JP3792954B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3792954B2 JP3792954B2 JP22650299A JP22650299A JP3792954B2 JP 3792954 B2 JP3792954 B2 JP 3792954B2 JP 22650299 A JP22650299 A JP 22650299A JP 22650299 A JP22650299 A JP 22650299A JP 3792954 B2 JP3792954 B2 JP 3792954B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- manufacturing
- opening
- electrode material
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16135—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/16145—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体チップを貫通する電極を有する半導体装置の製造方法に関し、例えば大きな記憶容量を得るために複数のメモリチップを積層して実装する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置、例えば半導体記憶装置にあっては、素子の微細化による高集積化、記憶容量の大容量化、高機能化、動作速度の高速化等の様々な要求がなされている。これらの要求の中でも、特に記憶容量の増大に対する要求が高いが、必ずしも素子の微細化に製造技術が対応できていない。
【0003】
このような問題を解決する一つの技術として、複数のメモリチップを積層して実装することにより、見かけ上の記憶容量を増大させる技術が提案されている。
【0004】
上記複数のメモリチップを積層する際には、例えばメモリチップに貫通孔を形成し、この貫通孔の側壁に絶縁膜を形成した後、貫通孔内に導電性電極材料を埋め込んで電極を形成している。そして、上記電極上にメッキなどでバンプを形成し、このバンプを介在して複数のメモリチップの電極間を接続することにより、見かけ上の記憶容量を増大させている。
【0005】
上記バンプの形成に際しては、まず、図4(a)に示すように、半導体基板(シリコン基板)31の貫通孔30内に、絶縁膜32を介在して導電性電極材料を埋め込んで電極33を形成し、この電極33上にアルミニウム等からなるパッド34を形成した後、全面をパッシベーション膜35で覆う。次に、上記パッド34上のパッシベーション膜35をエッチングなどで選択的に除去して、パッド34の表面を露出させる。引き続き、図4(b)に示すように全面にバリアメタル層36を形成した後、図4(c)に示すようにパッド34上以外の部分をフォトレジスト37でマスクする。その後、図4(d)に示すように露出されているバリアメタル層36上にメッキを行い、メッキ層(バンプ)38を形成する。次に、図4(e)に示すようにレジスト37を除去する。そして、図4(f)に示すようにウェットエッチングを行って、パッシベーション膜35上に残存されているバリアメタル層36を除去する。
【0006】
しかしながら、上記のような構成並びに製造方法では、図4(f)に示したバリアメタル層36の除去工程において、バンプ38の端部下の領域39A,39Bがオーバーエッチングされる。このため、充分な信頼性を確保するためにはバンプサイズを小さくできず、隣接する各バンプ38間にも一定の距離が必要となり、ピッチは20μm程度までしか詰められない。この結果、サイズの小さなチップでは、高機能化されて多数の入出力信号が必要となっている半導体記憶装置等に適用するのが難しくなっている。
【0007】
また、パッケージを薄型化するために、チップの裏面を研削及び研磨してチップ厚を薄くする場合、ウェーハを薄くしてからバンプ38の形成を行う必要があるため、搬送中やバンプ形成のためのメッキ時に、ウェーハにクラックが入ったり割れたりする恐れがある。経験値では、ウェーハ厚の最小値をtmin、ウェーハ径をdとすると、tmin=d/1000程度までが限界である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように従来の半導体装置の製造方法では、バンプサイズを充分小さくできず、バンプ間のピッチも詰められないという問題があった。
【0009】
また、メモリチップの裏面を研削及び研磨してチップ厚を薄くする場合、搬送中やバンプ形成のためのメッキ時にウェーハにクラックが入ったり割れたりするという問題があった。
【0010】
この発明は上記のような事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、複数の半導体チップを積み重ねて実装するための電極のサイズ小さくできると共に、電極間のピッチを狭くでき、多数の信号入出力が要求される場合にも充分に対応できる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0011】
また、この発明の他の目的は、搬送中やメッキ時にウェーハにクラックが入ったり割れたりするのを防止できる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0012】
更に、この発明の他の目的は、ウェーハの分割工程と貫通孔への導電性電極材料の埋め込みによる電極の形成工程とを同時にでき、製造工程の簡単化が図れる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】
