不揮発性メモリのセルアレイ構造及びその駆動方法 - Google Patents
不揮発性メモリのセルアレイ構造及びその駆動方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4083846B2 JP4083846B2 JP25738197A JP25738197A JP4083846B2 JP 4083846 B2 JP4083846 B2 JP 4083846B2 JP 25738197 A JP25738197 A JP 25738197A JP 25738197 A JP25738197 A JP 25738197A JP 4083846 B2 JP4083846 B2 JP 4083846B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- string
- selection transistor
- voltage
- bit line
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/10—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the top-view layout
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/56—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
- G11C11/5621—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency using charge storage in a floating gate
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/56—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
- G11C11/5621—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency using charge storage in a floating gate
- G11C11/5628—Programming or writing circuits; Data input circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/56—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
- G11C11/5621—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency using charge storage in a floating gate
- G11C11/5642—Sensing or reading circuits; Data output circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
- G11C16/0483—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells having several storage transistors connected in series
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
- H10B41/35—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region with a cell select transistor, e.g. NAND
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/08—Address circuits; Decoders; Word-line control circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/24—Bit-line control circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/18—Bit line organisation; Bit line lay-out
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Read Only Memory (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は不揮発性メモリ(Non-Volatile Memory) に関するもので、特に、1つのメモリセルで多値記憶を行うマルチビット方式の不揮発性メモリに適したセルアレイ構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
不揮発性メモリは、マスクROM、EPROM、EEPROM、フラッシEEPROMに大きく区分され、このうち特に、フラッシュ消去によるデータ一括消去で電気的に書き換え可能であり、低電力特性に優れる特徴をもつフラッシュEEPROMが、ノートブックコンピュータのメモリやデジタルカメラ、メモリカードなど携帯用端末のデータ媒体用に脚光を浴びている。
【0003】
今までの不揮発性メモリにおけるメモリセルは、オンセルとオフセルの2通りの状態による2値記憶であり、したがって、N(Nは2以上の自然数) ビットのデータを貯蔵するためにはN個のメモリセルが要求される。このシングルビットメモリセルでは、プログラム(書込)によりしきい値電圧を調整することで0,1のデータが記憶される。マスクROMの場合、セルトランジスタのしきい値電圧はイオン注入技術を用いて製造工程中にプログラムされる。一方、EPROM、EEPROM、フラッシュEEPROMの場合は、セルトランジスタのフローティングゲートにおける電荷量を変えることによりしきい値電圧をプログラムする。
【0004】
このようなメモリセルのデータを読出すには、デコーダ回路を用いて読出しに必要な電流又は電圧を選択メモリセルに関連した回路に加え、選択メモリセルの記憶データ=しきい値電圧による電流又は電圧をビットラインで感知する。そのメモリセルアレイの構造は、メモリセルのビットライン接続形態に従ってNOR型とNAND型に大別される。NOR型の場合は各メモリセルがビットラインと接地ラインとの間に接続され、NAND型の場合は多数のメモリセルがビットラインと接地ラインとの間に直列接続される。
【0005】
NOR型に比べてNAND型の方が集積性に優れることはよく知られている。このNAND型において、直列接続されたメモリセルとこれらの選択に必要な選択トランジスタ(メモリセルとビットラインとの間及びメモリセルと接地ラインとの間に設けられるトランジスタ)とを合わせて1単位とし、ストリングと呼ばれる。そのデータ読出しでは、選択メモリセルをもつストリング内にある選択トランジスタをオンさせ、さらに、該選択ストリング内の非選択メモリセルのコントロールゲートに、選択メモリセルのコントロールゲート印加電圧よりも高い電圧を提供する。これにより非選択メモリセルの抵抗値が選択メモリセルに比べて低くなり、該当ビットラインから当ストリングに流れる電流は、選択メモリセルのしきい値電圧に依存することになる。この結果ビットラインに現れる電圧又は電流をセンスアンプにより感知してデータが読出される。
【0006】
以上のようなシングルビットメモリセルでは当然ながら、記憶容量を増やそうとすれば相応してセル数を増加させなければならないので、集積度を上げるにしても限度がある。これを解決するため、1メモリセルに2ビット以上のマルチビットを記憶する多値記憶技術が登場している。すなわち、1メモリセルのしきい値電圧を4段階に分けて4値記憶とすれば、その状態に応じて“00”,“01”,“10”,“11”の2ビット記憶が可能となる。したがって、大幅にメモリセル数を減らすことが可能となり、大容量化に貢献する。
【0007】
このマルチビットメモリセルの実現において最も重要なのが、しきい値電圧の分布を正確に維持することである。たとえば上記のように2ビット記憶とする場合、メモリセルは2.5V,1.5V,0.5V,−3Vの4種のしきい値電圧に正確に区分されなければならない。そこで、プログラムや消去動作後に検証(verify)モードをおくようにしている。
【0008】
検証モードは、シングルビットメモリでも、データの過プログラム(over program)や過消去(over erase)、あるいは不足プログラムや不足消去に起因したしきい値電圧のばらつきを防ぐために実施される。すなわち検証モードは、直前のプログラム動作又は消去動作により該当メモリセルのしきい値電圧値が目標とするしきい値電圧値に達したかどうかをチェックするモードで、データ読出動作に類似した動作を実行してメモリセルの状態をチェックすることにより行われる。このメモリセルのしきい値電圧をチェックする検証モードでプログラム又は消去を再実行するかどうかを判断する技術は、たとえば1991年発行のJOURNAL OF SOLID STATE CIRCUITS ,492頁〜495頁に開示されている。
【0009】
このメモリセルのしきい値電圧検証は、検証条件に応じ設定された電圧信号をワードライン、ビットライン、及び関連ラインに提供し、メモリセルのしきい値電圧に従うビットライン電流を感知することにより行われるが、NAND型のセルアレイ構造には、セル電流のばらつきを誘発する構造的問題がいくつか存在している。
【0010】
まず、ソースラインを多数のセルストリングが共有している構造では、メモリセルの位置によってソースラインのコンタクトまでの距離がそれぞれ異なってくる問題がある。このような距離の差に起因してソースラインの抵抗差が存在すると、メモリセルごとにセル電流に違いが生じ、結果として各メモリセルのしきい値電圧がばらつくことになる。ソースラインの抵抗によるセル電流の差は、レベルマージンがタイトなマルチビットメモリセルの場合に影響が大きく、検証を不可能にし得る。
