JP2004193600A - 半導体装置及びその製造方法、半導体装置用カバー並びに電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体装置の製造方法は、(a)カバー10の第1の開口部12が形成された表面を、電極34を有する半導体基板20に対向させて、カバー10と半導体基板20とを相互に固定すること、(b)第1の開口部12内に接着材料40を設けること、を含む。
【選択図】 図5
Description
(b)前記第1の開口部内に接着材料を設けること、
を含む。本発明によれば、カバーの第1の開口部内に接着材料を設けて、カバーと半導体基板とを相互に接着する。接着材料は、第1の開口部内に設けるので、カバーと半導体基板との間の接着材料の厚みを省略することができる。また、カバーと半導体基板とを相互に固定した状態で、接着材料を設ければ、カバーを半導体基板に対して極めて正確に平坦に取り付けることができる。
(2)この半導体装置の製造方法において、
前記カバーは、少なくとも一部に透光部を有し、
前記半導体基板は、光学的部分を含み、
前記(a)工程において、前記半導体基板のうち前記光学的部分を避けた部分上に前記カバーの前記第1の開口部が配置され、前記光学的部分上に前記透光部が配置されるように、前記カバーと前記半導体基板とを固定し、
前記(a)工程及び(b)工程において、前記光学的部分を封止してもよい。(3)この半導体装置の製造方法において、
前記カバーの前記第1の開口部が形成された前記表面には、第2の開口部が形成され、
前記(a)工程において、前記第2の開口部内に前記光学的部分が配置されるように、前記カバーと前記半導体基板とを固定してもよい。
(4)この半導体装置の製造方法において、
前記第1の開口部は、前記第2の開口部を囲むように形成されていてもよい。これによれば、第1の開口部は、第2の開口部を囲むように形成されるので、カバーと半導体基板とを確実に接着することができる。
(5)この半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板は、表面に電極を有し、
前記カバーの前記第1の開口部が形成された前記表面には、第3の開口部が形成され、
前記(b)工程で、前記第3の開口部内に前記電極が配置されるように、前記カバーと前記半導体基板とを固定してもよい。
(6)この半導体装置の製造方法において、
前記第3の開口部が、前記第1の開口部及び前記第2の開口部を囲むように形成されている半導体装置の製造方法。
(7)この半導体装置の製造方法において、
前記カバーは、前記第1の開口部が形成された前記表面とは反対の裏面から、前記第1の開口部内に貫通する貫通穴を有し、
前記(b)工程で、前記貫通穴から前記接着材料を注入して、前記第1の開口部内に前記接着材料を設けてもよい。
(8)この半導体装置の製造方法において、
前記第1の開口部は、前記カバーの面に沿って直線状に形成される部分を有し、
前記貫通穴は、前記第1の開口部のうち、前記直線状に形成される部分上に直線状に設けられたスリットであってもよい。
(9)この半導体装置の製造方法において、
前記第1の開口部は、前記カバーの一方の側端部から他方の側端部まで貫通して形成されており、
前記(b)工程で、いずれかの前記側端部から、前記第1の開口部に前記接着材料を注入してもよい。これによって、例えば、毛管現象を利用して接着材料を設けることができる。
(10)この半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板は、前記光学的部分を含む光学チップとなる部分を複数有し、
(c)前記半導体基板を、前記光学的部分が封止された個々の前記光学チップに個片化することをさらに含んでもよい。これによれば、カバーと半導体基板とを相互に接着してから、切断工程を行うので、光学的部分にゴミ等が付着しにくい。これによって、製品の信頼性を高めることができる。
(11)この半導体装置の製造方法において、
前記(c)工程で、前記カバーも個片化するとともに、前記カバーのうち、前記電極と対向する部分を除去してもよい。
(12)本発明に係る半導体装置は、上記半導体装置の製造方法によって製造されてなる。
(13)この半導体装置において、
前記半導体装置が取り付けられる支持部材をさらに含んでもよい。
(14)この半導体装置において、
前記半導体装置の前記電極が電気的に接続された回路基板をさらに含んでもよい。
(15)本発明に係る電子機器は、上記半導体装置を有する。
(16)本発明に係る半導体装置用カバーは、光学的部分を含む半導体基板の前記光学的部分を封止する半導体装置用カバーであって、
第1及び第2の開口部を表面に有し、
少なくとも前記第2の開口部の部分に透光部を有し、
前記第1の開口部は、前記第2の開口部の外周に沿って形成され、
