JP3596727B2 - パターン形成されたリターダの製造方法とパターン形成されたリターダ、および照明用光源 - Google Patents
パターン形成されたリターダの製造方法とパターン形成されたリターダ、および照明用光源 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本願発明は、パターン形成されたリターダの製造方法と、それにより製造されたパターン形成されるリターダ、および照明用光源に関する。このような光学装置は、例えば3次元ディスプレイなどに、広く適用される。また、本願発明は、照明用光源にも関する。
【0002】
【従来の技術】
米国特許第5,327,285号は、化学エッチング、あるいは、ポリビニルアルコール(PVA)のような複屈折材料の機械的な除去によって、パターン形成されたリターダを製造する工程を開示している。しかしながら、このような技術は、パターンの異なる領域によって吸光特性が異なるという欠点を有する。このような、効果を減少させるために、平坦化工程が続いて行われ得る。しかし、これは、更なる処理工程の追加を必要とする。さらに、その領域のエッジの定義は比較的不十分である。この技術では、1枚の基板上に異なるリターダ配向を有する領域を形成することができない。かわりに、2枚以上の基板が処理され、また、正確な位置合わせ(registration)で、互いの基板が積層されなければならない。
【0003】
EP0 689 084は、複屈折材料のパターン形成された配向層として用いられ得る、線状光重合性材料を開示している。リターダ配向の異なる領域を有するリターダを製造するためには、2回以上のホトリソグラフ工程が必要とされ、線状光重合性材料は、露光される。これらのホトリソグラフ工程は、互いに正確に位置決めされなければならず、このことは製造の困難さおよび製造コストを増加させる。さらに、このタイプの材料は、0あるいは低いプレチルトを有し、このことにより、複屈折材料中にチルトディスクリネーション壁を形成し得る。
【0004】
液晶装置のパターン形成された配向層は、”TN−LCD fabricated by reverse rubbing or double evaporation”,Chen et al. SID 95 Digest p865と、”Two domain 80deg twisted nematic LCD for grey scale applications”, Yang,Japanese Journal of Applied Phisics, vol. 31,part 2, number 11B pL1603および”A complementary TN LCD with wide viewing angle grey scale, ”Takatori et al.,Japan Display 1992, p591に開示されている。特に、これらの出版物は、視覚特性が向上された多層ドメイン液晶装置を開示している。
【0005】
"Photoalignment and patterning of LCDs", SID InformationDisplay 12-97は、マスク工程が1回で済み、プレチルトを制御できる新材料を説明している。この論文は、複数のラビング技術が、高い分解能のパターン形成に適さないことを説明している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、米国特許第5,327,285号に開示される、パターン形成されたリターダを製造する技術は、パターンの異なる領域によって吸光特性が異なるという欠点を有するために、平坦化工程を行う必要がある。しかし、これは、更なる処理工程の追加を必要とし、さらに、その領域のエッジの定義は比較的不十分である。
【0007】
また、EP0 689 084によると、2回以上のホトリソグラフ工程が必要とされ、これらのホトリソグラフ工程は、互いに正確に位置合わせされなければならず、さらに、複屈折材料中にチルトディスクリネーション壁を形成し得る。
【0008】
”Photoalignment and patterning of LCDs”, SID Information Display 12−97は、複数のラビング技術が、高い分解能のパターン形成に適さないことを説明している。
【0009】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、標準的な液晶装置(LCD)の製造に適合する様式で、材料とホトリソグラフ技術とを用いるパターン形成されたリターダを製造する方法を提供することを目的とする。
【0010】
また、平坦化層あるいは追加の層が必要とされない、平坦なリターダを提供することを目的とする。
【0011】