この発明の一態様に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の主表面に所定の深さの開孔を形成する工程と、前記開孔の内壁に絶縁膜を形成する工程と、前記開孔内を導電性電極材料で埋め込む工程と、前記半導体基板の主表面側から最終的なチップ厚よりも深いダイシング溝を形成する工程と、前記半導体基板の裏面を前記開孔の底部及び前記ダイシング溝の底部に達しない深さまで機械的に研削する工程と、前記半導体基板の裏面を前記開孔の底部より浅い位置までエッチングして、前記導電性電極材料を前記半導体基板の裏面から突出させ、前記半導体基板を貫通し、且つ裏面側に突起部を有する電極を形成すると共に、前記ダイシング溝に沿って前記半導体基板を分割する工程とを具備する。
【0019】
そして、上記製造方法において、次のような特徴を備えている。
【0020】
前記開孔内を導電性電極材料で埋め込む工程の後に、前記半導体基板の主表面側の前記導電性電極材料上に、接合材料層を形成する工程を更に具備する。
【0022】
上記のような製造方法によれば、半導体基板の裏面側に突出した導電性電極材料をバンプとして利用することができるので、バンプ間のピッチを狭くして、多数の信号入出力が要求される場合にも対応できる。
【0023】
また、上記のような製造方法によれば、機械的な研削及び研磨によって効率よくウェーハを薄くでき、エッチングによって電極を突出させることができる。
【0024】
更に、接合材料層はウェーハを薄くする前に形成するので、搬送中や接合材料層の形成のためのメッキ時にウェーハにクラックが入ったり割れたりするのを防止できる。
【0025】
しかも、機械的な研削及び研磨の前にダイシング溝を形成しておくので、ウェーハの分割工程と貫通孔への電極材料の埋め込みによる電極の形成工程とを同時にでき、製造工程の簡単化が図れる。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1(a),(b)は、この発明の第1の実施の形態に係る半導体装置について説明するためのもので、(a)図はチップの平面図、(b)図は(a)図のX−X’線に沿った断面図である。また、図2(a),(b)は上記図1(a),(b)に示した半導体装置を実装した状態を示すもので、(a)図は斜視図、(b)図は断面図である。
【0027】
図1(a),(b)に示す如く、半導体基板(例えば半導体メモリチップ)11には、四辺に沿って貫通孔12,12,…が形成されている。これらの貫通孔12,12,…内の半導体基板11表面には酸化シリコン等の絶縁膜13が形成されており、この絶縁膜13は半導体基板11の裏面側に突出している。また、上記貫通孔12内には、上記絶縁膜13が介在されることにより、上記半導体基板11と絶縁された状態で銅(Cu)やタングステン(W)等の導電性の材料からなる電極14が設けられている。この電極14は、基板11の裏面側で且つ上記絶縁膜13よりも突出した突起部14Aを有する。そして、上記電極14における基板11の主表面側には、接合材料層18が形成されている。
【0028】
上記構造の半導体基板11は、図2(a),(b)に示すように、複数個が積み重ねられてインターポーザ15上に搭載される。この際、半導体メモリチップ11−1における電極14の突起部14Aは、インターポーザ15上に実装され、電気的に接続される。上記半導体メモリチップ11−2における電極14の突起部14Aは、上記半導体メモリチップ11−1における電極14上の接合材料層18上に実装され、電気的に接続される。上記半導体メモリチップ11−3,11−4も同様に、半導体メモリチップ11−2,11−3上にそれぞれ実装され、電気的に接続される。
【0029】
また、上記インターポーザ15上には、上記半導体メモリチップ11−1〜11−4に隣接して、ロジックチップ16が実装されている。上記各半導体メモリチップ11−1〜11−4とロジックチップ16は、上記インターポーザ15の裏面側に形成された半田ボール17,17,…と電気的に接続されている。
【0030】
このような構成によれば、半導体基板11の裏面側に突出した電極14の突起部14Aを、従来のバンプと同様に用いることができるので、電極14のサイズを小さくし、且つ電極14間のピッチを狭くして、多数の信号入出力が要求される場合にも充分に対応できる。
【0031】
なお、上記電極14の材料としては、上述したCuやW以外にも、これらを含む合金や、Al、Mo、ポリシリコン、Au、あるいはこれらを含む合金等を用いることができる。また、上記接合材料層18としては、Au、Pb/Sn、Sn、Au/Sn、Sn/In、Sn/Bi等を用いることができる。
【0032】
次に、上述した半導体装置の製造方法について説明する。図3(a)乃至(c)はそれぞれ、上記半導体装置における電極14とその近傍を拡大して製造工程順に示している。
【0033】
まず、図3(a)に示すように、半導体基板11の主表面に所定の深さの開孔21を形成し、この開孔21の内壁に熱酸化やCVD法により、酸化シリコン等の絶縁膜13を形成する。その後、CVD法により全面に導電性電極材料14を形成し、開孔21内をこの電極材料14で埋め込む。次に、基板11上の絶縁膜13と導電性電極材料14を除去する。引き続き、基板11の主表面側の上記電極材料14上に、接合材料層18を形成する。
【0034】
次に、図3(b)に示すように、上記基板11の主表面側から、この基板(チップ)11の最終的な厚さよりも深いダイシング溝22を形成した後、上記基板11の裏面を上記開孔21の底部及び上記ダイシング溝22の底部に達しない深さまで機械的に研削する。
【0035】
そして、図3(c)に示すように、上記基板11の裏面を開孔21の底部より浅い位置までエッチングして、電極材料14を半導体基板11の裏面から突出させる。これによって、基板11を貫通し、裏面側に突起部14Aを有する電極14を形成する。この際、絶縁膜13が基板11の裏面側に突出される。また、このエッチング工程によって、上記ダイシング溝22に沿ってチップが分割される。
