JP3344651B2 - マスター情報担体を用いた磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

マスター情報担体を用いた磁気記録媒体の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】技術分野 本発明は、ディジタル情報信号を磁気記録媒体に静的一
括面記録するための、マスター情報担体を用いた磁気記
録媒体の製造方法に関する。
【0002】背景技術 現在、磁気記録再生装置は、小型でかつ大容量を実現す
るために、高記録密度化の傾向にある。代表的な磁気記
憶装置であるハードディスクドライブの分野において
は、すでに面記録密度3Gbit/in2を超える装置が商品化
されており、数年後には、10Gbit/in2の実用化が議論さ
れるほどの急激な技術進歩が認められる。
【0003】このような高記録密度化を可能とした技術
的背景としては、媒体性能、ヘッド・ディスクインター
フェース性能の向上やパーシャルレスポンス等の新規な
信号処理方式の出現による線記録密度の向上も大きな要
因である。しかしながら近年では、トラック密度の増加
傾向が線記録密度の増加傾向を大きく上回り、面記録密
度向上のための主たる要因となっている。これは、従来
の誘導型磁気ヘッドに比べてはるかに再生出力性能に優
れた磁気抵抗素子型ヘッドの実用化の寄与による。現
在、磁気抵抗素子型ヘッドの実用化により、わずか数μ
m以下のトラック幅の信号をS/N良く再生することが可
能となっている。一方、今後さらなるヘッド性能の向上
にともない、近い将来にはトラックピッチがサブミクロ
ン領域に達するものと予想されている。
【0004】さて、ヘッドがこのような狭トラックを正
確に走査し、信号をS/N良く再生するためには、ヘッ
ドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果たしてい
る。現在のハードディスクドライブでは、ディスクの1
周、すなわち角度にして360度中において、一定の角度
間隔でトラッキング用サーボ信号やアドレス情報信号、
再生クロック信号等が記録された領域を設けている(以
下、このような信号を記録することを「プリフォーマッ
ト」と称する)。磁気ヘッドは、一定間隔でこれらの信
号を再生することにより、ヘッドの位置を確認、修正し
ながら正確にトラック上を走査することができるのであ
る。
【0005】既述のトラッキング用サーボ信号やアドレ
ス情報信号、再生クロック信号等は、ヘッドが正確にト
ラック上を走査するための基準信号となるものであるの
で、その記録時には、正確な位置決め精度が要求され
る。現在のハードディスクドライブでは、ディスクをド
ライブに組み込んだ後、専用のサーボ記録装置を用いて
厳密に位置制御された磁気ヘッドによりプリフォーマッ
ト記録が行われている。
【0006】従来より、上記のような専用のサーボ記録
装置を用いた磁気ヘッドによるサーボ信号やアドレス情
報信号、再生クロック信号のプリフォーマット記録にお
いては、以下のような課題があった。
【0007】まず第1に、磁気ヘッドによる記録は、基
本的にヘッドと媒体との相対移動に基づく線記録であ
る。このため、専用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッ
ドを厳密に位置制御しながら記録を行う上記の方法で
は、プリフォーマット記録に多くの時間を要するととも
に、専用のサーボ記録装置が相当に高価であることにも
起因して、非常にコスト高となる。
【0008】第2に、ヘッド・媒体間スペーシングや記
録ヘッドのポール形状による記録磁界の広がりのため、
プリフォーマット記録されたトラック端部の磁化遷移が
急峻性に欠けるという点がある。現在のトラッキングサ
ーボ技術は、ヘッドがトラックを外れて走査した際の再
生出力の変化量によって、ヘッドの位置検出を行うもの
である。従って、プリフォーマット記録された信号トラ
ックには、ヘッドがトラックを外れて走査した際の再生
出力変化量、すなわちオフトラック特性が急峻であるこ
とが要求される。上記の記録磁界の広がりはこの要求に
反するものであり、今後のサブミクロントラック記録に
おける正確なトラッキングサーボ技術の実現を困難なも
のとしている。
【0009】上記のような磁界ヘッドによるプリフォー
マット記録の課題を解決する手段として、本発明者ら
は、例えば特開平10−40544号公報において、情
報信号配列に対応する形状パターンが非磁性基体の表面
に堆積された強磁性材料のパターン配列により備えられ
たマスター情報担体表面を磁気記録媒体の表面に接触さ
せることにより、マスター情報担体表面の強磁性材料の
パターン配列に対応する磁化パターンを磁気記録媒体に
