JP6294190B2 - 圧電アクチュエータおよびこれを備えたスピーカー - Google Patents
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Description
体に嵌合されてなる筒体とを備え、前記蓋体と前記筒体との嵌合領域において屈曲した通気孔を有しているとともに、前記蓋体が前記筒体の内側に嵌め込まれており、前記通気孔が前記筒体に設けられた貫通孔と前記蓋体の外壁に設けられた溝とからなることを特徴とするものである。
両極が露出しており、この側面には例えば酸化物からなる被覆層26が形成されている。被覆層26の形成により、駆動時に高電圧をかけた際に発生する両極間での沿面放電を防止することができる。この被覆層26を形成する酸化物としては、セラミック材料が挙げられ、特に、圧電アクチュエータを駆動した際の積層体20の駆動変形(伸縮)に追随でき、被覆層26が剥がれて沿面放電が生じるおそれのないように、応力によって変形可能な材料であることが好ましい。具体的には、応力が生じると局所的に相変態して体積変化して変形可能な部分安定化ジルコニア、Ln1−XSiXAlO3+0.5X(Lnは、Sn,Y,La,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,TmおよびYbのうちから選ばれるいずれか少なくとも一種を示す。x=0.01〜0.3)などのセラミック材料、あるいは、生じた応力を緩和するように結晶格子内のイオン間距離が変化するチタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛などの圧電材料が挙げられる。この被覆層26は、例えばインク状にした後、ディッピングやスクリーン印刷によって積層体20の側面に塗布され、焼結することによって形成される。
水分の内部への侵入を抑制できる。
を得ることができる。
2・・・積層型圧電素子
20・・・積層体
21・・・圧電体層
22・・・内部電極層
23・・・活性部
24・・・不活性部
25・・・外部電極
26・・・被覆層
3・・・金属ケース
31・・・基体
32・・・蓋体
33・・・筒体
30・・・通気孔
301・・・貫通孔
302・・・溝
4・・・振動板
5・・・絶縁材
9・・・軟質ガラス
11・・・リード線
12・・・はんだ
13・・・リードピン
14・・・軟質ガラス
Claims (5)
- 積層型圧電素子と、該積層型圧電素子の上端および下端が内壁に当接するように前記積層型圧電素子を収容した金属ケースとを含み、
前記金属ケースは、前記積層型圧電素子の下面に上面が当接された基体と、前記積層型圧電素子の上面に下面が当接された蓋体と、下端部が前記基体に接合されるとともに上端部が前記蓋体に嵌合されてなる筒体とを備え、前記蓋体と前記筒体との嵌合領域において屈曲した通気孔を有しているとともに、
前記蓋体が前記筒体の内側に嵌め込まれており、前記通気孔が前記筒体に設けられた貫通孔と前記蓋体の外壁に設けられた溝とからなることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記貫通孔の径が前記溝の幅以上の大きさであることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記溝が前記積層型圧電素子の積層方向に延びて設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記積層型圧電素子は、圧電体層と内部電極層とが積層された積層体と、該積層体の側面に設けられた外部電極とを含む柱状体であって、前記通気孔は前記積層型圧電素子の前記外部電極の延長上と対向するように設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のうちのいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項1乃至請求項4のうちのいずれかに記載の圧電アクチュエータと、該圧電アクチュエータの端面が固着された振動板とを有していることを特徴とするスピーカー。
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