JP2011187574A - 半導体装置及びその製造方法並びに電子装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】メタル基板を備えた半導体装置における金属バリの発生を防止することが可能な半導体装置及びその製造方法並びに電子装置を提供する。
【解決手段】一面側にチップ搭載部を有するメタル母基板を用意する工程と、一以上の半導体チップ22,24が積層されてなるチップ積層体を、前記チップ搭載部上に形成する工程と、前記メタル母基板の一面側および前記チップ積層体の側面を覆うとともに、前記チップ積層体の一面側を露出するように封止体36を形成する工程と、前記メタル母基板および封止体36を他面側からダイシングすることにより、個片化した前記メタル母基板からなるメタル基板12を形成するとともに、メタル基板12の一面側の端部に封止体36に向かって突出する構成のメタル基板12からなる突出部18を形成する工程と、からなる半導体装置の製造方法。
【選択図】図1
【解決手段】一面側にチップ搭載部を有するメタル母基板を用意する工程と、一以上の半導体チップ22,24が積層されてなるチップ積層体を、前記チップ搭載部上に形成する工程と、前記メタル母基板の一面側および前記チップ積層体の側面を覆うとともに、前記チップ積層体の一面側を露出するように封止体36を形成する工程と、前記メタル母基板および封止体36を他面側からダイシングすることにより、個片化した前記メタル母基板からなるメタル基板12を形成するとともに、メタル基板12の一面側の端部に封止体36に向かって突出する構成のメタル基板12からなる突出部18を形成する工程と、からなる半導体装置の製造方法。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置及びその製造方法並びに電子装置に関し、特にチップ積層体を備えた半導体装置及びその製造方法並びに電子装置に関する。
近年、実装面積を小さくするため、垂直方向に複数のチップを積層した、チップ・オン・チップ(COC)型の半導体装置が注目されている。このようなCOC型半導体装置の構成としては、下部配線基板と、所定の配線等が形成された配線基板と、貫通電極を介して他の半導体チップと電気的に接続されたチップ積層体と、チップ積層体の上方に配置された上部基板と、下部配線基板と上部基板の間に配置されて半導体チップを封止する封止体からなるものが知られている。(特許文献1)
このようなCOC型の半導体装置としては、金属等からなる放熱板(メタル基板)を支持体として用いたものが知られている。また、このような半導体装置の製造方法としては、支持体上に積層チップおよびチップ積層体用封止体からなるメモリモジュールを複数作成した後に、それらを一括して封止樹脂で封止する方法が知られている。その後、封止樹脂とメタル基板をダイシングすることにより、個片化したメモリモジュールが得られる(特許文献2)。
また、シリコン等からなる基板の一面側に積層チップを複数作成した後に、それらの一面側を厚膜状の封止樹脂により一括して封止する方法も知られている(特許文献3)。この方法の場合は、封止樹脂を支持材とし、基板を他面側よりブレードでダイシングしたのちに、別のブレードにより封止樹脂を他面側より別途ダイシングする。このように、基板と封止樹脂を別工程でそれぞれダイシングすることにより、基板に欠け(チッピング)のない半導体装置が形成される。
また、シリコン等からなる基板の一面側に積層チップを複数作成した後に、それらの一面側を厚膜状の封止樹脂により一括して封止する方法も知られている(特許文献3)。この方法の場合は、封止樹脂を支持材とし、基板を他面側よりブレードでダイシングしたのちに、別のブレードにより封止樹脂を他面側より別途ダイシングする。このように、基板と封止樹脂を別工程でそれぞれダイシングすることにより、基板に欠け(チッピング)のない半導体装置が形成される。
特許文献2の方法においては、一面側に半田ボールを搭載した後に、ダイシングテープにメタル基板側(他面側)を貼着固定する。その後、半田ボールの搭載面側(一面側)から封止樹脂とメタル基板をダイシングすることによりメモリモジュールが個片化されるが、このような従来技術では、ブレードの先端部がメタル基板からダイシングテープ側に突き抜ける際に、メタル基板の他面側に突出する構成の金属バリが発生する問題があった。
また、ブレードの先端部が封止樹脂からメタル基板側にかけて突き抜けることにより、封止樹脂とメタル基板との間がぐらつきやすい。そのうえ、メタル基板の金属バリが他面側に突出する構成となることで、切断面でのメタル基板と封止樹脂との密着性が低下する。これにより、メタル基板が封止樹脂から剥がれやすくなる。また、金属バリが半導体装置の外側に突出することによる外観不良や、金属バリの引っかかり等に起因した半導体装置の搬送不良等の問題も生じていた。
また、ブレードの先端部が封止樹脂からメタル基板側にかけて突き抜けることにより、封止樹脂とメタル基板との間がぐらつきやすい。そのうえ、メタル基板の金属バリが他面側に突出する構成となることで、切断面でのメタル基板と封止樹脂との密着性が低下する。これにより、メタル基板が封止樹脂から剥がれやすくなる。また、金属バリが半導体装置の外側に突出することによる外観不良や、金属バリの引っかかり等に起因した半導体装置の搬送不良等の問題も生じていた。
一方、特許文献3の方法においては、封止樹脂を支持材として基板を他面側よりブレードによりダイシングしたのちに、別のブレードにより他面側より封止樹脂を別途ダイシングするため、基板は封止樹脂によって確実に保持される。そのため、ブレードの先端部が基板を突き抜ける際に基板と封止樹脂との間がぐらつくことはなく、また、基板の欠けが生じることもない。しかし、この方法は基板と封止樹脂のダイシングを別工程で行うため、工程数が多くなってしまう。また、先に基板のみをダイシングするため、ダイシングの深さの制御が困難となる。また、二回に分けてダイシングを行うことにより、その切断面がずれる恐れもある。また、封止樹脂で基板を保持する必要があるため、基板は封止樹脂より低硬度のものしか用いることができず、金属など放熱性の高い材料を用いることができない。
以上のように、従来の半導体装置の製造方法では、メタル基板を備えた半導体装置の製造工程においては金属バリの発生を防ぐことが困難であり、また、メタル基板と封止樹脂の密着性低下を防ぐことができないという課題があった。
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成を採用した。
すなわち、本発明の半導体装置の製造方法は、一面側にチップ搭載部を有するメタル母基板を用意する工程と、一以上の半導体チップが積層されてなるチップ積層体を、前記チップ搭載部上に形成する工程と、前記メタル母基板の一面側および前記チップ積層体の側面を覆うとともに、前記チップ積層体の一面側を露出するように封止体を形成する工程と、前記メタル母基板および前記封止体を他面側からダイシングすることにより、個片化した前記メタル母基板からなるメタル基板を形成するとともに、前記メタル基板の一面側の端部に封止体に向かって突出する構成の前記メタル基板からなる突出部を形成する工程と、を具備してなることを特徴とする。
すなわち、本発明の半導体装置の製造方法は、一面側にチップ搭載部を有するメタル母基板を用意する工程と、一以上の半導体チップが積層されてなるチップ積層体を、前記チップ搭載部上に形成する工程と、前記メタル母基板の一面側および前記チップ積層体の側面を覆うとともに、前記チップ積層体の一面側を露出するように封止体を形成する工程と、前記メタル母基板および前記封止体を他面側からダイシングすることにより、個片化した前記メタル母基板からなるメタル基板を形成するとともに、前記メタル基板の一面側の端部に封止体に向かって突出する構成の前記メタル基板からなる突出部を形成する工程と、を具備してなることを特徴とする。
本発明によれば、メタル母基板と、メタル母基板の一面側に形成された封止体を、メタル母基板の他面側からダイシングすることにより、ダイシングブレードの先端部がメタル母基板から封止体(封止樹脂)側にかけて突き抜ける際のメタル母基板と封止体との間のぐらつきを防ぐことができる。