記録することを主旨とする磁気記録技術を提案してい
る。
【0010】特開平10−40544号公報に開示され
た構成においては、一方向に磁化されたマスター情報担
体表面の強磁性材料より発生する記録磁界により、磁気
記録媒体には、マスター情報担体の強磁性材料のパター
ン配列に対応した磁化パターンが記録される。すなわ
ち、マスター情報担体表面に、トラッキング用サーボ信
号やアドレス情報信号、再生クロック信号等に対応する
強磁性材料のパターン配列を形成することにより、磁気
記録媒体上にはこれらに対応するプリフォーマット記録
を行うことができる。
【0011】従来の磁気ヘッドによる記録が、基本的に
ヘッドと媒体との相対移動に基づく動的線記録であるの
に対し、上記構成の特徴は、マスター情報担体と媒体と
の相対移動を伴わない静的な一括面記録であるというこ
とである。このような特徴により、特開平10−405
44号公報に開示された磁気記録技術は、既述のプリフ
ォーマット記録に関わる課題に対して、下記のような極
めて有効な効果を発揮することができる。
【0012】第1に、面記録であるため、プリフォーマ
ット記録に要する時間は、従来の磁気ヘッドによる記録
方法に比べて、非常に短い。また、磁気ヘッドを厳密に
位置制御しながら記録を行うための高価なサーボ記録装
置も不要である。従って、プリフォーマット記録に関わ
る生産性を大幅に向上できるばかりか、生産コストを低
減することもできる。
【0013】第2に、マスター情報担体と媒体との相対
移動を伴わない静的記録であるため、マスター情報担体
表面と磁気記録媒体表面を密着させることにより、記録
時の両者間のスペーシングを最小限にすることができ
る。さらに、磁気ヘッドによる記録のように、記録ヘッ
ドのポール形状による記録磁界の広がりを生じることも
ない。このため、プリフォーマット記録されたトラック
端部の磁化遷移は、従来の磁気ヘッドによる記録に比べ
て、優れた急峻性を有し、より正確なトラッキングが可
能となる。
【0014】一方、特開平10−40544号公報に開
示された磁気記録技術においては、未だ、十分に磁気記
録性能に優れた構成が実現されているとは言い難い。
【0015】例えば、特開平10−40544号公報に
開示された磁気記録技術では、マスター情報担体表面の
強磁性材料の磁気特性が、磁気記録性能に大きく影響す
る。特開平10−40544号公報には、同出願時点で
明らかにされた範囲において、同磁気記録技術に適した
強磁性材料の磁気特性についてある程度の開示がされて
いる。しかしながら、未だ同磁気記録技術の記録性能を
最大限ならしめることが可能な、特に好ましい磁気特性
を明らかにするには至っていない。
【0016】特開平10−40544号公報に開示され
た磁気記録技術は、従来技術とはまったく異なる磁気記
録機構を有する新規な磁気記録技術であって、従来の公
知技術からの類推によって、磁気記録性能に優れたマス
ター情報担体を用いた好ましい磁気記録方法を明らかに
することは困難である。
【0017】従って同磁気記録技術においては十分な実
験検証によって、その磁気記録機構を明らかにすること
が必要であり、これに基づいて磁気記録性能に優れたマ
スター情報担体を用いた磁気記録媒体の製造方法を実現
することが早期に求められている。
【0018】発明の開示 本発明は以上の課題に鑑み、十分に磁気記録性能に優れ
たマスター情報担体を用いた好ましい磁気記録媒体の製
造方法を提供することを目的とするものである。
【0019】本発明者らは、特開平10−40544号
公報に開示された内容を主旨とする磁気記録技術につい
て鋭意検討を行い、同技術の磁気記録性能に関わる機構
を明らかにするとともに、より優れた記録性能を得るこ
とのできるマスター情報担体を用いた磁気記録媒体の製
造方法を実現するに至った。
【0020】
【0021】以上を実現するために、マスター情報担体
を用いた本発明の磁気記録媒体の製造方法は、情報信号
配列に対応する形状パターンが非磁性基体の表面に堆積
された強磁性薄膜の配列により設けられたマスター情報
担体を磁気記録媒体表面に密接し、強磁性薄膜を励磁す
るための直流励磁磁界を印加することによって情報信号
配列に対応する磁化情報を磁気記録媒体に記録する工程
を有する磁気記録媒体の製造方法であって、直流励磁磁
界を取り除いた後に強磁性薄膜に残留する磁化が磁気記
録媒体の保磁力よりも大きくなるように前記直流励磁磁
界を印加することを特徴とする。好ましくは、直流励磁
磁界の大きさは磁気記録媒体の保磁力以下の値である。
また、直流励磁磁界の大きさは、好ましくは、強磁性薄
膜の飽和磁界よりも小さいことを特徴とする。
【0022】以上の構成により、本発明によれば、特開
平10−40544号公報に開示された内容を主旨とす