また、機械的手段あるいは化学的エッチング方法を用いて、材料を選択的に除去させることによって提供されるパターン形成よりも、非常に微細な細部のパターン形成を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明のパターン形成されたリターダの製造方法は、基板に配向層を設ける工程と、該配向層の表面全体を第1のラビング方向にラビングする第1ラビング工程と、該配向層のラビングされた表面において、少なくとも1つの第1の領域をマスクを用いてマスクして、少なくとも1つの第2の領域を露出させるマスク工程と、該第1のラビング方向とは異なる第2のラビング方向に、該マスクを通して該第2の領域をラビングする第2ラビング工程と、その後に、該マスクを除去するマスク除去工程と、その後に、光学軸が該配向層における前記第1および第2の各領域におけるラビング方向にのみ従って配向される構成の複屈折材料で形成される層を、該配向層上に設ける工程と、該複屈折材料で形成される層の該光学軸を固定する工程と、を包含し、前記第1のラビング方向は前記第1の領域の第1の所望の配向方向と実質的に同じであり、前記第2のラビング方向は、前記第2の領域の第2の所望の配向方向とは異なり、前記第1のラビング方向の影響を補償するように該第2の所望の配向方向に対してオフセットしていることを特徴とし、このことにより上記目的が達成される。
【0013】
前記少なくとも1つの第1の領域は複数の第1の領域を含み、前記少なくとも1つの第2の領域は複数の第2の領域を含み、該第1の領域と該第2の領域とは、規則的な配列で配置されてもよい。
前記第1の領域と前記第2の領域は、交互に配置された、第1のストリップと、第2のストリップとを有する、請求項2に記載のパターン形成されてもよい。
【0015】
前記第1のラビング方向と前記第2のラビング方向との間の角度が、前記第1の配向方向と前記第2の配向方向との間の角度よりも大きくてもよい。
【0016】
前記第1のラビング方向のラビングが、前記第2のラビング方向のラビングよりもラビング効果を減少させるように軽く行われてもよい。
【0017】
前記複屈折材料は重合可能材料あるいは架橋可能材料を有してもよい。
【0018】
前記複屈折材料は照射によって重合可能あるいは架橋可能であり、前記固定工程は前記複屈折材料で形成される層を照射する工程を包含してもよい。
【0019】
前記複屈折材料で形成される層は紫外線によって照射されてもよい。
【0020】
前記複屈折材料は、熱重合あるいはカチオン重合によって重合可能であってもよい。
【0021】
前記複屈折材料で形成される層は、重合可能液晶材料を有していてもよい。
【0022】
前記重合可能液晶材料は、液晶モノマーおよびオリゴマーのうちの少なくとも1つの物質を有してもよい。
【0023】
前記複屈折材料で形成される層は、反応性メソゲンを有してもよい。
【0024】
前記複屈折材料で形成される層は、ジアクリレートを含む液晶材料を有してもよい。
【0025】
前記複屈折材料で形成される層は、2色性材料を有してもよい。
【0026】
前記2色性材料は、少なくとも1つの2色性染料を有してもよい。
【0027】
前記マスク工程は、前記配向層上にホトリソグラフ技術で前記マスクを形成する工程を包含してもよい。
前記マスク工程は、前記配向層上にあらかじめ形成されたマスクを前記マスクとして設ける工程を包含してもよい。
【0028】
前記配向層は、ポリイミド、ポリアミド、ポリビニルアセテートおよびポリビニルアルコールからなる群から選択される物質を有してもよい。
【0030】
前記基板が、偏光子を備えてもよい。
【0031】
前記基板が、ガラス基板あるいはプラスチック基板であってもよい。
【0032】
前記マスク工程と、該マスク工程の後の前記第2ラビング工程および前記マスク除去工程が、前記配向層の表面における異なる領域に対して第2のラビング方向を異ならせて少なくとも1回繰り返されてもよい。
【0033】
本発明のリターダの製造方法は、基板に配向層を設ける工程と、該配向層の表面において、少なくとも1つの第1の領域をマスクを用いてマスクして、少なくとも1つの第2の領域を露出させるマスク工程と、該マスクを通して該第2の領域を第1のラビング方向にラビングする工程と、その後に、該マスクを除去する工程と、その後に、該配向層全体を該第1のラビング方向とは異なる第2のラビング方向にラビングする工程と、その後に、光学軸が該配向層の配向方向にのみ従って配向される構成の複屈折材料で形成される層を該配向層上に設ける工程と、該配向層上に設けられた該複屈折材料から形成される層の光学軸を固定する工程とを包含し、前記第2のラビング方向は前記第1の領域の第1の所望の配向方向と実質的に同じであり、しかも、前記第1のラビング方向の影響により前記第2の領域の第2の所望の配向方向になるように、前記第1のラビング方向とは異なっていることを特徴とし、このことにより、上記目的が達成される。
【0034】