【0011】
そして、選択ビットラインとその隣接ビットラインとの間に容量性カップリング(capacitive coupling) が発生する問題もある。この容量性カップリングに起因してメモリセルの状態によらずにビットライン電位が変化し、誤動作が誘発される。たとえば、オンセルの選択である場合の該当ビットラインの電位は低くなるが、これに隣接したビットラインでオフセルが選択されると、当該オフセルのビットラインにおいて、電位の低いオンセルのビットラインとの容量性カップリングにより読出電位が低くなる。すなわち、隣り合ったビットラインの選択メモリセルがオンセルかオフセルかで読出電位に差が生じる結果となり、この現象が顕著になると、オフセルがオンセルと検証されてしまうような検証エラーが発生する。またこれは、レベルマージンがタイトになるマルチビットメモリセルで影響を大きくする。さらに、容量性カップリングの影響は、大容量でビットライン面積が増加するほど、そして集積度を上げてビットライン間を狭くするほど起こりやすくなる。
【0012】
これらソースライン抵抗差及び隣接ビットライン間の容量性カップリング現象によるメモリセルのしきい値電圧問題を解決するための技術として、1995年発行のSYPOSIUM ON VLSI CIRCUITS DIGEST OF THE TECHNICAL PAPERS,69頁〜70頁に開示されたようなものがある。この技術は、2つのしきい値電圧を有するストリング選択トランジスタをビットラインコンタクトの下に配置し、隣接したストリングのビットラインをビットラインコンタクトに共通接続する。これにより、動作モードで選択された一方のビットラインはページバッファと呼ばれるセンスアンプに接続されるようにし、選択されなかった他方のビットラインはグラウンド又はフローティングとなるようにして、非選択ビットラインをソースラインとして使用する。したがって、ソースライン抵抗は金属成分のみの抵抗値を有するので極めて小さい値となり、また、選択ビットラインに隣接したビットラインは検証時にグラウンドレベルに維持されるので、容量性カップリングの問題もほぼ解消される。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記技術でも、解決すべき課題がいくつか残されている。すなわち、ビットラインのメタルピッチが従来からあるシングルビットのNAND構造と変わりないため、マルチビット方式に適用した場合にビットラインに接続するセンスアンプのレイアウトを難しくし、またメタルピッチを狭めるとフォトリソグラフィ工程が難しくなる。加えて、2つのしきい値電圧を有するストリング選択トランジスタを別に製造するために、追加のマスク工程を実施しなければならない。そして、その追加工程により製造されるストリング選択トランジスタは2V以上のしきい値電圧を有するので、読出動作時にストリング電流の減少を引き起こす。さらに、プログラム時にストリング選択トランジスタのゲートへ電源電圧ではない1.5Vの電圧が印加されるので、非選択ビットラインに接続しているメモリセルにプログラムかく乱(program disturbance) 現象を誘発する。
【0014】
このような課題に着目して本発明の目的は、ビットラインに接続されたセンスアンプのレイアウトをフリーにするとともに、製造工程中のフォトリソグラフィ工程を容易にし得るマルチビット方式に適したメモリセルアレイ構造を提供することにある。また、本発明の目的は、ストリング選択トランジスタの製造時に追加マスクを伴わず、読出動作時のストリング電流減少を解消するメモリセルアレイ構造を提供することにある。さらに、本発明の目的は、プログラム時に非選択ビットラインに接続するメモリセルにプログラムかく乱現象を誘発しないようなメモリセルアレイ構造及びその駆動方法を提供することにある。そしてさらに、本発明の目的は、ビットライン及びソースラインのピッチを大きくしてセルしきい値電圧のばらつき現象を除去し、隣接ビットライン間のカップリング現象を無くし得るメモリセルアレイ構造及びその駆動方法を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、ビットラインに接続する第1の第1選択トランジスタと該ビットライン方向に延設した共通ソースラインに接続する第1の第2選択トランジスタとの間に直列接続したメモリセルからなる第1のストリング、及び、前記ビットラインに接続する第2の第1選択トランジスタと前記共通ソースラインに接続する第2の第2選択トランジスタとの間に直列接続したメモリセルからなる第2のストリングと、を有し、前記第1のストリング及び第2のストリングが同じ行にあって1つのビットライン及び共通ソースラインを共有するとともに、ビットラインと共通ソースラインとが異なる配線層とされていることを特徴とする不揮発性メモリのメモリセルアレイが提供される。その第1の第2選択トランジスタと第2の第1選択トランジスタとは、それぞれ2つのトランジスタを直列接続してなるものとすることができ、この場合、第1の第2選択トランジスタと第2の第1選択トランジスタとはそれぞれエンハンスメント型とデプレション型のNMOSトランジスタを直列接続してなるものとし、その他の選択トランジスタはエンハンスメント型のNMOSトランジスタとすることができる。また、ビットラインはポリシリコン又はポリサイドを利用したものとし、共通ソースラインは、アルミニウムか、又はチタンナイトライド及びアルミニウムの複合層からなるものとする。
【0020】
そして、本発明によれば、ビットラインに接続する第1の第1選択トランジスタと該ビットライン方向に延設した共通ソースラインに接続する第1の第2選択トランジスタとの間に直列接続したメモリセルからなる第1のストリング、及び、前記ビットラインに接続する第2の第1選択トランジスタと前記共通ソースラインに接続する第2の第2選択トランジスタとの間に直列接続したメモリセルからなる第2のストリングと、を有し、前記第1のストリング及び第2のストリングが同じ行にあって1つのビットライン及び共通ソースラインを共有するとともに、ビットラインと共通ソースラインとが異なる配線層とされているメモリセルアレイを備えた不揮発性メモリのメモリセルアレイ駆動方法において、プログラムモードで、共通ソースラインに第2レベルの電圧を印加し、そして、各選択トランジスタの制御により、第1のストリング又は第2のストリングのいずれか一方をビットラインに接続するとともに他方のストリングを共通ソースラインに接続し、読出モードで、共通ソースラインに第1レベルの電圧を印加し、そして、各選択トランジスタの制御により、第1のストリング又は第2のストリングのいずれか一方をビットラインに接続するとともに他方のストリングをビットライン又は共通ソースラインから電気的に遮断することを特徴とする。
【0021】
具体的にはそのプログラムモードで、選択ビットラインに第1レベルの電圧を印加するとともに非選択ビットラインに第2レベルの電圧を印加し、また、選択ワードラインにプログラム電圧を印加するとともに非選択ワードラインにパス電圧を印加し、そして、第1のストリング又は第2のストリングのいずれか一方の第1選択トランジスタのゲートに第2レベルの電圧を印加するとともに該ストリングの第2選択トランジスタのゲートに第1レベルの電圧を印加し、さらに、他方のストリングの第1選択トランジスタのゲートに第1レベルの電圧を印加するとともに該ストリングの第2選択トランジスタのゲートに第2レベルの電圧を印加し、読出モードで、選択ワードラインに第1レベルの電圧を印加するとともに非選択ワードラインに読出電圧を印加し、また、ビットラインに読出用の所定電圧を印加し、そして、第1のストリング又は第2のストリングのいずれか一方の第1選択トランジスタ及び第2選択トランジスタのゲートに読出電圧を印加し、さらに、他方のストリングの第1選択トランジスタ又は第2選択トランジスタのゲートに第1レベルの電圧を印加する。この場合、第1の第2選択トランジスタと第2の第1選択トランジスタとがそれぞれエンハンスメント型及びデプレション型のNMOSトランジスタの直列接続からなるものとし、プログラムモードでは前記各2つのトランジスタのゲートに同じ電圧を印加し、読出モードでは前記各2つのトランジスタのゲートに異なる電圧を印加するようにしておくことができる。その第1レベルの電圧は接地電圧、第2レベルの電圧は電源電圧とし、プログラム電圧はパス電圧より高く、該パス電圧は電源電圧より高いものとする。この場合、消去モードで、選択ワードラインに接地電圧を印加する以外はフローティング状態とし、基板に消去電圧を印加する。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態につき添付図面を参照して詳細に説明する。
【0023】
図1に、マルチビットメモリセルの参考例についてアレイ平面構造を示してある。符号50,55はストリング選択ライン、符号51,52,53,54はストリング内のメモリセルにつながったワードライン、符号100,109は共通ソースライン、符号90,91,92,93はスプリット構造で配置されてワードラインと直交するビットラインをそれぞれ示す。
【0024】
ビットラインは、図中左側から奇数番目にある第1グループビットライン90,92と、偶数番目にある第2グループビットライン91,93とに区別され、そして、共通ソースラインも、図中下側に位置する第1共通ソースライン100と、図中上側に位置する第2共通ソースライン109とに区別されている。これらビットラインをなす導電層とソースラインをなす導電層は相互に異なる配線層として形成されている。
【0025】
図1の平面構造に対する断面構造を図2及び図3で示している。図2は図1中のX−X’断面、図3は図1中のY−Y’断面で示してある。
【0026】
P型基板10にN型ウェル13が形成され、そのN型ウェル13にP型ウェル17が形成されている。このP型ウェル17は多値記憶セルトランジスタのボディ領域として使用される。P型ウェル17には素子分離膜30を介して離隔した活性領域20が形成され、これを利用したセルトランジスタのフローティングゲート210が形成されている。さらに、フローティングゲート210の上には、ゲート絶縁膜230を介してコントロールゲート241が配設され、コントロールゲート241の上面にワードライン51〜54がそれぞれ対応して接触形成される。
【0027】
ビットライン90〜93の上には、層間絶縁膜45を介した共通ソースライン100,109がビットラインとは異なる配線層として形成される。ストリングの各ワードライン51〜54は、その第1共通ソースライン100と第2共通ソースライン109との間に平行に延設される。行方向に整列した選択トランジスタを共通制御する第1ストリング選択ライン50及び第2ストリング選択ライン55は、ワードラインに平行で、それぞれ共通ソースライン100,109の隣に配置されている。
【0028】
ゲート絶縁膜230は、絶縁性に優れるように、酸素、窒素、酸素イオンの含有された層を有するO/N/O構造とされる。また、ビットライン90〜93として機能する配線層は、コンタクトに対するステップカバレッジの優秀なポリシリコン又はポリサイドの材質で製造される。この場合、層の厚さは3000Å以下に維持するようにしてビットラインキャパシタンスを減らすのが好ましい。そして、このビットラインとして機能する配線層とは異なる上部配線層として第1及び第2共通ソースライン100,109を形成し、これにはシート抵抗値の低い金属配線を使用する。本例ではアルミニウム系の材質とし、たとえばチタンナイトライドとアルミニウムを積層した複合層で、厚さは6000〜8000Å程度に維持する。これらビットラインとして機能する配線層と共通ソースラインとして機能する配線層との間を絶縁するための層間絶縁膜45は、高温熱酸化膜であるHTO又はBPSG膜で形成できる。
【0029】
以上のようなセルアレイ構造により、ビットラインとソースラインの間隔は従来の技術に比べて2倍程度に広がるので、ビットライン及びソースラインのピッチが2倍に拡張され、ビットラインに接続されるセンスアンプのレイアウトをフリーにするとともにフォトリソグラフィ工程を容易にすることができる。また、ストリング選択トランジスタはエンハンスメント型NMOSで構成するので、追加マスクは不要である。さらに、読出動作時の隣接ビットライン間のカップリングは、上記のようなビットライン及び共通ソースラインの適切な配置により解決される。
【0030】
図4は、図1〜図3に示したセルアレイの等価回路図である。
【0031】
図4中の左から奇数番目のビットライン90,92が第1グループに属し、偶数番目のビットライン91,93が第2グループに属する。これらビットライン90〜93には多数のストリングが選択トランジスタを介して接続される。その各ストリングは行方向交互に第1グループと第2グループに属するように分けられて、多数の直列接続したメモリセルMCを有する。そして、第1グループのストリングは、第1グループビットライン90,92にドレイン接続した第1選択トランジスタST1のソースと、第1共通ソースライン100にソース接続した第2選択トランジスタST2のドレインとの間にそれぞれ位置し、第2グループのストリングは、第2グループビットライン91,93にドレイン接続した第1選択トランジスタST1のソースと、第2共通ソースライン109にソース接続した第2選択トランジスタST2のドレインとの間にそれぞれ位置する。各メモリセルMCは、ワードラインで制御されるコントロールゲートCG、データ記憶用フローティングゲートFG、半導体基板に形成されたチャネルを挟んで形成されたソースSとドレインDを有する。
【0032】
図4のように構成されたアレイを駆動するため、選択トランジスタST1,ST2のゲートにつながるストリング選択ライン50,55、ワードライン51〜54、共通ソースライン100,109が駆動制御部(図示せず)により制御される。すなわち、プログラム、消去、読出、検証の各動作モードに応じて、第1及び第2共通ソースライン100,109に所定の電圧が印加され、また、同一グループに属するビットライン及び少なくとも1本のワードラインが選択され、その選択ワードラインに接続するメモリセルのコントロールゲートに所定のモード対応電圧が印加されることにより、シングルビット又はマルチビット方式でNANDフラッシュメモリの動作が実行される。
【0033】
プログラムモードでは、選択ビットラインに第1レベルの電圧を印加するとともに非選択ビットラインに第2レベルの電圧を印加し、また、選択ワードラインにプログラム電圧を印加するとともに非選択ワードラインにパス電圧を印加する。そして、選択ビットラインが第1グループである場合は、第2共通ソースライン109及び第1グループの第1選択トランジスタST1のゲートに第2レベルの電圧を印加するとともに第1グループの第2選択トランジスタST2のゲートに第1レベルの電圧を印加する。一方、選択ビットラインが第2グループである場合は、第1共通ソースライン100及び第2グループの第1選択トランジスタST1のゲートに第2レベルの電圧を印加するとともに第2グループの第2選択トランジスタST2のゲートに第1レベルの電圧を印加する。これにより、非選択ビットラインについてストリング内のメモリセルプログラムを禁止しつつプログラムが実行される。
【0034】
読出モードでは、第1グループビットラインの選択であれば選択ビットライン90,92に読出のための所定電圧を印加するとともに、選択ワードライン及び共通ソースライン100,109と第2グループの非選択ビットライン91,93に第1レベルの電圧を印加し、そして、その他には読出電圧を印加する。これにより、隣接ビットライン間の容量性カップリングを防いでセル電流が正常に出力されるようにする。
【0035】
消去モードでは、選択ワードラインにだけ接地レベルの電圧を印加し、残りはフローティング状態にして基板に20V程度の消去電圧を印加し、ページ単位又はフラッシュ消去を遂行する。
【0036】
本例における第1レベルの電圧は接地電圧、第2レベルの電圧は電源電圧である。プログラム電圧はパス電圧のレベルより高く、そのパス電圧は電源電圧のレベルより高い電圧である。
【0037】
図5には本発明の実施形態のアレイ構造について示してある。この本発明の実施形態では、異なる配線層としたビットライン90,99と共通ソースライン100,109を同じ方向に設け、1行中の2列(カラム)のストリングが1ビットライン及び1共通ソースラインを共有するようにそれぞれ途中でねじってある。符号50,55,56はストリング選択ラインSSL1〜SSL3、符号51,52,53はストリング内のメモリセルを制御するワードライン、符号100,109は共通ソースライン、符号90,99はビットラインをそれぞれ示す。図6に図5中のX−X’断面、図7には5中のY−Y’断面を示している。
【0038】
P型基板10にN型ウェル13が形成され、そのN型ウェル13にP型ウェル17が形成される。このP型ウェル17は多値記憶セルトランジスタのボディ領域として使用される。P型ウェル17には素子分離膜30を介して離隔させた活性領域20が形成され、これを利用したセルトランジスタのフローティングゲート210が形成されている。フローティングゲート210の上にはゲート絶縁膜230を介してコントロールゲート241が配設され、その上面にワードライン51,52が接触形成される。
【0039】
ビットライン90,99の上に、層間絶縁膜45を介した共通ソースライン100,109がビットラインとは異なる配線層として形成される。選択トランジスタを制御する第1〜第3ストリング選択ライン50,55,56は、ビットラインと直交し、ワードライン51〜53と平行に延設される。
【0040】
以上のような2列共有のビットラインと共通ソースラインのクロス構造により、ビットラインとソースラインの間隔は従来技術に比べて2倍程度に広がるので、ビットライン及びソースラインのピッチが2倍に拡張され、ビットラインに接続されるセンスアンプのレイアウトをフリーにするとともにフォトリソグラフィ工程を容易にすることができる。また、読出動作時の隣接ビットライン間のカップリングはビットライン及び共通ソースラインの配置により解決される。
【0041】
図8は、図5のセルアレイの等価回路図を示してある。
【0042】
本例の第1のストリングは、1つのビットラインの図中左側に形成され、第2のストリングは、ビットラインの図中右側に形成されている。第1のストリングは、ビットライン90,99にドレイン接続された第1の第1選択トランジスタST1のソースと、共通ソースライン100,109にソース接続して直列に2つ設けた第1の第2選択トランジスタST2a,ST2bのドレインとの間に接続され、ワードライン51〜53につながるコントロールゲートCG、データ記憶用のフローティングゲートFG、チャネルを挟んで離隔形成されたソースS及びドレインDからなる直列接続のメモリセルMCを有する。第2のストリングは、ビットライン90,99にドレイン接続して直列に2つ設けた第2の第1選択トランジスタST1a,ST1bのソースと、共通ソースライン100,109にソース接続された第2の第2選択トランジスタST2のドレインとの間に接続され、ワードライン51〜53につながるコントロールゲートCG、データ記憶用のフローティングゲートFG、チャネルを挟んで離隔形成されたソースS及びドレインDからなる直列接続のメモリセルMCを有する。
【0043】
直列にした第1の第2選択トランジスタST2a,ST2bと第2の第1選択トランジスタST1a,ST1bは、いずれか一方がデプレション型とされる。また、そのデプレション型トランジスタの位置は、第1のグループと第2のグループとで互い違いになるようにしてある。
【0044】
この構造のアレイを駆動するために駆動制御部は、ストリング選択ライン50,55,56、ワードライン51〜53、共通ソースライン100,109に対し、プログラム、消去、読出、検証の各動作モードに応じた電圧を提供する。
【0045】
