JP2021512493A - 静電チャック(esc)ペデスタル電圧分離 - Google Patents
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 43
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title description 21
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 106
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 50
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 50
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims abstract description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 34
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 20
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 20
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 230000008439 repair process Effects 0.000 claims description 4
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000006112 glass ceramic composition Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 70
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 16
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 14
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000013461 design Methods 0.000 description 8
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000006091 Macor Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 4
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 2
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002843 nonmetals Chemical class 0.000 description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
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- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
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Abstract
Description
本願は、2018年1月31日出願の米国仮特許出願第62/624,619号「Electrostatic Chuck (ESC) Pedestal Voltage Isolation」の優先権の利益を主張し、その仮特許出願は、参照によって本明細書に全体が組み込まれる。
ESC動作電圧=707V+1131V+1000V
ESC動作電圧=2838V
2838V/(394V/mm)=7.2mm(約284ミルすなわち0.284インチ(7.21mm))
別の例示的実施形態は、チューブアダプタ307の内面上の硬質陽極酸化表面またはポリイミドコーティング処理を利用した高電圧分離技術を用いる。その表面処理(例えば、図3Bの誘電体コーティング317)は、全体的な抵抗、および、高電圧電極と接地板(例えば、チューブアダプタ307)との間の分離を提供する。
本願は、2018年1月31日出願の米国仮特許出願第62/624,619号「ELECTROSTATIC CHUCK (ESC) PEDESTAL VOLTAGE ISOLATION」の優先権を主張する2019年1月30日出願のPCT出願第PCT/US2019/015865の優先権の利益を主張し、各出願は、参照によって本明細書に全体が組み込まれる。
ESC動作電圧=707V+1131V+1000V
ESC動作電圧=2838V
2838V/(394V/mm)=7.2mm(約284ミルすなわち0.284インチ(7.21mm))
別の例示的実施形態は、チューブアダプタ307の内面上の硬質陽極酸化表面またはポリイミドコーティング処理を利用した高電圧分離技術を用いる。その表面処理(例えば、図3Bの誘電体コーティング317)は、全体的な抵抗、および、高電圧電極と接地板(例えば、チューブアダプタ307)との間の分離を提供する。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例1
