JPH0251841A - 高分解能質量分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、高分解能質量分析装置に関するものである。

［従来の技術］ ある化合物の質量分析において、該化合物から発生する
質量数の非常に近いＡおよびＢという２種のイオンを分
離測定する場合、従来、次の２つの方法が採用されてい
た： 方法ｌ： 第３図に示す質量分析装置において、質量分析計の入口
スリットｌを絞り、質量分析計２における質量分解能を
上げてイオンＡとＢとを分離し、更に出口スリット３を
絞ることにより、第４図に示したようにイオンへのみ（
またはイオンＢのみ）を透過させ検出する。

なお、第３図中、４は従来型検出器である。また、第・
１図中、７はイオン種のスリット像である。

方法２ イオン像を検出して、２次元の元素分布を測定するため
の２次元位置感応型検出器を用いて、時々匂り々、スリ
ット像を検出し、イオン八とＢとを分離測定する 〔発明が解決し嶋うとする課題〕 従来の方法ｌでは、検出すべきイオンを出ロスノ、ト３
を透過させ分析する際に、検出イオンの軌道がずれて信
号強度が低下したり、極端な場合には検出されなくなっ
たり、あるいは隣接する２神のイオンの信号が宙なった
りすることがあり、分析の精度に悪影響を及ぼすという
な問題かあった。

また、方法２は、確実な方法ではあるが、非常に高価な
装置を必要とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、イオン検出器として位置感応型検出器を備え
たことを特徴とする高分解能質量分析装置を提供するも
のである。

本発明の高分解能質量分析装置を、第１図を参照して説
明する。

本発明の高分解能質量分析装置では、出口スリ・ソトを
絞ることなしに検出イオンを１次元の位置感応型検出器
５に導入し、出力される信号を増幅器（図示せず）で増
幅し、多重波高分析器６に入力する。すると、第２図（
ａ）、（ｂ）、（Ｃ）に示すようなスペクトルが得られ
、このピークを分離し、確実に目的とするイオンの信号
を得ることで、第２図（ｄ）に示すような深さ方向の元
素分布が得られ、目的とする元素のイオン強度を、精度
よく求めることができる。

本発明の方法は、従来の方法２と原理的には同じである
が、比較的安価な装置で同じ効果が得られる。

［発明の効果］ 本発明は、上述のように、従来の装置に位置感応型検出
器と多重波高分析器を取り付けたという簡単な構成で、
安価に、質量の高分解能測定が精度よく行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の高分解能質量分析装置の一つの実施
例の模式図である。 第２図は、本発明の高分解能質量分析装置により得られ
るスペクトルおよび深さ方向元素分布を示す図である。 第３図および第４図は、従来の質量分析装置の測定原理
を示す模式図である。 １・・入ロスリノ１−２・・質量分析計３・・出ロスリ
ント　　　４・・従来型検出機５・・・位置感応型検出
器　６・多重波高分析器７・　スリット像 特許出願人住友電気工業株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、イオン検出器として位置感応型検出器を備えたこと
   を特徴とする高分解能質量分析装置。 ２、更に多重波高分析器を備えた特許請求の範囲第１項
   記載の高分解能質量分析装置。