本願発明のパターン形成されたリターダは、上記に記載のパターン形成されたリターダの製造方法によって形成され、このことにより、上記目的が達成される。
【0035】
本発明の照明用光源は、光源を備える照明用光源であって、第1の偏光ビームスプリッタと、該第1の偏光ビームスプリッタと対をなす第2の偏光ビームスプリッタと、前記リターダを備え、第1の偏光ビームスプリッタは、前記配向層の第1の領域によって配向される複屈折材料層の第1の領域に向けて第1の偏光を透過するとともに、対をなす第2の偏光ビームスプリッタに向けて該第1の偏光に直交する第2の偏光を反射するように配置され、前記第2の偏光スプリッタは、対をなす前記第1の偏光スプリッタにて反射された前記第2の偏光を、前記配向層の前記第2の領域によって配向される複屈折材料層の第2の領域に向けて反射するように配置され、該複屈折材料層の第1の領域および第2の領域は、前記第1および第2の偏光スプリッタのそれぞれからの偏光を該複屈折材料層の該第1の領域と該第2の領域を通り抜けることによって実質的に同じ偏光状態に変化させるものであり、このことにより、上記目的が達成される。
【0036】
以下、作用について説明する。
【0037】
本願発明のパターン形成されたリターダの製造方法によると、配向層を第1のラビング方向にラビングし、配向層の第1の領域をマスクして、配向層の第2の領域を露出させ、第1のラビング方向とは異なる第2のラビング方向に、第2の領域をラビングし、光学軸が該配向層によって配向される、複屈折材料で形成される層を配向層上に設け、複屈折材料で形成される層の光学軸を固定する。
【0038】
従って、標準的な液晶装置(LCD)の製造に適合する様式で、材料とホトリソグラフ技術とを用いるパターン形成されたリターダを製造する方法を提供することができる。さらに、例えば、EP 0 689 084のように、互いに、正確な位置合わせと調整を必要とする複数のホトリソグラフ工程を使用することを避けることができる。任意の標準的な液晶配向層が用いられ得る。液晶装置の内部素子として用いられる、適当なプレチルトおよび電圧保持率特性を有する配向層が知られている。もし配向層のプレチルトが上述のあらかじめ決められたレベルを越えれば、その正確な値は重要ではない。
【0039】
平坦化層あるいは追加の層が必要とされない、平坦なリターダを提供することができる。例えば、可視スペクトル領域の弱い吸収によって引き起こされる複屈折材料のあらゆる着色は、配向層の配向方向に関わらず、リターダ中で均一である。このように、公知の構成においては、例えば材料の除去あるいは、後に行われる平坦化によって引き起こされる着色の変化を実質的に避けることができる。
【0040】
機械的手段あるいは化学的エッチング方法を用いて、材料を選択的に除去させることによって提供されるパターン形成よりも、非常に微細な細部のパターン形成を提供することができる。その配向膜は、例えば0.2のオーダーのような、高い屈折率異方性を有する複屈折材料と適合するので、PVAに基づく公知の技術によって製造され得る波長板よりもかなり薄い波長板を製造することが可能である。例えば、波長が500nmに対して設計されたPVA半波長板は、約10から20μm厚である。このような厚い材料上にウエット化学エッチング法を用いると、必然的に明確なエッジを形成できない。このことは、ピクセルのピッチが層の厚さと同じオーダーであるときに、特別な問題となる。本願発明を用いれば、約1から2μm厚の波長板を提供することができる。このような薄い波長板は、材料を除去する必要がないので、材料の消費を低減し、マスク視差を低減することによって、改良されたエッジ定義を提供することができる。この技術は、従来の液晶装置の製造方法と適合するので、上記の薄い波長板は、液晶装置の外部あるいは内部に設けられ得る。
【0041】
【発明の実施の形態】
図1(a)および(b)に図示されるパターン形成されたリターダは、例えばガラスで形成される基板1、その基板上に後述する方法によって形成される配向層6および複屈折層8を備える。配向層6は、規則的に配列された第1の領域Aおよび規則的に配列された第2の領域Bを備える。領域AおよびBは互いに、交互のストライプ状に形成される。複数の第1の領域Aは、同一の配向方向10を有し、複数の第2の領域Bは、同一の配向方向11を有する。配向方向10および11は互いに異なり、例えば互いに45°異なり得る。
【0042】
複屈折層8の材料は、その光学軸が配向層6の配向方向によって配向されるタイプであり得る。つまり、第1の領域Aの上部にある複屈折層8のストライプ状領域の光学軸は、配向方向10に沿って配向され、一方、第2の領域Bの上部にある複屈折層8のストライプ状領域の光学軸は、配向方向11に配向される。後述するように、複屈折層8は、配向層6による配向に従って固定され、複屈折層8の下の配向方向10および11に従って光学軸が異なる方向に配向される領域を有する、パターン形成されたリターダを提供する。例えば250ナノメートルのリターダンスを有する、均一の厚さを有する層として、複屈折層8を提供することによって、500ナノメートルの可視光線に対する半波長板を提供することができる。