【0036】
このような製造方法によれば、機械的な研削及び研磨によって効率よくウェーハを薄くでき、エッチングによって電極14を突出させることができる。
【0037】
また、接合材料層18はウェーハを薄くする前に形成するので、搬送中や接合材料層の形成のためのメッキ時にウェーハにクラックが入ったり割れたりするのを防止できる。
【0038】
しかも、機械的な研削及び研磨の前にダイシング溝22を形成しておくので、ウェーハの分割工程と貫通孔への電極材料の埋め込み工程とを同時にでき、製造工程の簡単化が図れる。
【0039】
更に、バリアメタルを用いないので、10μm以下までバンプ間のピッチを詰めることができ、バンプ間のピッチを狭くして、多数の信号入出力が要求される場合にも容易に対応できる。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、複数の半導体チップを積み重ねて実装するための電極のサイズ小さくできると共に、電極間のピッチを狭くでき、多数の信号入出力が要求される場合にも充分に対応できる半導体装置の製造方法が得られる。
【0041】
また、搬送中やメッキ時にウェーハにクラックが入ったり割れたりするのを防止できる半導体装置の製造方法が得られる。
【0042】
更に、ウェーハの分割工程と貫通孔への導電性電極材料の埋め込みによる電極の形成工程とを同時にでき、製造工程の簡単化が図れる半導体装置の製造方法が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施の形態に係る半導体装置について説明するための平面図及び断面図。
【図2】図1に示した半導体装置を実装した状態を示す斜視図及び断面図。
【図3】この発明の第1の実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明するためのもので、半導体装置における電極とその近傍を拡大して製造工程順に示す断面図。
【図4】従来の半導体装置及びその製造方法について説明するためのもので、バンプの形成工程を順次示す断面図。
【符号の説明】
11,11−1〜11−4…半導体基板(半導体メモリチップ)、
12…貫通孔、
13…絶縁膜、
14…電極、
14A…突起部、
15…インターポーザ、
16…ロジックチップ、
17…半田ボール、
18…接合材料層、
21…開孔、
22…ダイシング溝。
Claims (2)
- 半導体基板の主表面に所定の深さの開孔を形成する工程と、
前記開孔の内壁に絶縁膜を形成する工程と、
前記開孔内を導電性電極材料で埋め込む工程と、
前記半導体基板の主表面側から最終的なチップ厚よりも深いダイシング溝を形成する工程と、
前記半導体基板の裏面を前記開孔の底部及び前記ダイシング溝の底部に達しない深さまで機械的に研削する工程と、
前記半導体基板の裏面を前記開孔の底部より浅い位置までエッチングして、前記導電性電極材料を前記半導体基板の裏面から突出させ、前記半導体基板を貫通し、且つ裏面側に突起部を有する電極を形成すると共に、前記ダイシング溝に沿って前記半導体基板を分割する工程と
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記開孔内を導電性電極材料で埋め込む工程の後に、前記半導体基板の主表面側の前記導電性電極材料上に、接合材料層を形成する工程を更に具備することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22650299A JP3792954B2 (ja) | 1999-08-10 | 1999-08-10 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22650299A JP3792954B2 (ja) | 1999-08-10 | 1999-08-10 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001053218A JP2001053218A (ja) | 2001-02-23 |
JP3792954B2 true JP3792954B2 (ja) | 2006-07-05 |
Family
ID=16846130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22650299A Expired - Fee Related JP3792954B2 (ja) | 1999-08-10 | 1999-08-10 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3792954B2 (ja) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6867501B2 (en) | 2001-11-01 | 2005-03-15 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing same |
CN1279605C (zh) | 2002-03-19 | 2006-10-11 | 精工爱普生株式会社 | 半导体装置及其制造方法、电路基板以及电子仪器 |
JP4110390B2 (ja) * | 2002-03-19 | 2008-07-02 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4190211B2 (ja) * | 2002-06-05 | 2008-12-03 | 株式会社東京精密 | 基板加工方法および基板加工装置 |
US7233413B2 (en) | 2002-11-22 | 2007-06-19 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Gamut description and visualization |
JP2004221125A (ja) * | 2003-01-09 | 2004-08-05 | Sharp Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4072677B2 (ja) | 2003-01-15 | 2008-04-09 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体チップ、半導体ウエハ、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 |
JP4035066B2 (ja) * | 2003-02-04 | 2008-01-16 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法 |
JP2004273563A (ja) | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 基板の製造方法及び基板 |
TWI239629B (en) * | 2003-03-17 | 2005-09-11 | Seiko Epson Corp | Method of manufacturing semiconductor device, semiconductor device, circuit substrate and electronic apparatus |
JP3972846B2 (ja) | 2003-03-25 | 2007-09-05 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2004342990A (ja) | 2003-05-19 | 2004-12-02 | Seiko Epson Corp | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 |
KR100537892B1 (ko) | 2003-08-26 | 2005-12-21 | 삼성전자주식회사 | 칩 스택 패키지와 그 제조 방법 |
JP3990347B2 (ja) | 2003-12-04 | 2007-10-10 | ローム株式会社 | 半導体チップおよびその製造方法、ならびに半導体装置 |
JP3698160B2 (ja) | 2004-01-09 | 2005-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3945493B2 (ja) * | 2004-04-16 | 2007-07-18 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2005101476A1 (ja) * | 2004-04-16 | 2005-10-27 | Japan Science And Technology Agency | 半導体素子及び半導体素子の製造方法 |
JP4191167B2 (ja) | 2005-05-16 | 2008-12-03 | エルピーダメモリ株式会社 | メモリモジュールの製造方法 |
JP2008545263A (ja) * | 2005-06-29 | 2008-12-11 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | パッケージ、部分組立品、及びその製造方法 |
KR100737162B1 (ko) * | 2006-08-11 | 2007-07-06 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조방법 |
JP4961185B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2012-06-27 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置の製造方法 |
KR100843213B1 (ko) | 2006-12-05 | 2008-07-02 | 삼성전자주식회사 | 메모리 칩과 프로세서 칩이 스크라이브 영역에 배열된관통전극을 통해 연결된 다중 입출력 반도체 칩 패키지 및그 제조방법 |
JP2009021462A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの加工方法 |
US8330256B2 (en) | 2008-11-18 | 2012-12-11 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device having through electrodes, a manufacturing method thereof, and an electronic apparatus |
JP4278007B1 (ja) | 2008-11-26 | 2009-06-10 | 有限会社ナプラ | 微細空間への金属充填方法 |
JP5423020B2 (ja) * | 2009-02-03 | 2014-02-19 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法、及び電子機器 |
JP2010251347A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Elpida Memory Inc | 半導体装置の製造方法 |
JP5579402B2 (ja) * | 2009-04-13 | 2014-08-27 | ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエル | 半導体装置及びその製造方法並びに電子装置 |
JP5755043B2 (ja) | 2011-06-20 | 2015-07-29 | 株式会社ディスコ | 半導体ウエーハの加工方法 |
JP2016058655A (ja) * | 2014-09-11 | 2016-04-21 | 株式会社ジェイデバイス | 半導体装置の製造方法 |
JP6707291B2 (ja) | 2016-10-14 | 2020-06-10 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2023108239A (ja) | 2022-01-25 | 2023-08-04 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
-
1999
- 1999-08-10 JP JP22650299A patent/JP3792954B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001053218A (ja) | 2001-02-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3792954B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP7007496B2 (ja) | 多層3d集積化のダイスタック | |
US6908785B2 (en) | Multi-chip package (MCP) with a conductive bar and method for manufacturing the same | |
JP5246831B2 (ja) | 電子デバイス及びそれを形成する方法 | |
JP4519392B2 (ja) | 3次元マルチチップパッケージ及びその製造方法 | |
KR100187872B1 (ko) | 반도체 칩 커프 소거 방법 및 그에 따른 반도체 칩과 이로부터 형성된 전자 모듈 | |
US7078790B2 (en) | Semiconductor stacked die devices and methods of forming semiconductor stacked die devices | |
US20060033212A1 (en) | Wafer level package, multi-package stack, and method of manufacturing the same | |
CN112420643A (zh) | 半导体结构及其制造方法 | |
JP2010045371A (ja) | 導電性保護膜を有する貫通電極構造体及びその形成方法 | |
CN214672598U (zh) | 三维半导体装置结构和三维半导体装置 | |
CN111244057B (zh) | 一种键合结构及其制造方法 | |
JP4334397B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR102474933B1 (ko) | 관통 전극을 갖는 반도체 칩, 이를 포함하는 칩 스택 구조체 및 반도체 칩의 제조 방법 | |
JP2006041512A (ja) | マルチチップパッケージ用集積回路チップの製造方法及びその方法により形成されたウエハ及びチップ | |
JP2000299408A (ja) | 半導体構造体および半導体装置 | |
CN112530899A (zh) | 半导体器件及其制造方法 | |
JP3729680B2 (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
US20240120299A1 (en) | Semiconductor package | |
US20230078980A1 (en) | Thermal pad, semiconductor chip including the same and method of manufacturing the semiconductor chip | |
US11842979B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
US20230114550A1 (en) | Manufacturing method of semiconductor chip | |
TW202410373A (zh) | 半導體封裝及其製造方法 | |
KR101195461B1 (ko) | 반도체칩 및 이의 제조방법 | |
KR20230012365A (ko) | 반도체 패키지 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060313 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060404 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060406 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100414 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100414 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110414 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130414 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140414 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |