JP2757324B2 - アルミナの炭窒化による窒化アルミニウムの連続製造方法 - Google Patents
アルミナの炭窒化による窒化アルミニウムの連続製造方法Info
- Publication number
- JP2757324B2 JP2757324B2 JP4186318A JP18631892A JP2757324B2 JP 2757324 B2 JP2757324 B2 JP 2757324B2 JP 4186318 A JP4186318 A JP 4186318A JP 18631892 A JP18631892 A JP 18631892A JP 2757324 B2 JP2757324 B2 JP 2757324B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction
- reactor
- carbon
- granules
- alumina
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000005256 carbonitriding Methods 0.000 title claims abstract description 24
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims description 26
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 title abstract 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 48
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 18
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000008187 granular material Substances 0.000 claims description 48
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 20
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 6
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 3
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 3
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 abstract 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 abstract 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 10
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 9
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 4
- 235000019241 carbon black Nutrition 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 2
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 239000006230 acetylene black Substances 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005325 percolation Methods 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000735470 Juncus Species 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 1
- 150000004645 aluminates Chemical class 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/072—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
- C01B21/0726—Preparation by carboreductive nitridation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/072—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/60—Particles characterised by their size
- C01P2004/61—Micrometer sized, i.e. from 1-100 micrometer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/60—Particles characterised by their size
- C01P2004/62—Submicrometer sized, i.e. from 0.1-1 micrometer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/10—Solid density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/12—Surface area
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/14—Pore volume
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアルミナの炭窒化(carbo
nitruration)による窒化アルミニウムの連続製造方法に
関するものである。
nitruration)による窒化アルミニウムの連続製造方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】窒化アルミニウムの製造法に関しては、
この窒化物を得るための反応条件または反応に使用され
る装置に関する文献が多数発表されている。窒化アルミ
ニウムを流動床反応装置を用いて製造する方法も既に提
案されている(ヨーロッパ特許出願第 0 266 927号、日
本国特許第 63-297205号、英国特許出願第87.00208号参
照)。回転炉中で反応を行う方法も提案されている(日
本国特許第62-278109 号、62-237937 号、63-20030号、
61-74635号参照)。さらに、循環式のバケットを積み重
ねた垂直炉(ヨーロッパ特許出願第 0 272377号参照)
または固定式のバケットを積み重ねた垂直炉(日本国特
許第1 290562 号参照)で窒化アルミニウムを製造する
方法も提案されている。
この窒化物を得るための反応条件または反応に使用され
る装置に関する文献が多数発表されている。窒化アルミ
ニウムを流動床反応装置を用いて製造する方法も既に提
案されている(ヨーロッパ特許出願第 0 266 927号、日
本国特許第 63-297205号、英国特許出願第87.00208号参
照)。回転炉中で反応を行う方法も提案されている(日
本国特許第62-278109 号、62-237937 号、63-20030号、
61-74635号参照)。さらに、循環式のバケットを積み重
ねた垂直炉(ヨーロッパ特許出願第 0 272377号参照)
または固定式のバケットを積み重ねた垂直炉(日本国特
許第1 290562 号参照)で窒化アルミニウムを製造する
方法も提案されている。
【0003】これらの方法にはいくつかの欠点がある。
第一に、いずれも反応器も有効容積が小さいため生産性
に限界がある。例えば、回転炉の充填率は通常13%以上
になることはない。そのため、窒化物の生産量に対する
エネルギー消費量は明らかに多くなる。回転炉は炉内で
の反応物の滞留時間が一定でないため、得られる製品が
不均質になるという欠点がある。流動床反応装置を連続
的に用いた場合にも同じ欠点がある。従って、一般には
多数の流動床反応装置をカスケード状に並べて用いる必
要がある。これらは重大な欠点であり、均質性な窒化ア
ルミニウムを高い生産性且つ高い信頼性で製造する方法
が求められている。
第一に、いずれも反応器も有効容積が小さいため生産性
に限界がある。例えば、回転炉の充填率は通常13%以上
になることはない。そのため、窒化物の生産量に対する
エネルギー消費量は明らかに多くなる。回転炉は炉内で
の反応物の滞留時間が一定でないため、得られる製品が
不均質になるという欠点がある。流動床反応装置を連続
的に用いた場合にも同じ欠点がある。従って、一般には
多数の流動床反応装置をカスケード状に並べて用いる必
要がある。これらは重大な欠点であり、均質性な窒化ア
ルミニウムを高い生産性且つ高い信頼性で製造する方法
が求められている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的はアルミ
ナの炭窒化反応で窒化アルミニウムを製造する新規な方
法と装置とを提供することにある。
ナの炭窒化反応で窒化アルミニウムを製造する新規な方
法と装置とを提供することにある。
【0005】
【課題を解決する為の手段】本発明方法の特徴は、アル
ミナと、炭素と、窒素とから炭窒化反応で窒化アルミニ
ウムを製造する際に、炭窒化反応を整然とした(methodi
que)反応器内で行う点にある。「整然とした(methodiqu
e)反応器」とは、個々の反応粒子が炭窒化反応に関与
し、しかも、全ての反応粒子がほぼ同じ状態で炭窒化反
応に関与するように設計された反応器を意味する。本発
明は特に、一定の充填率で、均質な滞留且つ一定の滞留
時間で、しかも所定レベルでの各粒子の周りの気相が均
質な組成となり、熱交換ができ且つ物質移動が強力に行
われる条件下で装填物(harge) をパーコレーション(per
colation)する連続的に流れるベッドすなわちカレント
ベッド(lit coulant) で上記反応を行う方法を提供す
る。本発明の対象は、アルミナと、炭素と、窒素とから
炭窒化反応で窒化アルミニウムを製造する方法におい
て、少なくとも下記4つの帯域 (1)〜(4) : (1) アルミナ、炭素および熱分解により炭素を生成する
樹脂で構成される顆粒を 高温の排気ガスとの熱交換によ
って加熱する帯域 (2) 顆粒に含まれる樹脂を熱分解する帯域 (3) 顆粒の炭窒化反応を行帯域 (4) 反応器に入ってくる窒素で反応器の高温部から来る
顆粒とを接触させて顆粒 を加熱する帯域 を有する反応器で、個々の反応粒子が炭窒化反応に関与
し、しかも、全ての反応粒子がほぼ同じ状態で炭窒化反
応に関与するように、炭窒化反応を行うことを特徴とす
る方法にある。
ミナと、炭素と、窒素とから炭窒化反応で窒化アルミニ
ウムを製造する際に、炭窒化反応を整然とした(methodi
que)反応器内で行う点にある。「整然とした(methodiqu
e)反応器」とは、個々の反応粒子が炭窒化反応に関与
し、しかも、全ての反応粒子がほぼ同じ状態で炭窒化反
応に関与するように設計された反応器を意味する。本発
明は特に、一定の充填率で、均質な滞留且つ一定の滞留
時間で、しかも所定レベルでの各粒子の周りの気相が均
質な組成となり、熱交換ができ且つ物質移動が強力に行
われる条件下で装填物(harge) をパーコレーション(per
colation)する連続的に流れるベッドすなわちカレント
ベッド(lit coulant) で上記反応を行う方法を提供す
る。本発明の対象は、アルミナと、炭素と、窒素とから
炭窒化反応で窒化アルミニウムを製造する方法におい
て、少なくとも下記4つの帯域 (1)〜(4) : (1) アルミナ、炭素および熱分解により炭素を生成する
樹脂で構成される顆粒を 高温の排気ガスとの熱交換によ
って加熱する帯域 (2) 顆粒に含まれる樹脂を熱分解する帯域 (3) 顆粒の炭窒化反応を行帯域 (4) 反応器に入ってくる窒素で反応器の高温部から来る
顆粒とを接触させて顆粒 を加熱する帯域 を有する反応器で、個々の反応粒子が炭窒化反応に関与
し、しかも、全ての反応粒子がほぼ同じ状態で炭窒化反
応に関与するように、炭窒化反応を行うことを特徴とす
る方法にある。
【0006】
【作用】上記の一定の充填率は反応器の供給装置を制御
するレベル検出器を用いて達成することができる。上記
の均質な滞留且つ一定の滞留時間は、連続的に流れるベ
ッドの底部に連続排出装置、例えば、定量式または定容
式の連続排出装置を配置し、一定断面のスリーブ(円筒
容器)中を装填物をピストン状に移動させることによっ
て行うことができる。装填物のパーコレーションは固体
と向流方向に窒素を高速に流して各粒子の間を窒素が通
るようにして行うのが好ましい。
するレベル検出器を用いて達成することができる。上記
の均質な滞留且つ一定の滞留時間は、連続的に流れるベ
ッドの底部に連続排出装置、例えば、定量式または定容
式の連続排出装置を配置し、一定断面のスリーブ(円筒
容器)中を装填物をピストン状に移動させることによっ
て行うことができる。装填物のパーコレーションは固体
と向流方向に窒素を高速に流して各粒子の間を窒素が通
るようにして行うのが好ましい。
【0007】添付図面は本発明を実施するための装置の
一つの具体例を示している。この図では下記の3種類の
記号が使用されている。数字1〜8は反応器本体とその
主要設備を示している。数字I〜IVは反応器内の各ゾー
ンと、そのゾーン内で行われる反応の各段階を示してい
る。記号a、a', b, c, c' は反応器内にある物質