プラズマベース処理システムの静電チャック(ESC)アセンブリのためのチューブアダプタであって、
前記チューブアダプタ内の複数の絶縁チューブであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、その中に収容される複数の高周波(RF)信号電極の内の1つを受け入れるよう構成され、前記複数の絶縁チューブの各々は、前記プラズマベース処理システムの動作中に、その中に収容された前記RF信号電極の内のそれぞれの1つと前記チューブアダプタとの間のアーク放電を防止するよう構成されている、複数の絶縁チューブと、
前記チューブアダプタの内面上に形成され、前記プラズマベース処理システムの動作中に、高電圧電極の少なくとも1つと、前記チューブアダプタ内に配置された前記RF信号電極との間のアーク放電を防止するよう構成された誘電体コーティングであって、前記誘電体コーティングは、前記チューブアダプタを形成する材料と実質的に同等の熱膨張率(CTE)を有する、誘電体コーティングと、
を備える、チューブアダプタ。
適用例2
適用例1のチューブアダプタであって、前記誘電体コーティングの前記CTEは、前記チューブアダプタが動作する温度環境の変化による粒子脱落を防止するように選択される、チューブアダプタ。
適用例3
適用例1のチューブアダプタであって、前記誘電体コーティングは、硬質陽極酸化コーティングである、チューブアダプタ。
適用例4
適用例1のチューブアダプタであって、前記誘電体コーティングは、ポリイミドコーティングである、チューブアダプタ。
適用例5
適用例1のチューブアダプタであって、前記ESCアセンブリは、さらに、前記チューブアダプタに機械的に結合されたペデスタルを備える、チューブアダプタ。
適用例6
適用例5のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、既存のプラズマベース処理システムの前記ペデスタルと共に組み込まれるよう構成される、チューブアダプタ。
適用例7
適用例1のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、前記ESCアセンブリのための接地板を形成する、チューブアダプタ。
適用例8
プラズマベース処理システムの静電チャック(ESC)アセンブリのためのチューブアダプタであって、
前記チューブアダプタ内の複数の絶縁チューブであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、その中に収容される複数の高電圧電極の内の1つを受け入れるよう構成され、前記複数の絶縁チューブの各々は、前記プラズマベース処理システムの動作中に、その中に収容された前記高電圧電極の内のそれぞれの電極と前記チューブアダプタの本体との間のアーク放電を防止するよう構成されている、複数の絶縁チューブ
を備える、チューブアダプタ。
適用例9
適用例8のチューブアダプタであって、前記複数の高電圧電極は、高周波(RF)信号電極を含む、チューブアダプタ。
適用例10
適用例8のチューブアダプタであって、前記複数の絶縁チューブは、前記プラズマベース処理システムの動作中に遭遇する高温の存在下で経時的に実質的に一貫した絶縁耐力を有する、チューブアダプタ。
適用例11
適用例8のチューブアダプタであって、さらに、
前記複数の絶縁チューブの各々に第1側で結合されたサーマルチョークと、
前記サーマルチョークの各々のそれぞれの第2側に結合された導電ロッドと、
を備える、チューブアダプタ。
適用例12
適用例8のチューブアダプタであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、セパレータスリーブによって、適所に保持され、前記絶縁チューブの残りから分離される、チューブアダプタ。
適用例13
適用例12のチューブアダプタであって、前記セパレータスリーブの各々は、前記ESCの修理動作またはメンテナンス動作中に、前記複数の絶縁チューブの各々を取り外して受け入れるためのサイズを有する、チューブアダプタ。
適用例14
適用例12のチューブアダプタであって、前記セパレータスリーブの各々は、非導電性セラミック材料を含む、チューブアダプタ。
適用例15
適用例12のチューブアダプタであって、前記セパレータスリーブの各々は、機械加工できるガラスセラミック材料を含む、チューブアダプタ。
適用例16
適用例8のチューブアダプタであって、前記絶縁チューブは、ポリイミド材料を含む、チューブアダプタ。
適用例17
適用例8のチューブアダプタであって、さらに、前記チューブアダプタの内面上に形成され、前記プラズマベース処理システムの動作中に、前記チューブアダプタ内の前記複数の高電圧電極と、前記チューブアダプタの本体との間のアーク放電を防止するよう構成された誘電体コーティングを備える、チューブアダプタ。
適用例18
プラズマベース処理システムの静電チャック(ESC)アセンブリのためのチューブアダプタであって、