【0043】
図2は、複数工程のラビング処理を用いて形成される配向層6のパターン形成によって、図1(a)および図1(b)のパターン形成されたリターダの製造方法を示す。図2(a)に図示される第1の工程は、基板1上に、後の工程で配向層6になる層2を形成する工程を含む。基板1は、例えば、脱イオン化水中にDecon90(RTM; Decon Laboratories Ltdから入手)を体積分率10パーセント含む清浄剤溶液において、クリーンルームワイプを用いて軽くラビングすることによって清浄にされた研磨ソーダライムガラスを含み得る。さらに、清浄工程は、例えばアルカリ溶液、脱イオン化水およびプロパン−2−オルを用いることによって行われ得る。
【0044】
また、代わりに、基板1は液晶装置中に組み込まれるのに適している部品を備え得る。例えば基板1は、Corning7059(Corning Incorporated New York USAから入手)のような低アルカリガラスを含み得る。このようなガラス基板は、層2が設けられる前に、インジウム錫酸化物(ITO)のような透明導電体でコーティングされる。また、ブラックマスクおよびカラーフィルタも、層2が設けられる前に、基板に設けられ得る。
【0045】
あるいは、基板1は、プラスチック材料を有し得る。
【0046】
また、あるいは、基板1は、完成したパターン形成されたリターダと協同することが必要とされる偏光子を備え得る。
【0047】
層2は、基板1上に設けられ得、複屈折層8に配向を与える為にラビングされ得るどんな材料をも含む。例えば、層2は、Du Pontから入手されるP12555として知られる材料のようなポリイミドを含み得る。この材料はDu Pontから入手されるT9039として知られるシンナーに、1:20の比で溶解され得る。40秒間、1分(rpm)当たり4000回転で、オープンボールスピナー中でスピンすることによって、その溶液は基板1に付与される。コーティングされた基板は、5分間90℃に加熱され、1時間250℃で硬化される。
【0048】
次にポリイミド層2は、その自由表面全体にわたって1方向にラビングされる。例えば層2は、0.2mmのパイル変形で(pile deformation)3000rpmで回転し、前方向に1秒当たり20mmの速度のローラ上を、ラビング布を用いて3回ラビングされ得る。ラビング布は2mmパイルのレーヨン(RTM)繊維を含む布である。図示される実施例においては、第1のラビングは、基準方向に対して+22.5°の角度で行われ、図1(b)に図示される第1領域Aに対応する均一なラビング方向10を有する、図2(b)に図示される層2aを形成する。
【0049】
複屈折層上における、所望の配向方向を示すようにラビングされ得る他の材料が、層2として用いられ得る。このような材料は、ポリアミド、ポリビニルアセテートおよびポリビニルアルコールを含む。代わりに、もし、配向プレチルトが必要がなければ、層2を省いてガラス基板1を直接ラビングしても良い。
【0050】
第1のラビングの後、標準的なホトリソグラフ技術を用いて、図2(c)から図2(e)に示すように、層2aがマスクされる。ポリイミド層2aのラビングされた表面は、例えば、Miocroposit EC溶媒(これらの材料はShipley, Europe Limitedから入手される)1部に対して、ホトレジストMicroposit S1805シリーズの体積当たり2部を含むポジのホトレジスト3を用いて40秒間4500rpmでスピンコートされ、約200ナノメートル厚の層を提供する。層3は、例えば90℃で30分間あるいは95℃で2分間、軟焼成され、溶媒を蒸発させる。続いて、強度6.9mW/cm2で波長365ナノメートルを有する紫外光を、マスク配列装置(Karl Sossから入手)上でのハード接触モードにおいて、ホトマスク4を介して2秒間露光する。これは、図2(d)に示され、最適のエッジ分解能を与える。そのような技術が、後述するような例えば5マイクロメートルのオーダーの、非常に高い分解能を提供することができても、マスクは、例えば100マイクロメートルのオーダーの形状を有し得る。
【0051】
ホトレジスト3の空間選択露光は、マスク4を用いてあるいは用いずに、適切な照明用光源によって行われ得る。例えば、照射は、紫外線レーザを用いて、マスクなしに行われ得る。
【0052】
露光に続いて、例えば、現像液Microposit 351 CD31(Shipley, Europe Limitedから入手)に1分間浸し、図2(e)の5で図示されるように第1の領域を覆う、ホトレジストにおけるマスクパターンの複製を残すように紫外線に曝された第2の領域からホトレジストを除去して、ホトレジストは現像される。基板1と、その上の層は、例えば脱イオン化水中で2分間洗浄され、曝されたホトレジストの全ての完全な除去を確実にし、基板層の汚染を防ぐ。ホトレジストは、後のラビング処理に対してより耐え得るように、例えば50分間110℃で硬焼成される。
【0053】
ホトリソグラフマスク技術の代わりとして、例えば金属あるいは高分子材料を用いてあらかじめ形成された薄いマスクが、後のラビング処理のために層2a上に設けられ得る。
【0054】
図示した実施例において、配向方向10および11、すなわち領域AおよびBの上方にある複屈折材料の光学軸が、45°の相対角度であるように、第2の配向方向11は、基準方向に対して−22.5°であることが要求される。第1のラビングは、ポリイミドの第2方向の再ラビングが第2のラビング方向とは異なる結果の配向方向を生じるような残余の影響を生じることが分かった。それ故に第2のラビングは、このことを補償するように、第2の配向方向11に対して、オフセットされ得る。例えば、第2のラビングは、−27.5°で行われ得る。図3の(a)は、所望の配向方向10に対応する第1のラビング方向を示す。図3の(b)は、第2のラビング方向12を示し、図3の(c)は、結果の配向方向を示す。
【0055】
第2のラビングは、0.3mmのパイル変形で、上述した第1のラビングと同じ条件で3回行われる。また、2回ラビングされた配向層6は、図2(f)に示すように形成される。そして、ホトレジスト5は、除去され、図2(g)に図示されるように、最終的に基板1と配向層6が残る。標準的なホトレジストストリッパーはポリイミドに損傷を与え得るので、残っているホトレジスト5は、2分間アセテートに浸し、3分間脱イオン化水中で洗浄することによって、除去されている。この後、イソプロピルアルコール溶媒に浸すことによって、水のマークが脱イオン化水から残される水マークを避け、更に続いて、窒素気流を用いて乾燥させる。代わりにそのレジストは、紫外線の均一な露光および351CD31現像液に浸すことによって、除去され得る。
【0056】
図2に図示される方法は、第1の配向方向10および第2の配向方向11をそれぞれ有する第1の領域Aおよび第2の領域Bを提供する。しかしながら、図2(c)および2(g)に図示される処理工程は任意の回数だけ繰り返され得、配向方向の異なる領域の複数のセットを提供する。
【0057】
配向層は、20分間170℃で焼成されることによって脱水され、パターン形成されたポリイミド表面上への他の層の接着を向上させるために、室温まで冷却されることが許容される。
【0058】
図2(h)に図示されるように、複屈折層あるいはリターダンス層を形成するために、層7は、配向層6の配向表面に付与される。層7は、複屈折反応性メソゲン溶液をスピンコーティングすることによって形成される。溶液は、RM257(Merck UK Ltd, Pooleから入手)として知られるジアクリレートを含み、混合物を含む例えば500nmに対して半波長板になるように設計されたリターダを得る。その反応性メソゲン溶液は、RM257の1重量部と約1%のDarocur4265(CIBA GEIGY Ltdから入手され、約365nmに活性ピークを有する)として知られる光開始剤を3部のトルエンに加えることによって調製され、配向が向上される。さらに、その光開始剤の濃度は、例えば、約0.1%と約10%との間で可変であり得、あるいは、他の光開始剤が用いられ得る。
【0059】
反応性メソゲン溶液は、数分間撹拌されて、約80℃まで加熱され、確実に反応性メソゲンが完全に溶解される。そして、溶液は室温まで冷却される。スピンコーティングの前に、どんな不溶性の不純物も除去するように、溶液は0.2マイクロメートルのPTFEフィルタを通して濾過され得る。
【0060】
いくつかの適用において、配向層6に層7が付与される前に、2色性染料あるいは他の2色性材料が溶液に加えられ得る。この場合、2色性染料および複屈折材料の両方が、下層の配向方向に沿って配向し、パターン形成された偏光子を形成する。
【0061】
複屈折材料は配向層の配向を採用し、その方向に配向を固定できる、どんな材料でもよい。適切な材料は液晶ポリマー、反応性メソゲン材料および重合可能な液晶を含む。
【0062】
パターン形成された500nm波長の照射に対する半波長板を得るために、層7は、反応性メソゲン溶液を30秒間1650rpmでスピンコーティングすることによって付与される。結果として得られる装置は、例えば3分間85℃加熱され、どんな欠陥もアニール除去し、溶媒を蒸発させる。反応性メソゲン材料は、その光学軸をすぐ近くに隣接する下の配向層の配向方向に配向する。実質的に酸素のない(例えば窒素)雰囲気下、例えば、少なくとも5分間約0.5mW/cm2の照射強度で紫外光に露光することによって、その複屈折材料は重合され、図2(i)に図示される複屈折層8によってパターン形成されたリターダを提供する。
