以下の説明は、教示の特定の実施態様及び実施形態に焦点を当てている。詳細な説明は、特定の実施形態を説明するのを助けるために提供されており、本開示又は教示の範囲又は適用性に関する限定として解釈されるべきではない。本明細書で提供される本開示及び教示に基づいて、他の実施形態を使用することができることが理解されよう。
用語「備える(comprises)」、「備える(comprising)」、「含む(includes)」、「含む(including)」、「有する(has)」、「有する(having)」、又はそれらの任意の他の変形は、非排他的包含を網羅することを意図している。例えば、特徴のリストを含む方法、物品、又は装置は、必ずしもそれらの特徴に限定されるものではないが、明示的に列挙されていない他の特徴、あるいはそのような方法、物品、又は装置に固有の他の特徴を含み得る。更に、矛盾する記載がない限り、「又は」は、包含的なorを指し、排他的なorを指すのではない。例えば、条件A又はBは、以下のいずれか1つによって満たされる:Aが真であり(又は存在し)、Bが偽である(又は存在しない)、Aが偽であり(又は存在せず)、Bが真である(又は存在する)、及び、AとBとの両方が真である(又は存在する)。
また、「1つの(a)」又は「1つの(an)」の使用は、本明細書に記載の要素及び部品を説明するために用いられる。これは、単に便宜上、及び本発明の範囲の一般的な意味を与えるために行われる。この説明は、そうでないことを意味することが明らかでない限り、1つ、少なくとも1つ、又は単数形が複数形も含むものとして、又はその逆として理解されるべきである。例えば、単一の物品が本明細書に記載されている場合、単一の物品の代わりに2つ以上の物品を使用することができる。同様に、2つ以上の物品が本明細書に記載されている場合、単一の物品を2つ以上の物品に置き換えることができる。
本明細書に記載されている実施形態は、一般に、ポリイミド層と、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層と、を含み得る誘電体基板を対象としており、第1の充填ポリマー層は、第1の樹脂マトリックス成分と、第1のセラミックフィラー成分と、を含むことができる。
最初に誘電体基板の形成方法を参照すると、図1は、本明細書に記載の実施形態による、誘電体基板を形成するための形成方法100を示す略図を含む。特定の実施形態によれば、形成方法100は、ポリイミド層を提供する第1のステップ110と、第1の樹脂マトリックス前駆体成分と第1のセラミックフィラー前駆体成分とを組み合わせて第1の形成混合物を形成する第2のステップ120と、第1の形成混合物を、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層に形成する第3のステップ130と、を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、形成方法100によって形成された誘電体基板の性能を向上させ得る特定の特性を有し得る第1のフィラー前駆体材料を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布を有してもよい。本明細書に記載の実施形態の目的のために、材料の粒径分布、例えば、第1のフィラー前駆体材料の粒径分布は、粒径分布D値D10、D50及びD90の任意の組み合わせを使用して記載され得る。粒径分布からのD10値は、粒子の10%がその値よりも小さく、粒子の90%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD50値は、粒子の50%がその値よりも小さく、粒子の50%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD90値は、粒子の90%がその値よりも小さく、粒子の10%がその値よりも大きい粒径値として定義される。本明細書に記載の実施形態の目的のために、特定の材料の粒径測定は、レーザー回折分光法を使用して行われる。
特定の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D10値を有してもよい。例えば、第1のフィラー前駆体材料のD10は、少なくとも約0.3マイクロメートル、又は少なくとも約0.4マイクロメートル、又は少なくとも約0.5マイクロメートル、又は少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約1.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.2マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD10は、約1.5マイクロメートル以下、又は更には約1.4マイクロメートル以下などの、約1.6マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D50値を有してもよい。例えば、第1のフィラー前駆体材料のD50は、少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.5マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD50は、約2.6マイクロメートル以下、又は約2.5マイクロメートル以下又は更には約2.4マイクロメートル以下などの、約2.7マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D90値を有してもよい。例えば、第1のフィラー前駆体材料のD90は、少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は少なくとも約2.2マイクロメートル、又は少なくとも約2.3マイクロメートル、又は少なくとも約2.4マイクロメートル、又は少なくとも約2.5マイクロメートル、又は少なくとも約2.6マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.7マイクロメートルなどの、少なくとも約0.8マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD90は、約7.5マイクロメートル以下、又は約7.0マイクロメートル以下、又は約6.5マイクロメートル以下、又は約6.0マイクロメートル以下、又は約5.5マイクロメートル以下、又は約5.4マイクロメートル以下、又は約5.3マイクロメートル以下、又は約5.2マイクロメートル以下、又は更には約5.1マイクロメートル以下などの、約8.0マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、レーザー回折分光法を使用して測定される特定の平均粒径を有してもよい。例えば、第1のフィラー前駆体材料の平均粒径は、約9マイクロメートル以下、又は約8マイクロメートル以下、又は約7マイクロメートル以下、又は約6マイクロメートル以下、又は約5マイクロメートル以下、又は約4マイクロメートル以下、又は約3マイクロメートル以下、又は更には約2マイクロメートル以下などの、約10マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料の平均粒径は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定の粒径分布スパン(PSDS)を有するものとして説明することができ、第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい。例えば、第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、約4.5以下、又は約4.0以下、又は約3.5以下、又は約3.0以下、又は更には約2.5以下などの、約5以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、Brunauer-Emmett-Teller(BET)表面積分析(窒素吸着)を使用して測定される特定の平均表面積を有するものとして記述され得る。例えば、第1のフィラー前駆体材料は、約7.9m2/g以下、又は約7.5m2/g以下、又は約7.0m2/g以下、又は約6.5m2/g以下、又は約6.0m2/g以下、又は約5.5m2/g以下、又は約5.0m2/g以下、又は約4.5m2/g以下、又は約4.0m2/g以下、又は更には約3.5m2/g以下などの、約10m2/g以下の平均表面積を有してもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、少なくとも約2.2m2/gなどの、少なくとも約1.2m2/gの平均表面積を有してもよい。第1のフィラー前駆体材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定の材料を含み得る。特定の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物を含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物からなってもよい。他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の形成混合物は、特定の含有量の第1のセラミックフィラー前駆体成分を含むことができる。例えば、第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して、少なくとも約31体積%、又は少なくとも約32体積%、又は少なくとも約33体積%、又は少なくとも約34体積%、又は少なくとも約35体積%、又は少なくとも約36体積%、又は少なくとも約37体積%、又は少なくとも約38体積%、又は少なくとも約39体積%、又は少なくとも約40体積%、又は少なくとも約41体積%、又は少なくとも約42体積%、又は少なくとも約43体積%、又は少なくとも約44体積%、又は少なくとも約45体積%、又は少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は更には少なくとも約54体積%などの、少なくとも約30体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して、約56体積%以下、又は更には約55体積%以下などの、約57体積%以下であってもよい。第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の第1のフィラー前駆体材料を含むことができる。例えば、第1のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、少なくとも約81体積%、又は少なくとも約82体積%、又は少なくとも約83体積%、又は少なくとも約84体積%、又は少なくとも約85体積%、又は少なくとも約86体積%、又は少なくとも約87体積%、又は少なくとも約88体積%、又は少なくとも約89体積%、又は更には少なくとも約90体積%などの、少なくとも約80体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、約99体積%以下、又は約98体積%以下、又は約97体積%以下、又は約96体積%以下、又は約95体積%以下、又は約94体積%以下、又は約93体積%以下、又は更には約92体積%以下などの、約100体積%以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、第2のフィラー前駆体材料を含んでもよい。
更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、特定の材料を含むことができる。例えば、第2のフィラー前駆体材料は、少なくとも約14の誘電率を有するセラミック材料などの高誘電率セラミック材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせなどの任意の高誘電率セラミック材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、TiO2を含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、TiO2からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の第2のフィラー前駆体材料を含んでもよい。例えば、第2のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、少なくとも約2体積%、又は少なくとも約3体積%、又は少なくとも約4体積%、又は少なくとも約5体積%、又は少なくとも約6体積%、又は少なくとも約7体積%、又は少なくとも約8体積%、又は少なくとも約9体積%、又は少なくとも約10体積%などの、少なくとも約1体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、約19体積%以下、又は約18体積%以下、又は約17体積%以下、又は約16体積%以下、又は約15体積%以下、又は約14体積%以下、又は約13体積%以下、又は約12体積%以下などの、約20体積%以下であってもよい。第2のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第2のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の非晶質材料を含むことができる。例えば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約98%、又は更には少なくとも約99%などの、少なくとも約97%の非晶質材料を含むことができる。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分は、特定の材料を含んでもよい。例えば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の樹脂前駆体マトリックス成分のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(tetrafluoroethylene、TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(hexafluoropropylene、HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(tetrafluoroethylene、TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含んでもよい。他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(perfluoroalkoxy polymer resin、PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(fluorinated ethylene propylene、FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の形成混合物は、特定の含有量の第1の樹脂マトリックス前駆体成分を含んでもよい。例えば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、形成混合物の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して約63体積%以下、又は約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下である。第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1の形成混合物は、特定の含有量のペルフルオロポリマーを含んでもよい。例えば、ペルフルオロポリマーの含有量は、形成混合物の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して、約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下などの、約63体積%以下であり得る。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のステップ120は、第2の樹脂マトリックス前駆体成分と第2のセラミックフィラー前駆体成分とを組み合わせて第2の形成混合物を形成するステップを更に含むことができ、第3のステップ130は、第2の形成混合物を、ポリイミド層の下を覆う第2の充填ポリマー層に形成するステップを更に含むことができる。
特定の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、形成方法100によって形成される誘電体基板の性能を改善することができる特定の特性を有し得る第3のフィラー前駆体材料を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布を有してもよい。本明細書に記載されている実施形態の目的のために、材料の粒径分布、例えば、第3のフィラー前駆体材料の粒径分布は、粒径分布D値D10、D50及びD90の任意の組み合わせを使用して記述され得る。粒径分布からのD10値は、粒子の10%がその値よりも小さく、粒子の90%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD50値は、粒子の50%がその値よりも小さく、粒子の50%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD90値は、粒子の90%がその値よりも小さく、粒子の10%がその値よりも大きい粒径値として定義される。本明細書に記載される実施形態の目的のために、特定の材料の粒径測定は、レーザー回折分光法を使用して行われる。
特定の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D10値を有してもよい。例えば、第3のフィラー前駆体材料のD10値は、少なくとも約0.3マイクロメートル、又は少なくとも約0.4マイクロメートル、又は少なくとも約0.5マイクロメートル、又は少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約1.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.2マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD10は、約1.5マイクロメートル以下、又は更には約1.4マイクロメートル以下などの、約1.6マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー前駆体材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D50値を有してもよい。例えば、第3のフィラー前駆体材料のD50は、少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.5マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD50は、約2.6マイクロメートル以下、又は約2.5マイクロメートル以下、又は更には約2.4マイクロメートル以下などの、約2.7マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D90値を有してもよい。例えば、第3のフィラー前駆体材料のD90は、少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は少なくとも約2.2マイクロメートル、又は少なくとも約2.3マイクロメートル、又は少なくとも約2.4マイクロメートル、又は少なくとも約2.5マイクロメートル、又は少なくとも約2.6マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.7マイクロメートルなどの、少なくとも約0.8マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD90は、約7.5マイクロメートル以下、又は約7.0マイクロメートル以下、又は約6.5マイクロメートル以下、又は約6.0マイクロメートル以下、又は約5.5マイクロメートル以下、又は約5.4マイクロメートル以下、又は約5.3マイクロメートル以下、又は約5.2マイクロメートル以下、又は更には約5.1マイクロメートル以下などの、約8.0マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー前駆体材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、レーザー回折分光法を使用して測定される特定の平均粒径を有してもよい。例えば、第3のフィラー前駆体材料の平均粒径は、約9マイクロメートル以下、又は約8マイクロメートル以下、又は約7マイクロメートル以下、又は約6マイクロメートル以下、又は約5マイクロメートル以下、又は約4マイクロメートル以下、又は約3マイクロメートル以下、又は更には約2マイクロメートル以下などの、約10マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー前駆体材料の平均粒径は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定の粒径分布スパン(PSDS)を有するものとして説明することができ、第3のフィラー前駆体材料のPSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第3のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第3のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第3のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい。例えば、第3のフィラー前駆体材料のPSDSは、約4.5以下、又は約4.0以下、又は約3.5以下、又は約3.0以下、又は更には約2.5以下などの、約5以下であってもよい。第3のフィラー前駆体材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、Brunauer-Emmett-Teller(BET)表面積分析(窒素吸着)を使用して測定される特定の平均表面積を有するものとして記述され得る。例えば、第3のフィラー前駆体材料は、約7.9m2/g以下、又は約7.5m2/g以下、又は約7.0m2/g以下、又は約6.5m2/g以下、又は約6.0m2/g以下、又は約5.5m2/g以下、又は約5.0m2/g以下、又は約4.5m2/g以下、又は約4.0m2/g以下、又は更には約3.5m2/g以下などの、約10m2/g以下の平均表面積を有してもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、少なくとも約2.4m2/gなどの、少なくとも約1.2m2/gの平均表面積を有してもよい。第3のフィラー前駆体材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定の材料を含み得る。特定の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、シリカ系シリカ系化合物を含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物からなってもよい。他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、シリカを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、シリカからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の形成混合物は、特定の含有量の第2のセラミックフィラー前駆体成分を含むことができる。例えば、第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第2の形成混合物の総体積に対して、少なくとも約31体積%、又は少なくとも約32体積%、又は少なくとも約33体積%、又は少なくとも約34体積%、又は少なくとも約35体積%、又は少なくとも約36体積%、又は少なくとも約37体積%、又は少なくとも約38体積%、又は少なくとも約39体積%、又は少なくとも約40体積%、又は少なくとも約41体積%、又は少なくとも約42体積%、又は少なくとも約43体積%、又は少なくとも約44体積%、又は少なくとも約45体積%、又は少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は更には少なくとも約54体積%などの、少なくとも約30体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第2の形成混合物の総体積に対して、約56体積%以下、又は更には約55体積%以下などの、約57体積%以下であってもよい。第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の第3のフィラー前駆体材料を含むことができる。例えば、第3のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、少なくとも約81体積%、又は少なくとも約82体積%、又は少なくとも約83体積%、又は少なくとも約84体積%、又は少なくとも約85体積%、又は少なくとも約86体積%、又は少なくとも約87体積%、又は少なくとも約88体積%、又は少なくとも約89体積%、又は更には少なくとも約90体積%などの、少なくとも約80体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、約99体積%以下、又は約98体積%以下、又は約97体積%以下、又は約96体積%以下、又は約95体積%以下、又は約94体積%以下、又は約93体積%以下、又は更には約92体積%以下などの、約100体積%以下であってもよい。第3のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、第4のフィラー前駆体材料を含んでもよい。
更に他の実施形態によれば、第4のフィラー前駆体材料は、特定の材料を含み得る。例えば、第4のフィラー前駆体材料は、少なくとも約14の誘電率を有するセラミック材料などの高誘電率セラミック材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第4のフィラー前駆体材料は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせなどの任意の高誘電率セラミック材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第4のフィラー前駆体材料は、TiO2を含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第4のフィラー前駆体材料は、TiO2からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の第4のフィラー前駆体材料を含むことができる。例えば、第4のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、少なくとも約2体積%、又は少なくとも約3体積%、又は少なくとも約4体積%、又は少なくとも約5体積%、又は少なくとも約6体積%、又は少なくとも約7体積%、又は少なくとも約8体積%、又は少なくとも約9体積%、又は少なくとも約10体積%などの、少なくとも約1体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第4のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、約19体積%以下、又は約18体積%以下、又は約17体積%以下、又は約16体積%以下、又は約15体積%以下、又は約14体積%以下、又は約13体積%以下、又は約12体積%以下などの、約20体積%以下であってもよい。第4のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第4のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の非晶質材料を含むことができる。例えば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約98%、又は更には少なくとも約99%などの、少なくとも約97%の非晶質材料を含むことができる。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよ。
他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分は、特定の材料を含んでもよい。例えば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の樹脂前駆体マトリックス成分のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含んでもよい。他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の形成混合物は、特定の含有量の第2の樹脂マトリックス前駆体成分を含むことができる。例えば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、形成混合物の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第2の形成混合物の総体積に対して約63体積%以下、又は約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下である。第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2の形成混合物は、特定の含有量のペルフルオロポリマーを含んでもよい。例えば、ペルフルオロポリマーの含有量は、形成混合物の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の形成混合物の総体積に対して、約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下などの、約63体積%以下であってもよい。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
次に、形成方法100に従って形成された誘電体基板の実施形態を参照すると、図2aは、誘電体基板200の略図を含む。図2aに示したように、誘電体基板200は、ポリイミド層202と、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層204と、を含むことができる。図2aに示したように、第1の充填ポリマー層204は、第1の樹脂マトリックス成分210及び第1のセラミックフィラー成分220を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220は、誘電体基板200の性能を改善することができる特定の特性を有し得る第1のフィラー材料を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、特定のサイズ分布を有することができる。本明細書に記載されている実施形態の目的のために、材料の粒径分布、例えば、第1のフィラー材料の粒径分布は、粒径分布D値D10、D50及びD90の任意の組み合わせを使用して記述され得る。粒径分布からのD10値は、粒子の10%がその値よりも小さく、粒子の90%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD50値は、粒子の50%がその値よりも小さく、粒子の50%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD90値は、粒子の90%がその値よりも小さく、粒子の10%がその値よりも大きい粒径値として定義される。本明細書に記載される実施形態の目的のために、特定の材料の粒径測定は、レーザー回折分光法を使用して行われる。
特定の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、特定のサイズ分布D10値を有することができる。例えば、第1のフィラー材料のD10値は、少なくとも約0.3マイクロメートル、又は少なくとも約0.4マイクロメートル、又は少なくとも約0.5マイクロメートル、又は少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約1.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.2マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD10は、約1.5マイクロメートル以下、又は更には約1.4マイクロメートル以下などの、約1.6マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、特定のサイズ分布D50値を有してもよい。例えば、第1のフィラー材料のD50は、少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.5マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD50は、約2.6マイクロメートル以下、又は約2.5マイクロメートル以下又は更には約2.4マイクロメートル以下などの、約2.7マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、特定のサイズ分布D90値を有してもよい。例えば、第1のフィラー材料のD90は、少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は少なくとも約2.2マイクロメートル、又は少なくとも約2.3マイクロメートル、又は少なくとも約2.4マイクロメートル、又は少なくとも約2.5マイクロメートル、又は少なくとも約2.6マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.7マイクロメートルなどの、少なくとも約0.8マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD90は、約7.5マイクロメートル以下、又は約7.0マイクロメートル以下、又は約6.5マイクロメートル以下、又は約6.0マイクロメートル以下、又は約5.5マイクロメートル以下、又は約5.4マイクロメートル以下、又は約5.3マイクロメートル以下、又は約5.2マイクロメートル以下、又は更には約5.1マイクロメートル以下などの、約8.0マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、レーザー回折分光法によって測定される特定の平均粒径を有してもよい。例えば、第1のフィラー材料の平均粒径は、約9マイクロメートル以下、又は約8マイクロメートル以下、又は約7マイクロメートル以下、又は約6マイクロメートル以下、又は約5マイクロメートル以下、又は約4マイクロメートル以下、又は約3マイクロメートル以下、又は更には約2マイクロメートル以下などの、約10マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー材料の平均粒径は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、特定の粒径分布スパン(PSDS)を有するものとして説明することができ、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第1のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい。例えば、第1のフィラー材料のPSDSは、約4.5以下、又は約4.0以下、又は約3.5以下、又は約3.0以下、又は更には約2.5以下などの、約5以下であってもよい。第1のフィラー材料のPSDSは、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、Brunauer-Emmett-Teller(BET)表面積分析(窒素吸着)を使用して測定される特定の平均表面積を有するものとして記述され得る。例えば、第1のフィラー材料は、約7.9m2/g以下、又は約7.5m2/g以下、又は約7.0m2/g以下、又は約6.5m2/g以下、又は約6.0m2/g以下、又は約5.5m2/g以下、又は約5.0m2/g以下、又は約4.5m2/g以下、又は約4.0m2/g以下、又は更には約3.5m2/g以下などの、約10m2/g以下の平均表面積を有してもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、少なくとも約2.4m2/gなどの、少なくとも約1.2m2/gの平均表面積を有してもよい。第1のフィラー材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第1のフィラー材料は、特定の材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカ系化合物を含むことができる。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカ系化合物からなってもよい。他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の充填ポリマー層204は、特定の含有量の第1のセラミックフィラー成分220を含むことができる。例えば、セラミックフィラー成分220の含有量は、第1の充填ポリマー層204の総体積に対して、少なくとも約31体積%、又は少なくとも約32体積%、又は少なくとも約33体積%、又は少なくとも約34体積%、又は少なくとも約35体積%、又は少なくとも約36体積%、又は少なくとも約37体積%、又は少なくとも約38体積%、又は少なくとも約39体積%、又は少なくとも約40体積%、又は少なくとも約41体積%、又は少なくとも約42体積%、又は少なくとも約43体積%、又は少なくとも約44体積%、又は少なくとも約45体積%、又は少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は更には少なくとも約54体積%などの、少なくとも約30体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の含有量は、第1の充填ポリマー層204の総体積に対して、約56体積%以下、又は更には約55体積%以下などの、約57体積%以下であってもよい。セラミックフィラー成分220の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。セラミックフィラー成分220の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220は、特定の含有量の第1のフィラー材料を含むことができる。例えば、第1のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分220の総体積に対して、少なくとも約81体積%、又は少なくとも約82体積%、又は少なくとも約83体積%、又は少なくとも約84体積%、又は少なくとも約85体積%、又は少なくとも約86体積%、又は少なくとも約87体積%、又は少なくとも約88体積%、又は少なくとも約89体積%、又は更には少なくとも約90体積%などの、少なくとも約80体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分220の総体積に対して、約99体積%以下、又は約98体積%以下、又は約97体積%以下、又は約96体積%以下、又は約95体積%以下、又は約94体積%以下、又は約93体積%以下、又は更には約92体積%以下などの、約100体積%以下であってもよい。第1のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220は、第2のフィラー材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第2のフィラー材料は、特定の材料を含むことができる。例えば、第2のフィラー材料は、少なくとも約14の誘電率を有するセラミック材料などの高誘電率セラミック材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第2のフィラー材料は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせなどの任意の高誘電率セラミック材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220の第2のフィラー材料は、TiO2を含むことができる。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー材料は、TiO2からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220は、特定の含有量の第2のフィラー材料を含むことができる。例えば、第2のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分220の総体積に対して、少なくとも約2体積%、又は少なくとも約3体積%、又は少なくとも約4体積%、又は少なくとも約5体積%、又は少なくとも約6体積%、又は少なくとも約7体積%、又は少なくとも約8体積%、又は少なくとも約9体積%、又は少なくとも約10体積%などの、少なくとも約1体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分220の総体積に対して、約19体積%以下、又は約18体積%以下、又は約17体積%以下、又は約16体積%以下、又は約15体積%以下、又は約14体積%以下、又は約13体積%以下、又は約12体積%以下などの、約20体積%以下であってもよい。第2のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第2のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分220は、特定の含有量の非晶質材料を含むことができる。例えば、第1のセラミックフィラー成分220は、少なくとも約98%又は更には少なくとも約99%などの、少なくとも約97%の非晶質材料を含むことができる。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分210は、特定の材料を含み得る。例えば、第1の樹脂マトリックス成分210は、ペルフルオロポリマーを含むことができる。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分210は、ペルフルオロポリマーからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分210のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含んでもよい。他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分210のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分210のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含むことができる。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分210のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の充填ポリマー層204は、特定の含有量の第1の樹脂マトリックス成分210を含むことができる。例えば、第1の樹脂マトリックス成分210の含有量は、第1の充填ポリマー層204の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分210の含有量は、第1の充填ポリマー層204の総体積に対して約63体積%以下、又は約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下である。第1の樹脂マトリックス成分210の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1の樹脂マトリックス成分210の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1の充填ポリマー層204は、特定の含有量のペルフルオロポリマーを含んでもよい。例えば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層204の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層204の総体積に対して、約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下又は更には約57体積%以下などの、約63体積%以下であってもよい。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、X線回折を使用して測定される特定の空隙率を含むことができる。例えば、基板200の空隙率は、約9体積%以下、又は約8体積%以下、又は約7体積%以下、又は約6体積%以下、又は更には約5体積%以下などの、約10体積%以下であってもよい。誘電体基板200の空隙率は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の空隙率は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、特定の平均厚さを有してもよい。例えば、誘電体基板200の平均厚さは、少なくとも約15マイクロメートル、又は少なくとも約20マイクロメートル、又は少なくとも約25マイクロメートル、又は少なくとも約30マイクロメートル、又は少なくとも約35マイクロメートル、又は少なくとも約40マイクロメートル、又は少なくとも約45マイクロメートル、又は少なくとも約50マイクロメートル、又は少なくとも約55マイクロメートル、又は少なくとも約60マイクロメートル、又は少なくとも約65マイクロメートル、又は少なくとも約70マイクロメートル、又は更には少なくとも約75マイクロメートルなどの、少なくとも約10マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、誘電体基板200の平均厚さは、約1800マイクロメートル以下、又は約1600マイクロメートル以下、又は約1400マイクロメートル以下、又は約1200マイクロメートル以下、又は約1000マイクロメートル以下、又は約800マイクロメートル以下、又は約600マイクロメートル以下、又は約400マイクロメートル以下、又は約200マイクロメートル以下、又は約190マイクロメートル以下、又は約180マイクロメートル以下、又は約170マイクロメートル以下、又は約160マイクロメートル以下、又は約150マイクロメートル以下、又は約140マイクロメートル以下、又は約120マイクロメートル以下、又は更には約100マイクロメートル以下などの、約2000マイクロメートル以下であってもよい。誘電体基板200の平均厚さは、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の平均厚さは、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、5GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(dissipation factor、Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、5GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、10GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、10GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、28GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、28GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、39GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、39GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、76~81GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、76~81GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板200の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板200は、IPC-TM-650 2.4.24 Rev.Cガラス転移温度及びTMAによるZ軸熱膨張に従って測定される特定の熱膨張係数を有してもよい。例えば、誘電体基板200は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数を有してもよい。
形成方法100に従って形成される誘電体基板の他の実施形態によれば、図2bは、誘電体基板201の略図を含む。図2bに示したように、誘電体基板201は、ポリイミド層202と、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層204と、ポリイミド層の下を覆う第2の充填ポリマー層206と、を含むことができる。図2bに示したように、第2の充填ポリマー層206は、第2の樹脂マトリックス成分230及び第2のセラミックフィラー成分240を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240は、誘電体基板201の性能を改善することができる特定の特性を有し得る第3のフィラー材料を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第3のフィラー材料は、特定のサイズ分布を有することができる。本明細書に記載されている実施形態の目的のために、材料の粒径分布、例えば、第3のフィラー材料の粒径分布は、粒径分布D値D10、D50及びD90の任意の組み合わせを使用して記述され得る。粒径分布からのD10値は、粒子の10%がその値よりも小さく、粒子の90%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD50値は、粒子の50%がその値よりも小さく、粒子の50%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD90値は、粒子の90%がその値よりも小さく、粒子の10%がその値よりも大きい粒径値として定義される。本明細書に記載される実施形態の目的のために、特定の材料の粒径測定は、レーザー回折分光法を使用して行われる。
