JP6754890B2 - ウエハ支持台 - Google Patents
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Description
ウエハ載置面を有する円板状のセラミック基体の内部にRF電極とヒータ電極とが前記ウエハ載置面側からこの順に埋設されたウエハ支持台であって、
前記RF電極は、同一平面上のゾーンごとに形成された複数のRFゾーン電極によって構成され、
前記複数のRFゾーン電極及び前記ヒータ電極は、前記セラミック基体の前記ウエハ載置面とは反対側の面の外側に設けられた複数のRFゾーン電極用導体及びヒータ電極用導体にそれぞれ独立して接続されている、
ものである。
Claims (8)
- ウエハ載置面を有する円板状のセラミック基体の内部にRF電極とヒータ電極とが前記ウエハ載置面側からこの順に埋設されたウエハ支持台であって、
前記セラミック基体の前記ウエハ載置面とは反対側の面の中央に接合された中空のセラミックシャフトを備え、
前記RF電極は、同一平面上のゾーンごとに形成された複数のRFゾーン電極によって構成され、
前記複数のRFゾーン電極及び前記ヒータ電極は、前記セラミック基体の前記ウエハ載置面とは反対側の面の外側に設けられた複数のRFゾーン電極用導体及びヒータ電極用導体にそれぞれ独立して接続されており、
前記複数のRFゾーン電極用導体及び前記ヒータ電極用導体は前記セラミックシャフトの内部に配置され、
前記複数のRFゾーン電極のうち前記セラミック基体に前記セラミックシャフトを投影した中央領域から外れた位置に設けられたものは、自身に対応する前記RFゾーン電極用導体とジャンパを介して接続され、
前記ジャンパは、前記セラミック基体の内部であって前記RF電極が設けられた平面よりも前記ウエハ載置面から離れた平面上に設けられている、
ウエハ支持台。 - 前記RF電極は、前記複数のRFゾーン電極として、前記セラミック基体と同心円状の円形電極か前記円形電極を複数に分割した電極を含み、更に、前記円形電極の外側に前記セラミック基体と同心円の1以上の円環電極か前記円環電極の少なくとも1つを複数に分割した電極を含む、
請求項1に記載のウエハ支持台。 - 前記複数のRFゾーン電極のうち2以上のRFゾーン電極が前記中央領域から外れた位置に設けられており、
前記2以上のRFゾーン電極ごとに設けられる前記ジャンパは同一平面上に設けられている、
請求項1又は2に記載のウエハ支持台。 - 前記ジャンパは、前記ヒータ電極と同一平面に前記ヒータ電極と非接触な状態で設けられている、
請求項1〜3のいずれか1項に記載のウエハ支持台。 - 前記ヒータ電極は、前記RFゾーン電極の数と同数又は異なる数の複数のヒータゾーン電極によって構成され、
前記ヒータ電極用導体は、前記複数のヒータゾーン電極のそれぞれに独立して接続されるヒータゾーン電極用導体によって構成されている、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のウエハ支持台。 - 前記セラミック基体を前記ウエハ載置面から見たときに前記RFゾーン電極同士の間のギャップには少なくとも1つの前記ヒータゾーン電極が配置されている、
請求項5に記載のウエハ支持台。 - 前記セラミック基体を前記ウエハ載置面から見たときに前記複数のRFゾーン電極と前記複数のヒータゾーン電極とが一致するように配置されている、
請求項5に記載のウエハ支持台。 - ウエハ載置面を有する円板状のセラミック基体の内部にRF電極とヒータ電極とが前記ウエハ載置面側からこの順に埋設されたウエハ支持台であって、
前記RF電極は、同一平面上のゾーンごとに形成された複数のRFゾーン電極によって構成され、
前記複数のRFゾーン電極及び前記ヒータ電極は、前記セラミック基体の前記ウエハ載置面とは反対側の面の外側に設けられた複数のRFゾーン電極用導体及びヒータ電極用導体にそれぞれ独立して接続されており、
前記ヒータ電極は、前記RFゾーン電極の数と同数又は異なる数の複数のヒータゾーン電極によって構成され、
前記ヒータ電極用導体は、前記複数のヒータゾーン電極のそれぞれに独立して接続されるヒータゾーン電極用導体によって構成されており、
前記セラミック基体を前記ウエハ載置面から見たときに前記複数のRFゾーン電極と前記複数のヒータゾーン電極とが一致するように配置されている、
ウエハ支持台。
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