【0063】
上述したように、スピン速度、温度および時間は、例として与えられ、例えば異なる材料および異なる基板サイズの必要に応じて可変である。ロールコーティングおよびブレードコーティングを含む、他の公知のコーティング技術は、どちらか一方だけあるいは互いに組み合わせて用いら得る。また、ラビング処理条件および材料は、例えばどんな公知の技術をも含むように、可変であり得る。ある実施例において、第1のラビングはその効果を減少させるように軽く行われ得、第2のラビング方向を所望の第2の配向方向からオフセットする必要性を限定する。また、その前に使用されたラビング方向とは180°異なる方向にラビングすることによって、要求されるオフセット角度は低下され得る。例えば、第1のラビングを基準方向に対して+22.5°で行う前述の実施例においては、第2のラビング方向は、基準方向に対して−207.5°の方向で行われ得る。このように、実質的に反対方向へのラビングは、第1のラビングの影響を減少させるのを補助し得る。
【0064】
図4は、図2に図示される方法を用いて得られ得るパターンとパターンの形状サイズの2つの実施例を示す。図4(a)は、100マイクロメートルのオーダーのサイズを有するパターンを示す。しかしながら、その方法は、非常に微細な細部のパターン形成を可能にし、図4(b)は、10マイクロメートル以下のオーダーのサイズの形状を示す。
【0065】
上述したように、パターン形成されたリターダは、例えば、GB2296151、EP0721132、GB2317295およびEP0829744に開示されているような3次元タイプのディスプレイに用いられ得る。図5は、他の公知のタイプの偏光光源の一部とする、パターン形成されたリターダの、他の適用を示す。偏光光源は、小さな光源20として概略的に図示される非偏光を発光する構成を有する。光源20からの拡散光は、レンズアレイ21によってコリメートされて、偏光ビームスプリッタアレイ22に供給される。アレイ22は、偏光ビームスプリッタ23を有し、偏光ビームスプリッタ23のそれぞれは、パターン形成されたリターダ24のそれぞれの領域に沿って配列される。
【0066】
図5において、さらに詳細に拡大スケールで25に図示されるように、非偏光入射光26は、リターダ24の第1の領域28に沿って配向され、偏光ビームスプリッタ23のそれぞれの入射表面27に入射される。P偏光は、ビームスプリッタを通り抜けて、その光学軸が偏光方向に対して平行に配置される第1の領域28まで伝わる。リターダ24の第1の領域28は、それ故に、偏光状態には影響を与えず、P偏光29は、第1の領域28を通り過ぎる。
【0067】
S偏光は、それぞれの第1の領域28に対して配列される各ビームスプリッタ23に沿って反射され、30で図示される隣接のビームスプリッタによって再び反射される。それ故、S偏光は、光学軸がS偏光入射光の偏光方向に対して45°配向される第2のリターダ領域31に向けられる。第2の領域を通り抜ける光の偏光方向は、光学軸の回りに「回転」され、第2の領域31を通り抜ける光は32で図示されるようにP偏光されている。このように、ビームスプリッタアレイ22およびパターン形成されたリターダ24を通り抜ける光の実質的に全ては、100%P偏光の偏光として照射される。それ故に偏光光源は、非偏光光源20によって照射される光を効果的に使用する。オプショナルのブラックシールド35は、第2のリターダ領域31からビームスプリッタ23の反対表面に設けられ、光の直接通路を妨げる。
【0068】
図示されていないが、実質的に100%S偏光を与えるように、領域29と31は取り替えられても良い。偏光ビームスプリッタアレイは、公知のチルト化材料のスラブを切断および磨くことによっても作製され得る。この場合、内部表面33は存在しない。
【0069】
図6は、図2を参照して上述したパターン形成されたリターダの製造方法と同じ基本材料および技術を用いるが、処理工程が異なる順序を有する、パターン形成されたリターダの他の製造方法を示す。図6の(a)から(d)の工程は、それぞれ、実質的に図2(a)と図2(c)から図2(e)と同じである。しかしながら、図2(c)に図示されるラビング工程は、図6に図示される方法から省かれている。そのかわりに、第1のラビングは、ホトレジスト5によって形成されるマスクを介して行われ、図6(e)に図示されるラビング方向Aを有する領域を提供する。次にホトレジスト5は、例えば上述と同じ方法で、図6(f)に図示されるように除去される。次に層6全体が方向Bにラビングされる。このことにより、配向方向Bを有する、先にラビングされていない領域が生じる。一方、上述したような先にラビングされた領域のラビングの影響のために、方向Aに先にラビングされた領域は、Aとは異なる実質的な配向Cを有する。領域BおよびCの実質的な配向の差は、単に、第1のラビングの残余の影響から生じ、第2のラビングよりも第1のラビングを強く行うことが都合がよいであろう。