前記チューブアダプタ内の複数の絶縁チューブであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、それぞれの導電ロッドに結合されるよう構成され、前記複数の絶縁チューブの各々は、前記複数の絶縁チューブの内のそれぞれのチューブ内の高電圧ラインと、前記チューブアダプタの接地表面との間でのアーク放電が起こりえない位置まで、前記チューブアダプタの遠位に伸びる、複数の絶縁チューブと、
前記導電ロッドの内の外側のロッドに近接した前記チューブアダプタの拡大ギャップ部分であって、前記拡大ギャップ部分の寸法は、前記プラズマベース処理システムの動作中に、前記導電ロッドの内のそれぞれのロッドによって伝達される高電圧信号と、前記チューブアダプタの本体との間のアーク放電を防止するよう構成されている、拡大ギャップ部分と、
を備える、チューブアダプタ。
適用例19
適用例18のチューブアダプタであって、前記ESCアセンブリは、さらに、前記チューブアダプタに機械的に結合されたペデスタルを備える、チューブアダプタ。
適用例20
適用例19のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、既存のプラズマベース処理システムの前記ペデスタルと共に組み込まれるよう構成される、チューブアダプタ。
適用例21
プラズマベース処理システムの静電チャック(ESC)アセンブリに結合するチューブアダプタであって、
前記チューブアダプタ内の複数の絶縁チューブであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、複数の高電圧電極の内の1つに結合される、複数の絶縁チューブと、
前記チューブアダプタの内面上に形成された誘電体コーティングであって、前記誘電体コーティングは、前記チューブアダプタを形成する材料と実質的に同等の熱膨張率(CTE)を有する、誘電体コーティングと、
を備える、チューブアダプタ。
適用例22
適用例21のチューブアダプタであって、前記誘電体コーティングは、硬質陽極酸化コーティングである、チューブアダプタ。
適用例23
適用例21のチューブアダプタであって、前記誘電体コーティングは、ポリイミドコーティングである、チューブアダプタ。
適用例24
適用例21のチューブアダプタであって、前記ESCアセンブリは、さらに、前記チューブアダプタに機械的に結合されたペデスタルを備える、チューブアダプタ。
適用例25
適用例24のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、既存のプラズマベース処理システムの前記ペデスタルと共に組み込まれるよう構成される、チューブアダプタ。
適用例26
適用例21のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、前記ESCアセンブリのための接地板を備える、チューブアダプタ。
適用例27
プラズマベース処理システムの静電チャック(ESC)アセンブリに結合するチューブアダプタであって、
前記チューブアダプタ内の複数の絶縁チューブであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、それぞれの高電圧導電ロッドに結合されるよう構成されている、複数の絶縁チューブと、
前記プラズマベース処理システムの動作中に、前記導電ロッドの内のそれぞれのロッドによって伝達される高電圧信号と、前記チューブアダプタの本体との間のアーク放電を防止するための、前記高電圧導電ロッドの内の外側のロッドに近接した前記チューブアダプタの拡大ギャップ部分と、
を備える、チューブアダプタ。
適用例28
適用例27のチューブアダプタであって、前記ESCアセンブリは、さらに、前記チューブアダプタに機械的に結合されたペデスタルを備える、チューブアダプタ。
適用例29
適用例28のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、既存のプラズマベース処理システムの前記ペデスタルと共に組み込まれるよう構成される、チューブアダプタ。
Claims (29)
- プラズマベース処理システムの静電チャック(ESC)アセンブリのためのチューブアダプタであって、
前記チューブアダプタ内の複数の絶縁チューブであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、その中に収容される複数の高周波(RF)信号電極の内の1つを受け入れるよう構成され、前記複数の絶縁チューブの各々は、前記プラズマベース処理システムの動作中に、その中に収容された前記RF信号電極の内のそれぞれの1つと前記チューブアダプタとの間のアーク放電を防止するよう構成されている、複数の絶縁チューブと、
前記チューブアダプタの内面上に形成され、前記プラズマベース処理システムの動作中に、高電圧電極の少なくとも1つと、前記チューブアダプタ内に配置された前記RF信号電極との間のアーク放電を防止するよう構成された誘電体コーティングであって、前記誘電体コーティングは、前記チューブアダプタを形成する材料と実質的に同等の熱膨張率(CTE)を有する、誘電体コーティングと、
を備える、チューブアダプタ。 - 請求項1に記載のチューブアダプタであって、前記誘電体コーティングの前記CTEは、前記チューブアダプタが動作する温度環境の変化による粒子脱落を防止するように選択される、チューブアダプタ。
- 請求項1に記載のチューブアダプタであって、前記誘電体コーティングは、硬質陽極酸化コーティングである、チューブアダプタ。