前記第2の開口部は、前記光学的部分を内側に含む形状に形成されてなる。本発明によれば、カバーの第1の開口部内に接着材料を設けて、カバーと半導体基板とを相互に接着することが可能である。接着材料を、第1の開口部内に設ければ、カバーと半導体基板との間の接着材料の厚みを省略することができる。また、カバーと半導体基板とを相互に固定した状態で、接着材料を設ければ、カバーを半導体基板に対して極めて正確に平坦に取り付けることができる。
(17)この半導体装置用カバーにおいて、
前記第1の開口部は、前記第2の開口部を囲むように形成されてもよい。これによれば、第1の開口部は、第2の開口部を囲むように形成されるので、カバーと半導体基板とを確実に接着することができる。
(18)この半導体装置用カバーにおいて、
前記カバーは、前記第1及び第2の開口部が形成された前記表面に第3の開口部を有し、
前記第3の開口部は、前記第2の開口部の外周に沿って形成されてもよい。
(19)この半導体装置用カバーにおいて、
前記第1の開口部は、前記第2の開口部と前記第3の開口部との間に形成されてもよい。
(20)この半導体装置用カバーにおいて、
前記第1の開口部が形成された前記表面とは反対の裏面から、前記第1の開口部内に貫通する貫通穴が形成されてもよい。
(21)この半導体装置用カバーにおいて、
前記第1の開口部は、前記カバーの面に沿って直線状に形成される部分を有し、
前記貫通穴は、前記第1の開口部のうち、前記直線状に形成される部分上に直線状に設けられたスリットであってもよい。
(22)この半導体装置用カバーにおいて、
前記第1の開口部は、前記カバーの一方の側端部から他方の側端部まで貫通して形成されてもよい。
図1(A)〜図6は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体装置及びその製造方法を説明する図である。本実施の形態では、一例として、光デバイス及びその製造方法を説明する。この製造方法では、カバー10及び半導体基板20を使用し、接着材料40で両者を接着する。図4は、カバー10及び半導体基板20が相互に対向した状態での平面図である。本実施の形態では、半導体基板20は、光学的部分22を有する光学チップ100となる部分を少なくとも1つ(例えば複数)有する。半導体基板20は、電極34を有する。
図7(A)〜図8は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体装置(例えば光デバイス)の製造方法を説明する図である。図8は、カバー120及び半導体基板20が相互に対向した状態での平面図である。
図9は、本発明の実施の形態に係る半導体装置(例えば光モジュール)及び回路基板を説明する図である。この光モジュールは、図6に示す光デバイス50を有し、光デバイス50は支持部材(例えばケース)52に取り付けられている。支持部材52には、配線54が形成されている。支持部材52は、配線54等を有しない部材からなるものであってもよい。支持部材52は、MID(Molded Interconnect Device)であってもよい。光デバイス50の電極34と配線54とは、電気的に接続されている。電気的接続には、例えばワイヤ56を用いてもよい。また、電気的な接続部(例えばワイヤ56及びそのボンディングされた部分)には、封止材料58が設けられている。すなわち、電気的な接続部は、封止材料58で封止されている。封止材料58は、例えばポッティングによって設けてもよい。光デバイス50は、カバー110によって光学的部分22が封止されているので、封止材料58が光学的部分22を覆わない。これは、カバー110が、封止材料58に対してダムとして機能するためである。
16 第3の開口部、20 半導体基板、22 光学的部分、
28 カラーフィルタ、32 マイクロレンズアレイ、34 電極、
40 接着材料、100 光学チップ、110 カバー、120 カバー、
122 第1の開口部、124 第2の開口部、126 第3の開口部、
128 貫通穴
Claims (22)
- (a)カバーの第1の開口部が形成された表面を、電極を有する半導体基板に対向させて、前記カバーと前記半導体基板とを相互に固定すること、
(b)前記第1の開口部内に接着材料を設けること、
を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記カバーは、少なくとも一部に透光部を有し、
前記半導体基板は、光学的部分を含み、
前記(a)工程において、前記半導体基板のうち前記光学的部分を避けた部分上に前記カバーの前記第1の開口部が配置され、前記光学的部分上に前記透光部が配置されるように、前記カバーと前記半導体基板とを固定し、
前記(a)工程及び(b)工程において、前記光学的部分を封止する半導体装置の製造方法。 - 請求項2記載の半導体装置の製造方法において、
前記カバーの前記第1の開口部が形成された前記表面には、第2の開口部が形成され、