また、その際にメタル母基板の切断面(メタル基板の一面側の端部)に、封止体に向かって突出する構成の突出部が形成されることにより、切断面でのメタル基板と封止体との密着性が向上する。そのため、メタル基板と封止体との剥がれを防ぐことができる。これにより、メタル基板と封止体の界面からの水分の浸入が防がれ、リフロークラック等の発生が低減する。そのため、半導体装置の信頼性を向上することができる。
また、突出部がメタル基板の一面側(封止体の側)に向けて形成されるため、突出部による外観不良や引っかかりが生じない。そのため、半導体装置の搬送不良等の問題を防ぐことが可能となる。
また、その際にメタル母基板の切断面(メタル基板の一面側の端部)に、封止体に向かって突出する構成の突出部が形成されることにより、切断面でのメタル基板と封止体との密着性が向上する。そのため、メタル基板と封止体との剥がれを防ぐことができる。これにより、メタル基板と封止体の界面からの水分の浸入が防がれ、リフロークラック等の発生が低減する。そのため、半導体装置の信頼性を向上することができる。
また、突出部がメタル基板の一面側(封止体の側)に向けて形成されるため、突出部による外観不良や引っかかりが生じない。そのため、半導体装置の搬送不良等の問題を防ぐことが可能となる。
以下、本発明の第1の実施形態であるCOC型の半導体装置10について図1、図2を参照にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面は、特徴をわかりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などは実際と同じであるとは限らない。また、以下の説明において例示される原料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
図1に示すように、半導体装置10は、メタル基板12と、チップ積層体20と、チップ積層体用封止体34と、封止体36と、配線基板38と、半田ボール48から概略構成されている。以下、それぞれの構成についてその詳細を説明する。
<メタル基板12>
メタル基板12は、図2に示すメタル母基板12aを製品形成領域14毎に分割したものであり、例えば0.2mm厚の鉄・ニッケル合金の42アロイから構成されている。メタル基板12の平面視形状は略四角形となっており、その一面側には、製品形成領域14が構成されている。また、製品形成領域14の一面側には、後述するチップ積層体20が接着部材32を介して搭載されている。なお、メタル基板12の材料としては、銅等の放熱性の高いものを用いることが特に好ましい。そのような材料からなるメタル基板12を用いることにより、半導体装置10の放熱性を向上することができるためである。
メタル基板12は、図2に示すメタル母基板12aを製品形成領域14毎に分割したものであり、例えば0.2mm厚の鉄・ニッケル合金の42アロイから構成されている。メタル基板12の平面視形状は略四角形となっており、その一面側には、製品形成領域14が構成されている。また、製品形成領域14の一面側には、後述するチップ積層体20が接着部材32を介して搭載されている。なお、メタル基板12の材料としては、銅等の放熱性の高いものを用いることが特に好ましい。そのような材料からなるメタル基板12を用いることにより、半導体装置10の放熱性を向上することができるためである。
(突出部18)
突出部18は、メタル基板12の一面側の端部が封止体に向かって突出する構成となっている。突出部18は、メタル基板12の端部の一部に設けられていればよく、メタル基板12の周縁部全体に構成されていなくてもよい。また、突出部18は一面側に向かって先細りの形状であり、後述する封止体36に食い込む構成となっている。また、突出部18の外側面はメタル基板12の一面側に対して垂直であり、封止体36の外側面と同一平面の構成となっている。
突出部18は、メタル基板12の一面側の端部が封止体に向かって突出する構成となっている。突出部18は、メタル基板12の端部の一部に設けられていればよく、メタル基板12の周縁部全体に構成されていなくてもよい。また、突出部18は一面側に向かって先細りの形状であり、後述する封止体36に食い込む構成となっている。また、突出部18の外側面はメタル基板12の一面側に対して垂直であり、封止体36の外側面と同一平面の構成となっている。
<チップ積層体20>
チップ積層体20はメタル基板12の製品形成領域14上に搭載されている。本実施形態におけるチップ積層体20は、例えば、四枚のメモリチップ(半導体チップ)22と、インターフェースチップ(半導体チップ)24とが他面側からこの順に積層した構成となっているが、チップ積層体20の構成は特にここに挙げたものに限られない。チップ積層体20は、メタル基板12上に搭載され、かつ、その最表面が露出する構成であれば、その構成には制限がない。たとえば、メモリチップ22とインターフェースチップ24一枚ずからなるチップ積層体20や、チップ積層体20が二つ積層した構成であってもかまわない。
チップ積層体20はメタル基板12の製品形成領域14上に搭載されている。本実施形態におけるチップ積層体20は、例えば、四枚のメモリチップ(半導体チップ)22と、インターフェースチップ(半導体チップ)24とが他面側からこの順に積層した構成となっているが、チップ積層体20の構成は特にここに挙げたものに限られない。チップ積層体20は、メタル基板12上に搭載され、かつ、その最表面が露出する構成であれば、その構成には制限がない。たとえば、メモリチップ22とインターフェースチップ24一枚ずからなるチップ積層体20や、チップ積層体20が二つ積層した構成であってもかまわない。
チップ積層体20は、例えばポリイミド基材の両面に接着層が形成されたダイ・アタッチド・フィルム材(DAF)からなる絶縁性の接着部材32によって、製品形成領域14の略中央位置に接着固定されている。これにより、メタル基板12と、メモリチップ22の第二のバンプ電極27とは、接着部材32によって絶縁された構成となる。また、接着部材32の材料としては熱伝導性の高いものを用いることが好ましい。そのような材料を用いることによりチップ積層体20で発生した熱をメタル基板12に効率的に伝達することができ、半導体装置10の放熱性を向上させることができる。
(メモリチップ(半導体チップ)22)
メモリチップ22の他面側には、ダイナミック・ランダム・アクセスメモリ(DRAM)の第一の回路層22aが形成されている。また、メモリチップ22の一面側及び他面側には、柱状の複数の第一のバンプ電極26、第二のバンプ電極27がそれぞれ形成されている。また、第一の貫通電極30がメモリチップ22を貫通する構成で形成されており、これにより第一のバンプ電極26と第二のバンプ電極27は電気的に接続されている。また、それぞれのメモリチップ22の第一のバンプ電極26と、隣接するメモリチップ22の第二のバンプ電極27とは電気的に接続している。
メモリチップ22の他面側には、ダイナミック・ランダム・アクセスメモリ(DRAM)の第一の回路層22aが形成されている。また、メモリチップ22の一面側及び他面側には、柱状の複数の第一のバンプ電極26、第二のバンプ電極27がそれぞれ形成されている。また、第一の貫通電極30がメモリチップ22を貫通する構成で形成されており、これにより第一のバンプ電極26と第二のバンプ電極27は電気的に接続されている。また、それぞれのメモリチップ22の第一のバンプ電極26と、隣接するメモリチップ22の第二のバンプ電極27とは電気的に接続している。
(インターフェースチップ(半導体チップ)24)
インターフェースチップ24は、メモリチップ22を制御するためのものであり、その他面側には、インターフェース回路を有する第二の回路層24aが形成されている。また、インターフェースチップ24の一面側及び他面側には、柱状の複数の第三のバンプ電極28、第四のバンプ電極29がそれぞれ形成されており、第二の貫通電極31により互いに電気的に接合されている。
また、インターフェースチップ24の第四のバンプ電極29と、隣接するメモリチップ22の第一のバンプ電極26とは電気的に接続している。また、第三のバンプ電極28の一面側には、金等からなるワイヤバンプもしくは半田バンプ44が形成されていることが好ましい。第三のバンプ電極28は後述する配線基板38の第一の接続パッド41と電気的に接続しているが、半田バンプ44を介することにより、より良好に接続することが可能となるためである。
