JP7016347B2 - ウエハ加熱装置 - Google Patents
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Description
片面がウエハ載置面である基体に抵抗発熱体が埋設されたウエハ加熱装置であって、
前記抵抗発熱体は、一対の端子の一方から他方まで一筆書きの要領で配線されており、
前記一対の端子は、平面視したときに前記一対の端子の全体形状が円形になるように形成されている、
ものである。
片面がウエハ載置面である基体に少なくとも2つの抵抗発熱体が埋設されたウエハ加熱装置であって、
各抵抗発熱体は、一対の端子の一方から他方まで一筆書きの要領で配線されており、
前記2つの抵抗発熱体の合計4つの端子は、同じ位置に集約して設けられ、平面視したときに前記4つの端子の全体形状が円形になるように形成されている、
ものである。
Claims (10)
- 片面がウエハ載置面である基体に抵抗発熱体が埋設されたウエハ加熱装置であって、
前記抵抗発熱体は、一対の端子の一方から他方まで一筆書きの要領で配線されており、
前記一対の端子は、平面視したときに前記一対の端子の全体形状が円形になるように形成され、一本の接続部材に接続されており、
前記接続部材は、前記端子のそれぞれに対応した柱状部材を絶縁材を挟んで束ねた構造を有し、平面視したときに全体形状が円形である、
ウエハ加熱装置。 - 前記一対の端子を平面視したときに、前記一対の端子の一方は、所定の円を半分に割った一方の半円部として現れ、前記一対の端子の他方は、前記所定の円を半分に割った他方の半円部として現れる、
請求項1に記載のウエハ加熱装置。 - 前記一対の端子を平面視したときに、前記一対の端子の一方は、所定の円を中央の円部とその円部の外側の円環部とに分けたうちの前記円部として現れ、前記一対の端子の他方は、前記円環部に沿ったC字部として現れる、
請求項1に記載のウエハ加熱装置。 - 前記基体の前記ウエハ載置面とは反対側の面には、前記一対の端子のそれぞれに対応した形状の一対のランドが設けられている、
請求項1~3のいずれか1項に記載のウエハ加熱装置。 - 前記基体の前記ウエハ載置面とは反対側の面に冷媒通路を内蔵する冷却板が接合され、
前記冷却板には、前記冷媒通路と干渉しない位置に前記一対のランドに対向する1つの貫通穴が設けられている、
請求項4に記載のウエハ加熱装置。 - 前記基体は、複数のゾーンに分けられており、
前記抵抗発熱体は、前記ゾーンごとに設けられている、
請求項1~5のいずれか1項に記載のウエハ加熱装置。 - 片面がウエハ載置面である基体に少なくとも2つの抵抗発熱体が埋設されたウエハ加熱装置であって、
各抵抗発熱体は、一対の端子の一方から他方まで一筆書きの要領で配線されており、
前記2つの抵抗発熱体の合計4つの端子は、同じ位置に集約して設けられ、平面視したときに前記4つの端子の全体形状が円形になるように形成され、一本の接続部材に接続されており、
前記接続部材は、前記端子のそれぞれに対応した柱状部材を絶縁材を挟んで束ねた構造を有し、平面視したときに全体形状が円形である、
ウエハ加熱装置。 - 前記4つの端子を平面視したときに、各端子は所定の円を互いに直交する2本の直径で4つに割った扇形部として現れる、
請求項7に記載のウエハ加熱装置。 - 前記基体の前記ウエハ載置面とは反対側の面には、前記4つの端子のそれぞれに対応した形状の4つのランドが設けられている、
請求項7又は8に記載のウエハ加熱装置。 - 前記基体の前記ウエハ載置面とは反対側の面に冷媒通路を内蔵する冷却板が接合され、
前記冷却板には、前記冷媒通路と干渉しない位置に前記4つのランドに対向する1つの貫通穴が設けられている、
請求項9に記載のウエハ加熱装置。
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