JP3830495B2 - 半導体装置、半導体装置の製造方法及び光学装置用モジュール - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施の形態1に係る固体撮像装置の概略構成を示す説明図であり、(a)は固体撮像装置の主面(一面)をその上部からみた平面図、(b)は(a)のB−B線における断面図である。なお以下の平面図では、本発明に特徴の遮水機能を有する通気路7が形成された接着部5を分かりやすくするために、接着部5を斜線にて示す。
図6乃至図8は本発明の実施の形態2に係る固体撮像装置の製造方法を示す説明図であり、具体的には、図6は覆部の形成工程を示す説明図、図7は半導体ウエハ上に形成した固体撮像素子の状況を示す説明図、図8は図6で形成した覆部を図7の固体撮像素子の主面(有効画素領域を有する表面)に接着した状況を示す説明図である。
図9及び図10は本発明の実施の形態3に係る固体撮像装置の製造方法を示す説明図であり、具体的には、図9は覆部の形成工程を示す説明図、図10は半導体ウエハに形成した固体撮像素子の一面(有効画素領域を有する表面)に図9で形成した覆部を接着する工程を示す説明図である。
図11及び図12は本発明の実施の形態4に係る固体撮像装置の製造方法を示す説明図であり、具体的には、図11は半導体ウエハ上に形成した固体撮像素子の一面(有効画素領域を有する表面)に通気路7を有する接着部5を形成した状態を示す説明図、図12は図11の半導体ウエハに板材を接着した後に板材を分割して覆部を形成する工程を示す説明図である。
図13は本発明の実施の形態5に係る光学装置用モジュールの概略構成を示す断面図である。光学装置用モジュール30は例えばカメラモジュールであり、配線基板15に外部からの光を取り入れるためのレンズ31と、レンズ31を保持する筒体(光路画定器)32とが装着される。プリント基板、セラミック基板等の配線基板15の上にはデジタルシグナルプロセッサ(以下、DSPという)16が載置される。
2 固体撮像素子
3 有効画素領域
4 覆部
5 接着部
5a 接着辺(接着部5の一の辺)
7 通気路
7a 第1開口端部
7b 第2開口端部
7c 捕捉部
7d 突出壁
10 中空部
20 半導体ウエハ
30 光学装置用モジュール
31 レンズ
32 筒体
40 板材
Claims (23)
- 半導体素子と、該半導体素子を覆う覆体との間に中空部を有し、前記覆体に前記中空部から外部へ通じる通気路を形成してある半導体装置において、
前記通気路は遮水性を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記覆体は、前記半導体素子を覆う覆部と、該半導体素子及び覆部を接着する接着部とからなり、
前記通気路は前記接着部に形成してある
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記通気路は、
前記中空部側に設けられた第1開口端部と、
外部側に設けられた第2開口端部と、
前記第1開口端部及び第2開口端部の間に、該第1開口端部及び第2開口端部の形状より大きく、水を捕捉する形状の捕捉部と
を有する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記捕捉部は仕切壁を有することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記通気路は非直線状であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかひとつに記載の半導体装置。
- 前記覆部は矩形であり、
前記第2開口端部は、前記覆部の辺に対して傾斜してある
ことを特徴とする請求項3乃至5のいずれかひとつに記載の半導体装置。 - 前記第2開口端部は、半導体素子を半導体ウエハから裁断する工程の、半導体ウエハ進行方向に対して鋭角をなすように傾斜して形成してあることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第2開口端部は、前記捕捉部へ突出した突出壁を有することを特徴とする請求項3乃至7のいずれかひとつに記載の半導体装置。
- 前記第1開口端部は、前記捕捉部へ突出した突出壁を有することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
- 前記接着部は矩形環状であり、
前記通気路は、前記接着部の少なくとも一の辺に沿って形成してある
ことを特徴とする請求項2乃至9のいずれかひとつに記載の半導体装置。 - 前記覆体は透光性を有し、
前記半導体素子は、前記覆体を透過した光を電気信号に変換する受光素子を複数配列した受光素子領域を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記覆部は透光性を有し、
前記半導体素子は、前記覆部を透過した光を電気信号に変換する受光素子を複数配列した受光素子領域を有し、
前記接着部は、前記覆部及び受光素子領域の間の光路を遮断しない領域に形成してある
ことを特徴とする請求項2乃至10のいずれかひとつに記載の半導体装置。 - 前記覆部は前記半導体素子よりも小さいことを特徴とする請求項2乃至12のいずれかひとつに記載の半導体装置。
- 前記接着部は感光性接着剤を含むことを特徴とする請求項2乃至13のいずれかひとつに記載の半導体装置。
- 半導体素子と、該半導体素子を覆う覆部とを接着してあり、該半導体素子及び覆部の間に中空部を有する半導体装置を製造する方法において、
複数の半導体素子を半導体ウエハに形成する工程と、
板材に接着部を形成する工程と、
前記接着部に、遮水性を有する通気路を複数形成する工程と、
前記接着部に前記通気路が複数形成された前記板材を分割して覆部を複数形成する覆部形成工程と、
前記覆部を前記複数の半導体素子のそれぞれに対向させて接着する接着工程と、
前記覆部が接着された前記複数の半導体素子を個々の半導体素子に分割する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記覆部形成工程は、前記通気路が複数形成された前記接着部をダイシングテープに貼り付けた後、前記板材を分割して覆部を複数形成し、
前記接着工程は、前記ダイシングテープを前記接着部から剥離した後、前記覆部を前記複数の半導体素子のそれぞれに対向させて接着する
ことを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。 - 半導体素子と、該半導体素子を覆う覆部とを接着してあり、該半導体素子及び覆部の間に中空部を有する半導体装置を製造する方法において、
複数の半導体素子を半導体ウエハに形成する工程と、
前記複数の半導体素子に接着部を形成する工程と、
前記接着部に、遮水性を有する通気路を前記複数の半導体素子のそれぞれに対応させて形成する工程と、
覆部を前記複数の半導体素子のそれぞれに対向させて接着する工程と、
前記覆部が接着された前記複数の半導体素子を個々の半導体素子に分割する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体素子と、該半導体素子を覆う覆部とを接着してあり、該半導体素子及び覆部の間に中空部を有する半導体装置を製造する方法において、
複数の半導体素子を半導体ウエハに形成する工程と、
前記複数の半導体素子に接着部を形成する工程と、
前記接着部に、遮水性を有する通気路を前記複数の半導体素子のそれぞれに対応させて形成する工程と、
前記複数の半導体素子に板材を接着する工程と、
前記板材を分割して、前記複数の半導体素子のそれぞれに対応する覆部を形成する工程と、
前記覆部が形成された前記複数の半導体素子を個々の半導体素子に分割する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体素子と、該半導体素子を覆う覆部とを接着してあり、該半導体素子及び覆部の間に中空部を有する半導体装置を製造する方法において、
複数の半導体素子を半導体ウエハに形成する工程と、
板材に接着部を形成する工程と、
前記接着部に、遮水性を有する通気路を複数形成する工程と、
前記接着部に前記通気路が複数形成された前記板材を前記複数の半導体素子に接着する工程と、
前記板材を分割して、前記複数の半導体素子のそれぞれに対応する覆部を形成する工程と、
前記覆部が形成された前記複数の半導体素子を個々の半導体素子に分割する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記覆部は前記個々の半導体素子よりも小さいことを特徴とする請求項15乃至19のいずれかひとつに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記接着部は感光性接着剤を含むことを特徴とする請求項15乃至20のいずれかひとつに記載の半導体装置の製造方法。
- レンズと、該レンズを保持する筒体と、請求項11に記載の半導体装置とを備え、
該半導体装置が有する前記覆体を前記レンズに対向させて前記筒体の内側に配置してある
ことを特徴とする光学装置用モジュール。 - レンズと、該レンズを保持する筒体と、請求項12乃至14のいずれかひとつに記載の半導体装置とを備え、
該半導体装置が有する前記覆部を前記レンズに対向させて前記筒体の内側に配置してある
ことを特徴とする光学装置用モジュール。
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