特定の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第3のフィラー材料は、特定のサイズ分布D10値を有してもよい。例えば、第3のフィラー材料のD10は、少なくとも約0.3マイクロメートル、又は少なくとも約0.4マイクロメートル、又は少なくとも約0.5マイクロメートル、又は少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約1.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.2マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD10は、約1.5マイクロメートル以下、又は更には約1.4マイクロメートル以下などの、約1.6マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第3のフィラー材料は、特定のサイズ分布D50値を有してもよい。例えば、第3のフィラー材料のD50は、少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.5マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD50は、約2.6マイクロメートル以下、又は約2.5マイクロメートル以下、又は更には約2.4マイクロメートル以下などの、約2.7マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第3のフィラー材料は、特定のサイズ分布D90値を有してもよい。例えば、第3のフィラー材料のD90は、少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は少なくとも約2.2マイクロメートル、又は少なくとも約2.3マイクロメートル、又は少なくとも約2.4マイクロメートル、又は少なくとも約2.5マイクロメートル、又は少なくとも約2.6マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.7マイクロメートルなどの、少なくとも約0.8マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD90は、約7.5マイクロメートル以下、又は約7.0マイクロメートル以下、又は約6.5マイクロメートル以下、又は約6.0マイクロメートル以下、又は約5.5マイクロメートル以下、又は約5.4マイクロメートル以下、又は約5.3マイクロメートル以下、又は約5.2マイクロメートル以下、又は更には約5.1マイクロメートル以下などの、約8.0マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第3のフィラー材料は、レーザー回折分光法に従って測定される特定の平均粒径を有してもよい。例えば、第3のフィラー材料の平均粒径は、約9マイクロメートル以下、又は約8マイクロメートル以下、又は約7マイクロメートル以下、又は約6マイクロメートル以下、又は約5マイクロメートル以下、又は約4マイクロメートル以下、又は約3マイクロメートル以下、又は更には約2マイクロメートル以下などの、約10マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー材料の平均粒径は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第3のフィラー材料は、特定の粒径分布スパン(PSDS)を有するものとして説明することができ、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第3のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第3のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第3のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい。例えば、第3のフィラー材料のPSDSは、約4.5以下、又は約4.0以下、又は約3.5以下、又は約3.0以下、又は更には約2.5以下などの、約5以下であってもよい。第3のフィラー材料のPSDSは、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第3のフィラー材料は、Brunauer-Emmett-Teller(BET)表面積分析(窒素吸着)を使用して測定される特定の平均表面積を有するものとして説明することができる。例えば、第3のフィラー材料は、約9.9m2/g以下、又は約9.5m2/g以下、又は約9.0m2/g以下、又は約8.5m2/g以下、又は約8.0m2/g以下、又は約7.5m2/g以下、又は約7.0m2/g以下、又は約6.5m2/g以下、又は約6.0m2/g以下、又は約5.5m2/g以下、又は約5.0m2/g以下、又は約4.5m2/g以下、又は約4.0m2/g以下、又は更には約3.5m2/g以下などの、約10m2/g以下の平均表面積を有してもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料は、少なくとも約2.4m2/gなどの、少なくとも約1.2m2/gの平均表面積を有してもよい。第3のフィラー材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第3のフィラー材料は、特定の材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第3のフィラー材料は、シリカ系化合物を含むことができる。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料は、シリカ系化合物からなってもよい。他の実施形態によれば、第3のフィラー材料は、シリカを含むことができる。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料は、シリカからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の充填ポリマー層204は、特定の含有量の第2のセラミックフィラー成分240を含むことができる。例えば、第2のセラミックフィラー成分240の含有量は、第2のセラミックフィラー成分240の総体積に対して、少なくとも約31体積%、又は少なくとも約32体積%、又は少なくとも約33体積%、又は少なくとも約34体積%、又は少なくとも約35体積%、又は少なくとも約36体積%、又は少なくとも約37体積%、又は少なくとも約38体積%、又は少なくとも約39体積%、又は少なくとも約40体積%、又は少なくとも約41体積%、又は少なくとも約42体積%、又は少なくとも約43体積%、又は少なくとも約44体積%、又は少なくとも約45体積%、又は少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%又は少なくとも約52体積%又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%などの、少なくとも約30体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の含有量は、第1の充填ポリマー層204の総体積に対して、約56体積%以下、又は更には約55体積%以下などの、約57体積%以下であってもよい。セラミックフィラー成分220の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。セラミックフィラー成分220の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240は、特定の含有量の第3のフィラー材料を含むことができる。例えば、第3のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分240の総体積に対して、少なくとも約81体積%、又は少なくとも約82体積%、又は少なくとも約83体積%、又は少なくとも約84体積%、又は少なくとも約85体積%、又は少なくとも約86体積%、又は少なくとも約87体積%、又は少なくとも約88体積%、又は少なくとも約89体積%、又は更には少なくとも約90体積%などの、少なくとも約80体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分240の総体積に対して、約99体積%以下、又は約98体積%以下、又は約97体積%以下、又は約96体積%以下、又は約95体積%以下、又は約94体積%以下、又は約93体積%以下、又は更には約92体積%以下などの、約100体積%以下であってもよい。第3のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240は、第4のフィラー材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第4のフィラー材料は、特定の材料を含むことができる。例えば、第4のフィラー材料は、少なくとも約14の誘電率を有するセラミック材料などの高誘電率セラミック材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第4のフィラー材料は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせなどの任意の高誘電率セラミック材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240の第4のフィラー材料は、TiO2を含むことができる。更に他の実施形態によれば、第4のフィラー材料は、TiO2からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240は、特定の含有量の第4のフィラー材料を含むことができる。例えば、第4のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分240の総体積に対して、少なくとも約2体積%、又は少なくとも約3体積%、又は少なくとも約4体積%、又は少なくとも約5体積%、又は少なくとも約6体積%、又は少なくとも約7体積%、又は少なくとも約8体積%、又は少なくとも約9体積%、又は少なくとも約10体積%などの、少なくとも約1体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第4のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分240の総体積に対して、約19体積%以下、又は約18体積%以下、又は約17体積%以下、又は約16体積%以下、又は約15体積%以下、又は約14体積%以下、又は約13体積%以下、又は約12体積%以下などの、約20体積%以下であってもよい。第4のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第4のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分240は、特定の含有量の非晶質材料を含むことができる。例えば、第2のセラミックフィラー成分240は、少なくとも約98%又は更には少なくとも約99%などの、少なくとも約97%の非晶質材料を含むことができる。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分230は、特定の材料を含み得る。例えば、第2の樹脂マトリックス成分230は、ペルフルオロポリマーを含むことができる。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分230は、ペルフルオロポリマーからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分230のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含んでもよい。他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分230のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分230のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含むことができる。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分230のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の充填ポリマー層206は、特定の含有量の第2の樹脂マトリックス成分230を含むことができる。例えば、第2の樹脂マトリックス成分230の含有量は、第2の充填ポリマー層206の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分230の含有量は、第2の充填ポリマー層206の総体積に対して約63体積%以下、又は約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下である。第2の樹脂マトリックス成分230の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第2の樹脂マトリックス成分230の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2の充填ポリマー層206は、特定の含有量のペルフルオロポリマーを含んでもよい。例えば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層206の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層206の総体積に対して、約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下などの、約63体積%以下であってもよい。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、X線回折を使用して測定される特定の空隙率を有することができる。例えば、基板200の空隙率は、約9体積%以下、又は約8体積%以下、又は約7体積%以下、又は約6体積%以下、又は更には約5体積%以下などの、約10体積%以下であってもよい。誘電体基板201の空隙率は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の空隙率は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、特定の平均厚さを有してもよい。例えば、誘電体基板201の平均厚さは、少なくとも約15マイクロメートル、又は少なくとも約20マイクロメートル、又は少なくとも約25マイクロメートル、又は少なくとも約30マイクロメートル、又は少なくとも約35マイクロメートル、又は少なくとも約40マイクロメートル、又は少なくとも約45マイクロメートル、又は少なくとも約50マイクロメートル、又は少なくとも約55マイクロメートル、又は少なくとも約60マイクロメートル、又は少なくとも約65マイクロメートル、又は少なくとも約70マイクロメートル、又は更には少なくとも約75マイクロメートルなどの、少なくとも約10マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、誘電体基板201の平均厚さは、約1800マイクロメートル以下、又は約1600マイクロメートル以下、又は約1400マイクロメートル以下、又は約1200マイクロメートル以下、又は約1000マイクロメートル以下、又は約800マイクロメートル以下、又は約600マイクロメートル以下、又は約400マイクロメートル以下、又は約200マイクロメートル以下、又は約190マイクロメートル以下、又は約180マイクロメートル以下、又は約170マイクロメートル以下、又は約160マイクロメートル以下、又は約150マイクロメートル以下、又は約140マイクロメートル以下、又は約120マイクロメートル以下、又は更には約100マイクロメートル以下などの、約2000マイクロメートル以下であってもよい。誘電体基板201の平均厚さは、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の平均厚さは、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、5GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、5GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、10GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、10GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、28GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、28GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、39GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、39GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、76~81GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、76~81GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板201の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板201は、IPC-TM-650 2.4.24 Rev.Cガラス転移温度及びTMAによるZ軸熱膨張に従って測定される特定の熱膨張係数を有してもよい。例えば、誘電体基板201は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数を有してもよい。
本明細書に開示されている誘電体基板の実施形態を参照して説明される充填ポリマー層は、ポリイミド層と直接接触してもよい、又は充填ポリマー層とポリイミド層との間に追加の層が存在してもよいことが理解されよう。例えば、フルオロポリマー層(充填又は非充填)が、誘電体基板のポリイミド層と充填ポリマー層との間に配置されてもよい。
次に、本明細書に記載されている誘電体基板を含み得る銅張積層板の実施形態を説明する。本明細書に記載されるそのような追加の実施形態は、一般的に、銅箔層と、銅箔層の上を覆う誘電体基板と、を含むことができる銅張積層板に関する。特定の実施形態によれば、誘電体基板は、ポリイミド層と、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層と、を含むことができ、第1の充填ポリマー層は、第1の樹脂マトリックス成分と、第1のセラミックフィラー成分と、を含むことができる。
次に、銅張積層板を形成する方法を参照すると、図3は、本明細書に記載されている実施形態に係る、銅張積層板を形成するための形成方法300を示した略図を含む。特定の実施形態によれば、形成方法300は、銅箔層を提供する第1のステップ310と、銅箔層の上を覆う誘電体基板を形成する第2のステップ320と、を含むことができる。特定の実施形態によれば、誘電体基板を形成することは、第1の樹脂マトリックス前駆体成分と第1のセラミックフィラー前駆体成分とを組み合わせて第1の形成混合物を形成することと、第1の形成混合物を、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層に形成して誘電体基板を形成することと、を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、形成方法300によって形成される銅張積層板の性能を改善することができる特定の特性を有し得る第1のフィラー前駆体材料を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布を有してもよい。本明細書に記載される実施形態の目的のために、材料の粒径分布、例えば、第1のフィラー前駆体材料の粒径分布は、粒径分布D値D10、D50及びD90の任意の組み合わせを使用して記載され得る。粒径分布からのD10値は、粒子の10%がその値よりも小さく、粒子の90%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD50値は、粒子の50%がその値よりも小さく、粒子の50%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD90値は、粒子の90%がその値よりも小さく、粒子の10%がその値よりも大きい粒径値として定義される。本明細書に記載される実施形態の目的のために、特定の材料の粒径測定は、レーザー回折分光法を使用して行われる。
特定の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D10値を有してもよい。例えば、第1のフィラー前駆体材料のD10は、少なくとも約0.3マイクロメートル、又は少なくとも約0.4マイクロメートル、又は少なくとも約0.5マイクロメートル、又は少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約1.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.2マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD10は、約1.5マイクロメートル以下、又は更には約1.4マイクロメートル以下などの、約1.6マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D50値を有してもよい。例えば、第1のフィラー前駆体材料のD50は、少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.5マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD50は、約2.6マイクロメートル以下、又は約2.5マイクロメートル以下又は更には約2.4マイクロメートル以下などの、約2.7マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D90値を有してもよい。例えば、第1のフィラー前駆体材料のD90は、少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は少なくとも約2.2マイクロメートル、又は少なくとも約2.3マイクロメートル、又は少なくとも約2.4マイクロメートル、又は少なくとも約2.5マイクロメートル、又は少なくとも約2.6マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.7マイクロメートルなどの、少なくとも約0.8マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD90は、約7.5マイクロメートル以下、又は約7.0マイクロメートル以下、又は約6.5マイクロメートル以下、又は約6.0マイクロメートル以下、又は約5.5マイクロメートル以下、又は約5.4マイクロメートル以下、又は約5.3マイクロメートル以下、又は約5.2マイクロメートル以下、又は更には約5.1マイクロメートル以下などの、約8.0マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、レーザー回折分光法を使用して測定される特定の平均粒径を有してもよい。例えば、第1のフィラー前駆体材料の平均粒径は、約9マイクロメートル以下、又は約8マイクロメートル以下、又は約7マイクロメートル以下、又は約6マイクロメートル以下、又は約5マイクロメートル以下、又は約4マイクロメートル以下、又は約3マイクロメートル以下、又は更には約2マイクロメートル以下などの、約10マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料の平均粒径は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であってもよいことが理解されるであろう。第1のフィラー前駆体材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定の粒径分布スパン(PSDS)を有するものとして説明することができ、第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい。例えば、第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、約4.5以下、又は約4.0以下、又は約3.5以下、又は約3.0以下、又は更には約2.5以下などの、約5以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であってもよいことが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、Brunauer-Emmett-Teller(BET)表面積分析(窒素吸着)を使用して測定される特定の平均表面積を有するものとして記述され得る。例えば、第1のフィラー前駆体材料は、約9.9m2/g以下、又は約9.5m2/g以下、又は約9.0m2/g以下、又は約8.5m2/g以下、又は約8.0m2/g以下、又は約7.5m2/g以下、又は約7.0m2/g以下、又は約6.5m2/g以下、又は約6.0m2/g以下、又は約5.5m2/g以下、又は約5.0m2/g以下、又は約4.5m2/g以下、又は約4.0m2/g以下、又は更には約3.5m2/g以下などの、約10m2/g以下の平均表面積を有してもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、少なくとも約2.4m2/gなどの、少なくとも約1.2m2/gの平均表面積を有してもよい。第1のフィラー前駆体材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、特定の材料を含み得る。特定の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物を含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物からなってもよい。他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料は、シリカからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の形成混合物は、特定の含有量の第1のセラミックフィラー前駆体成分を含むことができる。例えば、第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して、少なくとも約31体積%、又は少なくとも約32体積%、又は少なくとも約33体積%、又は少なくとも約34体積%、又は少なくとも約35体積%、又は少なくとも約36体積%、又は少なくとも約37体積%、又は少なくとも約38体積%、又は少なくとも約39体積%、又は少なくとも約40体積%、又は少なくとも約41体積%、又は少なくとも約42体積%、又は少なくとも約43体積%、又は少なくとも約44体積%、又は少なくとも約45体積%、又は少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は更には少なくとも約54体積%などの、少なくとも約30体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して、約56体積%以下、又は更には約55体積%以下などの、約57体積%以下であってもよい。第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の第1のフィラー前駆体材料を含むことができる。例えば、第1のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、少なくとも約81体積%、又は少なくとも約82体積%、又は少なくとも約83体積%、又は少なくとも約84体積%、又は少なくとも約85体積%、又は少なくとも約86体積%、又は少なくとも約87体積%、又は少なくとも約88体積%、又は少なくとも約89体積%、又は更には少なくとも約90体積%などの、少なくとも約80体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、約99体積%以下、又は約98体積%以下、又は約97体積%以下、又は約96体積%以下、又は約95体積%以下、又は約94体積%以下、又は約93体積%以下、又は更には約92体積%以下などの、約100体積%以下であってもよい。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、第2のフィラー前駆体材料を含んでもよい。