前記(a)工程において、前記第2の開口部内に前記光学的部分が配置されるように、前記カバーと前記半導体基板とを固定する半導体装置の製造方法。 - 請求項3記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の開口部は、前記第2の開口部を囲むように形成されている半導体装置の製造方法。 - 請求項3又は請求項4に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板は、表面に電極を有し、
前記カバーの前記第1の開口部が形成された前記表面には、第3の開口部が形成され、
前記(b)工程で、前記第3の開口部内に前記電極が配置されるように、前記カバーと前記半導体基板とを固定する半導体装置の製造方法。 - 請求項5記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3の開口部は、前記第1の開口部及び前記第2の開口部を囲むように形成されている半導体装置の製造方法。 - 請求項2から請求項6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記カバーは、前記第1の開口部が形成された前記表面とは反対の裏面から、前記第1の開口部内に貫通する貫通穴を有し、
前記(b)工程で、前記貫通穴から前記接着材料を注入して、前記第1の開口部内に前記接着材料を設ける半導体装置の製造方法。 - 請求項7記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の開口部は、前記カバーの面に沿って直線状に形成される部分を有し、
前記貫通穴は、前記第1の開口部のうち、前記直線状に形成される部分上に直線状に設けられたスリットである半導体装置の製造方法。 - 請求項2から請求項8のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の開口部は、前記カバーの一方の側端部から他方の側端部まで貫通して形成されており、
前記(b)工程で、いずれかの前記側端部から、前記第1の開口部に前記接着材料を注入する半導体装置の製造方法。 - 請求項2から請求項9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板は、前記光学的部分を含む光学チップとなる部分を複数有し、
(c)前記半導体基板を、前記光学的部分が封止された個々の前記光学チップに個片化することをさらに含む半導体装置の製造方法。 - 請求項10記載の半導体装置の製造方法において、
前記(c)工程で、前記カバーも個片化するとともに、前記カバーのうち、前記電極と対向する部分を除去する半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項11のいずれかに記載の方法によって製造されてなる半導体装置。
- 請求項12記載の半導体装置において、
前記半導体装置が取り付けられる支持部材をさらに含む半導体装置。 - 請求項12又は請求項13に記載の半導体装置において、
前記半導体装置の前記電極が電気的に接続された回路基板をさらに含む半導体装置。 - 請求項12から請求項14のいずれかに記載の半導体装置を有する電子機器。
- 光学的部分を含む半導体基板の前記光学的部分を封止する半導体装置用カバーであって、
第1及び第2の開口部を表面に有し、
少なくとも前記第2の開口部の部分に透光部を有し、
前記第1の開口部は、前記第2の開口部の外周に沿って形成され、
前記第2の開口部は、前記光学的部分を内側に含む形状に形成されてなる半導体装置用カバー。 - 請求項16記載の半導体装置用カバーにおいて、
前記第1の開口部は、前記第2の開口部を囲むように形成されている半導体装置用カバー。 - 請求項16又は請求項17に記載の半導体装置用カバーにおいて、
前記カバーは、前記第1及び第2の開口部が形成された前記表面に第3の開口部を有し、
前記第3の開口部は、前記第2の開口部の外周に沿って形成されてなる半導体装置用カバー。 - 請求項16から請求項18のいずれかに記載の半導体装置用カバーにおいて、
前記第1の開口部は、前記第2の開口部と前記第3の開口部との間に形成されてなる半導体装置用カバー。 - 請求項16から請求項19のいずれかに記載の半導体装置用カバーにおいて、
前記第1の開口部が形成された前記表面とは反対の裏面から、前記第1の開口部内に貫通する貫通穴が形成された半導体装置用カバー。 - 請求項20記載の半導体装置用カバーにおいて、
前記第1の開口部は、前記カバーの面に沿って直線状に形成される部分を有し、
前記貫通穴は、前記第1の開口部のうち、前記直線状に形成される部分上に直線状に設けられたスリットである半導体装置用カバー。 - 請求項16から請求項21のいずれかに記載の半導体装置用カバーにおいて、
前記第1の開口部は、前記カバーの一方の側端部から他方の側端部まで貫通して形成されている半導体装置用カバー。
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