インターフェースチップ24は、メモリチップ22を制御するためのものであり、その他面側には、インターフェース回路を有する第二の回路層24aが形成されている。また、インターフェースチップ24の一面側及び他面側には、柱状の複数の第三のバンプ電極28、第四のバンプ電極29がそれぞれ形成されており、第二の貫通電極31により互いに電気的に接合されている。
また、インターフェースチップ24の第四のバンプ電極29と、隣接するメモリチップ22の第一のバンプ電極26とは電気的に接続している。また、第三のバンプ電極28の一面側には、金等からなるワイヤバンプもしくは半田バンプ44が形成されていることが好ましい。第三のバンプ電極28は後述する配線基板38の第一の接続パッド41と電気的に接続しているが、半田バンプ44を介することにより、より良好に接続することが可能となるためである。
(チップ積層体用封止体34)
チップ積層体用封止体34は、絶縁性材料からなり、メタル基板12の一面側に形成されている。チップ積層体用封止体34は、メモリチップ22同士の間、および、メモリチップ22とインターフェースチップ24との間を充填するとともに、チップ積層体20の側面を覆う構成となっている。また、チップ積層体20の周囲を囲むチップ積層体用封止体34は、他面側(メタル基板12側)に多く溜った構成であり、その断面視形状は台形となっている。また、チップ積層体20の一面側(インターフェースチップ24の一面側)はチップ積層体用封止体34によって覆われず、露出した構成となっている。
チップ積層体用封止体34は、絶縁性材料からなり、メタル基板12の一面側に形成されている。チップ積層体用封止体34は、メモリチップ22同士の間、および、メモリチップ22とインターフェースチップ24との間を充填するとともに、チップ積層体20の側面を覆う構成となっている。また、チップ積層体20の周囲を囲むチップ積層体用封止体34は、他面側(メタル基板12側)に多く溜った構成であり、その断面視形状は台形となっている。また、チップ積層体20の一面側(インターフェースチップ24の一面側)はチップ積層体用封止体34によって覆われず、露出した構成となっている。
(封止体(封止樹脂)36)
封止体36は、チップ積層体用封止体34とは異なる種類の絶縁性材料からなり、メタル基板12の一面側およびチップ積層体用封止体34の側面を覆うように形成されている。また、封止体36の外側面は突出部18の外側面と同一平面となっている。
封止体36は、チップ積層体用封止体34とは異なる種類の絶縁性材料からなり、メタル基板12の一面側およびチップ積層体用封止体34の側面を覆うように形成されている。また、封止体36の外側面は突出部18の外側面と同一平面となっている。
<配線基板38>
配線基板38は、例えば100μm厚のポリイミド基材からなるフレキシブル基板からなり、その平面視形状はメタル基板12よりも小さい面積の略四角形状となっている。配線基板38の材料としてはポリイミド基材に限られず、ガラスエポキシ基板等、他の基材を用いても構わない。
配線基板38はインターフェースチップ24の一面側に、後述する配線基板間用封止体46を介して搭載されている。また、インターフェースチップ24の第三のバンプ電極28と配線基板38の第一の接続パッド41は、半田バンプ44を介してフリップチップ接合されていることが好ましいが、半田バンプ44が設けられていない場合は直接接合されていてもかまわない。これにより、配線基板38とチップ積層体20は電気的に接続した構成となっている。
配線基板38は、例えば100μm厚のポリイミド基材からなるフレキシブル基板からなり、その平面視形状はメタル基板12よりも小さい面積の略四角形状となっている。配線基板38の材料としてはポリイミド基材に限られず、ガラスエポキシ基板等、他の基材を用いても構わない。
配線基板38はインターフェースチップ24の一面側に、後述する配線基板間用封止体46を介して搭載されている。また、インターフェースチップ24の第三のバンプ電極28と配線基板38の第一の接続パッド41は、半田バンプ44を介してフリップチップ接合されていることが好ましいが、半田バンプ44が設けられていない場合は直接接合されていてもかまわない。これにより、配線基板38とチップ積層体20は電気的に接続した構成となっている。
また、配線基板38の一面側および他面側には、所定の配線45が形成されており、その一面側は、例えばソルダーレジストからなる絶縁膜40で覆われている。また、配線基
板38の一面側には、複数のランド部42が形成されている。このランド部42は、例えば0.8mmの所定の間隔で格子状に配置されており、配線基板38の他面側の第一の接続パッド41と、配線45を介して電気的に接続されている。
板38の一面側には、複数のランド部42が形成されている。このランド部42は、例えば0.8mmの所定の間隔で格子状に配置されており、配線基板38の他面側の第一の接続パッド41と、配線45を介して電気的に接続されている。
また、第一の接続パッド41は、その他面側において半田バンプ44を介して第三のバンプ電極28と電気的に接続されている。
また、配線基板38の他面側とインターフェースチップ24の一面側との間には配線基板間用封止体46が充填されている。配線基板間用封止体46としては、例えばエポキシ樹脂からなるNCP(Non Conductive Paste)が用いられる。これにより、半田バンプ44の側面は配線基板間用封止体46により覆われ、その周囲は配線基板間用封止体46により保護された構成となる。また、配線基板38とインターフェースチップ24とは配線基板間用封止体46により接着固定された構成となる。
また、配線基板38の他面側とインターフェースチップ24の一面側との間には配線基板間用封止体46が充填されている。配線基板間用封止体46としては、例えばエポキシ樹脂からなるNCP(Non Conductive Paste)が用いられる。これにより、半田バンプ44の側面は配線基板間用封止体46により覆われ、その周囲は配線基板間用封止体46により保護された構成となる。また、配線基板38とインターフェースチップ24とは配線基板間用封止体46により接着固定された構成となる。
(半田ボール48)
半田ボール48はたとえば導電性の金属ボールからなり、ランド部42の一面側にそれぞれ搭載されている。この半田ボール48は、半導体装置10の外部端子として機能する。
半田ボール48はたとえば導電性の金属ボールからなり、ランド部42の一面側にそれぞれ搭載されている。この半田ボール48は、半導体装置10の外部端子として機能する。
本実施形態の半導体装置10は、封止体に向かって突出する構成の突出部18がメタル基板12の一面側の端部に構成されていることにより、メタル基板12と封止体36の密着性を高めることができる。そのため、メタル基板12と封止体36との剥がれが防がれ、メタル基板12と封止体36の界面からの水分の浸入が防がれる。これにより、水分の浸入によるリフロークラック等の発生が低減し、半導体装置10の信頼性が向上する。
また、突出部18はメタル基板12の一面側(封止体36の側)に向けて形成されているため、本実施形態の半導体装置10は、突出部18による外観不良や引っかかりが生じない。そのため、半導体装置10の搬送不良等の問題が防がれる。
また、突出部18はメタル基板12の一面側(封止体36の側)に向けて形成されているため、本実施形態の半導体装置10は、突出部18による外観不良や引っかかりが生じない。そのため、半導体装置10の搬送不良等の問題が防がれる。
以上により、メタル基板12を備えた信頼性の高い半導体装置10を実現することができる。また、メタル基板12の一面側にチップ積層体20を搭載することにより、半導体装置10の大容量化、高機能化を実現するとともに、放熱性及び機械的強度の向上も図ることができる。
なお、本実施形態においてはまたBGA(ボール・グリッド・アレイ)型の半導体装置10について説明したが、LGA(Land Grid Array)型等、他の型の半導体装置に適用してもかまわない。
なお、本実施形態においてはまたBGA(ボール・グリッド・アレイ)型の半導体装置10について説明したが、LGA(Land Grid Array)型等、他の型の半導体装置に適用してもかまわない。
次いで、本実施形態の半導体装置10の製造方法について、図1〜図7を参照にして説明する。
本実施形態の半導体装置10の製造方法は、メタル母基板12aを用意する工程と、チップ積層体20をメタル母基板12a上に形成する工程と、チップ積層体用封止体34を形成する工程と、封止体36を形成する工程と、配線基板38を搭載する工程と、半田ボール48を搭載する工程と、突出部18を形成する工程と、から概略構成されている。以下、それぞれの工程についてその詳細を説明する。