の物理的特性および/または化学的特性を示している。
一つの具体例を示している。この図では下記の3種類の
記号が使用されている。数字1〜8は反応器本体とその
主要設備を示している。数字I〜IVは反応器内の各ゾー
ンと、そのゾーン内で行われる反応の各段階を示してい
る。記号a、a', b, c, c' は反応器内にある物質
の物理的特性および/または化学的特性を示している。
【0008】以下で述べる説明から、本発明方法では、
上記反応器が少なくとも下記の機能を有しているという
ことが理解できよう: (1) 高温の排気ガスで出発原料の顆粒を再加熱する、す
なわち熱交換する。 (2) 顆粒に含まれる炭素源 (一般には樹脂) を熱分解す
る。 (3) 炭窒化反応を行う。 (4) 反応器に入ってくる窒素を、反応器の高温部から来
る顆粒と接触させて再加熱する。
上記反応器が少なくとも下記の機能を有しているという
ことが理解できよう: (1) 高温の排気ガスで出発原料の顆粒を再加熱する、す
なわち熱交換する。 (2) 顆粒に含まれる炭素源 (一般には樹脂) を熱分解す
る。 (3) 炭窒化反応を行う。 (4) 反応器に入ってくる窒素を、反応器の高温部から来
る顆粒と接触させて再加熱する。
【0009】図示した反応器はほぼ垂直に立てて運転さ
れる。この反応器は一般にグラファイトで作られた主反
応管 (1)で構成され、その長さ/内径比は一般に5〜2
0、好ましくは8〜15である。この主反応管 (1)の中間
部分は電磁誘導加熱器 (8)で加熱されている。主反応管
(1)の上部には主反応管へ新しい顆粒を供給するための
計量器 (2)と排気ガス回収装置 (3)とが連結されてい
る。この排気ガスは主として一酸化炭素、メタンおよび
過剰の窒素で構成されている。この排気ガスは焼却炉
(図示せず)の下部へ送られる。主反応管 (1)内の充填
レベルはレベル検出器 (4)で測定される。主反応管 (1)
の下部にはスリーブ (5)を取付けるのが好ましい。この
スリーブ(5) は、少なくとも1つの窒素供給口 (7)を有
する例えばステンレス鋼で作ることができる。スリーブ
(5)の下部先端を円錐台形にし、そこから抽出した顆粒
を密封型の容量器(6) を用いて連続的に計量するのが好
ましい。
れる。この反応器は一般にグラファイトで作られた主反
応管 (1)で構成され、その長さ/内径比は一般に5〜2
0、好ましくは8〜15である。この主反応管 (1)の中間
部分は電磁誘導加熱器 (8)で加熱されている。主反応管
(1)の上部には主反応管へ新しい顆粒を供給するための
計量器 (2)と排気ガス回収装置 (3)とが連結されてい
る。この排気ガスは主として一酸化炭素、メタンおよび
過剰の窒素で構成されている。この排気ガスは焼却炉
(図示せず)の下部へ送られる。主反応管 (1)内の充填
レベルはレベル検出器 (4)で測定される。主反応管 (1)
の下部にはスリーブ (5)を取付けるのが好ましい。この
スリーブ(5) は、少なくとも1つの窒素供給口 (7)を有
する例えばステンレス鋼で作ることができる。スリーブ
(5)の下部先端を円錐台形にし、そこから抽出した顆粒
を密封型の容量器(6) を用いて連続的に計量するのが好
ましい。
【0010】本発明方法では、上記反応器には新しい顆
粒 (a)を連続的に供給する。この顆粒 (a)はアルミナと
炭素とからなるペースト (このペーストの製造を容易に
し且つ熱分解時に炭素を生じる熱硬化性樹脂をさらに含
むのが好ましい) を押出し成形またはそれと均等な任意
の方法で成形したものを一般に約150 ℃で乾燥し、造粒
または切断して得られる。炭素と上記樹脂との比率は顆
粒に多孔性と十分な機械的強度を与え得るような値に調
節する。カーボンブラックは炭窒化の反応速度に有利な
孔容積を与える役目をし、上記樹脂は顆粒を強くする役
目をする。熱硬化性樹脂としてはフェノールホルマリン
樹脂の水溶液から選択するのが好ましいが、その他のエ
ポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂等を用
いることも当然可能である。カーボンブラックは平均粒
径が 0.5〜10μm、好ましくは1〜5μmで、孔容積が
少なくとも 0.3 cm3/gのカーボンブラックの中から広
範囲に選択することができる。例としては孔容積が10 c
m3/g以下のアセチレンブラックを挙げることができよ
う。
粒 (a)を連続的に供給する。この顆粒 (a)はアルミナと
炭素とからなるペースト (このペーストの製造を容易に
し且つ熱分解時に炭素を生じる熱硬化性樹脂をさらに含
むのが好ましい) を押出し成形またはそれと均等な任意
の方法で成形したものを一般に約150 ℃で乾燥し、造粒
または切断して得られる。炭素と上記樹脂との比率は顆
粒に多孔性と十分な機械的強度を与え得るような値に調
節する。カーボンブラックは炭窒化の反応速度に有利な
孔容積を与える役目をし、上記樹脂は顆粒を強くする役
目をする。熱硬化性樹脂としてはフェノールホルマリン
樹脂の水溶液から選択するのが好ましいが、その他のエ
ポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂等を用
いることも当然可能である。カーボンブラックは平均粒
径が 0.5〜10μm、好ましくは1〜5μmで、孔容積が
少なくとも 0.3 cm3/gのカーボンブラックの中から広
範囲に選択することができる。例としては孔容積が10 c
m3/g以下のアセチレンブラックを挙げることができよ
う。
【0011】アルミナは高純度且つカーボンブラックと
同程度の粒径のものを用いるのが好ましい。ペースト
(および顆粒)の調製を容易にし且つ均質化するため
に、ポリアクリル酸アンモニウム塩等の分散剤を用いる
のが好ましい。顆粒 (a)の調製は通常の方法で行うこと
ができる。この顆粒 (a)の全炭素量すなわち炭素そのも
のと熱硬化性樹脂から生成する炭素との量を炭窒化反応
の化学量論相当量(C/Al2O3比=3)に等しくする
か、それ以上にする。100 %まで過剰にすることもでき
るが、好ましくは0〜50%過剰にする。顆粒 (a)の孔容
積(圧力200MPa以下で水銀多孔度計で測定)は 0.05cm3
/g以上且つ2 cm3/g以下とし、耐圧縮圧は一般に
0.2〜3.0MPa「この強度はバルククラッシング強度法
(シェル Shell法)で測定〕にする。
同程度の粒径のものを用いるのが好ましい。ペースト
(および顆粒)の調製を容易にし且つ均質化するため
に、ポリアクリル酸アンモニウム塩等の分散剤を用いる
のが好ましい。顆粒 (a)の調製は通常の方法で行うこと
ができる。この顆粒 (a)の全炭素量すなわち炭素そのも
のと熱硬化性樹脂から生成する炭素との量を炭窒化反応
の化学量論相当量(C/Al2O3比=3)に等しくする
か、それ以上にする。100 %まで過剰にすることもでき
るが、好ましくは0〜50%過剰にする。顆粒 (a)の孔容
積(圧力200MPa以下で水銀多孔度計で測定)は 0.05cm3