更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、特定の材料を含み得る。例えば、第2のフィラー前駆体材料は、少なくとも約14の誘電率を有するセラミック材料などの高誘電率セラミック材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせなどの任意の高誘電率セラミック材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、TiO2を含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料は、TiO2からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の第2のフィラー前駆体材料を含んでもよい。例えば、第2のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、少なくとも約2体積%、又は少なくとも約3体積%、又は少なくとも約4体積%、又は少なくとも約5体積%、又は少なくとも約6体積%、又は少なくとも約7体積%、又は少なくとも約8体積%、又は少なくとも約9体積%、又は少なくとも約10体積%などの、少なくとも約1体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、約19体積%以下、又は約18体積%以下、又は約17体積%以下、又は約16体積%以下、又は約15体積%以下、又は約14体積%以下、又は約13体積%以下、又は約12体積%以下などの、約20体積%以下であってもよい。第2のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第2のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の非晶質材料を含むことができる。例えば、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約98%、又は更には少なくとも約99%などの、少なくとも約97%の非晶質材料を含むことができる。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分は、特定の材料を含んでもよい。例えば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の樹脂前駆体マトリックス成分のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含んでもよい。他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の形成混合物は、特定の含有量の第1の樹脂マトリックス前駆体成分を含んでもよい。例えば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して約63体積%以下、又は約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下である。第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1の形成混合物は、特定の含有量のペルフルオロポリマーを含んでもよい。例えば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の形成混合物の総体積に対して、約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下などの、約63体積%以下であり得る。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板を形成することは、第2の樹脂マトリックス前駆体成分と第2のセラミックフィラー前駆体成分とを組み合わせて第2の形成混合物を形成することと、第2の形成混合物を、ポリイミド層の下を覆う第2の充填ポリマー層に形成することと、を更に含むことができる。
特定の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、形成方法300によって形成される銅張積層板の性能を改善することができる特定の特性を有し得る第3のフィラー前駆体材料を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布を有してもよい。本明細書に記載されている実施形態の目的のために、材料の粒径分布、例えば、第3のフィラー前駆体材料の粒径分布は、粒径分布D値D10、D50及びD90の任意の組み合わせを使用して記述され得る。粒径分布からのD10値は、粒子の10%がその値よりも小さく、粒子の90%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD50値は、粒子の50%がその値よりも小さく、粒子の50%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD90値は、粒子の90%がその値よりも小さく、粒子の10%がその値よりも大きい粒径値として定義される。本明細書に記載される実施形態の目的のために、特定の材料の粒径測定は、レーザー回折分光法を使用して行われる。
特定の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D10値を有してもよい。例えば、第3のフィラー前駆体材料のD10値は、少なくとも約0.3マイクロメートル、又は少なくとも約0.4マイクロメートル、又は少なくとも約0.5マイクロメートル、又は少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約1.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.2マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD10は、約1.5マイクロメートル以下、又は更には約1.4マイクロメートル以下などの、約1.6マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー前駆体材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D50値を有してもよい。例えば、第3のフィラー前駆体材料のD50は、少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.5マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD50は、約2.6マイクロメートル以下、又は約2.5マイクロメートル以下、又は更には約2.4マイクロメートル以下などの、約2.7マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定のサイズ分布D90値を有してもよい。例えば、第3のフィラー前駆体材料のD90は、少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は少なくとも約2.2マイクロメートル、又は少なくとも約2.3マイクロメートル、又は少なくとも約2.4マイクロメートル、又は少なくとも約2.5マイクロメートル、又は少なくとも約2.6マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.7マイクロメートルなどの、少なくとも約0.8マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD90は、約7.5マイクロメートル以下、又は約7.0マイクロメートル以下、又は約6.5マイクロメートル以下、又は約6.0マイクロメートル以下、又は約5.5マイクロメートル以下、又は約5.4マイクロメートル以下、又は約5.3マイクロメートル以下、又は約5.2マイクロメートル以下、又は更には約5.1マイクロメートル以下などの、約8.0マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー前駆体材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、レーザー回折分光法を使用して測定される特定の平均粒径を有してもよい。例えば、第3のフィラー前駆体材料の平均粒径は、約9マイクロメートル以下、又は約8マイクロメートル以下、又は約7マイクロメートル以下、又は約6マイクロメートル以下、又は約5マイクロメートル以下、又は約4マイクロメートル以下、又は約3マイクロメートル以下、又は更には約2マイクロメートル以下などの、約10マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー前駆体材料の平均粒径は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定の粒径分布スパン(PSDS)を有するものとして説明することができ、第3のフィラー前駆体材料のPSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第3のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第3のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第3のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい。例えば、第3のフィラー前駆体材料のPSDSは、約4.5以下、又は約4.0以下、又は約3.5以下、又は約3.0以下、又は更には約2.5以下などの、約5以下であってもよい。第3のフィラー前駆体材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、Brunauer-Emmett-Teller(BET)表面積分析(窒素吸着)を使用して測定される特定の平均表面積を有するものとして記述され得る。例えば、第3のフィラー前駆体材料は、約9.9m2/g以下、又は約9.5m2/g以下、又は約9.0m2/g以下、又は約8.5m2/g以下、又は約8.0m2/g以下、又は約7.5m2/g以下、又は約7.0m2/g以下、又は約6.5m2/g以下、又は約6.0m2/g以下、又は約5.5m2/g以下、又は約5.0m2/g以下、又は約4.5m2/g以下、又は約4.0m2/g以下、又は更には約3.5m2/g以下などの、約10m2/g以下の平均表面積を有してもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、少なくとも約2.4m2/gなどの、少なくとも約1.2m2/gの平均表面積を有してもよい。第3のフィラー前駆体材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、特定の材料を含み得る。特定の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物を含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物からなってもよい。他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、シリカを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料は、シリカからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の形成混合物は、特定の含有量の第2のセラミックフィラー前駆体成分を含むことができる。例えば、第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第2の形成混合物の総体積に対して、少なくとも約31体積%、又は少なくとも約32体積%、又は少なくとも約33体積%、又は少なくとも約34体積%、又は少なくとも約35体積%、又は少なくとも約36体積%、又は少なくとも約37体積%、又は少なくとも約38体積%、又は少なくとも約39体積%、又は少なくとも約40体積%、又は少なくとも約41体積%、又は少なくとも約42体積%、又は少なくとも約43体積%、又は少なくとも約44体積%、又は少なくとも約45体積%、又は少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は更には少なくとも約54体積%などの、少なくとも約30体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第2の形成混合物の総体積に対して、約56体積%以下、又は更には約55体積%以下などの、約57体積%以下であってもよい。第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の第3のフィラー前駆体材料を含むことができる。例えば、第3のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、少なくとも約81体積%、又は少なくとも約82体積%、又は少なくとも約83体積%、又は少なくとも約84体積%、又は少なくとも約85体積%、又は少なくとも約86体積%、又は少なくとも約87体積%、又は少なくとも約88体積%、又は少なくとも約89体積%、又は更には少なくとも約90体積%などの、少なくとも約80体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、約99体積%以下、又は約98体積%以下、又は約97体積%以下、又は約96体積%以下、又は約95体積%以下、又は約94体積%以下、又は約93体積%以下、又は更には約92体積%以下などの、約100体積%以下であってもよい。第3のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、第4のフィラー前駆体材料を含んでもよい。
更に他の実施形態によれば、第4のフィラー前駆体材料は、特定の材料を含み得る。例えば、第4のフィラー前駆体材料は、少なくとも約14の誘電率を有するセラミック材料などの高誘電率セラミック材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第4のフィラー前駆体材料は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせなどの任意の高誘電率セラミック材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第4のフィラー前駆体材料は、TiO2を含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第4のフィラー前駆体材料は、TiO2からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の第4のフィラー前駆体材料を含むことができる。例えば、第4のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、少なくとも約2体積%、又は少なくとも約3体積%、又は少なくとも約4体積%、又は少なくとも約5体積%、又は少なくとも約6体積%、又は少なくとも約7体積%、又は少なくとも約8体積%、又は少なくとも約9体積%、又は少なくとも約10体積%などの、少なくとも約1体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第4のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して、約19体積%以下、又は約18体積%以下、又は約17体積%以下、又は約16体積%以下、又は約15体積%以下、又は約14体積%以下、又は約13体積%以下、又は約12体積%以下などの、約20体積%以下であってもよい。第4のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第4のフィラー前駆体材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、特定の含有量の非晶質材料を含むことができる。例えば、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約98%、又は更には少なくとも約99%などの、少なくとも約97%の非晶質材料を含むことができる。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分は、特定の材料を含んでもよい。例えば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の樹脂前駆体マトリックス成分のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のポリマーのターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含んでもよい。他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の形成混合物は、特定の含有量の第2の樹脂マトリックス前駆体成分を含むことができる。例えば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第2の形成混合物の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第2の形成混合物の総体積に対して約63体積%以下、又は約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下である。第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2の形成混合物は、特定の含有量のペルフルオロポリマーを含んでもよい。例えば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の形成混合物の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の形成混合物の総体積に対して、約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下などの、約63体積%以下であってもよい。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
次に、形成方法300に従って形成される銅張積層板の実施形態を参照すると、図4aは、銅張積層板400の略図を含む。図4aに示したように、銅張積層板400は、銅箔層403と、銅箔層403の表面を覆う誘電体基板405と、を含むことができる。図4aに更に示したように、誘電体基板405は、ポリイミド層402と、ポリイミド層402の上を覆う第1の充填ポリマー層404と、を含むことができる。図4aに示したように、第1の充填ポリマー層404は、第1の樹脂マトリックス成分410及び第1のセラミックフィラー成分420を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420は、誘電体基板405の性能を改善することができる特定の特性を有し得る第1のフィラー材料を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第1のフィラー材料は、特定のサイズ分布を有することができる。本明細書に記載されている実施形態の目的のために、材料の粒径分布、例えば、第1のフィラー材料の粒径分布は、粒径分布D値D10、D50及びD90の任意の組み合わせを使用して記載ああされ得る。粒径分布からのD10値は、粒子の10%がその値よりも小さく、粒子の90%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD50値は、粒子の50%がその値よりも小さく、粒子の50%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD90値は、粒子の90%がその値よりも小さく、粒子の10%がその値よりも大きい粒径値として定義される。本明細書に記載される実施形態の目的のために、特定の材料の粒径測定は、レーザー回折分光法を使用して行われる。
特定の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第1のフィラー材料は、特定のサイズ分布D10値を有することができる。例えば、第1のフィラー材料のD10は、少なくとも約0.3マイクロメートル、又は少なくとも約0.4マイクロメートル、又は少なくとも約0.5マイクロメートル、又は少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約1.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.2マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD10は、約1.5マイクロメートル以下、又は更には約1.4マイクロメートル以下などの、約1.6マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第1のフィラー材料は、特定のサイズ分布D50値を有してもよい。例えば、第1のフィラー材料のD50は、少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.8マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD50は、約2.6マイクロメートル以下、又は約2.5マイクロメートル以下又は更には約2.4マイクロメートル以下などの、約2.7マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第1のフィラー材料は、特定のサイズ分布D90値を有してもよい。例えば、第1のフィラー材料のD90は、少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は少なくとも約2.2マイクロメートル、又は少なくとも約2.3マイクロメートル、又は少なくとも約2.4マイクロメートル、又は少なくとも約2.5マイクロメートル、又は少なくとも約2.6マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.7マイクロメートルなどの、少なくとも約0.8マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料のD90は、約7.5マイクロメートル以下、又は約7.0マイクロメートル以下、又は約6.5マイクロメートル以下、又は約6.0マイクロメートル以下、又は約5.5マイクロメートル以下、又は約5.4マイクロメートル以下、又は約5.3マイクロメートル以下、又は約5.2マイクロメートル以下、又は更には約5.1マイクロメートル以下などの、約8.0マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第1のフィラー材料は、レーザー回折分光法によって測定される特定の平均粒径を有してもよい。例えば、第1のフィラー材料の平均粒径は、約9マイクロメートル以下、又は約8マイクロメートル以下、又は約7マイクロメートル以下、又は約6マイクロメートル以下、又は約5マイクロメートル以下、又は約4マイクロメートル以下、又は約3マイクロメートル以下、又は更には約2マイクロメートル以下などの、約10マイクロメートル以下であってもよい。第1のフィラー材料の平均粒径は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第1のフィラー材料は、特定の粒径分布スパン(PSDS)を有するものとして説明することができ、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第1のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい。例えば、第1のフィラー材料のPSDSは、約4.5以下、又は約4.0以下、又は約3.5以下、又は約3.0以下、又は更には約2.5以下などの、約5以下であってもよい。第1のフィラー材料のPSDSは、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第1のフィラー材料は、Brunauer-Emmett-Teller(BET)表面積分析(窒素吸着)を使用して測定される特定の平均表面積を有するものとして説明され得る。例えば、第1のフィラー材料は、約9.9m2/g以下、又は約9.5m2/g以下、又は約9.0m2/g以下、又は約8.5m2/g以下、又は約8.0m2/g以下、又は約7.5m2/g以下、又は約7.0m2/g以下、又は約6.5m2/g以下、又は約6.0m2/g以下、又は約5.5m2/g以下、又は約5.0m2/g以下、又は約4.5m2/g以下、又は約4.0m2/g以下、又は更には約3.5m2/g以下などの、約10m2/g以下の平均表面積を有してもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、少なくとも約2.4m2/gなどの、少なくとも約1.2m2/gの平均表面積を有してもよい。第1のフィラー材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第1のフィラー材料は、特定の材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカ系化合物を含むことができる。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカ系化合物からなってもよい。他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカを含んでもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料は、シリカからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の充填ポリマー層404は、特定の含有量の第1のセラミックフィラー成分420を含むことができる。例えば、第1のセラミックフィラー成分420の含有量は、第1の充填ポリマー層404の総体積に対して、少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は更には少なくとも約54体積%などの、少なくとも約50体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、セラミックフィラー成分220の含有量は、第1の充填ポリマー層404の総体積に対して、約56体積%以下、又は更には約55体積%以下などの、約57体積%以下であってもよい。第1のセラミックフィラー成分420の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のセラミックフィラー成分420の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420は、特定の含有量の第1のフィラー材料を含むことができる。例えば、第1のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分420の総体積に対して、少なくとも約81体積%、又は少なくとも約82体積%、又は少なくとも約83体積%、又は少なくとも約84体積%、又は少なくとも約85体積%、又は少なくとも約86体積%、又は少なくとも約87体積%、又は少なくとも約88体積%、又は少なくとも約89体積%、又は更には少なくとも約90体積%などの、少なくとも約80体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分420の総体積に対して、約99体積%以下、又は約98体積%以下、又は約97体積%以下、又は約96体積%以下、又は約95体積%以下、又は約94体積%以下、又は約93体積%以下、又は更には約92体積%以下などの、約100体積%以下であってもよい。第1のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420は、第2のフィラー材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第2のフィラー材料は、特定の材料を含むことができる。例えば、第2のフィラー材料は、少なくとも約14の誘電率を有するセラミック材料などの高誘電率セラミック材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第2のフィラー材料は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせなどの任意の高誘電率セラミック材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420の第2のフィラー材料は、TiO2を含むことができる。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー材料は、TiO2からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420は、特定の含有量の第2のフィラー材料を含むことができる。例えば、第2のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分420の総体積に対して、少なくとも約2体積%、又は少なくとも約3体積%、又は少なくとも約4体積%、又は少なくとも約5体積%、又は少なくとも約6体積%、又は少なくとも約7体積%、又は少なくとも約8体積%、又は少なくとも約9体積%、又は少なくとも約10体積%などの、少なくとも約1体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分420の総体積に対して、約19体積%以下、又は約18体積%以下、又は約17体積%以下、又は約16体積%以下、又は約15体積%以下、又は約14体積%以下、又は約13体積%以下、又は約12体積%以下などの、約20体積%以下であってもよい。第2のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第2のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1のセラミックフィラー成分420は、特定の含有量の非晶質材料を含むことができる。例えば、第1のセラミックフィラー成分420は、少なくとも約98%又は更には少なくとも約99%などの、少なくとも約97%の非晶質材料を含むことができる。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分410は、特定の材料を含み得る。例えば、第1の樹脂マトリックス成分410は、ペルフルオロポリマーを含むことができる。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分410は、ペルフルオロポリマーからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分410のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含んでもよい。他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分410のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分410のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含むことができる。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分410のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の充填ポリマー層404は、特定の含有量の第1の樹脂マトリックス成分410を含むことができる。例えば、第1の樹脂マトリックス成分410の含有量は、第1の充填ポリマー層404の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分410の含有量は、第1の充填ポリマー層404の総体積に対して約63体積%以下、又は約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下である。第1の樹脂マトリックス成分410の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第1の樹脂マトリックス成分410の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第1の充填ポリマー層404は、特定の含有量のペルフルオロポリマーを含んでもよい。例えば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層404の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層404の総体積に対して、約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下などの、約63体積%以下であってもよい。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、X線回折を使用して測定される特定の空隙率を有することができる。例えば、基板405の空隙率は、約9体積%以下、又は約8体積%以下、又は約7体積%以下、又は約6体積%以下、又は更には約5体積%以下などの、約10体積%以下であってもよい。誘電体基板405の空隙率は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の空隙率は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、特定の平均厚さを有してもよい。例えば、誘電体基板405の平均厚さは、少なくとも約15マイクロメートル、又は少なくとも約20マイクロメートル、又は少なくとも約25マイクロメートル、又は少なくとも約30マイクロメートル、又は少なくとも約35マイクロメートル、又は少なくとも約40マイクロメートル、又は少なくとも約45マイクロメートル、又は少なくとも約50マイクロメートル、又は少なくとも約55マイクロメートル、又は少なくとも約60マイクロメートル、又は少なくとも約65マイクロメートル、又は少なくとも約70マイクロメートル、又は更には少なくとも約75マイクロメートルなどの、少なくとも約10マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、誘電体基板405の平均厚さは、約1800マイクロメートル以下、又は約1600マイクロメートル以下、又は約1400マイクロメートル以下、又は約1200マイクロメートル以下、又は約1000マイクロメートル以下、又は約800マイクロメートル以下、又は約600マイクロメートル以下、又は約400マイクロメートル以下、又は約200マイクロメートル以下、又は約190マイクロメートル以下、又は約180マイクロメートル以下、又は約170マイクロメートル以下、又は約160マイクロメートル以下、又は約150マイクロメートル以下、又は約140マイクロメートル以下、又は約120マイクロメートル以下、又は更には約100マイクロメートル以下などの、約2000マイクロメートル以下であってもよい。誘電体基板405の平均厚さは、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の平均厚さは、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、5GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、5GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、10GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、10GHの範囲z、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、28GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、28GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、39GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、39GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、76~81GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、76~81GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、IPC-TM-650 2.4.24 Rev.Cガラス転移温度及びTMAによるZ軸熱膨張に従って測定される特定の熱膨張係数を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数を有してもよい。
形成方法300に従って形成される銅張積層板の他の実施形態によれば、図4bは、銅張積層板401の略図を含む。図4aに示したように、銅張積層板401は、銅箔層403と、銅箔層403の表面を覆う誘電体基板405と、を含むことができる。図4bに示したように、誘電体基板405は、ポリイミド層402と、ポリイミド層402の上を覆う第1の充填ポリマー層404と、ポリイミド層402の下を覆う第2の充填ポリマー層406と、を含むことができる。図4bに示したように、第2の充填ポリマー層406は、第2の樹脂マトリックス成分430及び第2のセラミックフィラー成分440を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440は、誘電体基板405の性能を改善することができる特定の特性を有し得る第3のフィラー材料を含むことができる。
特定の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第3のフィラー材料は、特定のサイズ分布を有することができる。本明細書に記載されている実施形態の目的のために、材料の粒径分布、例えば、第3のフィラー材料の粒径分布は、粒径分布D値D10、D50及びD90の任意の組み合わせを使用して記述され得る。粒径分布からのD10値は、粒子の10%がその値よりも小さく、粒子の90%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD50値は、粒子の50%がその値よりも小さく、粒子の50%がその値よりも大きい粒径値として定義される。粒径分布からのD90値は、粒子の90%がその値よりも小さく、粒子の10%がその値よりも大きい粒径値として定義される。本明細書に記載される実施形態の目的のために、特定の材料の粒径測定は、レーザー回折分光法を使用して行われる。
特定の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第3のフィラー材料は、特定のサイズ分布D10値を有してもよい。例えば、第3のフィラー材料のD10は、少なくとも約0.3マイクロメートル、又は少なくとも約0.4マイクロメートル、又は少なくとも約0.5マイクロメートル、又は少なくとも約0.6マイクロメートル、又は少なくとも約0.7マイクロメートル、又は少なくとも約0.8マイクロメートル、又は少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約1.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.2マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD10は、約1.5マイクロメートル以下、又は更には約1.4マイクロメートル以下などの、約1.6マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料のD10は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第3のフィラー材料は、特定のサイズ分布D50値を有してもよい。例えば、第3のフィラー材料のD50は、少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.2マイクロメートルなどの、少なくとも約0.8マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD50は、約2.6マイクロメートル以下、又は約2.5マイクロメートル以下、又は更には約2.4マイクロメートル以下などの、約2.7マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料のD50は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第3のフィラー材料は、特定のサイズ分布D90値を有してもよい。例えば、第3のフィラー材料のD90は、少なくとも約0.9マイクロメートル、又は少なくとも約1.0マイクロメートル、又は少なくとも約1.1マイクロメートル、又は少なくとも約1.2マイクロメートル、又は少なくとも約1.3マイクロメートル、又は少なくとも約1.4マイクロメートル、又は少なくとも約1.5マイクロメートル、又は少なくとも約1.6マイクロメートル、又は少なくとも約1.7マイクロメートル、又は少なくとも約1.8マイクロメートル、又は少なくとも約1.9マイクロメートル、又は少なくとも約2.0マイクロメートル、又は少なくとも約2.1マイクロメートル、又は少なくとも約2.2マイクロメートル、又は少なくとも約2.3マイクロメートル、又は少なくとも約2.4マイクロメートル、又は少なくとも約2.5マイクロメートル、又は少なくとも約2.6マイクロメートル、又は更には少なくとも約2.7マイクロメートルなどの、少なくとも約0.8マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料のD90は、約7.5マイクロメートル以下、又は約7.0マイクロメートル以下、又は約6.5マイクロメートル以下、又は約6.0マイクロメートル以下、又は約5.5マイクロメートル以下、又は約5.4マイクロメートル以下、又は約5.3マイクロメートル以下、又は約5.2マイクロメートル以下、又は更には約5.1マイクロメートル以下などの、約8.0マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料のD90は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第3のフィラー材料は、レーザー回折分光法に従って測定される特定の平均粒径を有してもよい。例えば、第3のフィラー材料の平均粒径は、約9マイクロメートル以下、又は約8マイクロメートル以下、又は約7マイクロメートル以下、又は約6マイクロメートル以下、又は約5マイクロメートル以下、又は約4マイクロメートル以下、又は約3マイクロメートル以下、又は更には約2マイクロメートル以下などの、約10マイクロメートル以下であってもよい。第3のフィラー材料の平均粒径は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料の平均粒径は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第3のフィラー材料は、特定の粒径分布スパン(PSDS)を有するものとして説明することができ、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第3のフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第3のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第3のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい。例えば、第3のフィラー材料のPSDSは、約4.5以下、又は約4.0以下、又は約3.5以下、又は約3.0以下、又は更には約2.5以下などの、約5以下であってもよい。第3のフィラー材料のPSDSは、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料のPSDSは、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第3のフィラー材料は、Brunauer-Emmett-Teller(BET)表面積分析(窒素吸着)を使用して測定される特定の平均表面積を有するものとして説明することができる。例えば、第3のフィラー材料は、約9.9m2/g以下、又は約9.5m2/g以下、又は約9.0m2/g以下、又は約8.5m2/g以下、又は約8.0m2/g以下、又は約7.5m2/g以下、又は約7.0m2/g以下、又は約6.5m2/g以下、又は約6.0m2/g以下、又は約5.5m2/g以下、又は約5.0m2/g以下、又は約4.5m2/g以下、又は約4.0m2/g以下、又は更には約3.5m2/g以下などの、約10m2/g以下の平均表面積を有してもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料は、少なくとも約2.4m2/gなどの、少なくとも約1.2m2/gの平均表面積を有してもよい。第3のフィラー材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料の平均表面積は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第3のフィラー材料は、特定の材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第3のフィラー材料は、シリカ系化合物を含むことができる。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料は、シリカ系化合物からなってもよい。他の実施形態によれば、第3のフィラー材料は、シリカを含むことができる。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料は、シリカからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の充填ポリマー層404は、特定の含有量の第2のセラミックフィラー成分440を含むことができる。例えば、第2のセラミックフィラー成分440の含有量は、第1の充填ポリマー層404の総体積に対して、少なくとも約31体積%、又は少なくとも約32体積%、又は少なくとも約33体積%、又は少なくとも約34体積%、又は少なくとも約35体積%、又は少なくとも約36体積%、又は少なくとも約37体積%、又は少なくとも約38体積%、又は少なくとも約39体積%、又は少なくとも約40体積%、又は少なくとも約41体積%、又は少なくとも約42体積%、又は少なくとも約43体積%、又は少なくとも約44体積%、又は少なくとも約45体積%、又は少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は更には少なくとも約54体積%などの、少なくとも約30体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の含有量は、第1の充填ポリマー層404の総体積に対して、約56体積%以下、又は更には約55体積%以下などの、約57体積%以下であってもよい。セラミックフィラー成分220の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。セラミックフィラー成分220の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440は、特定の含有量の第3のフィラー材料を含むことができる。例えば、第3のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分440の総体積に対して、少なくとも約81体積%、又は少なくとも約82体積%、又は少なくとも約83体積%、又は少なくとも約84体積%、又は少なくとも約85体積%、又は少なくとも約86体積%、又は少なくとも約87体積%、又は少なくとも約88体積%、又は少なくとも約89体積%、又は更には少なくとも約90体積%などの、少なくとも約80体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第3のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分440の総体積に対して、約99体積%以下、又は約98体積%以下、又は約97体積%以下、又は約96体積%以下、又は約95体積%以下、又は約94体積%以下、又は約93体積%以下、又は更には約92体積%以下などの、約100体積%以下であってもよい。第3のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第3のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440は、第4のフィラー材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第4のフィラー材料は、特定の材料を含むことができる。例えば、第4のフィラー材料は、少なくとも約14の誘電率を有するセラミック材料などの高誘電率セラミック材料を含むことができる。特定の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第4のフィラー材料は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせなどの任意の高誘電率セラミック材料を含むことができる。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440の第4のフィラー材料は、TiO2を含むことができる。更に他の実施形態によれば、第4のフィラー材料は、TiO2からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440は、特定の含有量の第4のフィラー材料を含むことができる。例えば、第4のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分440の総体積に対して少なくとも、少なくとも約2体積%、又は少なくとも約3体積%、又は少なくとも約4体積%、又は少なくとも約5体積%、又は少なくとも約6体積%、又は少なくとも約7体積%、又は少なくとも約8体積%、又は少なくとも約9体積%、又は少なくとも約10体積%などの、約1体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第4のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分440の総体積に対して、約19体積%以下、又は約18体積%以下、又は約17体積%以下、又は約16体積%以下、又は約15体積%以下、又は約14体積%以下、又は約13体積%以下、又は約12体積%以下などの、約20体積%以下であってもよい。第4のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第4のフィラー材料の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2のセラミックフィラー成分440は、特定の含有量の非晶質材料を含むことができる。例えば、第2のセラミックフィラー成分440は、少なくとも約98%又は更には少なくとも約99%などの、少なくとも約97%の非晶質材料を含むことができる。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。非晶質材料の含有量は、上記の値のいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であってもよいことが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分430は、特定の材料を含み得る。例えば、第2の樹脂マトリックス成分430は、ペルフルオロポリマーを含むことができる。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分430は、ペルフルオロポリマーからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分430のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含んでもよい。他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分430のペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、からなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分430のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含むことができる。更に他の実施形態によれば、第2の樹脂マトリックス成分430のペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなってもよい。