プログラムモードでは、共通ソースライン100,109に第2レベル(=電源電圧)の電圧を印加し、そして、プログラム対象のメモリセルをもつ選択ストリングが第1のストリングである場合、第2のストリングを共通ソースラインに接続する一方で選択ビットラインから電気的に遮断するべく第1〜第3ストリング選択ライン50,55,56を制御し、関係のないメモリセルのプログラムを禁止する。すなわち、選択ビットライン(=プログラム対象のメモリセルがある)には第1レベル(=接地電圧)の電圧を印加するとともに非選択ビットライン(=プログラム対象のメモリセルがない)には第2レベルの電圧を印加し、さらに、選択ワードにプログラム電圧を印加するとともに非選択ワードラインにパス電圧を印加する。そして、第1のストリングが選択ストリングである場合、第1ストリング選択ライン50を第2レベルの電圧とし、且つ第2及び第3ストリング選択ライン55,56を第1レベルの電圧とする。逆に、選択ストリングが第2のストリングである場合には、第2及び第3ストリング選択ライン55,56を第2レベルの電圧とし、且つ第1ストリング選択ライン50を第1レベルの電圧とする。
【0046】
読出モードでは、選択ワードライン及び共通ソースライン100,109に第1レベルの電圧を印加し、そして、読出対象のメモリセルをもつ選択ストリングが第1のストリングである場合、第2のストリングをビットラインから電気的に遮断するべく第1〜第3ストリング選択ライン50,55,56を制御し、第1のストリングをビットラインへ電気的に接続する。選択ストリングが第2のストリングである場合はこの逆となる。すなわち、ビットライン90,99に読出用の所定電圧を印加するとともに非選択ワードラインには読出電圧を印加し、そして、第1のストリングが選択ストリングである場合は、第1ストリング選択ライン50及び第3ストリング選択ライン56に読出電圧を印加し、且つ第2ストリング選択ライン55に第1レベルの電圧を印加する。第2のストリングが選択ストリングである場合は、第1ストリング選択ライン50及び第2ストリング選択ライン55に読出電圧を印加し、且つ第3ストリング選択ライン56に第1レベルの電圧を印加する。
【0047】
本例では、隣接ビットライン間が広く一定の電圧を維持する共通ソースライン100,109が存在するので、容量性カップリングによる読出電位の不安定現象が防止され、セル電流が正常に出力される。
【0048】
消去モードでは、選択ワードラインにだけ接地レベルを印加し、その他はフローティング状態にして基板に消去電圧を印加することにより、ページ単位又はフラッシュ消去を遂行する。
【0049】
【発明の効果】
本発明によれば、ビットラインのレイアウトピッチを従来よりも広げることが可能で、ビットラインに接続されるセンスアンプのレイアウトに余裕が増して配置設計しやすくなり、またフォトリソグラフィ工程が容易になる。さらに、ストリング選択トランジスタの製造用に追加するマスクをなくすことが可能である。あるいは、読出動作時のストリング電流減少を解消し、プログラム動作時の非選択セルにおけるプログラムかく乱現象を誘発しないですむメモリセルアレイ構造が提供される。そして、隣接ビットライン間のカップリング現象を除去し、セルしきい値電圧のばらつきを防止する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】参考例に係るセルアレイ構造の平面図。
【図2】図1中のX−X’断面でみた断面図。
【図3】図1中のY−Y’断面でみた断面図。
【図4】図1のセルアレイの等価回路図。
【図5】本発明の実施形態に係るセルアレイ構造の平面図。
【図6】図5中のX−X’断面でみた断面図。
【図7】図5中のY−Y’断面でみた断面図。
【図8】図5のセルアレイの等価回路図。
【符号の説明】
10 P型基板
13 N型ウェル
17 P型ウェル
20 活性領域
30 素子分離膜
50,55,56 ストリング選択ライン
51,52,53,54 ワードライン
90,91,92,93,99 ビットライン
100,109 共通ソースライン
210 フローティングゲート
230 ゲート絶縁膜
241 コントロールゲート
MC メモリセル
ST 選択トランジスタ
Claims (9)
- ビットラインに接続する第1の第1選択トランジスタと該ビットライン方向に延設した共通ソースラインに接続する第1の第2選択トランジスタとの間に直列接続したメモリセルからなる第1のストリング、及び、前記ビットラインに接続する第2の第1選択トランジスタと前記共通ソースラインに接続する第2の第2選択トランジスタとの間に直列接続したメモリセルからなる第2のストリングと、を有し、
前記第1のストリング及び第2のストリングが共に前記ビットラインの方向に延在し1つのビットライン及び共通ソースラインを共有するとともに、ビットラインと共通ソースラインとが異なる配線層とされ、かつ前記第1の第1選択トランジスタと前記第1の第2選択トランジスタとの間で第1及び第2のストリングに対する相対位置が入れ替わるようにねじって配設され、
前記第1の第2選択トランジスタと前記第2の第1選択トランジスタとは、それぞれエンハンスメント型とデプレション型のNMOSトランジスタを直列接続してなり、かつ前記デプレション型トランジスタの位置は、第1のストリングと第2のストリングとで互い違いになるようにしてあり、その他の選択トランジスタはエンハンスメント型のNMOSトランジスタであることを特徴とする不揮発性メモリのメモリセルアレイ。 - ビットラインがポリシリコン又はポリサイドを利用して形成されている請求項1に記載の不揮発性メモリのメモリセルアレイ。
- 共通ソースラインがアルミニウムからなるか、又はチタンナイトライド及びアルミニウムの複合層からなる請求項2記載の不揮発性メモリのメモリセルアレイ。
- ビットラインに接続する第1の第1選択トランジスタと該ビットライン方向に延設した共通ソースラインに接続する第1の第2選択トランジスタとの間に直列接続したメモリセルからなる第1のストリング、及び、前記ビットラインに接続する第2の第1選択トランジスタと前記共通ソースラインに接続する第2の第2選択トランジスタとの間に直列接続したメモリセルからなる第2のストリングと、を有し、
前記第1のストリング及び第2のストリングが共に前記ビットラインの方向に延在し1つのビットライン及び共通ソースラインを共有するとともに、ビットラインと共通ソースラインとが異なる配線層とされ、かつ前記第1の第1選択トランジスタと前記第1の第2選択トランジスタとの間で第1及び第2のストリングに対する相対位置が入れ替わるようにねじって配設され、
前記第1の第2選択トランジスタと前記第2の第1選択トランジスタとは、それぞれエンハンスメント型とデプレション型のNMOSトランジスタを直列接続してなり、かつ前記デプレション型トランジスタの位置は、第1のストリングと第2のストリングとで互い違いになるようにしてあり、その他の選択トランジスタはエンハンスメント型のNMOSトランジスタであるメモリセルアレイを備えた不揮発性メモリのメモリセルアレイ駆動方法において、
プログラムモードで、共通ソースラインに第2レベルの電圧を印加し、そして、各選択トランジスタの制御により、第1のストリング又は第2のストリングのいずれか一方をビットラインに接続するとともに他方のストリングを共通ソースラインに接続し、
読出モードで、共通ソースラインに第1レベルの電圧を印加し、そして、各選択トランジスタの制御により、第1のストリング又は第2のストリングのいずれか一方をビットラインに接続するとともに他方のストリングをビットライン又は共通ソースラインから電気的に遮断するようにしたことを特徴とする駆動方法。 - プログラムモードで、選択ビットラインに第1レベルの電圧を印加するとともに非選択ビットラインに第2レベルの電圧を印加し、また、選択ワードラインにプログラム電圧を印加するとともに非選択ワードラインにパス電圧を印加し、そして、第1のストリング又は第2のストリングのいずれか一方の第1選択トランジスタのゲートに第2レベルの電圧を印加するとともに該ストリングの第2選択トランジスタのゲートに第1レベルの電圧を印加し、さらに、他方のストリングの第1選択トランジスタのゲートに第1レベルの電圧を印加するとともに該ストリングの第2選択トランジスタのゲートに第2レベルの電圧を印加し、
読出モードで、選択ワードラインに第1レベルの電圧を印加するとともに非選択ワードラインに読出電圧を印加し、また、ビットラインに読出用の所定電圧を印加し、そして、第1のストリング又は第2のストリングのいずれか一方の第1選択トランジスタ及び第2選択トランジスタのゲートに読出電圧を印加し、さらに、他方のストリングの第1選択トランジスタ又は第2選択トランジスタのゲートに第1レベルの電圧を印加する請求項4記載の駆動方法。 - プログラムモードでは前記各2つのトランジスタのゲートに同じ電圧を印加し、読出モードでは前記各2つのトランジスタのゲートに異なる電圧を印加する請求項5記載の駆動方法。
- 第1レベルの電圧が接地電圧で、第2レベルの電圧が電源電圧である請求項5又は請求項6記載の駆動方法。
- プログラム電圧がパス電圧より高く、該パス電圧が電源電圧より高い請求項7記載の方法。
- 消去モードで、選択ワードラインに接地電圧を印加する以外はフローティング状態とし、基板に消去電圧を印加する請求項8記載の駆動方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960041483A KR100206709B1 (ko) | 1996-09-21 | 1996-09-21 | 멀티비트 불휘발성 반도체 메모리의 셀 어레이의 구조 및 그의 구동방법 |
KR1996P41483 | 1996-09-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10107234A JPH10107234A (ja) | 1998-04-24 |
JP4083846B2 true JP4083846B2 (ja) | 2008-04-30 |
Family
ID=19474752
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25738197A Expired - Fee Related JP4083846B2 (ja) | 1996-09-21 | 1997-09-22 | 不揮発性メモリのセルアレイ構造及びその駆動方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5923587A (ja) |
JP (1) | JP4083846B2 (ja) |