本実施形態の半導体装置10の製造方法は、メタル母基板12aを用意する工程と、チップ積層体20をメタル母基板12a上に形成する工程と、チップ積層体用封止体34を形成する工程と、封止体36を形成する工程と、配線基板38を搭載する工程と、半田ボール48を搭載する工程と、突出部18を形成する工程と、から概略構成されている。以下、それぞれの工程についてその詳細を説明する。
(メタル母基板12aを用意する工程)
図2に、本実施形態で用いるメタル母基板12aを示す。図2(a)は、メタル母基板12aの概略構成を示す平面図であり、図2(b)は図2(a)のA−A´線の断面図である。
まず始めに、板状のメタル母基板12aを用意する。メタル母基板12aは、例えば0.2mm厚の鉄・ニッケル合金の42アロイからなり、板状の構成となっている。なお、メタル母基板12aの材料としては、銅等の放熱性の高いものであることが特に好ましい。そのような材料からなるメタル母基板12aを用いることにより、半導体装置10の放熱性を向上することができる。
図2に、本実施形態で用いるメタル母基板12aを示す。図2(a)は、メタル母基板12aの概略構成を示す平面図であり、図2(b)は図2(a)のA−A´線の断面図である。
まず始めに、板状のメタル母基板12aを用意する。メタル母基板12aは、例えば0.2mm厚の鉄・ニッケル合金の42アロイからなり、板状の構成となっている。なお、メタル母基板12aの材料としては、銅等の放熱性の高いものであることが特に好ましい。そのような材料からなるメタル母基板12aを用いることにより、半導体装置10の放熱性を向上することができる。
また、メタル母基板12aは、その一面側の中央領域に複数の製品形成領域14がマトリックス状に設けられている。これにより、メタル母基板12aはモールド・アレイ・プロセス(MAP)方式で処理可能な構成となっている。メタル母基板12aをこの製品形成領域14毎に切断することにより、メタル基板12が形成される。
また、メタル母基板12aの外周部には、中央領域および製品形成領域14の周囲を囲むように枠部50が構成されている。枠部50には所定の間隔で複数の位置決め孔52が形成されており、これらはメタル母基板12aの搬送及び位置決めにおいて用いられる。また、枠部50には所定の間隔で複数のダイシング用マーク54が設けられており、後述するメタル母基板12aのダイシングの際に、ダイシングライン70の位置を認識可能としている。
また、メタル母基板12aの外周部には、中央領域および製品形成領域14の周囲を囲むように枠部50が構成されている。枠部50には所定の間隔で複数の位置決め孔52が形成されており、これらはメタル母基板12aの搬送及び位置決めにおいて用いられる。また、枠部50には所定の間隔で複数のダイシング用マーク54が設けられており、後述するメタル母基板12aのダイシングの際に、ダイシングライン70の位置を認識可能としている。
(チップ積層体20をメタル母基板12a上に形成する工程)
次いで、チップ積層体20をメタル母基板12a上に形成する。図3(a)〜図3(d)に、メモリチップ(半導体チップ)22およびインターフェースチップ(半導体チップ)24の積層工程を示す。
まず、図3(a)に示すように、メタル母基板12aの各製品形成領域14上に絶縁性の接着部材32を接着固定する。接着部材32の材料としては、たとえばDAF材やNCP材を用いることができる。
次いで、チップ積層体20をメタル母基板12a上に形成する。図3(a)〜図3(d)に、メモリチップ(半導体チップ)22およびインターフェースチップ(半導体チップ)24の積層工程を示す。
まず、図3(a)に示すように、メタル母基板12aの各製品形成領域14上に絶縁性の接着部材32を接着固定する。接着部材32の材料としては、たとえばDAF材やNCP材を用いることができる。
次いで、接着部材32の一面側にメモリチップ22を搭載する。メモリチップ22の一面側及び他面側には、柱状の複数の第一のバンプ電極26、第二のバンプ電極27がそれぞれ形成されている。また、第一の貫通電極30がメモリチップ22を貫通する構成で形成されており、第一のバンプ電極26、第二のバンプ電極27は電気的に接続されている。また、メモリチップ22の他面側には第一の回路層22aが形成されている。
その後、メモリチップ22およびメタル母基板12aをたとえば150℃程度の低温で加熱し、メモリチップ22を接着部材32に仮固着する。
その後、メモリチップ22およびメタル母基板12aをたとえば150℃程度の低温で加熱し、メモリチップ22を接着部材32に仮固着する。
次いで、メモリチップ22の一面側に別のメモリチップ22を搭載する。このとき、それぞれのメモリチップ22の第一のバンプ電極26と第二のバンプ電極27とが合致するように位置を合わせて搭載する。次いでメモリチップ22を150℃程度で加熱し、隣接する第一のバンプ電極26と第二のバンプ電極27同士を仮固着させる。これにより、両バンプ電極は電気的に接合される。
その後、図3(b)に示すように同様の工程を所定の回数繰り返し、メモリチップ22を積層する。ここではたとえば、四枚のメモリチップ22を積層する。
その後、図3(b)に示すように同様の工程を所定の回数繰り返し、メモリチップ22を積層する。ここではたとえば、四枚のメモリチップ22を積層する。
次いで、図3(c)に示すように、インターフェースチップ24をメモリチップ22の一面側に搭載する。このとき、メモリチップ22の第一のバンプ電極26とインターフェースチップ24の第四のバンプ電極29とが合致するように位置を合わせて搭載する。
なお、インターフェースチップ24の他面側には第二の回路層24aが形成されている。また、インターフェースチップ24の一面側及び他面側には、柱状の複数の第三のバンプ電極28、第四のバンプ電極29がそれぞれ形成されており、第二の貫通電極31により互いに電気的に接合されている。
その後、インターフェースチップ24およびメモリチップ22を150℃程度で加熱することにより、隣接する第一のバンプ電極26と第四のバンプ電極29同士を仮固着させる。
なお、インターフェースチップ24の他面側には第二の回路層24aが形成されている。また、インターフェースチップ24の一面側及び他面側には、柱状の複数の第三のバンプ電極28、第四のバンプ電極29がそれぞれ形成されており、第二の貫通電極31により互いに電気的に接合されている。
その後、インターフェースチップ24およびメモリチップ22を150℃程度で加熱することにより、隣接する第一のバンプ電極26と第四のバンプ電極29同士を仮固着させる。
以上により、チップ積層体20が形成される。
その後、チップ積層体20をたとえば300℃程度の高温で加熱するとともに荷重を加え、隣接する各バンプ電極(第一のバンプ電極26、第二のバンプ電極27、第四のバンプ電極29)同士を接合させる。このとき、各バンプ電極の接合方法は、荷重印加に限られず、超音波を用いてもよい。これにより、チップ積層体20中の各メモリチップ22およびインターフェースチップ24は互いに第一の貫通電極30を介して電気的に接合される。
その後、チップ積層体20をたとえば300℃程度の高温で加熱するとともに荷重を加え、隣接する各バンプ電極(第一のバンプ電極26、第二のバンプ電極27、第四のバンプ電極29)同士を接合させる。このとき、各バンプ電極の接合方法は、荷重印加に限られず、超音波を用いてもよい。これにより、チップ積層体20中の各メモリチップ22およびインターフェースチップ24は互いに第一の貫通電極30を介して電気的に接合される。
本実施形態においては、チップ積層体20をメタル母基板12a上に形成することにより、容易に多連化することができる。また、製造工程中での反りを低減すると共に、量産効率を向上することが可能となる。また、チップ積層体20の形成工程は、この方法に限られず、既存のボール・グリッド・アレイ(BGA)の組み立て装置を利用してもかまわない。
また、本実施形態では、チップ積層体20を四枚のメモリチップ22と一枚のインターフェースチップ24により形成しているが、その構成はここに挙げたものに限られない。チップ積層体20を構成する半導体チップ(メモリチップ22、インターフェースチップ24)は1枚以上であればよく、メタル基板12上に搭載され、チップ積層体20の最表面が後述するチップ積層体用封止体34および封止体36から露出される構成であれば、その枚数や構成には制限がない。また、チップ積層体20を積層した構成としてもかまわない。たとえば、一枚ずつのメモリチップ22とインターフェースチップ24からなるチップ積層体20や、チップ積層体20が二つ重なった構成のものであってもよい。
また、本実施形態では、チップ積層体20を四枚のメモリチップ22と一枚のインターフェースチップ24により形成しているが、その構成はここに挙げたものに限られない。チップ積層体20を構成する半導体チップ(メモリチップ22、インターフェースチップ24)は1枚以上であればよく、メタル基板12上に搭載され、チップ積層体20の最表面が後述するチップ積層体用封止体34および封止体36から露出される構成であれば、その枚数や構成には制限がない。また、チップ積層体20を積層した構成としてもかまわない。たとえば、一枚ずつのメモリチップ22とインターフェースチップ24からなるチップ積層体20や、チップ積層体20が二つ重なった構成のものであってもよい。
(チップ積層体用封止体34を形成する工程)
次いで、図3(d)に示すように、チップ積層体用封止体34を形成する。まず、ディスペンサーなどの図示しない塗布装置により、チップ積層体20の端部近傍位置に液状のチップ積層体用封止体34を供給する。
このとき、チップ積層体用封止体34は、インターフェースチップ24の一面側には配置されないようにする。これにより、チップ積層体20及び接着部材32の側面はチップ積層体用封止体34により覆われる。また、毛細管現象により、メモリチップ22同士の隙間およびメモリチップ22とインターフェースチップ24との隙間はチップ積層体用封止体34により充填される。このとき、チップ積層体20の周囲を囲むチップ積層体用封止体34は、重力により他面側(メタル母基板12a側)に多く溜り、その断面視形状は台形となる。その後、所定の温度、例えば150℃程度でキュアすることにより、積層体用封止体34を熱硬化させる。
次いで、図3(d)に示すように、チップ積層体用封止体34を形成する。まず、ディスペンサーなどの図示しない塗布装置により、チップ積層体20の端部近傍位置に液状のチップ積層体用封止体34を供給する。
このとき、チップ積層体用封止体34は、インターフェースチップ24の一面側には配置されないようにする。これにより、チップ積層体20及び接着部材32の側面はチップ積層体用封止体34により覆われる。また、毛細管現象により、メモリチップ22同士の隙間およびメモリチップ22とインターフェースチップ24との隙間はチップ積層体用封止体34により充填される。このとき、チップ積層体20の周囲を囲むチップ積層体用封止体34は、重力により他面側(メタル母基板12a側)に多く溜り、その断面視形状は台形となる。その後、所定の温度、例えば150℃程度でキュアすることにより、積層体用封止体34を熱硬化させる。
(封止体36を形成する工程)
次いで、図4、図5に示すように、封止体36を形成する。図4(a)〜図4(c)は、封止工程における工程図である。
まず、図4(a)に示すように、メタル母基板12aをトランスファモールド装置56の上型金型58と下型金型60からなる成型金型により型締めする。トランスファモールド装置56の上型金型58と下型金型60との間には、複数のチップ積層体20を一括的に覆うようにキャビティ62(成型金型内部の空間)が形成されており、この型締めにより、キャビティ62内にチップ積層体20が配置される。また、上型金型58表面には弾力性のあるシート64が設けられており、チップ積層体20の一面側(インターフェースチップ24の一面側)はシート64を介してキャビティ62内に密着配置される。
次いで、図4、図5に示すように、封止体36を形成する。図4(a)〜図4(c)は、封止工程における工程図である。
まず、図4(a)に示すように、メタル母基板12aをトランスファモールド装置56の上型金型58と下型金型60からなる成型金型により型締めする。トランスファモールド装置56の上型金型58と下型金型60との間には、複数のチップ積層体20を一括的に覆うようにキャビティ62(成型金型内部の空間)が形成されており、この型締めにより、キャビティ62内にチップ積層体20が配置される。また、上型金型58表面には弾力性のあるシート64が設けられており、チップ積層体20の一面側(インターフェースチップ24の一面側)はシート64を介してキャビティ62内に密着配置される。
次いで、図4(b)に示すように、上型金型58に設けられたゲート部66から、キャビティ62内に加熱溶融された封止樹脂(封止体36)を注入する。封止体36の材料としては、例えば、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられる。このとき、インターフェースチップ24の一面側はキャビティ62内に密着配置されているため、封止体36はインターフェースチップ24の一面側には配置されず、チップ積層体用封止体34の側面およびメタル母基板12aの一面側のみを覆う構成となる。
次いで、キャビティ62内が封止体36で充填された状態で、所定の温度、例えば180℃程度でキュアする。これにより、図4(c)に示すように、メタル母基板12aの一面側及びチップ積層体用封止体34側面を一括的に覆う構成の封止体36が形成される。このとき、メモリチップ22同士の隙間、および、メモリチップ22とインターフェースチップ24との隙間にはあらかじめチップ積層体用封止体34が充填されていることにより、本工程におけるメモリチップ22間のボイド発生を防ぐことができる。
その後、メタル母基板12aを所定の温度でベークし、封止体36を完全に硬化させる。
その後、メタル母基板12aを所定の温度でベークし、封止体36を完全に硬化させる。
図5に、封止体36形成後のメタル母基板12aを示す。図5(a)は、封止体36形成後のメタル母基板12aの平面図であり、図5(b)は、図5(a)のB−B‘線の断面図である。これらに示すように、メタル母基板12aの一面側及びチップ積層体用封止体34側面は封止体36により一括的に覆われた構成となる。また、インターフェースチップ24の一面側および第三のバンプ電極28はチップ積層体用封止体34に覆われずに露出した構成となる。
(配線基板38を搭載する工程)
次いで、インターフェースチップ24の一面側に、配線基板間用封止体46を介して配線基板38を搭載する。図6(a)〜図6(b)に、配線基板38の搭載工程における工程断面図を示す。
はじめに、第三のバンプ電極28の一面側に、金等からなるワイヤバンプもしくは半田バンプ44を形成することが好ましい。これにより後述する工程において第三のバンプ電極28と第一の接続パッド41との接合を容易に行うことができる。
次いで、図6(a)に示すように、図示しないディスペンサーにより、チップ積層体20の一面側(インターフェースチップ24の一面側)及び半田バンプ44を覆うように液状の配線基板間用封止体46を塗布する。
次いで、インターフェースチップ24の一面側に、配線基板間用封止体46を介して配線基板38を搭載する。図6(a)〜図6(b)に、配線基板38の搭載工程における工程断面図を示す。
はじめに、第三のバンプ電極28の一面側に、金等からなるワイヤバンプもしくは半田バンプ44を形成することが好ましい。これにより後述する工程において第三のバンプ電極28と第一の接続パッド41との接合を容易に行うことができる。
次いで、図6(a)に示すように、図示しないディスペンサーにより、チップ積層体20の一面側(インターフェースチップ24の一面側)及び半田バンプ44を覆うように液状の配線基板間用封止体46を塗布する。
次いで、図6(b)に示すように、図示しないボンディングツールにより、配線基板38の一面側を吸着保持し、配線基板間用封止体46上に搭載する。このとき、配線基板38の他面側の第一の接続パッド41と、半田バンプ44(第三のバンプ電極28)とが合致するよう、配線基板38の搭載位置を調整する。
次いで、例えば300℃程度で第一の接続パッド41及び半田バンプ44を加熱するとともに、配線基板38の一面側から荷重を印加する。これにより、フリップチップ接合が行われ、第三のバンプ電極28と第一の接続パッド41は、半田バンプ44を介して電気的に接合される。また、このときの接合は、荷重だけでなく、超音波を印加するようにしても良い。また、先述した工程において半田バンプ44を形成しない場合には、第三のバンプ電極28と第一の接続パッド41を直接接合させても構わない。
この接合において、配線基板38の一面側からから荷重を印加することにより、配線基板間用封止体46は配線基板38の端部まで圧延される。これにより、配線基板間用封止体46は配線基板38と同じ平面視形状となる。また、配線基板間用封止体46により配線基板38とインターフェースチップ24とが接着固定される。
この接合において、配線基板38の一面側からから荷重を印加することにより、配線基板間用封止体46は配線基板38の端部まで圧延される。これにより、配線基板間用封止体46は配線基板38と同じ平面視形状となる。また、配線基板間用封止体46により配線基板38とインターフェースチップ24とが接着固定される。
なお、配線基板38は、例えば100μm厚のポリイミド基材からなるフレキシブル基板からなり、その平面視形状は製品形成領域14よりも小さい面積の略四角形状となっている。そのため、配線基板38の搭載時に隣接する配線基板38同士が接触する恐れや、配線基板間用封止体46が隣接する配線基板38側に流れ込む可能性を低減することができる。そのため、配線基板38を良好に搭載することができる。
(半田ボール48を搭載する工程)
次いで、図6(c)に示すように、配線基板38の一面側に設けられた複数のランド部42上に半田ボール48を搭載する。
まず、ランド部42の位置に合わせ、半田ボール48を図示しないマウントツールで吸着保持する。次いで、吸着保持された状態の半田ボール48にフラックスを転写形成する。その後、複数のランド部42上に半田ボール48を一括搭載し、全ての配線基板38へ半田ボール48を搭載した後、配線基板38をリフローする。これにより、半導体装置10の外部端子となる半田ボール48が形成される。
次いで、図6(c)に示すように、配線基板38の一面側に設けられた複数のランド部42上に半田ボール48を搭載する。
まず、ランド部42の位置に合わせ、半田ボール48を図示しないマウントツールで吸着保持する。次いで、吸着保持された状態の半田ボール48にフラックスを転写形成する。その後、複数のランド部42上に半田ボール48を一括搭載し、全ての配線基板38へ半田ボール48を搭載した後、配線基板38をリフローする。これにより、半導体装置10の外部端子となる半田ボール48が形成される。
(突出部18を形成する工程)
次いで、図7(a)〜(c)に示すように、メタル母基板12a及び封止体36をダイシングライン70に合わせて分割することにより、突出部18を形成する。
まず図7(a)に示すように、封止体36の一面側を第一のダイシングテープ71の粘着部に貼着する。第一のダイシングテープ71は、各製品形成領域14の位置に合わせて開口部71aが設けられており、配線基板38の一面側を露出した状態で封止体36を支持することができる。
次いで、図7(a)〜(c)に示すように、メタル母基板12a及び封止体36をダイシングライン70に合わせて分割することにより、突出部18を形成する。
まず図7(a)に示すように、封止体36の一面側を第一のダイシングテープ71の粘着部に貼着する。第一のダイシングテープ71は、各製品形成領域14の位置に合わせて開口部71aが設けられており、配線基板38の一面側を露出した状態で封止体36を支持することができる。
次いで、図7(b)に示すように、メタル母基板12a及び封止体36を製品形成領域14毎に分割する。まず、ダイシングブレード72により、メタル母基板12a及び封止体36を、ダイシングライン70に沿って他面側から縦横に切断する。これにより、個片化したメタル母基板12aからなるメタル基板12が形成される。このとき、メタル母基板12aの製品形成領域14の一面側には封止体36が形成されているため、ダイシングライン70の認識はできないが、図5(a)に示すように、枠部50にダイシング用マーク54が設けられていることにより、切断位置の認識及び製品形成領域14毎の切断分離が可能となる。
また、メタル母基板12a及び封止体36をメタル母基板12aの他面側からダイシングすることにより、ダイシングブレード72の先端部はメタル母基板12aから封止体36側にかけて突き抜ける構成となる。これによりメタル母基板12aはダイシングブレード72によって他面側から一面側に向かって押し切られ、その切断面(メタル基板12の端部)には、封止体に向かって突出する構成の突出部18が形成される。また、メタル母基板12aは封止体36を支持材として押し切られるため、突出部18は一面側に向かって先細りの形状となり、封止体36に食い込む構成となる。
また、切断の際にメタル母基板12aは封止体36により支持される構成となるため、ダイシングブレード72の先端部がメタル母基板12aから封止体36側にかけて突き抜ける際のメタル母基板12aと封止体36との間のぐらつきを防ぐことができる。
これにより、突出部18は封止体36と密着し、メタル基板12と封止体36の切断面での密着性が向上する。
これにより、突出部18は封止体36と密着し、メタル基板12と封止体36の切断面での密着性が向上する。
なお、本実施形態では、製品形成領域14のサイズよりも小さいサイズの配線基板38を搭載しているため、メタル母基板12aの切断の際に、配線基板38へのダイシングブレード72の接触を防ぐことができる。
以上により、図7(c)に示すように、メタル母基板12a及び封止体36は製品形成領域14毎に分割される。これにより、メタル母基板12aはメタル基板12毎に分割された構成となる。その後、第一のダイシングテープ71から封止体36をピックアップすることにより、図1に示す半導体装置10が得られる。
以上により、図7(c)に示すように、メタル母基板12a及び封止体36は製品形成領域14毎に分割される。これにより、メタル母基板12aはメタル基板12毎に分割された構成となる。その後、第一のダイシングテープ71から封止体36をピックアップすることにより、図1に示す半導体装置10が得られる。
本実施形態の半導体装置10の製造方法によれば、メタル母基板12aの一面側を封止体36で覆うと共に、メタル母基板12a及び封止体36を、メタル母基板12aの他面側からダイシングすることにより、メタル母基板12aの切断面(メタル基板12の端部)に、封止体に向かって突出する構成の突出部18を形成することができる。また、切断の際にダイシングブレード72の先端部がメタル母基板12aから封止体36側にかけて突き抜けることによるメタル母基板12aと封止体36との間のぐらつきを防ぐことができる。
これによりメタル基板12と封止体36の密着性を高くすることができ、メタル基板12と封止体36との剥がれや、界面からの水分の浸入を防ぐことが可能となる。これにより、リフロークラック等の発生を低減することができ、半導体装置10の信頼性を向上することができる。
また、突出部18をメタル基板12の一面側(封止体36の側)に向けて形成するため、突出部18による外観不良や引っかかりを防ぐことができる。これにより、半導体装置10の搬送不良等の問題が防がれる。
また、突出部18をメタル基板12の一面側(封止体36の側)に向けて形成するため、突出部18による外観不良や引っかかりを防ぐことができる。これにより、半導体装置10の搬送不良等の問題が防がれる。
以上により、半導体装置10の信頼性向上を実現することができる。また、メタル基板12の一面側にチップ積層体20を搭載することにより、半導体装置10の大容量化、高機能化を実現するとともに、放熱性及び機械的強度の向上を図ることができる。
なお、本実施形態においてはまたBGA(ボール・グリッド・アレイ)型の半導体装置10について説明したが、LGA(Land Grid Array)型等、他の型の半導体装置に適用してもかまわない。また、本実施例では、メモリチップ22とインターフェースチップ24が積層してなるチップ積層体20を、メタル基板12上に搭載した場合について説明したが、チップ積層体20がメタル基板12上に搭載され、かつ、その表面が露出する構成であれば、メモリチップとロジックチップの組み合わせ等、どのような機能のチップの組み合わせとしてもかまわない。