【0070】
【発明の効果】
上述したように、本発明によると、標準的な液晶装置の製造に適合する様式で、材料とホトリソグラフ技術とを用いるパターン形成されたリターダを製造する方法を提供することができる。また、平坦化層あるいは追加の層が必要とされない、平坦なリターダを提供することができる。
【0071】
また、機械的手段あるいは化学的エッチング方法を用いて、材料を選択的に除去させることによって提供されるパターン形成よりも、非常に微細な細部のパターン形成を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本願発明の実施例のパターン形成されたリターダの断面概略図、(b)は(a)のリターダの配向層の概略平面図である。
【図2】(a)から(i)は、図1(a)および(b)で図示されるパターン形成されたリターダの製造方法を示す図である。
【図3】(a)から(c)は、図2に図示される製造方法で用いられるラビング方向を示す図である。
【図4】(a)および(b)は、図2で図示される製造方法によって製造される、パターン形成されたリターダを示す図である。
【図5】偏光光源を提供するために、図1(a)および(b)のリターダの応用を示す図である。
【図6】(a)から(i)は、本発明の実施形態によるパターン形成されたリターダの他の製造方法を示す図である。
【符号の説明】
1 基板
2 層
2a 層
3 ホトレジスト
4 マスク
5 ホトレジスト
6 配向層
7 層
8 複屈折層
10 配向方向
11 配向方向
A 第1の領域
B 第2の領域
Claims (24)
- 基板に配向層を設ける工程と、
該配向層の表面全体を第1のラビング方向にラビングする第1ラビング工程と、
該配向層のラビングされた表面において、少なくとも1つの第1の領域をマスクを用いてマスクして、少なくとも1つの第2の領域を露出させるマスク工程と、
該第1のラビング方向とは異なる第2のラビング方向に、該マスクを通して該第2の領域をラビングする第2ラビング工程と、
その後に、該マスクを除去するマスク除去工程と、
その後に、光学軸が該配向層における前記第1および第2の各領域におけるラビング方向にのみ従って配向される構成の複屈折材料で形成される層を、該配向層上に設ける工程と、
該複屈折材料で形成される層の該光学軸を固定する工程と、
を包含し、
前記第1のラビング方向は前記第1の領域の第1の所望の配向方向と実質的に同じであり、前記第2のラビング方向は、前記第2の領域の第2の所望の配向方向とは異なり、前記第1のラビング方向の影響を補償するように該第2の所望の配向方向に対してオフセットしていることを特徴とする、パターン形成されたリターダの製造方法。 - 前記少なくとも1つの第1の領域は複数の第1の領域を含み、前記少なくとも1つの第2の領域は複数の第2の領域を含み、該第1の領域と該第2の領域とは、規則的な配列で配置されている、請求項1に記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記第1の領域と前記第2の領域は、交互に配置された、第1のストリップと、第2のストリップとを有する、請求項2に記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記第1のラビング方向と前記第2のラビング方向との間の角度が、前記第1の配向方向と前記第2の配向方向との間の角度よりも大きい、請求項1に記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記第1のラビング方向のラビングが、前記第2のラビング方向のラビングよりもラビング効果を減少させるように軽く行われる、請求項1から4のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記複屈折材料は重合可能材料あるいは架橋可能材料を有する、請求項1から5のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記複屈折材料は照射によって重合可能あるいは架橋可能であり、前記固定工程は前記複屈折材料で形成される層を露光する工程を包含する、請求項6に記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記複屈折材料で形成される層は紫外線によって露光される、請求項7に記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記複屈折材料は、熱重合あるいはカチオン重合によって重合可能である、請求項6に記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記複屈折材料で形成される層は、重合可能液晶材料を有する、請求項1から9のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記重合可能液晶材料は、液晶モノマーおよびオリゴマーのうちの少なくとも1つの物質を有する、請求項10に記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記複屈折材料で形成される層は、反応性メソゲンを有する、請求項1から11のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記複屈折材料で形成される層は、ジアクリレートを含む液晶材料を有する、請求項1から12のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記複屈折材料で形成される層は、2色性材料を有する、請求項1から13のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記2色性材料は、少なくとも1つの2色性染料を有する、請求項14に記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記マスク工程は、前記配向層上にホトリソグラフ技術で前記マスクを形成する工程を包含する、請求項1から15のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記マスク工程は、前記配向層上にあらかじめ形成されたマスクを前記マスクとして設ける工程を包含する、請求項1から15のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記配向層は、ポリイミド、ポリアミド、ポリビニルアセテートおよびポリビニルアルコールからなる群から選択される物質を有する、請求項1から17のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記基板が、偏光子を備える、請求項1から18のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記基板が、ガラス基板あるいはプラスチック基板である請求項1から19のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 前記マスク工程と、該マスク工程の後の前記第2ラビング工程および前記マスク除去工程が、前記配向層の表面における異なる領域に対して第2のラビング方向を異ならせて少なくとも1回繰り返される、請求項1から20のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法。
- 基板に配向層を設ける工程と、
該配向層の表面において、少なくとも1つの第1の領域をマスクを用いてマスクして、少なくとも1つの第2の領域を露出させるマスク工程と、
該マスクを通して該第2の領域を第1のラビング方向にラビングする工程と、
その後に、該マスクを除去する工程と、
その後に、該配向層全体を該第1のラビング方向とは異なる第2のラビング方向にラビングする工程と、
その後に、光学軸が該配向層の配向方向にのみ従って配向される構成の複屈折材料で形成される層を該配向層上に設ける工程と、
該配向層上に設けられた該複屈折材料から形成される層の光学軸を固定する工程とを包含し、
前記第2のラビング方向は前記第1の領域の第1の所望の配向方向と実質的に同じであり、しかも、前記第1のラビング方向の影響により前記第2の領域の第2の所望の配向方向になるように、前記第1のラビング方向とは異なっていることを特徴とする、パターン形成されたリターダの製造方法。 - 請求項1から22のいずれかに記載のパターン形成されたリターダの製造方法によって形成されたパターン形成されたリターダ。
- 光源を備える照明用光源であって、
第1の偏光ビームスプリッタと、該第1の偏光ビームスプリッタと対をなす第2の偏光ビームスプリッタと、請求項23に記載のリターダを備え、
第1の偏光ビームスプリッタは、前記配向層の第1の領域によって配向される複屈折材料層の第1の領域に向けて第1の偏光を透過するとともに、対をなす第2の偏光ビームスプリッタに向けて該第1の偏光に直交する第2の偏光を反射するように配置され、
前記第2の偏光スプリッタは、対をなす前記第1の偏光スプリッタにて反射された前記第2の偏光を、前記配向層の前記第2の領域によって配向される複屈折材料層の第2の領域に向けて反射するように配置され、該複屈折材料層の第1の領域および第2の領域は、前記第1および第2の偏光スプリッタのそれぞれからの偏光を該複屈折材料層の該第1の領域と該第2の領域を通り抜けることによって実質的に同じ偏光状態に変化させる、照明用光源。
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