JP2018046079A - 保持装置 - Google Patents
保持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018046079A JP2018046079A JP2016178071A JP2016178071A JP2018046079A JP 2018046079 A JP2018046079 A JP 2018046079A JP 2016178071 A JP2016178071 A JP 2016178071A JP 2016178071 A JP2016178071 A JP 2016178071A JP 2018046079 A JP2018046079 A JP 2018046079A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- base material
- thermocouple
- shaft
- ceramic heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 87
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 17
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 9
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
Description
第2の穴部52の軸線L2は、第1及び第3の穴部51,53の軸線L1,L3に対してそれぞれ所定の角度、図1では135度をなして傾斜している。ただし、第2の穴部52の軸線L2は、第1及び第3の穴部51,53の軸線L1,L3に対してそれぞれ異なる角度をなして傾斜しているものであってもよい。
基材10として、窒化アルミニウムからなり、直径340mm、厚さ25mmの円板状のものを用意した。
第2の穴部52Bの形状を除いて、実施例1と同様にして、セラミックスヒータ100Bを作製した。
第2の穴部52Bの形状を除いて、実施例1と同様にして、セラミックスヒータ100を作製した。
シャフト30Cを除いて、実施例3と同様にして、セラミックスヒータ100Cを作製した。
Claims (3)
- セラミックスからなり、上面及び該上面の反対側に位置する下面を有する板状の基材と、
前記基材の内部に埋設された発熱抵抗体と、
前記基材の内部において前記基材の上面に沿った第1の方向に延びる第1の穴部と、
前記基材の下面にて開口する開口部を有するとともに、前記第1の穴部と連通する第2の穴部とを備え、前記基材の上面上に対象物を保持する保持装置であって、
前記基材の下面を含む仮想平面からの前記第2の穴部の深さが、前記第1の方向に向って連続的に深くなる部分を有することを特徴とする保持装置。 - 前記第2の穴部を前記基材の上面から下面に向う方向に投影した領域は、前記開口部が形成されている領域に含まれることを特徴とする請求項1に記載の保持装置。
- 前記基材の下面に接続された上端面及び該上端面の反対側に位置する下端面を有する筒状のシャフトを有し、
前記シャフトの下端面又は内側面から上端面に向って延びるとともに、前記第2の穴部と連通する第3の穴部が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の保持装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016178071A JP6704821B2 (ja) | 2016-09-12 | 2016-09-12 | 保持装置 |
US15/696,301 US10840117B2 (en) | 2016-09-12 | 2017-09-06 | Holding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016178071A JP6704821B2 (ja) | 2016-09-12 | 2016-09-12 | 保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018046079A true JP2018046079A (ja) | 2018-03-22 |
JP6704821B2 JP6704821B2 (ja) | 2020-06-03 |
Family
ID=61695036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016178071A Active JP6704821B2 (ja) | 2016-09-12 | 2016-09-12 | 保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6704821B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020035603A (ja) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | 日本碍子株式会社 | セラミックヒータ及び筒状シャフトの製法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011187576A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Tokyo Electron Ltd | 割れ検出装置、処理装置及び割れ検出方法 |
WO2012039453A1 (ja) * | 2010-09-24 | 2012-03-29 | 日本碍子株式会社 | 半導体製造装置部材 |
WO2013162000A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 日本発條株式会社 | 基板支持装置及び基板支持装置に熱電対を配設する方法 |
JP2015517224A (ja) * | 2012-04-26 | 2015-06-18 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | リアルタイム加熱ゾーン調整機能を備えた高温静電チャック |
US20160002779A1 (en) * | 2014-07-02 | 2016-01-07 | Applied Materials, Inc. | Multi-zone pedestal for plasma processing |
-
2016
- 2016-09-12 JP JP2016178071A patent/JP6704821B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011187576A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Tokyo Electron Ltd | 割れ検出装置、処理装置及び割れ検出方法 |
WO2012039453A1 (ja) * | 2010-09-24 | 2012-03-29 | 日本碍子株式会社 | 半導体製造装置部材 |
JP2015517224A (ja) * | 2012-04-26 | 2015-06-18 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | リアルタイム加熱ゾーン調整機能を備えた高温静電チャック |
WO2013162000A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 日本発條株式会社 | 基板支持装置及び基板支持装置に熱電対を配設する方法 |
US20160002779A1 (en) * | 2014-07-02 | 2016-01-07 | Applied Materials, Inc. | Multi-zone pedestal for plasma processing |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020035603A (ja) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | 日本碍子株式会社 | セラミックヒータ及び筒状シャフトの製法 |
CN110876211A (zh) * | 2018-08-29 | 2020-03-10 | 日本碍子株式会社 | 陶瓷加热器以及筒状轴的制法 |
US11367631B2 (en) | 2018-08-29 | 2022-06-21 | Ngk Insulators, Ltd. | Ceramic heater and manufacturing method for tubular shaft |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6704821B2 (ja) | 2020-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10840117B2 (en) | Holding apparatus | |
JP6704837B2 (ja) | 保持装置 | |
KR101343556B1 (ko) | 2차원적으로 배선된 열선을 포함하는 세라믹 히터 | |
JP6666717B2 (ja) | セラミックス部材 | |
JP5591627B2 (ja) | セラミックス部材及びその製造方法 | |
JP2018005999A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP6796436B2 (ja) | セラミックヒータ及びその製造方法。 | |
JP6704821B2 (ja) | 保持装置 | |
JP2018005998A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP2017119293A (ja) | 半田ごて | |
JP7123181B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JP6694787B2 (ja) | 保持装置 | |
JP7331107B2 (ja) | 半導体製造装置用部材 | |
JP6829022B2 (ja) | ヒータ | |
JP6811583B2 (ja) | 保持装置及びその製造方法 | |
JP2023023670A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP6234076B2 (ja) | 接合構造体及びこれを用いた半導体製造装置 | |
JP2018006269A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP5293453B2 (ja) | フィラメントランプ | |
JP2017188262A (ja) | セラミックスヒータ | |
KR20180099339A (ko) | 세라믹 히터 접합구조 | |
JP6871277B2 (ja) | 試料保持具 | |
JP2004165085A (ja) | 加熱装置とその製造方法 | |
JP6711738B2 (ja) | 支持装置 | |
JP2017045669A (ja) | ヒータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190408 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200122 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200421 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200513 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6704821 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |