JP5579402B2 - 半導体装置及びその製造方法並びに電子装置 - Google Patents
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Description
これら特許文献に開示されているCOC型半導体装置は、下部配線基板、所定の配線等が形成された配線基板、貫通電極を介して他の半導体チップと電気的に接続されたチップ積層体、前記チップ積層体の上方に配置された上部基板、及び下部配線基板と上部基板の間に配置されて半導体チップを封止する封止体とから構成されている。
この特許文献3では、チップ積層体の間にモールドが入りきらないことによって発生するボイドを防止するため、モールド樹脂の形成前に、チップ積層体の隙間にアンダーフィル材を充填して、隙間を埋め、その後にモールド樹脂を形成している。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、チップ搭載部を有すると共に、チップ搭載部の周囲に封止材流出防止体が設けられた基板を用意する工程と、複数の半導体チップが相互に積層されてなるチップ積層体を、基板のチップ搭載部上に搭載する工程と、未硬化状態の第1の封止体をチップ搭載部の周囲に設けられた封止材流出防止体によって堰き止めた状態でチップ積層体の側面を覆うと共に複数の半導体チップの間に充填する工程と、第1の封止体を硬化する工程と、を備えることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、未硬化状態の第1の封止体をチップ搭載部の周囲に設けられた封止材流出防止体によって堰き止めた状態でチップ積層体の側面を覆うと共に複数の半導体チップの間に充填する工程を備えることによって、未硬化状態の第1の封止材の基板上での広がりを制限することができ、複数の半導体チップ間に第1の封止体を十分行き渡らせることができ、ボイドの発生を防止することができる。
図1は、本発明の第1の実施形態を示すCOC型半導体装置の外部端子面を示す平面図であり、図2は、図1のA−A‘線の断面図である。
更に、メタル基板12上には、チップ積層体用封止体34を更に囲むようにモールド成形された樹脂封止体36(第2の封止体)が設けられている。樹脂封止体36は、チップ積層体用封止体34と異なる材料にて半導体チップ22,24の側面(チップ積層体20の側面)に形成されている。また、封止材流出防止体の外周が、樹脂封止体36と同一平面になるよう形成されている。
図3(a)は、半導体装置の製造に用いるメタル基板を示す平面図、図3(b)は、図3(a)のB−B‘線の断面図である。
半導体チップの積層工程では、複数のDRAMチップ22とIFチップ24を積層し、各チップ22,24をそれぞれ、該貫通電極30によって電気的に接続することで、チップ積層体20をチップ搭載部14上に形成する。
チップ積層体用封止体34が形成されたメタル基板12においては、図6に示すようにチップ積層体用封止体34からIFチップ24の主表面24bが露出されている。そして図7(a)に示すように、IFチップ24の主表面24bに配置された複数のバンプ電極26a上に、それぞれワイヤバンプ44を形成する。ワイヤバンプ44は、例えば金等からなり、図示しないボンディング装置により溶融され、先端にボールが形成されたワイヤをIFチップ24のバンプ電極26a上に超音波で熱圧着することで接続し、その後ワイヤの後端を引き切ることで形成される。IFチップ24の全てのバンプ電極26aにワイヤバンプ44を形成する。
基板ダイシング工程では、メタル基板12の主表面12aと反対側の面をダイシングテープ68に貼着し、ダイシングテープ68によってメタル基板12を支持する。その後、図示しないダイシング装置のダイシングブレードにより縦横にダイシングライン70を切断してチップ搭載部14毎に切断分離する。なお、メタル基板12には、チップ搭載部14を一体的に覆う封止樹脂体36が形成されているが、枠部にダイシング用マークを形成しているため切断位置の認識及びチップ搭載部14毎の切断分離が可能となる。また、本実施形態では、チップ搭載部14のサイズより小さいサイズの配線基板38を搭載するように構成しているため、配線基板38にダイシングブレードが接触することなくメタル基板12を切断できる。そして、メタル基板12の切断分離後、ダイシングテープ68からピックアップすることで図1及び図2に示すような半導体装置10が得られる。
図10は、第2の実施形態の半導体装置を示す断面図である。
図11(a)は、第2の実施形態の半導体装置の製造方法に用いるメタル基板を示す平面図であり、図11(b)は、図11(a)のF−F‘線の断面図である。
半導体チップの積層工程では、図12(a)〜図12(d)の工程が行われる。図12(a)〜図12(d)の工程は、第1の実施形態1の図4(a)〜図4(e)と同じであるので詳細は省略する。
本実施形態では、チップ積層体20をメタル基板112に搭載し、チップ積層体20のメタル基板112から離れた側のIFチップ24の主表面24bを露出するようにメタル基板112上のチップ積層体20を封止し、その露出したIFチップ24の主表面24b上に配線基板38を搭載する。これにより、貫通電極30により電気特性が良く、大容量で小型の半導体装置72を製造することができる。また、既存のBGAの組立装置を利用することも可能となる。
本例においては、第1の実施形態と同様の効果が得られると共に、冶具76を用いて仮固着なしでチップ積層体20を形成することで、メタル基板12にチップ積層体20を一括搭載することができ、処理効率を向上できる。
なお、本例において、第1の実施形態のメタル基板12に代えて、第2の実施形態のメタル基板112にチップ積層体20を搭載してもよい。
このように、電子装置82の実装基板86に大容量で小型の半導体装置10を実装することで、電子装置82の部品搭載面積を低減することができ、これにより電子装置82の小型化を図ることができる。
なお、電子装置82に搭載する半導体装置として、第2の実施形態の半導体装置72を搭載することは勿論可能である。
また、本発明はチップ積層体が、モールドされていないチップ、たとえば、ペレット状態のチップや、ベア状態のチップによって構成されているときに、積層されたチップ間の保護などのためにアンダーフィル材を充填する場合にボイドによる影響を受けやすいため、特に効果的である。
また、本実施形態では、DRAMチップとIFチップを貫通電極により積層したチップ積層体について詳述したが、モールドを必要とするチップ積層体であればメモリチップとロジックチップの組み合わせ等、どのような機能のチップの組み合わせでもよい。
Claims (15)
- チップ搭載部を有すると共に、チップ搭載部の周囲に封止材流出防止体が設けられたメタル基板を備え、当該チップ搭載部の厚さが前記封止材流出防止体の厚さよりも薄くなるように、前記チップ搭載部は、前記メタル基板に凹状に形成されており、
複数の半導体チップが相互に積層されてなると共に前記チップ搭載部上に搭載されたチップ積層体と、
前記複数の半導体チップの間を埋めるよう形成された第1の封止体とを備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の封止体と異なる材料にて前記複数の半導体チップの側面に形成された第2の封止体を備えることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記チップ積層体の前記チップ搭載部と反対側の面に配置されると共に前記チップ積層体と電気的に接続された配線基板を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記封止材流出防止体は前記基板と同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記封止材流出防止体は前記基板と異なる材料で形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記封止材流出防止体の外周は、前記第2の封止体と同一平面になるよう形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記チップ積層体を構成する複数の半導体チップの各々は、それぞれ他の半導体チップと貫通電極を介して接続されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記チップ積層体は、複数のメモリチップと、前記複数のメモリチップを制御するインターフェイスチップとを備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の半導体装置をモジュール基板上に設けたことを特徴とする電子装置。
- チップ搭載部を有すると共に、チップ搭載部の周囲に封止材流出防止体が設けられたメタル基板を用意する工程を備え、当該チップ搭載部の厚さが前記封止材流出防止体の厚さよりも薄くなるように、前記チップ搭載部は、前記メタル基板に凹状に形成されており、
複数の半導体チップが相互に積層されてなるチップ積層体を、前記基板のチップ搭載部上に搭載する工程と、
未硬化状態の第1の封止体を前記チップ搭載部の周囲に設けられた封止材流出防止体によって堰き止めた状態で前記チップ積層体の側面を覆うと共に前記複数の半導体チップの間に充填する工程と、
前記第1の封止体を硬化する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記基板を用意する工程は、
前記基板に凹部を設けて、前記凹部をチップ搭載部として形成すると共に前記チップ搭載部の周囲に形成された凸部を前記封止材流出防止体として形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記基板を用意する工程は、前記チップ搭載部の周囲に前記基板の主表面から突出して形成された凸状堰止部からなる前記封止材流出防止手段を設ける工程を含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記チップ積層体上に、前記チップ積層体と電気的に接続される配線基板を設ける工程をさらに備えることを特徴とする請求項10乃至12のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記チップ積層体を搭載する工程は、前記基板のチップ搭載部上において、前記複数の半導体チップを順次積層し、前記チップ搭載部上に前記チップ積層体を形成する工程を含むことを特徴とする請求項10乃至13のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記チップ積層体を搭載する工程は、前記基板のチップ搭載部にあらかじめ積層した前記チップ積層体を搭載する工程を含むことを特徴とする請求項10乃至13のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
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