る磁気記録技術において、より磁気記録性能に優れたマ
スター情報担体を用いた磁気記録媒体の製造方法を提供
することができる。
【0023】発明を実施するための最良の形態 以下に、本発明のマスター情報担体を用いた磁気記録媒
体の製造方法の実施の形態例について、磁気ディスク媒
体を例にとって、その磁気記録機構に関わる作用ととも
に詳細に説明する。
【0024】まず、本発明のマスター情報担体表面の一
構成例を図1に示す。図1は、例えば、円盤状非磁性基
体の周方向2(すなわちトラック長さ方向)において一
定角度毎に設けられるプリフォーマット領域における情
報信号配列パターンを、基体の径方向3(すなわちトラ
ック幅方向)に3トラック分のみ示したものであり、ハ
ッチングを施した長方形部分が強磁性薄膜1により構成
されている。実際のマスター情報担体表面には、マスタ
ー情報信号(プリフォーマット信号)が記録される磁気
ディスク媒体の記録領域に対応して、基体の周方向2に
おいては一定角度毎に連続的あるいは断続的に、かつ基
体の径方向3にはすべての記録トラック領域に渡って、
図1に例示したような情報信号配列パターンが形成され
ている。上記のような強磁性薄膜による情報信号配列パ
ターンは、種々のリソグラフィ技術を用いて作成され
る。
【0025】なお、図1においては強磁性薄膜1の平面
形状はすべて長方形としているが、実際にはこれに限ら
れたものではなく、用途に応じて様々な形状をとること
が可能である。
【0026】マスター情報担体の非磁性基体は、通常、
信号記録される磁気ディスク媒体の形状に対応させて円
盤形状とする。磁気ディスク媒体の径と円盤状非磁性基
体との径を一致させる必要は必ずしもない。実施の形態
例に応じて、非磁性基体の径が磁気ディスク媒体の径よ
りも小さい、あるいは逆に大きい構成としても差し支え
はない。また、マスター情報担体の円盤状非磁性基板
は、完全に円形でなくてもよい。例えば、円周状の一部
に弦状のフラット部分(オリエンテーションフラットと
称する)や楔状の切欠き部分(ノッチと称する)が設け
られた形状としても差し支えない。これらは、前述のリ
ソグラフィプロセスや後述の記録プロセスにおいて、マ
スター情報担体の方向や位置を決定するための基準とし
て用いることができる。
【0027】図2、図3には、図1に示した一点鎖線I
−I線における本発明のマスター情報担体を矢印方向に
見たときの断面の構成例を示す。なお、一点鎖線I−I
は円盤状非磁性基体の周方向2に対応しており、ディジ
タル情報信号配列のビット長さ方向に相当し、同時にこ
れはトラック長さ方向にも相当する。本発明のマスター
情報担体は、図2に示すように非磁性基体4の表面上に
強磁性薄膜1よりなるパターン形状が凸状に配列された
構成でも良いし、図3に示すように非磁性基体4の表層
部に強磁性薄膜1よりなるパターン形状が埋め込まれて
配列された構成でも良いが、マスター情報担体の耐久
性、あるいは長寿命化の観点からは図3の構成がより優
れている。
【0028】本発明のマスター情報担体は、強磁性薄膜
を励磁するための直流励磁磁界Hexを情報信号配列のビ
ット長さ方向(トラック長さ方向)に印加することによ
って、強磁性薄膜パターンの配列に対応した磁束の流れ
を発生する。直流励磁磁界は、永久磁石もしくは電磁石
をマスター情報担体に近接して移動させることにより印
加することができる。図2、図3には、このような磁束
の流れの様子を、概略、矢印によって示している。さて
磁気ディスク媒体表面がマスター情報担体表面に密接さ
れた状態で直流励磁磁界Hexを印加すると、強磁性薄膜
パターン配列に対応する磁気抵抗変化によってマスター
情報担体表面に漏洩する磁束が記録磁界として作用し、
強磁性薄膜パターンの配列に対応する磁化情報を磁気デ
ィスク媒体に記録することができる。
【0029】図4は、本発明のマスター情報担体の一実
施例において、直流励磁磁界Hexの印加に伴うマスター
情報担体の磁化過程を模式的に示したものである。なお
図4では、強磁性薄膜1の磁化の変化を示すのではな
く、図2、図3に示すように、マスター情報担体表面に
おいて強磁性薄膜1が存在する部分の直上における記録
磁界をHa、強磁性薄膜1が存在しない部分の直上におけ
る記録磁界をHbとし、Ha、Hbが直流励磁磁界Hexの変化
ともに変化する様子を示している。
【0030】図4において、マスター情報担体表面の強
磁性薄膜は、予め中性点に消磁されており、初期磁化は
0であるものとする。まず強磁性薄膜1が存在する部分
の直上における記録磁界Haは、直流励磁磁界Hexを増加
してもHsで示したある一定値までは、ほぼ0のままであ
る。ここで、Hsは強磁性薄膜1が磁気飽和に達する値で
あり、飽和磁界と呼ばれる。このようなHaの挙動は、軟
質磁性もしくは半硬質磁性を有する強磁性薄膜1がシー
ルド膜としての働きをすることに起因する。すなわち、
直流励磁磁界Hexの印加によるマスター情報担体の表面
磁束は、透磁率の小さい強磁性薄膜1の表面直上を通過
することなく、透磁率の高い強磁性薄膜1の内部を選択
的に通過することによる。一方、直流励磁磁界HexがHs
に達すると、強磁性薄膜1は磁気飽和に達し、強磁性薄
膜1の内部にはこれ以上の磁束が流入することができな
くなる。このため、直流励磁磁界HexがHsよりも大きい
領域においては、Haは、直流励磁磁界Hexの増加分だけ
増加していくことになる。直流励磁磁界Hexを減少させ
ていった場合のHaの変化は、直流励磁磁界Hexを増加さ
せていった場合の変化と可逆的である。
【0031】次に、強磁性薄膜1が存在しない部分の直
上における記録磁界Hbは、直流励磁磁界Hexの増加とと
もに速やかに増加する。これは、直流励磁磁界Hexの印
加によって強磁性薄膜1が磁化され、その両端から漏洩
する磁束が急激に増加するためである。一方、直流励磁
磁界HexがHsに達すると、強磁性薄膜1の自発磁化に起
因するHb増加はもはやなくなってしまうため、Hbは直流
励磁磁界Hexの増加分だけ増加していくことになる。一
方、直流励磁磁界Hexを減少させていった場合のHbの変
化はHaのように可逆的ではなく、直流励磁磁界Hexを0
に戻しても0とはならない。これは、強磁性薄膜1の磁
化過程がヒステリシスを有することに起因するものであ
って、直流励磁磁界Hexを0に戻した時のHbの値は、強
磁性薄膜の残留磁化Mrの値に対応して変化する。
【0032】このような磁化過程の特徴を有する本発明
のマスター情報担体表面を磁気ディスク媒体表面に密接
し、適当な値(例えば、図4に示されるHcの値)の直流
励磁磁界Hexを印加すると、強磁性薄膜が存在する部分
の直上における記録磁界Haを0もしくは非常に小さい値
とする一方で、強磁性薄膜が存在しない部分の真上にお
ける記録磁界Hbのみを選択的に磁気ディスク媒体の保磁
力Hcよりもはるかに大きく増加させることができる。こ
れにより、磁気ディスク媒体上には、強磁性薄膜が存在
する部分の直上には磁化変化を与えずに、強磁性薄膜が
存在しない部分の直上にのみ記録磁界Hbによって飽和磁
化反転を生じさせることができ、強磁性薄膜のパターン
配列に対応する信号記録が行われることになる。この
際、マスター情報担体表面と磁気ディスク媒体表面とを
密接させるに先立って、Hbとは逆極性の直流磁界によっ
て磁気ディスク媒体を予め周方向に一様に直流磁界消去
しておけば、磁気ディスク媒体には、強磁性薄膜が存在
する部分の直上部分と強磁性薄膜が存在しない部分の直
上部分とを互いに逆極性に飽和記録することが可能とな
るので、より好ましい。
【0033】本発明のマスター情報担体を用いて上記の
ような記録機構を実現し、十分な記録性能を得るために
は、強磁性薄膜1がシールド膜としての機能を有するこ
とが必要である。従って、磁気ディスク媒体に用いられ
るような硬質磁性材料を強磁性薄膜1として用いること
は好ましくない。本発明者らの検討結果によれば、周方
向の保磁力が40kA/m程度以下の軟質磁性、もしくは半硬
質磁性を有する強磁性薄膜を用いることにより、上記の
ような磁気記録機構を実現することができる。
【0034】本発明の磁気記録媒体の製造方法において
は、記録が行われる際に印加されるHex値においてHb
磁気ディスク媒体保磁力Hcよりも大きいことが必要であ
る。既述のように記録磁界Hbは、強磁性薄膜の自発磁化
に起因して発生するものであるので、強磁性薄膜はその
飽和磁化Msが磁気ディスク媒体保磁力Hcに比して十分に
大きいことが必要である。
【0035】加えて、本発明の磁気記録媒体の製造方法
において良好な磁気記録特性を得るためには、Hexを0
に戻した際のHbが、信号記録される磁気ディスク媒体の
保磁力Hcよりも大きいことが必要である。既述したよう
にHexを0に戻した際のHbの値は残留磁化Mrの値に対応
して変化する。一方、軟質磁性薄膜や半硬質磁性薄膜で
は一般に、保磁力の値が大きいほど残留磁化Mrの値も大
きくなる。従って上記の要求事項は、換言すれば、磁気
ディスク媒体の保磁力Hcを超える程度の残留磁化Mrを与
えるよう、一定値以上の保磁力が強磁性薄膜1において
必要であるということを意味する。
【0036】磁気ディスク媒体への記録過程は、直流励
磁磁界Hexを0に戻した後、マスター情報担体を磁気デ
ィスク媒体表面から取り外すことによって完了する。こ
の間、Hex以外の予期しない外乱磁界によって強磁性薄
膜1の磁化が変動した場合には、これによって磁気ディ
スク媒体が再記録されたり、あるいは局所的に減磁され
たりするために適切に信号記録が完了されない場合があ