更に他の実施形態によれば、第1の充填ポリマー層404は、特定の含有量の第2の樹脂マトリックス成分430を含んでもよい。例えば、第2の樹脂マトリックス成分430の含有量は、第1の充填ポリマー層404の総体積に対して少なくとも、少なくとも約31体積%、又は少なくとも約32体積%、又は少なくとも約33体積%、又は少なくとも約34体積%、又は少なくとも約35体積%、又は少なくとも約36体積%、又は少なくとも約37体積%、又は少なくとも約38体積%、又は少なくとも約39体積%、又は少なくとも約40体積%、又は少なくとも約41体積%、又は少なくとも約42体積%、又は少なくとも約43体積%、又は少なくとも約44体積%、又は少なくとも約45体積%、又は少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、約30体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、第1の樹脂マトリックス成分410の含有量は、第1の充填ポリマー層404の総体積に対して約63体積%以下、又は約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下である。第2の樹脂マトリックス成分430の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。第2の樹脂マトリックス成分430の含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、第2の充填ポリマー層406は、特定の含有量のペルフルオロポリマーを含んでもよい。例えば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層406の総体積に対して、少なくとも約46体積%、又は少なくとも約47体積%、又は少なくとも約48体積%、又は少なくとも約49体積%、又は少なくとも約50体積%、又は少なくとも約51体積%、又は少なくとも約52体積%、又は少なくとも約53体積%、又は少なくとも約54体積%、又は更には少なくとも約55体積%などの、少なくとも約45体積%であってもよい。更に他の実施形態によれば、ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層406の総体積に対して、約62体積%以下、又は約61体積%以下、又は約60体積%以下、又は約59体積%以下、又は約58体積%以下、又は更には約57体積%以下などの、約63体積%以下であってもよい。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。ペルフルオロポリマーの含有量は、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、X線回折を使用して測定される特定の空隙率を有することができる。例えば、基板200の空隙率は、約9体積%以下、又は約8体積%以下、又は約7体積%以下、又は約6体積%以下、又は更には約5体積%以下などの、約10体積%以下であってもよい。誘電体基板405の空隙率は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の空隙率は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、特定の平均厚さを有してもよい。例えば、誘電体基板405の平均厚さは、少なくとも約15マイクロメートル、又は少なくとも約20マイクロメートル、又は少なくとも約25マイクロメートル、又は少なくとも約30マイクロメートル、又は少なくとも約35マイクロメートル、又は少なくとも約40マイクロメートル、又は少なくとも約45マイクロメートル、又は少なくとも約50マイクロメートル、又は少なくとも約55マイクロメートル、又は少なくとも約60マイクロメートル、又は少なくとも約65マイクロメートル、又は少なくとも約70マイクロメートル、又は更には少なくとも約75マイクロメートルなどの、少なくとも約10マイクロメートルであってもよい。更に他の実施形態によれば、誘電体基板405の平均厚さは、約1800マイクロメートル以下、又は約1600マイクロメートル以下、又は約1400マイクロメートル以下、又は約1200マイクロメートル以下、又は約1000マイクロメートル以下、又は約800マイクロメートル以下、又は約600マイクロメートル以下、又は約400マイクロメートル以下、又は約200マイクロメートル以下、又は約190マイクロメートル以下、又は約180マイクロメートル以下、又は約170マイクロメートル以下、又は約160マイクロメートル以下、又は約150マイクロメートル以下、又は約140マイクロメートル以下、又は約120マイクロメートル以下、又は更には約100マイクロメートル以下などの、約2000マイクロメートル以下であってもよい。誘電体基板405の平均厚さは、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の平均厚さは、上記の最小値及び最大値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、5GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、5GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、10GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、10GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、28GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、28GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、39GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、39GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、76~81GHzの範囲、20%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、76~81GHzの範囲、80%RHで測定される特定の誘電正接(Df)を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約0.004以下、又は約0.003以下、又は約0.002以下、又は約0.0019以下、又は約0.0018以下、又は約0.0017以下、又は約0.0016以下、又は約0.0015以下、又は約0.0014以下などの、約0.005以下の誘電正接を有してもよい。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)任意の値であり得ることが理解されよう。誘電体基板405の誘電正接は、上記の値のうちのいずれかの間の(両端値を含む)範囲内であり得ることが更に理解されよう。
更に他の実施形態によれば、誘電体基板405は、IPC-TM-650 2.4.24 Rev.Cガラス転移温度及びTMAによるZ軸熱膨張に従って測定される特定の熱膨張係数を有してもよい。例えば、誘電体基板405は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数を有してもよい。
次に、プリント回路基板を形成する方法を参照すると、図5は、本明細書に記載の実施形態による、プリント回路基板を形成するための形成方法500を示す略図を含む。特定の実施形態によれば、形成方法500は、銅箔層を提供する第1のステップ510と、銅箔層の上を覆う誘電体基板を形成する第2のステップ520と、を含むことができる。特定の実施形態によれば、誘電体基板を形成するステップは、第1の樹脂マトリックス前駆体成分と第1のセラミックフィラー前駆体成分とを組み合わせて第1の形成混合物を形成するステップと、第1の形成混合物を、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層に形成して誘電体基板を形成するステップと、を含むことができる。
形成方法100及び/又は形成方法300に関して本明細書で提供される全ての説明、詳細、及び特徴は、形成方法500の対応する態様に更に適用され得るか、又はそれを説明し得ることが理解されよう。
次に、形成方法500に従って形成されるプリント回路基板の実施形態を参照すると、図6aは、プリント回路基板600の略図を含む。図6aに示したように、プリント回路基板600は、銅箔層603と、銅箔層603の表面を覆う誘電体基板605と、を含むことができる。図6aに更に示したように、誘電体基板605は、ポリイミド層602と、ポリイミド層602の上を覆う第1の充填ポリマー層604と、を含むことができる。図6aに示したように、第1の充填ポリマー層604は、第1の樹脂マトリックス成分610及び第1のセラミックフィラー成分620を含むことができる。
この場合も、誘電体基板200(405)及び/又は銅張積層板400に関して本明細書で提供される全ての説明は、プリント回路基板600の全ての構成要素を含むプリント回路基板600の修正態様に更に適用され得ることが理解されよう。
形成方法500に従って形成されるプリント回路基板の他の実施形態によれば、図6bは、プリント回路基板601の略図を含む。図6bに示したように、プリント回路基板601は、銅箔層603と、銅箔層603の表面を覆う誘電体基板605と、を含むことができる。図6bに示したように、誘電体基板605は、ポリイミド層602と、ポリイミド層602の上を覆う第1の充填ポリマー層604と、ポリイミド層602の下を覆う第2の充填ポリマー層606と、を含むことができる。図6bに示したように、第2の充填ポリマー層606は、第2の樹脂マトリックス成分630及び第2のセラミックフィラー成分640を含むことができる。
この場合も、誘電体基板200(405)及び/又は銅張積層板400に関して本明細書で提供される全ての説明は、プリント回路基板601の全ての構成要素を含むプリント回路基板601の修正態様に更に適用され得ることが理解されよう。
多くの異なる態様及び実施形態が可能である。これらの態様及び実施形態のいくつかを本明細書に記載する。本明細書を読んだ後、当業者は、それらの態様及び実施形態が単なる例示であり、本発明の範囲を限定するものではないことを理解するであろう。実施形態は、以下に列挙される実施形態のうちのいずれか1つ以上に従うことができる。
実施形態1。誘電体基板であって、ポリイミド層と、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層と、を備え、第1の充填ポリマー層は、第1の樹脂マトリックス成分と、第1のセラミックフィラー成分と、を含み、第1のセラミックフィラー成分は、第1のフィラー材料を含み、第1のフィラー材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、誘電体基板。
実施形態2。第1のセラミックフィラー成分のシリカフィラー材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態3。第1のセラミックフィラー成分のシリカフィラー材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、シリカフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態4。第1のフィラー材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態5。第1のフィラー材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態6。第1のフィラー材料は、シリカを含む、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態7。第1の樹脂マトリックス成分は、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態8。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態7に記載の方法。
実施形態9。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態7に記載の誘電体基板。
実施形態10。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態7に記載の誘電体基板。
実施形態11。第1の樹脂マトリックス成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態12。第1の樹脂マトリックス成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態13。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態7に記載の誘電体基板。
実施形態14。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態7に記載の誘電体基板。
実施形態15。第1のセラミックフィラー成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態16。第1のセラミックフィラー成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態17。第1のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態18。第1のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態19。第1のセラミックフィラー成分は、第2のフィラー材料を更に含む、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態20。第1のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料は、高誘電率セラミック材料を含む、実施形態19に記載の誘電体基板。
実施形態21。高誘電率セラミック材料は、少なくとも約14の誘電率を有する、実施形態20の誘電体基板。
実施形態22。第2のセラミックフィラー成分は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせを更に含む、実施形態20に記載の誘電体基板。
実施形態23。第1のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態19に記載の誘電体基板。
実施形態24。第1のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態19に記載の誘電体基板。
実施形態25。第1のセラミックフィラー成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態22に記載の誘電体基板。
実施形態26。第1のセラミックフィラー成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態22に記載の誘電体基板。
実施形態27。第1のセラミックフィラー成分は、少なくとも約97%である、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態28。誘電体基板は、ポリイミド層の下を覆う第2の充填ポリマー層を更に含み、第2の充填ポリマー層は、第2の樹脂マトリックス成分と、第2のセラミックフィラー成分と、を含み、第2のセラミックフィラー成分は、シリカフィラー材料を含み、第1のフィラー材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、実施形態1に記載の誘電体基板。
実施形態29。第2のセラミックフィラー成分のシリカフィラー材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態30。第2のセラミックフィラー成分のシリカフィラー材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、シリカフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態31。第1のフィラー材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態32。第2のフィラー材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態33。第2のフィラー材料は、シリカを含む、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態34。第2の樹脂マトリックスは、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態35。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態34に記載の方法。
実施形態36。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態34に記載の誘電体基板。
実施形態37。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態34に記載の誘電体基板。
実施形態38。第2の樹脂マトリックス成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態39。第2の樹脂マトリックス成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態40。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態41。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態42。第2のセラミックフィラー成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態43。第2のセラミックフィラー成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態44。第2のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態45。第2のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態46。第2のセラミックフィラー成分は、TiO2フィラー材料を更に含む、実施形態28に記載の誘電体基板。
実施形態47。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態46に記載の誘電体基板。
実施形態48。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態46に記載の誘電体基板。
実施形態49。第2のセラミックフィラー成分は、少なくとも約97%が非晶質である、実施形態28の誘電体基板。
実施形態50。誘電体基板は、約10体積%以下の空隙率を有する、実施形態1及び28のいずれか1つに記載の誘電体基板。
実施形態51。誘電体基板は、少なくとも約10マイクロメートルの平均厚さを有する、実施形態1及び28のいずれか1つに記載の誘電体基板。
実施形態52。誘電体基板は、約200マイクロメートル以下の平均厚さを有する、実施形態1及び28のいずれか1つに記載の誘電体基板。
実施形態53。誘電体基板は、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態1及び28のいずれか1つに記載の誘電体基板。
実施形態54。誘電体基板は、約0.0014以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態1及び28のいずれか1つに記載の誘電体基板。
実施形態55。誘電体基板は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数(x/y軸)を有する、実施形態1及び28のいずれか1つに記載の誘電体基板。
実施形態56。誘電体基板は、第1の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態1及び28のいずれか1つに記載の誘電体基板。
実施形態57。誘電体基板は、第2の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態1及び28のいずれか1つに記載の誘電体基板。
実施形態58。誘電体基板は、約1.2%以下の吸湿率を有する、実施形態1及び28のいずれか1つに記載の誘電体基板。
実施形態59。銅箔層と、銅箔層の上を覆う誘電体基板と、を備えた銅張積層板であって、誘電体基板は、ポリイミド層と、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層と、を含み、第1の充填ポリマー層は、第1の樹脂マトリックス成分と、第1のセラミックフィラー成分と、を含み、第1のセラミックフィラー成分は、第1のフィラー材料を含み、第1のフィラー材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、銅張積層板。
実施形態60。第1のセラミックフィラー成分のシリカフィラー材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態61。第1のセラミックフィラー成分のシリカフィラー材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、シリカフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態62。第1のフィラー材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態63。第1のフィラー材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態64。第1のフィラー材料は、シリカを含む、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態65。第1の樹脂マトリックス成分は、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態66。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態65に記載の方法。
実施形態67。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態65に記載の銅張積層板。
実施形態68。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態65に記載の銅張積層板。
実施形態69。第1の樹脂マトリックス成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態70。第1の樹脂マトリックス成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態71。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態65の銅張積層板。
実施形態72。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態65に記載の銅張積層板。
実施形態73。第1のセラミックフィラー成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態74。第1のセラミックフィラー成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態75。第1のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態76。第1のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態77。第1のセラミックフィラー成分は、第2のフィラー材料を更に含む、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態78。第1のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料は、高誘電率セラミック材料を含む、実施形態77の銅張積層板。
実施形態79。高誘電率セラミック材料は、少なくとも約14の誘電率を有する、実施形態78の銅張積層板。
実施形態80。第1のセラミックフィラー成分は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせを更に含む、実施形態78に記載の銅張積層板。
実施形態81。第1のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態77の銅張積層板。
実施形態82。第1のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態77に記載の銅張積層板。
実施形態83。第1のセラミックフィラー成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態80に記載の銅張積層板。
実施形態84。第1のセラミックフィラー成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態80に記載の銅張積層板。
実施形態85。第1のセラミックフィラー成分は、少なくとも約97%が非晶質である、実施形態59の銅張積層板。
実施形態86。誘電体基板は、ポリイミド層の下を覆う第2の充填ポリマー層を更に含み、第2の充填ポリマー層は、第2の樹脂マトリックス成分と、第2のセラミックフィラー成分と、を含み、第2のセラミックフィラー成分は、シリカフィラー材料を含み、第1のフィラー材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、実施形態59に記載の銅張積層板。
実施形態87。第2のセラミックフィラー成分のシリカフィラー材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態86に記載の銅張積層板。
実施形態88。第2のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、シリカフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態86に記載の銅張積層板。
実施形態89。第2のフィラー材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態86に記載の銅張積層板。
実施形態90。第2のフィラー材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態86の銅張積層板。
実施形態91。第2のフィラー材料は、シリカを含む、実施形態86の銅張積層板。
実施形態92。第2の樹脂マトリックスは、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態86に記載の銅張積層板。
実施形態93。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態92に記載の方法。
実施形態94。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態92に記載の銅張積層板。
実施形態95。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態92に記載の銅張積層板。
実施形態96。第2の樹脂マトリックス成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態86の銅張積層板。
実施形態97。第2の樹脂マトリックス成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態86の銅張積層板。
実施形態98。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態86の銅張積層板。
実施形態99。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態86の銅張積層板。
実施形態100。第2のセラミックフィラー成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態86の銅張積層板。
実施形態101。第2のセラミックフィラー成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態86に記載の銅張積層板。
実施形態102。第2のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態86の銅張積層板。
実施形態103。第2のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態86の銅張積層板。
実施形態104。第2のセラミックフィラー成分は、TiO2フィラー材料を更に含む、実施形態86に記載の銅張積層板。
実施形態105。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態104に記載の銅張積層板。
実施形態106。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態104に記載の銅張積層板。
実施形態107。第2のセラミックフィラー成分は、少なくとも約97%が非晶質である、実施形態86に記載の銅張積層板。
実施形態108。誘電体基板は、約10体積%以下の空隙率を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態109。誘電体基板は、少なくとも約10マイクロメートルの平均厚さを有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態110。誘電体基板は、約200マイクロメートル以下の平均厚さを有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態111。誘電体基板は、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態112。誘電体基板は、約0.0014以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態113。誘電体基板は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数(x/y軸)を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態114。誘電体基板は、第1の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態115。誘電体基板は、第2の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態116。銅張積層板は、銅箔層と誘電体基板との間に少なくとも約6lb/inの剥離強度を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態117。誘電体基板は、少なくとも約60MPaの引張強度を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態118。誘電体基板は、少なくとも約1.3GPaの弾性率を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態119。誘電体基板は、約1.2%以下の吸湿率を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態120。銅張積層板は、約10体積%以下の空隙率を有する、実施形態59及び86のいずれか1つに記載の銅張積層板。
実施形態121。銅張積層板を備えたプリント回路基板であって、銅張積層板は、銅箔層と、銅箔層の上を覆う誘電体基板と、を含み、誘電体基板は、ポリイミド層と、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層と、を含み、第1の充填ポリマー層は、第1の樹脂マトリックス成分と、第1のセラミックフィラー成分と、を含み、第1のセラミックフィラー成分は、第1のフィラー材料を含み、第1のフィラー材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、プリント回路基板。
実施形態122。第1のセラミックフィラー成分のシリカフィラー材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態123。第1のセラミックフィラー成分のシリカフィラー材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、シリカフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態124。第1のフィラー材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態125。第1のフィラー材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態126。第1のフィラー材料は、シリカを含む、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態127。第1の樹脂マトリックス成分は、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態128。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態127に記載の方法。
実施形態129。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態127に記載のプリント回路基板。
実施形態130。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態127に記載のプリント回路基板。
実施形態131。第1の樹脂マトリックス成分の含有量は、誘電体基板の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態132。第1の樹脂マトリックス成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態133。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態127に記載のプリント回路基板。
実施形態134。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態127に記載のプリント回路基板。
実施形態135。第1のセラミックフィラー成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態136。第1のセラミックフィラー成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態137。第1のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態138。第1のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態139。第1のセラミックフィラー成分は、第2のフィラー材料を更に含む、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態140。第1のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料は、高誘電率セラミック材料を含む、実施形態139に記載のプリント回路基板。
実施形態141。高誘電率セラミック材料は、少なくとも約14の誘電率を有する、実施形態140のプリント回路基板。
実施形態142。第1のセラミックフィラー成分は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせを更に含む、実施形態140に記載のプリント回路基板。
実施形態143。第1のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態139に記載のプリント回路基板。
実施形態144。第1のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態139に記載のプリント回路基板。
実施形態145。第1のセラミックフィラー成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態142に記載のプリント回路基板。
実施形態146。第1のセラミックフィラー成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態142に記載のプリント回路基板。
実施形態147。第1のセラミックフィラー成分は、少なくとも約97%が非晶質である、実施形態121に記載のプリント回路基板。
実施形態148。誘電体基板は、ポリイミド層の下を覆う第2の充填ポリマー層を更に含み、第2の充填ポリマー層は、第2の樹脂マトリックス成分と、第2のセラミックフィラー成分と、を含み、第2のセラミックフィラー成分は、シリカフィラー材料を含み、第1のフィラー材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、実施形態121のプリント回路基板。
実施形態149。第2のセラミックフィラー成分のシリカフィラー材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態150。第2のセラミックフィラー成分の第2のフィラー材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、シリカフィラー材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態151。第2のフィラー材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態152。第2のフィラー材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態148のプリント回路基板。
実施形態153。第2のフィラー材料は、シリカを含む、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態154。第2の樹脂マトリックスは、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態155。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態154に記載の方法。
実施形態156。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態154に記載のプリント回路基板。
実施形態157。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態154に記載のプリント回路基板。
実施形態158。第2の樹脂マトリックス成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態159。第2の樹脂マトリックス成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態160。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態161。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態162。第2のセラミックフィラー成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態163。第2のセラミックフィラー成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態164。第2のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態165。第2のフィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態166。第2のセラミックフィラー成分は、TiO2フィラー材料を更に含む、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態167。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態166に記載のプリント回路基板。
実施形態168。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態166に記載のプリント回路基板。
実施形態169。第2のセラミックフィラー成分は、少なくとも約97%が非晶質である、実施形態148に記載のプリント回路基板。
実施形態170。誘電体基板は、約10体積%以下の空隙率を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態171。誘電体基板は、少なくとも約10マイクロメートルの平均厚さを有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態172。誘電体基板は、約200マイクロメートル以下の平均厚さを有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態173。誘電体基板は、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態174。誘電体基板は、約0.0014以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態175。誘電体基板は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数(x/y軸)を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態176。誘電体基板は、第1の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態177。誘電体基板は、第2の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態178。プリント回路基板は、銅箔層と誘電体基板との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態179。誘電体基板は、少なくとも約60MPaの引張強度を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態180。誘電体基板は、少なくとも約1.3GPaの弾性率を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態181。誘電体基板は、約1.2%以下の吸湿率を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態182。プリント回路基板は、約10体積%以下の空隙率を有する、実施形態121及び148のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
実施形態183。誘電体基板を形成する方法であって、本方法は、ポリイミド層を提供することと、第1の樹脂マトリックス前駆体成分と第1のセラミックフィラー前駆体成分とを組み合わせて形成混合物を形成することと、形成混合物を、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層に形成することと、を含み、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、第1のフィラー前駆体材料を含み、第1のフィラー前駆体材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、方法。
実施形態184。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第1のフィラー前駆体材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態183に記載の方法。
実施形態185。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第1のフィラー前駆体材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態183に記載の方法。
実施形態186。第1のフィラー前駆体材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態183に記載の方法。
実施形態187。第1のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態183に記載の方法。
実施形態188。第1のフィラー前駆体材料は、シリカを含む、実施形態183に記載の方法。
実施形態189。第1の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態183に記載の方法。
実施形態190。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態189に記載の方法。
実施形態191。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態189に記載の方法。
実施形態192。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態189に記載の方法。
実施形態193。第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態183に記載の方法。
実施形態194。第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態183に記載の方法。
実施形態195。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態189に記載の方法。
実施形態196。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態189に記載の方法。
実施形態197。第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態183に記載の方法。
実施形態198。第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態183に記載の方法。
実施形態199。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態183に記載の方法。
実施形態200。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態183に記載の方法。
実施形態201。第1のセラミックフィラー前駆体成分は、第2のフィラー前駆体材料を更に含む、実施形態183に記載の方法。
実施形態202。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第2のフィラー前駆体材料は、高誘電率セラミック材料を含む、実施形態201に記載の方法。
実施形態203。高誘電率セラミック材料は、少なくとも約14の誘電率を有する、実施形態202に記載の方法。
実施形態204。第1のセラミックフィラー成分は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせを更に含む、実施形態202に記載の方法。
実施形態205。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第2のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態201に記載の方法。
実施形態206。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第2のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態201に記載の方法。
実施形態207。第1のセラミックフィラー前駆体成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態204に記載の方法。
実施形態208。第1のセラミックフィラー前駆体成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態204に記載の方法。
実施形態209。第1のセラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約97%が非晶質である、実施形態183に記載の方法。
実施形態210。誘電体基板は、ポリイミド層の下を覆う第2の充填ポリマー層を更に含み、第2の充填ポリマー層は、第2の樹脂マトリックス前駆体成分と、第2のセラミックフィラー前駆体成分と、を含み、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、第3のフィラー前駆体材料を含み、第3のフィラー前駆体材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、実施形態183に記載の方法。
実施形態211。第2のセラミックフィラー成分の第3のフィラー前駆体材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態210に記載の方法。
実施形態212。第2のセラミックフィラー成分の第3のフィラー前駆体材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を含み、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第3のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第3のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第3のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態210に記載の方法。
実施形態213。第3のフィラー前駆体材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態210に記載の方法。
実施形態214。第3のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態210に記載の方法。
実施形態215。第3のフィラー前駆体材料は、シリカを含む、実施形態210に記載の方法。
実施形態216。第3のフィラー前駆体材料は、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態210に記載の方法。
実施形態217。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態216に記載の方法。
実施形態218。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態216に記載の方法。
実施形態219。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態216に記載の方法。
実施形態220。第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態210に記載の方法。
実施形態221。第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態210に記載の方法。
実施形態222。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態210に記載の方法。
実施形態223。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態210に記載の方法。
実施形態224。第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態210に記載の方法。
実施形態225。第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態210に記載の方法。
実施形態226。第3のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態210に記載の方法。
実施形態227。第3のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態210に記載の方法。
実施形態228。第2のセラミックフィラー前駆体成分は、TiO2フィラー材料を更に含む、実施形態210に記載の方法。
実施形態229。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態228に記載の方法。
実施形態230。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態228に記載の方法。
実施形態231。第2のセラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約97%が非晶質である、実施形態228に記載の方法。
実施形態232。誘電体基板は、約10体積%以下の空隙率を有する、実施形態183及び210のいずれか1つに記載の方法。
実施形態233。誘電体基板は、少なくとも約10マイクロメートルの平均厚さを有する、実施形態183及び210のいずれか1つに記載の方法。
実施形態234。誘電体基板は、約200マイクロメートル以下の平均厚さを有する、実施形態183及び210のいずれか1つに記載の方法。
実施形態235。誘電体基板は、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態183及び210のいずれか1つに記載の方法。
実施形態236。誘電体基板は、約0.0014以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態183及び210のいずれか1つに記載の方法。
実施形態237。誘電体基板は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数(x/y軸)を有する、実施形態183及び210のいずれか1つに記載の方法。
実施形態238。誘電体基板は、第1の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態183及び210のいずれか1つに記載の方法。
実施形態239。誘電体基板は、第2の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態183及び210のいずれか1つに記載の方法。
実施形態240。誘電基板は、約1.2%以下の吸湿率を有する、実施形態183及び210のいずれか1つに記載の方法。
実施形態241。銅張積層板を形成する方法であって、本方法は、銅箔層を提供することと、銅箔層の上を覆う誘電体基板を形成することと、を含み、誘電体基板を形成することは、ポリイミド層を提供することと、第1の樹脂マトリックス前駆体成分と第1のセラミックフィラー前駆体成分とを組み合わせて形成混合物を形成することと、形成混合物を、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層に形成することと、を含み、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、第1のフィラー前駆体材料を含み、第1のフィラー前駆体材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、方法。
実施形態242。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第1のフィラー前駆体材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態241に記載の方法。
実施形態243。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第1のフィラー前駆体材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態241に記載の方法。
実施形態244。第1のフィラー前駆体材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態241に記載の方法。
実施形態245。第1のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態241に記載の方法。
実施形態246。第1のフィラー前駆体材料は、シリカを含む、実施形態241に記載の方法。
実施形態247。第1の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態241に記載の方法。
実施形態248。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態247に記載の方法。
実施形態249。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態247に記載の方法。
実施形態250。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態247に記載の方法。
実施形態251。第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態241に記載の方法。
実施形態252。第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態241に記載の方法。
実施形態253。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態247に記載の方法。
実施形態254。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態247に記載の方法。
実施形態255。第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態241に記載の方法。
実施形態256。第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態241に記載の方法。
実施形態257。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態241に記載の方法。
実施形態258。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態241に記載の方法。
実施形態259。第1のセラミックフィラー前駆体成分は、第2のフィラー前駆体材料を更に含む、実施形態241に記載の方法。
実施形態260。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第2のフィラー前駆体材料は、高誘電率セラミック材料を含む、実施形態259に記載の方法。
実施形態261。高誘電率セラミック材料は、少なくとも約14の誘電率を有する、実施形態260に記載の方法。
実施形態262。第1のセラミックフィラー成分は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせを更に含む、実施形態260に記載の方法。
実施形態263。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第2のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態259に記載の方法。
実施形態264。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第2のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態259に記載の方法。
実施形態265。第1のセラミックフィラー前駆体成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態262に記載の方法。
実施形態266。第1のセラミックフィラー前駆体成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態262に記載の方法。
実施形態267。第1のセラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約97%が非晶質である、実施形態241に記載の方法。
実施形態268。誘電体基板は、ポリイミド層の下を覆う第2の充填ポリマー層を更に含み、第2の充填ポリマー層は、第2の樹脂マトリックス前駆体成分と、第2のセラミックフィラー前駆体成分と、を含み、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、第3のフィラー前駆体材料を含み、第3のフィラー前駆体材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、実施形態241に記載の方法。
実施形態269。第2のセラミックフィラー成分の第3のフィラー前駆体材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態259に記載の方法。
実施形態270。第2のセラミックフィラー成分の第3のフィラー前駆体材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第3のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第3のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第3のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態259に記載の方法。
実施形態271。第3のフィラー前駆体材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態259に記載の方法。
実施形態272。第3のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態259に記載の方法。
実施形態273。第3のフィラー前駆体材料は、シリカを含む、実施形態259に記載の方法。
実施形態274。第3のフィラー前駆体材料は、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態259に記載の方法。
実施形態275。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態274に記載の方法。
実施形態276。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態274に記載の方法。
実施形態277。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態274に記載の方法。
実施形態278。第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態259に記載の方法。
実施形態279。第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態259に記載の方法。
実施形態280。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態259に記載の方法。
実施形態281。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態259に記載の方法。
実施形態282。第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態259に記載の方法。
実施形態283。第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態259に記載の方法。
実施形態284。第3のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態259に記載の方法。
実施形態285。第3のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態259に記載の方法。
実施形態286。第2のセラミックフィラー前駆体成分は、TiO2フィラー材料を更に含む、実施形態259に記載の方法。
実施形態287。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態286に記載の方法。
実施形態288。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態286に記載の方法。
実施形態289。第2のセラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約97%が非晶質である、実施形態286に記載の方法。
実施形態290。誘電体基板は、約10体積%以下の空隙率を有する、実施形態241及び259のいずれか1つに記載の方法。
実施形態291。誘電体基板は、少なくとも約10マイクロメートルの平均厚さを有する、実施形態241及び259のいずれか1つに記載の方法。
実施形態292。誘電体基板は、約200マイクロメートル以下の平均厚さを有する、実施形態241及び259のいずれか1つに記載の方法。
実施形態293。誘電体基板は、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態241及び259のいずれか1つに記載の方法。
実施形態294。誘電体基板は、約0.0014以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態241及び259のいずれか1つに記載の方法。
実施形態295。誘電体基板は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数(x/y軸)を有する、実施形態241及び259のいずれか1つに記載の方法。
実施形態296。誘電体基板は、第1の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態241及び259のいずれか1つに記載の方法。
実施形態297。誘電体基板は、第2の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態241及び259のいずれか1つに記載の方法。
実施形態298。誘電体基板は、約1.2%以下の吸湿率を有する、実施形態241及び259のいずれか1つに記載の方法。
実施形態299。プリント回路基板を形成する方法であって、本方法は、銅箔層を提供することと、銅箔層の上を覆う誘電体基板を形成することと、を含み、誘電体基板を形成することは、ポリイミド層を提供することと、第1の樹脂マトリックス前駆体成分と第1のセラミックフィラー前駆体成分とを組み合わせて形成混合物を形成することと、形成混合物を、ポリイミド層の上を覆う第1の充填ポリマー層に形成することと、を含み、第1のセラミックフィラー前駆体成分は、第1のフィラー前駆体材料を含み、第1のフィラー前駆体材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、方法。
実施形態300。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第1のフィラー前駆体材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態299に記載の方法。
実施形態301。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第1のフィラー前駆体材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第1のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第1のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第1のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態299に記載の方法。
実施形態302。第1のフィラー前駆体材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態299に記載の方法。
実施形態303。第1のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態299に記載の方法。
実施形態304。第1のフィラー前駆体材料は、シリカを含む、実施形態299に記載の方法。
実施形態305。第1の樹脂マトリックス前駆体成分は、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態299に記載の方法。
実施形態306。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態305に記載の方法。
実施形態307。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態305に記載の方法。
実施形態308。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態305に記載の方法。
実施形態309。第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態299に記載の方法。
実施形態310。第1の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態299に記載の方法。
実施形態311。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態305に記載の方法。
実施形態312。ペルフルオロポリマーの含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態305に記載の方法。
実施形態313。第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態299に記載の方法。
実施形態314。第1のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第1の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態299に記載の方法。
実施形態315。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態299に記載の方法。
実施形態316。第1のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態299に記載の方法。
実施形態317。第1のセラミックフィラー前駆体成分は、第2のフィラー前駆体材料を更に含む、実施形態299に記載の方法。
実施形態318。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第2のフィラー前駆体材料は、高誘電率セラミック材料を含む、実施形態317に記載の方法。
実施形態319。高誘電率セラミック材料は、少なくとも約14の誘電率を有する、実施形態318に記載の方法。
実施形態320。第1のセラミックフィラー成分は、TiO2、SrTiO3、ZrTi2O6、MgTiO3、CaTiO3、BaTiO4、又はそれらの任意の組み合わせを更に含む、実施形態318に記載の方法。
実施形態321。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第2のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態317に記載の方法。
実施形態322。第1のセラミックフィラー前駆体成分の第2のフィラー前駆体材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態317に記載の方法。
実施形態323。第1のセラミックフィラー前駆体成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態318に記載の方法。
実施形態324。第1のセラミックフィラー前駆体成分中のTiO2フィラー材料の含有量は、第1のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態318に記載の方法。
実施形態325。第1のセラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約97%が非晶質である、実施形態299に記載の方法。
実施形態326。誘電体基板は、ポリイミド層の下を覆う第2の充填ポリマー層を更に含み、第2の充填ポリマー層は、第2の樹脂マトリックス前駆体成分と、第2のセラミックフィラー前駆体成分と、を含み、第2のセラミックフィラー前駆体成分は、第3のフィラー前駆体材料を含み、第3のフィラー前駆体材料は、約10マイクロメートル以下の平均粒径を更に有する、実施形態299に記載の方法。
実施形態327。第2のセラミックフィラー成分の第3のフィラー前駆体材料の粒径分布は、少なくとも約0.2マイクロメートルかつ約1.6以下のD10、少なくとも約0.5マイクロメートルかつ約2.7マイクロメートル以下のD50、及び少なくとも約0.8マイクロメートルかつ約4.7マイクロメートル以下のD90を含む、実施形態317に記載の方法。
実施形態328。第2のセラミックフィラー成分の第3のフィラー前駆体材料は、約8以下の粒径分布スパン(PSDS)を有し、PSDSは、(D90-D10)/D50に等しく、式中、D90は、第3のフィラー前駆体材料のD90粒径分布測定値に等しく、D10は、第3のフィラー前駆体材料のD10粒径分布測定値に等しく、D50は、第3のフィラー前駆体材料のD50粒径分布測定値に等しい、実施形態317に記載の方法。
実施形態329。第3のフィラー前駆体材料は、約10m2/g以下の平均表面積を更に有する、実施形態317に記載の方法。
実施形態330。第3のフィラー前駆体材料は、シリカ系化合物を含む、実施形態317に記載の方法。
実施形態331。第3のフィラー前駆体材料は、シリカを含む、実施形態317に記載の方法。
実施形態332。第3のフィラー前駆体材料は、ペルフルオロポリマーを含む、実施形態317に記載の方法。
実施形態333。ペルフルオロポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)のコポリマー、ヘキサフルオロプロピレン(HFP)のコポリマー、テトラフルオロエチレン(TFE)のターポリマー、又はそれらの任意の組み合わせ、を含む、実施形態332に記載の方法。
実施形態334。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせを含む、実施形態332に記載の方法。
実施形態335。ペルフルオロポリマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシポリマー樹脂(PFA)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、又はそれらの任意の組み合わせからなる、実施形態332に記載の方法。
実施形態336。第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約50体積%である、実施形態317に記載の方法。
実施形態337。第2の樹脂マトリックス前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態317に記載の方法。
実施形態338。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約45体積%である、実施形態317に記載の方法。
実施形態339。ペルフルオロポリマーの含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約63体積%以下である、実施形態317に記載の方法。
実施形態340。第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して少なくとも約30体積%である、実施形態317に記載の方法。
実施形態341。第2のセラミックフィラー前駆体成分の含有量は、第2の充填ポリマー層の総体積に対して約57体積%以下である、実施形態317に記載の方法。
実施形態342。第3のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して少なくとも約80体積%である、実施形態317に記載の方法。
実施形態343。第3のフィラー前駆体材料の含有量は、第2のセラミックフィラー成分の総体積に対して約100体積%以下である、実施形態317に記載の方法。
実施形態344。第2のセラミックフィラー前駆体成分は、TiO2フィラー材料を更に含む、実施形態317に記載の方法。
実施形態345。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して少なくとも約1体積%である、実施形態344に記載の方法。
実施形態346。TiO2フィラー材料の含有量は、第2のセラミックフィラー前駆体成分の総体積に対して約20体積%以下である、実施形態344に記載の方法。
実施形態347。第2のセラミックフィラー前駆体成分は、少なくとも約97%、又は少なくとも約98%、又は少なくとも約99%が非晶質である、実施形態344に記載の方法。
実施形態348。誘電体基板は、約10体積%以下の空隙率を有する、実施形態299及び317のいずれか1つに記載の方法。
実施形態349。誘電体基板は、少なくとも約10マイクロメートルの平均厚さを有する、実施形態299及び317のいずれか1つに記載の方法。
実施形態350。誘電体基板は、約200マイクロメートル以下の平均厚さを有する、実施形態299及び317のいずれか1つに記載の方法。
実施形態351。誘電体基板は、約0.005以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態299及び317のいずれか1つに記載の方法。
実施形態352。誘電体基板は、約0.0014以下の誘電正接(5GHz、20%RH)を有する、実施形態299及び317のいずれか1つに記載の方法。
実施形態353。誘電体基板は、約80ppm/℃以下の熱膨張係数(x/y軸)を有する、実施形態299及び317のいずれか1つに記載の方法。
実施形態354。誘電体基板は、第1の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態299及び317のいずれか1つに記載の方法。
実施形態355。誘電体基板は、第2の充填ポリマー層とポリイミド層との間に少なくとも約5lb/inの剥離強度を有する、実施形態299及び317のいずれか1つに記載の方法。
実施形態356。誘電体基板は、約1.2%以下の吸湿率を有する、実施形態299及び317のいずれか1つに記載の方法。
実施例
本明細書に記載されている概念について、以下の実施例において更に説明するが、これらは特許請求の範囲に記載されている発明の範囲を限定するものではない。
実施例1
サンプル誘電体基板S1~S8を、本明細書に記載されている特定の実施形態に従って構成し、かつ形成した。各サンプル誘電体基板は、ポリイミド層と、ポリイミド層の第1の表面の上を覆う第1の充填ポリマー層と、ポリイミド層の第2の表面の下を覆う第2の充填ポリマー層と、を含む。サンプル誘電体基板S1~S8の各充填ポリマー層の樹脂マトリックス成分は、1種のフルオロポリマーであるか、又は複数種のフルオロポリマーの組み合わせである。サンプル誘電体基板S1~S7の各充填ポリマー層のセラミック充填成分は、シリカ系成分タイプAであり、サンプル誘電体基板S8の各充填ポリマー層のセラミック充填成分は、シリカ系成分タイプBである。それぞれの充填ポリマー層の組成は、45.6体積%の樹脂マトリックス成分及び54.4体積%のセラミックフィラー成分である。
以下の表1は、サンプル誘電体基板S1~S8に使用されたシリカ系成分タイプの粒径分布測定値(すなわちD10、D50、及びD90)、粒径分布スパン、平均粒径、及びBET表面積を含む特性を要約してある。
以下の表2は、各サンプル誘電体基板S1~S8の性能特性を要約してある。要約されている性能特性には、5GHzで測定したサンプル誘電体基板の絶対誘電率(「Dk(5GHz)」)、5GHz、20%RHで測定した基板の損失正接(「Df(5GHz、20%RH)」)、5GHz、80%RHで測定したサンプル誘電体基板の損失正接(「Df(5GHz、80%RH)」)、サンプル誘電体基板の熱膨張係数(「CTE」)、が含まれる。
一般的な説明又は実施例で上述した活動の全てが必要とされるわけではなく、特定の活動の一部が必要とされなくてもよく、記載した活動に加えて1つ以上の更なる活動が行われてもよいことに留意されたい。更に、活動が列挙される順序は、必ずしもそれらが行われる順序ではない。
利点、他の利点、及び問題の解決策は、特定の実施形態に関して上述されている。しかしながら、利益、利点、問題の解決策、及び任意の利益、利点、又は解決策をもたらすかより顕著にする可能性がある任意の特徴は、請求項のいずれか又は全ての重要な、必要な、又は本質的な特徴として解釈されるべきではない。
本明細書に記載の実施形態の明細書及び図面は、様々な実施形態の構造の一般的な理解を提供することを意図している。明細書及び図面は、本明細書に記載の構造又は方法を使用する装置及びシステムの全ての要素及び特徴の網羅的かつ包括的な説明として役立つことを意図するものではない。別個の実施形態が単一の実施形態中に組み合わせて提供されてもよく、逆に、簡潔にするために単一の実施形態の文脈において説明されている様々な特徴が、別々に又は任意の部分的組み合わせで提供されてもよい。更に、範囲に記載された値への言及は、その範囲内の各々の値全てを含む。多くの他の実施形態が、本明細書を読んだ後にのみ当業者に明らかとなってもよい。本開示の範囲から逸脱することなく、構造的置換、論理的置換、又は別の変更を行うことができるように、他の実施形態を使用し、本開示から導出することができる。したがって、本開示は、限定的ではなく例示的なものと見なされるべきである。