- 請求項1に記載のチューブアダプタであって、前記誘電体コーティングは、ポリイミドコーティングである、チューブアダプタ。
- 請求項1に記載のチューブアダプタであって、前記ESCアセンブリは、さらに、前記チューブアダプタに機械的に結合されたペデスタルを備える、チューブアダプタ。
- 請求項5に記載のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、既存のプラズマベース処理システムの前記ペデスタルと共に組み込まれるよう構成される、チューブアダプタ。
- 請求項1に記載のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、前記ESCアセンブリのための接地板を形成する、チューブアダプタ。
- プラズマベース処理システムの静電チャック(ESC)アセンブリのためのチューブアダプタであって、
前記チューブアダプタ内の複数の絶縁チューブであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、その中に収容される複数の高電圧電極の内の1つを受け入れるよう構成され、前記複数の絶縁チューブの各々は、前記プラズマベース処理システムの動作中に、その中に収容された前記高電圧電極の内のそれぞれの電極と前記チューブアダプタの本体との間のアーク放電を防止するよう構成されている、複数の絶縁チューブ
を備える、チューブアダプタ。 - 請求項8に記載のチューブアダプタであって、前記複数の高電圧電極は、高周波(RF)信号電極を含む、チューブアダプタ。
- 請求項8に記載のチューブアダプタであって、前記複数の絶縁チューブは、前記プラズマベース処理システムの動作中に遭遇する高温の存在下で経時的に実質的に一貫した絶縁耐力を有する、チューブアダプタ。
- 請求項8に記載のチューブアダプタであって、さらに、
前記複数の絶縁チューブの各々に第1側で結合されたサーマルチョークと、
前記サーマルチョークの各々のそれぞれの第2側に結合された導電ロッドと、
を備える、チューブアダプタ。 - 請求項8に記載のチューブアダプタであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、セパレータスリーブによって、適所に保持され、前記絶縁チューブの残りから分離される、チューブアダプタ。
- 請求項12に記載のチューブアダプタであって、前記セパレータスリーブの各々は、前記ESCの修理動作またはメンテナンス動作中に、前記複数の絶縁チューブの各々を取り外して受け入れるためのサイズを有する、チューブアダプタ。
- 請求項12に記載のチューブアダプタであって、前記セパレータスリーブの各々は、非導電性セラミック材料を含む、チューブアダプタ。
- 請求項12に記載のチューブアダプタであって、前記セパレータスリーブの各々は、機械加工できるガラスセラミック材料を含む、チューブアダプタ。
- 請求項8に記載のチューブアダプタであって、前記絶縁チューブは、ポリイミド材料を含む、チューブアダプタ。
- 請求項8に記載のチューブアダプタであって、さらに、前記チューブアダプタの内面上に形成され、前記プラズマベース処理システムの動作中に、前記チューブアダプタ内の前記複数の高電圧電極と、前記チューブアダプタの本体との間のアーク放電を防止するよう構成された誘電体コーティングを備える、チューブアダプタ。
- プラズマベース処理システムの静電チャック(ESC)アセンブリのためのチューブアダプタであって、
前記チューブアダプタ内の複数の絶縁チューブであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、それぞれの導電ロッドに結合されるよう構成され、前記複数の絶縁チューブの各々は、前記複数の絶縁チューブの内のそれぞれのチューブ内の高電圧ラインと、前記チューブアダプタの接地表面との間でのアーク放電が起こりえない位置まで、前記チューブアダプタの遠位に伸びる、複数の絶縁チューブと、
前記導電ロッドの内の外側のロッドに近接した前記チューブアダプタの拡大ギャップ部分であって、前記拡大ギャップ部分の寸法は、前記プラズマベース処理システムの動作中に、前記導電ロッドの内のそれぞれのロッドによって伝達される高電圧信号と、前記チューブアダプタの本体との間のアーク放電を防止するよう構成されている、拡大ギャップ部分と、
を備える、チューブアダプタ。 - 請求項18に記載のチューブアダプタであって、前記ESCアセンブリは、さらに、前記チューブアダプタに機械的に結合されたペデスタルを備える、チューブアダプタ。
- 請求項19に記載のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、既存のプラズマベース処理システムの前記ペデスタルと共に組み込まれるよう構成される、チューブアダプタ。
- プラズマベース処理システムの静電チャック(ESC)アセンブリに結合するチューブアダプタであって、
前記チューブアダプタ内の複数の絶縁チューブであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、複数の高電圧電極の内の1つに結合される、複数の絶縁チューブと、
前記チューブアダプタの内面上に形成された誘電体コーティングであって、前記誘電体コーティングは、前記チューブアダプタを形成する材料と実質的に同等の熱膨張率(CTE)を有する、誘電体コーティングと、
を備える、チューブアダプタ。 - 請求項21に記載のチューブアダプタであって、前記誘電体コーティングは、硬質陽極酸化コーティングである、チューブアダプタ。
- 請求項21に記載のチューブアダプタであって、前記誘電体コーティングは、ポリイミドコーティングである、チューブアダプタ。
- 請求項21に記載のチューブアダプタであって、前記ESCアセンブリは、さらに、前記チューブアダプタに機械的に結合されたペデスタルを備える、チューブアダプタ。
- 請求項24に記載のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、既存のプラズマベース処理システムの前記ペデスタルと共に組み込まれるよう構成される、チューブアダプタ。
- 請求項21に記載のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、前記ESCアセンブリのための接地板を備える、チューブアダプタ。
- プラズマベース処理システムの静電チャック(ESC)アセンブリに結合するチューブアダプタであって、
前記チューブアダプタ内の複数の絶縁チューブであって、前記複数の絶縁チューブの各々は、それぞれの高電圧導電ロッドに結合されるよう構成されている、複数の絶縁チューブと、
前記プラズマベース処理システムの動作中に、前記導電ロッドの内のそれぞれのロッドによって伝達される高電圧信号と、前記チューブアダプタの本体との間のアーク放電を防止するための、前記高電圧導電ロッドの内の外側のロッドに近接した前記チューブアダプタの拡大ギャップ部分と、
を備える、チューブアダプタ。 - 請求項27に記載のチューブアダプタであって、前記ESCアセンブリは、さらに、前記チューブアダプタに機械的に結合されたペデスタルを備える、チューブアダプタ。
- 請求項28に記載のチューブアダプタであって、前記チューブアダプタは、既存のプラズマベース処理システムの前記ペデスタルと共に組み込まれるよう構成される、チューブアダプタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023182178A JP2024001248A (ja) | 2018-01-31 | 2023-10-24 | 静電チャック(esc)ペデスタル電圧分離 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201862624619P | 2018-01-31 | 2018-01-31 | |
US62/624,619 | 2018-01-31 | ||
PCT/US2019/015865 WO2019152528A1 (en) | 2018-01-31 | 2019-01-30 | Electrostatic chuck (esc) pedestal voltage isolation |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023182178A Division JP2024001248A (ja) | 2018-01-31 | 2023-10-24 | 静電チャック(esc)ペデスタル電圧分離 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021512493A true JP2021512493A (ja) | 2021-05-13 |
JP7374103B2 JP7374103B2 (ja) | 2023-11-06 |
Family
ID=67478925
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020541696A Active JP7374103B2 (ja) | 2018-01-31 | 2019-01-30 | 静電チャック(esc)ペデスタル電圧分離 |
JP2023182178A Pending JP2024001248A (ja) | 2018-01-31 | 2023-10-24 | 静電チャック(esc)ペデスタル電圧分離 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023182178A Pending JP2024001248A (ja) | 2018-01-31 | 2023-10-24 | 静電チャック(esc)ペデスタル電圧分離 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11990360B2 (ja) |
JP (2) | JP7374103B2 (ja) |
KR (2) | KR102655866B1 (ja) |
CN (1) | CN111670491A (ja) |
WO (1) | WO2019152528A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11289355B2 (en) | 2017-06-02 | 2022-03-29 | Lam Research Corporation | Electrostatic chuck for use in semiconductor processing |
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