る。一方、Hexを0に戻した際のHbを、磁気ディスク媒
体の保磁力Hcよりも大きくすることによって、マスター
情報担体は直流励磁磁界Hexを0に戻した後、磁気ディ
スク媒体表面から取り除かれるまでの間においても磁気
ディスク媒体に安定な磁化状態を与えることができるの
で、上述のような再記録や局所的な減磁を生じること無
く、適切に信号記録を完了することができる。
【0037】上記のように適切に記録過程を完了するた
めに、本発明のマスター情報担体を構成する強磁性薄膜
では、一定値以上の保磁力を与えることによって、その
残留磁化Mrを少なくとも磁気ディスク媒体の保磁力Hc
りも大きな値とする。例えば、信号記録される磁気ディ
スク媒体の保磁力Hcが200kA/mであれば、強磁性材料は
残留磁化Mrが200kA/m以上となるよう一定値以上の保磁
力を有する構成とすればよい。ただし、強磁性薄膜がシ
ールド膜としての機能を維持するためには、その保磁力
を40kA/mを超えない範囲で適切に設定するよう留意を要
する。
【0038】本発明の磁気記録媒体の製造方法において
印加される直流励磁磁界Hexは、磁気ディスク媒体の保
磁力Hc以下の値とする。本発明の磁気記録媒体の製造方
法によれば、直流励磁磁界Hexは本来、マスター情報担
体を構成する強磁性薄膜1の近傍にのみ印加されれば良
い。しかしながら、永久磁石や電磁石などを用いた一般
的な印加方法においては、実際にはこのような局所的な
直流励磁磁界の印加は困難であり、強磁性薄膜1および
磁気ディスク媒体磁性層、さらにこれらが堆積されてい
る基体などをも包含する広範囲な領域に一様に印加され
るのが通常である。
【0039】この際、強磁性薄膜のパターン形状によっ
ては、そのシールド効果が必ずしも十分でないために、
強磁性薄膜が存在する部分の直上においても局所的に一
定の記録磁界が磁気ディスク媒体磁性層に印加される場
合がある。このような場合において、直流励磁磁界Hex
を磁気ディスク媒体保磁力Hcを超えて大きくすると、予
め直流磁界消去された磁気ディスク媒体磁性層を、強磁
性薄膜が存在する部分の直上においても局所的に減磁も
しくは磁化反転させてしまう恐れがある。
【0040】一例として、磁気ディスク媒体磁性層の層
厚に比して強磁性薄膜のシールド効果が十分でない場合
には、磁気ディスク媒体磁性層の深層部(基体側)にま
で強磁性薄膜のシールド効果を及ぼすことは困難であ
る。この場合、磁気ディスク媒体磁性層の深層部には、
直接直流励磁磁界が印加されることになるので、強磁性
薄膜が存在する部分の真上においても、局所的な減磁や
磁化反転の発生を余儀なくされる。
【0041】また、磁気ディスク媒体は通常、基体の両
面に磁性層を備えて各々の面に信号記録できる構成を備
えている。しかしながら、本発明の磁気記録媒体の製造
方法を用いて片面側に信号記録を行う場合に、もう一方
の面側の磁性層にまで強磁性薄膜のシールド効果を及ぼ
すことは困難である。この場合、片面に信号記録を行う
際に、もう一方の面にもしかるべき情報信号パターンを
備えたマスター情報担体を密接しておくことにより、両
面の磁性層に対して十分なシールド効果を発揮すること
が可能である。しかしながら実施の形態例によっては、
信号記録を行う装置の構成上、磁気ディスク媒体の両面
にマスター情報担体を密接して記録を行うことが困難な
場合もあり、マスター情報担体が密接されない側の磁性
層において一定の減磁や磁化反転を余儀なくされる場合
もある。
【0042】このような不十分なシールド効果に起因す
る局所的な減磁や磁化反転を防止するという観点から、
直流励磁磁界Hexの大きさは磁気ディスク媒体保磁力Hc
を超えない範囲とすることが必要である。マスター情報
担体は、この範囲の大きさの直流励磁磁界において十分
に大きいHbを発生することのできる特性を有することが
好ましい。
【0043】以上のような好ましい磁気特性を有する強
磁性薄膜用材料として、例えばCo膜、Fe膜、Ni−
Fe合金膜などを用いることができる。一実施例では、
スパッタ法により堆積されたCo膜を用い、直流励磁磁
界120kA/mを印加して保磁力180kA/mの磁気ディスク媒体
に記録を行ったところ、非常に良好な記録特性が確認さ
れた。この際に強磁性薄膜として用いられたCo膜の飽
和磁化Msは約1400kA/m、残留磁化Mrは約1100kA/mと見積
もられ、磁気ディスク媒体の保磁力に比して十分に大き
いことが確認された。
【0044】図5は、本発明のマスター情報担体の別の
一実施例において、直流励磁磁界Hexの印加に伴うマス
ター情報担体の磁化過程を図4と同様に模式的に示した
ものである。
【0045】図5に示した例においては、図4の例とは
異なり、HsがHcよりも小さくなっている。この場合、直
流励磁磁界HexをHs以上Hc以下の範囲の大きさとして信
号品質に優れた記録を行うことも可能ではあるが、強磁
性薄膜の磁気飽和に伴うHaの増加によって強磁性薄膜が
存在する部分の直上において、予め直流磁界消去された
磁気ディスク媒体磁性層に減磁を生じさせてしまう可能
性がある。あるいは減磁を生じない程度にHaが小さい場
合においても、強磁性薄膜の磁気飽和によって、強磁性
薄膜が存在する部分と存在しない部分の境界における記
録磁界Hbの勾配が小さくなるため、磁気ディスク媒体に
記録された磁化パターンにおいて磁化遷移幅が増加す
る。いずれの場合においても、記録された磁化パターン
より再生される信号品質はさらに改善される余地を残し
ていることになる。
【0046】従って図5に示すような磁化過程の特徴を
有する場合、直流励磁磁界Hexの大きさは、磁気ディス
ク媒体保磁力Hc以下の値とするばかりでなく、強磁性薄
膜を飽和させないよう、飽和磁界Hsよりも小さい値とす
ることがより好ましい。
【0047】一方、図6には、図4、図5に例示した本
発明のマスター情報担体の磁化過程に対する比較例とし
て、本発明の構成には合致しない構成を有するマスター
情報担体の磁化過程の一例を、図4、図5と同様に模式
的に示した。本発明者らの検討結果によれば、図6に例
示したような磁化過程を有するマスター情報担体は、本
発明の構成を有するマスター情報担体に比べて著しく記
録性能に劣り、好ましくないことが明らかになってい
る。
【0048】図6に示した構成ではまず、本発明のマス
ター情報担体に比べて強磁性薄膜の飽和磁化Msが著しく
小さい。図6によれば、強磁性薄膜の飽和磁界Hsに相当
する直流励磁磁界を印加した場合においても、記録磁界
Hbはなお磁気ディスク媒体の保磁力Hcよりも小さい。こ
のような小さい記録磁界Hbによっては、予め直流磁界消
去された磁気ディスク媒体磁性層に磁化反転を生じさせ
ることは困難である。
【0049】図6に示す磁化過程の特徴を有するマスタ
ー情報担体においても、磁気ディスク媒体保磁力Hc程度
の直流励磁磁界Hexを印加することにより、マスター情
報担体上に備えられた形状パターンに対応する磁化パタ
ーンを記録することは可能である。例えば、Hcに等しい
直流励磁磁界Hexを印加した場合、図6によれば、HbがH
c以上となる一方で、HaはHc以下の値となっている。従
って、予め直流磁界消去された磁気ディスク媒体磁性層
上に同Hex値を用いて記録を行えば、強磁性薄膜が存在
する部分と存在しない部分各々の直上において互いに極
性が異なる磁化パターンが残留することになる。しかし
ながら、その記録機構は本発明の記録機構とはまったく
異なる。
【0050】すなわち、本発明の記録機構における記録
磁界Hbは、強磁性薄膜の自発磁化に起因して発生し、磁
気ディスク媒体保磁力Hcに比して十分に大きな値が得ら
れるので、磁気ディスク媒体に飽和磁化反転を生じさせ
ることができる。これに対して、図6に示す構成例にお
ける記録磁界Hbには、強磁性薄膜の自発磁化よりはむし
ろ直流励磁磁界Hexによる寄与が大きく、HbをHcに比し
て十分に大きくすることはできない。さらに、本発明の
記録機構ではHaを0とすることにより、強磁性薄膜が存
在する部分の直上の磁性層には磁化変化を与えずに飽和
記録することが可能であるが、図6の構成では一定のHa
の発生を余儀なくされ、強磁性薄膜が存在する部分の真
上の磁性層を大きく減磁してしまうことになる。従っ
て、図6の構成で記録された信号の品質は、本発明の構
成に比べて著しく劣化することは明らかである。
【0051】また既述したように、本発明の磁気記録媒
体の製造方法において良好な磁気記録特性を得るために
は、Hexを0に戻した際のHbが、信号記録される磁気デ
ィスク媒体の保磁力Hcよりも大きいことが必要である。
これに対して図6の構成では、Hexを0に戻した際のHb
が、Hcよりも著しく小さい。この場合、仮に強磁性薄膜
の飽和磁化MsがHcに比して十分に大きい構成であったと
しても、マスター情報担体は直流励磁磁界Hexを0に戻
した後、磁気ディスク媒体表面から取り除かれるまでの
間において磁気ディスク媒体に安定な磁化状態を与え続
けることができないので、再記録や局所的な減磁といっ
た問題を生じやすく、安定な信号記録が行われにくい。
【0052】さて既述したように、本発明の磁気記録媒
体の製造方法は、強磁性薄膜の自発磁化に起因する記録
磁界Hbによって磁気記録媒体に磁化反転を生じさせるも
のである。Hbの大きさは強磁性薄膜の自発磁化に起因す
るものであるので、磁気記録媒体に対して十分な記録性
能を実現するためには、強磁性薄膜の飽和磁化Msが、磁
気記録媒体保磁力Hcに比して大きいほど好ましい。本発
明者らの検討によれば、本発明の磁気記録媒体の製造方
法によって飽和記録が可能な十分な記録性能を得るため
には、好ましくは、強磁性薄膜の飽和磁化Msを磁気記録
媒体保磁力Hcの3倍以上とする。例えば、信号記録され
る磁気ディスク媒体の保磁力Hcが200kA/mであれば、強
磁性材料の飽和磁化Msを600kA/m以上とすることによ
り、確実に飽和記録が可能な十分な記録性能を得る。
【0053】一方、強磁性薄膜は飽和磁化Msが高いばか
りでなく、Hexの増加とともに速やかにHc を超えて磁化
される必要がある。Hexの印加によって速やかに磁化さ
れるほど低Hexで飽和記録できるので、例えば既述した
ような不十分なシールド効果に起因する局所的な減磁と
いった現象をより完全に防止することができる。このよ
うな観点から、好ましくは強磁性薄膜において、マスタ
ー情報担体の基体周方向における比透磁率を100以上と
する。マスター情報担体の基体周方向とは、磁気ディス
ク媒体に記録されるディジタル情報信号のビット長さ方
向であり、かつトラック長さ方向にも一致する。
【0054】強磁性薄膜の磁気異方性制御も、マスター
情報担体の記録性能を向上する上で重要かつ効果的であ
る。上述のように、強磁性薄膜においてはマスター情報
担体の基体周方向、すなわち磁気ディスク媒体のトラッ
ク長さ方向における透磁率が高い方がHexの印加によっ
て速やかに磁化されるので好ましい。このためには、強
磁性薄膜は、膜面内において磁化容易軸を有するほう
が、膜厚方向(すなわち膜面に垂直方向)に磁化容易軸
を有するよりも好ましい。さらに、膜面内においては、
基体の周方向(すなわち磁気ディスク媒体のトラック長
さ方向)に磁化容易軸を有し、基体の径方向(磁気ディ
スクのトラック幅方向)に磁化困難軸を有することが好
ましい。
【0055】参考のために、同様に磁気記録媒体に信号
記録を行う素子である磁気ヘッドに用いられる強磁性薄
膜においては磁気異方性制御は上記とは逆であって、磁
気記録媒体のトラック長さ方向が磁化困難軸、トラック
幅方向が磁化容易軸となるよう磁気異方性制御を行う場
合が多い。これは、例えば初透磁率のように極低磁界領
域における透磁率が、磁化容易軸方向よりも磁化困難軸
方向において大きいためである。すなわち、磁気記録媒
体に記録された信号を再生する過程においては、磁気ヘ
ッドが検出する磁気記録媒体表面からの漏洩磁界は、A/
mオーダー以下の小さい値であるため、磁化困難軸方向
において動作させた方が透磁率が高く、ヘッド感度も高
くなる。
【0056】一方、本発明の磁気記録媒体の製造方法に
おいて印加される直流励磁磁界Hexは、多くの場合、数1
0kA/mから100kA/mオーダーの比較的大きな値である。従
って、この磁界領域においては、磁化困難軸方向よりも
磁化容易軸方向において動作させた方が透磁率が大き
く、マスター情報担体の記録感度も向上することになっ
ている。この点、本発明の磁気記録媒体の製造方法にお
いては、従来の公知技術からの類推によって強磁性薄膜
に求められる好ましい磁気特性を明らかにすることはで
きないことを示す良い例であり、十分な留意を要する。
【0057】上記のような基体面内における磁気異方性
制御を行うことにより好ましい記録特性を得ることので
きる強磁性薄膜用材料としては、例えば、Fe−Al−
Si、Fe−Ta−C、Fe−Hf−Al−NなどのF
e基の多結晶合金膜を使用することができる。一実施例
においては、Fe−Ta−Nを主成分とする多結晶膜を
使用した。
【0058】また、強磁性薄膜には、マスター情報担体
の基体面内において等方的な磁気特性を有する軟質磁性
膜を用いることもできる。例えば、Co−Ta−Zr、
Co−Nb−Zrなどを主成分とするCo基の非晶質膜
は、基体面内において等方的に優れた高透磁率特性を実
現することができ、本発明のマスター情報担体を構成す
る強磁性薄膜用材料として適している。一実施例におい
ては、Co−Ta−Zrを主成分とする非晶質膜を使用
した。
【0059】以上、本発明の実施の形態例について記述
したが、本発明の構成は、様々な実施形態への応用が可
能である。例えば本明細書では、主にハードディスクド
ライブに搭載される磁気ディスク媒体に応用することに
主眼をおいて記述を行ったが、本発明はこれに限られる
ものではなく、フレキシブル磁気ディスクにも応用可能
であり、同様に本発明の効果を得ることができる。
【0060】また、磁気ディスクに限らず、磁気テー
プ、磁気カードなどの形態の異なる磁気記録媒体への情
報信号記録にも応用可能である。この場合、マスター情
報担体を構成する非磁性基体は円盤状ではなく、テープ
状、シート状など、磁気記録媒体の形態に応じた形態と
する。同時に、上記の説明における「周方向」を記録さ
れる情報信号のトラック長さ方向と、「径方向」をトラ
ック幅方向と、それぞれ読み替えて上記の実施の形態を