KR (1) | KR100206709B1 (ja) |
Families Citing this family (105)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10320988A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-04 | Sony Corp | 半導体不揮発性記憶装置、そのデータプログラム方法、およびその製造方法 |
JP3344331B2 (ja) * | 1998-09-30 | 2002-11-11 | 日本電気株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2001085660A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Toshiba Corp | 固体撮像装置及びその制御方法 |
KR100323140B1 (ko) * | 2000-01-17 | 2002-02-06 | 윤종용 | 낸드형 플래쉬 메모리소자 및 그 제조방법 |
DE60122412T2 (de) * | 2000-03-22 | 2007-05-03 | Microchip Technology Inc., Chandler | Verbessertes Programmierungsverfahren für eine Speicherzelle |
EP1191542B1 (en) * | 2000-09-22 | 2008-10-29 | SAMSUNG ELECTRONICS Co. Ltd. | Driving circuits for a memory cell array in a NAND-type flash memory device |
KR100390944B1 (ko) * | 2000-12-29 | 2003-07-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래쉬 메모리 장치 |
EP1349214A1 (en) * | 2002-03-26 | 2003-10-01 | eMemory Technology Inc. | Nonvolatile semiconductor memory |
US6847087B2 (en) | 2002-10-31 | 2005-01-25 | Ememory Technology Inc. | Bi-directional Fowler-Nordheim tunneling flash memory |
US7233522B2 (en) * | 2002-12-31 | 2007-06-19 | Sandisk 3D Llc | NAND memory array incorporating capacitance boosting of channel regions in unselected memory cells and method for operation of same |
US7505321B2 (en) * | 2002-12-31 | 2009-03-17 | Sandisk 3D Llc | Programmable memory array structure incorporating series-connected transistor strings and methods for fabrication and operation of same |
AU2003300007A1 (en) * | 2002-12-31 | 2004-07-29 | Matrix Semiconductor, Inc. | Programmable memory array structure incorporating series-connected transistor strings and methods for fabrication and operation of same |
US7005350B2 (en) * | 2002-12-31 | 2006-02-28 | Matrix Semiconductor, Inc. | Method for fabricating programmable memory array structures incorporating series-connected transistor strings |
EP1437772A1 (en) * | 2003-01-09 | 2004-07-14 | eMemory Technology Inc. | Bi-directional fowler-nordheim tunneling flash memory |
US20050128807A1 (en) * | 2003-12-05 | 2005-06-16 | En-Hsing Chen | Nand memory array incorporating multiple series selection devices and method for operation of same |
US7023739B2 (en) * | 2003-12-05 | 2006-04-04 | Matrix Semiconductor, Inc. | NAND memory array incorporating multiple write pulse programming of individual memory cells and method for operation of same |
US7423304B2 (en) * | 2003-12-05 | 2008-09-09 | Sandisck 3D Llc | Optimization of critical dimensions and pitch of patterned features in and above a substrate |
US7221588B2 (en) * | 2003-12-05 | 2007-05-22 | Sandisk 3D Llc | Memory array incorporating memory cells arranged in NAND strings |
JP2005251859A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Renesas Technology Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
KR100604561B1 (ko) * | 2004-05-11 | 2006-07-31 | 에스티마이크로일렉트로닉스 엔.브이. | 낸드 플래시 메모리 소자 및 이의 웰 형성 방법 |
US6879519B1 (en) * | 2004-07-30 | 2005-04-12 | Micron Technology, Inc. | Non-volatile programmable fuse apparatus in a memory device |
KR100705221B1 (ko) * | 2004-09-03 | 2007-04-06 | 에스티마이크로일렉트로닉스 엔.브이. | 플래쉬 메모리 소자 및 이를 이용한 플래쉬 메모리 셀의소거 방법 |
JP4832767B2 (ja) * | 2005-02-03 | 2011-12-07 | 株式会社東芝 | 半導体集積回路装置及びそのデータプログラム方法 |
AU2006213686A1 (en) * | 2005-02-09 | 2006-08-17 | Avi Bio Pharma, Inc. | Antisense composition and method for treating muscle atrophy |
KR100632953B1 (ko) * | 2005-03-07 | 2006-10-12 | 삼성전자주식회사 | 메모리 소자, 상기 메모리 소자를 위한 메모리 배열 및 상기 메모리 배열의 구동 방법 |
KR100704628B1 (ko) * | 2005-03-25 | 2007-04-09 | 삼성전자주식회사 | 다수의 스트링을 사용하여 상태 정보를 저장하는 방법 및비휘발성 저장 장치 |
JP4113211B2 (ja) * | 2005-07-27 | 2008-07-09 | 株式会社東芝 | 半導体集積回路装置 |
US7710774B2 (en) * | 2005-11-23 | 2010-05-04 | Macronix International Co., Ltd. | NAND type multi-bit charge storage memory array and methods for operating and fabricating the same |
JP2007164969A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Samsung Electronics Co Ltd | 選択された基準メモリセルを具備する抵抗型メモリ素子 |
JP4939804B2 (ja) | 2005-12-21 | 2012-05-30 | 三星電子株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置 |
EP1814123A1 (en) * | 2006-01-26 | 2007-08-01 | Samsung Electronics Co.,Ltd. | Nand-type nonvolatile memory device having common bit lines and methods of operating the same |
KR100666186B1 (ko) | 2006-02-17 | 2007-01-09 | 삼성전자주식회사 | 3-레벨 불휘발성 반도체 메모리 장치 및 이에 적용되는페이지 버퍼 |