/g以上且つ2 cm3/g以下とし、耐圧縮圧は一般に
0.2〜3.0MPa「この強度はバルククラッシング強度法
(シェル Shell法)で測定〕にする。
【0012】顆粒 (a)(Al2O3+C+樹脂で構成され
る)を反応器に導入し、そのレベルはレベル検出器を用
いて一定に保つ。帯域Iは排気ガス (3)と顆粒 (a)との
間の熱交換帯域である。この帯域Iでは顆粒 (a)が少し
ずつ加熱される (a') 。顆粒の表面交換面積を大きくし
且つ窒素流の速度を大きくすることによって効率的に熱
移動を行うことができる。顆粒が帯域IIへ移動すると、
この帯域IIでは主として樹脂が熱分解される (熱分解さ
れた顆粒b)。この顆粒 (b)は次第に加熱され、顆粒Al
2O3+Cが反応器底部から供給される窒素との反応によ
ってアルミナの炭窒化温度に達する。この帯域III の温
度は一般に1450〜1500℃程度に設定される。この温度は
通常の炭窒素化温度であるが、測定レベルで違えること
ができ、一般には、この温度の±10%の範囲で変えるこ
とができる。熱分解後の顆粒 (b)は帯域 IIIの出口で炭
窒化処理された高温の顆粒(c)(AlN+C)に変換されて
いる。
る)を反応器に導入し、そのレベルはレベル検出器を用
いて一定に保つ。帯域Iは排気ガス (3)と顆粒 (a)との
間の熱交換帯域である。この帯域Iでは顆粒 (a)が少し
ずつ加熱される (a') 。顆粒の表面交換面積を大きくし
且つ窒素流の速度を大きくすることによって効率的に熱
移動を行うことができる。顆粒が帯域IIへ移動すると、
この帯域IIでは主として樹脂が熱分解される (熱分解さ
れた顆粒b)。この顆粒 (b)は次第に加熱され、顆粒Al
2O3+Cが反応器底部から供給される窒素との反応によ
ってアルミナの炭窒化温度に達する。この帯域III の温
度は一般に1450〜1500℃程度に設定される。この温度は
通常の炭窒素化温度であるが、測定レベルで違えること
ができ、一般には、この温度の±10%の範囲で変えるこ
とができる。熱分解後の顆粒 (b)は帯域 IIIの出口で炭
窒化処理された高温の顆粒(c)(AlN+C)に変換されて
いる。
【0013】高温の顆粒 (c)は反応器下部から帯域IVを
通って抽出装置へ移動する。帯域IVでは反応器に供給さ
れる窒素 (7)によって顆粒 (c)が冷却され、一方、炭窒
素化反応用の窒素が加熱される。冷却された顆粒(c')は
排出装置 (6)を用いて排出される。この顆粒(c')には過
剰量の炭素を含んでいてもよい(AlN+C)。この顆粒
(c')中の窒化アルミニウムに対する残留αAl2O3の濃度
は0.5 %以下である(X線回折で測定)。過剰な炭素は
酸素含有ガスで燃焼させて除去することができる。この
場合の温度は 700℃以下にするのが好ましい。こうして
得られた純粋な窒化アルミニウムは最後にエアージェッ
ト粉砕機等で粉砕される。汚染を防ぐために粉砕室を弾
性体で覆うのが好ましい。粉砕機には選別機を設けて、
細かい粒子を選別し、粗粒子を再循環するのが好まし
い。
通って抽出装置へ移動する。帯域IVでは反応器に供給さ
れる窒素 (7)によって顆粒 (c)が冷却され、一方、炭窒
素化反応用の窒素が加熱される。冷却された顆粒(c')は
排出装置 (6)を用いて排出される。この顆粒(c')には過
剰量の炭素を含んでいてもよい(AlN+C)。この顆粒
(c')中の窒化アルミニウムに対する残留αAl2O3の濃度
は0.5 %以下である(X線回折で測定)。過剰な炭素は
酸素含有ガスで燃焼させて除去することができる。この
場合の温度は 700℃以下にするのが好ましい。こうして
得られた純粋な窒化アルミニウムは最後にエアージェッ
ト粉砕機等で粉砕される。汚染を防ぐために粉砕室を弾
性体で覆うのが好ましい。粉砕機には選別機を設けて、
細かい粒子を選別し、粗粒子を再循環するのが好まし
い。
【0014】上記の方法を用いて得られる窒化アルミニ
ウム粉末の特徴は平均粒径が 0.5〜5μmで、αAl2O3
の残留濃度(AlNに対する重量%)が 0.5%以下で、
BET比表面積が2m2/g以上かつ5m2/g以下であ
る点にある。本発明の他の対象はこの粉末にある。
ウム粉末の特徴は平均粒径が 0.5〜5μmで、αAl2O3
の残留濃度(AlNに対する重量%)が 0.5%以下で、
BET比表面積が2m2/g以上かつ5m2/g以下であ
る点にある。本発明の他の対象はこの粉末にある。
【0015】本発明の窒化アルミニウム粉末のαアルミ
ナ残留率の低さは特筆に値し、重要である。すなわち、
窒化アルミニウム粉末には複数の形式の酸素、例えば弱
く結合した酸素、遊離酸化物の形の酸素または窒化アル
ミニウムの網状構造内に固溶した酸素等が含まれている
ということは知られている(A. Thomas et G. Mullercf
i./Ber. DKG 67 (1990) No.4 pp. 146 〜9 参照)。焼
結後に網状組織内に残った酸素が窒化アルミニウムの熱
伝導性を決定する(Journal of the AmericanCeramic S
ociety, Vol.72 No.11 pp.2031 〜42参照)。また、焼
結を容易にするためにはY2O3のような酸化物が粉末に
添加される。この酸化物は窒化アルミニウム粒子を取り
囲んでいる酸化アルミニウムと結合して可溶性アルミン
酸塩(このアルミン酸塩は窒化アルミニウムと接触して
いる)を形成する。溶存酸素は窒化アルミニウム粒子の
内部からこの溶融相へ向かって拡散する。表面の酸素は
粉体表面全体に薄い層状に分布しているので、添加した
酸化物と最大限に接触し、従って添加剤と容易に結合し
て、それ以上は組織網内部へは拡散しない。
ナ残留率の低さは特筆に値し、重要である。すなわち、
窒化アルミニウム粉末には複数の形式の酸素、例えば弱
く結合した酸素、遊離酸化物の形の酸素または窒化アル
ミニウムの網状構造内に固溶した酸素等が含まれている
ということは知られている(A. Thomas et G. Mullercf
i./Ber. DKG 67 (1990) No.4 pp. 146 〜9 参照)。焼
結後に網状組織内に残った酸素が窒化アルミニウムの熱
伝導性を決定する(Journal of the AmericanCeramic S
ociety, Vol.72 No.11 pp.2031 〜42参照)。また、焼
結を容易にするためにはY2O3のような酸化物が粉末に
添加される。この酸化物は窒化アルミニウム粒子を取り
囲んでいる酸化アルミニウムと結合して可溶性アルミン
酸塩(このアルミン酸塩は窒化アルミニウムと接触して
いる)を形成する。溶存酸素は窒化アルミニウム粒子の
内部からこの溶融相へ向かって拡散する。表面の酸素は
粉体表面全体に薄い層状に分布しているので、添加した
酸化物と最大限に接触し、従って添加剤と容易に結合し
て、それ以上は組織網内部へは拡散しない。
【0016】しかし、窒化アルミニウム粉末中にαアル
ミナが小さな塊りとなって分散している場合には状況が
違ってくる。すなわち、上記酸化物と接触する可能性が
非常に低くなり、約1850℃の焼結温度ではアルミナが窒
化アルミニウム中に溶解し易くなる。その結果、溶存酸
素濃度が高くなり、最終的に得られる焼結体の熱伝導率
が悪くなる。従って、残留酸化アルミニウムAl2O3の濃
度はできるだけ小さくする、換言すれば、Al2O3+3C
+N2 =2AlN+COの反応をできるだけ完全に行う必
要がある。温度を上げ且つ時間を長くしてこの変換反応
を限界まで行うこともできるが、そうすると、窒化アル
ミニウムの顆粒が大きくなり、比表面積が小さくなる。
比表面積の減少は焼結時の反応性に悪い影響を与える。
従って、本発明の粉体および方法は、残留αアルミナ濃
度を極めて低くし、しかも粉体の粒度を小さくし且つ比
表面積を大きくすることができるという点で極めて重要
である。以下、本発明の実施例を説明する。
ミナが小さな塊りとなって分散している場合には状況が
違ってくる。すなわち、上記酸化物と接触する可能性が
非常に低くなり、約1850℃の焼結温度ではアルミナが窒
化アルミニウム中に溶解し易くなる。その結果、溶存酸
素濃度が高くなり、最終的に得られる焼結体の熱伝導率
が悪くなる。従って、残留酸化アルミニウムAl2O3の濃
度はできるだけ小さくする、換言すれば、Al2O3+3C
+N2 =2AlN+COの反応をできるだけ完全に行う必
要がある。温度を上げ且つ時間を長くしてこの変換反応
を限界まで行うこともできるが、そうすると、窒化アル
ミニウムの顆粒が大きくなり、比表面積が小さくなる。
比表面積の減少は焼結時の反応性に悪い影響を与える。
従って、本発明の粉体および方法は、残留αアルミナ濃
度を極めて低くし、しかも粉体の粒度を小さくし且つ比
表面積を大きくすることができるという点で極めて重要
である。以下、本発明の実施例を説明する。
【0017】
1.平均粒径1μm(ASTM規格 C 678)の細かく粉砕し
た顆粒状高純度アルミナ504 重量部と、アセチレンブラ
ック 151重量部(平均粒径2〜3μm)と、フェノール
ホルマリン樹脂の水溶液(濃度約60%) 335重量部と、
ポリアクリレートアンモニウム分散剤10重量部とを混合
する。この混合物はアルミナでライニングした混練機で
アルミナの白色粒子が消えるまで攪拌する。得られたペ
ーストを押出成形機に供給する。この押出成形機の押出
しオリフィス内にはアルミナ製のインサートが装着され
ている。オリフィスの直径は3mmである。成形後、繊維
状の成形品(jonc)を通気乾燥室内で 150℃で乾燥(重量
減少13.8%)し、切断する。得られた顆粒 (a)は下記重
量組成を有している: アルミナ: 58.5% 炭素 : 17.5% 樹脂 : 23.5% 分散剤 : 0.5 % 顆粒の孔容積(水銀多孔度計で測定)は0.09 cm3/g
で、耐圧縮圧は2.8 MPaである。
た顆粒状高純度アルミナ504 重量部と、アセチレンブラ
ック 151重量部(平均粒径2〜3μm)と、フェノール
ホルマリン樹脂の水溶液(濃度約60%) 335重量部と、
ポリアクリレートアンモニウム分散剤10重量部とを混合
する。この混合物はアルミナでライニングした混練機で
アルミナの白色粒子が消えるまで攪拌する。得られたペ
ーストを押出成形機に供給する。この押出成形機の押出
しオリフィス内にはアルミナ製のインサートが装着され
ている。オリフィスの直径は3mmである。成形後、繊維
状の成形品(jonc)を通気乾燥室内で 150℃で乾燥(重量
減少13.8%)し、切断する。得られた顆粒 (a)は下記重
量組成を有している: アルミナ: 58.5% 炭素 : 17.5% 樹脂 : 23.5% 分散剤 : 0.5 % 顆粒の孔容積(水銀多孔度計で測定)は0.09 cm3/g
で、耐圧縮圧は2.8 MPaである。
【0018】2.顆粒 (a)を連続式反応器に供給する。
この反応器は上部に長さ/直径比が10であるグラファイ
ト製の管 (1)を有している。顆粒 (a)の単位時間当たり
の供給量は 4.4kg/時(100 %窒化アルミニウムで2.7
kg/時に相当)である。反応器の下部 (7)から12kg/時
で窒素を供給する。反応器内の高温帯域(炭窒化帯域 I
II)の温度は1450〜1500℃であり、帯域II(樹脂の熱分
解を行う部分)の温度は 600〜1000℃であり、3から排
出されるガスの温度は約 450℃である。熱分解による重
量減少は12.8%である。炭窒化帯域(顆粒c)での滞留
時間は約12時間である。完全に変換され且つ冷却された
顆粒(c')を速度2.42kg/時で排出する。X線回折分析で
は残留αアルミナは検出されない(検出限界:0.2 %Al
2O3)。
この反応器は上部に長さ/直径比が10であるグラファイ
ト製の管 (1)を有している。顆粒 (a)の単位時間当たり
の供給量は 4.4kg/時(100 %窒化アルミニウムで2.7
kg/時に相当)である。反応器の下部 (7)から12kg/時
で窒素を供給する。反応器内の高温帯域(炭窒化帯域 I
II)の温度は1450〜1500℃であり、帯域II(樹脂の熱分
解を行う部分)の温度は 600〜1000℃であり、3から排
出されるガスの温度は約 450℃である。熱分解による重
量減少は12.8%である。炭窒化帯域(顆粒c)での滞留
時間は約12時間である。完全に変換され且つ冷却された
顆粒(c')を速度2.42kg/時で排出する。X線回折分析で
は残留αアルミナは検出されない(検出限界:0.2 %Al
2O3)。
【0019】3.顆粒(c')を回収してインコネル製プレ
ート上に厚さ約1cmの層に広げ、非連続式電気加熱炉に
入れ、循環空気で温度を 650℃±5℃で均一に維持す
る。この温度を8時間維持する。重量減少率は約15%で
ある。この処理の後の残留遊離炭素の比率は700ppm以下
であり、酸素含有率は 1.1%以下である。こうして得ら
れた窒化アルミニウムをエアージェット粉砕機で粉砕す
る。粉砕機の内壁は弾性体でライニングしてある。最終
的に得られる窒化アルミニウム粒子の平均粒径は 1.4μ
mであり、BET比表面積は 3.5m2 /gである。
ート上に厚さ約1cmの層に広げ、非連続式電気加熱炉に
入れ、循環空気で温度を 650℃±5℃で均一に維持す
る。この温度を8時間維持する。重量減少率は約15%で
ある。この処理の後の残留遊離炭素の比率は700ppm以下
であり、酸素含有率は 1.1%以下である。こうして得ら
れた窒化アルミニウムをエアージェット粉砕機で粉砕す
る。粉砕機の内壁は弾性体でライニングしてある。最終
的に得られる窒化アルミニウム粒子の平均粒径は 1.4μ
mであり、BET比表面積は 3.5m2 /gである。
【図1】 本発明方法を実施するための装置の一つの具
体例を示す概念図。
体例を示す概念図。
1 主反応管 2 計量器 3 排気ガス回収装置 4 レベル検出器 5 スリーブ 6 容量器 7 窒素供給口 8 電磁誘導加熱器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジャン−ピエール ディソン フランス国 38500 ボワロン リュ ジュールフェリー 5 (72)発明者 フィリップ ジュベール フランス国 69005 リヨン アベニュ ドゥ ムニバル 34 (56)参考文献 特開 昭62−207703(JP,A) 特公 昭62−27632(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C01B 21/072
Claims (6)
- 【請求項1】 アルミナと、炭素と、窒素とから炭窒化
反応で窒化アルミニウムを製造する方法において、 少なくとも下記4つの帯域(1)〜(4): (1)アルミナ、炭素および熱分解により炭素を生成す
る樹脂で構成される顆粒を高温の排気ガスとの熱交換に
よって加熱する帯域 (2)顆粒に含まれる樹脂を熱分解する帯域 (3)顆粒の炭窒化反応を行帯域 (4)反応器に入ってくる窒素で反応器の高温部から来
る顆粒とを接触させて顆粒を加熱する帯域 を有する反応器で、個々の反応粒子が炭窒化反応に関与
し、しかも、全ての反応粒子がほぼ同じ状態で炭窒化反
応に関与するように、炭窒化反応を行うことを特徴とす
る方法。 - 【請求項2】 一定の充填率で、均質且つ一定の滞留時
間で且つ各レベルでの各粒子の周りの気相が均質な組成
となり、熱交換ができ且つ物質移動が強力に行われる条
件下で装填物をパーコレーションする連続的に流れるベ
ッドで上記反応を行う請求項1に記載の方法。 - 【請求項3】 下記(a)〜(e)で構成されるほぼ垂
直な反応器内で上記反応を行う請求項1または2に記載
の方法: (a)中間部分が電磁誘導加熱(8)される主反応管
(1)、 (b)アルミナ、炭素および熱分解によって炭素を生成
する樹脂で構成される顆粒状反応物を供給する、主反応
管(1)の上部に位置した計量器(2)、 (c)主反応管(1)内の充填率を一定にするための、
主反応管(1)の上部に設けられたレベル検出器
(4)、 (d)少なくとも1つの窒素の流入口(7)を有し、下
部に顆粒の抽出用密封排出装置(6)を有する、主反応
管(1)内の下部に位置したスリーブ(5)、 (e)主反応管(1)の上部に設けられた排気ガス抽出
用装置(3)。 - 【請求項4】 供給される顆粒(a)がアルミナ、炭素
および熱分解により炭素を生成する樹脂で構成され、全
炭素量/アルミナの比率が3以上である請求項1〜3の
いずれか一項に記載の方法。 - 【請求項5】 顆粒(a)の孔容積が0.05cm3/
g以上で、耐圧縮圧が0.2〜3.0MPaである請求
項4に記載の方法。 - 【請求項6】 排気ガスの温度が約450℃で、熱分解
帯域の温度が600〜1000℃で、炭窒化反応帯域の
温度が約1450〜1500℃である請求項1〜5のい
ずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9107521 | 1991-06-19 | ||
FR9107521 | 1991-06-19 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06211507A JPH06211507A (ja) | 1994-08-02 |
JP2757324B2 true JP2757324B2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=9414031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4186318A Expired - Fee Related JP2757324B2 (ja) | 1991-06-19 | 1992-06-19 | アルミナの炭窒化による窒化アルミニウムの連続製造方法 |
Country Status (15)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5674465A (ja) |
EP (1) | EP0519806B1 (ja) |
JP (1) | JP2757324B2 (ja) |
KR (2) | KR0125705B1 (ja) |
CN (1) | CN1033967C (ja) |
AT (1) | ATE150426T1 (ja) |
AU (1) | AU654357B2 (ja) |
CA (1) | CA2071600C (ja) |
DE (1) | DE69218300T2 (ja) |
DK (1) | DK0519806T3 (ja) |
ES (1) | ES2099229T3 (ja) |
GR (1) | GR3023515T3 (ja) |
IE (1) | IE921931A1 (ja) |
IL (1) | IL102243A (ja) |
NO (1) | NO314990B1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2710047B1 (fr) * | 1993-09-17 | 1995-10-13 | Atochem Elf Sa | Procédé de préparation en continu de nitrure d'aluminium par carbonitruration d'alumine dans un réacteur à lit coulant. |
FR2710048B1 (fr) * | 1993-09-17 | 1995-11-03 | Atochem Elf Sa | Procédé de préparation en continu de nitrure d'aluminium par carbonitruration d'alumine. |
FR2715169B1 (fr) * | 1994-01-14 | 1996-04-05 | Atochem Elf Sa | Macrocristaux renfermant du nitrure d'aluminium sous forme de plaquettes, leur procédé de préparation et leurs utilisations. |
US7753988B2 (en) * | 2007-07-09 | 2010-07-13 | Alcoa Inc. | Use of alumina-carbon agglomerates in the carbothermic production of aluminum |
JP6112939B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-04-12 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
JP6196457B2 (ja) * | 2013-04-03 | 2017-09-13 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