なお、本実施形態においてはまたBGA(ボール・グリッド・アレイ)型の半導体装置10について説明したが、LGA(Land Grid Array)型等、他の型の半導体装置に適用してもかまわない。また、本実施例では、メモリチップ22とインターフェースチップ24が積層してなるチップ積層体20を、メタル基板12上に搭載した場合について説明したが、チップ積層体20がメタル基板12上に搭載され、かつ、その表面が露出する構成であれば、メモリチップとロジックチップの組み合わせ等、どのような機能のチップの組み合わせとしてもかまわない。
以下、本発明の第2の実施形態であるCOC型の半導体装置10について図9(a)、(b)を参照にして説明する。
本実施形態の半導体装置10は、メタル基板12と、チップ積層体20と、チップ積層体用封止体34と、封止体36から概略構成されている。なお、本実施形態の半導体装置10は、配線基板38と半田ボール48が形成されていない部分のみが第1の実施形態の半導体装置10とは異なる部分である。よって、第1の実施形態と同一の部分についてはその説明を省略する。以下、それぞれの構成についてその詳細を説明する。
本実施形態の半導体装置10は、メタル基板12と、チップ積層体20と、チップ積層体用封止体34と、封止体36から概略構成されている。なお、本実施形態の半導体装置10は、配線基板38と半田ボール48が形成されていない部分のみが第1の実施形態の半導体装置10とは異なる部分である。よって、第1の実施形態と同一の部分についてはその説明を省略する。以下、それぞれの構成についてその詳細を説明する。
<チップ積層体20>
本実施形態のチップ積層体20はメタル基板12の製品形成領域14上に搭載されている。本実施形態におけるチップ積層体20は、例えば、四枚のメモリチップ22と、インターフェースチップ24とが他面側からこの順に積層した構成となっている。また、チップ積層体20は接着部材32によって、メタル基板12の製品形成領域14上の略中央位置に接着固定されている。
本実施形態のチップ積層体20はメタル基板12の製品形成領域14上に搭載されている。本実施形態におけるチップ積層体20は、例えば、四枚のメモリチップ22と、インターフェースチップ24とが他面側からこの順に積層した構成となっている。また、チップ積層体20は接着部材32によって、メタル基板12の製品形成領域14上の略中央位置に接着固定されている。
(メモリチップ22)
メモリチップ22の他面側には第一の回路層22aが形成されている。また、メモリチップ22の一面側及び他面側には、柱状の複数の第一のバンプ電極26、第二のバンプ電極27がそれぞれ形成されている。また、第一のバンプ電極26と第二のバンプ電極27は第一の貫通電極30により電気的に接続されている。また、それぞれのバンプ電極26と、隣接するメモリチップ22の第二のバンプ電極27とは電気的に接続している。
メモリチップ22の他面側には第一の回路層22aが形成されている。また、メモリチップ22の一面側及び他面側には、柱状の複数の第一のバンプ電極26、第二のバンプ電極27がそれぞれ形成されている。また、第一のバンプ電極26と第二のバンプ電極27は第一の貫通電極30により電気的に接続されている。また、それぞれのバンプ電極26と、隣接するメモリチップ22の第二のバンプ電極27とは電気的に接続している。
(インターフェースチップ24)
インターフェースチップ24の他面側には第二の回路層24aが形成されている。また、インターフェースチップ24の一面側及び他面側には、柱状の複数の第三のバンプ電極28、第四のバンプ電極29がそれぞれ形成されており、第二の貫通電極31により電気的に接合されている。また、インターフェースチップ24の第四のバンプ電極29と、隣接するメモリチップ22の第一のバンプ電極26とは電気的に接続している。また、第三のバンプ電極28の一面側には、半田バンプ44が形成されている。
また、本実施形態の半導体装置10は配線基板38が形成されておらず、インターフェースチップ24の一面側および半田バンプ44は露出した構成となっている。この状態を図9(a)に示す。
インターフェースチップ24の他面側には第二の回路層24aが形成されている。また、インターフェースチップ24の一面側及び他面側には、柱状の複数の第三のバンプ電極28、第四のバンプ電極29がそれぞれ形成されており、第二の貫通電極31により電気的に接合されている。また、インターフェースチップ24の第四のバンプ電極29と、隣接するメモリチップ22の第一のバンプ電極26とは電気的に接続している。また、第三のバンプ電極28の一面側には、半田バンプ44が形成されている。
また、本実施形態の半導体装置10は配線基板38が形成されておらず、インターフェースチップ24の一面側および半田バンプ44は露出した構成となっている。この状態を図9(a)に示す。
図9(b)に、第2の実施形態の半導体装置10をパッケージ基板80に搭載した構成の電子装置100を示す。パッケージ基板80の所定の位置には複数の第二の接続パッド81が設けられており、それぞれ半田バンプ44と対応する配置となっている。
半導体装置10は、パッケージ基板80の第二の接続パッド81の設けられた側に、半田バンプ44と第二の接続パッド81が接合するように搭載される。これにより、第三のバンプ電極28と第二の接続パッド81とは、半田バンプ44を介して電気的に接続されている。
半導体装置10は、パッケージ基板80の第二の接続パッド81の設けられた側に、半田バンプ44と第二の接続パッド81が接合するように搭載される。これにより、第三のバンプ電極28と第二の接続パッド81とは、半田バンプ44を介して電気的に接続されている。
また、パッケージ基板80の他面側とインターフェースチップ24の一面側との間には配線基板間用封止体46が充填されている。これにより、半田バンプ44の側面は配線基板間用封止体46により覆われ、その周囲は配線基板間用封止体46により保護された構成となっている。また、配線基板間用封止体46により、パッケージ基板80とインターフェースチップ24とは接着固定されている。
本実施形態においては、パッケージ基板80に複数の半導体装置10を搭載することにより、電子装置100の大容量化、高機能化を実現するとともに、放熱性及び機械的強度の向上を図ることができる。
次いで、第2の実施形態の半導体装置10の製造方法について、図5、図8〜図9を参照にして説明する。
本実施形態の半導体装置10の製造方法は、メタル母基板12aを用意する工程と、チップ積層体20をメタル母基板12a上に形成する工程と、チップ積層体用封止体34を形成する工程と、封止体36を形成する工程と、突出部18を形成する工程と、から概略構成されている。本実施形態の半導体装置10は、配線基板38を搭載する工程と、半田ボール48を搭載する工程を行わない部分のみが第1の実施形態と異なる部分である。よって、第1の実施形態と同一の部分についてはその説明を省略する。
本実施形態の半導体装置10の製造方法は、メタル母基板12aを用意する工程と、チップ積層体20をメタル母基板12a上に形成する工程と、チップ積層体用封止体34を形成する工程と、封止体36を形成する工程と、突出部18を形成する工程と、から概略構成されている。本実施形態の半導体装置10は、配線基板38を搭載する工程と、半田ボール48を搭載する工程を行わない部分のみが第1の実施形態と異なる部分である。よって、第1の実施形態と同一の部分についてはその説明を省略する。
(突出部18を形成する工程)
まず、図5(a)、(b)に示すようにメタル母基板12aの一面側を覆う構成の封止体36を形成する。
次いで、図8(a)に示すように、封止体36およびインターフェースチップ24の一面側を第二のダイシングテープ82の粘着部に貼着する。本実施形態においては、第二のダイシングテープ82には開口部71aが設けられておらず、インターフェースチップ24および封止体36の一面側全体を貼着、支持することができる。
まず、図5(a)、(b)に示すようにメタル母基板12aの一面側を覆う構成の封止体36を形成する。
次いで、図8(a)に示すように、封止体36およびインターフェースチップ24の一面側を第二のダイシングテープ82の粘着部に貼着する。本実施形態においては、第二のダイシングテープ82には開口部71aが設けられておらず、インターフェースチップ24および封止体36の一面側全体を貼着、支持することができる。
次いで、図8(b)に示すように、メタル母基板12a及び封止体36を製品形成領域14毎に分割する。まず、ダイシングブレード72により、メタル母基板12a及び封止体36をダイシングライン70に沿って他面側から縦横に切断する。これにより、個片化したメタル母基板12aからなるメタル基板12が形成される。
このとき、メタル母基板12a及び封止体36をメタル母基板12aの他面側からダイシングすることにより、ダイシングブレード72の先端部はメタル母基板12aから封止体36側にかけて突き抜ける構成となる。これによりメタル母基板12aはダイシングブレード72によって他面側から一面側に向かって押し切られ、その切断面(メタル基板12の端部)には、封止体に向かって突出する構成の突出部18が形成される。また、メタル母基板12aは封止体36を支持材として押し切られるため、突出部18は一面側に向かって先細りの形状となり、封止体36に食い込む構成となる。
また、切断の際にメタル母基板12aは封止体36により支持される構成となるため、ダイシングブレード72の先端部がメタル母基板12aから封止体36側にかけて突き抜ける際のメタル母基板12aと封止体36との間のぐらつきを防ぐことができる。
これにより、突出部18は封止体36と密着し、メタル基板12と封止体36の切断面での密着性が向上する。
これにより、突出部18は封止体36と密着し、メタル基板12と封止体36の切断面での密着性が向上する。
以上により、図8(c)に示すように、メタル母基板12a及び封止体36は製品形成領域14毎に分割される。これにより、メタル母基板12aはメタル基板12毎に分割された構成となる。その後、第二のダイシングテープ82から封止体36をピックアップすることにより、図9(a)に示す半導体装置10が得られる。
本実施形態の半導体装置10の製造方法によれば、第一の実施形態と同様に、メタル母基板12aと封止体36との間のぐらつきを防ぐことができる。これによりメタル基板12と封止体36の密着性を高くすることができ、メタル基板12と封止体36との剥がれや、界面からの水分の浸入を防ぐことが可能となる。これにより、リフロークラック等の発生を低減することができ、半導体装置10の信頼性を向上することができる。また、開口部71aを有さない第二のダイシングテープ82により封止体36を支持するため、第一の実施形態よりも、第二のダイシングテープ82とチップ積層体20との位置あわせを簡易化することができる。
また、突出部18をメタル基板12の一面側(封止体36の側)に向けて形成するため、突出部18による外観不良や引っかかりを防ぐことができる。これにより、半導体装置10の搬送不良等の問題が防がれる。
この後、所定の位置に複数の第二の接続パッド81が設けられたパッケージ基板80上に半導体装置10を搭載することにより、電子装置100が形成される。
まず、図示しないディスペンサーにより、パッケージ基板80の第二の接続パッド81を覆うように液状の配線基板間用封止体46を塗布する。
次いで、ボンディングツール83により、半導体装置10の他面側を吸着保持し、配線基板間用封止体46上に搭載する。このとき、インターフェースチップ24の一面側の半田バンプ44と第二の接続パッド81とが合致するよう、半導体装置10の搭載位置を調整する。
まず、図示しないディスペンサーにより、パッケージ基板80の第二の接続パッド81を覆うように液状の配線基板間用封止体46を塗布する。
次いで、ボンディングツール83により、半導体装置10の他面側を吸着保持し、配線基板間用封止体46上に搭載する。このとき、インターフェースチップ24の一面側の半田バンプ44と第二の接続パッド81とが合致するよう、半導体装置10の搭載位置を調整する。
次いで、半田バンプ44と第二の接続パッド81を、例えば300℃程度で加熱すると共に、半導体装置10の他面側から荷重を印加する。これにより、フリップチップ接合が行われ、第三のバンプ電極28と第二の接続パッド81は、半田バンプ44を介して電気的に接合される。また、半田バンプ44が形成されていない場合は、第三のバンプ電極28と第二の接続パッド81を直接接合させても構わない。この接合により、配線基板間用封止体46は封止体36の端部まで圧延され、封止体36およびインターフェースチップ24と、パッケージ基板80とが接着固定される。
以上により、本実施形態の電子装置100が形成される。
以上により、本実施形態の電子装置100が形成される。
本実施形態の電子装置100は、パッケージ基板80に複数のチップ積層体20を搭載することにより、半導体装置10の大容量化、高機能化を実現するとともに、放熱性及び機械的強度の向上を図ることができる。
10…半導体装置、12…メタル基板、12a…メタル母基板、18…突出部、22…メモリチップ、24…インターフェースチップ、34…チップ積層体用封止体、36…封止体、38…配線基板、44…半田バンプ、80…パッケージ基板、100…電子装置
Claims (13)
- 一面側にチップ搭載部を有するメタル基板と、
前記チップ搭載部に搭載された、一以上の半導体チップが積層してなるチップ積層体と、
前記メタル基板の一面側および前記チップ積層体の側面を覆うとともに、前記チップ積層体の一面側を露出するように形成された封止体からなる半導体装置であって、
前記メタル基板の一面側の端部に、前記封止体に向かって突出する構成の前記メタル基板からなる突出部が設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 前記複数の半導体チップの間を充填し、かつ、前記チップ積層体の側面を覆うようにチップ積層体用封止体が形成され、前記チップ積層体用封止体の側面を覆うように前記封止体が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記突出部の外側面が、前記封止体の外側面と同一平面になるよう形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップ同士が互いに貫通電極を介して接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記チップ積層体が、複数のメモリチップと、前記複数のメモリチップを制御するインターフェースチップとを備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記チップ積層体の一面側に、前記チップ積層体と電気的に接続される配線基板が搭載されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記配線基板の一面側に、半田バンプが設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置をパッケージ基板上に設けたことを特徴とする電子装置。
- 一面側にチップ搭載部を有するメタル母基板を用意する工程と、
一以上の半導体チップが積層されてなるチップ積層体を、前記チップ搭載部上に形成する工程と、
前記メタル母基板の一面側および前記チップ積層体の側面を覆うとともに、前記チップ積層体の一面側を露出するように封止体を形成する工程と、
前記メタル母基板および前記封止体を他面側からダイシングすることにより、個片化した前記メタル母基板からなるメタル基板を形成するとともに、前記メタル基板の一面側の端部に前記封止体に向かって突出する構成の前記メタル基板からなる突出部を形成する工程と、を具備してなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記複数の半導体チップの間を埋めるようにチップ積層体用封止体を形成した後に、前記チップ積層体用封止体の側面を覆うように前記封止体を形成することを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記封止体を形成した後に、前記チップ積層体の一面側に、前記チップ積層体と電気的に接続される配線基板を設けることを特徴とする請求項9または請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記配線基板の一面側に、半田バンプを設けることを特徴とする請求項9乃至11のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ダイシング工程の際に、ダイシングテープにより前記封止体の一面側を支持することを特徴とする請求項9乃至12のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
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