US7876613B2 (en) | 2006-05-18 | 2011-01-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Multi-bit flash memory devices having a single latch structure and related programming methods, systems and memory cards |
KR100733952B1 (ko) * | 2006-06-12 | 2007-06-29 | 삼성전자주식회사 | 플래그 셀들 사이의 커플링을 최소화시킬 수 있는멀티-비트 플래시 메모리 장치 및 그것의 프로그램 방법 |
KR100919156B1 (ko) | 2006-08-24 | 2009-09-28 | 삼성전자주식회사 | 멀티-비트 플래시 메모리 장치 및 그것의 프로그램 방법 |
JP5016888B2 (ja) * | 2006-10-04 | 2012-09-05 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
KR100926475B1 (ko) | 2006-12-11 | 2009-11-12 | 삼성전자주식회사 | 멀티 비트 플래시 메모리 장치 및 그것의 프로그램 방법 |
KR100794311B1 (ko) * | 2006-12-27 | 2008-01-11 | 삼성전자주식회사 | 프로그램 에러를 차단할 수 있는 멀티 비트 플래시 메모리장치의 프로그램 방법 |
KR100816123B1 (ko) * | 2007-01-02 | 2008-03-21 | 주식회사 하이닉스반도체 | 낸드 플래시 메모리 소자 |
KR100850509B1 (ko) * | 2007-01-10 | 2008-08-05 | 삼성전자주식회사 | 프로그램 에러를 감소시킬 수 있는 멀티 비트 플래시메모리 장치의 프로그램 방법 |
KR100889781B1 (ko) | 2007-04-30 | 2009-03-20 | 삼성전자주식회사 | 멀티-비트 데이터를 저장하는 메모리 시스템, 그것의프로그램 방법, 그것을 포함한 컴퓨팅 시스템 |
KR100932369B1 (ko) * | 2007-06-28 | 2009-12-16 | 주식회사 하이닉스반도체 | 불휘발성 메모리 장치 |
US7869273B2 (en) * | 2007-09-04 | 2011-01-11 | Sandisk Corporation | Reducing the impact of interference during programming |
KR101425958B1 (ko) * | 2007-09-06 | 2014-08-04 | 삼성전자주식회사 | 멀티-비트 데이터를 저장하는 메모리 시스템 및 그것의읽기 방법 |
US9129845B2 (en) * | 2007-09-19 | 2015-09-08 | Micron Technology, Inc. | Buried low-resistance metal word lines for cross-point variable-resistance material memories |
US7876597B2 (en) | 2007-09-19 | 2011-01-25 | Micron Technology, Inc. | NAND-structured series variable-resistance material memories, processes of forming same, and methods of using same |
KR100909627B1 (ko) * | 2007-10-10 | 2009-07-27 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래시 메모리소자 |
KR101426845B1 (ko) * | 2007-12-05 | 2014-08-14 | 삼성전자주식회사 | 공통 소스를 포함하는 비휘발성 기억 소자 |
KR101469105B1 (ko) * | 2008-07-24 | 2014-12-05 | 삼성전자주식회사 | 불 휘발성 반도체 메모리 장치 및 그것을 포함한 메모리시스템 |
KR101491829B1 (ko) | 2008-08-14 | 2015-02-12 | 삼성전자주식회사 | 읽기 디스터번스를 방지하는 메모리 장치 및 그 방법 |
US7983085B2 (en) * | 2009-02-06 | 2011-07-19 | Micron Technology, Inc. | Memory array with inverted data-line pairs |
US7974114B2 (en) * | 2009-04-28 | 2011-07-05 | Infineon Technologies Ag | Memory cell arrangements |
KR101658479B1 (ko) | 2010-02-09 | 2016-09-21 | 삼성전자주식회사 | 불휘발성 메모리 장치, 그것의 동작 방법, 그리고 그것을 포함하는 메모리 시스템 |
KR101691088B1 (ko) | 2010-02-17 | 2016-12-29 | 삼성전자주식회사 | 불휘발성 메모리 장치, 그것의 동작 방법, 그리고 그것을 포함하는 메모리 시스템 |
KR101691092B1 (ko) | 2010-08-26 | 2016-12-30 | 삼성전자주식회사 | 불휘발성 메모리 장치, 그것의 동작 방법, 그리고 그것을 포함하는 메모리 시스템 |
US9378831B2 (en) | 2010-02-09 | 2016-06-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Nonvolatile memory devices, operating methods thereof and memory systems including the same |
US9324440B2 (en) | 2010-02-09 | 2016-04-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Nonvolatile memory devices, operating methods thereof and memory systems including the same |
US8908431B2 (en) | 2010-02-17 | 2014-12-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Control method of nonvolatile memory device |
US8923060B2 (en) | 2010-02-17 | 2014-12-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Nonvolatile memory devices and operating methods thereof |
JP5788183B2 (ja) * | 2010-02-17 | 2015-09-30 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 不揮発性メモリ装置、それの動作方法、そしてそれを含むメモリシステム |
JP2011170956A (ja) | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Samsung Electronics Co Ltd | 不揮発性メモリ装置およびそのプログラム方法と、それを含むメモリシステム |
US8553466B2 (en) | 2010-03-04 | 2013-10-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Non-volatile memory device, erasing method thereof, and memory system including the same |
US8792282B2 (en) | 2010-03-04 | 2014-07-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Nonvolatile memory devices, memory systems and computing systems |
US9601692B1 (en) | 2010-07-13 | 2017-03-21 | Crossbar, Inc. | Hetero-switching layer in a RRAM device and method |
US8946046B1 (en) | 2012-05-02 | 2015-02-03 | Crossbar, Inc. | Guided path for forming a conductive filament in RRAM |
US9570678B1 (en) | 2010-06-08 | 2017-02-14 | Crossbar, Inc. | Resistive RAM with preferental filament formation region and methods |
US8411485B2 (en) | 2010-06-14 | 2013-04-02 | Crossbar, Inc. | Non-volatile variable capacitive device including resistive memory cell |
US9013911B2 (en) | 2011-06-23 | 2015-04-21 | Crossbar, Inc. | Memory array architecture with two-terminal memory cells |
US8884261B2 (en) | 2010-08-23 | 2014-11-11 | Crossbar, Inc. | Device switching using layered device structure |