適用する。以上によって、これらの磁気記録媒体におい
ても、磁気ディスクと同様に本発明の効果を得ることが
できる。
【0061】また、記録される情報信号に関しては、ト
ラッキング用サーボ信号やアドレス情報信号、再生クロ
ック信号等のプリフォーマット信号に主眼をおいて記述
を行ったが、本発明の構成が応用可能な情報信号も、上
記に限られたものではない。例えば、本発明の構成を用
いて様々なデータ信号やオーディオ、ビデオ信号の記録
を行うことも原理的に可能である。この場合には、本発
明のマスター情報担体とこれを用いた磁気記録媒体への
記録技術によって、ソフトディスク媒体の大量複写生産
を行うことができ、安価に提供することが可能である。
【0062】以上に説明した実施の形態は、いずれもあ
くまでも本発明の技術的内容を明らかにする意図のもの
であって、本発明はこのような具体例にのみ限定して解
釈されるものではなく、その発明の精神と請求の範囲に
記載する範囲内でいろいろと変更して実施することがで
き、本発明を広義に解釈すべきである。 [図面の簡単な説明] 図1は、本発明のマスター情報担体表面の構成例を示す
部分拡大図である。図2は、本発明のマスター情報担体
の基体周方向における断面の一構成例を示す部分拡大断
面図である。図3は、本発明のマスター情報担体の基体
周方向における断面の別の構成例を示す部分拡大断面図
である。図4は、本発明のマスター情報担体の磁化過程
の一例を示す図である。図5は、本発明のマスター情報
担体の磁化過程の別の一例を示す図である。図6は、本
発明の構成を有しないマスター情報担体の磁化過程の一
例を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮田 敬三 大阪府守口市八雲北町2丁目26番3号 松下電器松雲寮409号 (72)発明者 東間 清和 大阪府枚方市伊加賀西町82番16号 (56)参考文献 特開 平10−40544(JP,A) 特開 昭57−109134(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 5/84 - 5/86

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 情報信号配列に対応する形状パターンが
    非磁性基体の表面に堆積された強磁性薄膜の配列により
    設けられたマスター情報担体を磁気記録媒体表面に密接
    し、前記強磁性薄膜を励磁するための直流励磁磁界を印
    加することによって前記情報信号配列に対応する磁化情
    報を前記磁気記録媒体に記録する工程を有する磁気記録
    媒体の製造方法であって、前記直流励磁磁界を取り除い
    た後に前記強磁性薄膜に残留する磁化が前記磁気記録媒
    体の保磁力よりも大きくなるように前記直流励磁磁界を
    印加することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記直流励磁磁界の大きさは前記磁気記
    録媒体の保磁力以下の値であることを特徴とする請求項
    1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
  3. 【請求項3】 印加される直流励磁磁界の大きさは、強
    磁性薄膜の飽和磁界よりも小さいことを特徴とする請求
    項2記載の磁気記録媒体の製造方法。
  4. 【請求項4】 マスター情報担体を磁気記録媒体表面に
    密接するに先立って、予め前記磁気記録媒体を前記情報
    信号のトラック長さ方向に一様に直流磁界消去しておく
    ことを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体の製造方
    法。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載の磁気記
    録媒体の製造方法であって、前記磁気記録媒体が円盤状
    の磁気ディスク媒体であって、前記情報信号のトラック
    長さ方向が前記磁気ディスク媒体の周方向であることを
    特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
  6. 【請求項6】 請求項1〜4のいずれかに記載の磁気記
    録媒体の製造方法であって、前記磁気記録媒体は、フレ
    キシブル磁気ディスク、磁気テープ、または、磁気カー
    ドであることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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