JP2018005998A - セラミックスヒータ - Google Patents
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Abstract
Description
基材10として、160高熱伝導窒化アルミニウムからなり、直径240mm、厚さ15mmの円板状のものを用意した。
発熱抵抗体20の屈曲部の形状を図4に示すように、屈曲部の内側にそれぞれ2個のL字状の穴S2を設けたしたこと以外は、実施例1と同一とした。
発熱抵抗体20の屈曲部の形状を図5に示すように、屈曲部の内側にそれぞれ1個の円状の穴S3を設けたしたこと以外は、実施例1と同一とした。
発熱抵抗体20の屈曲部の形状を図6に示すように、屈曲部の内側にそれぞれ1本の細長い切欠きS4を設けたこと以外は、実施例1と同一とした。
Claims (3)
- セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基材と、
前記セラミックス基材に埋設された発熱抵抗体とを備えたセラミックスヒータであって、
前記発熱抵抗体は、少なくとも2つの異なる方向に延在する発熱抵抗要素が接続されてなる接続部に、穴が存在することを特徴とするセラミックスヒータ。 - 前記発熱抵抗要素は、同心の環状領域にそれぞれ複数個配置された円弧状発熱抵抗要素と、前記環状領域が隣接して配置された前記円弧状発熱抵抗要素同士を直線状に接続する直線状発熱抵抗要素とを含み、
前記接続部は、前記円弧状発熱抵抗要素と前記直線状発熱抵抗要素とが直角に接続されてなる部分であることを特徴とする請求項1に記載のセラミックスヒータ。 - 前記接続部の角部外側寄りに、前記穴が存在することを特徴とする請求項1又は2に記載のセラミックスヒータ。
Priority Applications (1)
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JP2016127062A JP2018005998A (ja) | 2016-06-27 | 2016-06-27 | セラミックスヒータ |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019142845A1 (ja) | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 株式会社カネカ | 高組成比率の3hhモノマー単位を含む共重合phaを生産する形質転換微生物およびそれによるphaの製造方法 |
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-
2016
- 2016-06-27 JP JP2016127062A patent/JP2018005998A/ja active Pending
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