US8569172B1 (en) | 2012-08-14 | 2013-10-29 | Crossbar, Inc. | Noble metal/non-noble metal electrode for RRAM applications |
US8315079B2 (en) | 2010-10-07 | 2012-11-20 | Crossbar, Inc. | Circuit for concurrent read operation and method therefor |
US8502185B2 (en) | 2011-05-31 | 2013-08-06 | Crossbar, Inc. | Switching device having a non-linear element |
USRE46335E1 (en) | 2010-11-04 | 2017-03-07 | Crossbar, Inc. | Switching device having a non-linear element |
US8422296B2 (en) * | 2010-12-22 | 2013-04-16 | HGST Netherlands B.V. | Early detection of degradation in NAND flash memory |
US8426306B1 (en) | 2010-12-31 | 2013-04-23 | Crossbar, Inc. | Three dimension programmable resistive random accessed memory array with shared bitline and method |
US8320160B2 (en) * | 2011-03-18 | 2012-11-27 | Crossbar, Inc. | NAND architecture having a resistive memory cell connected to a control gate of a field-effect transistor |
KR101762828B1 (ko) | 2011-04-05 | 2017-07-31 | 삼성전자주식회사 | 불휘발성 메모리 장치 및 불휘발성 메모리 장치의 동작 방법 |
US9620206B2 (en) | 2011-05-31 | 2017-04-11 | Crossbar, Inc. | Memory array architecture with two-terminal memory cells |
WO2012168954A1 (en) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | Micron Technology Inc. | Apparatus and methods to perform read-while write (rww) operations |
US8619459B1 (en) | 2011-06-23 | 2013-12-31 | Crossbar, Inc. | High operating speed resistive random access memory |
US9627443B2 (en) | 2011-06-30 | 2017-04-18 | Crossbar, Inc. | Three-dimensional oblique two-terminal memory with enhanced electric field |
US9059705B1 (en) | 2011-06-30 | 2015-06-16 | Crossbar, Inc. | Resistive random accessed memory device for FPGA configuration |
US9166163B2 (en) | 2011-06-30 | 2015-10-20 | Crossbar, Inc. | Sub-oxide interface layer for two-terminal memory |
US9058865B1 (en) | 2011-06-30 | 2015-06-16 | Crossbar, Inc. | Multi-level cell operation in silver/amorphous silicon RRAM |
US8946669B1 (en) | 2012-04-05 | 2015-02-03 | Crossbar, Inc. | Resistive memory device and fabrication methods |
US9564587B1 (en) | 2011-06-30 | 2017-02-07 | Crossbar, Inc. | Three-dimensional two-terminal memory with enhanced electric field and segmented interconnects |
US8593869B2 (en) | 2011-07-27 | 2013-11-26 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods including memory array and data line architecture |
US8792263B2 (en) | 2011-12-22 | 2014-07-29 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods including memory with top and bottom data lines |
US9685608B2 (en) | 2012-04-13 | 2017-06-20 | Crossbar, Inc. | Reduced diffusion in metal electrode for two-terminal memory |
US8658476B1 (en) | 2012-04-20 | 2014-02-25 | Crossbar, Inc. | Low temperature P+ polycrystalline silicon material for non-volatile memory device |
KR101430415B1 (ko) * | 2012-06-09 | 2014-08-14 | 서울대학교산학협력단 | 게이트 다이오드 구조를 갖는 메모리 셀 스트링 및 이를 이용한 메모리 어레이 |
US9001552B1 (en) | 2012-06-22 | 2015-04-07 | Crossbar, Inc. | Programming a RRAM method and apparatus |
US9583701B1 (en) | 2012-08-14 | 2017-02-28 | Crossbar, Inc. | Methods for fabricating resistive memory device switching material using ion implantation |
US9741765B1 (en) | 2012-08-14 | 2017-08-22 | Crossbar, Inc. | Monolithically integrated resistive memory using integrated-circuit foundry compatible processes |
US8780631B2 (en) | 2012-08-21 | 2014-07-15 | Micron Technology, Inc. | Memory devices having data lines included in top and bottom conductive lines |
US9576616B2 (en) | 2012-10-10 | 2017-02-21 | Crossbar, Inc. | Non-volatile memory with overwrite capability and low write amplification |
US9236126B2 (en) * | 2013-06-17 | 2016-01-12 | Seoul National University R&Db Foundation | Simplified nonvolatile memory cell string and NAND flash memory array using the same |
KR102242022B1 (ko) | 2013-09-16 | 2021-04-21 | 삼성전자주식회사 | 불휘발성 메모리 및 그것의 프로그램 방법 |
US9058881B1 (en) * | 2013-12-05 | 2015-06-16 | Sandisk Technologies Inc. | Systems and methods for partial page programming of multi level cells |
US10290801B2 (en) | 2014-02-07 | 2019-05-14 | Crossbar, Inc. | Scalable silicon based resistive memory device |
KR20160139991A (ko) * | 2015-05-29 | 2016-12-07 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 이의 동작 방법 |
KR20170010620A (ko) * | 2015-07-20 | 2017-02-01 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 메모리 장치 및 그것의 동작 방법 |
KR102521278B1 (ko) * | 2017-09-25 | 2023-04-14 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 이의 제조 방법 |
KR102067115B1 (ko) * | 2018-11-08 | 2020-01-16 | 한양대학교 산학협력단 | Ots의 오작동을 방지하기 위한 상변화 메모리 소자 및 상기 상변화 메모리 소자의 매핑 동작 방법 |
US20220366984A1 (en) * | 2021-05-13 | 2022-11-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Memory circuits and devices, and methods thereof |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5448517A (en) * | 1987-06-29 | 1995-09-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrically programmable nonvolatile semiconductor memory device with NAND cell structure |
JP2732601B2 (ja) * | 1987-11-18 | 1998-03-30 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体メモリ装置 |
US5295096A (en) * | 1988-07-11 | 1994-03-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | NAND type EEPROM and operating method therefor |
KR910004166B1 (ko) * | 1988-12-27 | 1991-06-22 | 삼성전자주식회사 | 낸드쎌들을 가지는 전기적으로 소거 및 프로그램 가능한 반도체 메모리장치 |
JPH06291332A (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-18 | Nippon Steel Corp | 半導体記憶装置及びその使用方法 |
JPH07122080A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-05-12 | Sony Corp | 半導体不揮発性記憶装置 |
US5392248A (en) * | 1993-10-26 | 1995-02-21 | Texas Instruments Incorporated | Circuit and method for detecting column-line shorts in integrated-circuit memories |
KR960008823B1 (en) * | 1993-11-30 | 1996-07-05 | Samsung Electronics Co Ltd | Non-volatile semiconductor memory device |
JP3192861B2 (ja) * | 1994-03-14 | 2001-07-30 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP3184045B2 (ja) * | 1994-06-17 | 2001-07-09 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体メモリ |
KR0145475B1 (ko) * | 1995-03-31 | 1998-08-17 | 김광호 | 낸드구조를 가지는 불휘발성 반도체 메모리의 프로그램장치 및 방법 |
US5596526A (en) * | 1995-08-15 | 1997-01-21 | Lexar Microsystems, Inc. | Non-volatile memory system of multi-level transistor cells and methods using same |
KR0170707B1 (ko) * | 1995-11-29 | 1999-03-30 | 김광호 | 비휘발성 메모리 소자 및 그 구동 방법 |
-
1996
- 1996-09-21 KR KR1019960041483A patent/KR100206709B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-09-18 US US08/932,452 patent/US5923587A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-09-22 JP JP25738197A patent/JP4083846B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-05-04 US US09/305,239 patent/US6118696A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10107234A (ja) | 1998-04-24 |
US6118696A (en) | 2000-09-12 |
US5923587A (en) | 1999-07-13 |
KR19980022360A (ko) | 1998-07-06 |
KR100206709B1 (ko) | 1999-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4083846B2 (ja) | 不揮発性メモリのセルアレイ構造及びその駆動方法 | |
US6819590B2 (en) | Semiconductor memory | |
US8724390B2 (en) | Architecture for a 3D memory array | |
US6563733B2 (en) | Memory array architectures based on a triple-polysilicon source-side injection non-volatile memory cell | |
US6799256B2 (en) | System and method for multi-bit flash reads using dual dynamic references | |
US7773418B2 (en) | Non-volatile memory with both single and multiple level cells | |
US7009887B1 (en) | Method of determining voltage compensation for flash memory devices | |
US8513726B2 (en) | EEPROM with increased reading speed | |
US7423910B2 (en) | Semiconductor device including MOS transistors having floating gate and control gate | |
US7245530B2 (en) | Semiconductor memory device with MOS transistors, each including floating gate and control gate, and memory card including the same | |
JP4004809B2 (ja) | 半導体装置及びその動作方法 | |
US20060063331A1 (en) | Nonvolatile memory devices with trenched side-wall transistors and method of fabricating the same | |
JP2007519130A (ja) | ダイナミック参照電圧発生を有する多ビットメモリ | |
US7898854B2 (en) | Semiconductor memory device and method of preliminary data writing to select memory cell transistors | |
JP2001085646A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JP4252464B2 (ja) | 動的ページプログラムのためのリフレッシュ方法 | |
US7312495B2 (en) | Split gate multi-bit memory cell | |
JPH10125812A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2008277544A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JPH10144807A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JP2003086720A (ja) | 不揮発性半導体メモリ | |
JP3540881B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置の書き込み方法 | |
JPH07105451B2 (ja) | 不揮発性半導体メモリ | |
JPH11176176A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JPH10189781A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040901 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060508 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071009 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |