JP5795222B2 - セラミックスヒータ - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係るセラミックスヒータ1は、図1に示すように、半導体ウエハ等の被加熱物Wが載置される載置面Sを上面に有するセラミックス基板2と、セラミックス基板2に埋設された内側発熱抵抗体Q1と、内側発熱抵抗体Q1の外側にてセラミックス基板2に埋設された外側発熱抵抗体Q2と、セラミックスからなり、セラミックス基板2の下面2aの中心部に接続された中空のシャフト3とを備えた2ゾーンヒータである。
セラミックスヒータ1について、発熱抵抗体Q1,Q2の合計発熱量を1300Wとし、各発熱抵抗体Q1,Q2の発熱量割合を変化させて、定常状態での載置面Sの径方向の各位置での温度をシミュレーションで求めた。
、厚さ4mm、長さ250mmの円板状、拡大部3bを外半径33.5mm(0.20R)、厚さ6mm、長さ15mmの円筒状であるとした。シャフト3は、セラミックス基板2と一体化されているとした。
上述した実施形態に係るセラミックスヒータ1においては、発熱抵抗体Q1,Q2は同じ層内に形成されていた。しかし、内側発熱抵抗体Q1を外側発熱抵抗体Q2よりも上層に形成してもよい。この場合、内側発熱抵抗体Q1の発熱がより効率的に上方の載置面Sに伝達され、載置面Sの中心部付近をさらに高温にすることが可能となる。
Claims (3)
- セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基板と、
前記セラミックス基板に埋設された内側発熱抵抗体と、
前記内側発熱抵抗体の外側にて前記セラミックス基板に埋設された外側発熱抵抗体と、
前記内側発熱抵抗体と前記外側発熱抵抗体とに供給する電力を独立して制御可能な制御部と、
セラミックスからなり、前記セラミックス基板の下面の中心部に接続された中空のシャフトとを備えたセラミックスヒータであって、
前記セラミックス基板の上面の中心点から外端までの距離をRとしたとき、前記内側発熱抵抗体は、上面視で前記中心点を中心とした0〜0.5Rの領域内に配置され、前記外側発熱抵抗体は、上面視で前記中心点を中心とした0.8R〜Rの領域内に配置され、
前記セラミックス基板と前記シャフトの接合部の外端は、上面視で前記中心点を中心とした0.1R〜0.3Rの領域内に位置することを特徴とするセラミックスヒータ。 - 前記内側発熱抵抗体は、前記外側発熱抵抗体より上方に配置されることを特徴とする請求項1に記載のセラミックスヒータ。
- 前記内側発熱抵抗体は、上下に複数積層されて配置されることを特徴とする請求項1に記載のセラミックスヒータ。
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