JP2015031462A (ja) * | 2013-08-05 | 2015-02-16 | 株式会社トクヤマ | 縦型窒化炉 |
JP6271665B1 (ja) * | 2016-09-20 | 2018-01-31 | 國家中山科學研究院 | 球状窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
CN110204342B (zh) * | 2019-06-10 | 2020-06-30 | 宁夏秦氏新材料有限公司 | 沉降式自蔓延氮化铝的制备方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB122829A (en) * | 1918-01-28 | 1920-04-06 | Armour Fertilizer Works | A Process of Producing Aluminium Nitride. |
FR1175273A (fr) * | 1957-05-16 | 1959-03-23 | Pechiney | Four pour la production continue de nitrure d'aluminium |
DE3333406A1 (de) * | 1982-09-17 | 1984-03-22 | Tokuyama Soda K.K., Tokuyama, Yamaguchi | Feines aluminiumnitridpulver, verfahren zu seiner herstellung und es enthaltendes mittel |
JPS59111905A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-28 | Kawasaki Steel Corp | 窒化珪素またはサイアロンの製造方法およびその装置 |
JPH068755B2 (ja) * | 1985-07-29 | 1994-02-02 | 日本電信電話株式会社 | 偏光度測定方法および装置 |
JPS62207703A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-12 | Tokuyama Soda Co Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
US4784839A (en) * | 1986-04-03 | 1988-11-15 | Atochem | Method of making metal carbide and nitride powders |
US5154907A (en) * | 1986-10-15 | 1992-10-13 | The Carborundum Company | Process for the continuous production of high purity, ultra-fine, aluminum nitride powder by the carbo-nitridization of alumina |
JPS63277504A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-15 | Showa Alum Corp | 高純度窒化アルミニウム粉末の連続的製造装置 |
JPH0251841A (ja) * | 1988-08-11 | 1990-02-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高分解能質量分析装置 |
US4983553A (en) * | 1989-12-07 | 1991-01-08 | The Dow Chemical Company | Continuous carbothermal reactor |
US5112579A (en) * | 1989-12-07 | 1992-05-12 | The Dow Chemical Company | Continuous carbothermal reactor |
ATE128102T1 (de) * | 1991-03-22 | 1995-10-15 | Dow Chemical Co | Verfahren zur karbothermischen herstellung von nichtoxidkeramikpulver in einem wanderbett. |
US5126121A (en) * | 1991-05-03 | 1992-06-30 | The Dow Chemical Company | Process for preparing aluminum nitride powder via controlled combustion nitridation |
-
1992
- 1992-06-16 EP EP92401672A patent/EP0519806B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1992-06-16 DE DE69218300T patent/DE69218300T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-06-16 AT AT92401672T patent/ATE150426T1/de not_active IP Right Cessation
- 1992-06-16 DK DK92401672.8T patent/DK0519806T3/da active
- 1992-06-16 ES ES92401672T patent/ES2099229T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1992-06-17 NO NO19922377A patent/NO314990B1/no not_active IP Right Cessation
- 1992-06-18 AU AU18360/92A patent/AU654357B2/en not_active Ceased
- 1992-06-18 IL IL10224392A patent/IL102243A/en not_active IP Right Cessation
- 1992-06-18 CA CA002071600A patent/CA2071600C/fr not_active Expired - Fee Related
- 1992-06-19 CN CN92104780A patent/CN1033967C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1992-06-19 KR KR1019920010719A patent/KR0125705B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1992-06-19 JP JP4186318A patent/JP2757324B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1992-07-01 IE IE193192A patent/IE921931A1/en not_active IP Right Cessation
-
1995
- 1995-07-31 KR KR1019950023499A patent/KR960001974B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-01-24 US US08/592,850 patent/US5674465A/en not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-05-23 GR GR970401163T patent/GR3023515T3/el unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IE921931A1 (en) | 1992-12-30 |
CN1075300A (zh) | 1993-08-18 |
ATE150426T1 (de) | 1997-04-15 |
KR0125705B1 (ko) | 1998-04-11 |
KR930000386A (ko) | 1993-01-15 |
NO314990B1 (no) | 2003-06-23 |
AU654357B2 (en) | 1994-11-03 |
CN1033967C (zh) | 1997-02-05 |
US5674465A (en) | 1997-10-07 |
IL102243A0 (en) | 1993-01-14 |
NO922377D0 (no) | 1992-06-17 |
ES2099229T3 (es) | 1997-05-16 |
CA2071600A1 (fr) | 1992-12-20 |
NO922377L (no) | 1992-12-21 |
AU1836092A (en) | 1992-12-24 |
EP0519806A1 (fr) | 1992-12-23 |
KR960001974B1 (ko) | 1996-02-08 |
DK0519806T3 (da) | 1997-09-22 |
DE69218300T2 (de) | 1997-10-09 |
CA2071600C (fr) | 1999-11-16 |
IL102243A (en) | 1996-08-04 |
DE69218300D1 (de) | 1997-04-24 |
EP0519806B1 (fr) | 1997-03-19 |
GR3023515T3 (en) | 1997-08-29 |
JPH06211507A (ja) | 1994-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2874925B2 (ja) | 均一な、微細なホウ素含有セラミツク粉末を製造する装置および方法 | |
Koc et al. | Synthesis of beta silicon carbide powders using carbon coated fumed silica | |
JP2757324B2 (ja) | アルミナの炭窒化による窒化アルミニウムの連続製造方法 | |
US5126121A (en) | Process for preparing aluminum nitride powder via controlled combustion nitridation | |
JPH11512382A (ja) | 部分還元遷移金属化合物から炭化遷移金属を製造する方法 | |
JPS63103807A (ja) | アルミナの炭素‐窒化による高純度、超微細、窒化アルミニウムの連続的製造法 | |
US5194234A (en) | Method for producing uniform, fine boron-containing ceramic powders | |
US6416862B1 (en) | Ultrafine particulate zinc oxide and production process thereof | |
JPH0638911B2 (ja) | 非酸化物粉末の製造方法 | |
US5219804A (en) | Process for preparing ultrafine aluminum nitride powder | |
US3469941A (en) | Ultrafine boron nitride and process of making same | |
US5525321A (en) | Carbonitriding of alumina to produce aluminum nitride | |
JPS60176910A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
EP1215174A1 (en) | Highly white zinc oxide fine particles and method for preparation thereof | |
JP2841862B2 (ja) | 炭化ケイ素を製造する方法 | |
RU2161549C1 (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КАРБОНИЛЬНЫХ НИКЕЛЕВЫХ ПОРОШКОВ С ЦЕПОЧЕЧНОЙ СТРУКТУРОЙ И НАСЫПНОЙ ПЛОТНОСТЬЮ МЕНЕЕ 1,0 г/см3 | |
KR970005185B1 (ko) | 알루미나의 카보니트라이드화에 의한 알루미늄 니트라이드의 연속 제조방법 | |
JPH0583482B2 (ja) | ||
JPS616109A (ja) | sicの製造法 | |
JP2536849B2 (ja) | 焼結用β晶炭化ケイ素粉末 | |
JP2518261B2 (ja) | 黒色粉末の製造方法 | |
AU616950B2 (en) | Apparatus and method for producing uniform, fine boron-containing ceramic powders | |
Murakawa et al. | Synthesis of an easily sinterable beta-SiC powder | |
CN114890796A (zh) | 一种流态化氮化法制备氮化铝粉体的方法及装置 | |
JPH068166B2 (ja) | 炭化珪素粉末の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980210 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |